TWD171077S - 氣體供給噴嘴固定元件 - Google Patents

氣體供給噴嘴固定元件

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TWD171077S
TWD171077S TW104300879F TW104300879F TWD171077S TW D171077 S TWD171077 S TW D171077S TW 104300879 F TW104300879 F TW 104300879F TW 104300879 F TW104300879 F TW 104300879F TW D171077 S TWD171077 S TW D171077S
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TW
Taiwan
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gas supply
supply nozzle
fixing element
article
nozzle fixing
Prior art date
Application number
TW104300879F
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English (en)
Inventor
Masahiro Miyake
Yoshikazu Takashima
Shinya Morita
Kosuke Takagi
Masato Terasaki
Naonori Akae
Original Assignee
日立國際電氣股份有限公司
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【物品用途】;本設計的物品是氣體供給噴嘴固定元件,是供固定:用以處理基板之基板處理裝置所使用的氣體供給噴嘴。;【設計說明】;如俯視圖及仰視圖所示,本物品具有與氣體供給噴嘴的管徑近乎相同曲面之曲面部,該曲面部將氣體供給噴嘴的既定部分圍繞起來。如前視圖所示,本物品的左右兩側設有突起,將該突起嵌合到氣體供給噴嘴,即可將氣體供給噴嘴予以固定。
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