539590 經濟部智一慧財產局員工消費合作社印製 Λ7 五、發明說明（1 ) [發明所屬的技術領域] 本發明係關於於加工液中之電極與被加工物之極間產 生放電，以加工被加工物之線放電加工裝置的改良者。尤 係有關可抑制因上述極間距離變化而發生之加工反力於規 定值以下之放電加工裝置的改良者。 .
[習用技術] 第4圖為習用放電加工裝置之構成圖。圖中，i為電 極，2為被加工物，3為加工液，4為加工槽，5為電極保 持具，6為固定被加工物2的平台，7及8係於電極i與被 加工物2之XY平面内進行相對移動的χ軸及γ軸，9係 電極1與被加工物2之Ζ方向進行相對移動之主軸2軸， 10、11及12係驅動控制驅動χ軸、γ軸及ζ軸之未圖示 伺服馬達的X軸伺服放大器、γ軸伺服放大器及ζ軸伺服 放大器’ 13為加工電力供應機構，14為NC裝置。 先於加工槽4盛滿加工液3後，再於電極1及被加工 物2之極間，由加工電力供應機構13供應作為放電能量的 加工電力，再由定位機構的χ轴、γ軸及Ζ軸，使電極 及被加工物2相對移動，以上述極間發生之放電，進行被 加工物2之加工。 由上述定位機構之電極1及被加工物2相對定位控制 及電氣加工條件控制等係由NC裝置14統等控制 於放電加工裝置，需要電極1及被加工物2在放電加 工中之極間距離控制（加工伺服）以外之去除放電加工時發 生之加工殘渣停留於極間的機構。該機構有採用；於每一 I纸張尺度適財國@家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公爱]"Γ Ύί2219 請 先 閱 讀 背 面 之 意 事 項 再 填 · ί裝 頁I I ί tr i ! I j I I 線 539590
五、發明說明（2 ) 定時間後中斷加工，以電極1對被加工物2高速來回運動 之所謂「躍遷（jump)」動作者。由該躍遷動作之栗送 (pumping>作用’可由極間排除加工渣，以維持安定的放電 加工0 因放電加工裝置’係以黏性流體的加工液中進行加工 製程’若極間距離變化即由於加工液之黏性而產生流體 力。此種加工反力F的大小，可由下式（史提芬公式）表示 之。 F=(3 · y · V · S2)/(2 · 7Γ · G3) ......⑴ 式中， v為加工液黏性係數 V為電極與被加工物之相對移動速度 S為電極面積 G為極間距離 由式（1)可知，當電極面積S大時，由躍遷動作等之電 極與被加工物之相對移動速度V大時，及極間距離G小 時，有特別強的加工反力F產生。 第5圖係於電極與被加工物之極間距離〇變化時，其 所產生之加工反力F’以油塵伺服放電加工裝置予以測定 者’而表示電極面積S為9.6cm2，電極與被加工物之相對 移動速度V為4mm/S時的情形。若極間距離g為約7μιη 程度的加工條件下，所產生之加工反力F的大小為約 440Ν(約 45kgf，加工應力約 46N/cm2、約 4.7kgf/cm2)。此 時，電極與被加工物之相對移動速度V若因油壓伺服為 (諝先閱讀背面之主¾事項再填寫衣頁) · i <1« f— i f4 --ΪΙ i n f n 竣 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用巾國殹家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 2 312219 539590 經 濟 部 智 .¾ 財 產 局 員 工 消 費 合 作 钍 印 η Λ7 Β7 五、發明說明（3 ) 4nun/S，雖較線型馬達伺服小二位數，但奶然產生約440Ν 之加工反力（約46N/cm2之加工應力）。 若採用第5圖的結果，可由式（1)的關係，計算電極與 被加工物之相對移動速度V或電極面積S變化時產生之加 工應力F的大小。第6圖（a)係表示電極面積S為9.6cm2、 電極與被加工物之相對移動速度V為400mm/S時產生之加 工應力F的大小者。此乃線型馬達伺服所能實現的電極與 被加工物之相對移動速度。又於第6圖（b)表示電極面積S 為100cm2、電極與被加工物之相對移動速度v為4mm/S 時產生之加工應力F的大小。因而可知於第6圖（a)及第6 圖（b)之任何時候所產生之加工應力ρ大小可增大至最大 的 44000N(4500kgf)。 於上述加工液中進行放電加工的放電加工裝置，若以 躍遷動作變化其極間距離，即必產生加工反力，且因該強 大加工反力重複作用於極間，致使NC裝置内之保護電路 動作，而使加工作業於加工途中停機，甚至最壞之情形則 使電極或主軸驅動構件損傷。又，該支持電極之主轴部全 體亦將比例於加工反力而擴大其變形，致使被加工物之最 後加工精度因而劣化。尤於使用大面積電極之快速躍遷動 作，或於維持狹窄極間距離之精加工時之加工反力變大， 需於設定加工條件時，事先考慮抑制主軸躍遷動作時之速 度等對策為要。 例如日本的特開平Ί24821號公報，係揭示一種，於 比較躍遷動作之一步驟中之馬達轉矩峰值的測出值與規定 本紙献度適用t (CNS)A4規‘（2U) χ 297公爱） I Μ-------- -------線 (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 539590 A7 五、發明說明（4 基準值後，由該比較結果，使用事先記憶之補償數據決定 次一躍遷動作之加減速度的放電加工裝置之主軸負荷減輕 裝置。 (請先閱讀背面之沒*事項再填寫本頁) 如上述習用技術，係依史提芬之式（1)關係，據使電極 與被加工物之相對·移動速度V減小以抑制加工反A J7的大 小之構思者。唯使相對移動速度V減小的構思，將增加無 助於加工作業之無用時間之躍遷時間比例，因此，總加工 時間增加而使加工生產性劣化。 又因躍遷動作時之加工反力，將引起放電加工裝置之 振動’亦將由該振動的發生致使加工精度劣化，同時，亦 將增加加工時間致使加工生產性之全面劣化。 [發明所欲解決的問題] 本發明係為解消上述課題而作者。係以提供一種得能 抑制加工反力爲規定值以下，同時，得以減少躍遷動作時 間’以免主轴驅動構件的損傷及加工精度下降，同時，得 以提升加工生產性的放電加工裝置為目的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又以提供一種為能抑制躍遷動作引起之振動，進一步 防止加工精度下降，同時，得以提升加工生產性的放電加 工裝置為目的。 [解決問題的手段] 有關本發明的放電加工裝置，係於由加工電力供應機 構，對設置於加工液中之電極與被加工物極間，供應加工 電力’由定位機構使電極與被加工物相對移動，以進行被 加工物之加工，同時，由上述定位機構將上述電極對上 本紙張尺度適用中國爵家標準（CNS)A4規格（210 X 297公g ) 4 312219 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539590 Λ7 B7 五、發明說明（5 ) 被加工物進行將上述極間距離予以暫時擴大之相對移動的 躍遷動.作之放電加工裝置_，具備〆檢測加工反力之加工 反力檢測機構；設定加工反力規定值之加工反力規定值設 定機構；將由加工反力檢測機構檢測出的加工反力檢測 值，與加工反力規定值設定機構設定之加工反力規定值予 以比較之加工反力比較機構，及由加工反力比較機構比較 之上述檢測值較上述規定值為大時，即進行上述躍遷動作 轨跡變更以減低前述加工反力之動作執跡變更機構者。 又，有關本發明的放電加工裝置，係於上述動作轨跡 變更機構在上述極間距離向擴大方向動作中，由上述加工 反力比較機構之比較而得上述加工反力之檢測值較上述加 工反力之規定值為大時，使上述電極與被加工物之相對移 動速度V略為一定，而於上述極間距離向減少方向動作 中，由上述加工反力比較機構之比較而得上述加工反力之 檢測值較上述加工反力之規定值為大時，進行使上述相對 移動速度之絕對值下降為設定速度Vs=k · Vmax，以下之 躍遷動作執跡變更，而式甲〇<k<l、Vmax為可能到達的最 大速度，而且，Vmax=(f - 2 · 7Γ · G3)/ (3 · y · S2)，其 中’ f為上述加工反力之規定值，G為上述極間距離，^ 為上述加工液之黏性係數，S為上述電極面積者。 又’本發明的放電加工裝置，係於由加工電力供應機 構’對設置於加工液中之電極與被加工物極間供應加工電 力’由定位機構使電極與被加工物相對移動而進行被加工 物之加工，同時由上述定位機構，將上述電極對上述被 if — llllili — — — * I I I» I I I I i — (請先¾讀背C&之主意事項再填寫衣頁) 本纸張尺度適用中國殴家標準（CNS)八4規格（2丨〇 X 297公釐） 5 312219 539590 A7
本氏張尺度適用_國函豕標準（CMS) A4規格（210 x 297公爱） 6 312219 539590 A7 B7 五、發明說明（7 ) ---------------^--- f琦先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，本發明的放電加工裝置，係將上述躍遷動作中之 上述電極與被加工物之相對移動速度指令值，作為，，傅立# 級數”予以合成，且於該’’傅立葉（Fourier)級數，，之第n個頻 率成分與機械系共振頻率為一致或為近似時，.將上述，，傅立 葉級數”成分之第ri個成分予以去除後合成，或去除第^ 個以上之高次成分予以合成者。 又’本發明的放電加工裝置，係將上述躍遷動作中之 上述電極與被加工物之相對移動速度指令值，作為，，傅立葉 級數，，予以合成，且於該”傅立葉級數，，之第n個頻率成分與 機構系共振頻率為一致或為近似時，將上述”傅立葉級數，， 成分之第η個成分之振幅予以微小化後合成，或將第η個 以上之高次成分振幅予以微小化後合成者。 .線· 因為本發明的放電加工裝置係如上述之構成，可將加 工反力等與規定值，以實時條件（real time)予以比較後，得 由進行仔細的控制，將加工反力等抑制為規定值以下，同 時亦可減少其躍遷動作時間，因此，得以防止主軸驅動構 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 件等之損傷’及加工精度的低落，同時亦得以提升加工生 產性。 又因為隨著加工反力等之增加而急速變更躍遷動作中 之軌跡之情形，亦得以仰制由機構共振引起的加工精度低 落及由殘留振動增大的加工時間。 [發明的實施形態] 第1圖為本發明實施形態的放電加工裝置構成圖。圖 中，1為電極，2為被加工物，3為加工液，4為加工槽，5 312219 本紙張尺度適用中國®家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 539590
五、發明說明（8 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 為電極保持具，6係為固定被加工物2的平台，7及8係於 電極1與被加工物2之χγ平面内進行相對移動的X轴及 Y軸’ 9係電極1與被加工物2之z方向進行相對移動之 主軸Z轴，10、Π及12係驅動控制驅動X轴、γ轴及z ♦ 轴之未圖示伺服馬達的之X軸伺服放大器、γ軸伺服放大 器及Z軸祠服放大器，13為加工電力供應機構，15為NC 裝置。 先於加工槽4盛滿加工液3後，再於電極1及被加工 物2之極間’由加工電力供應機構13供應作為放電能量的 加工電力’再由疋位機構的X轴、Y轴及Z輛，使電極1 及被加工物2相對移動，以上述極間發生之放電，進行被 加工物2之加工。 由上述定位機構之電極1及被加工物2相對定位控制 及電氣加工條件控制等係由NC裝置15統籌控制，而由 NC裝置15進行加工伺服動作及為排出加工渣之一定躍遷 動作之控制。 第2圖係說明本發明實施形態的放電加工裝置之躍遷 動作方塊圖。其中，與第1圖相同之符號係表示該同一或 相當的部分。於第2圖中，9a為Z轴驅動用伺服馬達、9b 為位置檢測器、9c為速度檢測器、9d為滾珠螺桿（ball screw)、16為電氣條件及躍遷動作條件等加工條件設定 部、17為動作執跡勒期參數記憶部、該動作軌跡初期參數 係用以製作對應於加工條件設定部所設定之加工條件之動 作軌跡；18為初期動作執跡演算部、係使用設定在加工條 ------------Μ---------------Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用令國囿家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 8 312219 539590
經濟部智慧財產局員Η消費合作社印S A7 B7 五、發明說明（9 ) 件設定部16之加工條件及動作軌跡初期參數記憶部17之 對應於該加工條件之參數，演算動作執跡；19為動作控制 參數演算部、係將齒隙補償等補償量加算將每次伺服指令 周期之指令值數據向伺服放大器12送信；20為Z轴驅動 用词服馬達9a之電流檢測部、21為馬達定數記憶部、22 為加工反力及變形量演算部、23為加工反力規定值設定機 構、24為加工反力比較機構、25為動作執跡變更機構、26 為動作轨跡變更變數記憶部。 為主轴之Ζ轴9的位置資料，由位置檢測器91)檢出 後，輸入於Z轴伺服放大器12。又，Z軸驅動用伺服馬達 9a之轉動速度，係由速度檢測器9c檢出後，亦輸入於ζ 軸伺服放大器12。 由Z轴驅動用祠服馬達9a及滾珠·螺桿9d等所成之ζ 轴9之驅動裝置，係以驅動力與馬達電流成為比例，因而 可使用Z軸驅動用伺服馬達9a的馬達定數求得加工反 力。也就是說，得以馬達定數記憶部21記憶有關ζ轴驅 動用伺服馬達9a之定數資料，及以電流檢測部2〇檢測的 馬達電流值為基準，由加工反力及變形量演算部22計算驅 動負荷，再由該駆動負荷減去隨著Z軸動作的可動部慣性 力求取加工反力。又因該加工反力及變形量演算部22，倚 有換算力與變形的數表，因而，可由加工反力求得放電加 工裝置本體之變形量。 如第2圖所示之方塊圖構成中，該電流檢測部2〇、馬 達定數記憶部21及加工反力及變形量演算部22，係相合 本紙張尺度適用t國®家標準（CNS)A4規格（2丨0 X 297公釐） I --------------^------- t · ---i ---------* S (請先閱讀背面之>x*事項再填寫本頁) 539590 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（1ό ) 於加工反力檢測機構及變形量檢測機構。 設定於加工反力規定值設定機構23之加工反力規定 值，係以主轴驅動構件之容許負荷及電極與電極保持具固 定強度的容許負荷等予以總合考慮，設定容許負荷為最小 值即可。又，該加工反力規定值之設定得以手動予以輸入， 亦得以設定電極形狀資料等為基準之計算值。該規定值係 以加工面積及加士條件而改變’因此’於加工進行中亦能 變更上述規定值之設定為要。 加工反力比較機構24’係將設定於加工反力規定值設 定機構23之規定值，與由加工反力及變形量演算部22求 得之加工反力，予以實時（real time)之比較。 動作軌跡變更機構25，係由加工反力比較機構24之 判定結果’獲知加工反力為規定值以上時，即進行變更動 作執跡的演算。 動作熟跡變更變數記憶部26，係記憶動作執跡變更機 構25動作時之動作執跡變更參數。 由動作執跡變更機構25之演算而確定之動作執跡令 之控制參數係保存於動作執跡變更變數記憶部26，且於次 一躍遷動作不必變更動作執跡時，由動作控制變數演算部 19，從動作執跡變更變數記憶部26抽出控制參數，加上補 償量，以每一伺服週期之指令量資料送至伺服放大器i 2。 第3圖係說明由加工反力比較機構24之比較結果進行 躍遷動作控制之說明圖。其中，第3圖之（a)至（c)係分別表 示極間距離G、加工反力F及電極與被加工物之相對移動 ί -----------: -I------- ^ ----—^ /---- (請先閱讀背函之注*事頊戽填寫.本買> 本纸張尺度適用中國®家標準（CNS)A，1規格（210 X 297公釐） 10 312219 539590 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ7 B7 五、發明說明（11 ) 速度V之時間變化例。亦於第3圖中表示，初期動作執跡 LG1、執跡變更後之動作執跡lG2(以下稱為變更動作執 跡）、於初期動作軌跡之動作檢出之加工反力LF1、變更動 作執跡之動作檢出之加工反力LF2、初期動作執跡令之電 極與被加工物之相對移動速度LV1、變更動作轨跡中之電 極與被加工物之相對移動速度LV2。 於第3圖中，在初期動作軌跡LG1動作'，而由加工反 力比較機構24比較結果之加工反力f之絕對值，若超過 規定值f(tl)時，由動作軌跡變更機構25,使相對移動速度 V依照一定速度動作。使其如此動作之理由為因該動作時 刻11時，係將極間距離G予以擴大方向動作進行中，在此 種狀態，該極間距離G及相對移動速度V係擴大中，唯由，， 史提芬”之式（1 )，加工反力F係比例於相對移動速度v， 且與極間距離G之3次方成反比，故使相對移動速度乂為 一定速時，可隨極間距離G之擴大減少加工反力f之緣 故。 之後，極間距離G之擴大由加工反力比較機構24之 比較結果，獲知加工反力F之絕對值為規定值以下時（t2)， 由動作執跡變更機構25,將動作執跡變更為初期動作執跡 LV1同樣形狀之動作軌跡。 而於減少極間距離G方向動作中（t3)，由加工反力比 較機構24之比較結果，獲知加工反力ρ之絕對值超過規 定值f時，由動作軌跡變更機構25將相對移動速度v之 絕對值下降為設定速度Vs以下動作。該設定速度vs，係 • ---[ I I ] ί ^ *4-1111— I » (琦先閱讀背面之注意事項再填寫衣頁) 本紙張尺度適用中國画家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 312219 539590 Λ7 B7 五、發明說明（12 ) 由史k芬公式（1)之變形式Vmax=(f.2· 7Γ ·ϋ3)/(3· y · S2) ’以加工反力f之規定值f為基，求取可能的最大到達 速度Vmax ’再於該最大到達速度vmax乘以規定係數而 得。也就是’將相對移動速度V為設定速度VS(Vs=k· Vmax，0<k<l)以下動作。 如上動作之理由，係因t3時，係將極間距離G向其減 少之方向動作進行中，而在該狀態，由史提芬之式（1)，加 工反力F係反比於極間距離〇之3次方，因此，為了使隨 著極間距離G之減少而有擴大傾向的加工反力f減少，須 如上述使相對移動速度V為設定速度Vs以下。 此後’若極間距離G繼績減少為加工反力F之絕對 值’再度成為規定值f以上時（t4)，由動作執跡變更機構 25進行同樣的演算，以使相對移動速度v為設定速度Vs 以下，再下降相對移動速度V之絕對值予以動作。 由上述動作執跡之控制，得將在變更動作執跡LG2檢 出之加工反力LF2為加工反力規定值f以下。 如上述，將加工反力與規定值，以實時予以比較後， 進行仔細的控制，使躍遷動作全體不以加減速度予以單純 的變更，故得使加工反力為規定值以下，同時，亦可減少 其躍遷動作時間，因而得以提升加工生產性。亦適用於實 際放電加工中之複雜電極形狀之用。 如上述進行躍遷動作時，該電極與被加工物之相對移 動速度之指令值V(t)，可由作為如次式之，，傅立葉級數，，予 以合成，而抑制加工時間之擴大。 f琦先閱讀背面之注*事項再填寫本1}
· n i ί I n SI Hr · —Jv I? d .n 1· n I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¾ 衣紙張尺度適用令國©家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 12 312219 539590 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ7 Β7 五、發明說明（13 ) ®(t)= Ak · sin((〇k · t+0)+Blc · cos(〇)k · t+θ)) (2) 此時，k=l、2、···、t為時間，0為初期相位。 式（2)中’第π個頻率成分若與機構系共振頻率為一致或為 近似時’電極與被加工物之相對移動速度之指令值V⑴之 傅立葉級數’將上述’’傅立葉級數（F〇urier)’，成分之第η個 成分予以去除後合成，或去除第η個以上之高次成分予以 合成，或以傅立葉級數成分之第η個成分之振幅予以微小 化後合成，或將第η個以上之高次成分振幅予以微小化後 合成。 放電加工裝置的機械系共振頻率，可由振動模式之解 析等實驗予以掌握，即可如上述去除放電加工裝置之機構 系共振頻率為一致，或近似之頻率成分，或使用由微小化 傅立葉級數合成之速度指令，使在隨著加工反力的增加， 於躍遷動作中之執跡急速變更時，得以抑制由機械共振引 起的加工精度低落及由殘留振動增大的加工時間。 上述說明中，係於加工反力規定值設定機構23設定加 工反力之規定值，將該加工反力規定值與加工反力之檢測 值予以比較者。唯可由加工反力及變形量演算部22換算力 及變形量，因而，可不設定加工反力規定值設定機構23 之加工反力之規定值，代之設定變形量規定值，將該變形 量規定值與加工反力及變形量演算部22檢測之變形量予 以比較，再依該比較結果進行控制。或由加工反力F及電 極面積S求取加工應力F/S，以設定加工應力規定值代替 加工反力規定值設定機構23之加工反力規定值，以將該加 ! I ---I I I I ί ^ · ! -------«I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國毆家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 13 312219 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539590 八7 --—~_____ 五、發明說明（14 ) 工應力規定值與上述加工應力F/s比較，再依該比較結果 進行控制亦可。 又於上述說明中，雖係將加工反力及變形量之檢測， 由Z轴驅動用伺服馬達之電流檢測，及馬達定數演算而 得，亦可由感測器直接檢測。例如：使用測力器及壓力感 測器等檢測加工反力、使用雷射光變位器及靜電容量型變 位感測器等檢測變形量亦可。 亦於上述說明中，如第2圖所示，就由滾珠螺桿9d 傳達驅動力的放電加工裝置之例，亦可為不使用滾珠螺桿 9d的線型馬達骚動之放電加工裝置。 [發明在產業上的利用性] 如上述，本發明的放電加工裝置，係於加工液中之電 極與被加工物極間發生放電，由該放電能量而適用於放電 加工作業之使用。 [附圖的簡單說明] 第1圖係有關本發明實施形態的放電加工裝置構成 圖。 第2圖係有關說明本發明實施形態的放電加工裝置之 躍遷動作方塊圖。 第3圖（a)係有關說明由本發明實施形態的放電加工裝 置中，由加工反力比較機構比較極間距離（G)結果之進行躍 遷動作控制說明圖。 第3圖（b)係有關說明由本發明實施形態的放電加工裝 置中，由加工反力比較機構比較加工反力（F)結果之進行躍 本紙張尺度適用中國©家標準（CNS)A4規格OM0 X 297公釐） 14 312219
款------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---- --- 竣 539590 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2被加工物 4加工槽 6工作平台 8 Y軸 9a Z軸驅動用伺服馬達 9c速度檢測器 10 X軸伺服放大器 12 Z軸伺服放大器 14 NC裝置 16加工條件設定部 A7 五、發明說明) 遷動作控制說明圖。 第3圖(C)係有關說明由本發明實施形態的放電加工裝 置中由加工反力比較機構比較移動速度（V)結果之進行躍 遷動作控制說明圖。 第4圖為習用放電加工襞置構成圖。 第5圖係表不電極與被加工物之極間距離變化時發生 之加工反力測定例之示意圖。 第6圖⑷係表示習用放電加工裝置之加工反力及極間 距離之關係圖（1)。 第6圖（b)係表示習用放電加工裝置之加工反力及極間 距離之關係圖（2)。 [符號的說明] 1電極 3加工液 5電極保持具 7 X轴 9 Z轴 9b位置檢測器 9d滾珠螺桿 11 Y轴伺服放大器 13加工電力供應機構 15 NC裝置 17動作軌跡初期變數記憶部 18初期動作轨跡演算部 19動作控制變數演算部 ill----— — — — — — ---- I I ! ..Ur (諝先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 本纸張足度適用中國葑家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 15 312219 539590 A7 B7 五、發明說明（16 ) 20電流檢測部 21馬達定數記憶部 22加工反々及變形量演算部 23加工反力規定值設定機構 24加工反力比較機構 25動作執跡變更機構 26動作執跡變更變數記憶部 _ (請先閱讀背面之注*事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 衣紙張尺度適用中國©家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 16 312219