JP2004304044A - フロー変換装置、フロー変換方法、製造工程管理システム、製造工程管理方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】工程フローの移管を効率よく行うフロー変換装置を提供する。
【解決手段】変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部１５と、下位工程と等価な製造ライン４０の下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部１６と、使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから製造ライン４０で使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部１７と、下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて属性を算出して下位工程フローを選択するフロー選択部１８と、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能テーブル、及び属性定義テーブルを格納する外部記憶装置２０とを備える。
【選択図】 図１
【解決手段】変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部１５と、下位工程と等価な製造ライン４０の下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部１６と、使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから製造ライン４０で使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部１７と、下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて属性を算出して下位工程フローを選択するフロー選択部１８と、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能テーブル、及び属性定義テーブルを格納する外部記憶装置２０とを備える。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は工程フローの変換、特に製造仕様を記述した工程フローから製造作業手順、装置制御手順を記述した工程フローへの変換に使用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置を製造する場合、製造ラインで使用する製造装置や製造工程の作業手順等の膨大な量の情報を管理して行われる。製造装置や作業手順の情報に基いて製造ラインに対する工程フローを作成して、半導体装置の製造が管理される。工程フローには、使用製造装置や作業手順等の製造ライン固有の情報を含んでいる。半導体装置の製造を別の製造ラインに移管する場合、その都度、工程フローを別の製造ラインの使用製造装置や作業手順等に合わせて修正しなければならない。工程フローの修正量が膨大であるため、実際には、工程フローの再作成となる。これに対して、製造ラインに依存しない工程フロー表記を用いて工程フローの移管を行う方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
製造ラインに依存しない工程フローを用いる場合、個々の工程に使用する製造装置や作業手順等の各製造ライン固有の情報が必要になる。製造ラインに依存しない工程フローを各製造ライン固有の工程フローに書き換える作業は、各製造ライン固有の工程フローを作成するのと変わらず、工程フロー移管の効率は改善されない。
【０００４】
また、使用する製造装置や作業手順等の情報は、個々の工程を処理する具体的な情報である。例えば、製造装置のトラブル等により、製造ライン固有の情報は影響を受け易い。そのため、製造装置にトラブルが発生する度に工程フローを修正しなければならない。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決し、製造ライン間での工程フローの移管を効率よく行うことができるフロー変換装置、フロー変換方法、フロー変換装置を用いた製造工程管理システム、製造工程管理方法及びフロー変換方法のプログラムを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、（イ）変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部と、（ロ）下位工程と等価な製造ラインの下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部と、（ハ）使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから製造ラインで使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部と、（ニ）下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて属性を算出して下位工程フローを選択するフロー選択部と、（ホ）工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能テーブル、及び属性定義テーブルを格納する外部記憶装置とを備えるフロー変換装置であることを要旨とする。
【０００７】
本発明の第２の態様は、（イ）製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルをフロー変換装置が取得するステップと、（ロ）変換対象工程フローをフロー変換装置が取得するステップと、（ハ）工程分解テーブルに基いてフロー変換装置が、製造仕様工程フローの工程を下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するステップと、（ニ）下位工程互換テーブルに基いてフロー変換装置が、中間下位工程フローの下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成するステップと、（ホ）使用可能工程テーブルに基いてフロー変換装置が、下位工程及び下位互換工程が使用可能工程である中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成するステップと、（ヘ）属性定義テーブルに基いてフロー変換装置が、下位工程フローの属性を算出して下位工程フローを選択するステップとを含むフロー変換方法であることを要旨とする。
【０００８】
本発明の第３の態様は、（イ）製造ラインの管理を行うライン管理装置と、（ロ）製造ラインの製造仕様工程フローを作成するフロー作成装置と、（ハ）ライン管理装置から取得した製造ラインの使用可能工程テーブルに基いて、製造仕様工程フローを製造ライン用工程フローに変換するフロー変換装置とを備える製造工程管理システムであることを要旨とする。
【０００９】
本発明の第４の態様は、（イ）製造ラインの使用可能工程テーブルをライン管理装置がフロー変換装置に登録するステップと、（ロ）フロー変換装置により使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローの工程が下位工程に変換された製造ライン用工程フローを、ライン管理装置が取得するステップと、（ハ）製造ライン用工程フローを用いて製造ラインで実施される製造工程をライン管理装置が管理するステップと、（ニ）製造ラインの使用可能工程をライン管理装置が点検するステップと、（ホ）製造ラインの使用可能工程に変更があれば、ライン管理装置が新たな使用可能工程テーブルをフロー変換装置に登録するステップと、（ヘ）フロー変換装置により新たな使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローが変換された新たな製造ライン用工程フローを、ライン管理装置が取得するステップとを含む製造工程管理方法であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第５の態様は、（イ）製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルを取得する命令と、（ロ）変換対象工程フローを取得する命令と、（ハ）工程分解テーブルに基いて、製造仕様工程フローの工程を下位工程に分解して中間下位工程フローを生成する命令と、（ニ）下位工程互換テーブルに基いて、中間下位工程フローの下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成する命令と、（ホ）使用可能工程テーブルに基いて、下位工程及び下位互換工程が使用可能工程である中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成する命令と、（ヘ）属性定義テーブルに基いて、下位工程フローの属性を算出して下位工程フローを選択する命令とをコンピュータに実行させるためのプログラムであることを要旨とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号が付してある。但し、図面は模式的なものであり、装置やシステムの構成等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な構成は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また図面相互間においても互いの構成等が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１２】
本発明の実施の形態に係るフロー変換装置１０は、図１に示すように、変換対象工程フローである製造仕様工程フロー及びフロー変換の手順や定義等のフロー変換情報を取得する入力部１１と、工程フローの変換処理を行う中央演算ユニット（ＣＰＵ）１２と、工程フロー変換結果を表示すると共に、変換された製造ライン用工程フローを製造ライン４０のライン管理装置４１に出力する出力部１３と、工程フローの変換処理に使用する各種の変換定義テーブルを格納する外部記憶装置２０を備えている。フロー変換装置１０は、ライン管理装置４１により工程管理される複数の製造装置４２ａ、４２ｂ、・・・、４２ｎを備える製造ライン４０と、製造仕様工程フロー、変換手順情報及び変換定義テーブル情報を作成するフロー作成装置３１と、ホストコンピュータ３２とを含むローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）３０に接続され、製造工程管理システムを構成している。
【００１３】
フロー変換装置１０のＣＰＵ１２は、工程フローの変換処理を制御するフロー変換制御部１４と、変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部と、下位工程と等価な製造ラインの下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、中間下位工程フローの下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部と、製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから製造ラインで使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部と、下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて属性を算出して下位工程フローを選択するフロー選択部と、各種の工程フロー変換処理に関するデータを格納すると共に、工程フロー変換を実施するプログラムコードを格納する内部記憶部１９とを備えている。
【００１４】
また、外部記憶装置２０は、製造ライン４０の製造仕様工程フローの変換に使用する変換定義テーブルを格納している。例えば、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル及び属性定義テーブルが、それぞれ工程分解データベース２１、下位工程互換データベース２２、使用可能工程データベース２３及び属性定義データベース２４に格納されている。
【００１５】
フロー変換装置１０の入力部１１は、フロー作成装置３１等の外部システムから、製造ラインに依存しない製造仕様工程フローと、製造仕様工程フローの変換範囲、変換処理、下位工程フローの選定条件が定義された変換手順情報、及び変換処理で使用する変換定義テーブル名が記載された変換定義テーブル情報を取得し、ＣＰＵ１２のフロー変換制御部１４に渡す。製造仕様工程フローの工程フロー（１）には、図３に示すように、識別番号（ＩＤ）と工程が記述されている。変換手順情報には、図４に示すように、変換対象工程フロー名、範囲、変換処理、及び工程フロー選択等が記述されている。また、変換定義テーブル情報には、図４に示すように、変換処理に対してフロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、フロー選択部１８が用いる工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル、属性定義テーブルの名前が記述されている。
【００１６】
例えば、図３の変換手順情報によれば、図２の工程フロー（１）の化学気相成長（ＣＶＤ）工程であるＩＤ＝０１０から０１１の範囲が変換範囲であることを示している。また、変換範囲に対して、作業指示生成の変換処理（１）を行い、次にレシピ生成の変換処理（２）を行うことが示されている。更に、作業指示生成により生成される下位工程フローのうち、工程フロー選択（１）で、工期が１０時間未満、且つ、予想歩留まりが７０％以上である下位工程フローが作業指示下位工程フローとして選択される。選択された作業指示下位工程フローに対してレシピ生成を行い、レシピ生成により生成される下位工程フローに対して、工程フロー選択（２）で、ユーザが選択した下位工程フローを製造ライン用工程フローとして出力する事を示している。作業指示生成及びレシピ生成では、工程分解テーブルＴ１及びＴ５、下位工程互換テーブルＴ２及びＴ６、使用可能工程テーブルＴ３及びＴ７、属性定義テーブルＴ４及びＴ８が、それぞれ使用される。
【００１７】
ここで、図２の変数「膜種」は、ＣＶＤ膜の種類を示し、「Ｐｏｌｙ」はポリシリコン膜、「ＳｉＮ」はシリコン窒化（Ｓｉ３Ｎ４）膜を示す。変数「膜厚」は、ポリシリコン膜あるいはＳｉ３Ｎ４膜の厚さを示す。また、「前提」は、ＣＶＤ工程を実施のためのウェハ表面条件で、「Ｔｏｘ」は、自然酸化膜の厚さを示し、「Ｔｏｘ＜０．２ｎｍ」は、例えばフッ酸（ＨＦ）溶液による洗浄処理が必要であることを示している。
【００１８】
なお、実施の形態の説明では、変換範囲の工程として、ＣＶＤ工程を用いているが、金属堆積、エピタキシャル成長、あるいはエッチング等のウェハの形状変化を伴う工程が変換の対象となる。ウェハ形状の変化を伴う工程で使用する製造装置には、機差があり作業手順も固有のものとなるためである。
【００１９】
ここでは、工程フローの一部のみを変換範囲とする例を挙げたが、工程フロー全体を変換範囲としても構わない。例えば、工程フローを逐次作業指示やレシピに分解しながら製造工程を流す場合は、工程フローの一部のみを変換範囲とする。一方、最初に工程フローを一括して作業指示やレシピに分解し、製造工程を流す場合は、工程フロー全体が変換範囲となる。
【００２０】
ＣＰＵ１２のフロー変換制御部１４は、フロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、及びフロー選択部１８の変換処理の流れを制御する。フロー分解部１５には、入力部１１から渡された変換対象の工程フロー（１）と変換手順情報を渡す。次に、フロー分解部１５の分解結果である中間下位工程フローを互換フロー生成部１６に渡す。次に、中間下位工程フローと、互換フロー生成部１６の生成結果である中間下位互換工程フローをフローチェック部１７に渡す。更に、フローチェック部１７によるチェック結果である下位工程フローと、変換手順情報をフロー選択部に渡す。また、フロー変換制御部１４は、フロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、及びフロー選択部１８が必要とする工程分解テーブル、工程互換情報、使用可能工程テーブル、及び属性定義テーブルの名前を変換定義テーブル情報から取得して渡す。なお、図３に示したように、変換手順情報に複数の変換処理（１）、（２）が指定されている場合は、フロー変換制御部１４は、上記の処理を繰り返す。先行する変換処理（１）の最後にフロー選択部１８により選択された複数の下位工程フローが、次の変換処理（２）のフロー分解部１５の変換対象工程フローとなる。
【００２１】
フロー分解部１５は、指定された工程分解テーブルＴ１を外部記憶装置２０の工程分解データベース２１より取得し、工程フロー（１）中の工程を検索する。フロー分解部１５は、変換手順情報に示される範囲に対して、工程分解テーブルＴ１に定義された工程のパターンが存在する場合、該当する下位工程のパターンに分解し、幾つかの中間下位工程フローを生成する。該当する下位工程のパターンが複数存在する場合、その数だけ中間下位工程フローが生成される。
【００２２】
工程分解テーブルＴ１は、図５に示すように、工程が下位工程に分解されるパターンを定義している。例えば、工程ＩＤ＝１００の「ＣＶＤ 且つ 膜厚＝（値１）±（値２）ｎｍ」工程が、下位工程ＩＤ＝１００−０１の「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝（値１）ｎｍ，前提＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｆｆ」、「ＱＣ，膜種＝指定値，膜厚＝（値１）±（値２）ｎｍ」の２通りの下位工程からなるパターンと、下位工程ＩＤ＝１００−０２の「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ，前提＝指定値」の１通りの下位工程からなるパターンとに分解される事を示している。また、工程ＩＤ＝１０１の「ＣＶＤ 且つ前提＝｛Ｔｏｘ＜０．２ｎｍ｝」工程は、下位工程ＩＤ＝１０１−０１の「洗浄，薬液＝ＨＦ，時間＝１０ｓｅｃ」、「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝（値１）ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝指定値」の２通りの下位工程からなるパターンになる。ここで、「指定値」は、該当工程の該当変数の指定値、「値１」及び「値２」は、該当変数の該当数値部、変数ＩｎＳｉｔｕは、その場（ｉｎ−ｓｉｔｕ）モニタリングの有無を示している。また、「洗浄」は、変数「薬液」で示されるエッチング液ＨＦで行うウェハ表面の洗浄処理工程、「ＱＣ」は、変数「膜種」の膜厚の品質管理（膜厚測定）工程を示している。
【００２３】
図２に示した工程フロー（１）の工程ＩＤ＝０１０は工程分解テーブルＴ１の工程ＩＤ＝１００、１０１のパターンに合致し、下位工程ＩＤ＝１００−０１、１００−０２及び１０１−０１に示す下位工程に変換される。また、工程フロー（１）の工程ＩＤ＝０１１は工程分解テーブルＴ１の工程ＩＤ＝１００のパターンに合致し、下位工程ＩＤ＝１００−０１、１００−０２に示す下位工程に変換される。したがって、フロー分解部１５は、図６（ａ）〜（ｄ）に示すように、工程フロー（１）から４通りの中間下位工程フロー（１）〜（４）を生成する。中間下位工程フローには、生成元の工程フロー（１）の各工程と下位工程との対応関係が記述されている。例えば、図６（ａ）及び（ｂ）のＩＤ＝０２０の下位工程の対応関係「（０１０の１／２）の１／２」は、工程フロー（１）の２通りに分解されたＩＤ＝０１０工程の１番目の工程の、更に２通りに分解された１番目の工程であることを示している。
【００２４】
互換フロー生成部１６は、指定された下位工程互換テーブルＴ２を外部記憶装置２０の下位工程互換データベース２２より取得し、分解された中間下位工程フロー中の下位工程のパターンを検索する。互換フロー生成部１６は、中間下位工程フロー中に下位工程互換テーブルＴ２に定義された下位工程のパターンが存在する場合、該当する下位互換工程のパターンに変換して、中間下位互換工程フローとして生成する。その際、検索対象の中間下位工程フローは上書きされない。中間下位互換フローは新規に生成される。
【００２５】
下位工程互換テーブルＴ２は、図７に示すように、下位工程が下位互換工程に分解されるパターンを定義している。例えば、下位工程ＩＤ＝２００の「ＣＶＤ且つ ＩｎＳＩｔｕ＝ｏｆｆ」、「ＱＣ 且つ 膜種＝（値１） 且つ 膜厚＝（値２）」、「ＣＶＤ 且つ ＩｎＳＩｔｕ＝ｏｆｆ」、「ＱＣ 且つ 膜種＝（値３） 且つ 膜厚＝（値４）」という４通りの下位工程からなるパターンが、下位互換工程ＩＤ＝２００−０１の「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝指定値」、「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝指定値」、「ＱＣ，膜種＝（値１）→（値３），膜厚＝（値２）→（値４）」という３つの工程からなるパターンに置換可能である事を示している。ここで、下位互換工程の「ＱＣ，膜種＝（値１）→（値３），膜厚＝（値２）→（値４）」は、１ステップ目に「ＱＣ，膜種＝（値１），膜厚＝（値２）」を、２ステップ目に「ＱＣ，膜種＝（値３），膜厚＝（値４）」を行う工程である。
【００２６】
中間下位工程フロー（１）〜（４）のうち図６（ａ）の中間下位工程フロー（１）の下位工程ＩＤ＝０２１〜０２４が、下位工程互換テーブルＴ２の下位工程ＩＤ＝２００のパターンに合致している。互換フロー生成部１６は、図８に示すように、中間下位互換工程フロー（５）を中間下位工程フロー（１）から新たに生成する。
【００２７】
なお、上記した例では、１つの下位工程に１つの下位互換工程のみが定義されているが、下位互換工程が複数存在しても構わない。その場合、複数の下位互換工程の組み合わせに対して、それぞれ中間下位互換フローが生成される。
【００２８】
フローチェック部１７は、指定された使用可能工程テーブルＴ３を外部記憶装置２０の使用可能工程データベース２３より取得する。フローチェック部１７は、中間下位工程フロー（１）〜（４）及び中間下位互換工程フロー（５）に記述された下位工程の情報をキーに、使用可能工程テーブルＴ３を検索する。中間下位工程フロー（１）〜（４）及び中間下位互換工程フロー（５）のうち、全ての下位工程が使用可能工程テーブルＴ３に登録されているものを下位フローとして出力する。その際、使用可能工程テーブルＴ３に登録されている編集情報に従い、各下位工程が編集される。
【００２９】
使用可能工程テーブルＴ３は、図９に示すように、製造ライン４０で使用可能な下位工程と編集情報を定義している。例えば、図６（ａ）、（ｂ）の中間下位工程フロー（１）〜（２）、及び図８の中間下位互換工程フロー（５）に示されている下位工程ＩＤ＝０２１の「ＣＶＤ，膜種＝Ｐｏｌｙ，膜厚＝１０±１ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｆｆ」、及び図６（ｃ）、（ｄ）に示されている中間下位工程フロー（３）〜（４）の下位工程ＩＤ＝０２１の「ＣＶＤ，膜種＝Ｐｏｌｙ，膜厚＝１０±１ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ」は、図９に示す使用可能工程テーブルＴ３の下位工程ＩＤ＝３００の「ＣＶＤ 且つ 膜種＝Ｐｏｌｙ 且つ 膜厚＝５〜２０ｎｍ 且つ ＩｎＳｉｔｕ＝（ｏｎ又はｏｆｆ）」より、使用可能であることが解る。使用可能工程テーブルＴ３より、中間下位工程フロー（２）の下位工程ＩＤ＝０２３及び中間下位工程フロー（４）の下位工程ＩＤ＝０２２の「ＣＶＤ，膜種＝ＳｉＮ，膜厚＝５±０．５ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ」以外の全ての下位工程が使用可能であることが解る。編集情報は、製造ライン４０で定義された下位工程のレシピに対応する指定値Ｐ１、Ｓ１、Ｈ１、Ｑ１及びＱ２等の追加が登録されている。ここでは、編集情報に追加のみ登録されているが、削除、置換等の編集操作が定義されていても構わない。
【００３０】
したがって、フローチェック部１７は、中間下位工程フロー（１）、（３）、及び中間下位互換工程フロー（５）に対して、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、下位工程フロー（１）、（３）及び（５）を生成する。下位工程フロー生成の際、使用可能工程テーブルＴ３の編集情報に示す編集が行われる。例えば、中間下位工程フロー（１）の下位工程ＩＤ＝０２０に対して「レシピ＝Ｐ１」が追加されている。
【００３１】
また、使用不可能な下位工程が存在した中間下位工程フローに対して、中間下位工程フロー名とエラー箇所及び内容を示す変換エラー情報が生成され、中間下位工程フローと共に出力部１３に渡される。出力部１３は、ライン管理装置４１等の外部に出力し、また、画面表示やデータ保存等を行う。中間下位工程フロー（２）に対応する変換エラー情報は、図１８に示すように、下位工程ＩＤ＝０２３に付加された「ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ」が、エラーとなったことを示している。
【００３２】
フロー選択部１８は、指定された属性定義テーブルＴ４を外部記憶装置２０の属性定義データベース２４より取得する。フローチェック部１７により生成された下位工程フロー（１）、（３）及び（５）に対して、属性定義テーブルＴ４に定義された属性を、定義された方法に従い、下位工程フロー属性情報を生成する。下位工程フロー属性情報に基いて、図３に示した変換手順情報により指定された方法により、下位工程フローを選択する。
【００３３】
属性定義テーブルＴ４は、図１２に示すように、下位工程フローの工期、コスト、及び予想歩留まりの３つの属性項目に対して、算出方法をそれぞれ、「工程数×２を計算する」、「下位工程フローを入力としてコストシミュレータＸを実行する」、「品名をキーに品名別歩留まり結果ＤＢを検索する」と定義している。ここで、下位工程フローからコストの計算を行うコストシミュレータＸ、及び製品の歩留まり結果を品名別にデータベースである品名別歩留まり結果ＤＢは、例えば、外部記憶装置２０に格納されている。なお、コストシミュレータＸ及び品名別歩留まり結果ＤＢの保管場所は、外部記憶装置２０以外の、例えば、ライン管理装置４１やホストコンピュータ３２であってもよい。
【００３４】
フロー選択部１８は、定義された方法に従い、下位工程フロー（１）、（３）及び（５）に対して、下位工程フロー属性情報を生成する。例えば、下位工程フロー（１）に対する下位工程フロー属性情報は、図１３に示すように、工期が１０時間、コストが１００，０００円、予想歩留まりが７５．０％であることを示す。更に、フロー選択部１８は、図３に示した変換手順情報により指定された工程フロー選択（１）の条件を満たす下位工程フロー（５）を選択し、フロー変換制御部１４に渡す。
【００３５】
また、フロー選択部１８は、選択されなかった下位工程フロー（１）、（３）に対して、フロー名と選択されなかった理由を示す非選択工程フロー情報を生成し、下位選択フロー（１）、（３）を、下位工程フロー属性情報と共に出力部１３に渡す。出力部１３は、非選択工程フロー情報を外部、例えばライン管理装置４１に出力し、また、画面表示やデータ保存等を行う。例えば、図１４に示すように、下位工程フロー（１）に対する非選択フロー情報では、下位工程フロー（１）が「工期が１０時間未満」でないため、選択されなかったことを示している。
【００３６】
本発明の実施の形態では、上記のように、フロー変換制御部１４は、図３に示した工程フローの変換処理（１）を制御し、作業指示生成を行う。更に、変換手順情報に従って、作業指示生成の後に変換処理（２）のレシピ生成を行う。レシピ生成では、作業指示生成により選択された下位工程フロー（５）を新たに変換対象工程フローとして、フロー変換制御部１４は、上記の作業指示生成同様に、レシピ生成変換処理（２）の制御を再度行う。ここで、例示が煩雑になるため、下位工程フロー（５）の下位工程ＩＤ＝０２３の「ＱＣ，膜種＝Ｐｏｌｙ→ＳｉＮ，膜厚＝１０±１ｎｍ→５±０．５ｎｍ，レシピ＝Ｑ２」を変換する過程を用いて説明する。
【００３７】
図４の変換定義テーブル情報より、レシピ生成において用いる工程分解テーブル名は「Ｔ５」、下位工程互換テーブル名は「Ｔ６」、使用可能工程テーブル名は「Ｔ７」、属性定義テーブル名は「Ｔ８」である。工程分解テーブルＴ５、下位工程互換テーブルＴ６、使用可能工程テーブルＴ７、及び属性定義テーブルＴ８は、それぞれ工程分解データベース２１、下位工程互換データベース２２、使用可能工程データベース２３、及び属性定義データベース２４に格納されている。
【００３８】
工程分解テーブルＴ５は、図１５に示すように、工程ＩＤ３００のパターン「レシピ＝Ｑ２ 且つ膜種＝（値１）→（値３） 且つ膜厚＝（値２）→（値４）」が、下位工程ＩＤ３００−０１の７通りのパターン「真空引き，成長室＝＃１」 「搬入，成長室＝＃１，単位＝ロット」、「測定，膜種＝（値１），膜厚＝（値２）」、「真空引き，成長室＝＃２」、「搬送，経路＝＃１→＃２，単位＝ロット」、「測定，膜種＝（値３），膜厚＝（値４）」、及び「搬出，成長室＝＃２，単位＝ロット」に分解されることを示している。
【００３９】
下位工程互換テーブルＴ６は、図１６に示すように、下位工程ＩＤ４００の７通りのパターン「真空引き、搬入、測定、真空引き、搬送、測定、搬出」が、下位互換工程ＩＤ４００−１の６通りのパターン「真空引き、搬入、測定、搬送、測定、搬出」に変換されることを示している。下位互換工程では、成長室＝（値５）、（値６）の２つの真空引き下位工程が１つに纏められている。また、搬入、搬送、搬出工程の対象単位が、下位工程のロットからウェハに代えられている。
【００４０】
使用可能工程テーブルＴ７は、図１７に示すように、製造ライン４０で使用可能な下位工程が編集情報と共に示されている。下位工程ＩＤ５００〜５０５の「真空引き」、「搬入」、「測定」、「搬送（ロット単位）」、「搬送（ウェハ単位）」、「測定」、「搬出」工程に、それぞれチャンバレシピ「ＥＶＣ」、「ＩＮ」、「ＯＵＴ」、「ＴＬ」、「ＴＷ」、「Ｍ」が追加されている。ここでは、編集情報に追加のみ登録されているが、削除、置換等の編集操作が定義されていても構わない。
【００４１】
属性定義テーブルＴ８は、図１８に示すように、下位工程フローの属性の項目と方法の定義を示している。下位工程フローによる製造のコスト及び作業者負荷が、コストシミュレータＹ及びコストシミュレータＺを実行して算出される。ここで、下位工程フローからコストの計算を行うコストシミュレータＹ及びＺは、例えば、外部記憶装置２０に格納されている。なお、コストシミュレータＹ及びＺの保管場所は、外部記憶装置２０以外の、例えば、ライン管理装置４１やホストコンピュータ３２であってもよい。
【００４２】
フロー変換制御部１４は、下位工程フロー（５）を対象工程フローとして、フロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、及びフロー選択部１８の変換処理の流れを制御する。フロー分解部１５は、対象工程フローと工程分解テーブル（Ｔ５）から、図１９に示すように、中間下位工程フロー（１１）を生成する。互換フロー生成部１６は、中間下位工程フロー（１１）から下位工程互換テーブル（Ｔ６）に基いて、図２０に示すように、中間下位互換工程フロー（１２）を生成する。フローチェック部１７は、中間下位工程フロー（１１）及び中間下位互換工程フロー（１２）から使用可能工程テーブルＴ７に基いて使用可能な下位工程のチェックを行い、図２１に示すように、それぞれ下位工程フロー（１１）及び下位工程フロー（１２）を生成する。フロー選択部１８は、下位工程フロー（１１）及び（１２）それぞれの、製造コスト及び作業者負荷を属性定義テーブル（Ｔ８）に従って算出し、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）に示すように、下位工程フロー属性情報（１１）及び（１２）を生成する。更に、図３に示した変換手順情報の工程フロー選択（２）で指定された「ユーザ選択」により、下位工程フローが選択される。例えば、作業者負荷が下位工程フロー（１１）に比べ半分となる下位工程フロー（１２）がユーザにより選択され、製造ライン用工程フローとして出力部１３から製造ライン４０のライン管理装置４１に出力される。
【００４３】
このようにして、フロー変換制御部１４は、作業指示生成の後、レシピ生成を行い、変換手順情報に指定された全ての変換処理を制御する。また、製造ライン４０に固有の情報は変換定義テーブルに予め定義されている。したがって、本発明の実施の形態にかかるフロー変換装置１０によれば、製造ラインに依存しない製造仕様の工程フローを、製造ライン４０に対応した下位工程フローに効率よく変換することが可能となる。
【００４４】
なお、上記の例では、変換定義テーブル情報において、各変換処理に対する変換定義テーブルとして、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル、及び属性定義テーブルの全てが定義されていたが、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル、及び属性定義テーブルのうち、少なくとも１つが定義されていれば良い。その場合、個々の変換処理の入力された工程フローが、そのまま出力の工程フローとなる。例えば、工程分解テーブルが未指定の場合、入力部１１からフロー分解部１５に渡された製造仕様の工程フローが、そのまま中間下位工程フローとリネームされて、互換フロー生成部１６に渡される。また、属性定義テーブルが未指定の場合、フロー属性情報は生成されない。その場合、変換手順情報には、フロー属性情報を必要としない工程フロー選択が指定される。
【００４５】
また、変換定義テーブルの中で、使用可能工程テーブルだけが製造ライン４０に固有の変換定義テーブルである。工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、及び属性定義テーブルは、例えば、同一工場内の異なる製造ラインにおいても、あるいは、自社や他社の異なる工場の製造ラインにおいても、共通に使用できる。したがって、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、及び属性定義テーブルとしては、外部記憶装置２０の工程分解データベース２１、下位工程互換データベース２２、使用可能工程データベース２３、及び属性定義データベース２４に予め格納されている属性定義テーブルが使用できる。使用可能工程テーブルは、例えば対象となる製造ライン４０のライン管理装置４１が、各製造装置４２ａ、４２ｂ、・・・、４２ｎ等の補修や故障状況を含めた使用可能工程の点検を行い、随時外部記憶装置にアクセスして使用可能工程データベース２３の使用可能工程テーブルを更新する。使用可能工程テーブルが更新されると、フロー変換装置１０は、新たに変換処理を行い、新たな製造ライン用工程フローを生成する。
【００４６】
次に、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を、図２３に示すフローチャートを用いて説明する。
【００４７】
（イ）まず、ステップＳ７０で、図１に示す製造ライン４０の使用可能工程テーブルをライン管理装置４１から取得して、フロー変換装置１０の外部記憶装置２０に登録する。
【００４８】
（ロ）次に、ステップＳ７１で、図１に示すフロー作成装置３１から第１の変換対象工程フローとして製造仕様工程フローを、変換手順情報及び変換定義テーブル情報と共にフロー変換装置１０の入力部１１により取得する。
【００４９】
（ハ）ステップＳ７２で、フロー変換制御部１４により、入力部１１から第１の変換対象工程フロー及び変換手順情報と、外部記憶装置２０から変換定義テーブル情報で指定された作業指示生成用の工程分解テーブルが、フロー分解部１５に渡される。フロー分解部１５では、第１の変換対象工程フロー中の工程を検索し、変換手順情報に示される範囲に対して、作業指示生成の変換処理（１）を行う。工程分解テーブルの定義に基いて下位工程のパターンに分解し、作業指示の中間下位工程フローを生成する。
【００５０】
（ニ）ステップＳ７３で、フロー変換制御部１４により、フロー分解部１５で生成された中間下位工程フローと、外部記憶装置２０から指定された下位工程互換テーブルが互換フロー生成部１６に渡される。互換フロー生成部１６により、中間下位工程フロー中の下位工程のパターンが検索される。中間下位工程フロー中に下位工程互換テーブルに定義された下位工程のパターンが存在する場合、互換フロー生成部１６で、該当する下位工程が下位互換工程のパターンに置換され、作業指示の中間下位互換工程フローが新規に生成される。
【００５１】
（ホ）ステップＳ７４で、フロー変換制御部１４により、フロー分解部１５及び互換フロー生成部１６で生成された中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローと、外部記憶装置２０から指定された使用可能工程テーブルがフローチェック部１７に渡される。フローチェック部１７により中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローに記述された下位工程の情報をキーに、使用可能工程テーブルを検索する。全ての下位工程が使用可能工程テーブルに登録されている中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローを作業指示の下位工程フローとして生成する。その際、使用可能工程テーブルに登録されている編集情報に従い、各下位工程が編集される。
【００５２】
（ヘ）ステップＳ７５で、フロー変換制御部１４により、フローチェック部１７で生成された下位工程フローと、外部記憶装置２０から指定された属性定義テーブルがフロー選択部１８に渡される。フロー選択部１８により、下位工程フローに対して属性定義テーブルに定義された方法に従い、下位工程フロー属性情報が生成される。更に、フロー選択部１８により、下位工程フロー属性情報に基いて、変換手順情報に指定された工程フロー選択（１）の定義に従って、作業指示の下位工程フローが選択される。
【００５３】
（ト）次に、ステップＳ７６で、フロー変換制御部１４により、フロー選択部１８で選択された作業指示の下位工程フローが第２の変換対象工程フローとされ、変換手順情報及び変換定義テーブル情報に基いてレシピ生成用の変換処理（２）が行われる。その際、外部記憶装置２０からレシピ生成用の各変換定義テーブルがフロー変換制御部１４から渡される。
【００５４】
（チ）ステップＳ７７で、フロー分解部１５により、フロー変換制御部１４から渡された工程分解テーブルに基いて、第２の変換対象工程フローが分解され、レシピの中間下位工程フローが生成される。
【００５５】
（リ）ステップＳ７８で、互換フロー生成部１６により、フロー変換制御部１４から渡された下位工程互換テーブルに基いて、中間下位工程フローの下位工程が下位互換工程で置換され、レシピの中間下位互換工程フローが生成される。
【００５６】
（ヌ）ステップＳ７９で、フローチェック部１７により、フロー変換制御部１４から渡された使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローの下位工程及び下位互換工程が検索され、全ての下位工程あるいは下位互換工手が使用可能工程テーブルに登録されている中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローをレシピの下位工程フローとして生成する。その際、使用可能工程テーブルに登録されている編集情報に従い、各下位工程が編集される。
【００５７】
（ル）ステップＳ８０で、フロー選択部１８により、フロー変換制御部１４から渡された属性定義テーブルに基いて、下位工程フロー属性情報が生成される。また、下位工程フロー属性情報に基いて、変換手順情報に指定された工程フロー選択（２）の定義に従って、ユーザによりレシピの下位工程フローが選択される。
【００５８】
（ヲ）ステップＳ８１で、フロー変換制御部１４により、選択されたレシピの下位フローが製造ライン用工程フローとして、出力部１３に渡される。更に、出力部１３から製造ライン４０のライン管理装置４１に出力される。
【００５９】
このように、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法においては、製造ライン４０に依存しない製造仕様工程フローを、予め外部記憶装置２０に格納してある製造ライン４０に固有の使用可能工程テーブルを用いて下位工程フローに変換しているため、製造ライン４０に対応した製造ライン用工程フローを効率よく生成することが可能となる。また、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法によれば、製造ライン間の工程フローの移管は、各製造ラインの使用可能工程テーブルを外部記憶装置２０に登録しておけばよいので、簡便に効率よく行える。
【００６０】
また、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を用いれば、製造工程の管理が簡便に効率よく実施できる。例えば、本発明の実施の形態に係る製造工程管理方法を図１に示す製造ライン４０を含む製造工程管理システムに適用する場合について、図２４に示すフローチャートを用いて説明する。
【００６１】
（イ）まず、ステップＳ９０で、ライン管理装置４１により、製造ライン４０の使用可能工程テーブルがフロー変換装置１０の外部記憶装置２０に登録される。
【００６２】
（ロ）ステップＳ９１で、フロー変換装置１０から使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローの工程を下位工程に変換した製造ライン用工程フローが取得される。
【００６３】
（ハ）ステップＳ９２で、製造ライン用工程フローを用いて製造ライン４０で製造工程が実施される。
【００６４】
（ニ）ステップＳ９３で、ライン管理装置４１により、製造ライン４０の使用可能工程が点検される。
【００６５】
（ホ）ステップＳ９４で、製造ライン４０の使用可能工程に変更があるか判定され、使用可能工程に変更が無ければ、ステップＳ９７で、製造ライン用工程フローに従って新たな製造工程が実施される。
【００６６】
（ヘ）製造ライン４０の使用可能工程に変更があれば、ステップＳ９５で、新たな使用可能工程テーブルがフロー変換装置１０の外部記憶装置２０に登録される。
【００６７】
（ト）ステップＳ９６で、ライン管理装置４１により、フロー変換装置１０で新たな使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローを変換して生成された新たな製造ライン用工程フローが取得される。
【００６８】
（チ）ステップＳ９７で、新たな製造ライン用工程フローに従って新たな製造工程が実施される。
【００６９】
本発明の実施の形態によれば、製造ライン４０の使用可能工程テーブルを随時更新することができ、製造ライン用工程フローを製造ライン４０の使用可能工程の変動に合わせて変更することが可能となる。したがって、製造工程の管理が簡便に効率よく行うことが可能となる。
【００７０】
また、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法あるいは製造工程管理方法によれば、製造ライン４０だけでなく、同一工場内の異なる製造ラインにも、あるいは、自社や他社の異なる工場の製造ラインにも、適用可能なことはいうまでもない。例えば、図２５に示すように、フロー変換装置１０が接続されているＬＡＮ３０内部の工場５０に設置されている複数の製造ライン４０、４０ａ、・・・、４０ｎそれぞれに対する製造ライン用工程フローは、フロー変換装置１０にそれぞれの使用可能工程テーブルを登録すれば生成でき、製造工程の管理も工場５０のライン管理装置４１により簡便に効率よく行える。更に、ＬＡＮ３０のルータ３５を経由してインターネットや専用回線等を用いたネットワーク３６に接続すれば、ルータ３５ａ、３５ｂを介して、遠隔地のＬＡＮ３０ａ、３０ｂに設置されている自社又は他社の工場５０ａ、５０ｂの製造ラインに対してアクセスが可能となる。各工場５０ａ、５０ｂの製造ラインを管理するライン管理装置４１ａ、４１ｂにより、ＬＡＮ３０に接続されているフロー変換装置１０を用いて、フロー変換方法及び製造工程管理方法を効率よく実施することが可能となる。
【００７１】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明の実施の形態を記述したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者にはさまざまな代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００７２】
本発明の実施の形態においては、独立したコンピュータ等のフロー変換装置１０として説明をしたが、フロー変換装置１０の機能は、例えば、ホストコンピュータ３２、ライン管理装置４１あるいはフロー作成装置３１に含ませることができることは勿論である。
【００７３】
このように、本発明はここでは記述していないさまざまな実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【００７４】
【発明の効果】
本発明によれば、製造ライン間での工程フローの移管を効率よく行うことができるフロー変換装置、フロー変換方法、フロー変換装置を用いた製造工程管理システム、製造工程管理方法及びフロー変換方法のプログラムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るフロー変換装置のシステム構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる製造仕様の工程フローの一例を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる変換手順情報の一例を説明する図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる変換定義テーブル情報の一例を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の工程分解テーブルの一例を説明する図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された中間下位工程フローの一例を説明する図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の下位工程互換テーブルの例を説明する図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された中間下位互換工程フローの一例を説明する図である。
【図９】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の使用可能工程テーブルの一例を説明する図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された下位工程フローの例を説明する図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された変換エラー情報の一例を説明する図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の属性定義テーブルの一例を説明する図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された下位工程フロー属性情報の一例を説明する図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された非選択工程フロー情報の一例を説明する図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる工程分解テーブルの一例を説明する図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる下位工程互換テーブルの一例を説明する図である。
【図１７】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる使用可能工程テーブルの一例を説明する図である。
【図１８】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる属性定義テーブルの一例を説明する図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された中間下位工程フローの一例を説明する図である。
【図２０】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された中間下位互換工程フローの一例を説明する図である。
【図２１】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された下位工程フローの例を説明する図である。
【図２２】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された下位工程フロー属性情報の例を説明する図である。
【図２３】本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を説明するフローチャートである。
【図２４】本発明の実施の形態に係る製造工程管理方法を説明するフローチャートである。
【図２５】本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を行う製造ラインを有する工場の構成例を示したブロック図である。
【符号の説明】
１０ フロー変換装置
１１ 入力部
１２ ＣＰＵ
１３ 出力部
１４ フロー変換制御部
１５ フロー分解部
１６ 互換フロー生成部
１７ フローチェック部
１８ フロー選択部
１９ 内部記憶部
２０ 外部記憶装置
２１ 工程分解データベース
２２ 下位工程互換データベース
２３ 使用可能工程データベース
２４ 属性定義データベース
３０、３０ａ、３０ｂ ＬＡＮ
３１ フロー作成装置
３２ ホストコンピュータ
３５、３５ａ、３５ｂ ルータ
３６ ネットワーク
４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｎ 製造ライン
４１、４１ａ、４１ｂ ライン管理装置
４２ａ、４２ｂ、４２ｎ 製造装置
５０、５０ａ、５０ｂ 工場
【発明の属する技術分野】
本発明は工程フローの変換、特に製造仕様を記述した工程フローから製造作業手順、装置制御手順を記述した工程フローへの変換に使用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置を製造する場合、製造ラインで使用する製造装置や製造工程の作業手順等の膨大な量の情報を管理して行われる。製造装置や作業手順の情報に基いて製造ラインに対する工程フローを作成して、半導体装置の製造が管理される。工程フローには、使用製造装置や作業手順等の製造ライン固有の情報を含んでいる。半導体装置の製造を別の製造ラインに移管する場合、その都度、工程フローを別の製造ラインの使用製造装置や作業手順等に合わせて修正しなければならない。工程フローの修正量が膨大であるため、実際には、工程フローの再作成となる。これに対して、製造ラインに依存しない工程フロー表記を用いて工程フローの移管を行う方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
製造ラインに依存しない工程フローを用いる場合、個々の工程に使用する製造装置や作業手順等の各製造ライン固有の情報が必要になる。製造ラインに依存しない工程フローを各製造ライン固有の工程フローに書き換える作業は、各製造ライン固有の工程フローを作成するのと変わらず、工程フロー移管の効率は改善されない。
【０００４】
また、使用する製造装置や作業手順等の情報は、個々の工程を処理する具体的な情報である。例えば、製造装置のトラブル等により、製造ライン固有の情報は影響を受け易い。そのため、製造装置にトラブルが発生する度に工程フローを修正しなければならない。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決し、製造ライン間での工程フローの移管を効率よく行うことができるフロー変換装置、フロー変換方法、フロー変換装置を用いた製造工程管理システム、製造工程管理方法及びフロー変換方法のプログラムを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、（イ）変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部と、（ロ）下位工程と等価な製造ラインの下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部と、（ハ）使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから製造ラインで使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部と、（ニ）下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて属性を算出して下位工程フローを選択するフロー選択部と、（ホ）工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能テーブル、及び属性定義テーブルを格納する外部記憶装置とを備えるフロー変換装置であることを要旨とする。
【０００７】
本発明の第２の態様は、（イ）製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルをフロー変換装置が取得するステップと、（ロ）変換対象工程フローをフロー変換装置が取得するステップと、（ハ）工程分解テーブルに基いてフロー変換装置が、製造仕様工程フローの工程を下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するステップと、（ニ）下位工程互換テーブルに基いてフロー変換装置が、中間下位工程フローの下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成するステップと、（ホ）使用可能工程テーブルに基いてフロー変換装置が、下位工程及び下位互換工程が使用可能工程である中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成するステップと、（ヘ）属性定義テーブルに基いてフロー変換装置が、下位工程フローの属性を算出して下位工程フローを選択するステップとを含むフロー変換方法であることを要旨とする。
【０００８】
本発明の第３の態様は、（イ）製造ラインの管理を行うライン管理装置と、（ロ）製造ラインの製造仕様工程フローを作成するフロー作成装置と、（ハ）ライン管理装置から取得した製造ラインの使用可能工程テーブルに基いて、製造仕様工程フローを製造ライン用工程フローに変換するフロー変換装置とを備える製造工程管理システムであることを要旨とする。
【０００９】
本発明の第４の態様は、（イ）製造ラインの使用可能工程テーブルをライン管理装置がフロー変換装置に登録するステップと、（ロ）フロー変換装置により使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローの工程が下位工程に変換された製造ライン用工程フローを、ライン管理装置が取得するステップと、（ハ）製造ライン用工程フローを用いて製造ラインで実施される製造工程をライン管理装置が管理するステップと、（ニ）製造ラインの使用可能工程をライン管理装置が点検するステップと、（ホ）製造ラインの使用可能工程に変更があれば、ライン管理装置が新たな使用可能工程テーブルをフロー変換装置に登録するステップと、（ヘ）フロー変換装置により新たな使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローが変換された新たな製造ライン用工程フローを、ライン管理装置が取得するステップとを含む製造工程管理方法であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第５の態様は、（イ）製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルを取得する命令と、（ロ）変換対象工程フローを取得する命令と、（ハ）工程分解テーブルに基いて、製造仕様工程フローの工程を下位工程に分解して中間下位工程フローを生成する命令と、（ニ）下位工程互換テーブルに基いて、中間下位工程フローの下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成する命令と、（ホ）使用可能工程テーブルに基いて、下位工程及び下位互換工程が使用可能工程である中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成する命令と、（ヘ）属性定義テーブルに基いて、下位工程フローの属性を算出して下位工程フローを選択する命令とをコンピュータに実行させるためのプログラムであることを要旨とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号が付してある。但し、図面は模式的なものであり、装置やシステムの構成等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な構成は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また図面相互間においても互いの構成等が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１２】
本発明の実施の形態に係るフロー変換装置１０は、図１に示すように、変換対象工程フローである製造仕様工程フロー及びフロー変換の手順や定義等のフロー変換情報を取得する入力部１１と、工程フローの変換処理を行う中央演算ユニット（ＣＰＵ）１２と、工程フロー変換結果を表示すると共に、変換された製造ライン用工程フローを製造ライン４０のライン管理装置４１に出力する出力部１３と、工程フローの変換処理に使用する各種の変換定義テーブルを格納する外部記憶装置２０を備えている。フロー変換装置１０は、ライン管理装置４１により工程管理される複数の製造装置４２ａ、４２ｂ、・・・、４２ｎを備える製造ライン４０と、製造仕様工程フロー、変換手順情報及び変換定義テーブル情報を作成するフロー作成装置３１と、ホストコンピュータ３２とを含むローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）３０に接続され、製造工程管理システムを構成している。
【００１３】
フロー変換装置１０のＣＰＵ１２は、工程フローの変換処理を制御するフロー変換制御部１４と、変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部と、下位工程と等価な製造ラインの下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、中間下位工程フローの下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部と、製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローから製造ラインで使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部と、下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて属性を算出して下位工程フローを選択するフロー選択部と、各種の工程フロー変換処理に関するデータを格納すると共に、工程フロー変換を実施するプログラムコードを格納する内部記憶部１９とを備えている。
【００１４】
また、外部記憶装置２０は、製造ライン４０の製造仕様工程フローの変換に使用する変換定義テーブルを格納している。例えば、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル及び属性定義テーブルが、それぞれ工程分解データベース２１、下位工程互換データベース２２、使用可能工程データベース２３及び属性定義データベース２４に格納されている。
【００１５】
フロー変換装置１０の入力部１１は、フロー作成装置３１等の外部システムから、製造ラインに依存しない製造仕様工程フローと、製造仕様工程フローの変換範囲、変換処理、下位工程フローの選定条件が定義された変換手順情報、及び変換処理で使用する変換定義テーブル名が記載された変換定義テーブル情報を取得し、ＣＰＵ１２のフロー変換制御部１４に渡す。製造仕様工程フローの工程フロー（１）には、図３に示すように、識別番号（ＩＤ）と工程が記述されている。変換手順情報には、図４に示すように、変換対象工程フロー名、範囲、変換処理、及び工程フロー選択等が記述されている。また、変換定義テーブル情報には、図４に示すように、変換処理に対してフロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、フロー選択部１８が用いる工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル、属性定義テーブルの名前が記述されている。
【００１６】
例えば、図３の変換手順情報によれば、図２の工程フロー（１）の化学気相成長（ＣＶＤ）工程であるＩＤ＝０１０から０１１の範囲が変換範囲であることを示している。また、変換範囲に対して、作業指示生成の変換処理（１）を行い、次にレシピ生成の変換処理（２）を行うことが示されている。更に、作業指示生成により生成される下位工程フローのうち、工程フロー選択（１）で、工期が１０時間未満、且つ、予想歩留まりが７０％以上である下位工程フローが作業指示下位工程フローとして選択される。選択された作業指示下位工程フローに対してレシピ生成を行い、レシピ生成により生成される下位工程フローに対して、工程フロー選択（２）で、ユーザが選択した下位工程フローを製造ライン用工程フローとして出力する事を示している。作業指示生成及びレシピ生成では、工程分解テーブルＴ１及びＴ５、下位工程互換テーブルＴ２及びＴ６、使用可能工程テーブルＴ３及びＴ７、属性定義テーブルＴ４及びＴ８が、それぞれ使用される。
【００１７】
ここで、図２の変数「膜種」は、ＣＶＤ膜の種類を示し、「Ｐｏｌｙ」はポリシリコン膜、「ＳｉＮ」はシリコン窒化（Ｓｉ３Ｎ４）膜を示す。変数「膜厚」は、ポリシリコン膜あるいはＳｉ３Ｎ４膜の厚さを示す。また、「前提」は、ＣＶＤ工程を実施のためのウェハ表面条件で、「Ｔｏｘ」は、自然酸化膜の厚さを示し、「Ｔｏｘ＜０．２ｎｍ」は、例えばフッ酸（ＨＦ）溶液による洗浄処理が必要であることを示している。
【００１８】
なお、実施の形態の説明では、変換範囲の工程として、ＣＶＤ工程を用いているが、金属堆積、エピタキシャル成長、あるいはエッチング等のウェハの形状変化を伴う工程が変換の対象となる。ウェハ形状の変化を伴う工程で使用する製造装置には、機差があり作業手順も固有のものとなるためである。
【００１９】
ここでは、工程フローの一部のみを変換範囲とする例を挙げたが、工程フロー全体を変換範囲としても構わない。例えば、工程フローを逐次作業指示やレシピに分解しながら製造工程を流す場合は、工程フローの一部のみを変換範囲とする。一方、最初に工程フローを一括して作業指示やレシピに分解し、製造工程を流す場合は、工程フロー全体が変換範囲となる。
【００２０】
ＣＰＵ１２のフロー変換制御部１４は、フロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、及びフロー選択部１８の変換処理の流れを制御する。フロー分解部１５には、入力部１１から渡された変換対象の工程フロー（１）と変換手順情報を渡す。次に、フロー分解部１５の分解結果である中間下位工程フローを互換フロー生成部１６に渡す。次に、中間下位工程フローと、互換フロー生成部１６の生成結果である中間下位互換工程フローをフローチェック部１７に渡す。更に、フローチェック部１７によるチェック結果である下位工程フローと、変換手順情報をフロー選択部に渡す。また、フロー変換制御部１４は、フロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、及びフロー選択部１８が必要とする工程分解テーブル、工程互換情報、使用可能工程テーブル、及び属性定義テーブルの名前を変換定義テーブル情報から取得して渡す。なお、図３に示したように、変換手順情報に複数の変換処理（１）、（２）が指定されている場合は、フロー変換制御部１４は、上記の処理を繰り返す。先行する変換処理（１）の最後にフロー選択部１８により選択された複数の下位工程フローが、次の変換処理（２）のフロー分解部１５の変換対象工程フローとなる。
【００２１】
フロー分解部１５は、指定された工程分解テーブルＴ１を外部記憶装置２０の工程分解データベース２１より取得し、工程フロー（１）中の工程を検索する。フロー分解部１５は、変換手順情報に示される範囲に対して、工程分解テーブルＴ１に定義された工程のパターンが存在する場合、該当する下位工程のパターンに分解し、幾つかの中間下位工程フローを生成する。該当する下位工程のパターンが複数存在する場合、その数だけ中間下位工程フローが生成される。
【００２２】
工程分解テーブルＴ１は、図５に示すように、工程が下位工程に分解されるパターンを定義している。例えば、工程ＩＤ＝１００の「ＣＶＤ 且つ 膜厚＝（値１）±（値２）ｎｍ」工程が、下位工程ＩＤ＝１００−０１の「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝（値１）ｎｍ，前提＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｆｆ」、「ＱＣ，膜種＝指定値，膜厚＝（値１）±（値２）ｎｍ」の２通りの下位工程からなるパターンと、下位工程ＩＤ＝１００−０２の「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ，前提＝指定値」の１通りの下位工程からなるパターンとに分解される事を示している。また、工程ＩＤ＝１０１の「ＣＶＤ 且つ前提＝｛Ｔｏｘ＜０．２ｎｍ｝」工程は、下位工程ＩＤ＝１０１−０１の「洗浄，薬液＝ＨＦ，時間＝１０ｓｅｃ」、「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝（値１）ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝指定値」の２通りの下位工程からなるパターンになる。ここで、「指定値」は、該当工程の該当変数の指定値、「値１」及び「値２」は、該当変数の該当数値部、変数ＩｎＳｉｔｕは、その場（ｉｎ−ｓｉｔｕ）モニタリングの有無を示している。また、「洗浄」は、変数「薬液」で示されるエッチング液ＨＦで行うウェハ表面の洗浄処理工程、「ＱＣ」は、変数「膜種」の膜厚の品質管理（膜厚測定）工程を示している。
【００２３】
図２に示した工程フロー（１）の工程ＩＤ＝０１０は工程分解テーブルＴ１の工程ＩＤ＝１００、１０１のパターンに合致し、下位工程ＩＤ＝１００−０１、１００−０２及び１０１−０１に示す下位工程に変換される。また、工程フロー（１）の工程ＩＤ＝０１１は工程分解テーブルＴ１の工程ＩＤ＝１００のパターンに合致し、下位工程ＩＤ＝１００−０１、１００−０２に示す下位工程に変換される。したがって、フロー分解部１５は、図６（ａ）〜（ｄ）に示すように、工程フロー（１）から４通りの中間下位工程フロー（１）〜（４）を生成する。中間下位工程フローには、生成元の工程フロー（１）の各工程と下位工程との対応関係が記述されている。例えば、図６（ａ）及び（ｂ）のＩＤ＝０２０の下位工程の対応関係「（０１０の１／２）の１／２」は、工程フロー（１）の２通りに分解されたＩＤ＝０１０工程の１番目の工程の、更に２通りに分解された１番目の工程であることを示している。
【００２４】
互換フロー生成部１６は、指定された下位工程互換テーブルＴ２を外部記憶装置２０の下位工程互換データベース２２より取得し、分解された中間下位工程フロー中の下位工程のパターンを検索する。互換フロー生成部１６は、中間下位工程フロー中に下位工程互換テーブルＴ２に定義された下位工程のパターンが存在する場合、該当する下位互換工程のパターンに変換して、中間下位互換工程フローとして生成する。その際、検索対象の中間下位工程フローは上書きされない。中間下位互換フローは新規に生成される。
【００２５】
下位工程互換テーブルＴ２は、図７に示すように、下位工程が下位互換工程に分解されるパターンを定義している。例えば、下位工程ＩＤ＝２００の「ＣＶＤ且つ ＩｎＳＩｔｕ＝ｏｆｆ」、「ＱＣ 且つ 膜種＝（値１） 且つ 膜厚＝（値２）」、「ＣＶＤ 且つ ＩｎＳＩｔｕ＝ｏｆｆ」、「ＱＣ 且つ 膜種＝（値３） 且つ 膜厚＝（値４）」という４通りの下位工程からなるパターンが、下位互換工程ＩＤ＝２００−０１の「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝指定値」、「ＣＶＤ，膜種＝指定値，膜厚＝指定値，ＩｎＳｉｔｕ＝指定値」、「ＱＣ，膜種＝（値１）→（値３），膜厚＝（値２）→（値４）」という３つの工程からなるパターンに置換可能である事を示している。ここで、下位互換工程の「ＱＣ，膜種＝（値１）→（値３），膜厚＝（値２）→（値４）」は、１ステップ目に「ＱＣ，膜種＝（値１），膜厚＝（値２）」を、２ステップ目に「ＱＣ，膜種＝（値３），膜厚＝（値４）」を行う工程である。
【００２６】
中間下位工程フロー（１）〜（４）のうち図６（ａ）の中間下位工程フロー（１）の下位工程ＩＤ＝０２１〜０２４が、下位工程互換テーブルＴ２の下位工程ＩＤ＝２００のパターンに合致している。互換フロー生成部１６は、図８に示すように、中間下位互換工程フロー（５）を中間下位工程フロー（１）から新たに生成する。
【００２７】
なお、上記した例では、１つの下位工程に１つの下位互換工程のみが定義されているが、下位互換工程が複数存在しても構わない。その場合、複数の下位互換工程の組み合わせに対して、それぞれ中間下位互換フローが生成される。
【００２８】
フローチェック部１７は、指定された使用可能工程テーブルＴ３を外部記憶装置２０の使用可能工程データベース２３より取得する。フローチェック部１７は、中間下位工程フロー（１）〜（４）及び中間下位互換工程フロー（５）に記述された下位工程の情報をキーに、使用可能工程テーブルＴ３を検索する。中間下位工程フロー（１）〜（４）及び中間下位互換工程フロー（５）のうち、全ての下位工程が使用可能工程テーブルＴ３に登録されているものを下位フローとして出力する。その際、使用可能工程テーブルＴ３に登録されている編集情報に従い、各下位工程が編集される。
【００２９】
使用可能工程テーブルＴ３は、図９に示すように、製造ライン４０で使用可能な下位工程と編集情報を定義している。例えば、図６（ａ）、（ｂ）の中間下位工程フロー（１）〜（２）、及び図８の中間下位互換工程フロー（５）に示されている下位工程ＩＤ＝０２１の「ＣＶＤ，膜種＝Ｐｏｌｙ，膜厚＝１０±１ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｆｆ」、及び図６（ｃ）、（ｄ）に示されている中間下位工程フロー（３）〜（４）の下位工程ＩＤ＝０２１の「ＣＶＤ，膜種＝Ｐｏｌｙ，膜厚＝１０±１ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ」は、図９に示す使用可能工程テーブルＴ３の下位工程ＩＤ＝３００の「ＣＶＤ 且つ 膜種＝Ｐｏｌｙ 且つ 膜厚＝５〜２０ｎｍ 且つ ＩｎＳｉｔｕ＝（ｏｎ又はｏｆｆ）」より、使用可能であることが解る。使用可能工程テーブルＴ３より、中間下位工程フロー（２）の下位工程ＩＤ＝０２３及び中間下位工程フロー（４）の下位工程ＩＤ＝０２２の「ＣＶＤ，膜種＝ＳｉＮ，膜厚＝５±０．５ｎｍ，ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ」以外の全ての下位工程が使用可能であることが解る。編集情報は、製造ライン４０で定義された下位工程のレシピに対応する指定値Ｐ１、Ｓ１、Ｈ１、Ｑ１及びＱ２等の追加が登録されている。ここでは、編集情報に追加のみ登録されているが、削除、置換等の編集操作が定義されていても構わない。
【００３０】
したがって、フローチェック部１７は、中間下位工程フロー（１）、（３）、及び中間下位互換工程フロー（５）に対して、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、下位工程フロー（１）、（３）及び（５）を生成する。下位工程フロー生成の際、使用可能工程テーブルＴ３の編集情報に示す編集が行われる。例えば、中間下位工程フロー（１）の下位工程ＩＤ＝０２０に対して「レシピ＝Ｐ１」が追加されている。
【００３１】
また、使用不可能な下位工程が存在した中間下位工程フローに対して、中間下位工程フロー名とエラー箇所及び内容を示す変換エラー情報が生成され、中間下位工程フローと共に出力部１３に渡される。出力部１３は、ライン管理装置４１等の外部に出力し、また、画面表示やデータ保存等を行う。中間下位工程フロー（２）に対応する変換エラー情報は、図１８に示すように、下位工程ＩＤ＝０２３に付加された「ＩｎＳｉｔｕ＝ｏｎ」が、エラーとなったことを示している。
【００３２】
フロー選択部１８は、指定された属性定義テーブルＴ４を外部記憶装置２０の属性定義データベース２４より取得する。フローチェック部１７により生成された下位工程フロー（１）、（３）及び（５）に対して、属性定義テーブルＴ４に定義された属性を、定義された方法に従い、下位工程フロー属性情報を生成する。下位工程フロー属性情報に基いて、図３に示した変換手順情報により指定された方法により、下位工程フローを選択する。
【００３３】
属性定義テーブルＴ４は、図１２に示すように、下位工程フローの工期、コスト、及び予想歩留まりの３つの属性項目に対して、算出方法をそれぞれ、「工程数×２を計算する」、「下位工程フローを入力としてコストシミュレータＸを実行する」、「品名をキーに品名別歩留まり結果ＤＢを検索する」と定義している。ここで、下位工程フローからコストの計算を行うコストシミュレータＸ、及び製品の歩留まり結果を品名別にデータベースである品名別歩留まり結果ＤＢは、例えば、外部記憶装置２０に格納されている。なお、コストシミュレータＸ及び品名別歩留まり結果ＤＢの保管場所は、外部記憶装置２０以外の、例えば、ライン管理装置４１やホストコンピュータ３２であってもよい。
【００３４】
フロー選択部１８は、定義された方法に従い、下位工程フロー（１）、（３）及び（５）に対して、下位工程フロー属性情報を生成する。例えば、下位工程フロー（１）に対する下位工程フロー属性情報は、図１３に示すように、工期が１０時間、コストが１００，０００円、予想歩留まりが７５．０％であることを示す。更に、フロー選択部１８は、図３に示した変換手順情報により指定された工程フロー選択（１）の条件を満たす下位工程フロー（５）を選択し、フロー変換制御部１４に渡す。
【００３５】
また、フロー選択部１８は、選択されなかった下位工程フロー（１）、（３）に対して、フロー名と選択されなかった理由を示す非選択工程フロー情報を生成し、下位選択フロー（１）、（３）を、下位工程フロー属性情報と共に出力部１３に渡す。出力部１３は、非選択工程フロー情報を外部、例えばライン管理装置４１に出力し、また、画面表示やデータ保存等を行う。例えば、図１４に示すように、下位工程フロー（１）に対する非選択フロー情報では、下位工程フロー（１）が「工期が１０時間未満」でないため、選択されなかったことを示している。
【００３６】
本発明の実施の形態では、上記のように、フロー変換制御部１４は、図３に示した工程フローの変換処理（１）を制御し、作業指示生成を行う。更に、変換手順情報に従って、作業指示生成の後に変換処理（２）のレシピ生成を行う。レシピ生成では、作業指示生成により選択された下位工程フロー（５）を新たに変換対象工程フローとして、フロー変換制御部１４は、上記の作業指示生成同様に、レシピ生成変換処理（２）の制御を再度行う。ここで、例示が煩雑になるため、下位工程フロー（５）の下位工程ＩＤ＝０２３の「ＱＣ，膜種＝Ｐｏｌｙ→ＳｉＮ，膜厚＝１０±１ｎｍ→５±０．５ｎｍ，レシピ＝Ｑ２」を変換する過程を用いて説明する。
【００３７】
図４の変換定義テーブル情報より、レシピ生成において用いる工程分解テーブル名は「Ｔ５」、下位工程互換テーブル名は「Ｔ６」、使用可能工程テーブル名は「Ｔ７」、属性定義テーブル名は「Ｔ８」である。工程分解テーブルＴ５、下位工程互換テーブルＴ６、使用可能工程テーブルＴ７、及び属性定義テーブルＴ８は、それぞれ工程分解データベース２１、下位工程互換データベース２２、使用可能工程データベース２３、及び属性定義データベース２４に格納されている。
【００３８】
工程分解テーブルＴ５は、図１５に示すように、工程ＩＤ３００のパターン「レシピ＝Ｑ２ 且つ膜種＝（値１）→（値３） 且つ膜厚＝（値２）→（値４）」が、下位工程ＩＤ３００−０１の７通りのパターン「真空引き，成長室＝＃１」 「搬入，成長室＝＃１，単位＝ロット」、「測定，膜種＝（値１），膜厚＝（値２）」、「真空引き，成長室＝＃２」、「搬送，経路＝＃１→＃２，単位＝ロット」、「測定，膜種＝（値３），膜厚＝（値４）」、及び「搬出，成長室＝＃２，単位＝ロット」に分解されることを示している。
【００３９】
下位工程互換テーブルＴ６は、図１６に示すように、下位工程ＩＤ４００の７通りのパターン「真空引き、搬入、測定、真空引き、搬送、測定、搬出」が、下位互換工程ＩＤ４００−１の６通りのパターン「真空引き、搬入、測定、搬送、測定、搬出」に変換されることを示している。下位互換工程では、成長室＝（値５）、（値６）の２つの真空引き下位工程が１つに纏められている。また、搬入、搬送、搬出工程の対象単位が、下位工程のロットからウェハに代えられている。
【００４０】
使用可能工程テーブルＴ７は、図１７に示すように、製造ライン４０で使用可能な下位工程が編集情報と共に示されている。下位工程ＩＤ５００〜５０５の「真空引き」、「搬入」、「測定」、「搬送（ロット単位）」、「搬送（ウェハ単位）」、「測定」、「搬出」工程に、それぞれチャンバレシピ「ＥＶＣ」、「ＩＮ」、「ＯＵＴ」、「ＴＬ」、「ＴＷ」、「Ｍ」が追加されている。ここでは、編集情報に追加のみ登録されているが、削除、置換等の編集操作が定義されていても構わない。
【００４１】
属性定義テーブルＴ８は、図１８に示すように、下位工程フローの属性の項目と方法の定義を示している。下位工程フローによる製造のコスト及び作業者負荷が、コストシミュレータＹ及びコストシミュレータＺを実行して算出される。ここで、下位工程フローからコストの計算を行うコストシミュレータＹ及びＺは、例えば、外部記憶装置２０に格納されている。なお、コストシミュレータＹ及びＺの保管場所は、外部記憶装置２０以外の、例えば、ライン管理装置４１やホストコンピュータ３２であってもよい。
【００４２】
フロー変換制御部１４は、下位工程フロー（５）を対象工程フローとして、フロー分解部１５、互換フロー生成部１６、フローチェック部１７、及びフロー選択部１８の変換処理の流れを制御する。フロー分解部１５は、対象工程フローと工程分解テーブル（Ｔ５）から、図１９に示すように、中間下位工程フロー（１１）を生成する。互換フロー生成部１６は、中間下位工程フロー（１１）から下位工程互換テーブル（Ｔ６）に基いて、図２０に示すように、中間下位互換工程フロー（１２）を生成する。フローチェック部１７は、中間下位工程フロー（１１）及び中間下位互換工程フロー（１２）から使用可能工程テーブルＴ７に基いて使用可能な下位工程のチェックを行い、図２１に示すように、それぞれ下位工程フロー（１１）及び下位工程フロー（１２）を生成する。フロー選択部１８は、下位工程フロー（１１）及び（１２）それぞれの、製造コスト及び作業者負荷を属性定義テーブル（Ｔ８）に従って算出し、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）に示すように、下位工程フロー属性情報（１１）及び（１２）を生成する。更に、図３に示した変換手順情報の工程フロー選択（２）で指定された「ユーザ選択」により、下位工程フローが選択される。例えば、作業者負荷が下位工程フロー（１１）に比べ半分となる下位工程フロー（１２）がユーザにより選択され、製造ライン用工程フローとして出力部１３から製造ライン４０のライン管理装置４１に出力される。
【００４３】
このようにして、フロー変換制御部１４は、作業指示生成の後、レシピ生成を行い、変換手順情報に指定された全ての変換処理を制御する。また、製造ライン４０に固有の情報は変換定義テーブルに予め定義されている。したがって、本発明の実施の形態にかかるフロー変換装置１０によれば、製造ラインに依存しない製造仕様の工程フローを、製造ライン４０に対応した下位工程フローに効率よく変換することが可能となる。
【００４４】
なお、上記の例では、変換定義テーブル情報において、各変換処理に対する変換定義テーブルとして、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル、及び属性定義テーブルの全てが定義されていたが、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、使用可能工程テーブル、及び属性定義テーブルのうち、少なくとも１つが定義されていれば良い。その場合、個々の変換処理の入力された工程フローが、そのまま出力の工程フローとなる。例えば、工程分解テーブルが未指定の場合、入力部１１からフロー分解部１５に渡された製造仕様の工程フローが、そのまま中間下位工程フローとリネームされて、互換フロー生成部１６に渡される。また、属性定義テーブルが未指定の場合、フロー属性情報は生成されない。その場合、変換手順情報には、フロー属性情報を必要としない工程フロー選択が指定される。
【００４５】
また、変換定義テーブルの中で、使用可能工程テーブルだけが製造ライン４０に固有の変換定義テーブルである。工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、及び属性定義テーブルは、例えば、同一工場内の異なる製造ラインにおいても、あるいは、自社や他社の異なる工場の製造ラインにおいても、共通に使用できる。したがって、工程分解テーブル、下位工程互換テーブル、及び属性定義テーブルとしては、外部記憶装置２０の工程分解データベース２１、下位工程互換データベース２２、使用可能工程データベース２３、及び属性定義データベース２４に予め格納されている属性定義テーブルが使用できる。使用可能工程テーブルは、例えば対象となる製造ライン４０のライン管理装置４１が、各製造装置４２ａ、４２ｂ、・・・、４２ｎ等の補修や故障状況を含めた使用可能工程の点検を行い、随時外部記憶装置にアクセスして使用可能工程データベース２３の使用可能工程テーブルを更新する。使用可能工程テーブルが更新されると、フロー変換装置１０は、新たに変換処理を行い、新たな製造ライン用工程フローを生成する。
【００４６】
次に、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を、図２３に示すフローチャートを用いて説明する。
【００４７】
（イ）まず、ステップＳ７０で、図１に示す製造ライン４０の使用可能工程テーブルをライン管理装置４１から取得して、フロー変換装置１０の外部記憶装置２０に登録する。
【００４８】
（ロ）次に、ステップＳ７１で、図１に示すフロー作成装置３１から第１の変換対象工程フローとして製造仕様工程フローを、変換手順情報及び変換定義テーブル情報と共にフロー変換装置１０の入力部１１により取得する。
【００４９】
（ハ）ステップＳ７２で、フロー変換制御部１４により、入力部１１から第１の変換対象工程フロー及び変換手順情報と、外部記憶装置２０から変換定義テーブル情報で指定された作業指示生成用の工程分解テーブルが、フロー分解部１５に渡される。フロー分解部１５では、第１の変換対象工程フロー中の工程を検索し、変換手順情報に示される範囲に対して、作業指示生成の変換処理（１）を行う。工程分解テーブルの定義に基いて下位工程のパターンに分解し、作業指示の中間下位工程フローを生成する。
【００５０】
（ニ）ステップＳ７３で、フロー変換制御部１４により、フロー分解部１５で生成された中間下位工程フローと、外部記憶装置２０から指定された下位工程互換テーブルが互換フロー生成部１６に渡される。互換フロー生成部１６により、中間下位工程フロー中の下位工程のパターンが検索される。中間下位工程フロー中に下位工程互換テーブルに定義された下位工程のパターンが存在する場合、互換フロー生成部１６で、該当する下位工程が下位互換工程のパターンに置換され、作業指示の中間下位互換工程フローが新規に生成される。
【００５１】
（ホ）ステップＳ７４で、フロー変換制御部１４により、フロー分解部１５及び互換フロー生成部１６で生成された中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローと、外部記憶装置２０から指定された使用可能工程テーブルがフローチェック部１７に渡される。フローチェック部１７により中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローに記述された下位工程の情報をキーに、使用可能工程テーブルを検索する。全ての下位工程が使用可能工程テーブルに登録されている中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローを作業指示の下位工程フローとして生成する。その際、使用可能工程テーブルに登録されている編集情報に従い、各下位工程が編集される。
【００５２】
（ヘ）ステップＳ７５で、フロー変換制御部１４により、フローチェック部１７で生成された下位工程フローと、外部記憶装置２０から指定された属性定義テーブルがフロー選択部１８に渡される。フロー選択部１８により、下位工程フローに対して属性定義テーブルに定義された方法に従い、下位工程フロー属性情報が生成される。更に、フロー選択部１８により、下位工程フロー属性情報に基いて、変換手順情報に指定された工程フロー選択（１）の定義に従って、作業指示の下位工程フローが選択される。
【００５３】
（ト）次に、ステップＳ７６で、フロー変換制御部１４により、フロー選択部１８で選択された作業指示の下位工程フローが第２の変換対象工程フローとされ、変換手順情報及び変換定義テーブル情報に基いてレシピ生成用の変換処理（２）が行われる。その際、外部記憶装置２０からレシピ生成用の各変換定義テーブルがフロー変換制御部１４から渡される。
【００５４】
（チ）ステップＳ７７で、フロー分解部１５により、フロー変換制御部１４から渡された工程分解テーブルに基いて、第２の変換対象工程フローが分解され、レシピの中間下位工程フローが生成される。
【００５５】
（リ）ステップＳ７８で、互換フロー生成部１６により、フロー変換制御部１４から渡された下位工程互換テーブルに基いて、中間下位工程フローの下位工程が下位互換工程で置換され、レシピの中間下位互換工程フローが生成される。
【００５６】
（ヌ）ステップＳ７９で、フローチェック部１７により、フロー変換制御部１４から渡された使用可能工程テーブルに基いて、中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローの下位工程及び下位互換工程が検索され、全ての下位工程あるいは下位互換工手が使用可能工程テーブルに登録されている中間下位工程フロー及び中間下位互換工程フローをレシピの下位工程フローとして生成する。その際、使用可能工程テーブルに登録されている編集情報に従い、各下位工程が編集される。
【００５７】
（ル）ステップＳ８０で、フロー選択部１８により、フロー変換制御部１４から渡された属性定義テーブルに基いて、下位工程フロー属性情報が生成される。また、下位工程フロー属性情報に基いて、変換手順情報に指定された工程フロー選択（２）の定義に従って、ユーザによりレシピの下位工程フローが選択される。
【００５８】
（ヲ）ステップＳ８１で、フロー変換制御部１４により、選択されたレシピの下位フローが製造ライン用工程フローとして、出力部１３に渡される。更に、出力部１３から製造ライン４０のライン管理装置４１に出力される。
【００５９】
このように、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法においては、製造ライン４０に依存しない製造仕様工程フローを、予め外部記憶装置２０に格納してある製造ライン４０に固有の使用可能工程テーブルを用いて下位工程フローに変換しているため、製造ライン４０に対応した製造ライン用工程フローを効率よく生成することが可能となる。また、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法によれば、製造ライン間の工程フローの移管は、各製造ラインの使用可能工程テーブルを外部記憶装置２０に登録しておけばよいので、簡便に効率よく行える。
【００６０】
また、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を用いれば、製造工程の管理が簡便に効率よく実施できる。例えば、本発明の実施の形態に係る製造工程管理方法を図１に示す製造ライン４０を含む製造工程管理システムに適用する場合について、図２４に示すフローチャートを用いて説明する。
【００６１】
（イ）まず、ステップＳ９０で、ライン管理装置４１により、製造ライン４０の使用可能工程テーブルがフロー変換装置１０の外部記憶装置２０に登録される。
【００６２】
（ロ）ステップＳ９１で、フロー変換装置１０から使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローの工程を下位工程に変換した製造ライン用工程フローが取得される。
【００６３】
（ハ）ステップＳ９２で、製造ライン用工程フローを用いて製造ライン４０で製造工程が実施される。
【００６４】
（ニ）ステップＳ９３で、ライン管理装置４１により、製造ライン４０の使用可能工程が点検される。
【００６５】
（ホ）ステップＳ９４で、製造ライン４０の使用可能工程に変更があるか判定され、使用可能工程に変更が無ければ、ステップＳ９７で、製造ライン用工程フローに従って新たな製造工程が実施される。
【００６６】
（ヘ）製造ライン４０の使用可能工程に変更があれば、ステップＳ９５で、新たな使用可能工程テーブルがフロー変換装置１０の外部記憶装置２０に登録される。
【００６７】
（ト）ステップＳ９６で、ライン管理装置４１により、フロー変換装置１０で新たな使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローを変換して生成された新たな製造ライン用工程フローが取得される。
【００６８】
（チ）ステップＳ９７で、新たな製造ライン用工程フローに従って新たな製造工程が実施される。
【００６９】
本発明の実施の形態によれば、製造ライン４０の使用可能工程テーブルを随時更新することができ、製造ライン用工程フローを製造ライン４０の使用可能工程の変動に合わせて変更することが可能となる。したがって、製造工程の管理が簡便に効率よく行うことが可能となる。
【００７０】
また、本発明の実施の形態に係るフロー変換方法あるいは製造工程管理方法によれば、製造ライン４０だけでなく、同一工場内の異なる製造ラインにも、あるいは、自社や他社の異なる工場の製造ラインにも、適用可能なことはいうまでもない。例えば、図２５に示すように、フロー変換装置１０が接続されているＬＡＮ３０内部の工場５０に設置されている複数の製造ライン４０、４０ａ、・・・、４０ｎそれぞれに対する製造ライン用工程フローは、フロー変換装置１０にそれぞれの使用可能工程テーブルを登録すれば生成でき、製造工程の管理も工場５０のライン管理装置４１により簡便に効率よく行える。更に、ＬＡＮ３０のルータ３５を経由してインターネットや専用回線等を用いたネットワーク３６に接続すれば、ルータ３５ａ、３５ｂを介して、遠隔地のＬＡＮ３０ａ、３０ｂに設置されている自社又は他社の工場５０ａ、５０ｂの製造ラインに対してアクセスが可能となる。各工場５０ａ、５０ｂの製造ラインを管理するライン管理装置４１ａ、４１ｂにより、ＬＡＮ３０に接続されているフロー変換装置１０を用いて、フロー変換方法及び製造工程管理方法を効率よく実施することが可能となる。
【００７１】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明の実施の形態を記述したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者にはさまざまな代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００７２】
本発明の実施の形態においては、独立したコンピュータ等のフロー変換装置１０として説明をしたが、フロー変換装置１０の機能は、例えば、ホストコンピュータ３２、ライン管理装置４１あるいはフロー作成装置３１に含ませることができることは勿論である。
【００７３】
このように、本発明はここでは記述していないさまざまな実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【００７４】
【発明の効果】
本発明によれば、製造ライン間での工程フローの移管を効率よく行うことができるフロー変換装置、フロー変換方法、フロー変換装置を用いた製造工程管理システム、製造工程管理方法及びフロー変換方法のプログラムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るフロー変換装置のシステム構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる製造仕様の工程フローの一例を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる変換手順情報の一例を説明する図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる変換定義テーブル情報の一例を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の工程分解テーブルの一例を説明する図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された中間下位工程フローの一例を説明する図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の下位工程互換テーブルの例を説明する図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された中間下位互換工程フローの一例を説明する図である。
【図９】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の使用可能工程テーブルの一例を説明する図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された下位工程フローの例を説明する図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された変換エラー情報の一例を説明する図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係るフロー変換に用いる作業指示生成用の属性定義テーブルの一例を説明する図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された下位工程フロー属性情報の一例を説明する図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係るフロー変換により生成された非選択工程フロー情報の一例を説明する図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる工程分解テーブルの一例を説明する図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる下位工程互換テーブルの一例を説明する図である。
【図１７】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる使用可能工程テーブルの一例を説明する図である。
【図１８】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理に用いる属性定義テーブルの一例を説明する図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された中間下位工程フローの一例を説明する図である。
【図２０】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された中間下位互換工程フローの一例を説明する図である。
【図２１】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された下位工程フローの例を説明する図である。
【図２２】本発明の実施の形態に係るレシピ生成変換処理により生成された下位工程フロー属性情報の例を説明する図である。
【図２３】本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を説明するフローチャートである。
【図２４】本発明の実施の形態に係る製造工程管理方法を説明するフローチャートである。
【図２５】本発明の実施の形態に係るフロー変換方法を行う製造ラインを有する工場の構成例を示したブロック図である。
【符号の説明】
１０ フロー変換装置
１１ 入力部
１２ ＣＰＵ
１３ 出力部
１４ フロー変換制御部
１５ フロー分解部
１６ 互換フロー生成部
１７ フローチェック部
１８ フロー選択部
１９ 内部記憶部
２０ 外部記憶装置
２１ 工程分解データベース
２２ 下位工程互換データベース
２３ 使用可能工程データベース
２４ 属性定義データベース
３０、３０ａ、３０ｂ ＬＡＮ
３１ フロー作成装置
３２ ホストコンピュータ
３５、３５ａ、３５ｂ ルータ
３６ ネットワーク
４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｎ 製造ライン
４１、４１ａ、４１ｂ ライン管理装置
４２ａ、４２ｂ、４２ｎ 製造装置
５０、５０ａ、５０ｂ 工場
Claims (16)
- 変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部と、
前記下位工程と等価な製造ラインの下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、前記下位工程を前記下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部と、
使用可能工程テーブルに基いて、前記中間下位工程フロー及び前記中間下位互換工程フローから前記製造ラインで使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部と、
前記下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて前記属性を算出して前記下位工程フローを選択するフロー選択部と、
前記工程分解テーブル、前記下位工程互換テーブル、前記使用可能テーブル、及び前記属性定義テーブルを格納する外部記憶装置
とを備えることを特徴とするフロー変換装置。 - 前記変換対象工程フローの変換処理の手順を定義した変換手順情報に基いて前記フロー分解部、前記互換フロー生成部、前記フローチェック部、及び前記フロー選択部のそれぞれでの処理を制御するフロー変換制御部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のフロー変換装置。
- 前記変換対象工程フローとして製造仕様工程フローを取得する入力部と、
前記フロー選択部で選択された前記下位工程フローを出力する出力部
とを更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のフロー変換装置。 - 製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルをフロー変換装置が取得するステップと、
変換対象工程フローを前記フロー変換装置が取得するステップと、
工程分解テーブルに基いて前記フロー変換装置が、前記製造仕様工程フローの工程を下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するステップと、
下位工程互換テーブルに基いて前記フロー変換装置が、前記中間下位工程フローの前記下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成するステップと、
前記使用可能工程テーブルに基いて前記フロー変換装置が、前記下位工程及び前記下位互換工程が前記使用可能工程である前記中間下位工程フロー及び前記中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成するステップと、
属性定義テーブルに基いて前記フロー変換装置が、前記下位工程フローの属性を算出して前記下位工程フローを選択するステップ
とを含むことを特徴とするフロー変換方法。 - 前記使用可能工程テーブルとして作業指示生成用の使用可能工程テーブル、前記変換対象工程フローとして製造仕様工程フローを取得し、選択された前記下位工程フローが作業指示下位工程フローであることを特徴とする請求項４に記載のフロー変換方法。
- 前記使用可能テーブルとしてレシピ生成用の使用可能工程テーブル、前記変換対象工程フローとして前記作業指示下位工程フローを取得し、選択された前記下位工程フローを製造用工程フローとして出力するステップを更に含むことを特徴とする請求項５に記載のフロー変換方法。
- 製造ラインの管理を行うライン管理装置と、
前記製造ラインの製造仕様工程フローを作成するフロー作成装置と、
前記ライン管理装置から取得した前記製造ラインの使用可能工程テーブルに基いて、前記製造仕様工程フローを製造ライン用工程フローに変換するフロー変換装置
とを備えることを特徴とする製造工程管理システム。 - 前記フロー変換装置は、前記製造仕様工程フローを取得する入力部と、
変換処理を実施する中央演算処理ユニットと、
前記使用可能工程テーブルを格納する外部記憶装置と、
前記製造ライン用工程フローを前記ライン管理装置に出力する出力部
とを備えることを特徴とする請求項７に記載の製造工程管理システム。 - 前記中央演算処理ユニットは、変換対象工程フローに記述された工程を、工程分解テーブルに基いて下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するフロー分解部と、
前記下位工程と等価な製造ラインの下位互換工程を記述する下位工程互換テーブルに基いて、前記下位工程を前記下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを追加する互換フロー生成部と、
前記使用可能工程テーブルに基いて、前記中間下位工程フロー及び前記中間下位互換工程フローから前記製造ラインで使用可能な下位工程フローを生成するフローチェック部と、
前記下位工程の属性を定義する属性定義テーブルに基いて前記属性を算出して前記下位工程フローを選択するフロー選択部と、
前記変換対象工程フローの変換処理の手順を定義した変換手順情報に基いて前記フロー分解部、前記互換フロー生成部、前記フローチェック部、及び前記フロー選択部それぞれでの変換処理を制御するフロー変換制御部
とを備えることを特徴とする請求項８に記載の製造工程管理システム。 - 製造ラインの使用可能工程テーブルをライン管理装置がフロー変換装置に登録するステップと、
前記フロー変換装置により前記使用可能工程テーブルに基いて製造仕様工程フローの工程が下位工程に変換された製造ライン用工程フローを、前記ライン管理装置が取得するステップと、
前記製造ライン用工程フローを用いて前記製造ラインで実施される製造工程を前記ライン管理装置が管理するステップと、
前記製造ラインの使用可能工程を前記ライン管理装置が点検するステップと、
前記製造ラインの使用可能工程に変更があれば、前記ライン管理装置が新たな使用可能工程テーブルを前記フロー変換装置に登録するステップと、
前記フロー変換装置により前記新たな使用可能工程テーブルに基いて前記製造仕様工程フローが変換された新たな製造ライン用工程フローを、前記ライン管理装置が取得するステップ
とを含むことを特徴とする製造工程管理方法。 - 前記フロー変換装置で実施される前期製造仕様工程フローの変換は、変換対象工程フローを取得するステップと、
工程分解テーブルに基いて、前記変換対象工程フローの工程を前記下位工程に分解して中間下位工程フローを生成するステップと、
下位工程互換テーブルに基いて、前記中間下位工程フローの前記下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成するステップと、
前記使用可能工程テーブルに基いて、前記下位工程及び前記下位互換工程が前記使用可能工程である前記中間下位工程フロー及び前記中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成するステップと、
属性定義テーブルに基いて、前記下位工程フローの属性を算出して前記下位工程フローを選択するステップ
とを含むことを特徴とする請求項１０に記載の製造工程管理方法。 - 前記使用可能工程テーブルとして作業指示生成用の使用可能工程テーブル、前記変換対象工程フローとして製造仕様工程フローを取得し、選択された前記下位工程フローが作業指示下位工程フローであることを特徴とする請求項１１に記載の製造工程管理方法。
- 前記使用可能テーブルとしてレシピ生成用の使用可能工程テーブル、前記変換対象工程フローとして前記作業指示下位工程フローを取得し、選択された前記下位工程フローを前記製造用工程フローとして出力するステップを更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の製造工程管理方法。
- 前記ライン管理装置が、前記製造ライン用工程フローに記述された全製造工程終了後に前記使用可能工程の点検を実施することを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の製造工程管理方法。
- 前記ライン管理装置が、前記製造ライン用工程フローに記述された前記製造工程の途中で前記使用可能工程の点検を実施することを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の製造工程管理方法。
- 製造ラインの使用可能工程を記述する使用可能工程テーブルを取得する命令と、
変換対象工程フローを取得する命令と、
工程分解テーブルに基いて、前記製造仕様工程フローの工程を下位工程に分解して中間下位工程フローを生成する命令と、
下位工程互換テーブルに基いて、前記中間下位工程フローの前記下位工程を下位互換工程で置換して中間下位互換工程フローを生成する命令と、
前記使用可能工程テーブルに基いて、前記下位工程及び前記下位互換工程が前記使用可能工程である前記中間下位工程フロー及び前記中間下位互換工程フローから下位工程フローを生成する命令と、
属性定義テーブルに基いて、前記下位工程フローの属性を算出して前記下位工程フローを選択する命令
とをコンピュータに実行させるためのプログラム。
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