TWD178693S - 修整器碟片之部分 - Google Patents

修整器碟片之部分

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TWD178693S
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TW
Taiwan
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design
dresser disc
advocated
item
dresser
Prior art date
Application number
TW104303085F
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English (en)
Inventor
Mitsuru Miyazaki
Kuniaki Yamaguchi
Naoki Toyomura
Takuya Inoue
Original Assignee
荏原製作所股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是修整器碟片,為半導體製造用CMP裝置的修整器碟片。;【設計說明】;本物品是用來與墊片接觸而進行修整的修整器碟片,是將定位銷插入於底面側的孔部,且以磁鐵等的吸附力固定於保持支架來使用。俯視圖的平坦面部分的全部或局部,作為固定有鑽石磨粒的修整面。;左側視圖與右視圖對稱,左側視圖省略。;圖式所揭露之實線部分,為本案主張設計之部分,虛線部分為本案不主張設計之部分。
TW104303085F 2014-12-12 2015-06-09 修整器碟片之部分 TWD178693S (zh)

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