TWI275554B - Manufacturing equipment provided with static charge eliminator and transport device - Google Patents

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TWI275554B
TWI275554B TW094140869A TW94140869A TWI275554B TW I275554 B TWI275554 B TW I275554B TW 094140869 A TW094140869 A TW 094140869A TW 94140869 A TW94140869 A TW 94140869A TW I275554 B TWI275554 B TW I275554B
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Kazuyoshi Nakajima
Yasuhiko Fukuchi
Masaharu Fujino
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Description

1275554 九、發明說明： L發明所屬之技術領域】 本發明關於在液晶顯示器及各種半導體等之運送工序中 可迅速進行對帶電之製造加工 【先前技術】 。之除電的製造裝置。 圖4係最典型且完全無法得 示電作用之製造裝置之概 略圖，作為製造加工品之帶電& 1 ,, V冤物體，例如液晶顯示器所用
之基板41被以運送滾柱42運送，蕤遍刀, 糟風刀碩43所吹出之氣流 來去除基板41上之洗淨水44。 、 风刀頭43、侧壁45及天花板 4 6全由、纟巴緣體所形成，並由此 寺开^成除電空間。除電空間 中設有除電裝置47。 、同圖⑷中，所示的為成為製造加工品之基板叫皮—開始 運达時之初始階段’而形成除電空間之絕緣體尚未帶電， 因而該電位低。在此，基板41及製造裝置外部之成為設置 基準，邊界之間’雖然:微弱仍形成有電場，因λ，除電速 度雖慢’基板41之除電仍會進行。然而，同時地’形成除 電空間之絕緣體上會蓄積與基板41同極性之電荷。 從而，如同圖⑻所示，如連續運送基板41的話，將持 績供應與基板41同極性之電荷，終將與基板41同電位，而 使電場消失，因此無法進行除電。 【發明内容】 藉由電荷供應之帶電物體之除電作用，大部分依存於除 電裝置之電荷產生能力及被除電物體表面附近之電場強 度尤其，關於電場強度，舉例來說如有帶電]^¥級之物體 106039.doc 1275554 周圍被以絕緣體包圍的情況中，帶電物體附近之電場強度 會變小’除電速度會遽減（亦即，除電至所需之電位為止 之除電時間會拉長）。 大致上’除電速度係與電場強度成比例關係，例如，若 電場強度為1/10，除電速度亦會成為1/1〇。此外，以相同 極性f電之，製造加工品在運送至以絕緣體包圍之區域内時 進订除電的情況中，與製造加工品之帶電極性同極性之電 何被由除電裝置供應至週邊之絕緣體，因此，終究會成為 與製造加工品完全相同之電位，完全失去對製造加工品之 除電作用。此時’帶電物體週邊之電場強度成為零。 為此，本發明係藉由在帶電物體之週邊設置導體，產生 除電上有效之電場，避免除電作用惡化及失能之情況，以 進订南性能之除電者。此外，導體可接地或賦予特定之電 位0 1 在此十“兄中’料欲以更短時間來除電至所需電位之條
件’乃以使帶電物體附折Η主 寸近（特別在5至1 〇 cm以内）之電場強 度在有可能產生靜電妨礙之電 m心电強度以下之乾圍内儘可能 地大之方式來設置導髀。士、甘 又直¥版。尤其，以由帶電物體之帶電面側 至相向之最靠近之導騁i > 且為止之距離為1 mm以上1〇〇〇 mm以 下為佳。 作為導體之設置條件 屬線等之網孔構造、將 而以可將帶電物體之除 成所需之電場強度之構 ’並不特別以連續體之板構造、金 金屬線等平行安裝之構造等為限， 電面側之表面附近的電場強度控制 造作為唯一且重要之條件。此外， 106039.doc 1275554 亦以導體之體積電阻率在1Gn『_下為條件。 =¥體之形狀及構造有必要為帶電物體所產生之電 之強度以上者。 不曰有電场集中達到使電晕發生 再者’如帶電物體之帶電電位為ν〇ν，若 面5 cm或由帶電物體表 V电觀：衣 ㈣表面在垂直方向+之除電空間之厚度 中#乂乍之一方的平均電場 玉琢強度為E〇Wcm，為使E0>V〇/50之 ^ 有必要在帶電物體之週邊設置導體。 及運、、，壯1。、有在▼電物體之週邊設有導體之除電裝置 =如的製造裝置，作為製造裝置可適用半導體製造 P w 碟氣&放置或絕緣性薄膜 製…，作為運送裝置，可適用各種運送裝置。 以上，依本發明，可在短時間内確實地達 附近為止之除電，將轉啻p W而兔位 ^將评電知害之發生降至最小程度。 【實施方式】 以上’利用圖式，說明本發明之實施例。 [弟一貫施例] 、圖1係在藉風刀頭43進行之除水及乾燥工序中，將
流區域之除電空間上邻 、A — °卩之天化板46作為接地導體之實施 例，猎由該接地導體，帶雷 % ^ 體表面附近之電場強度變 強，使除電速度改盖。士冰 文 D此外，在圖！中，與 乃指相同者。 邻U之付唬 μ 相對於藉除電裝置47之非 之基板之電位為V，萨由^ “ 非除電化 稭由除電裝置47之除電時 106039.doc 1275554 · 僅能除電至,〇 v止。能夠除電該差異之2〇〇 於即使在帶電物體不存在 、原因在. 電仍會持#、隹”# U ’错由除電裝置47之除 故。、'仃’使得除電空間藉此時機被稍微除電之 焉知例中，在使天花板 藉除電裳置之非除電時之電位· /體^月況中，對於 [η ^ V，以與改善前完全相 至=下之猎由除電裝置47所進行之除電，可除電至·1〇
’證明了有大幅度之除電性能改善效果。 為使位於與基板41距離4°cm上方之天花板46 為接地*體，帶電基板41之附近可一直得到v/50cm以上 =㈣度’依此結果’在除電有效時間（3秒）内，對非除 電時之最高電位·!_V，可除電至-10至_15V。 [弟'一貫施例] 與第一實施例之差異並不僅止於 一 卜1罜此於天化板46，如圖2所 不’尚在於使帶電基板41附近 了处 < 所有構件（風刀頭43及側 *^45)成為接地導體一辜 帶带 爭▼电面附近之電場強度會變得 更強’因&’得到除電性能進—步改善之結果。此外，在 圖2中，與圖4相同之符號代表相同者。 [第三實施例] 圖3係製造裝置之構件因耐藥性等之限制而無法以導體 構造時之實施例，如該圖⑷所示’該例係在帶電物體附近 以特定間隔安裝耐藥性優良之金屬線31之例子。該圖⑻係 金屬線31之區域之放大圖。此外’在圖3中，與圖*相同之 符號代表相同者。 106039.doc 1275554 在本實施例中，乃使金屬線3丨之直徑為2 mm，安裝間 隔為3 cm，惟此等乃以即使帶電物體所生之電場發生集中 4金屬線表面之電場強度不會超過3〇 kv/cm為條件所決定 之間隔。此外，基板41至金屬線31止之距離設定為… cm。此外，耐藥性優良之金屬線31亦可為藉由化學處理金 屬線表面、或被覆其他金屬或絕緣物來提升耐藥性者。
砰估之結果，非除電時，帶電物體之電位因靜電電容比 f 一實施例之情況還大所為_3〇〇 v左右。除電時，幾乎與 第一及第二實施例同樣地，可除電至_4至v。藉此，確 認了藉金屬線3 1之除電性能改善效果。 M卜，將V電基板41之帶電電 物體表面5 0爪及由帶電物體表面在垂直方向上之除電空間 之厚度中較窄之—方的平均電場強度設為EQV/em，以如下 :件1、2、3進行評估。依此結果’發現在帶電基板q週 邊設置接地導體’以滿足Eg>Vg/5g之條件即可。 作為條件1，除電有效空間：距帶電面5 cm以上，除電 震置：能：帶電面附近5cm區域中之平均離子對產生能力 思對/cmVsec，帶電面帶電電荷密度=i6xi〇nc 條件·· 1秒進行除雷δ + ς Λ 1 ”電至-5〇 V，依此條件之除電之評估如表 1戶斤示 〇 106039.doc -10- 1275554 [表i] V0[V] 贤電面附 近之平均電場強度v/cm V0/250 cm V0/200 cm V0/150 cm VO/ioo cm VO/75 cm V0/50 cm VO/35 cm V0/20 cm 100 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 500 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 1000 X X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 3000 X X X 〇 〇 〇 〇 〇 5000 X X X X 〇 〇 〇 〇 作為條件2 ’除電有效空間：距帶電面3 cm，除電裝置 性能：帶電面附近3 cm區域中之平均離子對產生能力与】 億對/cm3/sec，帶電面帶電電荷密度=16xl〇-iic，除電條 件：1秒進行除電至±50 V，依此條件之除電之評估如表2 所示。 [表2] V0[V] 穿電面附近之平均電場強度v/cm V0/250 cm V0/200 cm V0/150 cm V0/100 cm VO/75 cm V0/50 cm VO/35 cm V0/20 cm 100 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 500 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 1000 X X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 3000 X X X X 〇 〇 〇 〇 5000 X X X X X 〇 〇 〇 106039.doc 1275554 作為條件3，除電有效空間：距帶電面5 cm以上，除電 裝置性能：帶電面附近3 cm區域中之平均離子對產生能力 与1億對/^113/86〇，帶電面帶電電荷密度=1.6\10_110：，除電 條件：2秒進行除電至±30 V，依此條件之除電之評估如表 3所示。 [表3] V0[V] 帶電面附近之平均電場強度V/cm V0/250 cm V0/200 cm V0/150 cm V0/100 cm VO/75 cm V0/50 cm V0/35 cm V0/20 cm 100 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 500 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 1000 X X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 3000 X X X 〇 〇 〇 〇 〇 5000 X X X 〇 〇 〇 〇 〇
【圖式簡單說明】 圖1係本發明之製造裝置之概略圖。 圖2係本發明之其他製造裝置之概略圖。 圖3(a)、（b)係本發明之其他之製造裝置之概略圖。 圖4(a)、（b)係以往之製造裝置之概略圖。 【主要元件符號說明】 3 1 接地金屬線 41 基板 42 運送滾柱 43 風刀頭 106039.doc -12- 1275554
44 洗淨水 45 側壁 46 天花板 47 除電裝置 106039.doc -13 -

Claims (1)

1275554 、申請專利範圍： 1. 2. 3. 5. 種製造裝置’其係具有將 、，册 、頁將▼電物體除電之除電裝置及 运可電物體之運送裳置者，其特徵為在帶電物體週邊 設置導體’以產生除電上有效之電場。 如請求項1之製造裝置，其中如使上述帶電物體之帶電 電位為V°V，#由帶電物體表面距離5 cm或由帶電物體 表面在垂直方向上之除電空間之厚度中較窄之—方的平 均電場強度為EQV/cm，則以能滿仏>Vq/5q之條件的方 式’在帶電物體之週邊設置導體。 如請求们之製造裝置，其中上述製造裝置為半導體製 造紫置、液晶顯示器製造|置、硬碟製造裝置或絕緣性 溥膜製造裝置，上述運送装置為各種運送裝置。 如凊求項1之製造裝置，其中上述導體之體積電阻率為 1〇 Ω · cm以下。 如請求項1之製造裝置，其中由上述帶電物體之帶電面 側至相向之最靠近之導體為止之距離為i mm以上1000 mm以下。 6 ·如明求項1之製造裝置，其中上述導體之形狀及構造為 f電物體所產生之電場在導體之任何部位的電場集中均 不會達到使電暈放電發生之強度以上者。 106039.doc
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