JP2000094652A - マーキング装置 - Google Patents
マーキング装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】試料の０．１ｍｍ以内の微小領域をマーキング
することと、マーキングした微小領域を案内する目印を
付けることとが可能な装置を提供することを課題とす
る。 【解決手段】試料の微小領域を決定する顕微観察手段
と、インクジェット方式の微小印字ユニットと、微小印
字ユニットの微小印字ヘッドまで試料を移動する試料移
動手段と、試料移動手段及び微小印字ユニットを制御す
ることによって、決定された微小領域にマーク付けし、
そのマークへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける
制御手段とを具備することを特徴とするマーキング装
置。
することと、マーキングした微小領域を案内する目印を
付けることとが可能な装置を提供することを課題とす
る。 【解決手段】試料の微小領域を決定する顕微観察手段
と、インクジェット方式の微小印字ユニットと、微小印
字ユニットの微小印字ヘッドまで試料を移動する試料移
動手段と、試料移動手段及び微小印字ユニットを制御す
ることによって、決定された微小領域にマーク付けし、
そのマークへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける
制御手段とを具備することを特徴とするマーキング装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微小領域を観察・
分析する装置又は方法に関し、特に、微小領域を特定す
るために行うマーキングに関する。
分析する装置又は方法に関し、特に、微小領域を特定す
るために行うマーキングに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の微小領域の観察・分析を行う技術
の急速な進歩により、トンネル電子顕微鏡（ＳＴＭ）や
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）など、数多くの新しい微小領
域観察・分析手段が提案されかつ開発されてきている。
それらはまた、互いに特徴的な機能と測定量を持ち相補
的である。それゆえ、現在では、新材料開発において幾
種類もの観察・分析手段が併用されることが多い。
の急速な進歩により、トンネル電子顕微鏡（ＳＴＭ）や
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）など、数多くの新しい微小領
域観察・分析手段が提案されかつ開発されてきている。
それらはまた、互いに特徴的な機能と測定量を持ち相補
的である。それゆえ、現在では、新材料開発において幾
種類もの観察・分析手段が併用されることが多い。
【０００３】このような場合、異なった微小領域観察・
分析手段によって、同一試料の同一領域を解析すること
が重要であるが、微小領域であるが故に、一度観察・分
析装置の試料台から外してしまうと、再度同一領域を探
し出すことは容易ではなく、実際には別の領域を観察・
分析することが少なくない。
分析手段によって、同一試料の同一領域を解析すること
が重要であるが、微小領域であるが故に、一度観察・分
析装置の試料台から外してしまうと、再度同一領域を探
し出すことは容易ではなく、実際には別の領域を観察・
分析することが少なくない。
【０００４】しかしながら、たとえ同一試料であっても
観察領域が異なると材料の物性が異なることが考えら
れ、微小領域を特定するために、試料の微小部分に観察
領域をマーキングする装置が求められている。
観察領域が異なると材料の物性が異なることが考えら
れ、微小領域を特定するために、試料の微小部分に観察
領域をマーキングする装置が求められている。
【０００５】従来より観察領域を特定する方法として、
光学顕微鏡のレボルバー部分に対物レンズの替わりにイ
ンクスタンパーを取り付け、それにより内径約２ｍｍの
円形のマークをスタンプする装置が提案されて来てい
る。しかし、最近の観察・分析領域の微細化のため、ｍ
ｍオーダーの領域指定では十分ではない。例えば、現在
一般的に使われている原子間力顕微鏡の中には、試料台
へのセット後には試料面内で±１００μｍしか観察領域
の移動が出来ないものが多く、従って少なくとも０．１
ｍｍ以内での領域指定が求められている。
光学顕微鏡のレボルバー部分に対物レンズの替わりにイ
ンクスタンパーを取り付け、それにより内径約２ｍｍの
円形のマークをスタンプする装置が提案されて来てい
る。しかし、最近の観察・分析領域の微細化のため、ｍ
ｍオーダーの領域指定では十分ではない。例えば、現在
一般的に使われている原子間力顕微鏡の中には、試料台
へのセット後には試料面内で±１００μｍしか観察領域
の移動が出来ないものが多く、従って少なくとも０．１
ｍｍ以内での領域指定が求められている。
【０００６】さらに、０．１ｍｍ以内での領域指定を行
った装置から取り出した試料を、次の装置にセットする
際に、その指定領域を案内する肉眼で識別可能な目印
も、その指定領域が微小なだけに、必要となる。
った装置から取り出した試料を、次の装置にセットする
際に、その指定領域を案内する肉眼で識別可能な目印
も、その指定領域が微小なだけに、必要となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の事情
に鑑みて考えられたものであり、その課題とするところ
は、試料の０．１ｍｍ以内の微小領域をマーキングする
ことと、マーキングした微小領域を案内する目印を付け
ることとが可能な装置を提供することである。
に鑑みて考えられたものであり、その課題とするところ
は、試料の０．１ｍｍ以内の微小領域をマーキングする
ことと、マーキングした微小領域を案内する目印を付け
ることとが可能な装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明において上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、試料の微
小領域を決定する顕微観察手段と、微小の印字をする微
小印字ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッド
まで試料を移動する試料移動手段と、試料移動手段及び
微小印字ユニットを制御することによって、決定された
微小領域にマーク付けし、そのマークへ案内する肉眼で
認識可能なマークを付ける制御手段とを具備することを
特徴とするマーキング装置としたものである。
を達成するために、まず請求項１の発明では、試料の微
小領域を決定する顕微観察手段と、微小の印字をする微
小印字ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッド
まで試料を移動する試料移動手段と、試料移動手段及び
微小印字ユニットを制御することによって、決定された
微小領域にマーク付けし、そのマークへ案内する肉眼で
認識可能なマークを付ける制御手段とを具備することを
特徴とするマーキング装置としたものである。
【０００９】また請求項２の発明では、試料の微小領域
を決定する顕微観察手段と、微小の印字をする微小印字
ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッドを試料
まで移動する微小印字ユニット移動手段と、微小印字ユ
ニット移動手段及び微小印字ユニットを制御することに
よって、決定された微小領域にマーク付けし、そのマー
クへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける制御手段
とを具備することを特徴とするマーキング装置としたも
のである。
を決定する顕微観察手段と、微小の印字をする微小印字
ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッドを試料
まで移動する微小印字ユニット移動手段と、微小印字ユ
ニット移動手段及び微小印字ユニットを制御することに
よって、決定された微小領域にマーク付けし、そのマー
クへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける制御手段
とを具備することを特徴とするマーキング装置としたも
のである。
【００１０】また請求項３の発明では、試料の微小領域
を決定する顕微観察手段と、インクジェット方式の微小
印字ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッドま
で試料を移動する試料移動手段と、試料移動手段及び微
小印字ユニットを制御することによって、決定された微
小領域にマーク付けし、そのマークへ案内する肉眼で認
識可能なマークを付ける制御手段とを具備することを特
徴とするマーキング装置としたものである。
を決定する顕微観察手段と、インクジェット方式の微小
印字ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッドま
で試料を移動する試料移動手段と、試料移動手段及び微
小印字ユニットを制御することによって、決定された微
小領域にマーク付けし、そのマークへ案内する肉眼で認
識可能なマークを付ける制御手段とを具備することを特
徴とするマーキング装置としたものである。
【００１１】また請求項４の発明では、試料の微小領域
を決定する顕微観察手段と、インクジェット方式の微小
印字ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッドを
試料まで移動する微小印字ユニット移動手段と、微小印
字ユニット移動手段及び微小印字ユニットを制御するこ
とによって、決定された微小領域にマーク付けし、その
マークへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける制御
手段とを具備することを特徴とするマーキング装置とし
たものである。
を決定する顕微観察手段と、インクジェット方式の微小
印字ユニットと、微小印字ユニットの微小印字ヘッドを
試料まで移動する微小印字ユニット移動手段と、微小印
字ユニット移動手段及び微小印字ユニットを制御するこ
とによって、決定された微小領域にマーク付けし、その
マークへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける制御
手段とを具備することを特徴とするマーキング装置とし
たものである。
【００１２】また請求項５の発明では、微小領域に付け
るマークが０．１ｍｍ角以内であることを特徴とする請
求項１〜４の中の何れか１項のマーキング装置としたも
のである。
るマークが０．１ｍｍ角以内であることを特徴とする請
求項１〜４の中の何れか１項のマーキング装置としたも
のである。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明装置は、顕微観察手段によ
って決定された微小領域に対して、その微小領域を特定
するために、マーキングを行う。以後、この微小領域に
対するマーキングのことを、マイクロマーキングと呼ぶ
ことにする。そして、本発明装置は、その装置から取り
出した試料を次の装置にセットする際に、マイクロマー
キングを行った微小領域に案内するために、肉眼で容易
に認識可能な大きなマークをも印字する。以後、この微
小領域に案内するための肉眼で容易に認識可能な大きな
のマークを印字することをマクロマーキングと呼ぶこと
にする。
って決定された微小領域に対して、その微小領域を特定
するために、マーキングを行う。以後、この微小領域に
対するマーキングのことを、マイクロマーキングと呼ぶ
ことにする。そして、本発明装置は、その装置から取り
出した試料を次の装置にセットする際に、マイクロマー
キングを行った微小領域に案内するために、肉眼で容易
に認識可能な大きなマークをも印字する。以後、この微
小領域に案内するための肉眼で容易に認識可能な大きな
のマークを印字することをマクロマーキングと呼ぶこと
にする。
【００１４】このような要求に答えるために、本発明装
置ではインクジェット方式の微小印字ユニットを用い
る。インクジェット方式は、インクノズル径の微小化に
より現在では直径がミクロン程度のインク粒子の射出が
行え、これにより試料表面に、１０ミクロン程度のスポ
ット印字が可能である。さらに、インクジェット方式
は、圧力や発熱によってインクタンクにかけるパワーを
変えることで、マイクロマーキングからマクロマーキン
グまでが１つの印字ヘッドで実施可能である。また、イ
ンクジェット方式は他の印字方式に比べてシステムが安
価であり、従って比較的安価なマーキング装置を作るこ
とが可能である。
置ではインクジェット方式の微小印字ユニットを用い
る。インクジェット方式は、インクノズル径の微小化に
より現在では直径がミクロン程度のインク粒子の射出が
行え、これにより試料表面に、１０ミクロン程度のスポ
ット印字が可能である。さらに、インクジェット方式
は、圧力や発熱によってインクタンクにかけるパワーを
変えることで、マイクロマーキングからマクロマーキン
グまでが１つの印字ヘッドで実施可能である。また、イ
ンクジェット方式は他の印字方式に比べてシステムが安
価であり、従って比較的安価なマーキング装置を作るこ
とが可能である。
【００１５】本発明装置は、顕微観察手段と微小印字ユ
ニットの微小印字ヘッドとの位置関係は予め定められて
いおり、その間を試料が精密ステージによって移動す
る。すなわち、顕微観察手段による微小領域の決定後、
精密ステージが試料を微小印字ヘッドの位置まで移動さ
せる。そして、制御手段が精密ステージと微小印字ユニ
ットを制御して、試料上に、観察すべき微小領域にマイ
クロマーキングし、続いて、その微小領域を案内するた
めにマクロマーキングする。このとき、試料を移動する
代わりに、顕微観察手段を除けて、微小印字ユニットの
微小印字ヘッドを試料の位置まで移動しても良い。ま
た、マイクロマーキングを先に行い、その後にマクロマ
ーキングを行っても良い。
ニットの微小印字ヘッドとの位置関係は予め定められて
いおり、その間を試料が精密ステージによって移動す
る。すなわち、顕微観察手段による微小領域の決定後、
精密ステージが試料を微小印字ヘッドの位置まで移動さ
せる。そして、制御手段が精密ステージと微小印字ユニ
ットを制御して、試料上に、観察すべき微小領域にマイ
クロマーキングし、続いて、その微小領域を案内するた
めにマクロマーキングする。このとき、試料を移動する
代わりに、顕微観察手段を除けて、微小印字ユニットの
微小印字ヘッドを試料の位置まで移動しても良い。ま
た、マイクロマーキングを先に行い、その後にマクロマ
ーキングを行っても良い。
【００１６】以下、２つの実施例を説明することで、本
発明装置の実施の形態を詳細に説明する。
発明装置の実施の形態を詳細に説明する。
【００１７】
【実施例】＜実施例１＞本発明装置の実施例１を、図１
〜図３を用いて詳細に説明する。
〜図３を用いて詳細に説明する。
【００１８】先ず図１に示すように、インクジェットヘ
ッド１を光学顕微鏡６の隣に配置し、両者の間をｘステ
ージ３を用い、試料台１０が移動可能なようにした。イ
ンクジェットヘッドの印字点と光学顕微鏡の観察点との
間の距離はあらかじめ求めてある。
ッド１を光学顕微鏡６の隣に配置し、両者の間をｘステ
ージ３を用い、試料台１０が移動可能なようにした。イ
ンクジェットヘッドの印字点と光学顕微鏡の観察点との
間の距離はあらかじめ求めてある。
【００１９】インクジェット方式としてパーマネントフ
ロー方式を用いた場合、インクジェットヘッド１の内部
は、図２に示すようになっている。すなわち、インクノ
ズル１１から発射されたインク粒子は、帯電用電極１２
によって帯電し、偏向電極１３に印加された電圧による
電場に応じて軌跡１６を取り試料表面に到達する。偏向
電極１３に電圧が印加されない時、インク粒子は軌跡１
４を取り直進し、インク溜め１５に集まる。集まったイ
ンクは、インク制御ユニット２内のインクタンクに戻さ
れ、再びインクノズル１１に送られる。
ロー方式を用いた場合、インクジェットヘッド１の内部
は、図２に示すようになっている。すなわち、インクノ
ズル１１から発射されたインク粒子は、帯電用電極１２
によって帯電し、偏向電極１３に印加された電圧による
電場に応じて軌跡１６を取り試料表面に到達する。偏向
電極１３に電圧が印加されない時、インク粒子は軌跡１
４を取り直進し、インク溜め１５に集まる。集まったイ
ンクは、インク制御ユニット２内のインクタンクに戻さ
れ、再びインクノズル１１に送られる。
【００２０】光学顕微鏡６の観察像はＣＣＤカメラ４と
パソコン７を通じてＣＲＴディスプレイ８上に表示され
る。試料の観察すべき微小領域は、このＣＲＴディスプ
レイ８上で選択したマーキングパターン９を用いて決定
する。次いで、試料を乗せた試料台１０をインクジェッ
トヘッド１の印字点まで移動させ、ｘステージ３とイン
ク制御ユニット２をパソコン７で制御することにより、
観察すべき微小領域を試料上にマーキングした。
パソコン７を通じてＣＲＴディスプレイ８上に表示され
る。試料の観察すべき微小領域は、このＣＲＴディスプ
レイ８上で選択したマーキングパターン９を用いて決定
する。次いで、試料を乗せた試料台１０をインクジェッ
トヘッド１の印字点まで移動させ、ｘステージ３とイン
ク制御ユニット２をパソコン７で制御することにより、
観察すべき微小領域を試料上にマーキングした。
【００２１】図３に試料上にマーキングした例を示す。
実際の試料を見たとき、Ａのように微小領域の番号と点
線のみが見える。点線１の先端を光学顕微鏡で拡大した
のがＢであって、約１０μｍ径のインクスポットに囲ま
れた１００μｍ角の領域が明確に確認できる。これによ
って、上で決定した微小領域を探し出すことが、容易に
可能である。
実際の試料を見たとき、Ａのように微小領域の番号と点
線のみが見える。点線１の先端を光学顕微鏡で拡大した
のがＢであって、約１０μｍ径のインクスポットに囲ま
れた１００μｍ角の領域が明確に確認できる。これによ
って、上で決定した微小領域を探し出すことが、容易に
可能である。
【００２２】以上の説明から理解できるように、実施例
１では、光学顕微鏡６とＣＣＤカメラ４とパソコン７と
ＣＲＴディスプレイ８とが顕微観察手段の構成要素とな
っている。インクジェットヘッド１とインク制御ユニッ
ト２が微小印字ユニットを構成し、インクジェットヘッ
ド１が微小印字ヘッドに対応する。試料台１０とｘステ
ージ３とステージコントローラー５が試料移動手段を構
成する。そして、パソコン７が制御手段に対応する。
１では、光学顕微鏡６とＣＣＤカメラ４とパソコン７と
ＣＲＴディスプレイ８とが顕微観察手段の構成要素とな
っている。インクジェットヘッド１とインク制御ユニッ
ト２が微小印字ユニットを構成し、インクジェットヘッ
ド１が微小印字ヘッドに対応する。試料台１０とｘステ
ージ３とステージコントローラー５が試料移動手段を構
成する。そして、パソコン７が制御手段に対応する。
【００２３】尚、本実施例では、試料の観察すべき微小
領域を決定するための手段として光学顕微鏡６を用いた
が、他の手段として、電子顕微鏡、走査プローブ顕微鏡
を用いても良い。また、本実施例ではインクジェット方
式としてパーマネントフロー方式を用いたが、例えば、
ドロップ・オン・デマンドなど別のインクジェット方式
を用いても良い。
領域を決定するための手段として光学顕微鏡６を用いた
が、他の手段として、電子顕微鏡、走査プローブ顕微鏡
を用いても良い。また、本実施例ではインクジェット方
式としてパーマネントフロー方式を用いたが、例えば、
ドロップ・オン・デマンドなど別のインクジェット方式
を用いても良い。
【００２４】＜実施例２＞本発明装置の実施例２を、図
４を用いて詳細に説明する。
４を用いて詳細に説明する。
【００２５】実施例１では、インクジェットヘッド１を
光学顕微鏡６の隣に配置したが、図４のように、光学顕
微鏡６のレボルバー１８に１つの対物レンズの替わりに
インクジェットヘッド１を取り付けても同じ効果が期待
できる。この場合、観察すべき微小領域のマイクロマー
キングは試料台に取り付けてあるｘ−ｙステージ１７を
パソコン７で制御して行う。新たに移動のためのステー
ジを追加することなく、既存の光学顕微鏡に取り付けが
可能であり、安価かつ省スペースである。
光学顕微鏡６の隣に配置したが、図４のように、光学顕
微鏡６のレボルバー１８に１つの対物レンズの替わりに
インクジェットヘッド１を取り付けても同じ効果が期待
できる。この場合、観察すべき微小領域のマイクロマー
キングは試料台に取り付けてあるｘ−ｙステージ１７を
パソコン７で制御して行う。新たに移動のためのステー
ジを追加することなく、既存の光学顕微鏡に取り付けが
可能であり、安価かつ省スペースである。
【００２６】以上の説明から理解できるように、実施例
２では、光学顕微鏡６とＣＣＤカメラ４とパソコン７と
ＣＲＴディスプレイ８とが顕微観察手段の構成要素とな
っている。インクジェットヘッド１とインク制御ユニッ
ト２が微小印字ユニットを構成し、インクジェットヘッ
ド１が微小印字ヘッドに対応する。ｘ−ｙステージ１７
とステージコントローラー５が試料移動手段を構成す
る。そして、パソコン７が制御手段に対応する。
２では、光学顕微鏡６とＣＣＤカメラ４とパソコン７と
ＣＲＴディスプレイ８とが顕微観察手段の構成要素とな
っている。インクジェットヘッド１とインク制御ユニッ
ト２が微小印字ユニットを構成し、インクジェットヘッ
ド１が微小印字ヘッドに対応する。ｘ−ｙステージ１７
とステージコントローラー５が試料移動手段を構成す
る。そして、パソコン７が制御手段に対応する。
【００２７】尚、インクジェットヘッド１自体に小型の
印字位置移動又は制御機能を備えても良く、そうすれば
試料台側のｘ−ｙステージ１７は不必要になる。これ
は、インクジェットヘッド１に微小な移動ステージを組
み込むか、２次元のインク粒子偏向電極を用いることに
よって実現可能である。
印字位置移動又は制御機能を備えても良く、そうすれば
試料台側のｘ−ｙステージ１７は不必要になる。これ
は、インクジェットヘッド１に微小な移動ステージを組
み込むか、２次元のインク粒子偏向電極を用いることに
よって実現可能である。
【００２８】
【発明の効果】本発明装置によって、試料表面の任意の
位置に０．１ｍｍ角以内で微小観察領域をマーキングす
ることが可能となり、光学顕微鏡やＳＥＭ、ＡＦＭなど
異なった微小領域観察手段の間で、同一の試料の同一領
域を観察・分析することができるという効果がある。こ
のことは、新材料の開発の上で大いに助けとなる。第２
に、基本的にすべての微小領域を観察する装置に適用す
ることが可能であり非常に有効である。
位置に０．１ｍｍ角以内で微小観察領域をマーキングす
ることが可能となり、光学顕微鏡やＳＥＭ、ＡＦＭなど
異なった微小領域観察手段の間で、同一の試料の同一領
域を観察・分析することができるという効果がある。こ
のことは、新材料の開発の上で大いに助けとなる。第２
に、基本的にすべての微小領域を観察する装置に適用す
ることが可能であり非常に有効である。
【図１】本発明装置の実施例１のシステム構成図。
【図２】インクジェットヘッドの内部模式図。
【図３】マーキングの例を示すもので、Ａはマクロマー
キング、Ｂはマイクロマーキングを表わす図である。
キング、Ｂはマイクロマーキングを表わす図である。
【図４】本発明装置の実施例２のシステム構成図。
１…インクジェットヘッド ２…インク制御ユニット ３…ｘステージ ４…ＣＣＤカメラ ５…ステージコントローラー ６…光学顕微鏡 ７…パソコン ８…ＣＲＴディスプレイ ９…マーキングパターン １０…試料台 １１…インクノルズ １２…帯電用電極 １３…偏向電極 １４…軌跡 １５…インク溜め １６…軌跡 １７…ｘ−ｙステージ １８…レボルバー
Claims (5)
- 【請求項１】試料の微小領域を決定する顕微観察手段
と、微小の印字をする微小印字ユニットと、微小印字ユ
ニットの微小印字ヘッドまで試料を移動する試料移動手
段と、試料移動手段及び微小印字ユニットを制御するこ
とによって、決定された微小領域にマーク付けし、その
マークへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける制御
手段とを具備することを特徴とするマーキング装置。 - 【請求項２】試料の微小領域を決定する顕微観察手段
と、微小の印字をする微小印字ユニットと、微小印字ユ
ニットの微小印字ヘッドを試料まで移動する微小印字ユ
ニット移動手段と、微小印字ユニット移動手段及び微小
印字ユニットを制御することによって、決定された微小
領域にマーク付けし、そのマークへ案内する肉眼で認識
可能なマークを付ける制御手段とを具備することを特徴
とするマーキング装置。 - 【請求項３】試料の微小領域を決定する顕微観察手段
と、インクジェット方式の微小印字ユニットと、微小印
字ユニットの微小印字ヘッドまで試料を移動する試料移
動手段と、試料移動手段及び微小印字ユニットを制御す
ることによって、決定された微小領域にマーク付けし、
そのマークへ案内する肉眼で認識可能なマークを付ける
制御手段とを具備することを特徴とするマーキング装
置。 - 【請求項４】試料の微小領域を決定する顕微観察手段
と、インクジェット方式の微小印字ユニットと、微小印
字ユニットの微小印字ヘッドを試料まで移動する微小印
字ユニット移動手段と、微小印字ユニット移動手段及び
微小印字ユニットを制御することによって、決定された
微小領域にマーク付けし、そのマークへ案内する肉眼で
認識可能なマークを付ける制御手段とを具備することを
特徴とするマーキング装置。 - 【請求項５】微小領域に付けるマークの大きさが０．１
ｍｍ角以内であることを特徴とする請求項１〜４の中の
何れか１項のマーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26952498A JP2000094652A (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | マーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26952498A JP2000094652A (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | マーキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000094652A true JP2000094652A (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=17473599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26952498A Pending JP2000094652A (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | マーキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000094652A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2379415A (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-12 | Seiko Epson Corp | Monitoring the deposition of organic polymer droplets onto a substrate |
| DE102005019372B3 (de) * | 2005-04-26 | 2006-10-26 | Wieland-Werke Ag | Vorrichtung zum Markieren von Werkstück- oder Werkstoffproben |
-
1998
- 1998-09-24 JP JP26952498A patent/JP2000094652A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2379415A (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-12 | Seiko Epson Corp | Monitoring the deposition of organic polymer droplets onto a substrate |
| US7293852B2 (en) | 2001-09-10 | 2007-11-13 | Seiko Epson Corporation | Deposition of soluble materials using an inkjet print head and CCD microscope |
| DE102005019372B3 (de) * | 2005-04-26 | 2006-10-26 | Wieland-Werke Ag | Vorrichtung zum Markieren von Werkstück- oder Werkstoffproben |
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