TWI225677B - Holding member for supporting/moving substrate and the method to support/move substrate using the holding member - Google Patents

Description

I225677 五、發明說明（l) 疆 " 發明所屬之技術領域 本發明有關於一種基板支撐搬移用把持件及利用該把 持件之基板之稱搬移方法，以供支撐及搬運供製造液晶 不裝置玻璃基板等的基板，更詳細地說，有關於一種基板 支撐搬移用把持件及利用該把持件之基板支撐搬移方法， 可容許在大型或厚度薄之玻璃基板上產生形變並支撐及搬 運該基板。而且，在本說明書中，雖然用玻璃基板作為基 反之例子以進行以下的說明，但本發明並不限定於玻璃基 板，本發明可適用於所有產生形變的基板。 土

先前技術

第11〜14圖表不習知的玻璃基板支撐及搬運用把持件 (以下稱為把持件）之平面圖、側視圖以及用把持件將玻 璃基板從箱子中取出基板之狀態的剖面圖。在圖中，把持 件31之把持件本體31a及311；)的上面設有複數個接受部 31d，接受部31d用柔軟材質例如橡皮等製作而成供載置玻 璃基板33。又，把持件31經由構件31(：安裝於供搬運玻璃 基板33的機器人32的機器手臂32a上。玻璃基板33，如第 14圖所示，收納於箱子44中，在箱子以内，玻璃基板”由 支持構件34所支撐。第！支持座34b及第2支持座34c連接至 玻璃基板3 3。 在習知的把持件中，習知所用的一般的大型或厚度薄 的，璃基板33收納於箱子34中時，玻璃基板33由於自身的 重虽而產生心的形變（但是，在第14圖中的形變，為了更

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=易秉解比貝際之形變更誇張地圖示出），由於該形變 匕較小的緣故，把持件31將插入在箱子之玻璃基板33取 好或者疋做裝載玻璃基板33的動作也好，在玻璃基 板3 3 2上下之玻璃基板3 3間之間隙c充分地被確保，在運 用上還不到引起障礙的程度，沒有發生問題。 =，在習知中，收納於基板收納裝置之基板的小形變 會降低收納效率。可防止基板破損的基板收 、、，内裝置及基板收納方法亦有種種提案（參照特開平 1 0 - 870 1 4號公報、特開平丨丨―26〇9〇2號公報、特開 200 1 - 1 27 1 46號公報以及實用新型登錄第3〇35569號公報） 方面，近年來液晶顯示裝置指向大型化或薄型化， ^匕，玻璃基板的尺寸（母玻璃板尺寸）亦大型化，板的 厚度顯著地傾向於薄型。玻璃板之厚度變大，❹ 一般單純以四邊支撐的狀況，形變5 δ =kj x pa4/Eh3 ( ι ) 2 i = 短邊長a的四次方成正比，且與板厚匕的 :二套”Li二此，5 ·形變量，ki:玻璃基板的長邊 短邊之比而決疋的定值，p :等分布的負重，a : 的短邊長，E :楊氏係數，h :板的厚度。、 因此，假設短邊長a為丨· 5倍時形變量 為7 0 %時，形變量5約增加至3倍。 、、α 玻璃基板或厚度薄的玻璃 ’形變量\變大之同時， 由此’上下兩片之間互 上述習知之把持件作為大型 基板搬運使用時，如第1 4圖所示 上下之玻璃基板3 3的間隙c變小

1225677 五、發明說明（3) 相接觸，甚至有干涉而產生破損的問題。 又，成為大型玻璃基板時，把持件的尺寸變大，玻璃 重量、把持件自身的重量變大，把持件全體極易震動，因 此有由基板搬運時的震動所造成基板破損的顧慮。 發明内容 本發明之目的為解決上述之問題者 薄t玻璃基板的形變’"插入或取出玻璃= ί = ; =璃動而破損。而…對應於= 的玻璃母板之尺寸的支持構件的配置而提供一 搬移：ί η:用該把持件之基板支撐搬移方法。牙 支持及搬運，相對於該 持構件有高低差而配設。該支持 傅什隹文符仵長度方向配設有複數組。 至少:::c直交而配設，最好具有 上述支持構件，相：:牛部分。 個別之上述第一加姓μ 、、述基板之形變的中心在兩側 有上述高低】而及上述第二把持件部分上，具 向前端愈薄。 持件之構件的個:刀最好疋愈向前端，構成該第一把 上述第一別寬度愈窄。 " 巴持件部分最好以比重比鐵輕的金屬一體成 2〇66.5759-PF(Nl)；Chentf.ptd 第6頁 1225677 五、發明說明（4) 形。 上述第一把持件部分最好以鐵 的板材彎曲而焊接製作成中空構造了金屬或其合金所構成 本發明之基板保持搬運方法$ 運用把持件的基板保持搬運方法r j用上述之基板保持搬 保管於基板收納纟器内的基板之形；：：列特徵：產生與 的狀態下，用上述基板保持搬 一程度的形變 基板收納於上述基板收納容器内用把持件支樓基板，將該 實施方式 利用ΐπγ詳細說明本發明基板支樓搬㈣把持件及 利用忒把持件之基板支撐搬移方法。 行什及 第一實施型態 你仅f ^〜4圖分別為表示本發明之第一實施型態之玻璃基 板保持搬運用把；}:卑/丰夕y 田4 & ^用杷符件之千面圖、側視圖、正面剖視圖以及 巴、牛將玻璃基板從箱子中取出的狀態剖視圖。在圖 中，把持件1之把持件本體la&lb中，分別以供載置玻璃 基板3、13的柔軟材質如橡皮等製作而成，複數組第一受 具Id及第二受具le配設於把持件之長度方向。在個別的組 中丄第二受具1 e比第一受具丨d長。又，把持件1經由構件 lc安裝在供搬運玻璃基板3、13的機器人2之機器手臂“ 而且’在圖中’^為把持件la的安裝部之厚度，丁2表 示相同前端部之厚度，Wl為把持件13在安裝部的寬度:％

2066-5759-PF(Nl)；Chentf.ptd 第7頁 五、發明說明（5) 表示相同前端部之寬度。 玻璃基板3、13收納於箱子4内，在箱子4内，玻璃基 板3、13係由支持構件4a所支撐，第一 持做4c接觸於玻璃基板3、13。主拄m符展4&及弟一支 —认从々μ ^ " 叉持構件4a由固定板4d固 、 中，Rl為用把持件1支持玻璃基板3時 4 =曲率半徑，R2表示破璃基板13收納於箱子 4内時玻璃基板13形變的曲率半徑。 在如此構造的把持件中，與收納於箱子4中的 板1 3的曲率半徑r 一致而對把持丰 土 夺定，卜ΤΓ谈二" 持件上之曲率半徑&預先做 =疋上下玻璃基板3與玻璃基板13的中間之 隙C!係與玻璃基板3之端部的間隙C 、、曰 以W —W 、T T人1 07间丨承h保持大約相等之同時， 形4 (2垂内方2心向前端尺寸愈小，藉此抑制對X方向 二響及由把持件1自身重量所造成之 當。又，ΛΛ 而造成的干涉而破損等不適 > π· _ /子卽距亦抑制到最小限度，因此箱子的古声 也可壓低。可抑制箱子的尺寸及重量，取代片m:度 玍座万式而用習知的生產方式亦可。 、寻幻 第一貫施型態 分別為表另：實施型態做說明。第5〜10圖 把持件之平面圖、側視搬運用 璃基板從箱子中取+ Μ α 4面0j視圖以及用把持件將玻 圖、把持件Γ:入取於出箱的子:；= 于4之狀態的平面圖。在圖中，正交 1225677 五、發明說明（6) 於第一把持件部分la、lb，献 < 女、 Η。供玻璃基板3、13的支持配二有之複㈡ 具le在把持件之長度方向配設 第及第二受 表示第一受具與第二受具中間的尺寸、f表不於第7圖之L 第一受具Id以及第二受且 變的中心在兩侧各別之第一把持基板3之形 分If上’具有高低差而配置。具體而言一把持件部 部分If前端的第二受具16比設 =第二把持件 具1d高。此構造之把持件令，第二把二-受 此無相互干涉之顧慮，可決定二個中間’因 文具le的中間尺寸L，可得對於近年檢討改進及第-璃基板最適當之支持位置。 1玻 那麼，第一把持件部分la為了使機器手 小，盡可能重量輕為佳。例如，由鋁合金沾，= 的金屬一體成形地車削出較佳。甚至 、t重輕

的其他例子，如第9圖所示之第一甚把至持件第J ^ ❿付仔邵分1 a，用銲料b 焊接於以不銹鋼的板材折曲成3形斷面的構件丨a ，夷 口部的構件1¾所構成，藉此可廉價地大量製作把持^ 在本發明中，收納於箱子的大型或厚度薄的玻璃基板 在插入或取出的狀況下，會使玻璃基板與其他的玻璃基板 接觸，或者是使其破損。又，針對習知所使用的一般的大 型或者是厚的玻璃基板而言，亦不會減損其效果。 甚至’又針對超大型玻璃基板設置第二把持件部分，

1225677 五、發明說明（7) 而搬運時不會產生割破等不適當的情況。 又，收納箱子之玻璃基板的分隔間距可抑制到最小限 度，而箱子的大小（特別是高度）可到最小。

2066-5759-PF(Nl);Chentf.ptd 第10頁 1225677 圖式簡單說明 第1圖為本發明第一實施型態之 第2圖為本發明第-實施型態之把m千面圖。 第3圖為本發明第—# 寺件的側視圖^ 圖。 …態之把持件的正面剖視 第4圖利用本發明第—實施型態之把 出玻璃基板之狀態之正視圖。 号件從相子中取 第5圖為本發明第二實^ ^ ^ ^ ^ ^ 第6圖為本發明第：：把持件的平面圖。 个知1乐一貫施型態之把持 第7圖為本發明第二實施型 β 。 圖。 土—件的正面剖視 第8圖利用本發明第二實施型態之把持件從 出玻璃基板之狀態之正視圖。 第9圖表示本發明之把持件本體製造方 圖Ζ-Ζ剖面圖。 < 例之弟b 出被Γ用本發明第二實施型態之把持件從箱子中取 出玻璃基板之狀態之平面圖。 第11圖為習知之把持件的平面圖。 第1 2 _為習知之把持件的側視圖。 第1 3圖為習知之把持件的正面剖視圖。 第1 4圖利用習知之把持件從箱子中取出玻 態之正視圖。 & ^ ^ 符號說明 把持件；

2066-5759-PF(Nl)；Chentf.ptd a、1 b〜把持件本體 第11頁 1225677 圖式簡單說明 1 d ^ 1第一受具； le〜第二受具； If - -第二把持件部分； 3 ^ ] ί 3〜玻璃基板 箱子； 4 a〜 /支持構件， 4b〜第一支持座； 4c〜第二支持座； 4 d〜固定板； 4 e〜 /外箱； 31 - <把持件； 31a 、3 1 b〜把持件 31c 〜構件； 31d 〜接受部； 3 2〜機器人； 32a 〜機器手臂； 33， -玻璃基板； 34b 〜第1支持座； 34c 〜第2支持座； 44〜箱子； B〜 銲料； C〜 間隙； Ci〜 中央部的間隙； C2〜 端部的間隙； 比、 R2〜曲率半徑； τ2〜 前端部之厚度 W2〜 '相同前端部之寬度； (5〜 形變； 凡〜 '把持件1 a的安裝部之厚度 9 π〜 '把持件1 a在安裝部的寬度 Ο

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Claims (1)

1Z.Z.JU / / 1Z.Z.JU / / 六 、' -------------- 狀態1下：Liiii搬移用把持件，可於基板產生形變的 別至小運，相對於該基板形變的中心在兩側分 之長；處的支持構件具有高度差而配置，在該把持件 2 度方向配設有複數組該支持構件。 件，：二專利範圍第1項所述之基板支撐搬移用把持 於至ίΐ!;!—把持件部分大體成直交而配設，具有 支ϊ構件之第二把持件部分。 件，其中上i去圍第2項所述之基板支撐搬移用把持 兩側個別之上述第一：持m上述基板之形變的中心在 上，具有上述高低差：::：部分及上述第二把持件部分 4 ·如申請專利範圍第1 用把持件，其中上述mf項所述之基板支撑搬移 5.如申請專利範圍第m部分愈向前端愈薄。 用把持件，其中上述in3項所述之基板支樓搬移 一把持件之構件的個別寬#部分愈向前端，構成該第 6 ·如申請專利範圍 1 用把持件，其中上述:Z或3項所述之基板支撐搬移 一體成形而製作。L 一把持件部分以比重比鐵輕的金屬 7·如申請專利範圍 用把持件，其中上述第:Z或3項所述之基板支撐搬移 所構成的板S弯曲二焊二ϊ ί件部分以鐵系金屬或其合金 8.-種基板支樓搬=成中空構造。 1、2或3項所述之基板支/使用如申請專利範圍第 反支撐搬移用把持件，

2066-5759-PF(Nl)；Chentf.ptd 第13頁 1225677 六、申請專利範圍 其特徵在於： 產生與保管於基板收納容器内的基板之形變大約同一 程度的形變的狀態下，用上述基板保持搬運用把持件支撐 基板；以及 將該基板收納於上述基板收納容器内。

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