TWI249083B - A system and method for the direct imaging of color filters - Google Patents

Description

1249083 九、發明說明： f發明所屬之技術領域】 、本發明係關於在光敏表面上直接成像圖案之系統與方 法’更明確言之，係關於彩色遽光器圖案在平板顯示器基 板上之直接成像。 【先前技術】 平板顯示器’例如薄膜雷曰 . 、电日日體（thin film transistor ; TFT)顯示器，通常採用彩 、 巴’慮光裔來顯示彩色影像。彩色 /慮光器通常包括三原色（通當袁 吊為紅色、綠色與藍色）之每一 原色。將彩色濾光器配置成一 置成固疋圖案，通常為一條帶圖 案。每一彩色濾光器覆蓋面勑 ^ 風由扳上的部分，但不是全部像

素。猎由使光通過選定的後I 像素（根據位置與彩色濾光器所 施加的色彩而選定）而在旬 社扁不裔上形成一彩色影像。 傳統上，使用微影虫刻蔣床古巫 _ #序在千板顯示器上形成彩色濾 光裔。將一經適當染色的弁献：舍伞 九敏/慮先為材料選擇性地曝露於 所需的濾光器圖案中，通當兔^ _ 逋吊為一條V圖案，並加以顯影。 一般而言’移除濾光器材料 7十之禾曝路的部分，從而在所需 的位置僅留下彩色濾光器 ,。。 知用遮罩來決定要曝露光敏濾 光恭材料的哪些部分。 【發明内容】 本發明想要提供一種用於太玉此姑-„ 用表在千板顯不器上形成彩色濾光 斋之經改善的系統與方法。 本發明進-步想㈣心射直接成像_與方法，特別 係數位系統與方法’來選擇性地曝露—光敏材料，以便形 96461.doc Ϊ249083 成條帶圖案。條帶圖案包括’但不限於，平板顯示器上的 彩色濾光器。 根據本發明之一一般方面，雷射直接成像系統係適當地 配置成最佳化雷射的能量利用，以曝露光敏材料之條帶部 分。當使用脈衝雷射時，藉由將脈衝的傳遞定時於要曝露 的條帶位置而實現最佳化。最佳化雷射功率的另一方法係 要將欲掃描的面板相對於掃描器定向’以便將掃描期間的 傳送考慮在内，從而可連續掃描每一條帶，而無需雷射之 開關調變。條帶的定向、掃描速度以及要曝露的面板盘掃 =之間相互相對傳送之速度係相互配合，使得在完成掃 =弟-條帶之後’即返回雷射光束以掃描要曝露的下—條 ▼。自動跳過不要曝露的中間部分。 八 *根據本發明另——般方面’雷射直接成像系統包括沿一 W方向掃描—光束的掃描器以及沿交又掃財向=轉 知描光束之偏轉器4交又掃描方向的偏轉與要曝露的面 板之傳送配合，以補償交又掃描方向的傳送。適當的偏轉 光偏轉器…根據調變器中聲波的頻率來偏轉雷 而，根據本發明之一具體實施例，提供 71%Γ = = 光敏表面上的系統與方法，其包括-輸出〗 先束源；一支撐面板的的支撐表面，該面! W形成於其上之圖案元件陣列，該面板進 ‘ 光敏材料；一掃描器，其沿-掃描路徑橫跨= 々面夕-人穿越掃描-雷射光束，以曝露光敏材料的多個部 96461.doc 1249083 —旋轉器，其提供_板與_^、之間“ 角疋向，以便當該面板與該掃 門的相互 定位置時，該面板上的一列圖案田—H對f彼此處於—固 各具體實施例包括一或多個以、額;路徑交錯。 傳送盗可知作以提供該掃描器與該面板之心一. 知描方向的相互相對平移 /D 乂又 交錯。 °亥父騎描方向與該掃描路徑 該交又掃描方向橫穿該掃描路徑。 該面板旋轉器對齊該面板，使—列圖案元件平行於 相對平移期間的有效掃描路徑。 、 該面板旋轉器旋棘續而七 、，# — 兮+ 6+丄λ疋轉4面板，以使每次雷射光束穿越時， =:光束曝露覆蓋單列圖案元件之圖案元件之一部分光 光= ΐ度與掃描速度配合，以便在每次雷射 τ，曝路覆盍一後續列圖案元件之 -部分光敏表面。 件的 夕雷射光束源輸出一脈衝雷射光束，該脈衝雷射光束係由 多個在時間上分開的雷射脈衝定義，並且每一脈衝曝露該 光敏表面之一重疊部分。或者，該雷射光束係一連續波雷 射光束。 "亥旋轉器相對於該掃描ϋ旋轉該面板。或者，使該掃描 器相對於-支撐該面板的支撐結構旋轉。 根據本發明之另一具體實施例，因而提供一種用於將— 圖案成像於一光敏表面上之系統，其包括一輸出雷射光束 964(5】.doc 1249083 二射=該:Γ束係由在時間上分開_脈衝 了采疋義，以及一掃描器，其横跨一 掃描方向掃描該雷射光束· 乂沿一 列同步，以使每一以亥知描與該雷射脈衝序 使母一雷射脈衝傳遞至要成 向上之-非相鄰位置。 圓案之…田方 各具體贫施例包括一或容徊ν 丁 Μ 雷射成夕個以下的額外與替代性特徵: 田射先束源係Q開關脈衝雷射。 "亥掃描器係一旋轉多邊形。 傳送器提供該掃描器盥玄 移。 先敏表面之間的相互相對平 系統控制器控制以下至少 衝之脈衝速率、相互相對平移之以疋義°亥雷射先束之脈 該掃描器可操作以將第一掃"二及掃描速度。 第一列，並將一第m“令的脈衝傳遞至要曝露的 列，要曝n笛的脈衝傳遞至要曝露的第二 μ 4 —列與要曝露的該第-列相鄰。 该知描器傳遞每—脈衝， 一條帶。 以曝路一附加區域，從而形成 要成像的圖案舍+來4c & _ 案。 3+板顯*器上彩色遽光器條帶的一圖 根據本發明之g γ -光敏表面二=:，因而提供—種將一圖案成像至 射光束源；一掃描/、法’其包括—輸出雷射光束的雷 掃描該雷射光束二傳送方向橫跨一光敏表面而 描器與該光敏表面之間提:一厂一父又掃描方向在該掃 ’、相互相對平移，該交又掃描 96461.doc 1249083 方向橫穿該掃描方向； 描方θ π ^ β + 及雷射光束偏轉器，當沿該掃 细方向知描該雷射光束時 描方向與該相互相對;二:射光束偏轉器沿該交叉掃 【實施方式】移时地偏轉雷射光束。 參考圖1 ’其係根據太菸 牵惧+ & 1 嚴本^明—具體實施例用以將條帶圖 於 料之系統Μ之部分簡化圖示、部分方塊 本文所述系統與方法特別適用於製造作為平板顯示器 之部分的彩色濾光器條帶，检^ ^ ^ 俅V 锤官本發明亦涵蓋將條帶圖 案曝露於適當的光敏材料。 簡言之，平板顯示器包括一像素陣列…彩色濾光器係 入母-像素相關聯。藉由從該等像素選擇性地輸出光而將 -影像顯示於該面板上，每一像素係根據其位置與色彩而 予以選擇。 一般而言，將彩色濾光器置放成條帶狀，並且每一彩色 渡光器條帶覆蓋顯示器面板Η上的_列（或行）像素。藉由 適當地曝露一經染色的光敏材料來製造濾光器。 根據本發明之一具體實施例，採用雷射直接成像技術來 曝露光敏材料。本發明之實施，例如，可藉由適當地調適 掃祸雷射直接成像設備，例如可從以色列hvne的 Orbotech公司購買的DPTM系列雷射直接成像系統。 如圖1所示，根據本發明之一具體實施例，系統1〇包括 一輸出脈衝雷射光束22之脈衝雷射20。藉由在時間上分開 的雷射脈衝24之一序列，而非一連續光束，來定義脈衝雷 射光束22。用於提供脈衝雷射光束的適當雷射包括，例 -10- 96461.doc 1249083 如，可從數家雷射供應商（包括美國加州的c〇herent公司與

Spectra公司）之任何一家購買的Q開關二極體激發固態雷 射。 使雷射脈衝24通過適當的預掃描光學元件％，並引導其 才里擊於一掃描器28之上，例如具有複數個刻面3〇的旋轉多 邊形。預掃描光學元件26通常包括複數個透鏡（未顯示）， 該等透鏡係選擇成適當地成型雷射光束22，使每一雷射脈 衝24將具有一所需尺寸與形狀的光點曝露於面板12上。應 注意，掃描器傳遞每一雷射脈衝至面板12上一不同的位 置。由虛線表示雷射脈衝24的個別路徑。 當掃描器28之多邊形沿箭頭32之方向（掃描方向）旋轉 時，光束22撞擊於多邊形之其中一個刻面3〇上，其使該光 束通過掃描光學元件34。一般而言，掃描光學元件34包括 一 f-θ掃描透鏡與其他光學元件（未顯示）。當多邊形旋轉 時，沿箭頭36所指示的掃描方向沿一掃描路徑掃描光束 22 〇 將對應於要曝露的圖案之圖案資料4〇供應至一系統控制 态42。系統控制器42控制以下一或多項··掃描器28之多邊 形之旋轉速度、面板12相對於掃描器28之相互平移以及控 制雷射脈衝24產生的時脈。儘管圖1描述平移器沿箭頭46 之方向（父叉掃描方向）移動面板12，而掃描器28保持固 定，但實際的系統設計可能使面板12保持固定，而移動掃 描器28。 在圖1中顯示脈衝產生器50所產生的時序信號48。此等 96461.doc 1249083 時序信號對應於雷射光束22之雷射脈衝24。根據本發明一 具體實施例，使雷射脈衝24與掃描器28中多邊形的旋轉同 步，使每一雷射脈衝24將光敏材料之一額外部分曝露於面 板12之上，從而形成已曝露的區域6〇。由於雷射脈衝以的 時間分離以及掃描器28的連續旋轉，每一所曝露的區域6〇 與其他所曝露的區域60相互不鄰近。脈衝光束的固有開關 調變，即當光束「關閉」時脈衝之間的時間，係用於將光 束22從一所曝露區域60移動至下一所曝露區域。 在完成掃描路徑之後，即一旦雷射光束22到達要掃描之 掃描帶(swath)(其可能’但不一定係面板12的整個寬度)的 末端，則將掃描器28中的多邊形之下_刻面旋轉到適當位 置’以即時將雷射光束22返回至掃描路徑的起點。沿掃描 路徑再次掃描雷射光束22。由於面板12與㈣器28之間相 互相對平移（例如由面板傳送器44提供），現在掃描面板Η 上新的位置鄰近先前掃描的位置。因巾，應注意，每一掃 描路徑與-先前掃描隸相鄰，從而針對每—曝露區⑽ 產生-附加部分，以沿交又掃描方向作為一條帶延伸曝露 區域。 現在參考圖2,其係根據本發明另—具體實施例用以將 條帶圖案曝露於光敏材料之系統u〇之部分簡化圖示、部 分方塊圖。光敏材料包括一纟彡九 G枯經木色的濾光器材料，其適用 於在面板112(例如平板顯千哭、、♦ 一、 板”肩不為）上製造彩色濾光器。通常將 經染色的濾光器材料放置於 置於已形成於面板112上的一像素 圖案11 3。儘管將系統11 〇血系并 、 ”糸、4 10都配置成最佳地利用雷 96461.doc 1249083 射直接成像器來曝露非相鄰條帶的圖案，但系統11〇連續 地曝露每一條帶，而系統10則曝露每一條帶上一附加的區 域。 如圖2所示，系統11〇包括一輸出雷射光束122的雷射 12〇,該雷射光束可為一連續波雷射光束或一脈衝雷射光 束，例如藉由一 Q開關二極體激發固態雷射提供，其可從 數家雷射供應商之任何一家購買，包括美國加州的 Coherent公司與Spectra公司。根據本發明之一具體實施 例，當使用脈衝雷射時，如下所述，系統設計（光點尺 寸、掃描速度與相互平移的速度）需要使每一脈衝所曝露 的光點與至少另一光點相互重疊，以確保曝露一連續的條 帶。 八 使雷射光束122通過適當的預掃描光學元件126，並引導 其撞擊於-掃描器128之上，例如具有複數個刻面13〇的旋 轉夕邊形。預掃描光學元件126通常包括複數個透鏡（未顯 不）’该等透鏡係選擇成適當地成型雷射光束122以曝露一 連續的條帶於面板112上。 當掃描^28之多邊形沿箭頭32之方向（掃描方向）旋轉 時’光束122撞擊於多邊形之其中_個刻面13〇上，其使光 束通過掃描光學元件134。—般而言，掃描光學元件134包 括一 Η掃描透鏡與其他光學元件（未顯示當多邊形旋轉 時’沿箭頭136所指示的標稱掃描方向沿一掃描路徑掃描 光束122。 在掃描期間，使面板112與掃描器128沿箭頭146所指示 96461.doc 1249083 的父又掃描方向相互相對地平移，例如藉由一傳送器 144 應〉主意，由於掃描期間的相互相對平移，會使實際 的掃描方向略微扭斜，如箭頭148所示。 本具體實施例的一特徵係，掃描期間，旋轉器1在面 板112與掃描器ι28之間建立一相互角偏移。因而，若缺少 面板112與掃描器128之相互相對平移，圖案113中的多列 圖案70件與一對應於標稱掃描方向136的軸交錯。在面板 112與掃描器之間引入相互相對平移之後，實際的掃描 方向與多列圖案元件113的定向匹配，從而有助於區域16〇 的連續曝露。 在圖2中，可看到，將對應於要曝露的圖案之圖案資料 140供應至一系統控制器142。系統控制器ι42控制以下一 或夕項·掃描器128之多邊形之旋轉速度、面板丨丨2相對於 掃描态128之相互平移以及面板112相對於掃描器128之旋 轉定向。 儘官圖2描述平移器144沿箭頭146之方向（交叉掃描方 向）移動面板112，而掃描器128保持固定，但實際的系統

112上’或可操作於支撐面板112的 或其可相對於面板112旋轉掃描器 96461.doc -14- 1249083 128，而面板112則保持固定 128之上，即可操作旋轉器， 系統U 0上之前旋轉面板112， 部分。 旦已將面板放置於系統 或旋轉器可在將面板放置於 例如作為拾放型裝載器的一 將系、、先1 log己置成在完成掃描路徑之後，即—旦雷射光 束122到達要掃描之掃描帶（sw,的末端，將掃描器田 128中 之多邊形之下—刻面旋轉到適當位置，以即時將雷射光束 k回至知心路控的起點。系統控制器142決定面板m 與掃描器⑶之適當的相對Μ向，以及平移速度與掃描 速度’使每-掃描路徑對應於要曝露的條帶區域⑽，以 及跳過條帶之間的區域。 現在麥考圖3，纟係根據本發明另一具體實施例用以將 條帶圖案曝露於光敏材料之系統21〇之部分簡化圖示、部 分方塊圖。光敏材料包括一經帛色的遽光器材料，其適用 於在面板112(例如平板顯示器)上製造彩色濾光器。將經染 色的濾光器材料放置於已形成於面板丨12上的一像素圖案 113 〇 、 在圖3所示的具體實施例中，系統21〇與系統11〇在各方 面相同，不過系統21〇包括一額外的、可選的交叉掃描偏 轉器370與系統控制器142通信，交叉掃描偏轉器37〇可操 作以沿交叉掃描方向偏轉光束丨22。因而，根據本發明之 一具體貫施例，系統控制器丨42進一步控制光束〗22的偏轉 角，以補償面板112與掃描器128之間相互相對平移。偏轉 器370所提供的補償可補充或替代上文關於圖2所述在面板 96461 .doc -15- 1249083 U2與掃描器128之間建立相互相對旋轉的步驟。 視需要’偏轉器370係一採用聲波來偏轉雷射光束122的 聲光偏轉器。藉由改變偏轉器370中聲波的頻率來控制偏 轉量，如本技術中所熟知。 热I此項技術者應明白，本發明的範疇不限定於前文所 具體呈現及說明的揭示内容。相反，本發明包括熟習此項 技術者在閱讀上述說明之後能夠明白並且不在先前技術中 之本發明的修改與變化。 【圖式簡單說明】 詳讀上文中詳細說明並參考隨附的圖式將可更充分地瞭 解及明白本發明，其中： μ 圖1係根據本發明一具體實施例用以將條帶圖案曝露於 光敏材料之系統之部分簡化圖示、部分方塊圖。 圖2係根據本發明另一具體實施例用以將條帶圖案曝命 於光敏材料之系統之部分簡化圖示、部分方塊圖。 路 圖3係根據本發明另一具體實施例用以將條帶圖案曝命 於光敏材料之系統之部分簡化圖示、部分方塊圖。^路 【主要元件符號說明】 10 糸統 12 面板 20 脈衝雷射 22 脈衝雷射光束 24 雷射脈衝 26 預掃描光學元件 96461.doc -16- 1249083 28 掃描器 30 刻面 32 箭頭 34 掃描光學元件 36 箭頭 40 圖案資料 42 系統控制器 44 面板傳送器 46 箭頭 48 時序信號 50 脈衝產生器 60 已曝露的區域 110 系統 112 面板 113 像素圖案 120 雷射 122 雷射光束 126 預掃描光學元件 128 掃描器 130 刻面 132 箭頭 136 箭頭 140 圖案資料 142 系統控制器 96461.doc 17. 1249083 144 平移器 146 箭頭 148 箭頭 150 旋轉器 160 條帶區域 210 系統 370 交叉掃描偏轉器 96461.doc -18-

Claims (1)

1249083 十、申請專利範圍··

一種用於將一 含： 圖案成像於一 光敏表面上之系統，其包 由挪无果源 铒珂元末； =表面，其切一面板1面板包 件陣列，該面板進-步包括-覆蓋該圖案: :厂田器’其沿一掃描路徑橫跨該光敏表面多次穿越 ▼ l亥雷射光束’以曝露該光敏材料的多個部分；以及 -旋轉器，其旋轉提供該面板與該掃描器之間的一相 互角定向，以便當該面板與該掃描器相對於彼此而處於 固疋位置時，該面板上的一列圖案元件與該掃描 交錯。 2. 如清求項1之系統，其進一步包含—傳送器該傳送器 可操作以沿-交又掃描方向在該掃描器與該面板之間提 i、相互相對平移’⑦父又掃描方向與該掃描路徑交錯。 3. 如請求項2之系統’其中該交叉掃描方向橫穿該掃摇路 徑0 4. 如靖求項2之系統，其中該面板旋轉器可操作以對齊該 面板，以便在該相互相對平移期間，使一列圖案元件平 行於該掃描路徑。 5. 如凊求項1之系統，其中該面板旋轉器旋轉該面板，以 使母次该雷射光束之穿越時，該雷射光束曝露覆蓋單列 圖案元件之圖案元件之該光敏表面的一部分。 96461.doc 1249083 6 · 如請求項5之备 可扠1 、、β糸統，其進一步包含一傳送器，該傳送器 ’、以提供該掃描器與該面板之間的相互相對平移。 7. 如言素求工昏& / ^ 、之糸統，其中使該相互相對平移之速度與一 * #逮度配合，以便在每次該雷射光束之穿越時，曝露 覆蓋-後續列圖案元件之圖案元件之該光敏表面的一部 分0 8· 月求項7之系統’其中藉由至少一中間列圖案元件將 該^續列圖案元件與一先前列圖案元件分開。 9·如明求項1之系統，其中該雷射光束源輸出一脈衝雷射 =定:脈衝雷射光束係由多個在時間上分開的雷射脈 10·如⑼求項9之系統’其中每—脈衝曝露該光敏表面之— 部分。 比2求項H)之系統，其中該光敏表面之至少兩部分相互 連續波雷 12 _如％求項丨之系統，其中該雷射光束 射光束。 "•如請求項！之系統’其中該旋轉器可操作 描器旋轉該面板。 ' ;邊掃 圖案成像於-光敏表面上之方法 14.如請求項丨之系統，其中該旋轉器可操作以相對於一 撐該面板的支撐結構旋轉該掃描器 ；支 1 5 · —種用於將 含： 輸出一雷射光束； 96461.doc 1249083 列支:::板’該面板包含一形成於其上的圖案元件陣 反進—步包括—覆蓋該圖案之光敏材料； /Π ^路#橫跨該光敏表面多次穿越掃描該雷射光 束，以曝露該光敏材料的多個部分’ ·以及 提供該面板與該掃描器之間的一相互 該面板與該掃描器相對於彼…以便當 處於一固定位置時，該 面板上的-列圖案元件與該掃描路徑交錯。 16.::二項15之方法，其進_步包含沿一交又掃描方向在 ^田器與該面板之間提供相互相對平移，該交又掃描 方向與該掃描路徑交錯。 徑（"求項Μ之方法，其中該交又掃描方向橫穿該掃描路 1:求Γ16之方法’其中該提供相互角定向包含對齊該 /板，使得在該相互相對平移期間，使一列圖案元件平 行於一實際掃描路徑。 19.如請求項15之方法，其中該提供相互角定向包含對㈣ 以使每次該雷射光束之穿越期間，該雷射光束曝 路復盍早列圖案元件之圖案元件之該光敏表面的一部 分。 2〇.如請求項19之方法，其進—步包含提供該掃描器與該面 板之間的相互相對平移。 .如請求項20之方法，其進一步包含使該相互相對平移之 速度與-掃描速度配合，以便在每次該雷射光束之穿越 時，曝露覆蓋-後續列圖案元件之圖案元件之該光敏表 96461.doc 1249083 22. 23. 24. 面的一部分。 如請求項21之方法， 該後續列圖案元件與 如請求項15之方法， 衝雷射光束。 如請求項23之方法， 部分。 其中藉由至少一中間列圖案 一先前列圖案元件分開。 其中輪出一 雷射光束包含輪 元件將 出一脈 其中每一脈衝曝露該光敏表面之 25.如請求項24之方法， 重疊。 其中該光敏表面之至少兩部分相 互 其中輸出一 2 6 ·如請求項15之方法 續波雷射光束。 雷射光I包含輪出—連 27. 28. 以相對於該掃 以相對於一支 如請求項15之方法，其中該旋轉器可操作 描β旋轉該面板。 如請求項15之方法，其中該旋轉器可操作 撐該面板的支撐結構旋轉該掃描器。 29. 一種用於將一 含， 圖案成像於一 光敏表面上之系統，其包 一雷射光束源，該雷射光束源輪出一 射光束係由在時間上分開的雷射脈衝之 以及 雷射光束，該雷 一序列來定義； 一掃描器，其沿一掃描方向横跨一 射光束； 光敏表面掃描該雷 其中使該掃描與雷射脈衝之該序 射脈衝傳遞至欲被成像之一圖案之 列同步，以將每一雷 °亥掃描方向上的一非 96461.doc 1249083 相鄰位置。 30·如睛求項29之系統 衝雷射。 茨富射先束源包含一 Q開關脈 31. 如請求項29之系統，立中哕 32. 如請求項29之^ : ^含—旋轉多邊形。 提供州 、、進''步包含-傳送器，該傳送器 33 該光敏表面之間的相互相對平移。 3·如h求項32之系統，其進一步包含一 統控制器控制以 二$ " °亥系 度。迷率、该相互相對平移之一速度以及-掃描速 34. 求項32之系統，其中該掃描器可操作以將第一掃描 =脈衝傳遞至要曝露的—第—列’並將—第二掃描中 、氏衝傳遞至要曝露的一第二列， 要曝露的該第一列相鄰。 35. ㈣求項34之系統，其中該掃描器傳遞每—脈衝以曝露 一附加區域，從而形成一條帶。 抑明求項29之系統’其中要成像的該圖案包含平板顯示 器上彩色濾光器條帶的一圖案。 37· -種用於將一圖案成像於一光敏表面上之方法，盆包 含： 〃 輸出-雷射光束’其係由在時間上分開的雷射脈衝之 一序列來定義； 沿1描方向橫跨-光敏表面掃描該雷射光束；以及 使該掃描與雷射脈衝之該序列同步，以將每一雷射脈 96461.doc 1249083 =遞至欲被成像之-圖案之該掃描方向上的一非相鄰 38.=求項37之系統，其中該輪出一雷射光束包含從-Q 開關脈衝雷射輸出一雷射光束。 -』：:3:之方法’其中該掃描包含將該雷射反射離開 旋轉多邊形。 40·如請求項37之方、丰，f 光敏表面π / 、 ^包含提供在一掃描器與該 破表面之間的相互相對平移。 礼=求項40之方法，其進_步包含控制以下至少一項： =该雷射光束之脈衝之—脈衝速率、該相互相對平移 速度以及一掃描速度。 仏如請求項40之方法，其中 衝傳遞至要， 將第一知描中的脈 傳遞至要曝露的笛1 #丨一知描中的脈衝 胥“的-弟一列，要曝露的該第 的該第-列相鄰。 夕』與要曝路 •二求項42之方法，其中該掃描包含傳遞每—脈 路一附加區域’從而形成一條帶。 * 44. 如％求項37之方法，其中要成像的該 器上彩色據光器條帶的一圖案。 …板顯不 45. 種用於將—圖宰成像於一氺站主工 含： 莱成像於+敏表面上之系统，其包 光敏表面掃描該雷 一雷射光束源， —掃描器，其沿 射光束； 其輸出一雷射光束 一掃描方向橫跨一 96461.doc 1249083 傳送益’其沿-交又掃描方向在該掃描器與該光敏 ί面之間提供相互相對平移，該交又掃描方向橫穿該掃 描方向；以及 46. 士 —雷射光束偏轉器’當沿該掃描方向掃描該雷射光束 蛉，該雷射光束偏轉器沿該交又掃描方向與該相互相對 平移同步地偏轉該雷射光束。 一種用於將一 含： 圖案成像於一光敏表面上之方法 其包 輸出一雷射光束； 沿一掃描方向橫跨一光敏表面掃描該雷射光束； 沿-交又掃描方向在該掃描器與該光敏表面之間提供 相：相對平移，該交又掃描方向橫穿該掃描方向；以及 當沿該掃描方向掃描該雷射光束時，沿該六 向與該相互相對平移同步地偏轉該雷射光束^ ▼田 96461.doc