TW572808B - Recyclable retaining ring assembly for a chemical mechanical polishing apparatus - Google Patents

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572808 A7 B7 五、發明說明（1 發明之背景 本發明一般而言係有關於基片的化學機械性拋光， 且更特別是有關於一種在化學機械性拋光系統中被用於一 搬運頭上的可回收扣持環。 許多不同的製造製程使用化學機械性拋光；此製程 之一是積體電路的製造。積體電路典型地經由導體、半導 體或絕緣層的連續沉積，在基片特別是矽晶圓上成形。在 各層被沉積後，該層被敍刻以產生電路特徵。由於一連串 的諸層相繼地被沉積及钱刻，基片的外層或最主要的表面 (亦即，基片的暴露表層）成為越來越多的非平面。因為在 外表面及下面基片之間的距離在產生最小蝕刻的基片附近 最大，且此距離在產生最大蝕刻的附近最小，所以會出現 如此。以單一模式的下面層，此非平面的表面包含系列的 尖峰及凹處，其最高峰及最低窪之間的距離可能等於0 = 12,00GA。以複合模式的諸下面層，尖峰及低窪之間的 高度差甚至變得更嚴重且可能達到數微米。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 X 消 費 合 作 社 印 製 〜「丁xr衣面呈現一 個問題。如果此外表面是不平的，則照相平版技術可能無 沉 面 法適當的仿造抗影層’因—不平的表面會妨礙照相平版印 刷裝置的適當聚焦。因&，有定期地使此基片表面平整的 需要。實際上’平整化係將積體電路的不平外表面層之諸 尖端及低錢抛光1料體、半導體或絕緣層，^成 -層相對平坦的光滑表面。平整化之後，在外表面上可 積更多的層在外表間形成互相連接的諸線，或此外表b 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公髮一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 572808 A： ______B7 _ 五、發明說明（2 ) 可能被蝕刻而形成至較低外表的通道。 化學機械性拋光通常被稱為CMP，其係一種平整或 拋光諸基片的方法。在一典型的化學機械性拋光（CMP)製 程中’接受化學反應性漿液的一種旋轉拋光墊被用來拋光 基片的最外圍表面及諸層。此基片被定位於拋光墊上，此 抛光墊典型地被架設在一搬運器及扣持環總成中。此搬運 | 器及扣持環總成在基片的表層及旋轉拋光墊之間保持一股 偏壓。受漿液磨過的拋光墊之動作橫越基片的表層面，導 致材質從基片的那面被化學機械性地拋光（除去）。 不同型式的墊及漿液混合物可被使用。各個抛光塾 提供一拋光面，此拋光面與特定的漿液混合物結合能提供 特殊的拋光特性。因此，對任何將被拋光的材料，經選定 的墊及漿液組合用以在經拋光的表面上提供一預期的表面 處理及平坦。此墊及漿液組合在一預設的拋光時間中能提 供此種表面處理及平滑。其他因素（諸如：在基片及此墊 > 之間的相對速度，以及將基片壓向此墊的力量）會影響表 面處理及平滑的拋光等級。 傳統的化學機械性拋光製程的問題是當諸基片被拋 光時’大量的可磨損零件係被消耗的。通常，扣持環總成 被架設在一基片搬運器之下，當拋光墊對具有基片層表層 的形體直接接觸時’此扣持環總成會不斷地磨損。因此， 對一般化學機械性拋光（CMP)系統，如同一可消耗的項目 ’此扣持環總成擔負一重要的成本，因為整個總成必須被 拋棄且更換。此外，此扣持環總成在被重複回收利用及更 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ^--------^---------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A： —— R:___ 五、發明說明（3 ' 換，後應可與拋光塾保持實質地平行。希望在抱光塾及扣 持％總成間的平行關係能消除會導致不合標準的C Μ P拋 光之任何有有角度的變形。 ^對一會克服前述及其他的問題且在一 CMP裝置中實 :也降低此扣持壤總成之成本的裝置及方法是有需要的。 這些目的即是本發明要引導的。 發明之概要說明 J用低成本可再生使用..的元件而無風險或妥協的製 程表現、材質穩定性及生產力損失的情形下，本發明有助 於在CMP製程中提供_種降低可消耗的營運支出的裝置 及方法。 、，本^明提供一輪狀環總成，此總成被提供於要保持 平坦、剛性、高公差及表面穩定性控制的扣持環總成之機 械疋件中。此外，膠、點著劑及環氧化物從塑膠的扣持及 支持％總成的結構被消除。此外，來自黏著劑的逆向化學 反應及污木典型地與化學漿液直接接觸且接受拋光的諸基 片層會被消除。 結果本發明為扣持環的供應商及製造商提供一低成 本選擇且促進-個交換、重建及回收扣持環一段極長期間 的方法，因而降低可消耗的材料浪費。另外，此環總成在 重建之後保持一致的機械性能及精確的公差，因而降低變 化且保持製程一致性。 在一觀點中本發明為一化學機械性拋光裝置提供一 輪狀環總成，此總成包含一輪狀支持環，此支持環有一凹 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ，llimi — (請先閱讀背面之注意事$填寫本頁) 丨裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 572808 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（4 溝關連導槽部分被周圍地安排在此支持環的内表面内，及 γ輪狀扣持環，此扣持環有一關連的突出頸部分從此扣持 環的内表面周圍地延伸，其中，各自的槽及頸部分相連以 鎖緊此支持環及扣持環。因此，此輪狀扣持環可與此溝關 連導槽被鎖緊且可從此處移動。當輪狀扣持環因總成的反 覆使用而磨損時，此扣持環可從支持環被移開且被一新的 輪狀扣持環替代。結果，可避免整組總成的去棄及高精密 材料的浪費。 圖式之簡要說明 第la圖係一個傳統CMp扣持環總成，其利用一黏著的 機械關係以聯合一支持環及一扣持環的總成之一幅等角圖 第_ 4系顯示於第la圖中的一個傳統CMp扣持環總成 之一幅橫載面圖； 第2圖係包括本發明可能用到的搬運頭、扣持環 '美 片及拋光墊的一種化學機械性拋光系統之一幅方塊表示圖 第3圖係根據本發明CMP扣持環總成裝置的第一實施 例之一幅等角圖； 第4a圖係顯示於第3圖中的環總成裝置之輪狀支持環 • 部分之一幅底視圖； < 第4b圖係顯示於第4a圖中的環總成裝置之輪狀支持環 部分之一幅頂視圖； 、 第：>a圖係顯示於第3圖中的一個輪狀扣持環部分辨成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公餐) ------ 裝---------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 置之一 -裝 572808 A7 ----- 五、發明說明（ 裝置之一幅頂視圖； 第5b圖係顯示於第5a圖中的環總成裝置之輪狀 功 部分之一幅底視圖； 第6圖係順著第3圖的CMP扣持環總成之線6 a二 一 、n…0而取得 ，顯示根據本發明一楔形榫鎖緊特徵之一幅橫戴面圖· 第7圖係取自第6圖被虛線圓7包圍的區域之部分橫戴 面之一幅放大圖； 第8圖係顯示於第3圖中—的CMp扣持環總成裝 幅分解圖； 第9圖係根據本發明之一種CMp扣持環總成裝置的 第二實施例之一幅等角圖； 第l〇a圖係顯示於第9圖中的環總成裝置之輪狀支持環 部分之一幅頂視圖； 第l〇b圖係顯示於第10a圖中的環總成裝置之輪狀支持 環部分之一幅底視圖； 第lla圖係顯示於第9圖中的環總成裝置之輪狀扣持環 部分之一幅頂視圖； 第Hb圖係顯示於第丨13圖中的環總成裝置之輪狀扣持 環部分之一幅底視圖； 第12图係順著第9圖之CMP扣持環總成的線丨^^而取 得，顯示根據本發明第二實施例的一鎖緊特徵之一幅橫截 面圖； 第13圖係顯示於第9圖中的CMP扣持環總成裝置之一 幅分解圖； ί請先閱讀背面之注意事填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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牙7 1 i £1固1尔不 , …總成裝置之輪狀支持環部分的 率二貫施例之一幅頂視圖； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

第I侧係㈣於第l4a圖中的環總成裝置之輪狀支持 长部分之一幅底視圖； 、心a圖係本發明的環總成裝置之輪狀扣持環部分的 第二貫施例之一幅頂視圖； 第15b圖係顯示於第15a圖中的環總成裝 持 環部分之一幅底視圖； 輪狀扣持 第16圖係根據本發明之輪狀環總成的另一實 一幅等角圖； 第Π圖係順著第！ 6圖c M p輪狀扣持環總成的線^ 7 · 而取，，顯示本發明的_螺紋鎖緊特徵之-幅橫截面圖 第18圖係取自第17圖被虛線圓18包 橫載面之-幅放大圖；以及 " 第19圖係顯示於第】6圖中的CMp扣持環總成之_ 分解圖。 較佳實施例之詳細說明 —個傳統扣持環總成1被顯示於第la圖中。第lbiJ 此扣持環總成！的—幅橫載面圖。此二件式環總成】典型 包含-被接合於-輪狀不錢鋼支持環5之塑勝扣持環3。 數百次的重複CMP循環後，扣持環總成的塑膠介面和你 搬運頭下經處理的基片數量成比例的磨損。整個扣持環總 ^1(塑膠及輪狀不錢鋼環）必須頻繁地被抛棄及替換。目 月J才持％方法的不利條件是不錢鋼支持環5元件有關拋棄 之 17 分 幅 是 地 在 在 Μ ^---tl---------線 ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度中@ (CNS)A4規格（加 9 572808 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 整個總成1的聯合成本。 與傳統二件式扣持環總成】 5。不錄鋼支持環5係典型地帶有要成本疋支持環 苹-:F丨夕古择拉— 有緊抢公差及精密地圖樣的 二:度精,、磨光不錄鋼。此支持環5(包括接 I=1MP平臺的搬運頭(未顯示)及拋光墊(未顯示) 間的直接，,面。除了固定搬運器，此支持環5還對塑膠 扣持環3提供堅挺及支持。塑勝扣持環3的目前設計係被I 水久黏者的化合物7固定在不—錢鋼支持環5。因此楚個細 軔在隨後的使用之後必須被拋棄。此限制代價高且導致 高精密材料的浪費。 第2圖顯示一化學機械性抛光系統2〇，此抛光系統具 有一可旋轉地經由一旋轉軸24a被架設到此系統2〇的搬運 頭總成22。一輪狀扣持環總成3〇被典型地固定於搬運頭總 成22，如藉著一被相對螺紋嚙合的介面，其在以後相對於 扣持環總成3 0的較佳實施例將會被詳細地說明。一基片％ 安置於扣持環總成30内且被固持在扣持環總成3〇内，且被 帶入與一拋光墊28經由一 U形囊狀物（未顯示）作物理接觸 ，此囊狀物被配置於扣持環總成内且緊靠此基片26的相對 面。此墊28會運作以拋光可能由可旋轉的拋光平臺29所支 樓的基片26。此可旋轉的拋光平臺29可經由一第二旋轉軸 24b被固定在系統20上。軸24a及24b理想地彼此獨立，且 理想地以相反方向（亦即順時針及逆時針）旋轉。以此方式 ，拋光能以一相當有效的方式達成，如運作相反的旋轉力 以在拋光墊28及基片26之間維持摩擦接觸，此摩擦接觸係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

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572808 五、發明說明（8 有效地抛光基片26所需的。 第J 4&及4b圖係顯示根據本發明的化學機械性抛光 扣持環總成3G的第-實施例之—幅等角圖。此環總成可 包含一輪狀支持環32及一輪狀扣持環34。此輪狀支持環32 可具有-帶溝的路徑或槽36’此槽沿著支持環32的内表面 32a被周圍地安排。此溝或槽％的各自諸邊36a及可向 外以一輕微的角度成推拔狀以便形成一斜邊。此斜邊類似 一楔形榫結構，此結構係一典型的成型及定位技術，其中 一槽的諸邊緣係成推拔狀以便能鎖緊及定位一被插入此槽 内的相對構件。理想地，推拔角度微小如丨。，但推拔角度 也可能像5。一樣大或更大。參閱第6圖至第7圖即可了解此 關係’諸圖顯示本發明的楔形榫鎖緊特徵。 輪狀扣持環34可具有一關聯的突出頸38，如第5a及第 5b圖中所不此頸從沿著扣持環34的内表面34a周圍地突出 。此突出頸38可比支持環32的相對溝或槽36稍寬，以便當 環總成30被嚙合時在較窄的溝或槽36内緊密配合，避免相 對的環部分32、34之滑行動作。理想地，在突出頸38與溝 或槽36間的寬度差約0.002公尺，然而，此尺寸並未被限 定且可能較寬或較窄。此特徵在第6圖中被更詳細地呈現 且在以下將會被說明。 此外，此突出頸3 8可設有至少一缺口 40，缺口 40從 突出頸38的中央線以對稱距離被配置。此缺口 4〇容許突出 頸38在此突出頸38插入支持環32的溝或槽36内之期間被壓 縮。視總成而定，此突出頸38在溝或槽36内會放寬以緊密 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 11 裝i I (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) -=0 · --線· 572808

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9 配口結果，缞的滑動朝向總成元件得以避免。理想地， 二個缺口部分40以相對於突出頸爛中央線的對稱距離被 口又定以合5午犬出頸38的進一步壓縮，但任何數量的缺口 口Ρ为40均能滿足。將突出頸38壓縮到必須在溝或槽％内配 5大出頭38的最小足度所需力量係與缺口4〇的寬度及配置 於突出頸38内之諸缺口 4G的數量二者成比例。 第6圖顯示沿著第3圖輪狀環總成3〇的線6·6而取得之 :幅橫載面圖。現將說明上述的楔形榫特徵。如從顯示於 第7圖中的輪狀j辰總成3〇之橫載面區域放大視圖可以發現 ，扣持環32的溝或槽36之毗連配合諸邊363、3讣（表現於 第圖中如36b)理想地以微小的角度$成推拔狀，以便形 成一斜邊。輪狀扣持環34的突出頸38被設計成比支持環Μ 的相對溝或槽36補寬。突出頸部分38的諸缺口 4〇視扣持環 32與支持環34的配合而定允許頸部錢的壓縮，以便將扣 持％32鎖|、到支持環34且當緊密配合時避免環總成儿的可 滑行動作。 再-人參考第3圖至第6圖，此支持環32可具有一銷42 由於在CMP製权中涉及化學品及磨擦此銷可能會轉為 磨損，當預期要更換此塑膠扣持環34時，此銷會運作使支 持％ 32攸扣持j衣34分離。藉產生一股轉移力經由移動銷42 被應用於支持環34，環總成30的分離得以形成。典型地， 此移動銷42係-螺釘，但可能是任-JL述的壓力運用裝置 〇 此外，諸定位銷穴44可沿著支持環32的内徑表面32a 本紙張尺度適用中國國家標準規格（210 X 297公& . 裝-----Μ---^訂—*-------< (請先Μ讀背面之注意事^填寫本頁) 12 572808

、發明說明（10 Ρ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 自的間隔被提供。這些定位銷六沿 3晚组合時諸 =銷=結合，狀環總成 、 堵疋位銷插入孔44a與沿著扣持環34的頂表 =af定Λ的諸定位銷插人孔44b對準。#此環總成％被 —°日才’諸定位銷46可沿著諸定位銷孔44被插人且穿過諸 入孔仏、4413，從而避免在運轉期間此環總成30 、’月仃作。為求更安全，此輪狀扣持環34及支持環3*>可 =機械扣件(未顯示)固定在_起。如上述之總成被指繪 於第8圖的分解圖中。 ▲因為傳統扣持環總成必須黏著劑，此扣持環總成30 的前述結構排除對_黏著劑之需求，且因為這樣，此輪狀 扣持環34可從支持環32輕易地被移開，錢大規模的^建 、黏著的剝離或表面介面修整。因此’輪狀支持環32可被 回收及被再翻新，且一個新扣持環34可與回收的輪狀支持 環32扣緊。如此，當此輪狀扣持環34變得磨損且不起作用 時，整個環總成30不必被拋棄。 在此系統20的搬運器環總成3〇中，塑膠的扣持環μ 會避免經由拋光墊26的動作產生的剪應力將基片％從搬運 頭22之下推出。此扣持環34從搬運頭22的外緣向下突出到 基片26，以接觸拋光墊28及拋光平臺29。 理想地，此扣持環34由一塑膠合成的材料構成，但 也可由其他材料構成。事實上，任何堅硬的、堅固的化合 物可以滿足需要。此支持環32理想地由不銹鋼構成，但也 可由其他高公差材料（諸如鈦或鋁）構成。此外，此輪狀 --------------^ ·11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂.- 線·

572808 五 發明說明（11 濟 部 智 慧 財 員 工 消費 社 印 製 持環34的底面34b是平坦的，且如第5a圖中所示有沿著此 扣持環的表面34b被周圍地安排的數個漿液溝48。這些漿 液溝48從此環34的内徑延伸到此環34的外徑，且以一角度 相對此環34的内徑被配置。諸漿液溝48運作以提供漿液給 接觸基片（未顯示）的拋光墊（未顯示）。 第9圖係根據本發明CMP扣持環總成8〇的第二實施例 之巾田等角圖。在此實施例中，同樣的諸零件以類似數字 被標示。顯示於第9圖至第12圖中的環總成8〇與上述的第 —實施例相仿。參閱第13圖’第二實施例與第_實施例不 同在於諸定位銷孔86a可沿著支持環82的外徑82a以個別的 間隔被設置。這些定位銷孔86a與沿著扣持環84的突出頸％ 之外經表面38a各自的定位銷插人孔86b結合。當此輪狀環 總成80被嚙合時，個別的定位銷插入孔86a與各自的定 銷插入孔86b匹配，且鎖緊銷86能被插入穿過如雙孔“a _且運轉以㈣此總成8〇避免在運轉期間諸元件的可 仃動作。為求更安全，此輪狀扣持環84及支持環Μ可經 一機械扣件（未顯示）被固定。 接著，此扣持環總成80排除對一黏著劑之需求⑵ 為傳統扣持環總成必須黏著劑，且因為這樣’此輪狀扣持 環㈣從支持環82輕易地被移開，無須考慮大規模的重建 、黏著的剝離或表面介面修整。因此，此輪狀支持環82可 被回收及被再翻新，且可與—個新扣持環84扣緊。因此， 當此輪狀扣持環84變得磨損且不起作用時，整個環總成8〇 不必被拋棄。

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訂 i 572808 A7 五、發明說明（1: 環總成130經由此帶螺紋的關係被鎖且被固持在適當地方 ，如在第18圖中連接介面的放大視圖中可見。因此，介於 總成130的諸元件間之可滑行動作被防止。此總成130的分 解圖被顯示於第19圖中。 本發明的設計保持結構剛性、平坦及平行的必要特 徵’相當於在市場中可買得到的傳統Cmp二件式扣持環 總成產品。然而，與傳統總成不同的是，此支持環及扣持 環能以最小的重製成本及費用被回收。 而參閱本發明在前述已作說明的特定實施例，那些 在此領域中身懷技藝之士將會了解，這些實施例可作改變 而不會脫離本發明的原則及精神，其範圍由後附的申請專 利範圍所界定。 •--.--------I * I I I l· I I I — — — — — — — — · (請先閱讀背面之注意事項再填舄本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 572808 A7

元件標號對照 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

34b…輪狀扣持環34的底面36…溝或槽 36a及36b…溝或槽36的諸邊38…突出頸 38a…突出頸38之外徑表面40…缺口 132…輪狀支持環 132a…支持環132的内表面132a”…輪狀支持環132的外 134···輪狀扣持環 134a…扣持環134的内徑 134a’…輪狀扣持環134的内徑136a…螺紋凸緣邊 136b…輪狀扣持環134的帶螺紋邊 1…扣持環總成 5…輪狀不錄鋼支持環 20…化學機械性拋光系統 2 4 a…旋轉車由 26…基片 29···拋光平臺 32···輪狀支持環 3 4…輪狀扣持環 42…移動銷 44a、44b···定位銷插入孔 80…扣持環總成 84…扣持環 86a···定位銷孔 130…環總成 3···塑膠扣持環 7···永久黏著的化合物 22…搬運頭總成 24b···第二旋轉軸 28…拋光塾 3Ό…輪狀扣持環總成 32a···支持環32的内表面 34a···扣持環34的内表面 44…定位銷孔 48…漿液溝 82a···支持環82的外徑 86…鎖緊銷 86b…定位銷插入孔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^----------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17

Claims (1)

1. 572808 A B c D ^ T 六、申請專利範圍 第89120108號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正日期·· 92年9月 1· 一種用於—化學機械性拋光裝置的輪狀扣持環總成，其 包含： -輪狀扣持環，其可個別且牢固地固定至—輪狀支 持環’該輪狀扣持環與該輪狀支持環係可釋放地連結， 使得該輪狀支持環可與另—輪狀扣持環重複使用。 2. 如申請專利範圍第丨項之總成，其中該輪狀支持環係金 屬製成且其中該輪狀扣持環係_彈性的材質製成。 3. 如申請專利範圍第2項之總成，其中該輪狀扣持環係塑 膠製品。 4·=申請專利範圍第丨項之總成，其中該扣持環及該支持 ^係按規袼尺寸被緊密配合在一起。 烦請委員明示，本案修正後是否變更原實質内容 5·-種用於·一化學機械性拋光裝置的輪狀扣持環總成，其 包含： 一輪狀扣持環，該輪狀扣持環係可釋放地連結至一輪狀 支持環’使得該輪狀支持環可與另—輪狀扣持環重複使 用，其中^輪狀支持環具有一沿周圍延伸的溝，且該輪 狀扣持％具有—沿周圍突出延伸的頸，該突出頸被按規 袼尺寸製作可插人地被連在該溝内，以在…齒合關係下 可釋放地鎖緊該支持環及該扣持環。 6·:申請專利範圍第5項之總成，其中至少一缺口被配置 於該突出頸内，如此經由對該突出頸施用一股壓縮力使 5玄突出頸可從一第一寬度被壓縮到一第〕寬度，當該突 ------ 18 572808 申清專利範圍 出碩被壓縮到該第二寬度時，能使該突出頸可插入地與 °亥溝連接’其中該突出頸會根據該突出頸從該第二寬度 〆第寬度的鬆他情形喊合該溝，以牢固地將該支持 環及該扣持環固持在一起。 7·如申凊專利範圍第5項之總成，其中該溝具有以一角度 向外成推拔狀的邊緣，以便形成各自的斜邊，且其中該 犬出頸較該斜邊寬，如此當該支持環及該扣持環被嚙合 時该突出頸可被牢固地固持在該溝内。 如申”月專利範圍第7項之總成，其中該推拔角度的情況 係介於1。及5。之間。 9·如申請專利範圍第7項之總成，其中在該突出頸及該溝 之間的寬度差異情況係〇 〇〇2公尺。 10.-種用於-化學機械性拋光裝置的輪狀扣持環總成，其 包含：· 一輪狀扣持環’該輪狀扣持環係可釋放地連結至一輪狀 支持ί衣’使得該輪狀支持環可與另一輪狀扣持環重複使 用，其中該輪狀支持環具有—沿周圍延伸的溝，且該輪 狀扣持環具有—沿周圍突出延伸的頸，該突出頸被按規 格尺寸製作可插人地被連在該溝内，以在L係下 可釋放地鎖緊該支持環及該扣持環丨以及 環繞該支持環及該扣持環被沿周圍配置的數個鎖緊銷 孔’如此當該支持環及該扣持環係在^合關係下時， 各自的數個鎖緊銷孔在該支持環中及在該扣持環中係 被匹配的。 本紙張尺度適用中S國家標準（CNS ) Α4規格 裝 訂 、鈿 19 8 80 72 5 A B c D 六 申 申明專利範圍第10項之總成，其還包含數個被插入該 數個鎖緊銷孔的鎖·緊銷，當該支持環及該扣持環在一响 合關係下時避免該等環的相對轉移動作。 12.如申睛專利範圍第丨丨項之總成，其中該數個鎖緊銷係從 該支持環及該扣持環的外部表面軸向延伸。 13·如申凊專利範圍第丨丨項之總成，其中該數個鎖緊銷係垂 直於該支持環及該扣持環的一個像平面之表面。 14· 一種用於一化學機械性拋光裝置的輪狀扣持環總成，其 包含： 〃 一輪狀扣持環’該輪狀扣持環係可釋放地連結至一輪狀 支持環，使得該輪狀支持環可與另一輪狀扣持環重複使 用’其中該輪狀支持環具有一沿周圍延伸的溝，且該輪 狀扣持環具有一沿周圍突出延伸的頸，該突出頸被按規 - 格尺寸製·作可插入地被連在該溝内，以在一嚙合關係下 可釋放地鎖緊該支持環及該扣持環，其中該扣持環的一 外部表面係平坦的且有數個有角度的漿液溝被配置於 其上。 15· —種用於一化學機械性拋光裝置的輪狀扣持環總成，其 包含： 一輪狀扣持環，該輪狀扣持環係可釋放地連結至一輪狀 支持環，使得該輪狀支持環可與另一輪狀扣持環重複使 用，其中該輪狀支持環具有一沿周圍延伸的溝，且該輪 狀扣持環具有一沿周圍突出延伸的頸，該突出頸被按規 格尺寸製作可插入地被連在該溝内，以在一 p齒合關係下 本紙張乂度远用-中國國家標準（chs) A4規格~~------—--— -20 -

   地鎖緊該支持環及該扣持環，其中該支持環及言I 16 __、％的—個觀裡表面如一平行關係運轉。 用於—化學機械性拋«置的輪狀扣持環總成，其 輪，扣持環’該輪狀扣持環係可釋放地連結至一輪狀 持環’使得該輪狀支持環可與另_輪狀扣持環重複使 用’其中該輪狀支持環有—沿周圍延伸的溝及—凸緣的 ΐ’且其中該輪狀扣持環有-沿周圍突出延伸的頸，該 大出頸相對該溝被按規格尺寸製作如此該突出頸及該 支持環的該凸緣邊纽合，在—4合_下以鎖緊該支 持環及該扣持環。 17.如申請專利範圍第16項之環總成，其中該突出頸及該凸 緣的邊係彼此帶螺紋的。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS) a4规格 21