TWI258169B - Method and system to control processing parameters and specifications - Google Patents

Description

1258169 1 5746twf. doc/g 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於-種製程參數與規格的控制 特別是有關於-齡考紅程_域件，而麵規 換控制的一種製程參數與規格的控制方法。 σ寻 【先前技術】 在目刖工廠i造指示系統中，以下簡稱基準情報系 統，對線上所有產品的各個製程都會依工程師的需求訂定 製造規格（Specification)。而在博塞頓製造執系統 (Poseidon manufacturing execution system) ’ 以下簡稱 mes、、， 的控制中，會依基準情報所下的指示，按照該產品的產品 別（Prod Π))或製造方式（Technok)gy)，再配合上工程碼 (Process code )及機台（To〇i)的變化來訂定不同的規格控 制。意即在相同的條件下，包括相同產品別、製作方式， 以及工程碼，只能依據不同的目前機台來達到區分不^的 規格控制。 對產品工程品質的控制方面，基準情報系統由先前資 訊^集功能（Feed forward function)來控制。此功能會收 集前工程的機台資訊例如製造規格，以及製造配方 (Recipe)，來決定控制工程機台的製造配方。^因功能 開發未盡完善，以致線上產品若只參考上述功能中前工程 的製造規格以及製造配方，將無法針對各個機台訂定不同 的製造規格。現行作法只能將目標物的製造規格放寬，無 法量身訂作屬於該機台本身的製造規格。 ⑧ 5 1258169 15746twf.doc/g 在案例中如果由前工程所生產之膜厚的段差不 同，將使付後工紅的濕餘刻（Wet)機台使用不同的製造 配方來製造。若無法姆於不同的製造配方來制定合乎其製 程的規格，則將造成機台的製造品質不穩定。 在另案例中，蚋工程之關鍵層例如電晶體閘(TG)層 蝕刻後，由掃描式電子顯微鏡（SCanning dectron microscope，SEM )所量測出來的關鍵尺寸（〔郝-dimension，CD)值會影響某*電性參數而致影響良率 (Y’。而改由後卫程自我對準控制系統（挪响麵邮 control，SAC)以植入的方式採甩不同劑量（D〇sa㈣來調 整電性。但由於目前的規格制定寬鬆，若機台出現異常或 内部程式執行錯誤，可能無法㈣發現並作處理。 【發明内容】 本^月的目的就是在提供一種製程參數與規格的控制 二’L造執行子系統能將原控制工韻規格控制資訊以 π = 製程條件—起納人考量。而㈣鋪後丄程機台的 :於軸纟的製造規格而魏祕控繼品規格 成果。 ㈣51明3另—目的就是在提供一種製程參數與規格的 包括設定一控制參數組，並在取得所有控 制、1牛^的參數值後’㈣依據狀條件來決定下-個 ’若資訊取得量不足，則停止控制機台的操作。 糸姑，ΐ㈣I提供—㈣程參數與規格的控制 ’、、' /、併考量控制機台與先前機台的各種參數，藉此 1258169 1 5746t\vf.doc/g 以提供控制機台一個更精確的產出規格。 本發明提出一種製程參數與規格的控 、，以 至少一個先前機台中收集相關資訊，接 / 。百先從

關資訊決定控制機台的產出規格。i中，化集的相 制機台之前對同-批目標物進行處理的機台錢台是在控 依照本發明的較佳實施例所述之製程;數與 制方法，其巾決定控台誠出規格時，機^ =相關資訊包括先前機台的製造配方、製造= 依照，發明的較佳實施例所述之製程參數與規格的控 制方法，最後則以產出規格判定由控制機台對目標物^ 行的處理是否合乎標準。 本發明提出一種製程參數與規格的控制方法，其中包 括設定一控制參數組，以及收集控制參數組中的控制參數 的參數，。其中，控制參數組中的至少一部份控制參數的 參數值是從至少一個先前機台中收集而得。然後，根據控 制參數組的參數值決定一控制機台的一產出規格，並在控 制參數組中的參數值取得量少於一預定條件時，停止控制 機台的操作。其中，該先前機台是在控制機台之前對同一 批目標物進行處理的機台。 本發明另提出一種製程參數與規格的控制系統。此控 1258169 15746twf.doc/g 制系統包括情報提供子系統、規格轉換控制子系統與製程 控^子糸統。其中，情報提供子系統收集與控制機台相關 的資几义以及與在該控制機台之前對同一批目標物進行處 理的先前機台相關的資訊。規格轉換控制子系統根據與控 制機台以及先前機台相關的資訊來設定控制機台的產出規 格衣私控制子系統則根據此一產出規格以控制 的製造參數。 根f上述，原本有需要做規格轉換的產品，需要基準 情報人貝的介人，以人丄的方搞該產品轉換製造流程， 不同規格的要求。待該產品結束製程後再轉回原 找饥私。本發明因可以事先設定相關資料，系統便會依 照設定來轉換規格，因此可以減少大量人工操作，更可以 避免產生一些不必要的人為錯誤。 人有些生產的控制因製程的因素無法轉換製造流程，為 口了^乎所有產品的規格，必需放寬該規格的上下限，而有 產生一些無法預期的問題。本發明因對於規格要求更 ^ 致使不同的產品皆能符合其規定的目標值，相對地 產品的品質也能夠獲得提升。 夂…有二幻工程的機台特性相同，但製造出來的目標物規 大不相同’因而無法相互調記運用。本發明因可依照 月^1工私各機台的不同特性來決定控制工程的規格，故可以 達到機〇相互凋配、提升產能之功效。另外，本發明亦可 乂自動4欢查規格是否正嫁，以期減少使用到錯誤規格控制 的機會。 1258169 1 5746twf.doc/g ^ ti ^ τ € ^£ 11 明如下。 j亚配合所附圖式，作詳細說 【實施方式】 圖1疋依照本發明一較佔者#γ丨 轉換的控㈣統方塊圖。^示的—種製程規格 製造資訊m並導二格^=工程110的機台中收集 到達控制工程m的站叫，、^；_ 15G。而當目標物 預先設定心==ί ===115G°經由該系統進行規格轉換後，再將 ΐ Γόο “Γ控制工程130的站％ ’最後再據以規定後工 程160的製程規格。 j 2歧^、本料之触實施例崎軸—種製程 規格的控制系統之系統方塊圖。在本實施例中，此 控制糸統230包括了—個基準情報子系統別，一個製造 執行子系統232，以及—個規格轉換控制子系統233。 在控制系統230中，首先可在基準情報子系統231内 設定控制資訊。這些控制t訊可以包含前丄㈣製造資訊 210及符合該_控制工程站點的規格控制資訊22〇。其中，前 工程的製造資訊210包括例如製造機台（τ〇〇1) 211、製造 配方（Recipe) 212，以及製造參數（Paramete〇 213。另 外，規格控制資訊則可以包括例如產品別221、控制站點 222、控制機台223，以及規格轉換方式224。 在基準情報子系統231中將設定完成後，基準情報子

1258169 1 5746twf.doc/g 系統23i會自動將控制資訊下載至製造執行子系 當目標物刺控制站點後，製造執行子系統攻合將哉 的控制資訊傳到規格轉換控制子系統233中，^ 2 控制子系統23 3則根據這些控制資訊來進行當前” 2 的規格轉換。職，這些經由規格轉換後所得的控制資^ 可能包含當前控制機台的新製造參數或新產出規、^ = = ==系統232。最後並由製造執行子 貝齡人控制工程機台篇（亦即所要控 控制機台）來控制其製程。 曰引 圖3疋依照本發明之另一較佳實施例所繪示的一 參數與規格的控制方法之規格轉換的控制步驟。= S310由基準h報子系統收集相關的製造資訊，其中包括 刖工程製造資訊以及規格控制資訊。當所有製造資訊收單 完成時則進行步驟S320，由製造執行子系統自基準情報^ 系統下載製造育訊。步驟S33〇，在規格轉換控制前，系統 會自=檢查該資造資訊是否充足。步驟S34〇，如果因目標 物之如工心資汛或規格控制資訊等條件的資訊不足而導致 規格轉換控制子系統無法轉換規格時，系統會自動發出警 不（Alarm)，而該目標物也無法進入機台而停止製造， 以避免使用到錯誤的規格控制。步驟S35()，如果資料充 足’則將製造資訊導入規格轉換控制子系統進行規格轉換。 在先前案例中，由前工程所生產之膜厚的段差不同， 將使得後工程的濕餘刻機台使用不同的製造配方來製造。 若使用本實施所述之參數與規格的控制方法，則可對於不 1258169 15746twf.doc/g 同的製造配方來制定合手 製造品質不穩定的問題九、衣程的規格，則將改進機台的 在先前另一案例中， 繼，由掃描式電子顯微曰體閘層 影響某些電性參數而致旦_ =里測出來的關鍵尺寸值會 控制系統以植入的方^曰良率。而改由後工程自我對準 本實施所述之參數與_量來調整電性。若使用 • 造機台來制定合乎^製^制方法，則可對於不同的製 内部程式執行錯誤日寺士見格’亚可在機台出現異常或 :曰=日守’即時發現並作處理。 下，：了本發明之規格轉換控制子系統的控制之 同，奴屬於該機=^=1 域後工賴台的不 規般製程所採用的規格放寬或統一制定單— .限定:二ί發:月已f較佳實施例揭露如上，然其並非用以 =$均料此技藝者，在不麟本發明之精神 .r:; μ當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護 關*視_之申料觀_界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1是依照本發明一較佳實施例所繪示的一種 規格轉換的控制系統方塊圖。 、 圖2是依照本發明一較佳實施例所繪示的一種規 轉換的控制裝置方塊圖。 。 ⑧ 11 1258169 1 5746twf.doc/g 圖3是依照本發明一較佳實施例所繪示的一種規格 轉換的控制步驟。 【主要元件符號說明】 110 :前工程 120 ··製造資訊 130、240 :控制工程 、 140 :規格控制資訊 $ 150 :規格轉換控制 160 :後工程 210 :前工程製造資訊 211 :製造機台 212 :製造配方 213 :製造參數 220 :規格控制資訊 221 :產品別 222 :控制站點 • 223 :控制機台 224 :規格轉換方式 230 :控制系統 * 231 :基準情報子系統 232 :製造執行子系統 233 :規格轉換控制子系統 S310 :基準情報子系統收集製造資訊 S320 :製造執行子系統下載製造資訊 ⑧ 12 1258169 1 5746twf.doc/g — S330 :判斷資訊是否充足 S340 :若資訊不足則停止製造 S350 :若資訊充足則進行規格轉換

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Claims (1)

1258169 15746twf.d〇c/g 十、申請專利範圍： L一種製程參數與規格的控制方法，包括： ^ 從至少一個先前機台以及一控制機台中收集相關資 訊；以及 根據所收集的相關資訊，決定該控制機台的一產出規 格，

、其中，該先前機台是在該控制機台之前對同一批目標 物進行處理的機台。 2·如申請專利範圍第1項所述之製程參數與規格的控 制方法，更包括： 根據所收集的相關資訊，決定該控制機台的製造參數。 3·如申凊專利範圍第1項所述之製程參數與規格的控 二方法’其中從該先前機台中所收集的相關資訊包括該先 ⑺機台的製造配方、製造機台與製造參數。 4·如申請專利範圍第1項所述之製程參數與規格的控 棬^法《其中從該控制機台中收集的相關資訊包括該控制 、台的製造機台種類及該控制機台的製造配方。 5·如申料職圍第i項所述之製程參數與規格的控 刊方法，更包括： 目標物所進行的處 理是格判定由該控制機台對 6.一種製程參數與規格的控制方法，包括 設定一控制參數組； 其中，該 收集該控制參數財的㈣參數的參數值 14 台之别對同一抵目標

!258169 15746tvvf.doc/g 控制參數財的至少-部練财數的參數值是從至 個先前機台中收集而得；以及 根據該控制參數組的參數值決定一控制機台的 規格，並在該控制參數組中的參數值取得量少於一 ^ 件時’停止該控制機台的操作， 、疋’、 其中，該先前機台是在該控制機 物進行處理的機台。 ^如^專職圍第6項所叙製程參數 程:;:規_控 數組中的至少一部份控制參數的參數:集=的雜制參 的製造配方、製造機台與製造來數。、4先前機台 與規格的控制系統，包括： 一基準情報子系統，妆隹 及與在該控制機台之前對同：批機台相關的資訊以 機台相關的廣訊； 目枯物進行處理的一先前 訊以及Γ該資:據控制機台相 出規格；以及 、σ °又疋該控制機台的一產 第9 根據 一製造執行子系統， 台的製造參數。 ι〇·如申請專利範圍 该產出規格以控制該控制機 項所述之製程參數與規格的 d 15 1258169 15746twf.doc/g ' 控制系統，其中與該控制機台相關的資訊包括該控制機台 之辨識參數以及該控制機台所在之控制站點。 11.如申請專利範圍第9項所述之製程參數與規格的 控制系統，其中與該先前機台相關的資訊包括該先前機台 的製造配方、製造機台與製造參數。

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