TW542913B - Speed measuring tool and measuring method - Google Patents

Description

542913 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 -------___ 發明 ^^ 發明領域： 本發明係有關於一種速度的量測工具與量測方法，特 別疋有關於一種直接偵測設備（Equipment)之指示燈開關 λ]τ\ 一曰、 水1測設備之動作之速度的量測工具與量測方法。 發明背景： 工業生產的過程中運用了許多的機台設備，這些機台 5又備的運作速度攸關著產品的產量（Throughput)和品質。 操作人員經常需要調整機台設備之某些動作的速度，以防 止產品發生缺陷或產量太小。 請參照第1A圖至第1D圖，第1A圖至第id圖為緣示 電化學電錢（Electrochemical Plating ; ECP )機台的運作 示意圖。電化學電鍍機台是半導體製程中進行鋼製程的重 要設備’其功用在於將化學溶液電解質中的鋼轉移到晶圓 的表面（陰極），做出重複、無空洞、且能立即進行化學 機械研磨的薄膜，以提供最大的製造良率和生產力。如第 1A圖所示，首先，機械手臂承載著晶圓2〇，將其帶 至乾燥位置（Dry Position)，即晶圓20未碰觸化學溶液 3 0。然後，如第1B圖所示，機械手臂1 0傾斜一角度，使 晶圓2 0表面的一端較另一端低。接著，如第1 c圖所示， 傾斜的機械手臂1 〇將晶圓20向下推動，直至晶圓2〇表 面較低的一端碰觸化學溶液3 0，即晶圓2 0位於作用位置 (Process Position)。然後，如第1D圖所示，機械手臂1〇 由傾斜位置擺回垂直位置’使晶圓2 0的表面完全接觸化 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) —...............、訂.....— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> M2913 A7 、發明説明（） :’合液3〇 ’此機械手臂1 0由傾斜位置擺回垂直位置的動 …曰目的在於使晶圓2〇表面去泡化（Debubbling)，來去 ::曰圓20表面的泡狀物，以防止晶圓在電鍍後產生缺 因此冑械手f 1 0 ώ傾斜狀態擺至垂直狀態的動作 雷又决丨又便相备重要’此動作太快或太慢會使晶圓在 八、又後產生刀支缺陷（Branch 、泡狀缺陷（Mbbie =ect)或點線缺陷（D〇tUneDefe叫等。另一方面，機械 由垂直狀悲移動至傾斜狀態的動作速度則會影響 整個製程的耗時多寡’因而影響生產的產量。 而電化學電鍍機台並無機械手臂的速度量測，操 2人員僅此藉由機械手f之驅動缸（Μ —。）的狀態指示 :::加上計時器來量測機械手臂的動作速度。驅動缸的狀 怨扣不燈為兩個發光二極體（Light Emitting Di〇de ; LED)，一個代表機械手臂是否處於垂直狀態，另一個則代 表機械手臂是否處於傾斜狀態。此種速度的量測方式的精 ^度相㊄差，而且機械手臂由傾斜狀態擺至垂直狀態的理 /寺門為〇 ·4衫，誤差範圍為士0 · 〇 5秒，此量測方式無法 滿足機械手臂之速度量測的需求。加上，此量測方式常需 要有位操作人員負責觀察指示燈，另一位操作人員負責 °十時’在人力成本上相當不經濟。 另一種量測速度的方式係將驅動指示燈開關的電子 孔號外接至圖表§己錄器（Chart Rec〇r(Jer)，來量測時間差。 ^而’此方式必須修改機台的系統電路和軟體系統，於實 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格⑽X297公董)

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五、發明説明（） 施上有相當高的困難度。 因此，非常迫切需要發展出一種速度的量測工具與量 測方法，可以直接使用機台原有的功能，無須修改機台設 備的系、、充電路和軟體系統，便可精確且簡便地量測機台設 備的動作速度。 發明目的及概述： II於上述之發明背景中，機台設備缺乏有效且簡便的 速度量測工具和方法，因而影響生產的產量與品質。 因此本發明的主要目的為提供一種速度的量測工具 與量測方法，藉以直接使用機台原有的功能，無須修改機 台設備的系統電路和軟體系統，來精確且簡便地量測機台 設備的動作速度，因而提昇生產的產量與品質。 本發明的另一目的為提供一種速度的量測工具，使用 一光偵測裝置以避免光訊號發散，藉以獲高強度的光訊 號’ k幵里測的精準度和可靠度。 根據以上所述之目的，本發明提供了一種速度的量測 工具，此里測工具至少包括··第一光偵測裝置和第二光偵 測裝置，其中第一光偵測裝置更至少包括：第一不透明罩 子（Cap)，完全罩住第一指示燈，藉以匯集自第一指示燈開 關時所傳出的第一光訊號；以及第一光換能器（ph〇t〇 Transducer)，藉以將第一光訊號轉換成第—電子訊號；第 一光偵測裝置更至少包括：第二不透明罩子，完全罩住第 二指示燈，藉以匯集自第二指示燈開關時所傳出的第二光 4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) c請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 摹- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 542913 五、發明説明（） 訊號；以及第二先拖泸 ^ 、匕态，猎以將第二光訊號轉換成第二 w 2 #b &里測工具更至少包括：正反器（Flip-Flop)裝 =，：中正反器裝置收到第一電子訊號或第二電子訊號 後’ u生計時訊號或非計時訊號；初始重設㈣ 错以重新設定正反器裝置至輸出非計時訊號；以及 ^ ^中田汁吩益收到計時訊號時，計時器便開始計 时，而當計時器收到非計時訊號時，計時器便停止計時。 又’本發明提供了一種光偵測裝置，至少包括：不透 明罩子’完全罩住指示燈，藉以匯集自指示燈開關時所傳 出的光訊號；以及一弁拖处σσ ^ ^ 先換此裔，精以將光訊號轉換成電子 訊就。 另外’本發明提供了一種速度的量測方 設：之動作的速度，其中此設備具有第-指示燈和第二 ’當動作開始或結束時’第一指示燈或第二指示燈合 ^開關的變化’此量測方法至少包括：提供第一光侦二 二將第一光債測裝置之第一不透明翠子完全罩住第— :不燈’藉以匯集自第一指示燈開關時所 :成Γ:Γ測裝置之第一光換能器會將第-光訊號轉 電子訊號；提供第二光㈣置，將第二“測 装置之第一不透明罩子完全星称筮-社一 楚一 4t 70王罩住第-指不燈，藉以匯集自 第七燈開關時所傳出的第二光訊號，而第二光 置之第二光換能器會將第二光訊號轉換成第二電子訊卜 提供正反器裝置，將第-電子訊號或第二電子訊號輸二至 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐） -:.......鲁裝.........訂.........蠢 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> 542913 A7 B7 五、發明説明（） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 正反器裝置後，正反器裝置會產生計時訊號或非計時訊 號；提供初始重設裝置，藉以重新設定正反器裝置至輸出 非計時訊號；以及提供計時器，當輸入計時訊號至計時器 時，計時器便開始計時，而當輸入非計時訊號至該計時器 時，計時器便停止計時。 圖式簡單說明： 本發明的較佳實施例將於往後之說明文字中輔以下列 圖形做更詳細的闡述，其中： 第1A圖至第1D圖為繪示電化學電鍍機台的運作示意 圖； 第2圖為繪示本發明之速度的量測工具中各元件的關 係示意圖； 第3圖為繪示本發明之較佳實施例的運作示意圖；以 及 第4圖為繪示本發明之光測裝置的的結構示意圖。 圖號對照說明： 10 機械手臂 2 0 晶圓 30 化學溶液 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 100 選擇裝置 102、104 指示燈 102a、104a 光訊號 11 2、1 1 4 光偵測裝置 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) A 7

542913 五、發明説明（） 1 12a、1 14a電子訊號 112b 不透明罩子 112c 光換能器 1 12d 固定元件 122、124訊號整型裝置 13 0 正反器裝置 14 0 初始重設裝置 15 0 量測指示裝置 160 計時器 170 時間顯示裝置 發明詳細說明： 本發明揭露一種速度的量剛工具與量測方法，用來量測 設備之動作的速度。此卫具係直接接收設備在動作時其指示 燈開關所產生的光訊號，無須修改機台設備的系統電路和 軟體系統，來精確且簡便地量測機台設備的動作速度。 請參照第2圖，f 2圖為緣示本發明之迷度的^則工 具中各元件的關係示意圖。本發明 φ痒 义明之速度的量測工具係用 來f測设備之動作的速度’其中此彳甚目士 此5又備具有指示燈102和 指示燈1 0 4，當設備之動作開始或社击味 、、、σ束寺’ 4曰示燈1〇2或 指示燈104會產生開關的變化。如在前 义之電化學電鍍機 台的例子中’假設指示燈102代表機械手 卞貧的傾斜狀態， 即機械手臂在傾斜狀態時，指示燈丨& & 曰處於開（亮）的狀 態；而當機械手臂離開傾斜狀態時，指干政 ?日不燈102則立刻會 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) ▼裝· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、τ S. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 542913 五、發明説明（ 媳滅 又 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 假自又指示燈104代表擁从 #撒Η王辟+ η表機械手臂的垂直狀態，即 當機械手臂在垂直妝能眭- 狀心吋心不燈104處於開（亮）的狀態； 而機械手臂離開垂直狀離砗， — 3¥ ‘不燈104則會立刻熄滅。 因此’备機械手臂開始自傾钭 t > 、斜狀恶移動至垂直狀態時，原 本亮的指示燈1 〇2合掉磕. 曰^滅’而當機械手臂到達垂直狀態 時，原本熄滅的指示燈104則會被打開而變亮。 月I貝多第2圖和第4圖，第4圖為繪示本發明之 光測装置的的I構不意目。本發明之量測工具具有光偵測 装置2和光偵测裝置J i 4，而如帛4圖所示，光偵測裝 置1 1 2包括有不透明罩子丨丨2b和光換能器η 2c，不透明罩 子112b係由不透明的塑膠材料所製成，藉以完全罩住指 不燈1〇2(第2圖），來匯集自指示燈1〇2開關時所傳出的光 Λ號l〇2a’由於不透明罩子U2b可避免光訊號1〇2a發散 至周圍環境中’故可獲得高強度的光訊號丨〇2a。因此，不 透明罩子1 12b的應用攸關著本發明量測的精準度和可靠 度。接著’光換能器1 12c將光訊號1〇2a轉換成電子訊號 1 12a °此外，更可有固定元件1 12d(如螺絲）安裝於不透明 罩子1 1 2b上，藉以固定光偵測裝置丨丨2於該指示燈1 〇2。 同樣地’光偵測裝置1丨4亦有與光偵測裝置Π 2完全相同 的結構，光偵測裝置丨丨4之不透明罩子（未繪示）完全罩住 指示燈1 0 4 (第2圖），藉以匯集自指示燈1 〇 4開關時所傳出 的光訊號104a，而光換能器（未繪示）則用來將光訊號l〇4a 轉換成電子訊號1 1 4a。此外，更可具有固定元件（未繪示） 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) '-........•裝.........訂.......I- · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 542913 A7 g乙_ 五、發明説明（） 安裝於不透明罩子上，藉以固定光偵測裝置i 14於指示燈 104 ° 請繼續參照第2圖，選擇裝置1 〇〇係用來決定電子訊 號1 1 2a與電子汛號1 1 4a何者應用以觸發（Trigger)計時訊 號，而何者應用以觸發非計時訊號。如在前述之電化學電 鍍機台的例子中，使用者可藉由選擇裝置1〇〇來選擇欲量 測機械手臂由傾斜位置移動至垂直位置的時間（速度），或 是由垂直位置移動至傾斜位置的時間（速度）。電子訊號 112a與電子訊號η 4a經選擇裝置100設定後，在輪入至正 反器裝置130之前，可先經過訊號整型裝置122和訊號整 型裝置1 24，以分別整理為工整的方形波型，訊號整型裝 置122和訊號整型裝置丨24可為例如史密特觸發電路 (Schmitter Trigger Circuit) ° 然後’整型後的方形波訊號輸入至正反器裝置丨3 〇， 正反器裝置1 3 0是一種有兩個穩態（例如：計時穩態和非 計時穩態）的裝置，當接受一訊號後正反器裝置130會維持 在其中一種狀態（例如：計時穩態），並輸出計時訊號至計 時器1 60，直到被另一訊號觸發成另一種狀態（例如：非計 時穩態），並輸出非計時訊號至計時器160為止。正反器 裝置130係以邊緣觸發（Edge Triggering)的形式來觸發， 只有時脈在其二個狀態之間作變換時，正反器裝置1 3 〇 才會動作。此外，初始重設裝置1 40係用來重新設定正反 器裝置1 3 0至輸出該非計時訊號。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公董) ----------------、可 I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 542913 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 當計時器1 60收到計時訊號時，計時器丨6〇便開始計 時，而當計時器1 6 0收到非計時訊號時，計時器丨6 〇便立 刻停止計時。量測指示裝置15〇係用來顯示本發明之速度 $測是否正在進行，而時間顯示裝置丨7〇係用來顯示所量 測到的時間，使用者便可據此時間來得知速度。 請繼續參照第2圖和第3圖，第3圖為繪示本發明之 較佳實施例的運作示意圖。如在前述之電化學電鍍機台的 例子中，選擇裝置1 00之電子訊號丨丨2a係用來觸發計時訊 號，而電子訊號114a係用來觸發非計時訊號。在機械手臂 由傾斜狀態移動至垂直狀態的動作中，當機械手臂一離開 傾斜狀態時，指示燈102便由亮到滅而產生電子訊號 1 1 2a，因而觸發計時訊號，使計時器1 6〇開始計時，直到 機械手臂到達垂直狀態，指示㉟1〇4便由滅到亮而產生t 子訊號H4a，因而觸發非計時訊號，使計時器i6〇停止計 時。因此，獲得機械手臂由傾斜狀態移動至垂直狀態之動 作的時間(速度)。同理，透過適當地設定，本發明： 工具亦可量測機械手臂由垂直狀態移動至傾斜狀態之動作 的時間（速度）。值得一提的是，以上所述僅為舉㈣日月， 本發明並不在此限，本發明可適用於任何具有運動 示燈之設備。 "9 另外，請繼續參照第2圖和第4圖，本發^速 量測方法如下：首先，提供光偵測裝置112和光偵 114,將光偵測裝置112之不透明罩子U2b完全罩住指示 10 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） .......雲.........、可.........· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 542913 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 燈102，藉以匯集自指示燈丨02開關時所傳出的光訊號 l〇2a ’然後，光偵測裝置112之光換能器U2c會將光訊號 102a轉換成電子訊號112a。同樣地，將光偵測裝置HA之 不透明罩子（未繪示）完全罩住指示燈1〇4，藉以匯集自指示 燈104開關時所傳出的光訊號1〇4a，然後，光偵測装置之 光換能器（未繪示）會將光訊號104a轉換成電子訊號n4a。 然後，提供正反器裝置1 3 0，將電子訊號丨丨2a或電子訊號 114a輸入至正反器裝置13〇後，正反器裝置13〇會產生計 時訊號或非計時訊號。本發明並提供初始重設裝置1 4〇， 藉以重新設定正反器裝置130至輸出該非計時訊號。然 後，提供計時器160，當輸入計時訊號至計時器16〇時， 计時器16〇便開始計時，而當輸入非計時訊號至計時器 1 60時’計時器1 6〇便停止計時。 此外’本發明之速度的量測方法更提供選擇裝置 100,藉以決定電子訊號112a與電子訊號114a何者應用以 觸發計時訊號，而何者應用以觸發非計時訊號。而在電子 訊號112a與電子訊號114a輸入至正反器裝置13〇之前， 本發明更提供訊號整型裝置丨22和訊號整型裝置丨24，藉 以刀別將電子訊號1 1 2 a與電子訊號1 1 4 a整理為工整的方 形波型。 本發明的主要優點為提供一種速度的量測工具與量測 方法，可以直接使用機台原有的功能，無須修改機台設備 的系統電路和軟體系統，便能精確且簡便地量測機台設備 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公爱) --------^^裝---------、訂 I ^9. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 542913 A7 B7 五、發明説明（） 的動作速度，因而提昇生產的產量與品質。本發明的量測 僅需一位操作人員便可完成，大幅減少人力成本。 本發明的另一優點為提供一種速度的量測工具，其戶斤 使用的光偵測裝置可以避免光訊號發散，因而獲高強度的 光訊號，有利於量測的精準度和可靠度。 如熟悉此技術之人員所暸解的，以上所述僅為本發明 之較佳實施例而已，並非用以限定本發明之申請專利範 圍；凡其它未脫離本發明所揭示之精神下所完成之等效改 變或修飾，均應包含在下述之申請專利範圍内。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐)

Claims (1)

1. 542913 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 · 一種速度的量測工具，用來量測一設備（Equipment) 之一動作的速度，其中該設備具有一第一指示燈和一第二 指示燈，當該動作開始或結束時，該第一指示燈或該第二 指示燈會產生開關的變化，該量測工具至少包括： 一第一光偵測裝置，其中該第一光偵測裝置更至少包 括： 一第一不透明罩子（Cap)，完全罩住該第一指示 燈，藉以匯集自該第一指示燈開關時所傳出的一第一 光訊號；以及 一第一光換能器（Photo Transducer)，藉以將該第 一光訊號轉換成一第一電子訊號； 一第二光偵測裝置，其中該第二光偵測裝置更至少包 括： 一第二不透明罩子’完全罩住該第二指示燈，藉 以匯集自該第二指示燈開關時所傳出的一第二光訊 號；以及 一第二光換能器，藉以將該第二光訊號轉換成一 第二電子訊號； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一正反器（Flip-Flop)裝置，其中該正反器裝置收到該第 一電子訊號或該第二電子訊號後’會產生一計時訊號咬— 非計時訊號； 一初始重設（Initial Reset)裝置，藉以重新設定該正反 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 542913 A B CD 、申請專利範圍 器裝置至輸出該非計時訊號；以及 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,一計時器，其中當該計時器收到該計時訊號時，該計 時器便開始計時，而當該計時器收到該非計時訊號時，該 計時器便停止計時。 2.如申請專利範圍第1項所述之速度的量測工具，更 至少包括： 一選擇裝置，藉以決定該第一電子訊號與該第二電子 訊號何者應用以觸發（Trigger)該計時訊號，而何者應用以 觸發該非計時訊號。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之速度的量測工具，更 至少包括： 一第一訊號整型裝置和一第二訊號整型裝置，藉以分 別將該第一電子訊號與該第二電子訊號整理為工整的方形 波型。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 如申請專利範圍第3項所述之速度的量測工具，其 中該第一訊號整型裝置和該第二訊號整型裝置為史密特觸 發電路（Schmitter Trigger Circuit)。 5. 如申請專利範圍第1項所述之速度的量測工具，更 至少包括： 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) ^^13

   一量測指示裝置，藉以顯示速度量測是否正在進行。 6 ·如申請專利範圍第丨項所述之速度的量測工具，其 中°亥第一不透明罩子和該第二不透明罩子係由不透明的塑 膠材料所製成。 7 ·如申請專利範圍第i項所述之速度的量測工具，其 中該第—光偵測裝置和該第二光偵測裝置更具有至少一第 固定元件和至少一第二固定元件，分別安裝於該第一不 透月罩子和該第二不透明罩子上，藉以固定該第一光偵測 裝置和該第二光偵測裝置於該第一指示燈和該第二指示 燈0 8 ·如申請專利範圍第7項所述之速度的量測工具，其 中该至少一第一固定元件和該至少一第二固定元件為至少 一螺絲。 9 ·如申請專利範圍第1項所述之速度的量測工具，其 中該正反器裝置係以邊緣觸發（Edge Triggering)的形式來 觸發。 • T , ........•裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 0 ·如申請專利範圍第1項所述之速度的量測工具，更 至少包括： 15 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公愛) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 542913 Α8 Β8 C8 _ D8 申請專利範圍 一時間顯示裝置，藉以顯系所量測到的時間。 11 ·如申請專利範圍第1項所述之速度的量測工具，其 中該第一指示燈和該第二指系燈為發光二極體（Light Emitting Diode ; LED)。 12·—種光偵測裝置，至少包栝： 一不透明罩子，完全罩住〆指示燈，藉以匯集自該指 示燈開關時所傳出的一光訊號；以及 一光換能器’藉以將該光訊號轉換成一電子訊號。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項所述之光偵測裝置，更至 少包括： 至少一固定元件，安裝於該不透明罩子上，藉以固定 該光偵測裝置於該指示燈。 14·如申請專利範圍第13項所述之光偵測裝置，其中 該至少一固定元件為至少一螺絲。 15·如申請專利範圍第12項所述之光偵測裝置，其中 該不透明罩子係由不透明的塑膠材料所製成。 16·如申請專利範圍第12項所述之光偵測裝置，其中 :—/................訂.........^11^· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 16 542913 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 該指示燈為一發光二極體 度 度 設 該 中 其 的當 作， 動燈 一 示 之指 備二 設第 一 1 測和 量燈 來示 用指 ，1 法第U 一 量具 的肴 產 會 燈 示 指 二 第 該 或 燈 示 指： 一括 第包 該少 ， 至 時法 束方 結測 或量 始該 開 ’ 作關 動開 該生 第一 一 第 之該 置自 裝集 測匯 偵以 光藉 一 ， 第燈 該示 將指 ，1 置第 裝該 測住 偵罩 光全 一 完 第子 一 罩 供明 提透 不 一 裝子 測電 偵 一 光第 1 一 第成 該換 而轉 1gu ’# 號訊 訊光 光一 一 第 第該 一 將 的會 出 器 傳能 所換 時光 關一 開第 燈 一； 示之號 指置訊 第二 一 第 之該 置自 裝集 測匯 偵 以 光藉 二， 第燈 該示 將指 ，二 置第 裝該 測住 僧罩 光全 二完 第子 一 罩 供明 提透 不 裝子 測電 偵二 光第 二一 第成 該換 而轉 ’ 號 號訊 訊光 光二 二第 第該 一 將 的會 出 器 傳能 所換 時光 關二 開第 燈 一 ·’ 示之號 指置訊 子時 電計 二一 第生 該產 或會 號置 訊裝 子器 電反 一 正 第該 該 ’ 將後 ’ 置 置裝 裝器 器反 反正 正該 一 至 供入 提輸 -&b # 訊 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至 置 裝 器 反 正 該 定 設 新 •lg*l 以 藉 置 ; 裝 號設 Ju U&ul tfj 時始 計初 非一 一 供 或提 &ϋ # 訊 、 寺 J^Jb口^0au, #口力口 寺 計 =°日 時計始 計一開 非供便 該提器 出 時 輸 計 # 訊 時 -tt 該 入 及輸 以 當 當 而 J-15T hr 亥 士一口 入 7 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 該器 ，時 士守 t 日 _ 器 古口 時至 計號 該訊 至寺 日 542913 ABCD 六、申請專利範圍 時，該計時器便停止計時。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項所述之速度的量測方法， 更至少包括： 提供一選擇裝置，藉以決定該第一電子訊號與該第二 電子訊號何者應用以觸發該計時訊號，而何者應用以觸發 該非計時訊號。 1 9 .如申請專利範圍第1 7項所述之速度的量測方法， 更至少包括： 提供一第一訊號整型裝置和一第二訊號整型裝置，藉 以分別將該第一電子訊號與該第二電子訊號整理為工整的 方形波型。 20.如申請專利範圍第1 9項所述之速度的量測方法， 其中該第一訊號整型裝置和該第二訊號整型裝置為史密特 觸發電路。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 法 方 測 量 的 度 之 述 所 項 7 11 第 圍 範 利 專 請 申 如 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 括 包 少 至 更 行 進 在 正 否 是 測 量 度 示 顯 以 藉 置 裝 示 指 測 量 1 供 提 8 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 542913

   2 2 j* 由 a • α曱請專利範圍第1 7項所述之速度的量測方法， 其中該第一不透明罩子和該第二不透明罩子係由不透明的 塑膠材料所製成。 23 ·如申請專利範圍第1 7項所述之速度的量測方法， 其中該第一光偵測裝置和該第二光偵測裝置更具有至少一 第一固定元件和至少一第二固定元件，分別安裝於該第一 不透明罩子和該第二不透明罩子上，藉以固定該第一光偵 測裝置和該第二光偵測裝置於該第^指示燈和該第二指示 燈0 .......I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 24.如申請專利範圍第23項所述之速度的量測方法， 其中該至少一第一固定元件和該至少一第二固定元件為至 訂 25·如申請專利範圍第17項所述之速度的量測方法， 其中該正反器裝置係以邊緣觸發的形式來觸發。 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 6 ·如申請專利範圍第1 7項所述之速度的量測方法 更至少包括： 提供一時間顯示裝置，藉以顯系所量測到的時間。 2 7.如申請專利範圍第1 7項所述之速度的i測方法 19 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 542913 ABCD 七、申請專利範圍 其中該第一指示燈和該第二指示燈為發光二極體。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐)