TW559597B - Deposition of soluble materials - Google Patents

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59597 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明之背景： 本發明之領域： 本發明係關於可溶性材料之沉積，尤指使用噴墨技術 之可溶性材料的沉積。 相關技術之說明： 近年來，在需要將有機或無機可溶性材料或可分散材 料（例如聚合物、染料、膠質材料等等）沉積於固體表面上（ 其做爲他們的製程的一部分）之產品的數目已經增加，這些 產品的其中一例爲有機聚合物電致發光顯示裝置。有機聚 合物電致發光顯示裝置需要將可溶性聚合物沉積於固體基 板上之預定圖案中，以便提供顯示裝置的發光圖素，此基 板，舉例來說，可以是由玻璃、塑膠或矽所形成的。 在半導體顯示裝置的製造中，例如發光二極體（LED)顯 示器，習知上使用微影技術。但是，微影技術之實施係相 當複雜、費時、且昂貴的。除此之外，在結合可溶性有機 聚合物材料之顯示裝置的製造方面，微影技術並不很容易 能夠適用’和有機聚合物之製造有關的顧慮在某種程度上 已經妨礙了例如電致發光顯示裝置之產品的發展，其結合 這樣的材料用作發光圖素元件，因此，在電致發光顯示裝 置的製造方面’已經提出使用噴墨技術來沉積可溶性有機 聚合物。 根據定義’理想上，噴墨技術適合於沉積上面的可溶 性材料或可分散材料，其係快速且便宜的使用技術。相反 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X ：297公楚） L--------I i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、訂 線 經濟部智絡財產局貨工消費合作社印製 -4- 户59597 經 濟 部 智 廷 財 產 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7五、發明説明（2 ) 於例如旋塗法或氣相丨冗積？去；^替代丨支彳荷與微影技術結 合而立即提供圖案化’但不需要鈾刻步驟。然而’使用噴 墨技術而將可溶性有機材料沉積於固體表面上和該技術之 習知使用（習知上’用來沉積墨水於紙上）不同’並且遭遇到 許多困難，特別是’在顯示裝置方面具有一光輸出之均勻 性及電氣特性之均勻性的主要要求，在裝置製造方面上也 有空間限制。因而，有從噴墨印刷頭提供可溶性聚合物之 非常準確沉積於基板上的重大問題，這對像提供發射紅色 光、綠色光及藍色光之個別聚合物的彩色顯示器被要求沉 積於顯示器之各圖素處來說特別是這樣。 爲了幫助可溶性材料之沉積，已經提出具有一層之基 板，該層包含界定於去濕潤（de-wetting)材料中之壁結構的 圖案，以便提供一陣列之井或者使溝槽加長，其被壁結構 所限制，用以容納即將被沉積之材料，這樣的經預圖案化 基板在下文中將被稱爲組排（bank)結構。當溶液中之有機聚 合物被沉積入井中時，有機聚合物溶液和組排結構材料之 濕潤性上的差異造成此溶液自動對齊進入設置於基板表面 上的井中。但是，仍然必須以實質上和組排結構中之井對 齊的方式來沉積有機聚合物之液滴，甚至當使用這樣的組 排結構時’所沉積之有機聚合物溶液在某種程度上黏著於 界定井之材料的壁上，這造成各沉積液滴的中心區域充其 夏不過具有一薄塗層的沉積材料，相較於沉積於組排結構 之壁處的材料’或許和此材料的1 0%—樣的低，在井之中 心k所沉積之聚合物材料用作顯示裝置中的主動發光材料 本上張尺度適用中國國家榡準（cns ) ^規格⑺〇心7公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 -5- 559597 A7 B7 五、發明説明（3 ) ’並且如果聚合物材料並未被沉積而和井準確地對齊，貝IJ 能夠進一步減少主動發光材料的量及厚度。因爲流經顯示 器所使用之材料的電流增加，其減少顯示器之發光裝置的 預期使用壽命及效率，所以此主動發光材料的變薄係有重 大之利害關係的。如果沉積對齊沒有被準確地控制，則所 沉積之聚合物材料的變薄也將隨著圖素而改變，因爲由有 機材料所構成之LED’s爲電流驅動裝置，所以這導致有機 聚合物材料之發光性能上隨著圖素而改變，並且，如上所 $ ’流經所沉積之聚合物材料的電流將會隨著所沉積材料 之厚度的減少而增加，此隨著圖素的性能改變導致所顯示 β影像的不均勻性，其使所顯示之影像的品質變差，此影 像品質的變差係除了顯示器之LED，s之操作效率及工作預 期使用壽命上的減少以外的。因此，可以看到必須準確地 沉積聚合物材料，以提供良好的顯示品質及可接受之效率 和耐用性的顯示裝置。 有兩種主要類型的噴墨頭，一種類型使用一熱印刷頭 ，並且這些一般被稱爲氣泡噴頭，第二類型使用一壓電印 刷頭，其中，一壓電裝置係位於一和儲存容器相連通之光 闌的後面，在此第二類型之印刷頭中，壓電裝置被激勵， 並且光闌偏轉而使儲存容器加壓，強迫儲存容器中所含的 液體，在此情況中爲溶液中的聚合物材料以提供用於顯示 器之發光圖素，經由噴嘴而流出做爲聚合物材料的微小液 滴。有了任一類型的印刷頭，噴嘴具有非常小的出□孔， 典型上直徑約爲3 0微米’有機聚合物通常溶解於相對揮發 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------裝-- * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慈財產局貨工消費合作社印製 -6 - 經濟部智慧財產局負工消費合作社印災 559597 A7 __ 一 B7 五、發明説明（4 ) 性的有機溶劑中，使得他們能夠被沉積在溶液中。 在沉積期間，使噴墨印刷頭盡可能地接近於承載組排 結構之基板，通常，噴墨印刷頭被配置在離開基板的上方 距離約0.5 mm到10 mm的地方，且此分開也被用來初始 地光學檢查印刷頭與組排結構之井的對齊。因爲組排結構 中的井在尺寸上係非常小的，所以此光學對齊檢查需要高 放大倍數的顯微鏡。當使用高放大倍數時，在所觀看的影 像中有非常小的視野深度（景深），而因此，通常不可能具有 組排結構中的井與噴墨頭的噴嘴同時淸晰。 也必須確保觀看軸準確地垂直於基板，否則，在井與 噴墨頭的噴嘴之間發生偏移，這實際上也非常難以達成。 噴墨頭與組排結構之井的光學對齊因此不能夠以所需之準 確度來予以達成，所以有觀看一滴材料之真正沉積以檢查 對齊的需要。但是，在噴墨印刷中，液滴具有典型上在2 到10 m/sec之範圍中的飛行時間，介於基板與印刷頭之間 的相對速度典型上係在10到100 mm/sec的範圍中。假設 液滴速度約5 m / s e c及噴墨頭與基板之間分開1 m m，所噴 射之液滴到達基板所花費的時間爲約2毫秒。如果印刷頭 相對於沉積基板具有100 mm/sec的橫向速度，則在噴射點 與基板上的真正沉積點之間將會產生20 # m的偏移，此偏 移，如果考慮隔離，對噴墨印刷頭所有的噴嘴來說係正常 且均等的。對於習知的印刷，在基板爲紙的情況中，其係 此技術之正常使用，此偏移係不成問題的，因爲他在整個 所印刷的影像上係相同的，而且對觀看所印刷之影像的人 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ~ -7 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

經濟部智M財產局g(工消費合作社印製 559597 A7 B7 五、發明説明（5 ) 來說，在紙上所印刷影像之位置上這樣小的偏移係不可辨 別的。 但是，因爲有機聚合物被溶解於溶劑中，當溶液自噴 嘴出口孔噴射出時，將會發生溶劑的部分蒸發，所以，形 成於噴墨噴嘴的出口孔附近之聚合物材料的沉積物係常見 的，這些沉積物傾向於以不平坦的方式形成，而因此在噴 嘴出口孔的周圍產生不規則的輪廓，當材料自印刷頭噴嘴 噴射出時，造成材料的偏轉。因爲對所噴射出之溶液的偏 轉，所以所噴射出之液滴相對於基板一定沒有垂直的飛行 角度，這在基板上所沉積液滴之所想要的位置與真正的位 置之間產生另外但不正常的偏移。此外，在沉積程序期間 ，在噴嘴出口孔附近的沉積物通常會改變，而同樣地，因 此，在液滴被沉積的整個期間，在所想要的沉積位置與真 正的沉積位置之間的偏移也能夠以不規則的方式改變。因 此，有重複地監視液滴之沉積以確保沉積之所需準確度在 裝置製造期間正被維持著的明顯需求。如果沉積準確度被 判定爲沒有正被維持著，則必須淸潔噴墨頭之噴嘴的沉積 物，在噴墨頭之位置與沉積位置之間的不正常偏移產生有 關檢查噴墨頭噴嘴與組排結構中的井之對齊的進一步顧慮 〇 噴墨頭通常包括一陣列的噴嘴，使得當噴墨頭被平移 於沉積區域上時，許多的有機聚合物被同時沉積。但是， 因爲沉積物的建立在本質上完全是隨機的，所以對於噴墨 頭之第一噴嘴的不正常偏移可以是在一方向上（相較於用於 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-8- 559597 A7 _____B7_ 五、發明説明（6 ) 噴嘴的飛行路徑，而沒有任何沉積物的建立），舉例來說， 造成所噴射出之液滴進一步行進於噴墨頭的行進方向，而 同時，在噴墨頭之第二噴嘴處的沉積物，舉例來說，可能 造成在相反於第一方向之方向上的偏移，亦即，在相反於 噴墨頭之行進方向的方向上。如上所述，會有由液滴之飛 行時間及噴墨頭之移動速度所造成的正常偏移。如果，舉 例來說，基板正在相對於噴墨頭而移動，則因爲在液滴已 經橫越過噴墨頭與基板之間的分開間隙之時，井已經移動 經過飛行路徑接觸點，所以液滴將會真正被沉積於組排結 構中之標的井的一側，此乃上面所指的正常偏移，並且這 能夠被補償於初始光學對齊期間。但是，在此情況下，藉 由由沉積物所造成之不正常偏移來抵消正常偏移，因此， 如果在液滴的沉積之後觀看組排結構中之此特別的井，則 其將會給予一印象，即，因爲所沉積之液滴可能看起來完 美地對齊於其組排結構中之標的井，所以沒有對齊顧慮， 但是此係由於不正常偏移，其可能會改變於沉積程序期間 。但是，第二噴嘴之不正常偏移係在第一噴嘴之不正常偏 移的相反方向上，因此，在第二種情況中，正常偏移及不 正常偏移將會是累積的，且將在正自第二噴嘴噴射出之液 滴與組排結構中之他們的標的井間提供不能接受程度的未 對齊，但是，因爲第一液滴上的對齊檢查指示噴墨頭與組 排結構對齊，所以此不能接受的對齊將不會被注意到。因 爲沉積需要發生在較長周期的時間上，且因此而會有增加 之可變偏移的相似性，所以在相對大尺寸之電致發光顯示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' -9- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 經濟部智慈財產局員工消费合作社印製 經濟部智慧財產局a(工消費合作社印¾ 559597 A7 —B7 五、發明説明（7 ) 裝置的製造上，這些偏移會特別成問題的。 如果基板爲相對大尺寸的基板，則由於基板的熱膨脹 或收縮而可能引進不正常偏移，例如，那些由沉積區域中 之周圍條件上的改變而產生的。 對於噴墨頭來說，也可能由於平移系統的彎曲而造成 額外的可變偏移。如同可以從圖1中看到，由通常被水平 配置之橫向樑來支撐噴墨印刷頭，此樑（爲一實際結構）在重 力下非常輕微地彎曲，樑的中央部分實際上將保持其水平 配置，所以以位於此中央位置A之印刷頭所沉積的液滴將 會保持垂直於基板的飛行路徑A1(如圖2所示）。但是，當 使印刷頭平移而離開樑的此中央部分時，例如到圖2中所 示之位置B，其將不再由真正水平的樑來予以支撐，所以 在此第二位置B處的飛行路徑B 1將不再垂直於基板，因此 ，如果使印刷頭沿著樑而移動X cm，則這能夠在基板處X + α之沉積點上產生變化，其中，α係由於樑的輕微彎曲 所造成之額外可變偏移。能夠看到此可變偏移甚至會出現 在相對小的基板上，並且當基板變得較大時，因爲平移系 統變得較長，所以偏移變得更加顯著，產生在從垂直的飛 行路徑到基板之偏移上的增加。 對於組排結構之井中的有機材料來說，所有上面的偏 移可能產生最佳厚度上的變化，如上所述，其能夠產生所 顯示之影像上的不均勻性，而因此產生不能接受之影像品 質的顯示。 如上所述，組排材料之井的圖案可以被用來幫助所沉 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）~~ — -10- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智祛財產局員工消费合作社印焚 559597 A7 B7 五、發明説明（8 ) 積之聚合物材料的對齊，但是，聚合物材料在各井中僅能 夠被沉積一次，並且諸井最終形成顯示裝置的主動圖素。 因此’如果真的發生不能接受之程度的未對齊，則不可能 將噴射噴嘴再定位於組排結構之任何特別井的上方，並且 沉積聚合物材料的另一液滴。因此，如果所沉積之聚合物 材料的任何液滴沒有和其各自的井對齊，則在最終在於提 供最終顯示裝置之部分主動區域的區域中之基板上，將已 經產生聚合物材料的瑕疵井，使解析度變差，而因此使所 探頁不之影像品質變差。 有關觀看組排結構之井中的聚合物材料也有顯著得困 難，如同將會從下面的敘述而變得明顯。當聚合物材料已 經乾掉時，這些困難變得更嚴重。因此，有在沉積真正發 生時或緊接著沉積真正發生之後監視電致發光顯示裝置的 製造中有機聚合物材料之沉積的顯著需求，而且，特別是 監視液滴沉積，這能夠被稱爲原位觀看。 本發明之槪述： 依據本發明之第一樣態，提供有一種使用噴墨印刷頭 來選擇性地沉積呈一系列液滴之可溶性材料於基板之第一 表面上的方法，此方法包括經由基板之相對於第一表面的 另一表面來偵測第一表面上的液滴。 較佳地，在沉積材料從溼的狀態改變爲乾的狀態之前 偵測液滴。 在本發明的較佳樣態中，液滴被觀看於當他們沉積在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-11 - 經濟部智慈財度局0(工消費合作社印製 559597 A7 __B7 五、發明説明（9 ) 基板之第一表面上時。 有利地，基板之第一表面被設置有一經預先圖案化之 結構，用來容納所沉積之液滴。 在本發明的最佳樣態中，以一波長的光來照射基板的 另一表面，而當觀看液滴沉積於第一表面上時，基板對此 波長而言實際係透明的。 較佳以電荷耦合裝置來偵測液滴的沉積。 在本發明之第二樣態中，提供有一種顯示裝置的製造 方法，其包含依據本發明之第一樣態來製造發光元件。 在本發明之第三樣態中，提供有一種顯示裝置，其包 括依據本發明之第一樣態的方法所製造之發光元件。 依據本發明之第四樣態，提供有一種噴墨裝置，其包 括一噴墨頭，用以選擇性地沉積一系列之液滴的可溶性材 料於基板之第一表面上；支撐機構，用以支撐基板並且被 配置而相對於噴墨頭移動；及偵測機構，用以經由基板之 相對於第一表面的另一表面來偵測第一表面上的液滴。 附圖之簡略說明： 現在將僅經由進一步實例並參照伴隨之圖形來敘述本 發明，其中： 圖1係噴墨丨几積機器之不意圖，其中，可以直接觀察 到可溶性材料沉積於基板上； 圖2顯示可變偏移，其能夠藉由彎曲圖1中所示之機 器的噴墨頭平移系統來予以產生； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "" -12- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

559597 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10) ® 3顯示具有組排圖案之井的基板一部分的平面圖， 並例舉聚合物材料之乾且最近所沉積之液滴的例子； ® 4示意例舉顯示所噴射出液滴之飛行路徑上偏移的 噴墨印刷頭； 圖5顯示在溼的情況中，基板上之聚合物材料的液滴 ® 6示意顯示一明視場成像系統； 圖7顯示當其被當作明視場影像來觀看時之圖5的液 滴； 圖8顯示在乾的情況中，基板上之聚合物材料的液滴 圖9顯示當其被當作明視場影像來觀看時之圖8的液 滴； 圖1 〇示意顯示一暗視場成像系統； 圖11顯示當其被當作暗視場影像來觀看時之圖5的液 滴； 圖1 2顯示當其被當作暗視場影像來觀看時之圖8的液 滴； 圖1 3顯示共軛聚合物材料之吸收及發光特性； 圖1 4顯示用於共軛聚合物材料之聚合物鏈的一部分； 圖1 5示意顯示在入射照射下，共軛聚合物之電子的激 發； 圖1 6顯示圖1 4中所例舉之聚合物鏈的氧化； 圖1 7係用以實施圖1所示之機器中偏移控制及噴墨淸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-13- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印糾衣 559597 A7 _____ —_B7__ 五、發明説明（11) 潔之系統的示意代表圖； 圖1 8顯不電光裝置的方塊圖； 圖19係結合依據本發明所製造之顯示裝置之移動式個 人電腦的示意圖； 圖20係結合依據本發明所製造之顯示裝置之移動式電 話的示意圖；以及 圖21係結合依據本發明所製造之顯示裝置之數位照像 機的示意圖。 元件對照表 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1 噴墨沉積機器 2 基座 4 立柱 6 橫樑 8 承載體 10 噴墨印刷頭 1 2 機床工作台 14 基板 16 電腦控制之電動機驅動的支座 18 電荷耦合裝置（CCD)顯微鏡 20 鏡 22 第二電荷耦合裝置（CCD)顯微鏡 24 閃光測頻器 2 6 井 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 559597 A7 B7 五、發明説明（U) 經濟部智tt財產局員工消費合作社印製 28 容器 30 噴嘴 32 沉積物 34，44 液滴 100 顯示面板 200 顯示裝置 201 圖素 202 第一 TFT 203 第二 TFT 204 optical element 205 第一驅動器電路 206 第二驅動器電路 1100， 1 4 4 0 個人電腦 1102 鍵盤 1104 本體 1 106 顯示單元 1200 可攜式電話 1202 操作鍵 1204 受話器 1206 送話器 1300 數位靜態照像機 1302 外殻 1 304 光接受單元 1308 電路板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -15- 經濟部智慈財產局S(工消费合作社印製 559597 A7 __ B7 五、發明説明（13) 13 12 視頻訊號輸出端子 13 14 輸入/輸出端子 1 430 電視機監視器 較佳實施例之詳細說明： 參照圖1，噴墨沉積機器1包括~基座2，此基座2支 承一對立柱4，立柱4支承一橫樑6，而在橫樑6上安裝有 一支承噴墨印刷頭1 0的承載體8。基座2也支承一機床工 作台12，而在機床工作台12上可以安裝有一基板14，機 床工作台1 2經由一電腦控制之電動機驅動的支座1 6而自 基座2來予以安裝，用以使機床工作台1 2相對於噴墨印刷 頭而移動於橫向及縱向二方向上，如以圖丨中之X及γ軸 所顯示的。 依據本發明，基座2也支承一電荷耦合裝置（CCD)顯微 鏡1 8，其被配置在機床工作台1 2的下方，且稍微偏離機床 工作台12，用以經由鏡20來觀看基板14的底面或背面。 同樣地，C CD顯微鏡可以被垂直地配置在機床工作台〗2的 下方，並且被配置而和機床工作台1 2同步移動，以避免鏡 20的需要。選擇性地，噴墨沉積機器1也包括安裝自基座 2之第二CCD顯微鏡22及閃光測頻器24，承載體8可沿 著橫樑6移動，使得噴墨頭1 〇能夠被定位在CCD顯微鏡 22與閃光測頻器24之間的空間中，以便能夠直接觀察到液 滴從噴墨頭10噴射出，此係在於致使噴墨頭10的驅動條 件能夠針對各種溶液及聚合物來予以調諧，而各種溶液及 本紙张尺度適用中國ΐ家標準（CNS )A4規格（210X 297公釐） ' -16- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 559597 A7 B7 五、發明説明（14) 聚合物可能需要被噴射於基板1 4上。因爲機床工作台1 2 的移動，而因此相對於噴墨頭1 0之基板的移動係在電腦的 控制下，所以可以藉由從噴墨頭10噴射適當的材料而印刷 任意圖案於基板上。 圖3顯示基板14之部分的放大圖，從圖3中可以看到 基板1 4承載呈一陣列井26之組排材料的預先圖案，其容 納自噴墨頭1 〇所噴射出之有機聚合物材料，組排圖案之使 用在此技術中係眾所周知的，而因此將不會在本發明的說 明書中做進一步的敘述。如同將可領會到的，爲了達成顯 示裝置中所需要的解析度，發光有機聚合物，其形成在各 圖素處的發光二極體，必須被非常準確地沉積在基板1 4上 。這對於彩色顯示器來說特別是如此，因爲發射紅光、綠 光或藍光之聚合物材料的個別光點必須被設置於顯示器的 各圖素處以提供彩色影像。典型上，在這種的顯示裝置中 ，有機聚合物爲共軛聚合物，且可以包括，舉例來說， F8/F8BT/TFB，其中，F8 爲[聚 19， 9-二辛烷基苐 (dioctylfluorene)] ，F8BT 爲[聚 9， 9-二辛烷基莽 (dioctyl fluorine)-共聚-2， 1， 3-苯并噻二哩 (benzolthiadizole)]，而 TFB 爲[聚 19，9 -二辛 j：完基莽 (dioctylfluorine)-共聚·Ν-(4-丁苯基（butylphenyl))二苯胺 (diphenylamine)] 〇 界定井26之組排材料具有去濕潤表面，而井26本身 具有濕潤表面。如同從圖3能夠看到，因此能夠達成聚合 物材料之相對良好的密閉及對齊，但是，參照圖3，噴墨印 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-17- 559597 A7 B7 五、發明説明（15) 刷頭1 0典型上包括一儲存容器2 8，用以容納即將經由噴嘴 3〇來予以噴射出之聚合物材料，其典型上具有一約30微米 直徑的噴射孔。如上所述，用於電致發光顯示裝置之製造 ，即將被噴射出之材料爲溶解在適合的溶劑中之有機聚合 物，例如Toluene或Xylene，這樣的溶劑具有相當的揮發 性，並且將可領會到所噴射出之液滴的體積非常小，典型 上爲幾微微升的等級。當聚合物混合物被噴射出時，溶液 中之聚合物的氣泡由於溶液的表面張力而最初形成於噴嘴 3〇處，當噴墨頭內之壓力增加時，表面張力被克服，且溶 液中之聚合物的液滴離開噴嘴，並自噴墨頭被噴射出。溶 劑的局部蒸發發生，而同時溶液的氣泡和噴嘴接觸，而致 使一些所噴射出之聚合物材料在噴嘴3 0的出口孔處形成沉 積物3 2，此沉積物3 2以不規則的方式形成，並且能夠致使 所噴射出之液滴沿著非垂直的路徑而流到基板上，由圖3 中之箭號所示，產生真正位置與所想要之沉積位置（亦即， 井26)之間的偏移。噴嘴30的阻礙通常會發生在噴墨頭中 ，並且使所噴射出液滴3 4之非垂直飛行路徑的影響達最小 ，噴墨印刷頭1 0在沉積周期期間盡可能地保持接近於基板 1 4。但是，必須使印刷頭與基板之間保持一有限分隔，其 產生真正位置與標的沉積位置之間的偏離或偏移。此外， 在大面積顯示器的製造方面，呈可捲筒捲繞形式之可撓塑 膠片或可撓塑膠可以是特別有利的，這樣的可撓塑膠基板 可以是位於剛性平面表面上，或者可以被拉緊，以便展現 在印刷頭底下用於沉積的平坦基板。在任何一種情況下， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ 297公釐） l·--------批衣II * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線 經濟部智Μ財產局8工消费合作社印製 -18- 559597 A7 B7 五、發明説明（16) 已經發現有基板之變形的發生，並且此變形能夠隨著正在 使基板移動於印刷頭底下而改變。除此之外，這樣的基板 在實際尺寸上隨著周圍條件（例如，溫度及濕度）上的變化而 改變。所有的這些因素也能夠在液滴的真正位置與標的沉 積位置之間產生偏離或偏移。 因此，能夠看到明確地需要監視有機聚合物材料之液 滴沉積於基板上。至今，液滴已經被沉積於其上之準確度 可以藉由使用適當的顯微鏡來觀看在沉積於組排結構上之 液滴來予以檢查，所沉積之液滴周期性地從基板的沉積側 來予以觀看。但是，噴墨頭典型上包含一陣列的噴射噴嘴 ，因爲噴墨頭的實際尺寸及觀看顯微鏡的物鏡，所以在正 被沉積之目前的液滴與正被觀看之液滴間需要有一些分隔 距離，在真正的液滴沉積與觀看之間也有相當的時間延遲 ，此等液滴具有非常小的體積，並且含有高比例的揮發性 溶劑。於是，一旦被沉積之後，他們乾的相當快速，因此 ，所沉積之液滴在他們能夠被觀看的時間之前已經不變地 取得乾或相當乾的條件，並且在組排結構上非常難以區別 ，特別是當所沉積之液滴爲透明的時候。 在使用目前已知之技術（從基板的液滴側來觀看）來觀看 乾的液滴方面會有增加的顧慮，即’液滴當他們乾燥時能 夠移動。液滴典型上包含體積佔1%到5%的有機聚合物材 料，剩下的％%到99%爲溶劑。因此，能夠領會到，一旦 液滴已經乾掉了，殘留在基板上之真正的材料爲具有遠小 於真正沉積在基板上之液滴體積的體積’殘餘的材料也佔 本紙張尺度適用中國國家樵準（CNS)A4規格（210x 297公釐） ΙΓ-------批衣II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智愁財產局員工消费合作社印說 -19- 559597 A7 B7 五、發明説明（17) 據了遠小於當被沉積時之液滴的面積。如果材料的表面爲 均勻的，則殘留做爲乾的液滴之有機聚合物的材料通常係 位在由當被沉積時之液滴所佔據之區域的中央。但是，如 果基板的表面包含不均勻性，常常是這種情況，並且特別 是針對塑膠基板，則在乾燥程序期間，所沉積之液滴的聚 合物材料能夠被不均勻性所吸引。殘留在基板上之乾了的 材料因此能夠被置於基板上由當被沉積時之液滴所佔據之 區域的一側或極端，或者他可以實際上殘留在中央，端視 不均勻性的位置而定。因此，觀看組排結構中之乾了的液 滴不是沉積對齊的真正指示，這是因爲對於特別的沉積液 滴來說，有機聚合物材料在乾燥程序期間，由於在液滴被 沉積之真正位置處出現基板之表面上的不均勻性，可能已 經”移動”成和一標的沉積位置準確地對齊。 液滴之此移動能夠導致組排結構之標的井與部分乾燥 沉積液滴之間沒有重疊也能夠發生，在此情況中，液滴與 組排結構之材料間的濕潤性方面之對比係負的，使得液滴 在組排結構的井中對齊更加困難。 已經提出藉由暫時從正被沉積之區域移動噴墨頭，而 後使適當的顯微鏡定位於最後沉積的液滴上來觀看在組排 結構中所沉積之液滴。但是，此提議已經被證明是有問題 的，因爲液滴在顯微鏡能夠被移動至觀看位置之前乾燥， 而且當顯示尺寸增加時，變得特別難以決定基板上最後沉 積之液滴的位置，其主要原因在於許多所使用之聚合物材 料，當他們係乾的時，不能夠很容易地和背景材料做區別 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 卜 —-------^ ! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 559597 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7 _五、發明説明（18) 〇 此外，重複使噴墨頭移動離開及回到沉積位置不是很 有效率的，而且沒有即時監視沉積，所以不能夠使觀看上 的回授最大化。 從上面的敘述將會了解到聚合物材料之液滴被沉積於 濕的狀態或情況，但是，鑒於他們相對小的尺寸，及他們 包括在相對揮發溶劑中所溶解之聚合物材料的事實，硬化 或乾燥相對快速地到乾的情況。有了本發明，已經決定了 所沉積之液滴遠易於觀看，並且遠易於和基板的相反側或 非沉積側做區別，因此，當在濕的情況中，亦即在沉積與 取得他們之乾的情況之間，已經決定了能夠以適當的裝置（ 例如，顯微鏡）來觀看所沉積之液滴，而因此，在他們到達 他們係極度難以看到的情況之前能夠被觀看到；也就是說 ’在取得乾的情況之前，並且決定了聚合物材料之沉積液 滴的此特性’在乾燥之前，能夠被開發爲顯著的優點，以 便檢查聚合物材料之沉積的準確性。 如上所述，聚合物材料液滴在沉積之後非常快速地改 變至乾的情況’並且因此，已經領會到在濕的情況中開發 聚合物材料液滴之此特性，有原位觀看材料之沉積液滴的 強烈需要。 參照圖3能夠更輕易地了解和觀看所沉積之聚合物材 料相關聯的問題。如果聚合物材料已經到達其乾的情況（顯 示爲圖2中之液滴3 S)，則在基板上難以辨別。 但是，就像也能夠從圖3看出，越近所沉積之液滴， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇x29f公釐）- ---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 -21 - 559597 A7 B7 五、發明説明（19) 亦即，那些尙未從濕的情況（液滴被沉積於此濕的情況中）中 取得乾的情況的液滴，係相對容易辨別。也能夠從此圖形 看出，在越近所沉積之液滴的兩列4〇，42中，最後所沉積 之液滴44係最可以看見的，可見性因爲沉積而隨著時間的 增加而減少。 已知經由適當的成像系統之使用，物體能夠被看作是’ 明視場’或’暗視場’。 圖5顯示在濕的情況下基板上之聚合物材料的液滴Dw 。如圖6所示，如果從基板的下側藉由明視場影像光學配 置來觀看濕的液滴Dw，則來自成像光源的光線進入液滴， 那些沒有和液滴之中心軸重合的光線經歷內部反射，但是 ，在液滴之中心軸的區域中，液滴之上側表面實際上係平 行於基板。因此，那些通過液滴之中心軸附近的光線能夠 經由中心軸之在此區域中的上側表面而離開液滴。因此， 當觀看液滴時，他看起來像是靠在黑暗圓形地面區域上之 非常明亮的光點，被明視場背景所包圍著，如圖7所示。 在影像之中心的亮點實際上係和液滴之中心軸重合，此明 視場影像因此能夠被有利地用來決定液滴已經被沉積之準 確度。 圖8顯示該液滴，一旦他已經到達乾的情況，以Dd來 予以表示。能夠看到，半球形濕的液滴DW已經假設了相對 扁平之薄碟片的形狀。如果使用玻璃基板，則乾的液滴具 有實際上和基板材料相同的折射率。在此情況中，光線的 輕微散射發生，其僅在液滴的邊緣引起輕微的對比，而這 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2】0Χ 297公楚：） 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線 經濟部智慈財產局資工消費合作社印製 -22- 559597 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7五、發明説明（20) 使得乾的液滴相對難以偵測。但是，如果基礎和所沉積之 材料的個別折射率不同，並且如果圖7所示之明視場成像 系統被用來觀看乾了的液滴Dd，則光線通入液滴中，但是 在液滴的遠側處經歷反射，所反射之光線彼此干涉，並且 產生各種顏色的干涉環，而顏色係視液滴的厚度而定，此 影像被示意顯示於圖9中，此影像顯示爲經著色的干涉環 ，其傾向於在所觀看的影像中彼此合倂。因此，相對難以 爲所觀看之影像辨識尖銳的外形輪廓。從圖7中所示之濕 的液滴明視場影像與圖9中所示之乾的液滴明視場影像之 間的比較很容易看出，使用圖7之影像比使用圖9之影像 更容易檢查所沉積之液滴的對齊。 圖1 〇顯示一暗視場成像系統，並且如果以此系統來觀 看圖5中所示之濕的液滴Dw，則來自光源的光線進入液滴 ，而且在濕的液滴之材料內經歷反射，在液滴的邊緣發生 一些光線的散射，而因此濕的液滴看起來像是靠在暗的背 景上之具有暗的中心之明亮但淸晰的角環。因爲此亮環係 淸晰的，所以圖11所示之影像遠比圖11所示之乾液滴的 明視場影像還更有利使用來檢查所沉積之液滴的對齊。 如果以圖1 〇所示之暗視場成像系統來觀看圖8所示之 乾的液滴Dd，則撞擊在液滴上的大部分光線被散射，並通 過成像透鏡之視野的外側’因此乾了的液滴Dd看起來非常 像是靠在暗的背景上之僞裝的圓形影像，而且此影像係非 常難以看見，並且不被用來檢查液滴對齊。. 從上面用於乾及濕的液滴之明及暗視場影像，能夠領 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ^ -23- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 559597 A7 B7 五、發明説明（21) 會到，如果在原位觀看所沉積之液滴，而同時他們仍然處 於濕的情況中，則能夠提供顯著且意想不到的好處。原位 觀看能夠使用圖1所示之裝置來予以實施，但是，當在圖1 中所觀看的，有機聚合物材料被沉積於基板的上側表面上 ’而因此，對於原位觀看來說，必須透過基板來觀看聚合 物材料的沉積。如果以光來照明基板，則能夠更容易地觀 看液滴。當經由基板來觀看材料時，第一需要因此爲基板 在被用來觀看之光的波長處係透明的。當基板爲玻璃或透 明塑膠基板時，能夠使用可見光或較長的波長輻射，當基 板係由矽所做的時，能夠使用紅外光，其波長大於K i微米 〇 對於藉由噴墨技術所印刷之共軛聚合物的原位觀看來 說，也有第二種考慮。共軛聚合物之光吸收及光照射（發光） 的特性被顯示於圖1 1中，從圖1 1能夠看到，吸收及發光 特性有一重疊區域，共軛聚合物將會吸收以改變角度，光 入射於具有波長小於λ 1的聚合物，這被顯示做爲圖1 1中 的吸收區，共軛聚合物僅對具有波長大於λ !之入射光爲透 明的，而這被顯示做爲圖1 1中的透明區。 共軛聚合物鏈被顯示於圖1 4中，並且沿著此鏈存在有 非定域7Γ鍵合軌道電子，相較於也存在於聚合物鏈中的Σ (sigma)鍵合電子，這些電子具有相對窄的能帶隙。如果共 軛聚合物吸收紫外光（UV)或可見光，則7Γ鍵合電子從7Γ鍵 合軌道（基態（grand state))被激發至7Γ *反鍵合軌道（激態）， 如圖1 5所示。相對於原子之間的π鍵合，激態比基態不穩 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 線

經濟部智慧財產苟3工消費合作社印製 -24- 559597 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（22) 定，如果氧原子出現，而且此激發發生，則；2·鍵合被破壞 ，並且部分鍵合發生在周圍氣體中的氧原子與共轭聚合物 的碳原子之間，產生圖1 6中所示之經光氧化的聚合物。此 鍵合能夠發生於當共軛聚合物之周圍氣體中有氧原子，並 且共軛聚合物所暴露之光具有用於共軛聚合物之吸收區中 的分量，亦即，具有圖Η中所示之波長小於λ i的分量時 〇 氧與碳原子間之鍵合使共軛聚合物變差，其導致 LED’s中較低的發光效率及用於有機薄膜電晶體（TFT，s)之 較低的電荷遷移率。避免此聚合物變差的其中一個選項爲 在不含氧的大氣下印刷共軛聚合物，這需要將圖1所示之 裝置置放於一室中，而在該室中，該室內之周圍氣體能夠 被很小心地控制以確保沒有氧氣出現。但是，這增加了程 序複雜性，此外，亦增加了製造成本。因此，將用於原位 觀看之光的波長控制在共軛聚合物的透明區中（亦即，波長 大於圖1 1所示之λ 0係更可實現的提議。 當製造一多重顏色顯示器時，紅光發射聚合物具有最 窄的能帶隙（用於吸收邊緣之最長的波長λ 0。在此情況中 ，在用於液滴沉積之原位觀看的成像系統中所使用之光不 應該含有一光譜成分，此光譜成分具有比用於紅光發射聚 合物之吸收邊緣波長還短的波長·。此外，用於偵測之CCD 之矽偵測器的靈敏度隨著所使用之光的波長的增加而減小 ，並且當入射光具有約1. 1 // m之波長時變成透明的，已經 發現約900 nm的波長繼續將可接受之靈敏度提供給CCD。 ^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線 -25- 559597 A7 ___B7_ 五、發明説明（23) 因此，對於多重顏色顯示器來說，應該使用具有範圍約600 ηπι到約900 nm之波長的深紅光或紅外光，以避免光氧化 ’且因此使紅光發射聚合物變差，而同時致能用於偵測之 C CD的有效使用。 有了本發明，因爲在取得乾的狀態之前可能有所沉積 之液滴的原位觀看，所以能夠更容易看到在所沉積之液滴 與組排結構中之井間的任何偏移。此外，當在沉積周期的 整個期間能夠連續或周期性地監視在所沉積之材料中的可 能偏移時，藉由電腦控制之電動機驅動的支座1 6，可以很 快速地偵測到在偏移上任何超過可容許限制的增加，並且 可以提供機床工作台與噴墨頭間之適當的位置補償。如果 認爲噴墨頭之噴嘴的淸潔係適當的，則沉積機器（做爲替換 或者外加於偏移控制）可以爲噴墨頭實施一清潔周期，如此 之系統被顯示於圖1 7中。 圖18係一例舉主動矩陣型顯示裝置（或設備）的方塊圖 ，其倂入電光元件（例如，有機電致發光元件）做爲電光裝置 的較佳實施例，以及一定址方案，其可以使用本發明之方 法或設備來予以製造。在此圖形所示之顯示裝置200中， 多條掃描線”gate”、多條資料線”sig”（延伸於和掃描線 ”gate”之方向交叉的方向上）、多條共同電源線”com”（實際 上和資料線”sig”平行延伸）、多個圖素201(位於資料線 ”sig”和掃描線”gate”的交叉點），他們構成上面的基板。 各圖素201包括一第一 TFT 202(掃描訊號經由掃描閘 極而自第一 TFT 202被供應至閘極電極）、一保持電容器 本紙張尺度適^中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' -26- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部智延財產局員工消費合作社印焚 559597 A7 B7 五、發明説明（24) ”cap”（其保持經由第一 TFT 202而供應自資料線” Sig”的影 像訊號）、一第二TFT 2〇3(其中，由保持電容器” cap”所保 持之影像訊號被供應至閘極電極（第二閘極電極））、以及一 電光元件204，例如一電致發光元件（被表示成電阻器），而 當元件204經由第二TFT 203而被電連接至共同電源線 ”com”時，驅動電流從共同電源線”com”流入電光元件2〇4 中。掃描線” g at e”被連接至第一驅動器電路2 0 5，且資料線 ” sig”被連接至第二驅動器電路206。至少其中一第一電路 2〇5及桌一電路205較佳被形成在基板的上方，而第一 TFTs 202及第二TFTs 203被形成於其上。由依據本發明之 方法所製造的TFT陣列能夠被較佳地應用於一陣列之第一 TFTs 202及第二TFTs 2 03、第一驅動器電路205、及第二 驅動器電路2 0 6的至少其中一者。 因此，本發明可以被使用來製造顯示器及其他裝置， 而他們被倂入於許多類型之設備中，諸如，可移動式顯示 器，例如可移動式電話、膝上型個人電腦、DVD播放器、 照像機、場設備；可攜式顯示器，例如桌上型電腦、C C T V 或相片本；儀表板，例如車輛或飛行器儀表板；或工業顯 示器，例如控制室設備顯示器。換言之，如上面所注意到 的，被應用到由依據本發明之方法所製造之TFT陣列的電 光裝置或顯不器能夠被倂入於許多類型之設備中，如同上 面所例示的。 現在將敘述使用依據本發明所製造之電光顯示裝置的 各種電子設備。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------訂------線

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -27 - 經濟部智竑財產局員工消费合作社印製 559597 A7 B7 五、發明説明（25) <1:可移動式電腦> 現在將敘述依據本發明上面實施例的其中一個所製造 之顯示裝置被應用於可移動式個人電腦的例子。 圖1 9係一例舉此個人電腦之組態的等量圖。在此圖形 中，個人電腦1 100被設置有一本體1104，而本體1 104包 含鍵盤1 102及顯示單元1 1〇6。如上所述，顯示單元1 106 係使用依據本發明之圖案化方法所製造的顯示面板來予以 實施的。 <2:可攜式電話〉 接著，將敘述此顯示裝置被應用於可攜式電話之顯示 部分的例子。圖20係例舉此可攜式電話之組態的等量圖。 在此圖形中，可攜式電話1 200被設置有多個操作鍵1202、 一受話器1 204、一受話器1206、及一顯示面板100。如上 所述，此顯示面板1 〇〇係使用依據本發明之方法所製造的 顯示面板來予以實施的。 <3:數位靜態照像機> 接著，將敘述使用OEL顯示裝置做爲檢像器的數位靜 態照像機，圖21係槪略例舉此數位靜態照像機及對外部裝 置之連接的等量圖。 典型的照像機使用具有感光塗劑之感光底片，並藉由 在感光塗劑上造成化學變化來記錄物體的光學影像，而數 位靜態照像機藉由使用例如電荷耦合裝置（CCD)之光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-28- 559597 A7 B7 五、發明説明（26) 電轉換，從物體的光學影像產生成像訊號。數位靜態照像 機1 3 00在其外殻1 302的背面設置有一 OEL元件100，以 根據來自CCD之成像訊號而實施顯示。因此，顯示面板 1〇〇用作用以顯示物體之檢像器，一包含光學透鏡及CCD 之光接受單元1 3 04被設置於外殼1 302的前側（在圖形的後 面）。 當攝影師決定在OEL元件面板100中所顯示的物體影 像並鬆開快門時，來自CCD之影像訊號被傳送且儲存於電 路板1 3 08中的記憶體。在數位靜態照像機1 3 00中，資料 通訊用的視頻訊號輸出端子1 3 1 2及輸入/輸出端子1 3 1 4被 設置於外殼1 3 02的一側上。如圖形中所示，一電視機監視 器1430及一個人電腦1 440視需要而分別被連接至視頻訊 號端子1312及輸入/輸出端子1314，儲存在電路板1 3 08之 記憶體中的成像訊號藉由給定的操作而被輸出至電視機監 視器1 43 0及個人電腦1440。 除了圖1 9中所示之個人電腦、圖20中所示之可攜式 電話、及圖21中所示之數位靜態照像機以外，其他的電子 設備例子包含OEL元件電視機、取景器型及監視型錄影帶 記錄器、車輛導航及器械系統、傳呼機、電子筆記本、可 攜式計算機、文字處理器、工作站、TV電話、銷售點 (point-of-sales)系統（POS)終端機、以及設置有觸控面板之 裝置。當然，使用本發明之方法所製造的0EL裝置不僅能 夠被應用於這些電子設備的顯示部分，而且也能夠被應用 到結合顯不部分之任何其他型式的設備。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項存填寫本買) 装'

1T 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -29- 559597 A7 B7 五、發明説明（27) l·: t衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此外，依據本發明所製造的顯示裝置也適合用於螢幕 型大面積電視，其係非常薄、可燒且重量輕。因此，有可 能將如此之大面積電視黏著或懸掛於牆壁上，當沒有使用 時，此可撓性電視視需要而能夠便利地被捲起來。 印刷電路板也可以使用本發明的技術來予以製造。習 知印刷電路板係藉由微影及蝕刻技術來予以製造的，其增 加製造成本，雖然他們是比其他的微電子裝置（例如，1C晶 片或被動裝置）更成本導向的裝置。達成高密度封裝也需要 高解晰度圖案化，使用本發明能夠很容易且可靠地達成電 路板上的高解晰度互連。 用於彩色顯示應用之濾色器也可以使用本發明來予以 提供，含有染料或色素之液體的液滴被準確地沉積於基板 之所選擇的區域上。一矩陣格式常常被使用，而液滴彼此 非常地鄰近，因此，證明原位觀看係極爲有利的。在乾燥 之後，液滴中的染料或色素用作過濾器層。 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 DNA感應器陣列晶片也可以使用本發明來予以提供， 含有不同的DNAs之溶液被沉積在一陣列的接收場所上， 而該等接收場所係由如同由晶片所提供之小間隙所隔開。 僅藉由舉例說明來提出前面的敘述，並且對於習於此 技者而言，將可領會修正能夠被做成，而沒有違離本發明 的範疇。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2】0 x 297公釐） -30-

Claims (1)

1. 559597 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 附件2 : 第91 120483號專利申請案修正後無劃線之 中文申請專利範圍替 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ JiiLn a mL 1、 一種使用噴墨印刷頭來選擇性地沉積呈一系列液滴 狀之材料於基板之第一表面上的方法，該方法包括經由基 板之相對於第一表面的另一表面來偵測第一表面上的液滴 〇 2、 如申請專利範圍第1項之方法，其中，液滴被·偵測 於沉積材料從溼的狀態改變爲乾的狀態之前。 3、 如申請專利範圍第1項之方法，其中，液滴被偵測 於當他們沉積於基板的第一表面上時。 4、 如申請專利範圍第1，2或3項之方法，包括將用來 容納所沉積之液滴的經預先圖案化之結構提供給基板的第 一表面。 f 5、 如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法，其 中，所沉積之液滴係以電荷耦合裝置來予以偵測的。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 6、 如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法，包 括使基板支撐於電動機驅動的機床工作台上，而電動機驅 動的機床工作台被配置而相對於噴墨頭移動。 7、 如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法，包 括提供基板當作玻璃、矽或塑膠材料的剛性基板。 8、 如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法，包 括提供基板當作可撓性塑膠基板。 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 559597 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 9、如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法，其 中’材料包括共軛聚合物。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 〇、如申請專利範圍第9項之方法，包括以一波長的 光來照射基板的另一表面’而當偵測液滴沉積於第一表面 上時’基板對該波長而言實際上係透明的。 11、 如申請專利範圍第1 〇項之方法，包括照射另一表 面’以使所沉積之液滴係藉由觀看爲明視場影像來予以偵 測的。 12、 如申請專利範圍第1 〇項之方法，其中，該光·被選 擇而具有大於共軛聚合物之吸收邊緣波長的波長。 13、 如申請專利範圍第12項之方法，其中，該光具有 在從約600 nm到約900 nm之範圍中的波長。 14、 如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法， 包括在所沉積之可溶性材料從溼的狀態改變爲乾的狀態之· 前，根據液滴的偵測來控制噴墨頭與基板之間的相對位置 〇 1 5、如申請專利範圍第1項到第3項任一項之方法， 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 包括在所沉積之可溶性材料從溼的狀態改變爲乾的狀態之 前，根據液滴的偵測而爲噴墨頭實施一淸潔周期。 1 6、一種顯示裝置的製造方法，其包括使用如申請專 利範圍第1項到第1 5項任一項之方法來製造發光元.件。 1 7、一種共軛聚合物薄膜電晶體的製造方法，其使用 如申請專利範圍第1項到第1 5項任一項之方法。 1 8、一種噴墨蝕刻方法，其使用如申請專利範圍第1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -2 - 559597 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 項到第1 5項任一項之方法。 (請先聞讀背面之注^>項再填寫本頁) 1 9、一種濾色器的製造方法，其使用如申請專利範圍 第1項到第1 5項任一項之方法。 20、 一種顯示裝置，其包括使用如申請專利範圍第1 項到第1 5項任一項之方法所製造的發光元件。 21、 一種電子、光電子、光學或感測器裝置，其係使 用如申請專利範圍第1項到第1 5項任一項之方法來予以製 造的。 22、 一種噴墨裝置，包括一噴墨頭，用以選擇性_地沉 積一系列之液滴的材料於基板之第一表面上；支撐機構， 用以支撐基板並且被配置而相對於噴墨頭移動；及偵測機 構，用以經由基板之相對於第一表面的另一表面來偵測第 一表面上的液滴。 23、 如申請專利範圍第22項之噴墨裝置，其中，該偵· 測機構包括電荷耦合裝置。 24、 如申請專利範圍第22或23項之噴墨裝置，其中 ，該偵測機構被配置來致能材料之液滴沉積於基板的第一 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 表面上係藉由觀看爲明視場影像來予以偵測的。 25、 如申請專利範圍第22或23項之噴墨裝置，其中 ，該偵測機構包括光機構，用來以具有一波長之光照射基 板，而該基板對該波長而言實際上係透明的。 26、 如申請專利範圍第25項之噴墨裝置，其中，該材 料包括共軛聚合物，並且該光具有大於該共軛聚合物之吸 收邊緣波長的波長。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3- 559597 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 27、 如申請專利範圍第22或23項之噴墨裝置，包括 控制機構，用以根據基板之第一表面上的液滴之偵測來控 制噴墨頭與基板之間的相對位置。 28、 如申請專利範圍第22或23項之噴墨裝置，另包 括控制機構，用以根據基板之第一表面上的液滴之偵測而 爲噴墨頭實施一淸潔周期。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4-