TW543339B - Method of handling organic material in making an organic light-emitting device - Google Patents

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543339 A7 B7 五、發明説明（彳） 本發明一般係有關於一種製造有機發光裝置（〇led)之方 法，而特定言之，係有關於自有機材料之粉末形成結實粒 錠並在熱物理蒸氣沉積源中使用此等粒錠，以在構成 〇LED—部份之結構上製造有機層。 有機發光裝置，又稱有機電發光裝置，可由二或更多有 機層夾在第一及第二電極之間而構成。 在習知構造之鈍化基質有機發光裝置中，係在透光基材 如玻璃基材上形成眾多側向隔開之透光電極，例如，氧化 錫銦（ITO)陽極，作為第一電極。然後，在保持低壓…通常 小於1〇·3拖爾…之室内，自各別來源依序蒸氣沉積各別有 機材料形成二或更多有機層。有機層之最上面一層則沉積 眾多側向隔開之陰極作為第二電極。陰極與陽極係以一 ^ 度…通常成直角…定位。 此等習知鈍化基質有機發光裝置係藉在適當列（陽極）及 依序每行（陰極）之間施加電壓（又稱驅動電壓）而操作。當 陰極與陽極成負偏壓時，光即會由陰極與陽極之重疊部份 所界走之像素發出’而發出之光經過陽極及基材到達觀看 者。 在活化基質有機發光裝置時，係藉連接至各別透光部份 之薄膜電晶體（TFT)提供整列的陽極作為第一電極。再以 貫質相當於上述鈍化基質有機發光裝置之構造之方式，相 繼蒸氣沉積二或更多有機層。在有機層之最上面一層並沉 積晋通陰極作為電極。活化基質有機發光裝置之構造及功 奇匕已明於美國專利第5,55〇,〇66號，其揭示内容併於此以 ----—— ___-4 - 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(21〇χ297公釐) 裝 訂

供參考 可用於構造有機發光裝置 … 之厚度及層構型，已今 ’材料、蒸氣沉積有機層 4,72。，432 = 於此以供參考。 ，2唬中，其揭示内容併 用於製造OLED之有機材料 其結構都會相當複雜且分子黏合 ，’電子傳达材料， 積時必須小心避免有機材料分解。P相&弱’故在蒸氣沉 上述有機材料係合成至相當 或粒狀提供。此種粉末或碎片迄今’並以粉狀、片狀 氣沉積源中以藉由有機材料之昇；或J係放^物理蒸 在結構上冷凝而在其上提供一.有機層形成蒸氣’蒸氣 察==氣沉積時使用有機粉;、碎片或顆粒，曾觀 2料、碎片或難很難處理， 又為摩擦電充電（trib〇electric 乃仮寺曰、·工由％ 荷； 程而獲得靜電 ⑴）有機材料之粉末、碎片或顆粒一 的物理密度（以每單位體積之 八 ^ 至約g/_ 4理想固體有機材;^其1^圍為約〇·05 g/cm3 ； 百機材枓〈物理密度則為約1 -傳料之粉末、辞片或顆粒都具有非所欲低的 …傳導度，尤其疋在放人配置於真空抽至低到…拖爾低壓 3 五、發明説明（ 艾室内之蒸氣沉積源中時。結果，粉 僅靠受熱源之輕射加熱及粒子或碎片乂 ^片或顆粒 接觸之傳導加熱而加熱。不盥文熱表面直接 子、碎片或顆粒，由於粒與粒的接=面接觸之粉末粒 不會得到傳導加熱之有效加熱；及㈣貝相當低之故，都 (iv)粉末、碎片或顆粒都 比，及在周圍條件下粒子間夾帶空表面積/體積 傾向。因此，加入配置μ up 或水份之對應高 、碎片或顆粒之加料在内：4:沉積源中之有機粉末 即將源預加私徹底排6⑽空至低壓時 ..底排轧右排氣省略或排氣不完全，則於 曰在有機層蒸氣沉積於結構上時 哈』 r目Γ 〇LED，若這些有機層包括粒子戍微 担，則會或變成失去效用。. 于戍微 :機粉末、碎片或顆粒之上述每一方面或其 材料之* n τ “ f有機材料不均勾加熱並伴隨有機 能不均勻的蒸氣沉積有機層。 冑上毛成可 =發明（一目的為提供一種處理適合在形成有機發光裝 置（OLED)—邵份之結構上製造有機層之有機材料之方法。 —本發明之另—目的為提供一種將有機粉末聚結成結實粒 鍵之方法。 +發明足再一目的為提供一種自有機材料之結實粒錠及 在形成OLED之—部份之結構上製造有機層之方法。 本發明足又一目的為提供一種將可昇華有機材料粉末與 本纸張尺奴财S S家標準(c^i^X297：^ 543339

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1貝上會便利有機材料在不同地點之間的處 理、轉運或運 和浐 另一特點為藉本發明方法製備之眾多有機材料 、=可用體積較用於處理、轉運或運輸㈣且且同等重量 〈有機材料之容器明顯為小的容器處理、轉運或運輸。 、本發明之另一特點為0LED材料之結實粒錠可用本發明 2法製it ’其法係、將至少—種〇LED主材料之粉末與至 二-種有機摻雜劑材料之粉末混合或摻混以提供混合物， 再將混合物聚結成結實粒錠。 ,…發明之另一特點為將粉末聚結成結實粒錠之方法及將 珞虱沉積源中之一部份結實粒錠蒸發而在結構上製造有機 層之方法，實質上可消除粉末粒子自源噴出，6因此可提 供幾乎不含微粒之有機層。 本發明之另一特點為將粉末聚結成結實粒錠之方法可特 設計以提供具有所選一定形狀之粒錠，以順合物理熱蒸 c沉積源之形部份之粒錠即由此源蒸發而在結構上 形成一有機層。 圖1係具有部份回剝（peeled-back)元件露出各層之鈍化基 質有機發光裝置之概略透視圖。 圖2係適合製造相當大量有機發光裝置（〇LED)且具自輪 毅延伸之眾多站之裝置之概略透視圖。 圖3係含有相當大量基材或結構且固定在圖2系統之裝載 站（如圖2剖面線3 - 3所示）之載具之概略剖面圖。 圖4 A - 4 F概略顯示根據本發明自配置於沖壓機中之有機

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線 543339 A7 B7 五、發明説明（e ) --- 粉末材料形成結實粒錠之製程步驟順序，其中 圖4A顯示有機粉末材料填在下沖模上之模具中。 圖4B顯示塞入模具中並與有機粉末材料上表面接觸之上 沖模。 圖4C顯示壓力正由沖壓機施加於上及下沖模以使有機粉 末材料聚結成結實粒鍵。 圖4D顯示上沖模己自模具移除。 圖4E顯示模具已自沖壓機取出及下沖模已自模具移走， 粒鍵顯示牢附在模具之側表面；及 圖仔員示用於自模具移除粒錠及在合適容器中承接粒錠 之粒錠柱塞。 圖5 A - 5 E係結實粒鍵之形狀之例舉實例，這些形狀可在 圖4A-4D之沖壓機中藉選擇所要模具及對應上、下沖模而 形成，其中 圖5A顯示具有二共平面主表面之圓形粒錠； 圖5B顯示具有一平面主表面及一相反凸面主表面之圓形 粒錠； 圖5C顯不具有二凸面主表面之圓形粒錠； 圖5D顯不具有二共平面主表面之長形粒錠； 圖5E顯示具有一平面主表面及一相反凸面主表面之長形 粒錠； 圖6係圖2中裝置（如圖2剖面線6 _ 6所示）用於在結構上 形成有機空穴傳送層（HTL)之蒸氣沉積站之概略剖面圖， 及根據本發明之一態樣顯示放置於蒸氣沉積源内之有機空 -9 - 543339 A7

艾傳送材料之結實粒錠； 2 7係/狀咨氣沉積源之部份剖面圖，其空腔中放置j 固有機空穴傳送材料之長形結實粒錠； 一 圖8係一製程流程圖，顯示根據本發明之另 昇華有機㈣之粉末與導熱且非可昇華材料之“之^ 物製造結貫粒鍵之步驟；及 。圖9—係一製程流程圖，顯示根據本發明之另一態樣先將 可昇華OLED主材料之粉末與可昇華有機摻雜㈣料之粉 末混合，再將主摻雜劑混合物與導熱且非可昇華材料之粉 末混合製造結實粒錠之步驟。 刀 乜末及粉狀”二詞在此處係用以表示一定量的個別粒 子，其可為碎片、顆粒、或各種粒子形狀之混合物。 請翻閱圖1，鈍化基質有機發光裝置（〇led) 1〇之概略透 視圖顯示具有部份回剝元件而露出各層。 边光基材1 1已在其上形成眾多側面隔開之第一電極1 2 (又稱陽極）。有機空穴傳送層（HTL) 13、有機發光層 14及有機電子傳送層（ETL) 15則藉物理蒸氣沉積依序形成 ，此將在以下作更詳細說明。在有機電子傳送層1 5上形成 與第一電極1 2成實質垂直方向之眾多側面隔開之第二電極 1 6 (又稱陰極）。包封或封蓋1 8將結構對環境敏感之部份 密封，因而据供完整之OLED 10。 請翻閱圖2，其顯示OLED裝置100之概略透視圖，該裝 置適合使用自動或機器人裝置（未示出）在自緩衝輪毅丨〇 2 及自轉移輪轂1 0 4延伸之眾多站中運送或轉移基材或結構 -10- W張尺ϋ用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐）

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543339 A7 五、發明説明（8 製造相當大量之有機發光裝置。真空泵1〇6經由抽氣端 口 107在輪轂1〇2、1〇4内及自這些輪轂延伸出之每一站 内提供低壓。壓力計1〇8指示系統1〇〇内之低壓。壓力可 在約1 0-3至10-6拖爾之範圍内。 各站包括用於提供基材或結構裝載之裝載站11〇、用於 形成有機空穴傳送層（HTL)之蒸氣沉積站13〇、用於形成 有機發光層（LEL)之蒸氣沉積站14〇、用於形成有機電子傳 运層（ETL)之蒸氣沉積站150、用於形成眾多第二電極（陰 極）之备氣沉積站1 6 0、用於自緩衝輪轂丨〇 2將結構轉移至 轉移輪轂104 (其依次提供儲存站17〇)之卸載站1〇3、及 經由連接器端口 105連接至輪轂104之包封站18〇。這些 站每一個都有分別自輪轂1 02及1 04延伸出之開口，且每 一站都有真空密封入口（未示出）以提供清潔、補充材料及 另件更換或修理站之入口。每一站都包括界定室之外殼。 圖3係沿圖2剖面線3-3所取裝載站11〇之概略剖面圖。 裝載站110有外殼110H，其界定室11〇c ^室内設置設計成 可輸送具有預成型第一電極12 (見圖1)之眾多基材U之載 具111。可挺供另類載具111支撐眾多活化基質結構。也 可在卸載站103及儲存站170提供載具ι1Γ。 請翻閱圖4A-4F，彼等概略表示將放置於固定在沖壓機 500内〈模具520中之有機空穴傳送材料13a之粉末聚結 而开/成有機空穴傳送材料之結貫粒鍵Up之製程步驟順序 。沖壓機500包括固定平台512及安裝在支架516之可移 動平台514。可移動平台514可用油壓裝置（未示出）驅動

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線 五、發明説明（9 ) 並支撐模具520及下沖模522。 在圖4A中，有機空穴傳送材料ι3 &之粉末、碎片或顆粒 係在模具5 2 0中填入下沖模5 2 2上至高度丨3 b。加熱線圈 5 3 0可將模具5 2 0自室溫約2 〇 °C加熱至溫度約3001：，同時 至少一個冷卻線圈5 4 0可將加熱之模具相當快速地自溫度 300 C冷卻至溫度8 〇 °C或至室溫。模具也可用感應加熱。 在圖4B中，上沖模5 24係固定在模具5 2 0中，以接觸有 機粉末13a之上表面（填滿高度為13b)。 模具5 2 0之内表面5 2 1係拋光表面，且至少下沖模5 2 2 之表面523及上沖模524之表面525為拋光表面。模具及 下與上沖模整體在本揭示内容之一些部份也稱為沖模。 在圖4C中’可移動平台514顯示朝固定平台512之方向 向上驅動，及壓力係由沖壓機5 〇 〇施加至上沖模及下沖模 ’以使模具中之有機粉末材料丨3 a聚結成結實粒錠丨3 p。 在圖4D中’可移動平台514已下降且上沖模524已自模 具移走。若模具在粒鍵形成之前或之中加熱時，上沖模 5 2 4係在模具經由至少一冷卻線圈5 4 〇冷卻至溫度在8 〇。〇 至2 0 °C範圍内後移走。 在圖4E中，模具520顯示已自沖壓機500移出，及下沖 模522已自模具520移走。僅供說明之用，有機空穴傳送 材料之粒鍵13p顯示牢附於模具之内表面521。 在圖4 F中，粒錠柱塞5 5 〇係用於自模具栘除結實粒錠 13p。此粒錠由合適容器56〇承接以使粒錠之破損降至最低。 在沖壓機500施加壓力之前或之中將模具52〇加熱，可 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇χ 297公釐) 543339 A7 __— —_B7 五、發明説明（1〇 ) 在縮短之加壓期間或在較低壓力下增加粒錠緻密化。模具 溫度之較佳範圍為自2 〇 至3〇(rc。模具係在自模具5 2 〇移 走粒錠13p之前，較佳在自模具52〇移走上沖模5 24之前 冷卻至8 0 °C至2 0 °C範圍内之較佳溫度。 有機2穴傳送材料i3a之粉末、碎片或顆粒可包括由一 或多種空穴傳送去材料及一或多種有機摻雜劑材料所構成 之混合物。自此種混合物聚結而成之粒錠13ρ可放入熱物 理詻氣沉積源中，以在結構上製造經摻雜之有機空穴傳送 層1 3 (見圖1 )。 可在結構上有效提供蒸氣沉積之經摻雜有機發光層之摻 雜劑，已揭示於概括讓與之美國專利第4,769,292號及 5,294,870號（頒予（^11丨112\^.丁&11§及他人）。 可使用可移動覆罩（未示出）包圍下沖模5 2 2、模具5 2 〇 及至少一部份之上沖模5 24 ^覆罩及因此被其包圍之元件 皆可抽真空至低壓。或者，可將惰性氣體通入覆罩内，以 在覆罩内提供惰性，亦即，非化學反應性氛圍，俾有機粉 末（例如’ 1 3 a )及自其形成之粒錠（例如，1 3 ρ )在模具加 熱至溫度高達300°C之情形時不致分解。 々模表面523及525可為平面表面。或者，下沖模522 之表面523，或上沖模524之表面525可為凹面表面，或 二表面523及525都可具有凹面形狀，俾結實粒錠將分別 具有共平面主表面、一平面主表面及一凸面主表面或二凸 面主表面。 圖5 A - 5 Ε係有機材料結實粒錠之形狀之例舉性實例，這 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規公爱) 543339 A7 B7 五、發明説明（11 ) 些粒叙之形狀藉由選擇模具5 2 0及對應上及下沖模5 2 4及 522 ’即可在圖4A-4d之沖壓機500中輕易形成。 圖5A顯示具有二共平面主表面13pA-l及13pA-2之有機空 穴傳送材料之圓形粒錠13pA。 圖5B顯示具有一平面主表面13pB-1及一相反凸面主表面 13pB-2之圓形粒錠13pB。 圖5C顯不具有二凸面主表面13pC-l及13pC-2之圓形粒錠 13p〇 圖5D顯示具有二共平面主表面13pD-l及13pD-2之長形粒 錠 13pD。 圖5E顯不具有一平面主表面13pE-1及一相反凸面主表面 13pE-2之長形粒錠i3pE。 粒錠之特定形狀係經選擇以便與欲放入粒錠之特定蒸氣 沉積源相合。例如，粒錠13pA (見圖5 A)可有利地於具有 平面底表面之圓筒形蒸氣沉積源。粒錠13pE (見圖5 E )則 可有利地用於長形圓筒管蒸氣沉積源，其凸面主表面13pE_2 之曲度與此等圓筒管源之空腔之半徑約莫相符。 請翻閱圖6，其顯示沿圖2剖線6 - 6所取Η T L蒸氣沉積站 1 3 0之概略剖面圖。一外殼ΐ3〇Η界定一室130C。基材或結 構11 (見圖1)係固定在可構造成掩模框之固定器131中。 蒸氣沉積源1 3 4則放在熱絕緣支座1 3 2上，源1 3 4裝滿有 機空穴傳途材料之粒錠1 3 ρ，例如，圖5 Α之1 3 ρ Α。源1 3 4 係用經由導線2 4 5及2 4 7連接至源電力供應2 4 0之輸出端 2 4 4及2 4 6之加熱元件1 3 5加熱。 當源溫度充分上升時，一部份之粒錠會昇華或蒸發，而 •14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

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因此k供有機2穴傳送材料蒸氣之沉積區丨3 v，如虛線及 箭頭概略所示。 。基材或結構丨丨以及習知晶體質量感測器2 〇 〇係置於沉積 區内’及這些疋件每一種都有有機空穴傳送層在其上形成 ，如外點線之13 f所示。 如本技藝已熟知，晶體質量感測器2 0 0係經由導線2 1 0 連接f沉積速率監測器220之輸入端216。感測器200係 | 彳器2 2 0所提供振盪器電路之一部份，電路會以約略與 日口心質I裝載（如形成中之層丨3 f所提供之質量裝載）成反 比《頻率振盈。監測器22〇包括微分電路⑷沿代加…丨叫 circuit)，其會產生與質量裝載速率成比例，亦即，與層工3 ( /儿積速率成比例之k號。此一信號由沉積速率監測器2 2 〇 員示並由其輸出端222提供。導線224將此一信號連接 至拴制器或擴大器230之輸入端226，而在輸出端232提 供輸出信號。後者輸出信號即經由導線2 3 4及輸入端23 6 變成源電力供應2 4 0之輸入信號。 因此，右瘵氣沉積區丨3 v内之蒸氣流暫時穩定時，則層 13f之質量累積或成長將以恆速進行。速率監測舉二“將 在輸出端222提供恆定信號，而源電力供應24〇將經由導 線245及247提供源134之加熱元件135恆定電流，因而維 π λ積區内暫時穩定之蒸氣流。在穩定蒸氣沉積狀況下， 亦即，在恆定沉積速率之狀況下，所要之有機空穴傳送層Η (見圖1)之最後厚度，即會在固定沉積期問内在結構上及 晶體質量感測器2 0 〇上達成，此時即以終止源i 3 4之加熱或 -15- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱)

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將遮難（未示在源上方而終mm^ :::為；：之用’圖6顯示相當簡單之掛禍源134，但 t 了月千’可有效使用多種其 或昇華之有機材料蒸氣。㈣在“區内提供蒸發 圖6係為保持圖不清晰起見僅顯示單一晶體質量感測哭 2=應了解，製造⑽Da#藉由物理蒸氣沉積形成㈣^ :=測及控制’可藉由一或若干個可移動晶體質量感測器 達成。 μ翻閱圖7 ’其所不為圓筒管熱物理蒸氣沉積源總成 〇 〇之，各縱剖面目。總成包括具有中心線C L之管狀源 71〇。管狀源7 1〇係以絕熱及絕電端蓋7 3 2及7 3 4支撐，該 端蓋同時支撐具有熱反射表面74 2之熱屏74 0。 管狀源710與熱屏支架及端蓋732及734 一起界定空腔 7 1 2，其中已經由可移動空腔密封7 5 8放進有機空穴傳送 材料之三個長形固體粒錠1 3 ρ。 官狀源710包括眾多通至空腔712之孔口 714。孔口 714 係配置在長度L上，其較管狀源之高度η (就圓筒管源而言 ’ Η相當於芝腔之直徑）大至少三倍。孔口 714具直徑 中心至中心1。 滑動托架7 6 0係附在熱屏7 4 0上並具有鴿尾形舌片760Τ 及螺紋孔7 6 2。螺紋孔7 6 2將與導螺桿（未示出）接合，俾 總成7 0 0可在室中相對於配置於此室内之基材或結構平移 、移動或掃描。

當放置於保持低於1 〇·3拖爾低壓之室内（例如，圖2 HTL 本紙張尺度適用中圉國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐)

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線 543339 A7 _____ _ B7 五、發明説明（14 ) 条氣沉積站1 3 0之室130C)時，粒鍵13p之有機空穴傳送材 料之昇華或蒸發，即會因經由燈導線757a&757b提供電力 至加熱燈7 5 7之燈絲757F而啟動。加熱燈係配置在空腔 712内並由熱屏支架及端蓋732、734支撐，位置係在朝 向管狀源7 1 0之孔口 7丨4之方向，中心線之上方。如此形 成於空腔712内之蒸氣雲經由孔口 714而逸出空腔712。 長形粒錠1 3p可作成與圖5E之13pE相似之形狀，俾凸面 主表面與圓筒管源710之内表面相接觸，而粒錠之平面主 表面則向上朝向加熱燈7 5 7。 雖然圖中（圖6及圖7)已顯示蒸氣沉積源之二個實例，但 應了解’藉由提供聚結之結實粒錠及使用此等粒錠製造 OLED以處理有機材料之本發明方法，可應用於不同之熱 物理蒸氣沉積源及系統。 在圖4A-4F、圖5A-5E、圖6及圖7中，製造及使用結實粒 鍵之方法已就有機空穴傳送材料及自其製造之粒錠丨3 p加 以說明。本發明之方法包括摻雜或未摻雜有機發光材料及 換雜或未摻雜有機電子傳送材料之處理，以提供對應結實 粒鍵’分別在結構上製造摻雜或未摻雜有機發光層及摻雜 或未摻雜有機電子傳送層，如圖1所示並分別在圖2之 OLED裝置1 〇〇之蒸氣沉積站14〇 (LEL)及15〇 (Ε1χ)製造之 層 14 (LEL)及層 15 (ETL)。 圖8係一製程流程圖，顯示自可昇華有機〇led材料之粉 末及非可昇華且導熱材料之粉末之混合物製造結實粒錠。 製程由步驟800開始。在步驟81〇時，可昇華有機〇LED 才才料係以粉狀提供。可昇華有機材料包括有機空穴傳送材 ________ ·17· 尽紙張尺度適财關家辟(5¾) Μ規格(⑽χ 297公幻 543339 A7

料：摻雜或未摻雜有機發光材料及摻雜或未摻雜有機電子 傳送材料。 在步驟8 1 2時，選擇有機〇LED材料粉末之重量分率 所奴形成 >耳合物之比率）。有機〇led材料粉末之較佳重旦 分率為在50-99%之範圍内。 · 里 在步驟8 2 0時，以粉狀提供導熱且非可昇華材料。較佳 ，熱且非可昇華材料包括碳、碎、二氧化碎、金屬、金屬 氧化物及金屬合金之粉末。 在步驟8 2 2時，導熱且非可昇華材料粉末之重量分率（占 所欲形成混合物之比率)係選擇在1.0-50%之較佳範圍内。 f =驟8 3 0時，將可昇華有機〇LED材料粉末與導熱且非 可升举材料粉末 < 選擇重量分率加以混合或摻混以提供相 當均勾之混合物。 在v ‘ 8 4 0時，將混合物（或混合物之一部份）放入沖模 中：並：无足壓力施加於沖模中之混合物’以使混合物聚 …j結貫粒錠。沖模可在施加充足壓力於沖模中之混合物 <則或 < 中加熱至選擇在2 〇它至3〇〇t範圍内之溫度。 在步驟8 5 0時，自沖模取出結實粒錠。若沖模加過熱， /、J在冲杈取出結實粒錠之前，將沖模冷卻至溫度在8 〇它 至2 〇t之範圍内。至此全部製程完成，如86〇所示。 粒錠可放入配置在室内之熱物理蒸氣源中，以在形成有 機發光裝置（0LED)之_部份之結構上製造有機層。 圖9係二製造流程圖，顯示先將可昇華〇led主材料之粉 末與可昇華有機摻雜劑材料之粉末混合，再將主摻雜劑混 本紙張尺度適用*國时料(咖）A4規格(21〇 X 297^---^

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、發明説明（ •19- 口 =導熱且非可昇華材料之粉末混合，製造結實粒鍵。 料係技由步驟9 0 0開始。在步驟9 02時，可昇華OLED主材 主材二粉狀提供。可昇華0LED主材料包括有機空穴傳送 材枓、有機發光主材料及有機電子傳送主材料。 s:1知9 0 4時’提供可昇華有機摻雜劑材料之粉末之選 欲選Π:選擇重量分率係視欲摻雜之0led主材料、 =在結構上製造之層將在主材料中含有預定接雜劑 在步知9 0 6時，係將有機掺雜劑材料之 有機主材料加以混合或摻混以提供第一混合物。…與 在開始指令9 00之延遲9〇5之後，延遲之開始指令9】5 I :，亚在步驟92 0中提供粉狀導熱且非可昇華材料。 導熱且非可昇華材料包括碳、$、二氧化珍、金屬、二 屬乳化物及金屬合金之粉末。 至 在步驟9 1 2時，選擇第一主摻雜劑混合物之重量分率 形力第二混合物之比率）。&有機（昆合物之較佳重督 分率為在50·99%之範圍内。 〜在步驟9 2 2時，導熱且非可异華材料粉末之重量分率（占 欲形成第二混合物之比率）係選擇Si，。/。之較佳範圍内。 在步驟9 3 0時第-有機主摻雜劑粉末混合物與導埶 且非可开華材料粉末之選擇重量分率加以混合 供相當均勾之混合物。 4疋 在步4卜9 4 0時，將第：混合物（或第二混合物之一部份） 本纸張尺奴奸％家料(⑽）公爱) 裝 訂 線 543339 -20- A7 B7 五、發明説明（" 放入冲模中’並將充足壓力施加於沖模、》 ^ ^ A ^ < 弟二混合物， 使弟一 a物聚結成結貫粒鍵。沖模开 、 * J在施加亦万厭六 於沖模中之第二混合物之前或之中加教 ^oorr ^ ^ 热至選擇在2〇 t至 」U〇Cfc圍内 <溫度。 在步驟9 5 0時，自沖模取出結實粒錠。# · 右〉中模加過敎， 則在自沖模取出結實粒錠之前，將沖模冷卻至溫度在“。^ 至20°C之範圍内。至此全部製程完成，如96〇^示"。 粒錠可放入配置在室内之熱物理蒸氣源中，以在形 機發光裝置（OLED)之一部份之結構上製造有機層。/ 經摻雜之有機空穴傳送層或次層及經接雜之^機電子 送層或次層可提供增強之0LED發光操作穩定性，Z經摻 雜之有機發光層可提供增強之0LED發光操作轉定性:及 在可視光譜内之增強之發光光效率。經接雜之層或次層也 可提供可在低驅動電壓層級下操作之〇LED。 ㈢ -或多種粉狀有機主材料與一或多種粉狀有機摻雜劑材 料可混合或摻雜以提供有機材料之第一混合物，其然後再 與導熱且非可昇華材料粉末混合或摻混以提供第二混合物 ，由此形成結實粒錠。 '口 本發明之其他特點將包括在以下。 本發明方法進一步包括提供至少一種有機空穴傳送主材 料及其至少一種有機摻雜劑材料、至少一種有機發光主材 料及其至少一種有機摻雜劑材料或至少一種有機電子傳送 主材料及其至少一種有機摻雜劑材料。 本方法包括將一個以上粒錠放入熱物理蒸氣沉積源中。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公^ 裝 訂 線

材包括提供至少—種有機空穴傳送材料，有機發光 材枓或有機電子傳送材料。 立s j会進步包括如供至少一種有機空穴傳送主材料及 :二、：種有機摻雜劑材料、至少一種有機發光主材料及 料二一種有機掺雜劑材料或至少一種有機電子傳送主材 +及其至少一種有機摻雒劑材料。 本方法包括提供一種自# 0 ^ ^ ^ t 目灭矽、二乳化矽、金屬、金屬 乳化物及金屬合金所組成之旄錄由邮，强山、 m n <祆群中所選出之材料。 本方法包括選擇在50至99 f /〇範圍内之一部份可昇華 有機材料粉末及選擇在1(^ 曰 卜 •土 5 0重I%範圍内之一部份導散 且非可昇華材料粉末。 1切$… 本方法包括將混合物放淮1古 士、"…一 孜進具有至少-凹面主表面之沖模 中以4疋么、具有至少一對岸凸而士本二、 、 、 T L凸面王表面足固體粒錠。 本方法進一步包括在施加右 义 她加无足壓力於沖模中之混合物之 刖或惑中，選擇在2 〇 t至3〇(Tr銘if!七、、丄 王· 圍内《沖模溫度。 本万法進一步包括在自沖模中 一 。 佚γ取出权錠珂，將沖模溫度 降至80C至20°C之範圍内。 本方法包括提供有機空穴傳伊 機電子傳送材料。、傳料枓、有機發光材料或有 本方法〔括&供至少一種有機空穴傳送主材料及 其至少一種有機摻雜劑材 ^ ^ ^ 卞主y 種有機發光主材料及 其至少一種有機摻雜劑材料 打·^至少一種有機電子傳送主材 料及其至少種有機挣雜劑材料。 本方法包括提供一種自殘、玲、_ 一 7 一虱化矽、金屬、金屬

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線 543339 五、發明説明（19 乳化物及金屬合㈣組成之㈣中所選出之 本方法包括選擇在50至99重量％範圍 。 有機材料粉末及選擇在1至5〇重量％範圍内Γ份可昇華 且非可昇華材料粉末。 邵份導熱 本：：包括將一個以上粒錠放入熱物理蒸 一種處理適合在形成有機發光裝置之一 、原中。 造有機層之可昇華有機材料之方法，包含下^驟。構上製 a)提供至少一種粉狀可昇華有機主材料· f 形二種有機主材料與至少一種有機— d )提供粉狀導熱且非可昇華材料； .ej由第一混合物與導熱及非可昇華材料之選擇部份 成第二混合物： f)將此第二混合物放入沖模中並施加充足之壓力於 模中之第二混合物，以使粉末之第二混合物聚結而成結 粒鍵；及 ° g )自沖模中取出粒錠。 本方法包括提供至少一種有機空穴傳送主材料、至少一 種有機發光主材料或至少一種有機電子傳送主材料。 本方決包括提供一種自碳、矽、二氧化矽、金屬、金屬 氣化物及金屬合金所組成之族群中所選出之材料。 本方法包括選擇在50至99重量％範圍内之一部份可昇華 裝 形 沖 實 訂 線 -22 五 、發明說明（ 20 在U至50重量。細之-部份導熱 =法包括將第二混合物放進具有至少一凹面主表面之 Μ:中嶋具有至少一對應凸面主表面之結實粒錠。 万广步包括在施加充足壓力於沖模中之混合物之 ，中，選擇在2(TC至3 00t範圍内之沖模溫度。 降”万 =一步包括在自沖模中取出粒錠前，將沖模溫度 p牛土 80 C至20t之範圍内。 又 製成有機發光裝置之一部份之結構上自有機材料 表k有機層足万法，包含下列步驟： a)提供至少一種粉狀可昇華有機主材料； :)提供至少一種粉狀可昇華有機摻雜劑材料， 機王材料之重量分率係經選擇； ’、 c ) 由至少一種有機主材料盥至少一并士仏 形成第一混合物； 氣至/種有機挣雜劑材料 d )提供粉狀導熱且非可昇華材料； 形 成;)二=:混合物與導熱且非可昇華材料之選擇部份 沖 實 f)將此第二混合物放入沖模中並施加充足々没 =第二混合物，以使粉末之第二混合物聚結:成： g ) 自沖模中取出粒錠； h)將粒鍵放進配置於室中之熱物理蒸氣沉積源中； i )將結構放在室中並與源成隔開關係； ’ -23- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(2i〇X2_97公爱1 五、發明説明（21 ) J)將室抽真空至低壓；及 二使一部份之粒鍵昇華，以提供 弟^口物足由此在，结構上製造有機層。 本万法it步包括提供至少一種有 少：種有機發光主材料或至少-種有機電子傳送主::土 :万法進—步包括提供至少—種選作為至少—種 穴傳迗王材料之摻雜劑之有機摻雜劑材料、至少—種: ::::二種有機發光主材料之摻雜劑之有機摻雜劑材料、 5 土 / -制作為至少—#錢電子傳 之有機摻雜劑材料。 t 一 d :方法包括提供一種自碳、矽、二氧化矽 氧化物及金屬合金所組成之族群中所選出之材料。“ 本方法包括將一個以上粒錠放進熱物理蒸氣沉積源。

Claims (1)

1. 543339 A8 B8 C8 --- - D8 六、申請專利範圍 1 · 一種處理適合在形成有機發光裝置之一部份之結構上 製造有機層之有機材料之方法，包含下列步驟： a) 提供粉狀有機材料； b )將此種有機粉末放入沖模中，並將充足壓力施 加於沖模中之有機粉末，以使有機粉末聚結成結實粒 錠；及 c ) 自沖模中取出粒錠。 2·如申請專利範圍第1項之方法，其中步驟a)包括提供有 機2 X傳送材料、有機發光材料或有機電子傳送材料。 3 .如申請專利範圍第2項之方法，其中步驟a)尚包括提供 至少一種有機空穴傳送主材料及其至少一種有機摻雜 劑材料、至少一種有機發光主材料及其至少一種有機 摻雜劑材料或至少，一種有機電子傳送主材料及其至 少一種有機摻雜劑材料。 4 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中步驟b )包括將有機 粉未放入具有至少一凹面主表面之沖模中，以提供具 有土少對應凸面主表面之結實粒錠。 5 ·如申請專利範圍第丨項之方法，其中步驟b)包括在施加 充足壓力於沖模中之有機粉末之前或之中，選擇在2 〇 °C至3 00°C範圍内之沖模溫度。 6 ·如申請專利範圍第5項之方法，其中步驟c)尚包括在一自 沖模中取出粒錠前，將沖模溫度降至2 〇。〇至8 〇之範 圍内。 已 7 · —種在形成有機發光裝置之一部份之結構上自有機材 -25- 本紙張尺度適用中國国家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) ^339 ^339 A8 B8 C8 D8 申请專利範圍 料製造有機層之方法，包含下列步驟： a ) 提供粉狀有機材料； b )將此種有機粉末放入沖模中，並將充足壓力施 加於沖模中之有機粉末，以使有機粉末聚結成結實粒 鍵； C) d) e) f) g) 自沖模中取出粒錠； 將粒錠放入配置於室中之熱物理蒸氣沉積源中： 將結構放在室中，並與源成隔開關係； 將室抽真空至低壓；及 裝 將源加熱以使一部份之粒錠昇華以提供有機材 料之蒸氣，由此在結構上製造有機層。 s ·如申5月專利⑻圍第7項之方法’其中步驟b )包括提供有 機空穴傳送材料、有機發Μ料或有機電子傳送材料。 9 .—種處理適合在形成有機發光裝置之_部份之 製有機層之可昇華有機材料之方法，包含下列步帮： a)提供粉狀可昇華有機材料； ^提供粉狀導熱且非可昇華材料；一 & 〇由可昇華有機材料粉末及導熱且非可 粉末之選擇部份形成混合物； 材科 乂)將：混合物放進沖模中並將充足壓力施 中（混合物以使粉末之混合物聚結而成結實粒錠、； e)自沖模中取出粒錠。 10· 一種在形成有機發光裝置之一 料製造有機層之方法，包括下^^結構上自有機材 -26-

   六、申請專利範圚 a)提供粉狀可昇華有機材料; ^提供粉狀導熱且非可昇華材料； C由可昇華有機材料於 粉U m八 行和末及導熱且非可昇華材料 知禾足選擇邵份形成混合物； 十 d) 將此混合物放進渖捃ώ ^ 、 模中之混合物以使粉末之、、曰“將无足壓力施加於沖 ，吧5物聚結而成結實粒錠； e) 自沖杈中取出粒錠； · f) 將粒鍵放進配置於室中之敖物砰y产 主 ㈧蔣，士错乂六、至T以物理洛氣沉積源中； 手〜構放在至内，並與源成隔開關係； h )將室抽真空至低壓；及 -r t/j 之激氣，由此在結構上製造有機層 料 將源加熱以使一部份之粒錠昇華 蒸，由，…………“疋供有機材 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X297公釐)