TWD171077S - 氣體供給噴嘴固定元件 - Google Patents
氣體供給噴嘴固定元件Info
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 2
Abstract
【物品用途】;本設計的物品是氣體供給噴嘴固定元件,是供固定:用以處理基板之基板處理裝置所使用的氣體供給噴嘴。;【設計說明】;如俯視圖及仰視圖所示,本物品具有與氣體供給噴嘴的管徑近乎相同曲面之曲面部,該曲面部將氣體供給噴嘴的既定部分圍繞起來。如前視圖所示,本物品的左右兩側設有突起,將該突起嵌合到氣體供給噴嘴,即可將氣體供給噴嘴予以固定。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW104300879F TWD171077S (zh) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 氣體供給噴嘴固定元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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TW104300879F TWD171077S (zh) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 氣體供給噴嘴固定元件 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWD171077S true TWD171077S (zh) | 2015-10-11 |
Family
ID=89712238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW104300879F TWD171077S (zh) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 氣體供給噴嘴固定元件 |
Country Status (1)
Country | Link |
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TW (1) | TWD171077S (zh) |
-
2015
- 2015-02-16 TW TW104300879F patent/TWD171077S/zh unknown
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