TW593087B - Turnover carrier platform - Google Patents

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TW593087B TW92114692A TW92114692A TW593087B TW 593087 B TW593087 B TW 593087B TW 92114692 A TW92114692 A TW 92114692A TW 92114692 A TW92114692 A TW 92114692A TW 593087 B TW593087 B TW 593087B
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Huei-Chuan Lee
Yi-Chi Chang
Wen-Chang Hsieh
Chih-Chun Chen
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description

593087 五、發明說明(l) 【發明所屬之技術領域 本發明係有關於一種承載翻轉平a, 種適用於液晶面板製程中承載玻璃基二用】別係有關於一 台,可以承載不同規格之玻璃基板,避勺承載翻轉平 造成刮傷、減少玻璃基板報廢的承载翻轉平2璃基板表面 【先前技術】 在液晶面板製作過程中,液晶面板之 時,如第la圖所示,當玻璃基板需 =离基板在移動 10移動至如圖右方的輸送帶1〇,時,就需二方的輸送帶 平台14。又如第lb圖所示,#玻璃A而用到承载翻轉 的工作平台12移動至如圖右;二需2要由±如圖左方 用承載翻轉平台14。同樣地,如第1CJd圖,:玻 1:要由如圖左方的輸送帶10移動至如圖右方的:作 %,或當玻璃基板16要由如圖左方的工作 圖右方的輸送帶10時就需要承載翻轉平台14;搬:動至如 请=考第2圖,說明習知之承載翻轉平台。 如第2圖所示,一承載翻轉平台2〇包含一轉軸Μ,一 二台23二二旋轉方式與轉轴21連接,用以支擇玻璃基板 29,在平。23的表面有複數個孔洞233,平台内設置有氣 體通這25與平台23表面之孔洞233相^,氣體通道25盥一 閥門開關2 7連接。 s要承載搬運玻璃基板29時,玻璃基板29放置於平台 23上,開啟閥門開關27並抽真空使得玻璃基板29吸附於平 第6頁 0632-8605TWF(n);AU91137;cat.ptd ^93087 五、發明說明(2) 台2 3上’關閉閥門 承載翻轉平台2 Q可 2 9被搬運至既定位 内氣壓回到一大氣 由第2圖可知' 積,在搬運的過程 產生之毛邊,而玻 平台20上留下玻璃 一個需要搬運的玻 傷、玻璃基板29上 報廢。 開關2 7使氣體通道2 5内保持真空,於是 v著玻璃基板29 —起移動,當玻璃基板 置之後,開啟閥門開關2 7使空氣通道2 5 壓’則玻璃基板2 9與平台2 3脫離。 平台23的面積大於玻璃基板29的面 中’由於玻璃基板2 9的邊緣有切割時所 璃基板29的邊緣與平台2〇接觸後,會在 碎屑(ch i p ),此玻璃碎屑將會污染到下 璃基板29,造成玻璃基板29的表面刮 線路的刮傷,有時會導致玻璃基板2 9的 右要解決上述問題,則必須對應不同規格尺寸之玻璃 基板,更換適當之不同大小的平台,但如此一來將造成人 力、工時的浪費。 當承載翻轉平台20在搬運玻璃基板29之前,有數個準 備動作。首先,必須在整個平台23上貼上一層膠帶,其一 $目的為提供一保護作用,減少玻璃基板29舆平台23接觸 % 平台Μ對玻璃基板2 9造成損傷。其另一個目的,則是 封住不需要抽氣之孔洞。 如第2圖所示,平台23的面積大於玻璃基板29的面 積。當一製程中,使用之玻璃基板2 9為一小規格尺寸時, 在平台上對應玻璃基板29的規格尺寸大小,將此範圍内貼 復上一層膠帶之孔洞2 3 3予以開孔,如此才能在平台2 3搬 運玻璃基板29時,由閥門開關27控制抽氣經由此等開孔之
593087 五、發明說明(3) 孔洞233使得玻璃基板29吸附於平台23上。而當下一製 程’使用之玻璃基板2 9 /的規格尺寸為大於前述製程中玻 璃基板2 9之規格尺寸時,同樣地,在平台上對應玻璃基板 2 9 的規格尺寸大小,將此範圍内貼覆上一層膠帶之孔洞 23 3予以開孔,如此才能在平台23搬運玻璃基板29 -時, 由閥門開關2 7控制抽氣經由此等開孔之孔洞2 3 3使得玻璃 基板29 >吸附於平台23上。 完成上述製程 基板的規格尺寸是 寸時,此時則需要 一層新的膠帶,再 小,將此範圍内貼 直重複此繁複之工 用’且耗費人力、 如上述之貼覆 2 3 3作開孔的動作、 是不對應著玻璃基 圍大於玻璃基板面 將打開抽氣,且平 開放的開孔將為因 異大,將會造成玻 個製程所需搬運的玻璃 之後,若是下 小於前述製程中玻璃基板29 >之規格尺 將平台2 3上的膠帶全部移除,重新貼覆 在平台上對應玻璃基板2 9的規格尺寸大 覆上一層膠帶之孔洞233予以開孔,一 作。如此一來,不僅造成膠帶的大量使 工時於移除、貼覆膠帶。 膠v 對應玻璃基板規格尺寸對孔 板移除膠帶等等工作是必須的,因為若 =規:尺寸開孔,則當開孔之孔洞範 積日寸,在搬運過程中’由於 台23的動作χ σ巫访女a项門開關27 為拙气Ϊ f 會翻轉,此時, 璃基板搬運的困難。鲍圍之耽流變 【發明内容】 本發明之承載翻轉平台其 目的在於可避免玻
因此
螭碎屑掉落在平台上,小 刮傷、避免玻璃基, 2 离¥屑在玻璃基板表面造成 率。 又知、降低玻璃基板的報廢 本發明之承載 有不同規格尺寸的 平台’降低人力、 台,可以節省成本 本發明之承载 的使用量,降低成 根據本發明之 板之玻璃基板,包 轴連接,包含至少 璃基板,連結部連 數個孔洞,在平台 結部延伸至支撐部 撐部接觸的面積小 上述的承載翻 氣體通道,用以控 上述的連接部 上述的承載翻 部上。 翻轉平台其另一目的 破璃基板,不用花費 工時的浪費,亦盔 ttq 翻轉平台其又 〇 在於可以適用於所 時間於更換不同之 製作不同大小的平 一種承載翻轉平台, 含一轉軸;一平台, 一支撐部以及一連結 結轉軸與支撐部,在 内設置至少一氣體通 並且與上述孔洞相連 於玻璃基板的面積。 轉平台,更包含至少 制氣體通道的開、閉。 與支撐部呈L形排列。 轉平台上更包含一層膠帶’黏貼於支撐 用於支撐一液晶面 以可旋轉方式與轉 部’支撐部支撐玻 支樓部表面設有複 道’氣體通道由連 通’坡螭基板與支 一閥門開關,連接 目的在於可以減少膠帶 為使本發明之上述及其他目的、特徵和優 易懂,下文特舉數個具體之較佳實施例,並配 做詳細說明。
〇632-8605HVF(n);AU91137;cat.ptd
593087 五、發明說明(5) 【實施方式】 以下以具體之實施例,對本發明揭示之各形態内容加 以詳細說明。 第一實施例 請參見第3圖’詳細說明依據本發明之第一個實施例 之承載翻轉平台。 '
如第3圖所示,本發明之承載翻轉平台3 〇,用於支撐 一液晶面板之玻璃基板39包含一轉轴31,一平台μ,平A 33包含一支撐部331,一連結部333。 口 平台33以可旋轉方式與轉軸31連接,支撐部331支樓 液晶面板39,連結部3 3 3連結轉軸31舆支撐部331,在支^ 部3 3 1表面有複數個孔洞3 3 5,在平台;^肉%要—〆减 芽 ,虱體通迢35由連結部333延伸至支撐部331並且與 335相連通。氣體通道35連接到外部的閥門開關π /閥門π 開關3 7控制著氣體通道的開、閉。 ] 當要承載搬運玻璃基板39時,玻璁A , 00 , _ 敬哨基板39放置於平a 33上,開啟閥門開關37並抽真空使得破 、十。 台33上,關閉閥門開關37使氣體通道35 ς 吸附於平 承載翻轉平台30可帶著玻璃基板39 一起_私、二空,於是 39被搬運至既定位置之後,開啟閥門^ ,當玻璃基板 内氣壓回到一大氣壓,則玻璃基板39與^ a使空氣通道35 由第3圖可知,玻璃基板39與支撐部]^ 3 3脫離。 於玻璃基板39的面積,因此在搬運的° 1接觸的面積小 遇程中’玻璃基板39
0632-8605TWF(n);AU91137;cat.ptd 第10頁 593087 五、發明說明(6) 的邊緣與平台3 3接觸的面積 台33上留下玻璃碎屑(chip) 運的玻璃基板39,可減少玻 板3 9上線路的刮傷,避免玻 在承載翻轉平台3 3搬運 整個平台33上貼上一層膠帶 用。由於在平台33上貼有一 孔洞3 3 5開孔是必須的。 由上可知,本發明之承 與支撐部的接觸面積小於玻 面積大於玻璃基板與支撐部 是懸空的,因此在平台3 3上 (chip),不會污染到下一個 少玻璃基板2 9的表面刮傷、 免玻璃基板2 9的報廢。 被減到最低,因此就不會在平 ,則不會污染到下—個需 ?基板39的表面刮傷、破螭基 璃基板3 9的報廢。 土 玻璃基板39之前,仍可以先 ,對玻璃基板39提供一保護 層膠帶,0此,將平台33上的 載翻轉平台優點在於玻璃基板 璃基板的面積,即玻璃基板的 的接觸面積,玻璃基板的邊緣 就不會有掉落的玻璃碎屑 需要搬運的玻璃基板39,可減 玻璃基板2 9上線路的刮傷,避 第二實施例 請參見第4 a圖,詳細說明依據本發明之第二個實施例 之承載翻轉平台。 ' 如第4a圖所示,本發明之承載翻轉平台4 〇,用於支樓 一液晶面板之玻璃基板49包含一轉軸41,一平台43,平台 43包含四支撐部431a、431b、431c、432,一連結部433。 平台43以可旋轉方式與轉轴41連接,支樓部43la、 4 3 1 b、4 3 1 c、4 3 2支撐液晶面板4 9,連結部4 3 3連結轉軸4 1
0632-8605TWF(n) ;AU91137;cat .ptd 第 11 頁 593087 五、發明說明(7) 與支撐部431a、431b、431c、432,在支撐部431a、 431b、431c表面有複數個孔洞435,在平台43内設置三氣 體通道4 5a、45b、45c,氣體通道4 5a、45b、45c由連結部 433延伸至支撐部431並且與孔洞435相連通。氣體通道45 a、4 5 b、4 5 c另一端連接到外部的閥門開關4 7 a、4 7 b、 4 7 c ’閥門開關4 7 a、4 7 b、4 7 c控制著氣體通道的開、閉。 由第4a圖上可以看出,支撐部431a内設置氣體通道45 a, 支撐部431b内設置氣體通道45 b,支撐部431c内設置氣體 通道45 c,支撐部432為輔助支撐玻璃基板用。 當要承載搬運玻璃基板4 9時,玻璃基板4 9放置於平台 43上,開啟閥門開關47a、47b並抽真空使得玻璃基板49吸 附於平台4 3上’關閉閥門開關4 7 a、4 7 b使氣體通道4 5 a、 4 5b内保持真空,於是承載翻轉平台4〇可帶著玻璃基板49 一起移動,當玻璃基板4 9被搬運至既定位置之後,開啟閥 門開關4 7 a、4 7 b使空氣通道4 5 a、4 5 b内氣壓回到一大氣 壓,則玻璃基板49與平台43脫離。 由第48圖可知,玻璃基板49與支撐部4313、43113接觸 的總面積小於玻璃基板4 9的面積,因此在搬運的過程中, 玻璃基板49的邊緣與平台43接觸的面積被減到最低,因此 就不會在平台43上留下玻璃碎屑(chip),則不會污染到下 :個需,搬運的玻璃基板49,可減少玻璃基板49的表面刮 傷、玻璃基板4 9上線路的刮傷,避免玻璃基板4 9的報廢。 在承載翻轉平台43搬運玻璃基板49之前,仍可以先在 整個平台43上貼上一層膠帶,對玻璃基板49提供一保護作
593087 五、發明說明(8) 用。由於在平台43上貼有一層膠帶,因此 撐部431a、431匕上的孔洞435開孔是必須的。 之支 第三實施例 之弟二個實施 40,用於支樓 一平台43,平 ,一連結部 再请芩見第4b圖,詳細說明依據本發 例之承載翻轉平台。 如第4 b圖所示,本發明之承載翻轉平台 一液晶面板之玻璃基板49 >包含一轉軸41 ^ 台43包含四支撐部431a、431b、43 1c、432 433 。 平台43以可旋轉方式與轉軸41連接,支 &、 :;lb :4jlc、432支撐液晶面板49 '連結部433連結 4U4 支撐部431a、431b、431c、43 2,在支撐部431a、 431b、431c表面有複數個孔洞435,在平台“内設置三# 體通道45a、45b、45c,氣體通道45a、45b、45c由連 433延伸至支撐部431並且與孔洞435相連通。氣體通道μ a、4 5 b、4 5 c另一端連接到外部的閥門開關4 了 ^、4 7 b、 4 7c,閥門開關47a、4 7b、47c控制著氣體通道的開、閉。 由第4a圖上可以看出,支撐部431a内設置氣體通道45 a, 支樓部43 lb内設置氣體通道45 b,支撐部431c内設置氣體 通道45 c’支撐部432為輔助支撐玻璃基板用。 ~ 當要承載搬運玻璃基板49 /時,玻璃基板49,放置於 平台43上,開啟閥門開關47a、47b、47c並抽氣使得破瑪 基板49 >吸附於平台43上,關閉閥門開關47a、47b、47c
0632-8605TWF(n);AU91137;cat.ptd 第13頁 593087 五、發明說明(9) 使氣體通道45a、45b、45c内保持真空,於是承載翻轉 台40可帶著玻璃基板一起移動,當玻璃基板49 一被搬 運至既定位置之後,開啟閥門開關47a、47b、47c使允氣 通道45a、45b、45c内氣壓回到一大氣壓,則玻璃基;” 49 與平台43脫離。 由第4b圖可知,玻璃基板49 >與支撐部431a、431b、 431c接觸的總面積小於玻璃基板49 -的面積,因此在搬運 的過程中,玻璃基板49 /的邊緣與平台43接觸被減到最 低,因此就不會在平台43上留下玻璃碎屑(chip),則不會 巧染到下一個需要搬運的玻璃基板49 >,可減少玻璃基板 49的表面刮傷、玻璃基板49 —上線路的刮傷,避免玻璃 基板4 9 的報廢。 在承載翻轉平台43搬運玻璃基板49 /之前,仍可以先 在整個平台43上貼上一層膠帶,對玻璃基板49 /提供一保 護作用。由於在平台43上貼有一層膠帶,因此,將平台43 之支撐部431a、431b、431c上的所有孔洞435開孔是必須 的。 上述之支撐部431a 隙的 4 3 1 b、4 3 1 c、4 3 2之間是設有間 型 上述之支撐部431a、431b、431c、432中至少
個為L 45b、45c彼此不相通。 上述之氣體通道45a 上述之支撐部431a、 431b、431c上的孔洞435並不需 要均勻的分佈在平台43的表面上,可依需要而增減孔洞”
0632-8605TWF(n);AU91137;cat.Ptd 第14頁 593087 五、發明說明(ίο) 4 3 5的數量。 經由上述可知,本發明之承載翻轉平台優點在於玻璃 基板與支撐部的接觸總面積小於玻璃基板的面積,即玻璃 基板的面積大於玻璃基板與支撐部的接觸總面積,玻璃基 板的邊緣是懸空的,因此在平台43上就不會有掉落的^ 碎屑(ChlP),不會污染到下一個需要搬運的玻璃基板49、 49 可減)玻璃基板4 9、4 9 —的表面刮傷、玻璃基板 49、49上線路的刮傷,避免玻璃基板49、49 /的報廢。 本發明之承載翻轉平台另一優點在於可以適用於所有 不同規格尺寸的玻璃基板…花費時間於更換不同= 台’降低人力、工時的浪費’亦無需製作不同大小的平 ΐ板。如第二實施例與第三實施例中,:璃 了大小不同,但均可以使用本發明之承載翻 使用ϊ發翻…減少膠帶的 么43上貼萝μ =如弟一貝、鈀例舆弟三實施例中,在平 上貼復一層膠帶後, 你丁 所有孔洞4 3 5開孔,少% : " 、4 3 1 b、4 3 1 c上的 時,只需各別_制n Pfpf運規格尺寸不同之破璃基板 而合⑴ί工制閥門開關47a、47b 否,不需要重新移除、貼 47c的開、關與 時。 復膠v,即省了許多人力、工 雖然本發明已以數個 用以限定本發明,任何熟=貝=揭露如上,然其並非 之精神和範圍内,仍 J、技I者,在不脫離本發明 二許的更動與潤飾,因此本發明 0632-8605TWF(n);AU9ll37;cat ptd 第15頁 593087
0632-8605TWF(n);AU91137;cat.ptd 第16頁 593087
印丄a 闺係顯示係 第lh闰於卞口之使用場合。 :、員示係顯示承載翻轉平台之使用場合。 第id Ϊ 顯示承載翻轉平台之使用場合。 第2 S Λ顯不係顯示承載翻轉平台之使用場合。 =口糸顯示係顯示習知之承載翻轉平台。
第圖係顯示本發明第二載^轉平台 第4 h m β _ 例之承载翻轉平A 圖係顯示本發明第三實施例之承載翻轉 符號說明 1Q、10 —〜輸送帶; 12、12 >〜工作平台; 1 4〜承载翻轉平台; 16〜破璃基板; 、3〇、40〜承載翻轉平台; 21 3 1、41〜轉軸; 23 、 33 、 43〜平台; 29、39、49、49 /〜玻璃基板; 331、431a、431b、431c、432 〜支撐部; 3 3 3、4 3 3〜連結部; 3 3 5、4 3 5〜孔洞; 35、45a、45b、45c〜氣體通道; 37、47a、4 7b、47c〜閥門開關。
0632-8605TWF(n);AU91l37;cat.ptd 第17頁

Claims (1)

  1. 593087 六、申請專利範圍 1 · 一種承载翻轉平台板,包含: 口 用於支撐一液晶面板之玻璃基 一轉軸; 可旋轉方式與該轉軸連接,包含至少一支 及一連結部,該支撐部支撐該破螭基板,該連結部 支撐部,在該支擭部表面設有複數個孔 設置至少一氣體通迢,該氣體通道由該連 撐部並且與該等扎洞相連通,該支撐部與 的面積小於該液晶面板的面積。 一平台,以 撐部以 連結該 洞,在 結部延 該玻璃 2. 包含至 通道的3. 該連結4. 更包含5. 上述的 6· 白勺 道,該7. 中該玻 面積。 轉軸與該 該平台内 伸至該支 基板接觸 如申請專 少一閥門 開、閉。 如申請專 部與該支 如申請專 一層膠帶 如申請專 支撐部為 如申請專 氣體通道 等氣體通 如申請專 璃基板與 利範圍第1項所述之承载翻轉平台,其更 開關,連接該氣艨通道,用以控制該氣體 利乾圍第1項所述之承載翻轉平台,其中 撐部呈L型排列。 利範圍第1項所述之承载翻轉平台,其中 ,黏貼於該平台上。 利範圍第1項所述之承載翻轉平台,其中 複數個,且該等支撐部之間設有間隙。 利範圍第5項所述之承載翻轉平台,其中 為複數個,且每,支撐部内設有一氣體通 道彼此不相通。 利範圍第5或6項所述之承载翻轉平台,其 °亥等支撐部的接觸總面積小於玻璃基板的
    593087
    0632-8605TWF(n);AU91137;cat.ptd 第19頁
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI404574B (zh) * 2004-08-31 2013-08-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板載置平台及基板的吸附‧剝離方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI404574B (zh) * 2004-08-31 2013-08-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板載置平台及基板的吸附‧剝離方法

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