TWI249769B - Device and method for flow conversion, system and method for controlling manufacturing process and recording medium for computer program thereof - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 156
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 150
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 112
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 138
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 41
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 33
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 29
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 12
- 238000011426 transformation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 16
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32097—Recipe programming for flexible batch
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Quality & Reliability (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
1249769 多、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種流程變換裝置、产 造程序管该系統、製造程序管理方法 L ,、、/ 、製 真特別是應用於由記述著製造規格仕 / 1的製造方法， =著製造;乍業手順、裝置控制= 變換成 【先前技術』 一般在製造半導體裝置的場合， 的製造裝置或是製程的作業手順(順序 順的資訊’對生產線作成程序流程，並 封+導體裝置的製造進行管理。在程序流程中， 使用 製造裝置或作業手順等的生產線固有 他的生產線時，都需配合二= 作業手順等修正。因為程序流程的修正量很 ===程序流程。對此，已採行-種方法，其利 生產線無依存關係的程序流程表記，而進行程序流程的 個r t 5:ί生產線無依存關係的程序流程的場合，需要各 造裝置或作業手順等的各生產線固有的資 的程：的關係的程序流程變換成各生產線固有 寫作業，並不會改變各生產線固有的程序之作 成転序流程移管的效率並未被改善。 程序：呈：：的製造裝置或作業手順等的資訊，是處理各個 #貝訊。例如，容易因為製造裝置的故障 、 而使生產線固有的資訊受到影響。因此，在 13233pi f.ptd 第8頁 1249769 五、發明說明（2) 製造震置發生故障時需修正程序流程。 【發明内容】 為達成上述及其他目的，本發明提供一 置，包括：流程分解部，根據程序分 ：::”奐裝 象程序流程的程序分解成下位程序：換對 程；互換流程生成部，根據記述“；：：：：：：； = 私序流程，生成出在生產線中可使用的下位程 選擇部，根據定義著下位程序之屬性的屬性定義表格= :性’以選擇下位程序流程；以及儲； Π::表格、下位程序互換表格、可使用表:乂 置取流程變換方法’包括：由流程變換裝 置取侍圮述者生產線的可使用程序的可 程變換裝置取得變換對象程序泣γ 土4 ^ 序表格，由/瓜 庠八奋…久: ;流程變換裝置是根據程 ί ms 仕樣程序流程的程序分解成下位程 ^ ^ ^ =下位私序流程；流程變換裝置是根據下位程 以π:互換程序把中間下位程序流程之下位程 押墟^你用p东本政間下位互換程序流程；流程變換裝置是 下位程序及下位互換程序之可使用 ;f: 私序流程及中間下位互換程序流程，生成
下位程序流私；以及流程_拖获罢B 征欠換衷置疋根據屬性定義表格，算 第9頁 13233pif.ptd 1249769 五、發明說明（3) 出下：程序流程的屬性’以選擇下位程序流程。 裝置，管理生產線./ΛΛ 系統’包括：線上管理 取以及變換裝置，根據從線上管理裝置所 取传的生產線的一可信用皮 不直巧 程變換成生產、㈣程序=序表&，把製造規格仕樣程序流 理事ί: Hi供一種製造程序管理方法’包括:由線上管 T置將生產線的可使用程序表格登錄至流程變換裝置中. 、:官理裝置是根據可使用程序表格，從 格，樣，序流程之程序的下位程序 机轾，線上官理裝置是利用生產線用程序流程，對在 線中施行的製造程序進行管理；線上管理裝置是對生產 、’的可使用程序進行點檢；若在生產線的可使用程序有變更 ί ϊ，線上管理裝置是把新的可使用程序表格登錄至流程變 換裝置；以及線上管理裝置是根據新的可使用程序表格，從 机耘黉換裝置取得由製造規格仕樣程序流程所變換的新的新 的生產線用程序流程。 ’ 本發明還更提供一種記憶媒體，儲存一電腦程式，執行 製造程序管理方法，包括：取得記述著生產線的可使用程序 的可使用程序表格；根據程序分解表格，把製造規格仕樣程 序流程的程序分解成下位程序，以生成中間下位程序流程·， 根據下位程序互換表格，以下位互換程序把中間下位程序流 程的下位程序置換掉，以生成中間下位互換程序流程；根據& 可使用程序表格，從下位程序及下位互換程序的可使用程序
1249769 五、發明說明（4) 2^下位程序流程&巾間下位互換程序流程，生成下 性，以選擇下位程序流程。 #出下位私序流程的屬 懂，其：：：、特徵和優點能更明顯易 下。 也例，並配合所附圖式，作詳細說明如 【實施方式】 干，發：之一實施例的流程變換裝置1〇，如圖μ 、裝置20。其中，輸入部以 ：;ι】: 序流程之製造規格仕樣流程及流程 變換資訊。中央運曾罝一】9曰田二于順次疋義專的流程 理。輸出部13 :顧二兀疋1、行私序流程的變換處 魄用程序流程變換結果’並把被變換的生產 線用权序机私輸出至生產線40的線上管理裝置4ι。 裝置是儲存應用於程序流程之變換處理的各種表思 格。流程變換裝置10是利用線上管理裝置41 序管理的多數個製造裝置42a、42b、.·.、42n之生產線 =成製造規格仕樣程序流程、變換手順資訊及變換定義 貧汛的流程作成裝置3丨，及包含主機電腦3 2的區域網路、 (local area network，LAN)3〇，以構成製造程序管理 統。 流程變換裝置具備有：流程變換控制部14、流 程分解部15、互換流程生成部16、流程檢查部（fl〇w 1 7、流私選擇部1 8，内部記憶部1 9。其中流程變換控制部】4
1249769 五、發明說明（5) 制程序流程的變換處理。流程分解部丨5是根據程序分解 ^。把變換對象程序流程中所記述的程序分解成下位程 、十、命以生成中間下位程序流程。互換流程生成部1 6是根據記 ^ ^下位程序相當的（等價的）生產線的下位互換程序的下位 ^序^換表格，以下位互換程序置換掉中間下位程序流程的 f ^ ^序，並追加中間下位互換程序流程。流程檢查部1 7是 ^ 4 ^ I位耘序流程及中間下位互換程序流程，生成可在可 下位p i I ϊ用的下位程序流程。流程選擇部18是根據定義 漭r Γ肉f ! 1屬性定義表格，以算出屬性並選擇下位程序 :L %儲二i己憶部19是儲存與各程序流程變換處理有關的資 枓亚儲存執行程序流程變換的程式。 #炊t處外部記憶裝置20是儲存變換定義表格，此變換定義 線40的製造規格仕樣程序㈣ 屬性定下位程序互換表格、可使用程序表格及 流程變換裝置 的萝i告指执π括如产α 疋田興生屋綠無依存關係 圍t燮拖i " ",L程、製造規袼仕樣程序流程的變換範 :定義著下位程序流程的選定條件的變換ί ΐ載有ΐ:!;理’從流程作成裝置31等的外部系統，：』 遞ic二二 定義表格名的變換定義表格資訊，並傳 ⑴' 如圖2所^奐控制部14。製造規格仕樣程序流程 3所示，記述著變換對d別唬(id)。變換手順資訊，如圖 換對象程序流程名、範圍、變換處理，及 13233pif.ptd 第12頁 1249769 五、發明說明（6) 程序流程選擇等。且，變換定義表格資訊，如圖4所示，對 於曼換處理而吕’ ό己述者流程分解部1 5、互換流程生成部 1 6、流程檢查部1 7、流程選擇部丨8使用的程序分解表格、下 位程序互換表格、使用可能程序表格、屬性定義表^的名 稱。 。 例如，根據圖3的變換手順資訊，表示圖2的程序流程 (1 )的化學氣相沈積（CVD)程序的變換範圍是從ID = 〇1〇至〇1 i 的範圍。再對變換範圍進行作業指示生成的變換處理（丨）， 其次進行配方生成的變換處理（2)。更，由作業指示生成而 生成的下位程序流程中，在程序流程選擇（丨）中，把工期未 滿10小時，且預計良率為70%以上的下位程序流程選為作業 指示下位程序。對於選擇的作業指示下位程序流程，進行配 =生成，對於由配方生成所生成的下位程序流程，在程序流 程選擇（2)中’是把使用者選擇的下位程序流程當作生產線 用程序流程而輸出。在作業指示生成及配方生成中，分別使 用程序分解表格T1及T5、下位程序互換表格T2及冗，可使用 程序表格Τ3及Τ7，屬性定義表袼Τ4及以。 曰在此處，圖2的變數[膜種]是表示CVD膜的種類，[Poly] 疋表=多晶矽膜，[SiN]表示氮化矽（Si3N4)膜。變數[膜厚]
是表示多晶矽膜或是Si3N4的膜厚。且，[條件]是在執行CVD 程序的晶圓（wafer)表面條件中，[τ〇χ]表示自然氧化膜的厚 度’ [Tox<〇· 2nm]表不需要進行例如氫氟酸（HF)溶液的洗淨 處理。
在實施例的說明中，作為變換範圍的程彳，是使用CVD
13233pif.ptd 1249769 五、發明說明（7) - 私序’ Ik著金屬堆積、蠢晶（epitaxial)成長，或是餘刻等 的晶圓形狀變化的程序是作為變換對象。這是因為隨著晶圓- 形狀的變化而使用的製造裝置，是有公差的，且作業手順亦 視為其所固有的緣故。 在此處，雖然是僅列舉程序流程的一部分作為變換範 圍’但把程序流程全體都作為變換範圍亦可。例如，把程序 流程依逐次作業指示或是配方而分解的同時進行製程流程 時，僅程序流程的一部分是作為變換範圍。另一方面，在最 初就把程序流程一次就依作業指示或配方而分解，並進行製 造流程的場合，是把程序流程全體作為變換範圍。 CPU 1 2的流程變換控制部i 4是控制流程分解部丨5、互換 流程生成部1 6、流程檢查部丨7及流程選擇部丨8的變換處理的 流权。把從輸入部11被傳入的變換對象之程序流程（1 )，與 變換手順資訊傳遞至流程分解部丨5。其次，再把流程分解部 1 5之分解結果的中間下位程序流程傳遞至互換流程生成部 1 6。接著’把中間下位程序流程與互換程序生成部丨6的生成 結果之中間下位互換程序流程傳遞至流程檢查部丨7。更，把 流程檢查部1 7之檢查結果的下位程序流程與變換手順資訊傳 遞至流程選擇部。且，流程變換控制部1 4是把流程分解部 1 5、互換流程生成部丨6、流程檢查部丨7，及流程選擇部1 8所 需的程序分解表格、程序互換資訊、可使用程序表格，及屬 性定義表格的名稱，從變換定義表格資訊取得再傳出。且， 如圖3所示，在變換手順資訊中指定多數個變換處理α)、 (2 )的場合，流程變換控制部丨4是重複上述的處理。把由先
13233pif.Ptd 第14頁 1249769 五、發明說明（8) :2 ϊ Ϊ處理⑴的最後流程選擇部18所選擇的多數個下位 ί &作為其次的變換處理（2)的流程分解部15的變換 對象程序流程。 j文佚 21敗=ί Ϊ :15，是由外部記憶裝置20的程序分解資料庫 2曰疋的耘序分解表格Τ 1，並檢索程序流程（1 )中的程 分解表格71中定義的程序之圖案存在的場合，對 ;t不反換手順貧訊中的範圍，流程分解部1 5是將之分解 =下^序的圖t，並生成—些中間下位程序流程 二if=案存在著多數個的場合，便僅生成此些數量的 中間下位程序流程。 1〜 程序分解表袼T1，如圖5所示，定義出把程序分解成下 位程序的圖案。例如，程序ID = 1〇〇 i[CVD且膜厚4值1) 土 (值2)nm]程序是顯示出要分解成：由下位程序ID = i〇〇之一 [CVD，膜種=指定值，膜厚=(值丨）nm，條件=指定值， InSitu = of f ]、[QC，膜種=指定值，膜厚=(值± (值2)咖 的兩個下位程序構成的圖案，及由下位程序ID=1〇〇 —〇2的 [CVD，膜種=指定值，膜厚=指定值，InSitu = 〇n，條件=指^ 值]的一個下位程序構成的圖案。程序ID = 1〇1的[(：仰且條曰件^ = {Τοχ<0· 2nm}]程序變成是由下位程序ID = 1〇1—〇1的[洗淨， 化學藥液=HF，時間= 10sec(秒）]、[CVD，膜種=指定值’，膜 厚-(值l)nm，InSitu=指定值]的兩個下位程序構成的圖案、。 在此處，[指定值]是表示該程序之該變數的指定值，[值j ] 及[值2]是表示該變數之該數值部，變數InSitu是表示是否 有現場（111-3：11：11)監視（111011丨1：〇1^1^)。[洗淨]是表示以所示
13233pif.ptd 第15頁 1249769 五、發明說明（9) 的變數[藥液]之蝕刻液HF(氫氟酸）進行晶圓表面的洗淨處 理’ [QC ]是表示變數[膜種]的膜厚之品質管理（膜厚測定^程 序。 圖2所示的程序流程（1)的程序ID = 〇1〇是與程序分解表格 T1的程序ID=100、101的圖案一致，並變換成下位程序义° ID=1 0 0-01、1 0 0-02及10 1-〇1所示的下位程序。且，程序流 程（1)的程序ID = 011是與程序分解表袼T1的程序1]) = 1〇〇的g 案一致，並變換成下位程序ID=l〇〇_〇1、1〇〇_〇2所示的下位 程序。因此，流程分解部15是如圖6〜圖9所示，從程序泣 (1)生成4種的中間下位程序流程（1)〜（4)。在中間下位 流程中，記述著原來的程序流程（1)的各程序與下位程 (的2) 1/2]疋表示，分解成程序流程（1)之兩種的 •(Π0料的第Η固程序再被分解成兩種的第】個程序兩種的 互換流程生成部16是由外部記憶裝置20的下位程序n 位程序互換表格Η中存在有被定義的 圖案，並生成中間下位互K1 序6:;換=下=換程序的 間下位互換流程Γ 覆寫（overwrite)，因而生成新的中 如圖1 〇所示，下你 下位互換程序所分解=互換表格T2是定義出下位程序被
圖案。例如，下位程序ID = 200的[CVD 13233pif.ptd 第16頁 1249769
且InSitu = off]、[qc且膜種=(值i)且膜厚=(值2)]、㈧”且 Insitu^off]、[QC且膜種=(值3)且膜厚=(值4)]所謂的4種下 位程序構成的圖案，是表示可置換成下位互換程序 ID = 20 0-0 1的[CVD，膜種=指定值，膜厚=指定值，InSUu二指 定值]、[CVD，膜種=指定值，膜厚=指定值，InSitu=指定 值]、[QC，膜種=(值1)a(值3)，膜厚=(值2)a(值4)]所謂的3 個程序構成的圖案。在此處，下位互換程序的[QC，膜種 '(值l)a(值3)，膜厚=(值2)a(值4)]是在第丨步驟進行[qc， 膜種=(值1)，膜厚值2)]，在第2步驟進行[QC，膜種=(值 3) ’膜厚=(值4)]的程序。 在中間下位程序流程（丨）〜（4 )中，圖6的中間下位程序流 私（1)之下位程序ID = 〇21〜024是與下位程序互換表格了2的下 位程序ID = 200的圖案一致。互換流程生成部16，如圖n所 示，是從中間下位程序流程（丨）生成新的中間下位互換程序 流程（5 )。 且，在上述例子中，雖然僅在一個下位程序中定義了一 個下位互換程序，但是有多數個下位互換程序也是可以的。 在此場合，對於多數個下位互換程序的組合，可分別生成中 間下位互換流程。 流程檢查部1 7是由外部記憶裝置2〇的可使用程序資料庫 2 3取知被#曰疋的可使用程序表袼τ 3。流程檢查部1 7，是以中 間下位程序流程（1)〜（4)及中間下位互換程序流程（5)所記述 的下位私序的資汛為關鍵（k e y )，檢索使用程序表格了 3。在 中間下位程序流程（1)〜（4)及中間下位互換程序流程（5)中，
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全部登錄在下位程序之可使用程序表格T3者是被當作下位流 程而輸出。此時’依照可使用程序表格73所登錄的編輯資 訊，以編輯各下位程序。 如圖1 2所不，可使用程序表格Τ3是定義著在生產線4〇中 可使用的下位耘序與編輯資訊。例如，在圖6、圖7的中間下 位程序流程（1)〜（2)及圖11之中間下位互換程序流程（5)所示 的下位程序ID二021之[CVD，膜種叶〇ly，膜厚二1〇± lnm，
InSi tu = of f ]，及圖8、圖9所示的中間下位程序流程（3)〜（4) 的下位程序ID二021之[CVD，膜種= P〇ly，膜厚=1〇± lnm，
InSitu = on]，是由圖12所示的可使用程序表袼73的下位程序 ID = 3 0 0之[CVD且膜種= poly且膜厚= 5〜2〇nm且丨^丨tu = (〇n或 〇 f f )]，可知為可使用的。利用可使用程序表格73，可知中 間下位程序流程（2 )之下位程序丨〇 2 3及中間下位程序流程 (4)的下位程序ID = 022之[CVD，膜種= SiN，膜厚二5 ± 0· 5ηπι， =situ=〇n]以外的全部下位程序為可使用的。在生產線4〇中 定義的下位程序之配方所對應的指定值P1、S1、H1、Qi及⑽ 等的追加是被登錄至編輯資訊中。在此處，雖然在編輯資訊 中只有追加登錄，但在其中定義刪除、置換等的編輯操作亦 可。 因此，對於中間下位程序流程（1)、（3)，及中間下位互 換私序流程（5 )，如圖1 3〜圖1 5所示，流程檢查部1 7是生成下 位私序流程（1 )、（ 3 )及（5 )。在生成下位程序流程時，是執 行可使用程序表格T3之編輯資訊所示的編輯。例如，對中間 下位程序流程（1)的下位程序IDzr〇2〇，追加[配方= ρι]。
13233pif.ptd 第18頁 1249769 五、發明說明（12) 且’對於存在有不能使用的下位程序之中間下位程序流 程，生成顯示出中間下位程序流程名、錯誤（err〇r)地方及 内容的變換錯誤資訊，並傳遞至中間下位程序流程與輸出部 1 3。輸出部1 3是輸出至線上管理裝置4 J等的外部，再進行畫 面顯示或資料保存。對應於中間下位程序流程（2 )的變換錯 誤資訊，如圖16所示，附加至下位程序ID = 〇23的 [InSitu = on]是錯誤的。 流程選擇部18是由外部記憶裝置2〇的屬性定義資料庫24 取得被指定的屬性定義表格T4。對於由流程檢查部17生成的 下位程序流程（1)、（3)及（5)，根據定義的方法，把屬性定 義表格T4所；t義的屬性生成下㈣序流㈣性f訊。根據下 位程序流程屬性資訊’利用由圖3所示的變換手順資訊所指 定的方法，選擇下位程序流程。 屬性定義表格T4，如圖17所示，對於下位程序流程的工 =成本：及預計良率的3個屬性項目，把算出方法分別定 義=计异程序數乘以2]、[下位程序流程當作輸入而執行 =擬„Γ)Χ]、[以品名為關鍵字檢索品名良率結 ί制下位程序流程執行成本之計算的模擬X，及 Ϊ二f : 名別作成資料庫的品名別良率結果DB， 儲存在例如外部記憶裝置2〇中 結綱的保管場所，例如二=減X，… pτ田壯班n i J M是外部記憶裝置20以外的線 上官理裝置41或是主機電腦32。 ^ 流程選擇部1 8是依昭定羞& + ⑴、…二Ί 義的方法，對於下位程序流程 ()生成下位程序屬性資訊。例如，對於下位程 13233pi f.ptd 1249769
序流程（ο的下位程序流程屬性資訊，如圖i8 期為10小時、成本為1 〇〇,〇〇〇日幣、預計良率\ γ 程選擇部18是利用如圖3所示的變換手順資吒了 $ ^ /;α· 被指定㈣序流程選擇⑴之條件的下位程序H / 遞至流程變換控制部14。 冉得 且’流程選擇部18，對於未選擇的下位程序流程⑴、 (3 )’則是把顯不不選擇此流程名之理由的非選擇程序流程 資訊生成，並把下位選擇流裎（1)、（3)傳遞至下位程序流程 屬性資訊及輸出部13。輸出部13，是把非選擇程序流程資訊 輸出至外部’例如是輸出至線上管理裝置41，再保存晝面顯 不或是貧枓三例如，如圖1 9所示，對於下位程序流程（丨）的 非選擇流程資訊中，因為下位程序流程（1)不是[工期未滿1〇 小時]，所以不會被選擇。 在本發明的實施例中，如上述那樣，流程變換控制部工4 是控制如圖3所示的程序流程之變換處理（〇，並進行作業指 示的生成。更，根據變換手順資訊，進行作業指示生成後^ 變換處理（2 )之配方的生成。在配方生成中，把根據作業指 示生成而選擇的下位程序流程（5)當作新的變換對象程序流 程，流程變換控制部1 4是與上述作業指示生成同樣地，再進 行配方生成變換處理（2)的控制。在此處，因為例示較為繁 瑣，故利用下位程序流程（5 )的下位程序丨D = 〇 2 3之[qc，膜種 二PolyaSiN，膜厚=1〇 ± lnma5 ± 〇· 5nm，配方= Q2]的變換過程 以說明。 ' 由圖4的變換定義表格資訊，在配方生成中使用的程序
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分解表格名為[Τ5]，下位程序互換表 序表格名為「Τ7 1 Μ , 換衣格名為[Τ6]，可使用程 Τ5、下位m拖Γί 格名為[Τ8]。程序分解表格名 格= 表格Τ6、可使用程序編，屬性定義表 22二：田 序分解資料庫21、下位程序互換資料庫 :使用程序賁料庫23，及屬性定義資料庫24。 =02 序猫分解表格Τ5，如圖2〇所示，程序ID300的圖案[配方 D值1)&(值3)且膜厚=(值2)a(值4)]是分解成下位 ^= 1 1)300:01的7種圖案[抽真空，成長室=#1]、[搬入，成 ^至，單位=批（lot)]、[測定，膜種=(值1)，膜厚=(值 [抽真空’成長室=#2]、[搬送、通路= #la#2，單位= 批][測疋，膜種=(值3 )，膜厚=(值4 )]，及[搬出、成長室 二# 2，單位=批]。 下位权序互換表格T 6，如圖2 1所示，下位程序I d 4 0 0的7 種圖案[抽真空、搬入、測定、抽真空、搬送、測定、搬出] 是變換成下位互換程序11}4〇〇-1的6種圖案[抽真空、搬入、 測定、搬送、测定、搬出]。在下位互換程序中，成長室 二（值5)、（值6)的兩個抽真空下位程序是整理成1個。且，搬 入、搬送、搬出程序的對象單位可由下位程序的批（lot)被 取代為晶圓。 可使用程序表格T7，如圖22所示，繪示在生產線40中可 使用下位程序的編輯資訊。在下位程序ID500〜505的[抽真 空]、[搬入]、[測定]、[搬送（批單位）]、[搬送（晶圓單 位）]、[測定]、[搬出]程序中，分別追加室配方（chamber recipe) [EVC]、[ in]、[OUT]、[TL]、[TW]、[Μ]。在此處，
13233pif.ptd 第21頁 1249769 五、發明說明（15) 雖然只有追加至編輯資訊中者被登錄，但是也可以 除、置換等的編輯操作。 #和 1性定義表格T8 ’如圖23所示，定義出下位程序流程的 屬性項目與方法。下位程序流程之製造成本及作業者負荷 執行成本模擬Υ及成本模擬ζ而算出。在此處，從下位程序汽 程進行成本計算的成本模擬γ ΑΖ，舉例而言，是儲存在外： :己憶裝置20中。且，成本模擬γ及2的保管場戶斤，例如也可以 是外部記憶裝置20以外的線上管理裝置41或是主機電腦32。 流程變換控制部14是把下位程序流程（5)當作對象程序 流程，以進行流程分解部15、互換流程生成部16、流程檢查 41 7及流程選擇部1 8的變換處理的流程。如圖2 4所示，流程 分解部1 5是從對象程序流程與程序分解表格Τ5，生成中間下 位程序流程（11)。如圖2 5所示，互換流程生成部丨6，是根據 下位程序互換表格Τ6，從中間下位程序流程（11)，生成中間 下位互換程序流程（12)。如圖26、27所示，流程檢查部17是 根據可使用程序表格Τ7，從中間下位程序流程（丨丨）及中間下 位互換程序流程（1 2 )，進行可使用的下位程序的檢查，再分 別生成下位程序流程（Π)及下位程序流程（12)。流程選擇部 1 8疋依屬性定義表格（τ 8 )，分別把下位程序流程（11)及（1 2) 的製造成本及作業者負荷算出，再如圖28、圖29所示，生成 下位程序流程屬性資訊（；[丨）、（；1 2 )。更，利用在圖3所示的 變換手順資訊的程序流程選擇（2 )中所被指定的[使用者選 擇]，選擇下位程序流程。例如，作業者負荷為下位程序流 程（1 1 ) 一半的下位程序流程（丨2 )被使用者選擇作為生產線用
13233pif.ptd 第22頁 1249769 五、發明說明（16) 程序流程’從輸出部1 3輸出至生產線4〇的線上管理穿置4 j 以此方式，流程變換控制部14是在作業指示生^後，進 行配方生成’並控制被變換手順資訊所指定的全部的變換處 理。又，生產線4 0上的固有資訊是被預先定義至變換定義表 格。因此’依照本發明之實施例的流程變換裝置〗〇，'可把與 生產線無依存關係的製造規格仕樣的程序流程，有效率地變 換成對應生產線4 0的下位程序流程 又，在上述例子中，在變換定義表格資訊中，作為對於 各變處理的變換定義表格，雖然是把程序分解表格、下位程 序互換表格、可使用程序表格，及屬性定義表格全部定義， 但是程序分解表格、下位程序互換表格、可使用程序表格， 及屬性定義表格中，至少定義丨個也可以。在此場合，各個 的變換處理的輸入程序流程，就變成依照原樣的輸出程序流 程、。例如，在程序分解表格未指定的場合，從輸入部11傳遞 至流程分解部1 5的製造規格仕樣的程序流程，與依原樣的中 間下位程序流程被重新命名（rename)，再傳遞^互換流程生 成部16。又，在屬性定義表格未指定的場合， 性資訊。在此場合，在變換手順資訊中，不需要流：屬：J 訊而可指定程序流程選擇。 且’在變換定義表格中，只有可使用程序表 40上固有的，換定義表格。程序分解表格、下位程序互換表 格，及屬性疋義表格，舉例而言，即使是同—工廠内不同的 =線^者ίί公司或其他公司的不同工廠的生產線都能 通用。因此，程序分解表格、下位程序互換表格，及屬性定 13233pi f.ptd 第23頁 1249769 五、發明說明（17) 義表格，可使用預先儲存在外部記憶裝置2〇的程 庫21、下位程序互換資料庫22、可使用程序資料庫2刀3，= 性定義資料庫24之屬性定義表格。可使用程序表格兴 言’作為對象的生產線4 0的線上管理裝置4丨，3勺二而 造裝置42a、42b、…、42n等的補修或故障狀況&的可製 序進行點檢，且可隨時存取外部記憶裝置以更新 壬 資料庫23的可使隸序表格。當可使用程序表格被更=序
流程變換裝置10便執行新的變換處理，以生 】I 程序流程。 丨叼I座線用 其次，利用圖30所示的流程圖，說明依照本發—途 施例的流程變換方法。 灵 -乂υΛ先，在步驟870中，從線上管理裝置41取得圖1所 不的生產線4G的可使用程序表格，並登錄 ^ 的外部記憶裝置20。 π足換衷置1〔 (二其:欠’在步糊中’利用變換手順資訊及 貝汛，及流程變換裝置10的輸入部丨丨，由圖i所示 仕樣程序流程。 *交換対豕牙王序肌私的製造規格 11而==SJ2中，利用流程變換控制部14，從輸入部 二己ii:。而/象程序流程及變換手順資訊，以及從外 二5;序巧：格，是被傳遞至流程分解部 換手順μ所示的範圍進行作t指示生成的變換處理
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第24頁 1249769 五、發明綱（18) ' --- 根據程序分解表格的定義，分解成下位程序 作業指示的中間下位程序流程。 罕再生成 (iv)在步驟S73中，利用流程變換控制部14，把在流程 分解部15所生成的巾間下位程序隸，與從外部記 而來的被指定的下位程序互換表格傳遞至互換流程生成部 16。利用互換流程生成部16，檢索中間下位程序 位程序之圖帛。當在中間下位程序流程中 = 位程序互換表格的下位裎庠沾岡安祌 备 疋義於下 中， 卜=序的圖案Ν' ’在互換流程生成部16 的作韋浐中^ 換成下位互換程序的圖案，並生成新 的作業扎不的中間下位互換程序流程。 (V)在步驟S74中，利闲、、六名口料& w w > 1 5及互換流程生成部1 6所生成的^門^位^ ^ i流程分解部 位程序流程，與由外部^己r ί = 0 :位耘序流程及中間下 被傳遞至流程檢= = 用中；r;;換程序流程的下位程序的資訊心 用程ΪΠίΓΚΐ::::6!下位程序是把登錄… 程序表程而生成。在此時，根據可使用 查部二ίΓΓ下75///j用流程變換控制則^ 的屬性定義序流程，與由外部記憶裝置20所指定 序流程定義的屬性定義表格，生成下位程 屬〖生…更，利用流程選擇部18，根據下位程序流
第25頁 1249769 五、發明說明（19) 程屬性資訊，依照變換手 之定義，選擇作章於干I: 所指定的程序流程選擇⑴ ,··、释作業扣不的下位程序流程。 U11)在步驟S76中，利用户 擇部18所選擇的作章产干」^权變換控制部14，把流程選 程序，根據= 序流程當作第2變換對象 成用的變換處理（2)。此時支1疋義表格資訊，進行配方生 換定義表格，由流程變換控制部1丄 變換#制11“ 利用流程分解部15，根據從流程 耘刀解，並生成配方的中間下位程序流程。 程變Γ二=?，利用互換流程生成部16，根據從流 的下位程序互換表格，中間下位程序流 位互換程序流程。換知序置換’並生成配方的中間下 _制邻中’利用流程檢查部17，根據從流程變換 ΐ;位使用程序表格，檢索中間下位程序流程及 序程的下位程序及下位互換程序，且全部 位互換程序，是把登錄在可使用程序表格 位r ；Π : &中間下位互換程序流程當作配方的下 成。此時，依照可使用程序表格所登錄的編 輯貝訊，編輯各下位程序。 換栌(二匕t:s8°s中’利用流程選擇部18 ’根據從流程變 :控：4編屬性定義表格，生成下位程序流程屬性資 、康下位私序流程屬性資訊，依照變換手順資訊所指
13233pif.ptd 第26 1249769 五、發明說明（20) - 定的耘序流裎選擇（2 )的定義，由使用者選擇配方的下位裎 序流程。 (X i ί )在步驟S 8 1中’利用流程變換控制部1 4，把被選擇 的配方之下位流程當作生產線用程序流程，傳遞至輸出部j 13。更二從輪出部13輸出至生產線4〇的線上管理裝置41。 像這樣，依照本發明之實施例之流程 ， 曰 m於外部記憶裝置20之生產線40固有的可使用程匕 :生產線40無依存關係的製造規袼仕樣程序流程，變 程ί流程，所以，可有效率地對應生線線而生： 生產線用程序流程。且，侬眧太 王成 法，因為可將各+妄@ ^ 貫施例的流程變換方
ί⑼m ί 可使用程序表格登錄至外部記” I 置2 0，所以生產線間的裎庠泣 ― ^ 行。 序慨耘的移官可W便又有效率地進丨 且，採用本發明之實施例的流 1 又有效率地實施製造程序的管理。舉例而”：： ：間便 實施例的製造程序管理方、、扣 "依…、本發明之丨 線40的製造糕序管理夸έ充 二μ用於包含圖1所示的生產 以說明。 糸 '、先的％合，將利用圖31所示的流程圖 (i)首先，在步驟890Φ m ^ 線40的可使用程序表格登錄至理裝置41，把生產 置2 0。 ",L耘虼換裝置1 0的外部記憶裝 (i i )在步驟S 9 1中，拍祕 裝置1〇取得，由製造規格\據樣可/^程。序表格，從流程變換 序的生線線用程序流程。，又’爪私的知序變換為下位程
13233pif.ptd 第27頁 1249769 五、發明說明（21) 在生產線 (iii)在步驟S92中’利用生產線用程序流程， 40中執行製造程序。 (i v )在步驟S 9 3中，利用線上管理奘 40的可使用程序。 …置41，點檢生產線 (v) 在步糊4中m產線4G的可使用裎 更’若可使用权序無變更的話，則在步驟S97中 欠 線用程序流程，施行新的製造程序。 伙α王座 (vi) 如果生產線40的可使用程序有變更的話， S95中，新的可使用程序表格是被登錄至流 〇 外部記憶裝£20。 U10的 (VII)在步驟S96中，由流程變換裝置1〇根據新的可使用 程序表格而變換製造規袼仕樣程序流程所生成之新的生產線 用程序流程’可利用線上管理裝置4 1取得。 (Vi ii)在步驟S97中，是依照新的生產線用程序流程， 實施新的製造程序。 依照本發明的實施例，因為生產線4〇的可使用程序表格 隨時更新，可讓生產線用程序流程配合生產線4〇的可使用程 序的變動而變更。因此，可簡便又有效地進行製造程序的管 理〇 且’根據本發明的實施例之流程變換方法或是製造程序 管理方法，不僅可適用於生產線4〇，甚至同一工廠内的不同 生產線’或者是本公司或其他公司的不同工廠的生產線也能 適用。例如’如圖3 2所示，如果分別把可使用程序表格登錄 至流私ft:換裝置1 〇中的話，設置在連接有流程變換裝置丨〇的
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1249769 五、發明說明（22) LAN(區域網路）30内部的工廠5〇中的多數個生產線4〇、 4〇a.....4〇n所對應的生產線用程序流程便能生成，且也可 利，工廠50的線上管理裝置41簡便又有效率地進行製造程 的e理。更，經由LAN30的選路s(router)35連接至網際網 路（internet)或是利用專用線的網路（netw〇rk)36的話诱 過選路器35a、35b，可對設置在遠地的UN3〇a、3〇b之本八 2或：他公司的工廠50a、5〇b的生產線進行存取。利用：理 ^ =廠50a、50b的生產線之線上管理裝置41&、4^，可 連接至L A N 3 0的流程變換梦署1 Q 古4方 用 本这制▲ 枉夂换衣置1 0，有效率地實施流程變換方 法及製造程序管理方法。 夂供万 [另一實施例] 為产實施例中，雖然是說明了用獨立的電腦等作 ί 置丨：，但是流程變換裝置1。的功能，舉例Γ : 田^也可以包含主機電腦32、線上管理奘W41 作成裝置31。 八工e理裝置41或是流程 定本本發明已以較佳實施例揭露如上，铁立並非用以砰 疋本發明，任何熟習此技藝者， ……、艾非用u rn 圍内，當可作此許 ，離本發明之精神和範 視後附之申，專： 因此本發明之保護範圍售 τ明寻利章巳圍所界定者為準 田
13233pif.ptd 第29頁 1249769 圖式簡單說明 【圖式簡單說明】 圖1是依照本發明之一實施例的流程變換裝置的系統構 成圖。 圖2是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的製造 規格仕樣的程序流程說明圖之一例。 圖3是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的變換 手順資訊說明圖之一例。 圖4是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的變換 定義表格資訊說明圖之一例。 圖5是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的作業 指示生成用的程序分解表格說明圖之一例。 圖6〜圖9是依照本發明之一實施例之由流程變換而生成 的中間下位程序分說明圖之一例。 圖1 0是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的作業 指示生成用的下位程序互換表格說明圖之一例。 圖1 1是依照本發明之一實施例之由流程變換而生成的中 間下位互換程序流程說明圖之一例。 圖1 2是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的作業 指示生成用的可使用程序表格說明圖之一例。 圖1 3〜圖1 5是依照本發明之一實施例之由流程變換而生 成的下位程序流程說明圖之一例。 圖1 6是依照本發明之一實施例之由流程變換而生成的變 換錯誤資訊說明圖之一例。 圖1 7是依照本發明之一實施例之應用於流程變換的作業
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指示生成用的屬性定義表格說明圖之一例 圖18是依照本發明之一實施例之由流 位程序流程屬性資訊說明圖之一例。 圖1 9是依照本發明之一實施例之由流 選擇程序流程資訊說明圖之一例。 、▲圖2 0是依照本發明之一實施例之應用 成變換處理的程序分解表格說明圖之一例 圖2 1是依照本發明之一實施例之應用 成變換處理的下位程序互換表格說明圖之 圖22是依照本發明之一實施例之應用 成變換處理的可使用程序表格說明圖之一 圖2 3是依照本發明之一實施例之應用 成變換處理的屬性定義表格說明圖之一例 圖24是依照本發明之一實施例之由配 換處理而生成的中間下位的程序流程說明 圖2 5是依照本發明之一實施例之由配 換處理而生成的中間下位互換程序流程說 圖2 6、圖2 7是依照本發明之一實施例 生成變換處理而生成的下位程序流程說明 圖2 8、圖2 9是依照本發明之一實施例 生成變換處理而生成的下位程序流程屬性 例0 圖3 0是依照本發明之一實施例的流程 (flowchart) 〇 程變換而生成的下 程變換而生成的非 於配方（recipe)生 〇 方> g己方（recipe)生 一例〇 於配方（recipe)生 例。 方> 酉己方（recipe)生 〇 方（recipe)生成變 圖之一例。 方（recipe)生成變 明圖之一例。 之由g己方（recipe) 圖之一例。 之由酉己方（recipe) 資訊說明圖之一 變換方法之流程圖
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圖3 1是依照本發明之一實施例的製造程序管理方 ώ 程圖。 / < k 圖32是進行著依照本發明之一實施例的流程變換方法之 生產線的工廠構成例之方塊圖。 【圖式標示說明】 1 〇流程變換裝置，；1丨輸入部， 12中央運算單元（cpu)，13輸出部， 1 4流程變換控制部，1 5流程分解部， 1 6互換流程生成部，1 7流程檢查部， 1 8流程選擇部，1 9内部記憶部， 2 〇外部記憶裝置，2 1程序分解資料庫， 2 2下位程序互換資料庫，2 3可使用程序資料庫， 2 4屬性定義資料庫， 30、30a、30b 區域網路（LAN)， 3 1流程作成裝置，3 2主機電腦， 35、35a、35b選路器，36利用專用線的網路， 40、40a、…、40η生產線 4 1、4 1 a、4 1 b線上管理裝置， 42a、42b、…、42ri製造裝置， 50、50a、50b 工廠， 5 7 0 ·•取得可使用程序表格， S71:取得第1變換對象的程序流程， S72 :生成作業指示的中間下位程序流程， S73··生成作業指示的中間下位互換程序流程，
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圖式簡單說明 S74 生 成 作 業 指 示 的 下 位 程 序 流 程， S75 選 擇 作 業 指 示 的 下 位 程 序 流 程， S76 取 得 第 2變換對象的程序流程， S77 生 成 配 方 的 中 間 下 位 程 序 流 程 S78 生 成 配 方 的 中 間 下 位 互 換 程 序流程’ S79 生 成 配 方 的 下 位 程 序 流 程 S80 選 擇 配 方 的 下 位 程 序 流 程 S81 輸 出 生 產 線 用 程 序 流 程 S90 登 錄 可 使 用 程 序 S91 取 得 生 產 線 用 程 序 流 程 S92 執 行 製 造 程 序 S93 點 檢 生 產 線 的 可 使 用 程 序 S94 判 定 可 使 用 程 序 有 無 變 更 9 S95 登 錄 新 的 可 使 用 程 序 S96 取 得 新 的 生 產 線 用 程 序 流 程 5 S97: :執 行 新 的 製 造 程 序 〇 13233pif.ptd 第33頁
Claims (1)
1249769 六、申請專利範圍 1. 一種流程變換裝置，包括· 一流程分解部，根據一程序八 象程序流程的程序分解成一下你二解表格，把記述一變換對 序流程； 私序，以生成一中間下位程 互換狀私生成部，根據記述著盥兮下彳 生產線的一下位互換程序的一下二:位程序相當的一 互換程序置換掉該下位程序，f序f換表格，以該下位 程； 私序以追加-中間下位互換程序流 一流程檢查部，根據一可柹用劣 ^ J便用私序表格，從該中間下位 程序流程及該中間下位互拖招床、、六妒 .^ J r m 「m立換私序，爪私，生成出在 可使用的一下位程序流程； 王座踝甲 〜、一流程f擇部，根據定義著該下位程序之屬性的一屬性 定義表格’算出該屬性，以選擇該下位程序流程；以及 一外部e己憶裝置，儲存著該程序分解表格、該下位程序 互換表格、該可使用表格，以及該屬性定義表袼。 2 ·如申请專利範圍第1項所述之流程變換裝置，更包括 一流程變換控制部，根據定義著該變換對象程序流程的變換 處理之手順的一變換手順資訊，分別控制該流程分解部、該 互換流程生成部、該流程檢查部，及該流程選擇部之處理。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之流程變換裝置，更包括·· 一輸入部，取得作為該變換對象程序流程之製造規格仕 樣程序流程；以及 一輸出部，輸出該流程選擇部所選擇的該下位程序流 程。 第34頁 1249769
六、申請專利範圍 生產線的一可使用程序 的 4 · 一種流程變換方法，包括： 由一流程變換裝置取得記述著一 一可使用程序表袼； 由該流程變換裝置取得一 該流程變換裝置是根據一 仕樣程序流程的程序分解成一 程序流程； 變換對象程序流程； 程序分解表格，把一製造規格 下位程序，以生成一中間下位 該 互換程 成一中 該 序及該 程及該 該 序流程 5. 得作為 表格， 程，其 程。 序把該 間下位 流程變 下位互 中間下 流程變 的屬性 如申請 該可使 並取得 中被選 中間下 互換程 換裝置 換程序 位互換 換裝置 ，以選 專利範 用程序 作為該 擇的該 流程變換裝置是根據一下位程序分解表格 、 以一下位 位程序流程之該下位程序置換掉，以生 序流程； 是根據該可使用程序表格，從該下位程 之該可使用程序中之該中間下位程序流 程序流程，生成一下位程序流程；以及 是根據一屬性定義表格，算出該下位程 擇該下位程序流程。 圍第4項所述之流程變換方法，其中取 表格的一作業指示生成用的可使用程序 變換對象程序流程的一製造規袼仕樣流 下位程序流程是一作業指示下位程序流 6·如申請專利範圍第5項所述之流程變換方法，更包括： 二^ Ϊ為該可使用表格的—配方生成用的可使用程序表格，· $，传作為該變換對象程序流程的該作業指示下位程序流 王並把被選擇的該下位程序流程當作一生產線用程序流程
第35頁 1249769 六、申請專利範圍 而輸出。 7 · —種製造程序管理系統，包栝： 一線上管理裝置，管理一生產線； 一流程作成裝置，作成該生產線的一製造規格仕樣程序 流程；以及 一流程變換裝置，根據從該線上管理裝置所取得的該生 產線的一可使用程序表格，把該製造規格仕樣程序流程變換 成一生產線用程序流程。 、 8 ·如申請專利範圍第7項所述之製造程序管理系統，其 中該流程變換裝置更包括： 一輸入部’取得該製造規格仕樣程序流程； 一中央運算處理單元，執行一變換處理； 一外部記憶裝置，儲存著該可使用程序表格；以及 輸出邛，把δ玄生產線用程序流程輸出至該線上管理裝 中：中利範圍第8項所述之製造程序管理系統，其 中3中央運异處理單元更包括： 象程；ΪΪ!解部’根據一程序分解表格，把記述-變換對 的程序分解成—下位程序，以生成一中間= 生產線的一下位互換程序的一下：d::程序相當的 程； 序追加一中間下位互換程序
1249769 六、令請專利範圍 一流程檢查部，根據一可使用程序表格，從該中間下位 程序流程及該中間下位互換程序流程，生成出在該生產線中 可使用的一下位程序流程； 、一抓私選擇部’根據定義著該下位程序之屬性的一屬性 定義表^，算出該屬性，以選擇該下位程序流程；以及 ^ 一流程變換控制部，根據定義著該變換對象程序流程的 變換處理之手順的一變換手順資訊，分別控制該流程分解 部、該互換流程生成部、該流程檢查部，及該流程選擇部之 變換處理。 1 〇 · 一種製造程序管理方法，包括： 由一線上官理裝置將一生產線的一可使用程序表格登 至一流程變換裝置中； “ 該 換裝置 位程序 該 產線中 該 若 置是把 該 程變換 新的生 11 線上管理裝置是根據該可使用程序表格，從該流程變 取得被變換成一製造規格仕樣程序流程之程序的一下 的一生產線用程序流程； 線上管理裝置是利用該生產線用程序流程，對在哕 施行的製造程序進行管理； ^ ，i ΐ裝置是對該生產線的可使用程序進行點檢· 在该生產線的可使用程序有變更的話，該線上管’ 一新的可使用程序表格登錄至該流程變換裝、 線上管理裝置是根據該新的可使用程序表格，’及a 裝置取得由該製造規格仕樣程流程 ς二机 產線用程序流程。 欠秧的新的一 •如申請專利範圍第1 〇項所述之製造程序管理方法，
13233pif,ptd 第37頁 1249769 六'申請專利範圍 其中由該流程變換裝置所竇 變換更包括： 直所實細的该製造規格仕樣程序流程的 取得一變換對象程序流程； 解忠：U ί刀解表袼’把該變換對象程序流程的程序分 解成遣：位釭序，以生成-中間下位程序流程； 根據該下位程序互換表格，以—下位 位程序流程的該下位程序，以生成-中間下位互= 1據該可使用程序表格，從該下位程序及 序之該可使用程序中的該中η下你#广、六# η +丄 立換柱 了 Y W中間下位私序流程及該中間下位互 換％序机耘，生成一下位程序流程；以及 根據-屬性定義表格’算出該下位程 選擇該下位程序流程。 蜀庄以 12·如申請專利範圍第11項所述之製造程序管理方法， ς中取得作為該可使肖程序表格的—作業指*生成用的一可 用程序表格，並取得作為該變換對象程序流程的一 。仕樣流程’其中被選擇的該下位程序流程是一下 位程序流程。 朴系托不下 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項所述之製造程序管理方法， ^包括：取得作為該可使用表格的一配方生成用的可使用表 ;並取得作為該變換對象程序流程的該作業指示下位程序 /;,L程’再把被選擇的該下位程序流程當作該生產線用 程而輸出。 L 1 4 ·如申請專利範圍第1 〇項所述之製造程序管理方法，
I249769 六 、申請專利範圍 其中記述於該生產線用程序流程中的全部製造程序終了之 後’該線上管理裝置是施行該可使用程序的點檢。 1 5 ·如申請專利範圍第1 0項所述之製造程序管理方法， 其中，在記述於該生產線用程序流程中的該製造程序的途 中’該線上管理裝置是施行該可使用程序的點檢。 希1 6 · —種記憶媒體，儲存一電腦程式，該電腦程式執行 —製造程序管理方法，該製造程序管理方法包括·· 取得記述著一生產線的可使用程序的一可使用程序表 格； 八根據一程序分解表格，把一製造規格仕樣程序流程的程 分解成一下位程序，以生成一中間下位程序流程· 根據一下位程序互換表格，以一下位互換程序把該中間 =序流程的該下位程序置換#，以生成—中間下位互換 柱序流程； 根據該可使用帛序表#，從該τ位程序心 序的該可使用程序中的兮φ ρ爿 、 ^ ^ ^ τ白勺4中間下位耘序流程及該中間下位5 換程序流程，生成一下仞於皮、夫< j r位5 土取 下位程序流程；以及 根據一屬性定Hi夂，I》 VJ 、S @ ^ nr & > + 表 异出該下位程序流程的屬性， 選擇该下位程序流程。
13233pi f.ptd 第39頁
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003097008A JP2004304044A (ja) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | フロー変換装置、フロー変換方法、製造工程管理システム、製造工程管理方法及びプログラム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200425257A TW200425257A (en) | 2004-11-16 |
| TWI249769B true TWI249769B (en) | 2006-02-21 |
Family
ID=33408912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW093105259A TWI249769B (en) | 2003-03-31 | 2004-03-01 | Device and method for flow conversion, system and method for controlling manufacturing process and recording medium for computer program thereof |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6925343B2 (zh) |
| JP (1) | JP2004304044A (zh) |
| TW (1) | TWI249769B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI228229B (en) * | 2003-05-08 | 2005-02-21 | Taiwan Semiconductor Mfg | Method of duplicating future action of wafer batch in a semiconductor process |
| JP4599242B2 (ja) * | 2005-07-01 | 2010-12-15 | 株式会社日立製作所 | 工程管理システム、および、工程管理方法 |
| US7315765B1 (en) * | 2005-07-29 | 2008-01-01 | Advanced Micro Devices, Inc. | Automated control thread determination based upon post-process consideration |
| KR100721611B1 (ko) | 2005-08-10 | 2007-05-25 | 김두용 | 데이터베이스 시스템 구축 방법 |
| EP2309432A1 (en) * | 2009-09-07 | 2011-04-13 | Siemens Aktiengesellschaft | A method and a system for propagating a scaling mode in a production process |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4796194A (en) * | 1986-08-20 | 1989-01-03 | Atherton Robert W | Real world modeling and control process |
| JPH0616475B2 (ja) * | 1987-04-03 | 1994-03-02 | 三菱電機株式会社 | 物品の製造システム及び物品の製造方法 |
| JP3140877B2 (ja) | 1993-02-24 | 2001-03-05 | 株式会社東芝 | プロセスフローチェック・シミュレーション装置 |
| US5495417A (en) * | 1990-08-14 | 1996-02-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | System for automatically producing different semiconductor products in different quantities through a plurality of processes along a production line |
| JPH0997496A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Nec Corp | 強誘電体メモリ装置及びデータ読出方法 |
| KR100243806B1 (ko) * | 1996-06-07 | 2000-02-01 | 가네꼬 히사시 | 공정 플로 작성 시스템 |
| US5886896A (en) * | 1996-11-19 | 1999-03-23 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for integrated control of a sensor in a manufacturing processing station |
| US5937323A (en) * | 1997-06-03 | 1999-08-10 | Applied Materials, Inc. | Sequencing of the recipe steps for the optimal low-k HDP-CVD processing |
| US6041270A (en) * | 1997-12-05 | 2000-03-21 | Advanced Micro Devices, Inc. | Automatic recipe adjust and download based on process control window |
| JPH11232338A (ja) | 1998-02-17 | 1999-08-27 | Toshiba Corp | プロセスフロー作成装置、プロセスフロー作成方法、及び、プロセスフロー作成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
2003
- 2003-03-31 JP JP2003097008A patent/JP2004304044A/ja active Pending
-
2004
- 2004-03-01 TW TW093105259A patent/TWI249769B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-03-09 US US10/795,300 patent/US6925343B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200425257A (en) | 2004-11-16 |
| JP2004304044A (ja) | 2004-10-28 |
| US20040236449A1 (en) | 2004-11-25 |
| US6925343B2 (en) | 2005-08-02 |
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