TWI225926B - Apparatus inspecting substrate - Google Patents

Description

1225926 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關一種基板檢測裝置，特別是一種利用平 行操控器執行多自由度運動以輕鬆將LCD等基板位移至所 欲位置進行檢測的基板檢測裝置。 【先前技術】 、 已知’巨觀的基板檢測裝置係藉由將玻璃基板傾斜 並/或方疋轉不同的角度以在光線的變換照射下檢測L ◦ d或 PDP等基板表面的汙點或瑕庇。 傳統的巨觀基板檢測裝置係利用一 X — γ — z — 0機構以將 基板固定在平台上，並移動基板作X、Y、Z方向的線性位 移’及旋轉基板Θ角等不同的角度，且使用者係利用一裝 置外部的搖桿來操控基板的運動。 然而，傳統的基板檢測裝置由於係將x方向驅動機 構、Y方向驅動機構、z方向驅動機構及0角驅動機構整人 在裝置内，不僅結構複雜且笨重。 口 此外，由於前述的X-Y-Z- 0驅動機構僅提供四個自由 得平台的運動受到限制，1導致使用者因為無法位 ^千口到所欲的位置而須花費較長的時間及更困難的 基板表面的檢測。 τ 【發明内容】 有鑑於上述習知技術所產生之問題，本發明之主 的在於k供一種基板檢測裝置， 目 造成的缺失與限制。 1肖以解h以傳統技術所 本發明之第二目的在於提供一種基板檢測裝置，此檢

五、發明說明（2) 測裝置的結構簡單，卄At 本發明之第：目的：：：將基板位移到所欲的位置。 維持基板的位置。 檢 基板固定至所欲的位置以檢測裝置，係用以將 台；-平台以置放其f 板的瑕疵，其包括有-其 至平么.以；5工土板，一可動機構以可旋轉的方弋、查Γ 至十口 ，以及一平行操控器 山万式連接 各升高啟動器可上下移勤一二 有/、個升高啟動器， 轉的方式連接至基纟，而豆S離’且其底端係以可旋 土口 而其頂端則以可旋鑪沾士 土 可動機構，藉由升高啟叙哭从A A」從轉的方式連接至 欲的方向。升间啟…作動即可位移可動機構至所 為使對本發明的目#、構造特徵及 了解，兹配合圖示詳細說明如下： /、力此有進一步的 【實施方式】 統結=考：圖第1：圖:」所示為本發明基板檢測裝置的系 此基板檢測裝置係包括有一基台1; 一# 可動機構2 ; —平台3，传可旋轉地抓於γ /又；土 口上的 仳疼、目I丨& i 4 係了誕轉地汉於可動機構2上，以 仏又測的基板放置；以及一平行操控器， 可動機構2間，並包括有六個獨立升高啟動器1〇、以土將口可動 ，:位:到所ί的方向。此外，更包括有一對相反的阻 尼器9，係位於基台丨及可動機構2之間， :可動機構2綱，可藉由此阻尼器9支撐其二 1225926 五、發明說明（3) - -- 平行操控器的升高啟動器10，其底端及頂端均為球形 關節17、18，則底端藉由球形關節17以可在任意方向旋轉 的方式套設於基台1，而頂端則藉由球形關節18以可在任 意方向旋轉的方式套置於可動機構2，從而提供一個六個 自由度位移的機制，使可動機構2可在不影響基台丨的情 下，上下位移至預定的位置。 / 此可動機構2包括有一連接至升高啟動器丨〇的水平妹 構21，以及位於水平結構21另_端的垂直結構22，而平°台 3的相反端係分別透過一旋轉軸6以可旋轉的方式套置 直結構22的相反端。 可動機構2在垂直結構22的一側設有一旋轉馬達7， 以將平台3旋轉到所欲的角度，亦即，透過旋轉馬達？將“ 轉馬力傳达至旋轉軸6，使平台3相對垂直結2 欲的角度。 疋符主所 可動機構2的水平結構21上，每120。的間隔設有一固 定，23 (即3個固定部23 )，固^部23的兩端均分別與— ::啟動器1 0相連接，而各升高啟動器i 〇的底端則連接至 基口 ，使得各相鄰的升高啟動器10均連接至不同的固定 部23，而其底端則並排排列，從而使各相鄰 10形成一V字型。 丨门级動益 在種升高啟動器1 0的配置可有效提供六個自由度白ί 動，並適當地保持可動機構2的穩固，意即，此等 動器1〇的配置在當可動機構2傾斜至一側時，位在傾ς 的相鄰升高啟動器10即會重疊成一對以提供較穩固的戈 1225926 五、發明說明（4) 力，從而將力量分散。 續地同日ί藉由一外部控制訊號即可將升高啟動器1 0上下 線性位移至一預定值。 工下 括右參閱「第4圖所示」’此升高啟動器1〇係包 至糾的Λ11 ’其底端係以可旋轉任意角度的方式連接 土口的上表面，一套設於鎖固部11上並作上下方向、軍 動的球形螺絲12 ; —螺帽13 t 6運 耜由球形螺絲12的旋轉在球形 上並 部14，係設於鎖固部U上，==上位移；-軌道導弓丨 動；以及一升高部1 5，其一沪焱、击Ρ上r力问的運 則LV -Γ #絲ΛΑ 士 4击 立而係連接至螺帽13，而另一姓 貝J Μ可旋轉的方式連接至可 力 ^ 時，作上下方向的運動。㈣構2，糟以當螺帽13運動 鎖固部11的一側設有一 逯過一速控帶（圖中未示）連= ，此驅動馬達1 6係 以提供旋轉動力至球形螺呼j 球形螺絲12的底端，藉 轉。 系412，從而控制球形螺絲12旋 而本發明基板檢測裝晋^ , 圖 所示。 展置的作動模式則請參閱「第5、6 行 基板在放置到平台3之前，平a 然後利用一外部機械手臂 口 可動機構2相平 置到平台3上，然後利用旋榦 曰未示）將一基板G放 將基板G旋轉到傾斜或垂直位置。驅動平台3旋轉，從而 然後，使用者藉由操控_ 輸出控制訊號至一控制單元< L的控制機構或控制桿以 早7° (圖中未示），藉由此控制單

1225926 五、發明說明（5) _ 訊號計1::: 位作置動並控:^單元並依據收到的控制 驅動馬達16，從而驅動V高啟亚 + :時，透過驅動馬達16驅動 t方向的旋轉至一定量，⑼而帶反 運動过即可^升高啟動器10位移可動機構2。下方向的 傾斜；點：Ϊ Ξ二第5圖所示」’當基板G向裝置的左側 順時針旋轉，並帶動螺帽13及連接至= 運動72，而使裝置右側的升高啟動器10向目上 螺絲12反時針旋轉，並大動螺帽i = 1 下3以部15向下運動，而使裝置左側的升高啟動器二目 在此實施例中，利用升高啟動器丨〇 位於裳置右側的升高啟動器丨。向上至直立G向=即 置左側的升高啟動器10則向下至傾斜位置位二可=裝 構2傾斜至左側。 心1即可將可動機 :請參閱「第6圖」所示’當基板G向裝置的右側 至直立Γ裝置左側的升高啟動器10之升高部15係向上運動 係Θ2置，而位於裝置右側的升高啟動器10之升高部15 係向下運動至傾斜位置。 115 么同理，藉由操控升高啟動器10以傾斜可動機構2及 °至所欲的角度（如前所述），即可將基板G向前或向後

第10頁 1225926 五、發明說明（6) 傾斜。 則包3有六個升高啟動器丨〇的平行控 =器1〇的獨立上下運動而產生六個自由度的運動，： 到所^構2冋時作上下及前後的運動，從而將基板G位移 到所欲的位置。 ^此外，各個升高啟動器1 0所形成的V字型結構，使升 2 =.器10:提供適當的支撐力以支撐可動機構2固定在 全=置，並藉由位於可動機構2兩側的阻尼器9以提供其安 制可：i丄f ?明的基板檢測裝置藉由平行操控器控 運動及控制平台及置於平台上 的也w 不僅以極間早的結構即可將基板固定於所欲 的位置，且可令使用者在一極短 u疋於所奴 板表面上的瑕疵及污點。 、B p可檢测出基 再者，各相鄰升高啟動器頂端及 供穩固的支撐力予可動機構，並可配置不营可提 使得本發明的其舡 > 別壯 t疋地進行位置變換， ▼+赞明的基板檢测裝置的可靠度大 :=發明以前述之較佳實施例揭露如：：非 用以限疋本發明的實施範圍，任羽 a其並非 脫離本發明之精神和申青由白 技藝者，在不 ?，皆為本發明專利：圍%:=圍：：:=等變㈣ 車巳圍需視本說明書所附之申請專利範圍所^定^^呆護 1225926 圖式簡單說明 第1圖，係為本發明基板檢測裝置之結構前視圖； 第，2圖，係為第1圖的基板檢測裝置之側視圖； 第3圖，係為在第1圖的基板檢測裝置内用於固定平 台的可動機構示意圖； 第4圖，係為在第1圖的基板檢測裝置内的升高啟動 器結構示意圖；以及 第5 、6圖，係為第1圖的基板檢測裝置作動示意 圖。 【圖式符號說明】 1 基台 10 升高啟動器 11 鎖固部 12 球形螺絲 13 螺帽 14 執道導引部 15 升高部 16 驅動馬達 17、： L 8 球形關節 2 可動機構 2 1 水平結構 2 2 垂直結構 2 3 固定部 3 平台 6 旋轉軸

第12頁

1225926 圖式簡單說明 7 旋轉馬達 9 阻尼器 G 基板

llillll 第13頁

Claims (1)

1225926 ~------- 六、申請專利範圍 1 、一種基板檢測裝置，係用以將一基板固定至一所欲的 仇置以檢測該基板的瑕疯，其包括有： 一基台； 一平台，係用以置放該基板； 以及—可動機構’係以可旋轉的方式連接至該平台； 升高啟動：係包括有六個升高啟動器，各該 底端係以可旋轉的方式連 專升问啟動Is之 的頂端則以可旋轉的方★ Μ 土口 ，而该等升高啟動器 高啟動器的作動即可2 ί接至該可動機構，藉由該等升 2、如申請專“：：=可動機構至所欲的方向。 該升高啟動器係包括有·、所述之基板檢測裝置，其中各 ο , 運動； 鎖固部，係底端以 疋锝的方式連接至該基 一球形螺絲 係6又於该鎖固部上並作上下方向的 反時針方向的旋轉；係、用以驅動4球形螺絲作順時針或 絲上位移；螺帽’係藉由該球形螺絲的旋轉而在該球形螺 帽作上下方向的運2 又於邊鎖固部上，t導弓丨該螺 升向部’係一端係連接至該螺帽，而另— 端則

第14頁 1225926

六'、申請專利範圍 以4极轉的方式連接至該可動機構，藉以當該螺帽運動 時，作上下方向的運動。 3、 如申請專利範圍第1項所述之基板檢測裝置，其中該 可動機構包括有3個固定部，各該固定部係間隔1 20。，立 各該固疋部均分別連接有2個該升局啟動器。 4、 如申請專利範圍第3項所述之基板檢測裝X，其中該 等升高啟動器的底端係連接I/基台，且各該相鄰之升高 啟動器均連接至不同的該固定部，而該等升高啟動器的底 端則並排排列。 5、如申請專利範圍第丄項所述之基板檢測裝置，其中更 包括有一阻尼器，該阻尼器之一端係以可在任意方向旋轉 的方式連接至該基台，而另一端則以可在任意方向旋轉的 方式連接至該可動機構，則當該可動機構受該升高啟動器 作動而運動時，藉由該阻尼器以緩衝該可動機構之運動。

第15頁