CN1670720A - 机台控制系统 - Google Patents

Abstract

本发明是有关于一种可提高两个以上的不同主机系统(例如用于半导体制造代工厂等制造环境)的兼容性的方法及装置。例如，使用第一操作系统(如IBM公司的OS/2)的第一主机，以及使用第二操作系统(如微软公司Microsoft的WindowsNT)的第二主机。转换模块可让在IBMOS/2操作系统中执行的应用程序读取Microsoft公司的COM+格式的档案。路由模块可自模块转送COM+格式的函式，或将COM+格式的函式转送至此模块。路由模块是依据TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP以及COMTAPCOM等四个程序路径其中之一发送数据。

Description

机台控制系统

技术领域

本发明涉及一种主机软件，且特别是有关于一种可提高制程机台的函式处理效率的一种软件。

背景技术

工作主机可用于例如工厂内的制程自动化，然而，由于每一工作主机可能具有多种不同的组态、操作系统以及程序语言，且一般的软件使用者甚或软件开发人员并非精通每一种可能使用的宿主语言或操作系统，因而使得软件开发人员需对陌生的机器或操作系统进行软件的开发，导致时间与成本上的浪费。

此外，不兼容的主机系统常常可能并存于相同的作业环境中。举例而言，一个加工环境中可能包括一较新的主机系统以及一较旧的主机系统，如此一来，便需要一种可提高不同主机系统的兼容性的方法。

本申请案是依据美国专利法规35 U.S.C.§119(e)主张于2003年5月6号向美国专利局提出申请的临时申请案第60/468,323号的优先权，该专利申请案所公开的内容是完整结合于本说明书中。

发明内容

本发明的实施例是提出一种新技术，其是可加速系统程序的更新。此外，本发明的实施例还可提高两个以上的不同主机系统的兼容性，以使得原先使用近似的主机系统的装置，可有效率地使用其它的主机系统。例如，使用第一操作系统(如IBM公司的OS/2)的第一主机，以及使用第二操作系统(如微软公司Microsoft的Windows NT)的第二主机。本发明的实施例具有一种转换模块，其可让在IBM OS/2操作系统下执行的应用程序，对微软公司的组件客体模式(Component Object Model，以下简称COM+)格式的档案进行存取。

本发明的实施例包括路由模块(Routing Module)，其是可自一具有COM+格式的函式(Function)的模块转出及转入数据。举例而言，此路由模块是使用分别称为TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP以及COMTAPCOM的四个可选择(Selectable)的程序路由(Processing Route)。其中，TAPCOM程序路由是对应于由TAP模块至COM+模块的走向的数据流，而COMTAP程序路由是对应于由COM+模块至TAP模块的走向的数据流。此外，TAPCOMTAP程序路由是对应于由TAP模块至COM+模块，并且再回到TAP模块的走向的数据流，而COMTAPCOM程序路由是对应于由COM+模块至TAP模块，并且再回到COM+模块的走向的数据流。

为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下：

附图说明

图1为应用于制造环境的主机系统的例子。

图2为本发明的较佳实施例的一种机台控制系统。

图3为本文的读取模块应用于步进机一例的程序流程图。

图4A为选择TAPCOM程序路由的路由模块所进行的程序的流程图。

图4B绘示为选择COMTAP程序路由的路由模块所进行的程序的流程图。

图4C绘示为选择TAPCOMTAP程序路由的路由模块所进行的程序的流程图。

图4D绘示为选择COMTAPCOM程序路由的路由模块所进行的程序的流程图。

图5A绘示为选择TAPCOM程序路由或TAPCOMTAP程序路由的COM+模块所进行的取样操作的流程图。

图5B绘示为选择COMTAP程序路由或COMTAPCOM程序路由的COM+模块所进行的取样操作的流程图。

符号说明

100：主机整合制造系统            102：制造执行系统

104：企业资源规划管理系统        110：机台控制系统

112：装置                        202：远程数据库模块

204：数据库显示装置              206：其它制造执行系统

210：工具控制系统                212：读取模块

214：转换模块                    216：COM+模块

218：本区数据库模块              220：TAP模块

222：前转换模块                  224：路由模块

步骤310：初始化                  步骤320：与步进机通信

步骤330：是否更新设定            步骤340：是否使用转换模块

步骤350：在本区计算新设定        步骤360：在远程计算新设定

步骤370：接收新设定              步骤380：传送新设定至步进机

步骤402：连结COM+模块            步骤404：转换数据与/或指令

步骤412：连结至读取模块          步骤414：转换数据与/或指令

步骤422：连结至COM+模块          步骤424：转换数据与/或指令

步骤426：连结至读取模块          步骤428：转换数据

步骤432：连结至读取模块          步骤434：转换数据与/或指令

步骤436：连结至COM+模块          步骤438：转换数据

步骤510：接收指令与/或数据       步骤520：执行要求的运算

步骤530：依照指示配置数据        步骤540：由使用者接收命令

步骤550：决定路径的类型

步骤560：转换数据与/或指令至读取模块

步骤570：转换数据与/或指令至读取模块

步骤580：自读取模块接收信息

具体实施方式

自动化技术是普遍应用于例如工厂等制造环境，其中大量应用机器进行生产制程的制造环境，其制程步骤的自动化更为常见，例如半导体制造的代工厂(Foundry)即为一高自动化的制造环境。此外，除文中所述的半导体制造、以及IBM OS/2与Microsoft Windows操作系统之外，本发明的技术基于其原理以及优点，还可应用于例如汽车制造、食品加工、药物制造等其它类型的自动化制造环境，以及其它的操作系统。

图1绘示为制造环境的主机系统的例子。半导体制造代工厂以及其它较复杂的制造环境，通常具有较多相互作用的主机系统。举例而言，代工厂内的主机整合制造(Computer Integrated Manufacturing，CIM)系统100通常包括不同的系统，例如一制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)102、企业资源规划管理(Enterprise Resource Planning，ERP)系统104、排程软件(Scheduling Software)、工程系统(Engineering System)以及良率监测系统(Yield Monitoring System)等。

制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)102是控制最上级的产品制程，而此制造执行系统102例如可为目前业界所使用的IBM公司的SiView标准版。一般而言，一个代工厂所具有的制造执行系统并不多，例如一个代工厂仅通过一个制造执行系统运作。在实施例中，制造执行系统102是相当于控制整个代工厂的制造系统的中央主机系统。当然，在合理的范围内，制造执行系统102也可被分散，也就是通过多个制造执行系统102来控制一个代工厂。

制造执行系统102可耦接至一个或多个机台控制系统(Machine ControlSystem，MCS)，而一个机台控制系统110可耦接至一个或多个制造装置112，其中关于机台控制系统110的详细构造将配合后述的图2进行说明。此外，企业资源规划管理系统104可整合例如企划(Planning)、销售(Sale)、存货管理(Inventory control)以及订单追踪(Order tracking)等商业活动。

[机台控制系统110]

图2是绘示本发明的较佳实施例的一种机台控制系统110，而一制造环境中可能具有较多的机台控制系统。在本实施例中，机台控制系统110是对应于一本区主机系统，其是与制造执行系统102通信(Communicate)，并控制所对应的制造装置112的运作。然而，由于机台控制系统110可能被设定在习用的操作系统的下运作，例如IBM OS/2，因此便可能发生经验较为不足的软件开发人员对此操作系统不熟悉的问题。

如图2所示，机台控制系统110是耦接至制造执行系统102、一个或多个制造装置112、一远程数据库模块(Remote Database Module)202、一数据库显示装置(Database Display Device)204以及其它适用的制造执行系统206。当然，机台控制系统110以及绘示于图1的其它系统，更可与比图2所示更多或比图2所示为少的系统相互耦接。

图2所绘示的机台控制系统110包括一工具控制系统(Tool Control System，TCS)210，一读取模块(Access Module)212、一转换模块(Transfer Module)214、一COM+模块216以及一本区数据库模块(Local Database Module)218，熟悉此项技术者当可得知，其可改变产品制程以生产新的组件，并可改善良率、加速生产速度以及容许装置的变动等等。由于本发明的实施例包括机台控制系统，因此有助于以较为快速且较有效率的方式进行修改与/或更新。

工具控制系统210是对应于机台控制系统110所使用的应用程序，以与制造执行系统102通信(Communicate)。因此，工具控制系统210可让制造执行系统102与耦接于机台控制系统110的制造装置112通信。在一实施例中，工具控制系统210是在Microsoft Windows以外的其它运作系统(如IBM OS/2)之下运作。

[读取模块212]

读取模块212包括一个或多个TAP模块220，其中TAP模块220是相当于工具控制系统210所使用的一译码器(Interpreter)，并对制造装置112所提供的原始程序代码(Source Code)进行译码。在一实施例中，每一制造装置112是对应有TAP模块220。举例而言，TAP模块可对应于IBM公司的TTCORTAP.DLL档案，其是对应于动态链接库档案。此动态链接库档案可透过静态或动态连结至DLL文件，以提供函式及/或数据至其它的应用，例如工具控制系统210。因此，TAP模块220可设定、控制以及监测制造装置112。在本发明的实施例中，TAP模块220是相当于延伸有“tap”档的原始程序代码档案。多种制造装置112是可耦接至TAP模块220，以下是为可与文中所述的半导体代工厂的TAP模块220耦接的制造装置的几个例子：用以在装置之间自动搬运或传送晶圆的机器人手臂、用以在晶圆上涂布光阻以及形成所需图案的显影系统、用于所需图案的曝光的步进机、用于所需图案的曝光的深紫外光机台、同样用于所需图案的曝光的扫描机台、用以植入离子的掺杂植入机台、用于热氧化的炉管、用以蚀刻材料的蚀刻设备以及其它装置等。

常用的机台控制系统是通过TAP模块进行程序代码的修改及/或更新。在实施例中，TAP模块220是相当于通过读取模块212进行译码的原始程序代码的模块。在另一实施例中，TAP模块可包括已进行编译(Compiled)的程序代码。TAP模块在设计上可能比通过COM或COM+设计难，因此其软件开发的效率相对较低。在常用的系统中，当TAP模块有所改变时，常用的机台控制系统便处于无法运作(Inoperative)的状态。如此一来，不仅使得软件的开发成本昂贵，更使得整个机台控制系统无法使用于例如编码(Coding)、测试(Testing)以及除错(Debugging)等需要延长时间周期的动作。

本发明的实施例让TAP模块220的程序代码较为简单，因此有助于简化软件的开发，并可缩短机台控制系统110的停机时间(Downtime)。TAP模块220的较为简单的程序代码是参照(Reference)COM+模块216的功能程序代码。举例而言，在实施例中，修正后的TAP模块220内的原始程序代码是通过增加一行或多行具有关键词的程序代码，例如“FUNCTION”，以进行修改。当读取模块212在程序代码内读到此关键词时，便由转换模块进行指令或参数的执行，以进行进一步的程序。在上述的本发明的实施例中，转换模块212包括一前转换模块222以及路由模块224，下文将有更详细的描述。当读取模块212读到TAP模块220的程序代码与/或参数内的关键词的指定，是由COM+模块216进行进一步的步骤时，读取模块212便连结至转换模块214(通过前转换模块222以及路由模块224)，并与COM+模块216连结。在实施例中，由于用以加入关键词及相关参数至合适的TAP模块220，以及重新激活机台控制系统110的总时间较短，因此有助于缩短机台控制系统110的停机时间。有关于读取模块212的使用上的例子，将于后述的图3的相关叙述中详细说明。

[转换模块214]

转换模块214包括函式与/或数据，其是可由嵌入(embeded)于TAP模块220的原始程序代码内的诸如函式呼叫指令(function cail)等进行读取。在常用的机台控制系统中，常用的转换模块可相当于一TTURTAP.DLL档案。在本发明的实施例中，转换模块214包括前转换模块222以及路由模块224，此两者将于下文中详细描述。

下面的例子是描述可被写入TAP模块220的原始程序代码内的一些类型的函式。举例而言，TAP模块220可用以与基本运作系统(Underlying OperatingSystem)通信。TAP模阻220更可用以透过工具控制系统210，而与制造执行系统102通信，以接受指令并提供状态。TAP模块220可用以控制并接收制造装置112的状态。TAP模块220也可用以执行计算动作，其中这些计算操作可被编写(Coded)至TAP模块中或COM+模块216中，并可参照自TAP模块220。TAP模阻220也可用以供其它主机系统(例如其它的制造执行系统206)执行计算操作。

[COM+模块216]

在实施例中，软件开发人员可于机台控制系统110仍在运作时，对COM+模块内的适当档案建立或修改原始程序代码，因此有助于缩短机台控制系统110的停机时间。在完成原始程序代码的修改之后，软件开发人员可停止机台控制系统110的运作，修改TAP模块至符合适当的参照，例如一个“FUNCTION”呼叫参照以及相关参数(或拷贝一离线修改的原始程序代码档案至TAP模块)，并重新激活机台控制系统110或读取模块212来加载组态重置(Reconfigured)的TAP模块。

在本发明的实施例中，COM+模块216可处理微软公司的COM或COM+格式的程序代码。组件客体模式是定义客体以及客体间通信的二位标准。COM+模块216可包括DLL档案、执行档以及上述二者的组合。此标准化操作有助于软件开发人员利用相对较多的时间实际编写有作用的程序代码，而利用较少的时间撰写例行作业的程序代码，例如初始化的程序代码、移动数据的程序代码、操作系统的界面程序代码以及其它程序代码等。此外，例如COM或COM+等现时(Contemporary)的格式，利于得到较多无法使用于常用系统(如IBM OS/2)的程序工具或程序语言的支持。这些程序工具与/或软件例如包括Visual Basic、Java、C++等。

然而，常用执行IBM OS/2的主机系统并不适用于COM或COM+格式的处理程序代码。因此，更新或修改常用主机系统(如常用的机台控制系统)的程序代码的软件开发人员，是在常用的机台控制系统所执行的本族(Native)程序代码(例如IBM OS/2操作系统的程序代码)中，写下对于程序代码的修改或更新。举例而言，为了修正常用的机台控制系统的运作，软件开发人员可修改由工具控制系统210或读取模块212执行的原始程序代码。对读取模块212而言，原始程序代码可展示于TAP模块220中，但由于TAP模块220或转换模块214可能包含以IBM OS/2操作系统为界面的原始程序代码，因而对于经验不足的软件开发人员来说，在程序撰写上较为困难也较为陌生。

本发明的实施例有助于让软件开发人员有效率地开发现时格式的程序代码，例如微软的COM或COM+格式，甚或常用的IBM OS/2的操作系统。此有助于让机台控制系统110以有效率的方式快速修正与/或更新。举例而言，关于统计数据、图表或其它分析的计算函式可通过COM+模块216来执行。虽然这些可执行的程序代码甚或其所对应的原始程序代码也可在机台控制系统110中执行，但COM+模块216内的可执行的程序代码的配置利于将需进行修改的程序代码配置于机台控制系统110的较易于读取的部分。举例而言，COM+模块216的可执行的程序代码利于在机台控制系统110运作时进行修改。额外的函式也可在COM+模块216中执行，而TAP模块内也可加入函式呼叫指令，以有效缩短机台控制系统110的停机时间。在一实施例中，COM+模块216更选择性地与其它的制造执行系统206通信，以共享档案与连结。此操作可让COM+模块与例如其它代工厂共享与/或传输原始程序代码。关于COM+模块216的详细内容，将于后述的图5A及5B中说明。

本区数据库模块218可用以储存数据，例如COM+模块的计算结果。在实施例中，本区数据库模块218并非必要构件。本区数据库模块218也可耦接至远程数据库模块202，以进行数据的远程储存，并可接至数据库显示装置204，以进行数据的检查。数据库显示装置204是相当于计算机屏幕、打印机、制图机、扬声器等装置。值得一提的是，机械控制系统110还可耦接至数据输入装置，例如键盘、鼠标、移动式驱动器等装置。

[前转换模块222以及路由模块224]

在本发明所述的实施例中，转换模块214包括一前转换模块222以及一路由模块224。在实施例中，前转换模块222包括常用的转换模块的功能，并且是一DLL档案。此外，前转换模块222还包括通过路由模块224检复(Retrieve)额外函式与/或数据的功能。此有助于让未在前转换模块222展示(Present)的函式透过前转换模块222进行检复，因而可让TAP模块读取更多函式。在一实施例中，前转换模块222是使用同样的关键词，例如TAP模块所使用的“FUNCTION”，以读取额外的函式。

路由模块224是对储存有函式以及数据的COM+模块216所输入或输出的函式与/或数据进行转换。COM+模块216利于在Microsoft Windows的环境下使用。路由模块224是定义来自COM+模块的函式与/或数据的程序路由(Processing Route)。在实施例中，路由模块224使用四个程序路由，在此分别称作TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP以及COMTAPCOM。在另一实施例中，路由模块224是使用少于四个的程序路由，例如一个、两个、三个等选自上述族群的程序路由。在一实施例中，路由模块224也可为DLL档案，并可于IBM OS/2的环境中执行。此类型的路由模块可通过以TAP模块220的函式呼叫指令的参数进行命名的程序路由来辨别。举例而言，一函式呼叫指令可包括一关键词，例如“FUNCTION”，并包括一程序路由，例如TAPCOMTAP，也包括所需函式的名称或其它例如文件名称、数据位置、数据大小等相关信息。

TAPCOM程序路由是对应于由TAP模块220执行程序呼叫指令的后，经由前转换模块222以及路由模块224，而到达COM+模块216的数据流。TAPCOM程序路由利于通过TAP模块220进行函式呼叫，以决定进行例如储存数据至本区数据库模块218或远程数据库模块202，与/或在数据库显示装置204上展示数据等操作。本区数据库模块218或远程数据库模块202所储存的数据可在之后收回以进行分析。TAPCOM程序路由的过程是在图4A及其相关叙述中详细说明。

COMTAP程序路由是对应于由COM+模块到达TAP模块220，以执行程序呼叫指令的数据流。在一实施例中，COMTAP程序路由的数据流是为命令TAP模块220停止制造装置112的指令。举例而言，COM+模块216可计算一个程序何时停止，而COMTAP程序路由是提供一路径，以使TAP模块220接收COM+模块216所发出的程序何时停止的指令。在一实施例中，当TAP模块220在等待数据由COM+模块216回送时，TAP模块220可暂停指令的程序。TAPCOM程序路由的过程是在图4B及其相关叙述中详细说明。

TAPCOMTAP程序路由是对应于由TAP模块220到达COM+模块216，再回到TAP模块220执行程序呼叫指令的数据流。举例来说，TAPCOMTAP程序路由可传送数据至COM+模块216中，以使COM+模块216对数据进行一些分析计算，再将结果回传至TAP模块220。TAPCOMTAP程序路由的过程是在图4C及其相关叙述中详细说明。

COMTAPCOM程序路由是对应于由COM+模块216到达TAP模块220，再回到COM+模块216的数据流。COMTAPCOM程序路由可用以达到与COMTAP程序路由相同的目的。此外，COMTAPCOM程序路由可让数据回到COM+模块，因此TAP模块220所收集的程序数据可被储存在本区数据库模块218或远程数据库模块202内，与/或可被展示于数据库显示装置204中。COMTAPCOM程序路由的过程是在图4D及其相关叙述中详细说明。

[使用读取模块212]

图3是本文的读取模块212应用于步进机(Stepper)一例的程序的流程图。在实施例中，读取模块212的程序是由TAP模块220的对应于步进机的原始程序代码所明确指定，且原始程序代码是由读取模块212内的一译码器进行译码。在另一实施中，TAP模块220包括以完成编译(Compiled)的程序代码。值得一提的是，上述的原理亦可应用于其它类型的制造装置112。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。举例而言，在另一实施例中，上述的程序的不同部分可相互结合、相互交替排序、或被移除等。此程序是由第一状态310开始，其中步进机是进行初始化的动作。接着，程序由第一状态310进入第二状态320。

在第二状态320中，程序是与步进机通信，以得到步进机的相关信息，例如步进机的识别符码(Identifier)、步进机的运作状态、步进机可能使用的罩幕(Mask)的状态等等。接着，程序由第二状态320进入第一决策方块330。

在第一决策方块330中，程序是决定是否更新步进机的设定值。程序可与工具控制系统210通信，以决定是否使用新设定值。若不需使用新设定值，则程序结束。否则，程序是由第一决策方块330进入第二决策方块340，以计算新的设定值。

在第二决策方块中，程序是决定在本区或远程进行设定值的运算。在一实施例中，程序是通过寻找原始程序代码中的关键词(例如“FUNCTION”)来做决定。当程序要于本区执行，例如当TAP模块220的原始程序代码可计算出新的设定值时，则程序是由第二决策方块340进入到第三状态350，其中是由读取模块212进行上述的计算。此外，当程序要在远程执行时，程序是由第二决策方块340进入到第四状态360

在第四状态360中，程序是转换对应的参数至转换模块214中，以对设定值进行远程运算。转换模块214是依原始程序代码来决定执行运算，或依序传送计算数据至路由模块224以及COM+模块216中。接着、程序由第四状态360进入第五状态370。

在第五状态370中，程序是接收由转换模块214，或透过转换模块214而由COM+模块216传送而来的新设定值，并由第五状态370进入第六状态380。

在第六状态380中，程序是传递新的设定值至步进机。其中，新的设定值可透过第三状态350进行本区运算，或透过第四状态360进行远程运算而得。接着，结束程序，并可视需求再反复操作。

[使用路由模块224]

图4A是绘示选择一TAPCOM程序路由的路由模块224所进行的程序的流程图。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。此程序是由第一状态402开始。在第一状态402中，路由模块224是连结至COM+模块216，以使用COM+模块216的资源。接着，程序由第一状态402进入第二状态404。

在第二状态404中，程序是转换读取模块212的数据与/或指令至COM+模决216中。当信息转换完成后，程序便删除与COM+模块216的连结。值得一提的是，此程序也可因应TAPCOM程序路由的呼叫而重复执行。

图4B是绘示选择一COMTAP程序路由的路由模块224所进行的程序的流程图。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。此程序例如可通过一机台控制系统110的使用者进行初始化。此程序是由第一状态412开始，其中程序是连结至读取模块212。接着，程序由第一状态412进入第二状态414。

在第二状态414中，程序转换COM+模块216的数据与/或指令至读取模块212中。此程序可通过例如提供一可将数据定位的数据，例如文件名称(Filename)、存储地址(Memory Address)与字节范围(Byte Range)、数据库记录识别符码(Database Record Identifier)等，来增加数据转换的速度。当数据的转换结束后，程序便可删除与读取模块212的连结。

图4C是绘示选择一TAPCOMTAP程序路由的路由模块224所进行的程序的流程图。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。此程序是由第一状态422开始。在第一状态422中，路由模块224是连结至COM+模块216，以使用COM+模块216的资源。接着，程序由第一状态422进入第二状态424。

在第二状态424中，程序转换读取模块212的数据与/或指令至COM+模块216中。当数据的转换结束后，程序便可删除在第一状态422中与COM+模块216所形成的连结。接着，程序是由第二状态424进入第三状态426。在一实施例中，程序从第二状态424至第三状态426时需等候一过渡期，直到COM+模块216完成提供所需数据的准备。举例而言，TAPCOMTAP程序路由可用以从制造装置112传送数据至COM+模块216中，以对数据进行分析，并回收分析后的数据。程序可等候直到COM+模块216准备好输出分析后的数据为止。值得一提的是，数据就绪与否可由多种方式判断，例如自COM+模块216接收一中断信号、征询(Polling)一状态标志(Status Flag)等。

在第三状态426中，程序是连结至读取模块212，以回传相关数据。接着，程序由第三状态426进入第四状态428。

在第四状态428中，程序由COM+模块216转换数据至读取模块212。此程序可通过例如提供一可将数据定位的数据，例如文件名称(Filename)、存储地址(Memory Address)与字节范围(Byte Range)、数据库记录识别符码(Database Record Identifier)等，来增加数据转换的速度。当数据的转换结束后，程序便可删除与读取模块212的连结。

图4D是绘示选择一COMTAPCOM程序路由的路由模块224所进行的程序的流程图。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。此程序例如可通过一机台控制系统110的使用者进行初始化。此程序是由第一状态432开始，其中程序是连结至读取模块212。接着，程序由第一状态432进入第二状态434。

在第二状态434中，程序转换COM+模块216的数据与/或指令至读取模块212中。当数据的转换结束后，程序便可删除与读取模块212的连结。在一实施例中，程序从第二状态434至第三状态436时需等候一过渡期，直到COM+模块216完成提供所需数据的准备。举例而言，COMTAPCOM程序路由可用以从制造装置112传送一命令至COM+模块216中，例如一停止程序的命令。此外，COMTAPCOM程序路由可用以接收制造装置112回传的状态，例如特定的程序是否成功执行的指示。程序可能需等候，直到读取模块212输出一指令，表示已在进入第三状态436的前完成第二状态434的相关任务为止。值得一提的是，数据就绪与否可由多种方式判断，例如自读取模块216接收一中断信号、征询(Polling)一状态标志(Status Flag)等。

在第三状态436中，路由模块224是连结至COM+模块216，以回传数据至COM+模块216。接着，程序由第三状态436进入第四状态438。

在第四状态438中，程序由读取模块212转换数据至COM+模块216。当数据的转换结束后，程序便可删除与COM+模块的连结。

[使用COM+模块]

图5A是绘示选择一TAPCOM程序路由或TAPCOMTAP程序路由的COM+模块216所进行的取样操作的流程图。举例而言，读取模块212所译码的一指令可取决进行TAPCOM或TAPCOMTAP程序路由。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。举例而言，在另一实施例中，上述的程序的不同部分可相互结合、相互交替排序、或被删除等。此程序由第一状态510开始。

在第一状态510中，程序是接收来自读取模块212的指令与/或数据。值得一提的是，上述的指令与/或数据也可参照至其它数据，例如常驻于本区数据库模块218或远程数据库阻202的数据。接着，程序是由第一状态510进入第二状态520。

在第二状态520中，程序是执行由指令、所提供的数据等所指定的任务，其可能包括静态分析等。当任务准备完成后，程序便由第二状态520进入第三状态530。

在第三状态530中，程序依照指示配置数据。举例来说，若程序路由是由指令指定为一TAPCOM路径，则程序可储存计算结果至本区数据库模块218或远程数据库模块202中，并在数据库显示装置204中展示计算结果等等。在另一例子中，程序路由是由指令指定为一TAPCOMTAP路径，则程序可透过路由模块224回传计算结果至读取模块212中。

图5B是绘示选择一COMTAP程序路由或COMTAPCOM程序路由的COM+模块216所进行的取样操作的流程图。在不脱离本发明的精神范围内，熟悉此技术者当能以多种不同的方式对上述的程序进行修饰。举例而言，在另一实施例中，上述的程序的不同部分可相互结合、相互交替排序、或被删除等。此程序由第一状态540开始。

在第一状态540中，程序是接收来自机台控制系统110的使用者的命令(Command)或指示(Instruction)。值得一提的是，上述的使用者并非限定为人员。命令是可取自一数据输入装置，例如鼠标或键盘，或可取自另一主机系统。接着，程序是由第一状态540进入一决策方块550。

在决策方块550中，程序是决定程序路由选择为COMTAP程序路由或COMTAPCOM程序路由。当程序路由为COMTAP型态时，程序是由决策方块550进入第二状态560。否则，程序则由决策方块550进入第三状态570。

在第二状态560中，程序转换使用者选择的数据与/或指令至读取模块212内。举例而言，上述的数据例如可为一使制造装置112停机的命令。接着，程序结束。

在第三状态570中，程序也会转换使用者自COM+模块216所选择的数据与/或指令至读取模块212内。接着，在由第三状态570进入第四状态580之前，程序便会等待直到读取模块212完成要求的动作。

在第四状态580中，程序接收来自读取模块212的特定信息，其例如可对应所选择的命令是否由制造装置112成功执行。接着，程序结束，并可视需求再反复操作。

虽然本发明已以佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当根据权利要求中所界定的为准。

Claims (24)

1.一种机台控制系统，其特征在于：包括：

工具控制系统，用以与耦接至该机台控制系统的制造执行系统通信，以接收制造执行系统的指令，并提供机台控制系统的状态；

读取模块，用以与工具控制系统以及至少一制造装置通信，其中读取模块包括译码器，用以对TAP模块的原始程序代码进行译码，且该TAP模块的该原始程序代码是适于控制该制造装置；

转换模块，是与该读取模块通信，其中当该TAP模块的原始程序代码指定一函式输出至该读取模块时，该转换模块是与该读取模块连结，且该转换模块还设定为对应于该指令所选定的程序路由的路由选择函式；以及

COM+模块，是与转换模块通信，其中该COM+模块适于处理COM+格式的原始程序代码。

2.如权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于：该制造装置包括半导体制造装置。

3.如权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于：该转换模块包括：

前转换模块，用以决定是否计算出一函式，或将该指令传送至该COM+模块；以及

路由模块，用以控制该读取模块与该COM+模块间的信息的通路。

4.如权利要求3所述的机台控制系统，其特征在于：读取模块、前转换模块以及路由模块包括DLL档案，而COM+模块包括COM+格式的档案。

5.如权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于：该TAP模块的原始程序代码包括可由该读取模块译码与执行的指令，并包括呼叫该读取模块的外部函式的指令。

6.如权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于：该转换模块是至少与选自TAPCOM、COMTAP、TAPCOMTAP以及COMTAPCOM四个程序路由的至少其中之一相呼应，该TAPCOM程序路由是对应于由该TAP模块至该COM+模块的走向的数据流，而该COMTAP程序路由是对应于由该COM+模块至该TAP模块的走向的数据流，该TAPCOMTAP程序路由是对应于由该TAP模块至该COM+模块，并且再回到该TAP模块的走向的数据流，而该COMTAPCOM程序路由是对应于由该COM+模块至该TAP模块，并且再回到该COM+模块的走向的数据流。

7.如权利要求6所述的机台控制系统，其特征在于：该转换模块还用以等待该TAPCOMTAP程序路由处理一指令，当提供该COM+模块信息时，便开始等待的动作，而在COM+模块准备好提供数据之后，便结束等待的动作。

8.如权利要求6所述的机台控制系统，其特征在于：该转换模块还用以等待该COMTAPCOM程序路由处理一指令，当提供该TAP模块信息时，便开始等待的动作，而在TAP模块准备好提供要求的数据之后，便结束等待的动作。

9.一种控制制造装置的方法，其特征在于：包括：

与一制造执行系统通信，而决定是否使用新设定；

自该制造执行系统接收关于新设定的第一组参数；

依据第一组指令，而控制制造装置；

在该第一组指令内撷取关于新设定的指令；

连结至COM+模块，以转换该第一组参数至该COM+模块；以及

等待直到该COM+模块完成对第二组参数的运算，其中该第二组参数是由该第一组参数计算而得，并可直接为该制造装置所用。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：该制造装置包括半导体制造装置。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于：还包括执行该COM+模块内的程序代码，其是以COM+格式所写成。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于：该制造装置是由第一操作系统控制，而在该COM+模块内执行的程序代码是由不同于该第一操作系统的第二操作系统所产生。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于：该第一操作系统是IBMOS/2，而该第二操作系统是Microsoft Windows。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于：还包括使用Visual Basic、Java以及C++至少其中之一所产生的可执行的程序代码，以作为该第二操作系统的该COM+模块所执行的程序代码。

15.如权利要求9所述的方法，其特征在于：控制该制造装置是指对原始程序代码进行译码。

16.一种控制主机指令的程序路径的方法，其特征在于：包括：

接收来自TAP模块的指令，其是指定读取模块远程的函式的执行，其中该TAP模块是在该读取模块内执行，且该TAP模块是控制制造装置的程序；

检阅该指令，以找出一对应参数，其是指定该远程所执行的程序路径；

连结至具有该函式的执行程序代码的该COM+模块，且当该参数指定由该TAP模块至该COM+模块的程序路径时，提供该COM+模块所对应的信息；以及

连结至具有该函式的执行程序代码的该COM+模块，提供该COM+模块所对应的信息，等待该COM+模块完成该函式的计算，当该COM+模块准备好提供数据时，连结至用以执行来自该TAP模块的程序代码的该读取模块，当该参数指定由该TAP模块流出的一程序路径时，提供运算的结果，继续进行至该COM+模块，并回到该TAP模块。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于：该COM+模块所对应的信息包括数据与指令。

18.如权利要求16所述的方法，其特征在于：还包括：

自该COM+模块接收一指令，以作为将在该TAP模块内执行的一函式所用；以及

连结至该读取模块，并提供该读取模块对应的信息，以在该参数指定由该COM+模块至该TAP模块的程序参数时，可为TAP模块所用。

19.如权利要求16所述的方法，其特征在于：还包括：

自该COM+模块接收指令，以作为将在该TAP模块内执行的函式所用，其中该指令还指定该TAP模块回送第二信息；以及

连结至该读取模块，并提供该读取模块第一信息，以使该TAP模块可使用该第一信息，等待该TAP模块准备好提供该第二信息，自该读取模块接收该第二信息，当该参数指定自该COM+模块流至该TAP模块，再回到该COM+模块的程序路径时，提供该第二信息至该COM+模块。

20.如权利要求16所述的方法，其特征在于：该TAP模块是对应至原始程序代码，且该读取模块通过对该TAP模块的原始程序代码进行译码，以执行该原始程序代码。

21.如权利要求16所述的方法，其特征在于：该制造装置包括半导体制造装置。

22.一种具有主机-可执行指令的主机-可读式媒体，用以执行一方法，其特征在于：包括：

接收来自一TAP模块的指令，其是指定读取模块远程的函式的执行，其中该TAP模块是在该读取模块内执行，且该TAP模块是控制制造装置的程序；

检阅该指令，以找出一对应参数，其是指定该远程所执行的程序路径；

连结至具有该函式的执行程序代码的该COM+模块，且当该参数指定由该TAP模块至该COM+模块的程序路径时，提供该COM+模块所对应的信息；以及

连结至具有该函式的执行程序代码的该COM+模块，提供该COM+模块所对应的信息，等待该COM+模块完成该函式的计算，当COM+模块准备好提供数据时，连结至用以执行来自该TAP模块的程序代码的该读取模块，当该参数指定由TAP模块流出的一程序路径时，提供运算的结果，继续进行至COM+模块，并回到TAP模块。

23.如权利要求22所述的该主机-可读式媒体，其特征在于：还包括主机-可执行指令，以执行一方法，包括：

自该COM+模块接收一指令，以作为将在该TAP模块内执行的一函式所用；以及

连结至该读取模块，并提供该读取模块对应的信息，以在该参数指定由该COM+模块至该TAP模块的程序参数时，可为TAP模块所用。

24.如权利要求22所述的该主机-可读式媒体，其特征在于：还包括主机-可执行指令，以执行一方法，包括：

自该COM+模块接收一指令，以作为将于该TAP模块内执行的函式所用，其中该指令还指定该TAP模块回送第二信息；以及

连结至该读取模块，并提供该读取模块第一信息，以使该TAP模块可使用该第一信息，等待该TAP模块准备好提供该第二信息，自该读取模块接收该第二信息，当该参数指定自该COM+模块流至该TAP模块，再回到该COM+模块的程序路径时，提供该第二信息至该COM+模块。

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