TWI274256B - Machine control system, method for controlling the system and computer readable recording medium for storing program thereof - Google Patents

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wf.doc/006 九、發明說明： 本申請案係依據美國專利法規35 於2003年5月6號向美國專利局提:主之1’)主張 第60/468,323號的優先權，該專利申:宏月„申請案 係完整結合於本說明書中。 ％柔所揭露之内容 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於-種主機軟體，且特 種可提高製程機台之函式處沖疋有關於-【先前技術】 午的種軟體。 工作主機可用於例如工廠内之製程 由於每-玉作主機可能具有多種不同之Μ =而， 及程ί語言，且—般的軟體使用者甚或軟統以 精通每一種可能使用之主機語古 —汗Χ貝並非 人員需對陌生的機器或操作系統軟 導致時間與成本上的浪費。 Τ緒之開發， 掌環=。’ 的主機系統常常可能並存於相同的作 士、^中牛例吕，一個加工環境中可能包括一較新沾 主機糸統以及-較舊的主機系統，如此要』 可提高不同主機系統之相容性的方法。 便而要-種 【發明内容】 續實施例係提出—種新技術，其係可加速系 、、妹式的更新。此外’本發明之實施例更可提高兩個以上 之不同主機系統的相容性，以使得聽❹近似之一 糸統的裝置’可有效率地使用其他的主機系統。例如，使 twf.doc/006 用第一作業系統（如IBM公司之OS/2®)之一第一主機， 以及使用第二作業系統（如微軟公司Microsoft之 Windows⑧N丁⑧）之一第二主機。本發明之實施例具有一 種轉換模組’其可讓在IBM⑧OS/2⑧操作系統下執行的應 用程式’對被幸人公司之組件客體模式（C〇mp〇nent object Model，以下簡稱COM+)格式的檔案進行存取。 本發明之一實施例包括一路由模組（R〇uting Module)，其係可自一具有C0M+格式之函式（Functi〇n) 的模組轉出及轉入資料。舉例而言，此路由模組係使用分 別稱為 TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP 以及 COMTAPCOM的四個可選擇（Selectable )的程序路由 (Processing Route)。其中，TApC0M程序路由係對應 於由TAP模組至COM+模組之走向的資料流，而c〇MTAP 程序路由係對應於由COM+模組至TAP模組之走向的資 料流。此外，TAPCOMTAP程序路由係對應於由丁AP模 組至COM+模組，並且再回到TAP模組之走向的資料流， 而COMTAPCOM程序路由係對應於由c〇M+模組至TAP 模組，並且再回到COM+模組之走向的資料流。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更 明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 細說明如下： 【實施方式】 自動化技術係普遍應用於例如工廠等製造環境，其 中大量應用機器進行生產製程之製造環境，其製程步驟之 1274說 twf.doc/006 自動化更為常見’例如半導體製造之代工廠（Foundry ) 即為一高自動化之製造環境。此外，除文中所述之半導體 製造、以及IBM⑧OS/2⑧與Microsoft⑧Windows®操作系 統之外，本發明之技藝基於其原理以及優點，更可應用於 例如汽車製造、食品加工、藥物製造等其他類型的自動化 製造環境，以及其他的操作系統。 圖1繪示為一製造環境之主機系統的例子。半導體 製造代工廠以及其他較複雜的製造環境，通常具有較多相 互作用的主機系統。舉例而言，代工廠内的主機整合製造 (Computer Integrated Manufacturing, CIM )系統 1〇〇 通常 包括不同的系統，例如一製造執行系統（Manufacturing Execution System，MES ) 102、企業資源規劃管理（Enterprise Resource Planning，ERP)系統 1〇4、排程軟體（Scheduling Software )、工程系統（Engineering System )以及良率監 測系統（Yield Monitoring System )等。 製造執行系統（Manufacturing Execution System， MES) 102係控制最上級之產品製程，而此製造執行系統 102例如可為目前業界所使用之IBM公司的SiView標準 版。一般而言，一個代工廠所具有的製造執行系統並不^， 例如一個代工廠僅藉由一個製造執行系統運作。在一實施 例中，製造執行系統102係相當於控制整個代工二、止 :系統的一中央主機系統。當然，在合理的範圍内，製 行系統102亦可被分散，亦即藉由多個製造執行系統川2 來控制一個代工廠。 ί 4之3 爲 twf.doc/00< ‘ie執行系統102可I馬接至一或多個機台控制系統 (Machine Control System，MCS )，而一個機台控制系統 U0可耦接至一或多個製造裝置112，其中關於機台控制 系統110之洋細構造將配合後述之圖2進行說明。此外 企業資源規劃管理糸統104可整合例如企劃（)、 銷售（Sale)、存貨管理（invent〇ry c〇ntr〇i)以及訂單追 蹤（Order tracking)等商業活動。 、 [機台控制系統110] 圖2係繪示本發明之較佳實施例的一種機台控制系 統110，而一製造環境中可能具有較多之機台控制系統。 在本實施例中，機台控制系統110係對應於一本區主機系 統’其係與製造執行系統102通訊（C疆municate)，並 控制所對應之製造裝置112的運作。然而，由於機台控制 系統110可能被設定在習用之操作系統之下運作，例如 IBM⑧OS/2⑧，因此便可能發生經驗較為不足之軟體開發 人員對此操作系統不熟悉的問題。 請參考圖2，機台控制系統11〇係耦接至製造執行系 統102、一或多個製造裝置112、一遠端資料庫模組(Rem〇te Database Module ) 202、一資料庫顯示裝置（Database Display Device) 204以及其他適用的製造執行系統2〇6。 §然’機台控制糸統11 〇以及、纟會示於圖1之其他系統，更 可與較圖2所示更多或較圖2所示為少的系統相互|馬接。 圖2所繪示之機台控制系統11〇包括一工具控制系 統（Tool Control System, TCS) 210，一讀取模組（Access twf.doc/006

Module )212、一轉換模組（M〇duie )2 丨*、一 模、 乂及本區資料庫模組（Local Database Module ) 218 ’熟習此項技藝者當可得知，其可改變產品製程以生 產新的，，，並可改善良率、加速生產速度以及容許裝置 之、交動料。由於本發明之實闕包括機台控制系統，因 此有助於以較為快速且較有效率之方錢行修改與/或更 新。 工具控制系統210係對應於機台控制系統110所使 用之應用程式，以與製造執行系統102通訊 jOHnnumicate)。因此，工具控制系統21〇可讓製造執 行系統1〇^與耦接於機台控制系統11〇之製造裝置112通 Λ在貝施例中’工具控制系統210係於Microsoft⑧ Windows⑧以外之其他運作系統（如ΙβΜ⑧〇s/2⑧）之下 運作。 [讀取模組212] 項取模組212包括一或多個TAP模組220，其中TAP 模組220係相當於工具控制系統21〇所使用之一解譯器 (Interpreter)，並對製造裝置112所提供之原始程式二 (Source Code)進行解譯。在一實施例中，每一製造裝 置112係對應有一 TAP模組220。舉例而言，TAP模組 可對應於IBM公司之TTC0RTAPDLL檔案，其係對應 於一動態連結程式庫檔案。此動態連結程式庫檔案可透過 靜態或動態連結至DLL檔，以提供函式及/或資料至其他 的應用，例如工具控制系統210。因此，TAP模組220 I274256twf.doc/006 可設定、控制以及監測製造袭置112。在本 中’ TAP模組22〇係相當於延伸有“tap，，樓之原始二3 檔案。多種製造裝置112係可輕接至丁Ap模組，、、、、 下係為可與文中所述之半導體代工廠的TAP模組細= 接之製造裝置的幾個例子：用以在裝置之間自動搬運或= 送晶圓之機器人手臂、用以在晶圓上塗佈光阻以及形 需圖案之顯影系統、用於所需圖案之曝光的步進機 所需圖案之曝光的深紫外光機台、同樣用於所需圖案之暖 光的掃，機台、用以植人離子之摻雜植人機台、用於熱^ 化之爐管、用以姓刻材料之飿刻設備以及其他裝置等。 習用的機台控⑽統係藉由TAp模組 敍，/或更新。在一實施例中，TAp模組22〇係上馬: 藉由讀取模組212進行解譯之原始程式碼的模組。在另一 實施例中’ TAP模組可包括已進行編譯（c卿脇）之 程式碼。TAP模組在設計上可能比藉由c〇M或c〇m+設 計難’因此其軟體開發之效率相對較低。在習用的系统中， 當TAP模組有所改變時’習用的機台控制系統便處於無 法運作（Inoperative)的狀態。如此一來，不僅使得軟體 之開發成本昂貴，更使得整個機台控制系統無法使用於例 ^編碼（Coding)、測試（Testing)以及除錯⑺ebugging) 等需要延長時間週期之動作。 本發明之貫施例讓TAP模組220之程式碼較為簡單， 因此有助於簡化軟體之開發，並可縮短機台控制系統11〇 之停機時間（Downtime)。TAP模組220之較為簡單的 twf.doc/006 程式碼係參照（Reference)C〇M+模組216之功能程式碼。 舉例而言，在一實施例中，修正後之TAp模組22〇内的 原始程式碼係藉由增加一或多行具有關鍵字之程式碼，例 如FUNCTION”，以進行修改。當讀取模組212在程式碼 内讀到此關鍵字時，便由轉換模組進行指令或參數之執 行，以進行進一步之程序。在上述之本發明的實施例中， 轉換模組212包括一别轉換模組222以及一路由模組 224，下文將有更詳細之描述。當讀取模組212讀到丁Ap 模組220之程式碼與/或參數内的關鍵字之指定，係由 COM+模組216進行進一步之步驟時，讀取模組212便連 結至轉換模組214 (經由前轉換模組222以及路由模组 224)，並與C0M+模組216連結。在一實施例中，由於 用以加入關鍵字及相關參數至合適的TAp模組22〇，以 及重新啟動機台控制系統110之總時間較短，因此有助於 縮短機台控制系統110的停機時間。有關於讀取模組212 之使用上的例子，將於後述之圖3的相關敘述中詳細說 明。 [轉換模組214] 轉換模組214包括函式與/或資料，其係可由嵌入 (embeded )於TAP模組220之原始程式碼内的諸如函式 呼叫指令（function call)等進行讀取。在一習用的機台 控制系統中，習用的轉換模組可相當於一 tturtapdll 檔案。在本發明的實施例中，轉換模組214包括前轉換模 組222以及路由模組224，此兩者將於下文中詳細描述。 twf.d〇c/〇〇6 下面的例子係描述可被寫入TAP模組220之原始程 式碼内的一些類型之函式。舉例而言，TAP模組220可 用以與基本運作系統（—lying Operating System)通 訊。TAP模阻220更可用以透過工具控制系統21〇，而與 製造執行系統102通訊，以接受指令並提供狀態。丁A? 模組220可用以控制並接收製造裝置112之狀態。丁Ap 棋組220亦可用以執行計算動作，其中這些計算動作可被 編寫（Coded)至TAP模組中或C0M+模組216中，並可 參照自TAP模組220。TAP模阻220亦可用以供其他主 機系統（例如其他的製造執行系統206)執行計算動作。 [C0M+模組 216] ^ 在一實施例中，軟體開發人員可於機台控制系統11〇 仍在運作時，對C0M+模組内的適當檔案建立或修改原 始程式碼，因此有助於縮短機台控制系統11〇之停機時 間。在完成原始程式碼之修改之後，軟體開發人員^停止 機台控制系統110之運作，修改TAP模組至符合適當的 參照，例如一個“FUNCTION”呼叫參照以及相關參數"(或 拷貝一離線修改的原始程式碼檔案至TAp模組），並重 新啟動機台控制系統110或讀取模組212來載入組態重置 (Reconfigured )之 TAP 模組。 在本發明之實施例中，C0M+模組216可處理微軟公 司之COM或COM+格式的程式碼。組件客體模式係定義 客體以及客體間通§fl的二位元標準。c〇M+模組216'可包 括DLL檔案、執行檔以及上述二者之組合。此標準化g 06 I274^4wf.doc/〇 體開發人員利用相對較多的時間實際編寫有作 用之私式碼，而利用較少的時間撰寫例行作業之程式碼， ϋίΐ始化之程式碼、移動資料之程式碼、作業系統之界 壬:Ρ、馬以及其他私式碼等。此外，例如COM或c〇M+ c=mp_y)之格式’利於得到較多無法使用 、：用、祕（如之程紅具或程式語言的 更。攻些程式工具與/或軟體例如包括V⑽价也⑧、

Java、C++等。 =而、，習用執行聰⑧㈣⑧之主機系統並不適用 ^用φ播或CC)M+格式的處理程式碼。因此，更新或修改 2主機系統（如習用之機台控制系統）之程式碼的軟體 開^人員，係、於習用之機台控制系統所執行的本族 _e)程式碼（例如麵⑧〇s/2⑧操作系統之程式 寫下對於程式碼之修改或更新。舉例而言，為了修正 =之機台控制系統之運作，軟體開發人員可修改由工且 =糸統210或讀取模組犯執行之原始程式碼。對讀取 果、、且212而言，原始程式碼可展示於ΤΑρ模組22〇中， 〇ς由^TAP核組22G或轉換模組214可能包含以1βΜ® R操作系統為界面之原始程式碼，因而對於經驗不足 = 人體開發人員來說，在程式撰寫上較為困難也較為陌 称目Ϊ發明之實施例有助於讓軟體開發人員有效率地開 %格式之程式碼，例如微軟之c〇M或c〇m+格 或白用之ffiM㊣OS/2⑧的操作系統。此有助於讓機台控 oc/006 制系統110以有效率的方式快速修正與/或更新。舉 言，關於統計資料、圖表或其他分析之計算函式二二而 COM+模組216來執行。雖然這些可執行的程式碼甚: 所對應的原始程式碼亦可在機台控制系統11〇中執行二 COM+模組216内之可執行之程式碼的配置利於將需^ 修改之程式碼配置於機台控制系統11〇之較易於讀:: 分。舉例而言，COM現组216之可執行的程式^利於^ 機台控制系統110運作時進行修改。額外的函可 C〇，+模組216中執行，❿TAp模組内亦可加入函 叫指令，以有效縮短機台控制系統n〇 r:r:r模組216更選擇性地與其他的二 模租M制錢與連結。鱗作可讓C0M+ 代I廠共賴/或傳輸原始程式碼。關於 =读組216之詳細内容，將於後述之圖5A及沾中 非必了^ 實施例中，本區資料庫模組218並 模組202,以進組218亦可耗接至遠端資料庫 裝置204，以進之，儲存’並可接至資料庫顯示 當於電腦純、P ^之檢查。#料軸科置2G4係相 提的是，無il/表機、製圖機、揚聲科裝置。值得一 丨=、滑鼠、移動式陶等= [則轉換模組222以及路由模組224] 1214m t^vf.doc/〇〇6 在本發明所述之貫施例中’轉換模組214包括一前 轉換模組222以及一路由模組224。在一實施例中，前轉 換模組222包括習用之轉換模組的功能，並且係一 DLL 檔案。此外，前轉換模組222更包括藉由路由模組224檢 復（Retrieve)額外函式與/或資料的功能。此有助於讓未 在前轉換模組222展示（Present)之函式透過前轉換模組 222進行檢復，因而可讓TAP模組讀取更多函式。在一 實施例中，前轉換模組222係使用同樣的關鍵字，例如TAp 模組所使用之“FUNCTION”，以讀取額外的函式。 路由模組224係對儲存有函式以及資料之c〇M+模 組216所輸入或輸出的函式與/或資料進行轉換。c〇M+ 模組216利於在Microsoft⑧Windows⑧的環境下使用。路 由模組224係定義來自COM+模組之函式與/或資料的程 序路由（Processing R0ute)。在一實施例中，路由模組224 使用四個程序路由，在此分別稱作TApc〇M、c〇MTAp、 TAPCOMTAP以及C0MTAPC0M。在另一實施例令路 由模組224係使用少於四個的程序路由，例如一個、兩個、 =個等選自上述族群的程序路由。在一實施例中，路由模 組224亦可為DLL檔案，並可於IBM⑧〇s/2⑧之環境中 執仃。此類型的路由模組可藉由以TAP模組220之函式 呼叫指令的芩數進行命名的程序路由來辨別 。舉例而言， 勹函式呼叫指令可包括一關鍵字，例如“FUNCTION”，並 包括一程序路由，例如TAPCOMTAP，也包括所需函式 的名稱或其他例如槽案名稱、資料位置、資料大小等相關 oc/006 資訊。 220執行程

庫模組218或遠端資料庫模組2〇2所儲存之資料可在之後 收回以進行分析。TAPCQM程序路由之過程係、於圖4a TAPCOM程序路由係對應於由TAp模組⑽執行 式呼叫指♦之後，經由前轉換模組222以及路由模㈣4 而f達COM+模組216的資料流。TApc〇M程序路由 於猎由TAP模組22G進行函式呼叫，以決 及其相關敛述中詳細說明。 COMTAP程序路由係對應於由c〇]V[+模組到達TAp 模組220,以執行程式呼叫指令的資料流。在一實施例中， COMTAP程序路由之資料流係為命令TAp模組22〇停止 製造裝置112之指令。舉例而言，c〇M+模組216可計算 一個程序何時停止，而C0MTAP程序路由係提供一路徑了 以使TAP模組220接收COM+模組216所發出之程序何 時停止的指令。在一實施例中，當TAP模組220在等待 資料由COM+模組216回送時，TAP模組220可暫停指 令的程序。TAPCOM程序路由之過程係於圖4B及其相關 敘述中詳細說明。 TAPCOMTAP程序路由係對應於由TAP模組22〇到 達COM+模組216，再回到TAP模組220執行程式呼叫 指令的資料流。舉例來說，TAPCOMTAP程序路由可傳 送資料至COM+模組216中，以使COM+模組216對資 wf.doc/006 料進行一些分析計算，再將結果回傳至TAP模組220。 TAPCOMTAP程序路由之過程係於圖4c及其相關敘述中 詳細說明。 COMTAPCOM程序路由係對應於由c〇M+模組216 到達TAP模組220，再回到COM+模組216的資料流。 COMTAPCOM程序路由可用以達到與COMTAP程序路 由相同之目的。此外，COMTAPCOM程序路由可讓資料 回到COM+模組，因此TAP模組22〇所收集之程序資料 可被儲存在本區資料庫模組218或遠端資料庫模組2〇2 内，與/或可被展示於資料庫顯示裝置2〇4中。 COMTAPCOM程序路由之過程係於圖4D及其相關敛述 中詳細說明。 [使用讀取模組212] 圖3係繪示本文之讀取模組212應用於步進機 (Stepper) —例之程序的流程圖。在一實施例中，讀取 模組212之程序係由TAP模、组22〇之對應於步進機二 始程式碼所财指^ ’且原始程式碼係由讀取模組犯内 之一解譯器進行解譯。在另-實施中，TAp模社細勺 t J成編譯(Co-Ued)之程式碼。值得一，： 本發明的精神範_，熟習此技藝者當能以多種 式對上述之程序進行修飾。舉例而言，每〃 9万 上述之程序的不同部分可相互結合、相互交替排^例=’ 移除等。此程序係由第-狀態31〇開始，其中步進機^ twf.doc/006 行初始化的動作。接著，程序由第一狀態31()進入第二狀 態 320 〇 在第二狀態320中，裡序係與步進機通訊，以得到 步進機之相關資訊，例如步進機之識別符碼（Identifier )、 步進機之運作狀態、步進機可能使用之罩幕（Mask)的 狀態等等。接著，程序由第二狀態32〇進入第一決策方塊 330 〇 在第一決策方塊330中，程序係決定是否更新步進 機之設定值。程序可與工具控制系統21〇通訊，以決定是 否使用新設定值。若不需使⑽設定值，則程序結束。否 則.，Ϊ序係由第―絲方塊33(3進人第三絲方塊340， 以计算新的設定值。 序係決定在本區或遠端進行 δ=值的料。在—實施例中，程序储㈣找原始程式 =的_子⑷如“FUNCTI()N”）來做蚊。當程序要 」區執灯’例如當TAP模組22〇的原始程

出新的設定值時，則轺皮在丄你 Λ ^ J "I 三狀態-，其中 冰木木扣产亦 貝取耦組212進行上述之計算。此 進:到Γ四狀態於3?〇端執行時， 模二狀二序係㈣^ 來決;執: 由拉組224从c〇M+模组 ^:二=路 T按者耘序由第四 !274^ twf.doc/006 狀態360進入第五狀態370。 在弟五狀悲370中’程序係接收由轉換模組214，或 透過轉換模組214而由COM+模組216傳送而來的新設 定值’並由第五狀態370進入第六狀態38〇。 在第六狀態380中，·程序係傳遞新的設定值至步進 機。其中，新的設定值可透過第三狀態35〇進行本區運算， 或透過第四狀態360進行遠端運算而得。接著，結束程序， 並可視需求再反覆操作。 [使用路由模組224] 圖4A係繪示選擇一 TAPCOM程序路由之路由模組 224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神範圍 内，热習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程序進 行修飾。此程序係由第一狀態402開始。在第一狀態4〇2 中，路由模組224係連結至COM+模組216，以使用C0M+ 模、、且216之資源。接著，程序由第一狀態4Q2進入第二狀 態 404。 — 、， 在弟一狀悲404中，程序係轉換讀取模組212之資 料與/或指令至COM+模組216 t。當資訊轉換完成後，、 程序便移除與COM+模組216的連結。值得一提的是， 此程序亦可因應TAPCOM程序路由之呼叫而重複執行。 圖4B係繪示選擇一 COMTAP程序路由之路由模組 224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神範圍 内’熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程序進 仃修飾。此程序例如可藉由一機台控制系統11〇之使用者 20 twf.doc/006 進行初始化。此程序係由第一狀態412開始，其中程序係 連結至讀取模組212。接著，程序由第一狀態412進入第 二狀態414。 在第二狀態414中，程序轉換COM+模組216之資 料與/或指令至讀取模組212中。此程序可藉由例如提供 一可將資料定位之資料，例如檔案名稱（Filename)、記 憶位址（Memory Address)與數元範圍（Byte Range)、 寅料庫s己錄識別符碼（Database Record Identifier)等，來 增加資料轉換的速度。當資料之轉換結束後，程序便可移 除與讀取模組212之連結。 圖4C係繪示選擇一 TAPCOMTAP程序路由之路由 模組224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神 範圍内，熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程 序進行修飾。此程序係由一第一狀態422開始。在第一狀 恶422中，路由模組224係連結至COM+模組216，以使 用COM+模組216之資源。接著，程序由第一狀態422 進入第二狀態424。 、在第二狀態424中，程序轉換讀取模組212之資料 與/或指令至C〇M+模組216中。當資料之轉換結束後， 耘序便可移除在第一狀態422中與COM+模組216所形 成之連結。接著，程序係由第二狀態424進入第三狀態 在一實施例中，程序從第二狀態424至第三狀態426 犄需等候一過渡期，直到COM+模組210完成提供所需 資料的準備。舉例而言，TAPC0MTAP程序=用斤: I274^6 twf.d〇c/〇〇6 达貧料至C〇M+模組216令，以對資 ^ Γ亚回收分析後的資料。程序可等候直到COM. ^ 帛備好輸出分析後之資料為止。值得—提 ^料就緒與否可由多種方式判斷，例如自⑴驗模组216 t ^ tit. (Polling) (Statu： Flag) 在第二狀態426中，程序係連結至讀取模組2i2，以 回傳相關資料。接著，程序由第三狀態426進人第四狀態 428 〇

，第四狀態428中，程序由COM+模組216轉換資 料至項取模組212。此程序可藉由例如提供一可將資料定 位之貝料，例如檔案名稱（Filename )、記憶位址（Mem〇ry Address)與數元範圍（ByteRange)、資料庫記錄識別符 碼（Database Record Identifier)等，來增加資料轉換的速 度。當資料之轉換結束後，程序便可移除與讀取模組212 之連結。

圖4D係繪示選擇一 COMTAPCOM程序路由之路由 模組224所進行之程序的流程圖。在不脫離本發明的精神 範圍内，熟習此技藝者當能以多種不同的方式對上述之程 序進行修飾。此程序例如可藉由一機台控制系統11〇之使 用者進行初始化。此程序係由第一狀態432開始，其中程 序係連結至項取模組212。接者’程序由第一狀態432進 入第^一狀癌434。 在第二狀態434中，程序轉換COM+模組216之資 22 慨 twf.doc/006 = 至㈣取#組212巾。當資料之轉換結束後， ΐίΐ ΐ與讀取模組212之連結。在-實施例中，程 至/<^7^ 434至第三狀態436時需等候—過渡期，直 COM+拉組216完成提供所需資料的準備。舉例而言， COMTAPCQM程序路*可用以從製造裝置ιΐ2傳送一命 令至COM+模組216中，例如一停止程序的命令。此外， COMTAPCGM料路由可用轉_造裝置ιΐ2回傳之

=態’例如特定之程序是否成功執行之指示。程序可能需 專候’直到讀取模組212輸出—指令，表示已在進入第三 狀態436之前完成第二狀態434之相關任務為丨。值得_ 提的是’資料就緒與否可由多種方式判斷，例如自讀取模 組216接收-中斷訊號、徵詢（p〇1Ung ) 一狀態旗諸（

Flag)等。 在第三狀態436中，路由模組224係連結至c〇M+ 模組216，以回傳資料至C〇M+模組216。接著，程序由 第三狀態436進入第四狀態438。 在第四狀態438中，程序由讀取模組212轉換資

至COM+模組216。當資料之轉換結束後，程序便可蒋卜 與COM+模組之連結。 [使用COM+模組] 圖5A係繪示選擇一 TAPC〇M程序路由 TAPCOMTAP程序路由之COM+模組216所進行之取或 操作的流程圖。舉例而言，讀取模組212所解譯之一护丄 可取決進行TAPCOM或TAPCOMTAP程序路由。 23 1274¾¾ twf.doc/〇〇6 脫離本發明的精神範圍内，熟習此技藝者當能以多種不同 =方式對上述之程序進行修飾。舉例而言，在另—實施例 上述之程序的不同部分可相互結合、相互交替排序、 或被移除等。此程序由第—狀態51〇開始。 ，第-狀態510巾，程序係接絲自讀取模組212 與/或貧料。值得-提的是，上述之指令與/或資料 至其他資料’例如常駐於本區資料庫模組218或 料庫阻202之資料。接著’程序係由第一狀態51〇 進入弟二狀態520。 j第二狀態520巾，程序係執行由指令、所提供之 指定之任務，其可能包括靜態分析等。當任務準 備元成後^程序便由第二狀態520進入第三狀態53〇。 在第三狀態530巾’程序依照指示配置資料。舉例 ，說’若程序路由係由指令指定為一 TApc〇M路徑，則 ，序可儲存計算結果至本區#料賴組加或遠端資料庫 =、、且202 f ’並在貧料庫顯示裝置綱中展示計算結果等 等。在另一例子中，程序路由係由指令指定為一 ^APCOM^P路彳|’則程序可透過路由獅224回傳計 异結果至讀取模組212中。 圖5B係繪示選擇一 c〇MTAp程序路由或 fOMTAPCOM程序路由之c〇M+模组216所進行之取樣 麵作的流程圖。在不脫離本發明的精神範圍内，熟習此技 藝者古能以多種不同的方式對上述之程序進行修飾。舉例 而言，在另-實施例中，上述之程序的不同部分可相互結 twf.doc/006 合、相互交替排序、或被移除等。此程序由第一狀態540 開始。 在第一狀態540中，程序係接收來自機台控制系統110 之使用者的命令（Command )或指示（instruction )。值 得一提的是，上述之使用者並非限定為人員。命令係可取 自一資料輸入裝置，例如滑鼠或鍵盤，或可取自另一主機 系統。接著，程序係由第一狀態540進入一決策方塊550。 在決策方塊550中，程序係決定程序路由選擇為 COMTAP程序路由或c〇MTAPC〇M程序路由。當程序 路由為COMTAP型態時，程序係由決策方塊55〇進入一 第二狀態560。否則，程序則由決策方塊55〇進入一第三 狀態570。 在第二狀態560中，程序轉換使用者選擇之資料與/ 或才曰令至頃取模組212内。舉例而言，上述之資料例如可 為使製造裝置112停機之命令。接著，程序結束。 第一狀態570中，程序亦會轉換使用者自cqm+ ，組216/斤選擇之資料與/或指令至讀取模組212内。接 在由第三狀態570進入第四狀態58〇之前，程序便會 等待直到讀取模組2Π完成要求之動作。 曰 在第四狀態580中’程序接收來自讀取模組212之 其例如可對應所選擇的命令是否由製造裝置 成功執仃。接著，程序結束，並可視 雖然本發明已以佳實施例揭露如上，然其反;^乍以 限疋本發明’任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 1274256 °8l63twf.doc/〇〇6 此本發明之保護 準。 =範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因 fen當視_之申請專利範圍所界定者為 【圖式簡單說明】 圖U會示為應用於製造環境之-主機系統的例子。 圖2緣不為本發明之較佳實施例的__台控制系 為本文之讀取模組應用於步進機一例之程 圖3緣示 序的流程圖<

所推H ΐ示為選擇—TAPC0M程序路由之— 所進仃之程序的流程圖。 、 圖4B繪示為選擇—COMTAP程序路由之路由 所進行之程相流簡。 之路由桓1 模丄4C_i會示為選擇一 tapcomtap程序路由之削 桓、、且所進订之程序的流程圖。 圖4D繪示為選擇一 c〇MTApc〇M程序路由之 模組所進行之程序的流程圖。

圖5A繪示為選擇一 TApc〇M程序路由邊 TAPCOMTAP私序路由之c〇M+才莫組所進行之 的流程圖。 圖5Β繪示為選擇一 c〇MTAp程序路由 COMTAPCOM程序路由之c〇M+模組所進行之取樣 的流程圖。 y 【主要元件符號說明】 100 ··主機整合製造系統 26 ο c/0 Ο 6 102 ··製造執行系統 104 ··企業資源規劃管理系統 110 :機台控制系統 112 :裝置 202 :遠端資料庫模組 204 :資料庫顯示裝置 206 :其他製造執行系統 210 :工具控制系統 212 :讀取模組 214 :轉換模組 216 : COM+模組 218 :本區資料庫模組 220 : TAP 模組 222 :前轉換模組 224 :路由模組 步驟310 ··初始化 步驟320 ··與步進機通訊 步驟330 :是否更新設定 步驟340 :是否使用轉換模組 步驟350 :在本區計算新設定 步驟360 :在遠端計算新設定 步驟370 :接收新設定 步驟380 :傳送新設定至步進機 步驟402 :連結COM+模組 1274說 twf.doc/006 步驟404 :轉換資料與/或指令 步驟412 :連結至讀取模組 步驟414 :轉換資料與/或指令 步驟422 :連結至COM+模組 步驟424 :轉換資料與/或指令 步驟426 :連結至讀取模組 步驟428 :轉換資料 步驟432 :連結至讀取模組 步驟434 :轉換資料與/或指令 _ 步驟436 :連結至COM+模組 步驟438 :轉換資料 步驟510 :接收指令與/或資料 步驟520 :執行要求之運算 步驟530 :依照指示配置資料 步驟540:由使用者接收命令 步驟550 :決定路徑之類型 步驟560 :轉換資料與/或指令至讀取模組 步驟570 :轉換資料與/或指令至讀取模組 步驟580:自讀取模組接收資訊 28

Claims (1)

1274說 twf. d〇c/006 十、申請專利範圍·· L一種機台控制系統，包括·· _制二二具控制系統，用以與減至該機台控制系統之 接錢通訊，哺收製造執㈣狀—指令，並 棱i、機台控制系統之狀態； 卫 取模組’用以與紅具控制系統以及至少一 f 模蚯之’其中讀取模組包括一解譯器，用以對- ΤΑ; 式碼係適二:=;i¥™模組之該原始程 模 料丁 Μ 換模組係與該讀取模組連結，且該轉二 於該騎所選定之程序路由的路由選擇函式更=為對應 一 C〇M+模組，係與該轉換模組通气，並rr^ 模組適於處理CGM+m練^:，、mc〇m+ 該二4=範圍第1項所述之機台控制系統，其中 茨衣4置包括半導體製造裝置。 τ /j 該轉利範圍第1項所述之機台控制系統，其中 一剞轉換模組，用以決定是否 該指令傳送至該C0M+模組；以及°十，出一函式’或將 間之=的=。’ __取·與該_模組 4.如申請專利範圍第3項所述之機台控·統，其中 29 1274¾¾ twf.doc/006 該讀取模組、該前轉換模組以及該路由模組包括說樓 案，而COM+模組包括COM+格式之檔案。 田 ;5.如申+請專利範圍帛】項所述之機台控制系統，其中 j T^P杈組之原始程式碼包括可由該讀取模組解譯與執 行之指令，並包括呼叫該讀取模組之外部函式的指令了 6.如申請專利範圍第i項所述之機台控制系統了 該轉換模組係至少與選自TApc〇M、⑺ΜτΑρ、 :a:COMTAP以及COMTApc〇M四個程序路由的至少 應(Re—— ’該TAPC〇M程序路由 ^對=由该TAP模組至該c〇M+模組之走向的 =Π〇)ΜΤΑΡ程序路由係對應於由該c()M+模組至 μ Ap拉組之走向的資料流，該TAPC〇MTAp程序 ，對應於由該TAP模組至該⑴M+额，並且再回到$ 走向㈣料流，而該CC)MTAPa)M程序路由 係對應於由該C0M+模組至該TA = COM+模組之走向_料流。 I且再口到该 參 ，鐘請專利範圍第6項所述之機台控制系統，发中 ;轉換杈組更用以等待該tapc〇mtap程序路由處理二 而旨該C0M+模組資訊時，便開始等待的動作， :在C〇M+模組準備好提供資料之後，便結束等待的動 糊 1::!請專利範圍第6項所述之機台控制系統，发中 用以等待該c__序路由處理二 k ϋ共該TAP模組資訊時，便開始等 30 twf.doc/006 而在TAP模組準備好提供要求的資料之後，便結束等待 的動作。 9.-種控制製造裝置的方法，包括： 與了製造執行系統通訊，而決定是否使用新設定； 自該製造執行系統接收關於新設定之一第一組參 數； 依據一第—組指令，而控制—製造裝置； 在該第一組指令内擷取關於新設定之一指令； 連結至一 COM+模組，以轉換該第一組參數至該 COM+模組；以及 _等待直到該COM+模組完成對一第二組參數之運 异，其中該第二組參數係由該第一組參數計算而得，並可 直接為該製造裝置所用。 10·如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該製造 裝置包括半導體製造装置。 ^ U·如申請專利範圍帛9工員所述之方法，更包括執行 忒COM+模組内的程式碼，其係以c〇M+格式所寫成。 12·如申請專利範圍第n項所述之方法，其中該製造 裒置係由一第一操作系統控制，而於該c〇M+模組内執 行之程式碼係由不同於該第—操作系統之—第二操作系統 所產生。 13·如申請專利範圍第12項所述之方法，其中該第一 操作系統係IBM⑧OS/2⑧，而該第二操作系統係 Microsoft⑧ Windows⑧。 1274¾¾ twf.doc/〇〇6 • Μ·如申凊專利範圍第13項所述之方法，更包括使用 Visual Basic⑧、Java以及〔++至少其中之一所產生之可執 行的程式碼’以作為該第二操作系統之該CQM+模組所 執行的程式碼。 15. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中控制該 製造裝置係指對原始程式碼進行解譯。 16. —種控制一主機指令之程序路徑的方法，包括： 土接收來自-TAP模組之—指令，其係指定—讀取模 組退端之-函式的執行，其巾該TAp模_於該讀取模 組内執行，且該TAP模組係控制一製造裝置痒. 檢閱該指令’以找出—對應參數，其係指定該遠端 所執行之一程序路徑； ，連結至具有該函式之執行程式碼的該COM+模組， 且當該參數蚊由該TAP模組找Cqm+模組之一程序 路徑時，提供該COM+模組所對應之資訊；以及 連結至具有該函叙執行料碼的該CQM+模組， 提供該COM+模組所對應之資訊，等待該c〇m+模組完 成該函式的計算’當該CqM+模組準備好提供資料時， 連結至用以執行來自該TAP模組之程式碼的該讀取模 組，當該參數指定由該TAP模組流出之—程序路徑時，、 提供運算的絲’輯進行线CQM+模組，並回到該ΤΑρ 模組。 17·如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該 COM+模組所對應之資訊包括資料與指令。 Α 32 I2?4^6 twf.doc/006 I8·如申請專利範圍第16項所述之方法，更包括： 自該COM+模組接收一指令，以作為將於該丁Ap模 、、且内執行之一函式所用；以及 、連結至該讀取模組，並提供該讀取模組對應之資訊， =在該參數指定由該COM+模組至該TAp模組之二程序 苓數時，可為TAP模組所用。

19·如申請專利範圍第16項所述之方法，更包括： 自該COM+模組接收—指令，以作為將於該TAp模 、、且内執行之-函式卿，其巾該指令更指㈣ta 回送一第二資訊；以及 叭、、且 、連結至该碩取模組，並提供該讀取模組一第一資訊， 以使該TAP模組可使贱第—f訊，特該ΤΑρ模組準 備好提供該第二資訊，自該讀取模組接收該第二資訊，當 該參數指定自該C0M+模組流至該ΤΑρ模纟再 ; C0M+模組之—程序路㈣，提供該第二資訊至

^ 20·如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該TAp 模組係對應至原始糾碼，且該讀取模_由對該τΑρ 模組之原始程式碼進行解譯，以執行該原始程式碼。 21.如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該製造 裝置包括半導體製造裝置。 〃 、。 22·—種具有主機-可執行指令之主機_可讀式媒體 (Medium)，用以執行一方法，包括： 接收來自- TAP模組之一指令，其係指定一讀取模 33 twf.doc/006 組遠端之一函式的執行，其中該TAP模組係於該讀取模 組内執行，且該TAP模組係控制一製造裝置之程序； 檢閱該指令，以找出一對應參數，其係指定該遠端 所執行之一程序路徑； 連結至具有該函式之執行程式碼的該COM+模組， 且當該參數指定由該TAP模組至該COM+模組之一程序 路徑時，提供該COM+模組所對應之資訊；以及 連結至具有該函式之執行程式碼之該c〇M+模組， 提供該COM+模組所對應之資訊，等待該c〇M+模組完 成該函式的計算，當COM+模組準備好提供資料時，連 結至用以執行來自該TAP模組之程式碼的該讀取模組， 當該芩數指定由TAP模組流出之一程序路徑時，提供運 算的結果，繼續進行至COM+模組，並回到TAp模組'。 23·如申請專利範_ 22項所述之該主機·可讀式媒 體，更包括主機-可執行指令，以執行_方法，包括： 自該COM+模組接收-指令，以作為將於該ΤΑρ模 組内執行之一函式所用；以及 、 連結至該讀取模組’並提供該讀取模組對應之資訊， 以在該參數指定由該C0M+模組至該ΤΑρ模組之一程 參數時，可為TAP模組所用。 24.如申請專利範圍第22項所述之該主機-可讀式媒 體，更包括主機-可執行指令，以執行一方法，包括： 自該COM+模組接收-指令，以作為將於^ τΑρ模 組内執行之-函式，其中該指令更指定該τΑρ模組 34 twf.doc/006 回送一第二資訊；以及 連結至該讀取模組，並提供該讀取模組一第一資訊， 以使該TAP模組可使用該第一資訊，等待該TAP模組準 備好提供該第二資訊，自該讀取模組接收該第二資訊，當 該參數指定自該COM+模組流至該TAP模組，再回到該 COM+模組之一程序路徑時，提供該第二資訊至該COM+ 模組。