TWI251766B - Method and system for efficiently coordinating orders with product materials progressing through a manufacturing flow - Google Patents

Description

1251766 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 且特別有關於—種大量且高度定做 管理。 本發明係有關於產品製造管理， (Customized)之半導體產品生產之有效 【先前技術】 軚準的生產官理程序可以是大量物料的訂講與當庫存低時再進行訂 購。這種綠轉鮮且不需躲何龍且_的 境 洲批貨生產係有效的。其在單一產品之大量生產環j中= 的。此程輕於需求改變提供粗劣_應，且對於大量、多產品環境是沒 有效率的。其通常需要花費相關庫存費來應付大量的庫存。 -種較為進步的標準程序已經開發來依據訂單與預測來計 購。此系統有各種名字，最常見的是瓣(物料需求計劃）。這此系统叶管 需要來滿足現存訂單與酬之物料與魏缝量。依據估算的配= 間與訂早集合，系驗生_時間序狀採斷錢估算。 在大量、纽品W巾成功地運作。其料喊快速改變訂 早衫兄的“。，蕭在管理包括·訂單或頻繁改㈣ 時，並不是特別的有效。 、產 種可乂支援在大夏、連續流程與高度定做之製造環境中頻繁 改變的有效物料與資源管理方法係需要的。 …口早 【發明内容】 訂广發明之一目的為提供一種可以動態協調-個或多個產品 。早/、牙k衣造處理流程前進(prog跳㈣之產品零件細)之方 識用:磁:個或是多個製造一第-產品之零件批貨的-第-訂單二後： 其中第一訂单識別_既定基本(Base)特徵、一個或是多個客戶特定特徵、—

0503-9690TWF 1251766 =5,單狀特徵、與第—產品的數量。—聰日哪咖)碼被指定給 ’件批貝’其中聰明碼辨識在第—訂單與零件批貨間的關聯 rrton)。之後’依據指定的聰明碼進行一分析，以檢視在生產中之一 σ ^Ό個可用的零件批貨是否準備被轉換來生產第一產 二:^ t二早之可用批貨被選擇來被進—步處理以滿足第-訂單時， 可用批貝的聰明碼被改變為第-訂單的聰明石馬。 (R m心知方法可以達到多種好處。舉例來說，零件重新路由 的機會可以被識別，從而減少耗資的報廢與重«始之資源 二與觸、㈣,前置時 並2==；；=^；義細紐，™舉實施例， 【實施方式】 戰。、Γ颜之製造環境顯示標準生產管理的獨特挑 準產品環射成功崎作，轉在㈣包括W 疋做§1早或頻繁修改既存訂單(稱為，，改變訂單，，)的生產日士，间度 產品大量生產，且利用產能限制與改變客戶需為才。以多 物料缺乏。客戶訂單通常必麵按優先順序=吊=生延^與 完成(Completion)排程。 見代化(Up-todate) 習知地’當訂單進人電腦化製造f理系統時，每 (㈣編絲觸需制產品簡與期黯 予-局部 需求，對於要求的訂單，大部份的局部編號將是唯—Γ^Γ別定做 穿過製造流程前進的產品物料稱為，，零件，，，且為了圖示目的， 產品，，。-旦零件開始處理，改變訂單可以提^ 2完成時，她們變成” 量需求。-改變訂柯叫求數量改變給 Τ域多個零件的數 71干，母一零件必須分開地

0503^9690TWF 1251766 應付與處理，潛在地會產生報廢與重新開始。 下述例子將使用定做半導體裝置製造為一典型大量、高度定做產品製 物境。帛1 _示-般之訂單流辦序圖⑽）。訂單與零件批貨在生產 時間軸(Κ)2)上之不同點顯示，來表示她們穿過生產流程的進程。處理产程 中的時期標、CP、AS與FT，其分別表示晶圓下貨（晶圓開始^探 針測试、組裝與最終測試。 如第i _示，-客戶提交—訂單，具有客戶的平常制的特徵，％ 片内部局部編號0〇5之晶圓。此要求在職中進入為〇iu聊⑽，表示 其係在採購訂單#1的列(Line)#l。—新批次晶圓被開始下f且標示為〇旧 PN#005(104)，且被指定給批貨a(i〇6)。 ' 相同的客戶提交另-訂單，具有客戶的平常特別的特徵，25片内部局 部編號007之晶圓。此訂單被加入原始採購訂單且在12/15進入為⑺以 PN#007(採購訂單#1的觸）。一新批次晶圓被開始下貨且標示為肌2 PN_7_ ’且被指定給批貨B(11〇)。假設局部編碼〇〇7的紅與局部編 碼005的成品不同，但她們都由相同的初始零件開始。 相同的客戶在12/21提交-改變訂單。在此要求中，pN#〇〇5的數量被 減為25片晶圓(112)。由於5〇片晶圓已經在批貨A中下貨來滿足原始訂單， 因此現在批貨A中有25片多餘的晶圓。然而，依據習知方法，由於％片 多餘的晶圓的局部編號係標示為〇1L1 PN#〇〇5，它們不能重新指定給另一 個叮單。因此，此25片多餘的晶圓必須報廢(112)，_不期望之浪費在生產 過程中形成。製造商或是客戶必須負擔此浪費。 在第1圖的例子中，相同的客戶在12/21另外提交一改變訂單(ιι句來 增加PN#007的數量至5〇片晶圓。正常地，這會產生另一要求來產生μ 片額外的晶圓。批貨B之後，其中批貨B已經部份地穿過製造流程前進， 一新批次晶圓被開始下貨且標示為〇1L2 pn#〇〇7(U4)，且被指定給批貨 C(116)。這些新晶圓的配送將會晚於批貨b中的晶圓。

0503-9690TWF 7 1251766 H批貝A(1G6)中的βθβ1Β還沒前進到-個會妨礙她們被 ”曰疋給與被完成為olL2PN#007的—個製造點。如果判定批貨Α可以 ,3 _ Μ®的情況。物料成本，資源使用率與時卿可以節省。另 卜制客戶的_訂單可啸快地絲。即使許多訂單也許要經過—歧共同 要理，且有時，即使#相_完斜，如果在處理流程中需 ^。’她們可以被細旨定。不幸地，習知局部崎統不能夠辨識這些 星制ΓΓΓί發明之改善方法允許辨識與可能地自動化來將尚未到達差 做衣t 成晶圓進行重新路由，或將一晶圓返回至處理線來重 士 °由-於許多客戶特定的零件具有—般職，其在製造程序中一 I伙Γ剩地，已經在處理中的零件應_來很快地轉換為 當—客戶提交—改變訂單時’用來增加-零件數量的 要求可以使用減少零件數量之要求的部位。 田口丁單進入製造官理系統時，每一訂單被給予一個反靡臭 客戶糊徵、與其他_徵之局部編碼。另外，局部心__ 係以-口聰進行關聯。此碼關聯銷售部門知道的訂單與製造操作人員知 道的產品零件。 、 …第2圖為一示意圖(200)係顯示使用聰明碼來連結晶圓批貨細 科被接收且晶圓批貨已經準備開始時，聰田 採卿6)。此聰明碼提供—連结，其當 料進行時將生產批貨與—特定之採購訂單進行減。當 叶，衣造官理錢可以自動地使用聰_來檢纽找出由—特定採 產生的批貨。舉例來說，當一客戶要求—改變訂料修改—採購。士早 可以使用聰明碼來找出採購訂單原始產生的所有批f，而不管 = 編碼。因此，娜_允許製造管_絲_具林同 3

0503-9690TWF 8 1251766 件的特徵’其中，局部編碼可能在改變訂單的 用來增加-零件數量的要求可以 月二？ ”斤女排。因此， 顯著地減少報廢與重做率。 ’ A件數I之要求的部位。此可以 排2= Γ，來滿足一改變訂單要求。晶圓批貨辨識與重新安 列訂單改變(狀）。如例子所顯示，客戶—開始交付一兩 ρΓοΓ 1 Π Τ"' ' ^(3〇2) 5 要 訂單一 ’列二(3〇4)，為具有她們的平常特別 勺而求之25片PN#007晶圓之要求。採購寸嚴一 25 , A ^ 貝β祁關驷。採購汀早一，列二(0N1LN2) =早=W晶_⑽）’批t c，侧聯。每—訂單與批貨 ^-«1^,1(310 # 312) 〇 ^ 〇N1LN1 sc2〇〇1〇7〇i〇〇5 且給0N1LN2的聰明碼為義随〇〇7。它們不同的只有在最後一個數 字，其顯示她們不同的局部編碼，且也顯示她們屬於相同的客戶舆在被完 全完成之前特徵是相同的。 假設-改變訂單要求在製造程序中之任何一點接收到。改變訂單修改 0N1LN1由5G片至25片晶圓(314)，且改變訂單也修改〇N1LN2由25片 至5〇片晶圓之PN_7⑽）。當此改變發生時⑽），s〇c程序_使且在 開始下新關與廢棄任何批貨之前檢查是否有重新安排的機會存在。狀 翻要改變訂單，如0N1LN1(逝)與⑽LN2(3G4)，的聰明碼⑽與3叫 如顯示，聰明碼(310與312)係用作索引來辨識給原始訂單之批貨a、b(3〇6) 與C(308)。訂單相關處理進程資訊被提供來表示哪些晶圓批貨在製造流程 中。SOC需要的關鍵資訊係是否這些批貨已經前進到她們之間具有不同特 欲的點。依據這些資訊，假設SOC判定晶圓可以被重新路由(324)來滿足改 變(314與316)。因此，批貨B被重新路由為PN#007,且聰明碼％2〇〇1〇7〇1〇〇7 取代批貨的舊聰明碼SC20010701005。結果，改變要求在沒有廢棄或重新使 0503-9690TWF 9 1251766 用任何新晶圓的情況下被滿足。 币弟4圖顯示依據本發日月-例子之製造處理流程的有關部份陶。現代 笔腦系統提供之製造管理⑽提供給多鑛作者在處理絲從頭到尾的任 :點進行使用。假設系統係網路連接地—起運作，所以資訊係可以即時取 ^的。製造管理系統包括SOC的特徵。_處理流程亦可分為其他的情形， 在此例子巾，處贿織分紐個魏毅··勒妓、生餘制、產出 =劃、與製造'_丨。亦包括子系統或是模組：自動晶圓下緣统_、 產出計劃純⑼4)、晶_貨系筆6)、_____ 細說明於後。 八 。製造管理純的早期部份可以是—訂單進人模組㈣）。透過銷售管理 j ’-訂單㈣進人紐，且可能包括基本特徵編號、客戶特定特徵、 :丁早4寸疋特徵，與其他需要的資料。訂單進人資料被提供給自動晶圓下貨 糸統(4〇2)。正常地，自動晶圓下貨系統初始製造要求之訂單的生產處理，、 使得晶圓批貨可以在製造處理流程中下貨。假設沒有s〇c，聰明碼指定模 組(4M)將聰明碼指定給批f與訂單，明碼資料雖存在儲存模組(夠 中且可以提供給製造管理系統的其他部份使用。訂單資料、聰明碼資料、 批貨資料、與任何其他合適資料對於控制晶_貨之產出流程的產出 系統(404)係特別重要。 ⑽位於產出計劃系統中心附近的功能為計劃模組(4⑻。假設資料已經由 訂单進入模組(410)提供給產出計劃模組(418)。如果有-個新訂單且判定沒 有^用的曰曰圓批貨可以提供給此新訂單使用，產出計劃系統(4〇4)傳送開始 如單要求、、6日日圓棟貝系統(4〇6)，其將開始適當數目的晶圓來滿足此新訂 :。產，計劃系統也可以依據目前庫存與在製品提供有關目前製造處理中 夕，、、θΕ]批貝資成。§丁單檢視模組(420)依據多餘可用檢視進來的訂單來 決:疋否有重新路由或重做在製品給新進入訂單的機會存在，以避免晶圓 揀統開始新的晶圓。依據計_果，新訂單會被晶圓初始要求確認模

0503-9690TWF 10 1251766 組(422)確認，使得晶圓揀貨系統可以在依據產出計劃系統⑽句的分析調整 之後開始處理新晶圓批貨。此調整協助來減少生產中的浪費。 標不為(網的功能模組可以共同地參考為聰明碼處理模組。聰明碼處 理應用在新訂單與改變訂單。在—訂單的似歧改變訂單(426)被客戶= 订^傳至製造_綱操作人㈣，聰明碼處賴峨鶴來尋找進行 改變的最佳方案。聰明碼處理模組(424)與計劃模組_)一起作業來分析訂 早與未完狀晶圓批貨，且決定來有機會進行錄路由或重做之在势品= 訂單將被辨識。-個或是多個可用之晶_f必須判斷是否呈有相同： ^徵且還沒在製造處理流財進行成為阻礙其轉換為另—種產品的料 ^里。另外’亦必翻斷是否晶圓具有客戶特定特徵，或可以在後續程序 具有各戶特定特徵。當找到可以快速轉換製造改變訂單中產品之可用曰 =批料’聰日____新配置崎_、訂單觸、與聰‘ =製=^__鱗_。料，_單、聰明= 允二二，產 __)來 用曰圓抵化、由垂請，十 表終整體計劃進行安排。在可 =0批貞細疑後，且期黯品仍她差 將會通知自動晶圓下貨系卿)來初始新的晶晴。產以獻綱 ，取代立即指定聰明碼與初始晶圓批貨給每—新 的晶圓批貨可以轉換來滿足新訂單的來檢《否有可用 伽表示。如果如此，沒有晶 在兩糸統間的溝通可以以虛線 排來與新訂單進行關聯。a s且現存的晶圓批貨將會被重新安 因此，本發明提供一種改善方法， 本發明可以達到許多習知方法無法達成的好單進行生產管理。 〕好處。舉例來說，在製品重新路

05 03-9690TWF 11 K51766 =或重做的機會可以被識別，從而減少耗㈣報廢與 ^短期間，本發明揭露之系統與方法可以顯著地減少報廢二 戶成本、配送的前置時間、與設備與物料產能計劃。、重做率、各 值得注意的是，本發明之方法與系統， 程式石馬的型態包含於實體媒體，如軟碟、光碟片、硬碑tvr以 存媒體’其中，當蝴被機 騎，此機Μ成用以芩與本發明之裝置 以程式碼《勒-些傳體，如躲或魏、；衣置也可以 麵行傳送’其中’當程式碼被機器，如電腦接收且:::傳輪型 器變成用以參與本發明之裝置。#在_般用理哭 :時’此機 處理器提供—操作類似於應用特定邏輯電路之=特ϋ 式碼結合 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然' 何熟悉此項技藝者，在不脫離本發明之 2 X明’任 潤飾，因此本發明之神和範圍内’當可做些許更動與 月之保如圍纽_之幘專娜_狀者為準。

0503-9690TWF 12 1251766 【圖式簡單說明】 第1圖顯示一訂單流程時序圖。 第2圖扣透過聰明碼之產品零件批貨與訂單的關聯。 ”圖顯示依據本發明—例子之依據一訂單修改重新安排訂單之程序 第4圖顯示依據本發明一例子之用以處理訂單之製造處理流程。 【主要元件符號說明】 WF〜晶圓下貨； CP〜探針測試； AS〜組裝； FT〜最終測試； 100〜訂單流程時序圖； 102〜生產時間軸； 104、108、112、114〜訂單； 106、110、116〜批貨； 200〜產品零件批貨與訂單關聯示意圖 ， 202、310、312〜聰明碼； 204、306、308、326〜批貨 206、302、304、314、316〜訂單； 318〜改變發生； 324〜重新路由； 400〜製造處理流程； 402〜自動晶圓下貨系統； 404〜產出計劃系統； 406〜晶圓棟貨系統； 408〜聰明碼處理系統； 410〜訂單進入模組； 412〜訂單進入； 414〜聰明碼指定模組； 416〜聰明碼儲存模組； 418〜計劃模組； 420〜訂單檢視模組； 422〜晶圓初始要求確認模組； 4·24〜聰明碼處理模組； 426〜改變訂單要求； 428〜訂單改變確認模纽； 430〜自動晶圓下貨系統與產出計劃系統間之溝通。

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Claims (1)

1251766 十、申請專利範圍： 1·-種動態協調-個或多個產品訂單與穿過一製造處理流程前進之產 品零件之方法，包括下列步驟： …辨識用以產生-個或是多個製造一第一產品之零件批貨的一第—訂 早，其中該第一訂單識別一既定基本特徵、一個或是多個客戶特定特丁 個或疋多個可單特定特徵、與該第一產品的數量； 指定-聰明碼給該第—訂單與料批f，其巾聰__在 單與零件批貨間的關聯； °τ

依據指定的聰明碼進行—分析，以判斷在生產中之 或是多個可轉雜㈣繼娜生綱士 = 及早的一個 日士，!ίΐΓΐ"訂單之可祕貨被來被進—步處取滿足該第一訂單 才〇 y的聰明碼被改變為該第一訂單的聰明碼。 -製纖圍第1項所述之祕協調—個或多健品訂單舆穿過 是^，㈣嫩扯綱該-個或 m 與韻—產品財相同之該基本特徵。

一製造顧叙__—個❹織碑單與穿過 是多個可°σ♦件之方法’其巾該分析更包括該-個或 =了用轉批貨是否還沒被處理成為到阻礙轉換為該第-產品的! 4·如申5青專利範圍第1項 一製造處理流《進之產品_之—«多個產品訂單與穿過 是多個可用她啦否具有_特定=該分析更包括觸該—個或 激。 Μ各戶4寸疋特徵，或可以加上該客戶特定特 協调一個或多個產品訂單與穿過 更包括當該第一訂單修改時，分 是否可以轉換來滿足該第一訂單 一制5二申晴專利範圍第1項所述之動態 衣化处理流程前進之產品零件之方法， 析生產中之該一個或是多個可用零件批貨 0503-9690丁卿 14 1251766 修改之需求。 -制請專利範圍第5項所述之動g協調—個或多個產品訂單轉過 初更包姆W依據分析結果 個或與穿過—處理流程前進之一 曰曰圓批貝之方法，包括下列步驟： 造—It第—訂單之修改，其中該第—訂單係用以產生—個或是多個製 個客邱晶圓批貨’該第一訂單識別一既定基本特徵、一個或是多 代特徵、-個或是多個訂單特雜徵、與該第_產品的數量 違弟—譯與晶圓批貨係以—聰明碼進行關聯； ^指定__進行—分析，以在生射之—第二訂單的 晶晴是否準傷被轉換來滿足該修改之第—訂單;以及 /果破弟二科之可用晶圓批貨被選擇來被進一步處理 之=單時’細雜、峨轉—她㈣日ς。 - f 第7顧叙_鱗賴—個❹術單與穿過 衣绝處理 >力L程丽進之一個或多個晶 :該，是多個可糊-是一產品=::: 一製=======:細單與穿過 斷該一個或是多個可用晶圓批貨是否還沒被處理到成=該分析更包括判 產品的-點。 彳辑理到成桃礙轉換為該第- 瓜如申請專利範圍第7項所述之 一製造處理流《進之—個❹個晶_貨之3：^多個訂單與穿過 斷读一個或是多個晶圓批貨是否具有，—士 /、 °亥刀析更包括判 特定特徵。 戶4^特徵’或可以加上該客戶 0503-9690TWF 15 I251766 11·如申請專利筋1 -f迭處理、項所述之動態重新安排-個或多個訂單與穿過 據^果霉㈣法，嫩如果需要時依 獅-域《進之晶 以吝γτ早進t模組，用以辨識—第—訂單之修改，其中該第—訂單係用 個或疋夕個製造—第—產品之晶圓批貨，且識別-既定基本特 ^ -個或是多個客戶特定特徵、—個或是多個訂單特定特徵、與該第一 品的數量，且該訂單進人指定—削碼給料—訂單 進行關聯；. 计j模組，用以依據指定的聰明碼進行一分析，以判斷在生產中之 -第二訂單的-個或是多個可用的晶圓批妓否準備被轉換來生產該第一 訂單；以及 -聰明碼處理模組’用以當該第二訂單之可用批動皮選擇來被進一步 處理以滿足修改之該第-訂單時，將可雜貨的聰明碼動態改變為該第一 訂單的聰明碼。 13·如申請專利範圍第12項所述之動態協調一個或多個產品訂單與穿 過一製造處理流程前進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該計劃模 組更包括一產出計劃系統與一晶圓揀貨系統。 14.如申請專利範圍第12項所述之動態協調一個或多個產品訂單與穿 過一製造處理流程前進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該訂單進 入模組更包括一晶圓下貨系統，用以初始晶圓批貨。 15·如申請專利範園第丨2項所述之動態協調一個或多個產品訂單與穿 過一製造處理流程前進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該計劃模 組更包括裝置來提供關於多餘晶圓批貨的資訊。 16·如申請專利範圍弟12項所述之動悲協調一個或多個產品訂單鱼穿 0503-9690TWF 16 1251766 =錢處理雜祕之日日日g批貨之半導體製造管理系統，其中該聰明碼 :理板組更包括裝置來判斷該一個或是多個可用晶圓批貨是否與該第一產 品具有相同之該基本特徵。 、。7·如巾明專利範圍第12項所述之動態協調-個或多個產品訂單與穿 ，一製造處理流程前進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該聰明碼 义理板組更包括裝置來躺該—個或是多個可用晶圓批貨是否還沒被處理 到成為阻礙轉換為該第一產品的一點。 =如中請專利範圍帛12 _述之動態協調—個或多個產品訂單與穿 過-製造處理流程前進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該聰明碼 处模、、且更包括i置來當可用晶圓批貨用來滿足該第一訂單時，重新配置 可用晶圓批貨的聰明碼。 、19_如^專利範圍第η項所述之動態協調—個或多個產品訂單與穿 、° ‘處理々IL私别進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該聰明碼 處理模組更包括裝置來偵測該第一訂單的修改。 如中請專利範圍第12項所述之動態協調—個或多個產品訂單與穿 過—製造處理流程前進之晶圓批貨之半導體製造管理系統，其中該聰明碼 處理模組更包括裝置來確認修改之該第一訂單。 0503-9690TWF 17