TW536442B - 6-DOF fine position adjustment platform - Google Patents
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Description
536442 A7 r____B7 五、發明說明(/ ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種六自由度微調定位平台裝置,尤指 一種可令夾座達到六自由度奈/微米調整的平台裝置,以 滿足不同領域之精密微奈米級定位平台。 近年來隨著光電、通訊、半導體、生物科枯耸基口 精密化、微小化的趨勢,相關零件亦愈趨精密細緻,反應 在組裝或檢查程序上,即要求的相關作業機台、基座的定 位精度極高,這些組裝或檢查作業所要求精度所跨足的產 業包含有:磁碟機資料讀寫頭的組裝、傳真機用光學頭電 路板的組裝、半導體檢查裝置之光學系統,或_搞合對 準等領域,該等精密製程作業通常所要求精度均在微米 區,甚至低於l〇〇nin以下的尺寸。 上述提及的各項製程作業的傳統之精密零件定位作 上,大多會利用到伺服馬達及滾珠螺桿所構成的驅動裝 置,但隨著產品微小化的趨勢,要求的作業精度已愈來愈 接近傳統伺服機構之解析度的上限,且這些精密零組件: 組裝時,仍存在下列缺點: 1 ·零件微小,不利組裝作業。 2 ·零件在稍微固定後,不易作微動調整。 3 ·零件在精確位置調整後,因後續的強力固定作 業’會使位置再偏移。 由於傳統伺服移動機構在微米以下之微動範圍,傳重 組件間存在著“黏著—滑動(stick—slip),,的問題,、 易達到精確的定位要求,故此類組裝作業大多仰賴熟練= 術士的技術及經驗的判斷,以人工調整的方式達到高精宓 本紙張尺^7^_辟(^)A4 ⑵Q χ 2973公爱) A7 B7 五、發明說明〇) 的作業需求。 綜上所述,對於精密產業確實達到微米尺寸的效果,是=動機台,仍無法 置仍=步改良’才能達到較為精良的產品。 穿詈外 ^ °周正被奈米及的微動基座 !的:程:r]六自…間的移動,™線對 裝置包ΐ有述目的所使用之主要技術手段係令該微調平台 一基座; 脖組直線微調微動組,錢置於基座上,其包含數個 方疋轉檯,部份旋轉檯堆疊設置; =多軸向微㈣動組,其疊設於該直線微調微動 組,係由具圓弧面的滑動塊組成; 數組位移驅動元件組,係分別設置於對應旋轉檯軸線 的對稱位置,係可產生單次奈/微米級的衝擊力;二夾座,分別設置於該直線微調微動組中單一旋轉檯 的頂端’另—則設置於該多軸向微調旋動組的頂端; 上述微調平台裝置主要操作原理,係控制直線微調微 動組與多軸向微調旋動組各旋轉檯的動作’使夾座呈不同 方向直線及多軸向角度的位移’由於可設定直線微調微動 組的疊設旋轉檯間為單一固定方向滑動,以及設定多軸向 微調旋動組的疊設旋轉檯呈三軸方向的角度的滑動,因 此,對於設置於平台的央座可達到六個自由度的微調,可 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂,: 參 -n n n n n ‘ 本紙張尺國國家標準(CNS)A4規格(21〇 χ 297公爱)一 536442 第一圖 第二圖 第三圖 第八圖 第九圖 第十圖 A7 五、發明說明($ ) 應用於精密作業的微調之用,相當具有實用性。 為使貴審查委員能進一步瞭解本發明具體之設計及 其他目的’兹附以圖式詳細說明如后: (一)圖式部份: 係本發明第一較佳實施例的一立體組合圖。 係第一圖的立體分解圖。 係第一圖直線微調台的立體分解圖,其揭示γ、 X軸微動檯結構。 第四圖:係第一圖直線微調台的z軸微動檯的立體分解 圖。 第五圖:係第一圖多軸向微調台的Y角度旋轉檯的立體分 解圖。 第六圖:係第一圖多軸向微調台的X角度旋轉檯的立體分 解圖。 第七圖·係第一圖多軸向微調台的轉塊與夾座立體分解 圖。 係本發明位移驅動元件組的立體分解圖。 係本發明第二較佳實施例的立體圖。 係第九圖的多軸向微調台立體分解圖。 第十一圖:係第十一圖的上視圖。 第十二圖:係第十一圖的一位移驅動元件組的剖面圖。 第十二圖·係本發明位移驅動元件組各點的特性圖,其揭 示該位移驅動元件組通電後各點呈現的施力狀態 與位移狀態。 本紙張尺度刺中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 公釐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
536442 A7 五、發明說明( 第十四圖A、b ··係本發明 側視平面圖。 (二)圖號部份: (10)平台 (1 1 1 )定位柱 (1 3)位移驅動元件組 (1 3 2)壓電元件 (1 3 4 )慣性體 (1 3 6 )穿孔 (2 0 ) Y轴微動楼 (2 2 )凸塊 (2 4)位移驅動元件組 (3 2 )凹孤面 (3 2 2)穿孔 (3 3 1 )螺孔 (3 5 )支撐體 (3 5 2)空間 (3 7)本體 (3 7 2 )位移驅動元件組 (3 8 1 )容置槽 (383)壓電元件 (3 8 5 )慣性體 (4 0 ) Y角度旋轉檯 (4 1 2)凹槽
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 第三較佳實施例的一組合立體 (11)基座 (1 2)凸塊 (1 3 1 )外殼 (1 3 3)打擊部 (1 3 5)彈簣 (1 4)位移驅動元件組 (2 1 )凹槽 (2 3 )位移驅動元件組 (3 Ο ) X軸微動檯 (3 2 1 )長槽 (3 3 )基台 (3 4)套環 (3 5 1 )凹室 (3 6 )旋動檯 (3 7 1 )容置槽 (3 8)轉盤 (3 8 2 )位移驅動元件組 (3 8 4 )打擊部 (3 8 6 )彈簧 (41)凸弧面 (4 1 3)凹槽 297 " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
536442 A7 B7 五 、發明說明(f) (4 2 )凸弧面 (4 2 2 )穿孔 (4 4)位移驅動元件組 (4 6 )螺帽 (5 0 ) X角度旋轉檯 (5 2 )位移驅動元件組 (5 4 )凹槽 (5 6 )凹槽 (6 0 )轉塊 (6 2 )凹槽 (6 4)位移驅動元件組 (6 6 )樞轴 (7 0 a ) Z軸微動檯 (7 1 a )位移驅動元件組 (7 2 a )位移驅動元件組 (7 4 )彈簧 (7 6 )長槽 (7 8 )下斜塊 (8 0 )固定柱 (9 0 )夾座 (9 2 )光纖 (4 2 1 )長槽 (4 3 )位移驅動元件組 (4 5 )螺柱 (4 7)強力磁鐵 (51)凸弧面 (5 3 )位移驅動元件組 (5 5 )穿孔 (5 7)凹槽 (6 1 )凹槽 (6 3 )位移驅動元件組 (6 5 )軸孔 (7 0) Z軸微動檯 (7 1 )位移驅動元件組 (7 2 )位移驅動元件組 (7 3 )螺栓 (7 5)墊圈 (7 7)上斜塊 (7 8 1 )軌槽 (81)軌槽 (91)夾座 (9 3 )光纖 --------------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·_ 本發明係為一種具有微奈米級的六自由度調整功能的 微動基座裝置,係主要藉由於一平台上設置一組直線微調 微動組及一組多軸向微調旋動組等構件組成六自由度微調
536442 五、發明說明(b)
裝置。 >本餐明主要包括有一基台、一直線微動組及一多轴向 方疋動組,δ亥基座上依序疊接該直線微動組及一多轴向旋動 組,其中: z軸直線移動的 Y、Z軸向旋動 該直線微動組係包含三個依X、γ 平檯,三平檯係相互疊接; 该多軸向微調旋動組係包含三個X 的弧形檯,又三弧形檯係相互疊接;
I 上述六自由度微動裝置可藉由操作直線微動組,可依 γ/ζ三軸向呈直線運動,又,控制多軸向微調旋動 則可令微動裝置作旋動,其旋動之軸心分別為乂、 Ζ二軸向’由於各平檯或弧形檯内設有位移驅動元件 而各位移驅動元件組可產生奈/微米級的敲擊力,八 各平檯或弧形檯運作,而構成六自由度的微動功能。? 再請配合參閱第i及第二圖所示,係為本發明 一較佳實施例微動平台裝置的詳細結構圖,其中: 該基座(1D ’其上端面形成轴鳩尾凸塊(1 杜於该凸塊(12)的兩端位置設置兩對稱 動凡件組(13) (14),如第三圖所示; 该直線微調微動組係分別設置於基座(1 〇 & 配合參閱第三圖及第四圖,係包含有·· 月 ,微動檯(20),其下端面相對該 1)的場尾凸塊(12)形成一γ轴鳩尾凹槽(21), 即位於兩位移驅動元件組(1 3 ) Γ 1 /1、 4 J間,藉由位移 本紙張尺度細中‘家標準(CNS)A4規格(210 X 29$公董) A7 、發明說明(J;) 驅動元件組(1 3 ) r, 微動檯(20)與基座心===令該Y轴 又該Y軸微動檯(? n 向的直線移動, (川,並於凸塊(0二上端面形成-x軸鳩尾凸塊 移驅動元件組(2 ( 2 4广兩側设置有-組對稱的位 —X軸微動檯(q ^ „ 凸塊(22)的凹样(3 而面形成相對X軸場尾 位於Y轴微動接厶^二成/轴直線滑動面,- (24)間,又二二)的兩位移驅動元件組(… 一上ί而面形成一凹弧面(3 ρ ) 心軸與Υ軸方向相同; 面w 2 ) ’其中 直可;:τ定柱(80) ’係固定設置於基座(10)上, 八σ - 形,並於其中側邊形成一長形執槽(8 i ) · 側翼、rzr動棱(70) ’其呈一 ^,其-側延伸-=,並於側翼邊形成長槽(76),可透過_組螺栓 3)、墊片(75)、及彈簧(7 4)組插設至該固 (8 〇 )的長形執槽(8 1 )上’並於相對ζ軸方向 設置一組對稱擺設的位移驅動元件組(71) , 又其頂端可固設一夹座(QQ); 又,該多軸向微調旋動組係疊設於部份直線微調微動 組結構上,請配合參閱第五圖、第六圖及第七圖所示,其 包含有: 一 Υ角度旋轉檯(4 0 ),其下端面形成可與χ軸微 動檯(3 0 )滑接的X軸凸弧面(4 1 ),令該γ角度旋 轉檯(4 0 )相對X軸微動檯(3 0)形成γ軸角度$自 ϋ張尺度ϋ中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
· I . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂· B7 五 .¾. 536442 A7 B7 、發明說明(f) 由度移動,又其上端面形成γ軸上凹弧面(42),其中 下凸弧面(4 1 )形成有兩對稱的χ軸凹槽(4 1 2 ) (413),供一組正、反方向移動的位移驅動元件組 (43) (44)設置其中; ^ —Χ角度旋轉檯(50),其下端面形成可與γ角度 旋轉檯(40)滑接的下圓弧面(51),而其上端面ς 内凹形成-具有穿孔(55)的圓形凹槽(54),其中 下圓弧面(5 1 )形成有兩對稱的γ軸凹槽(5 6 )( 5 7),供一組正、反方向移動的位移驅動元件組(52) (5 3 )設置其中; 一圓形轉塊(β〇),係設置於該圓形凹槽(5 4) 上,其中心位置形成有一軸孔(6 5 )以對正凹槽(5 4)的穿孔,供一樞軸(66)穿經,又該圓形轉塊(6 〇)形成兩凹槽(61) (62),供兩位移驅動元件組 ( 6 3 ) ( 6 4 )容置,並供夾座(9〇)固設於其上; 上述微動平台裝置藉由直線與多軸向微調旋動組的設 置,構成一具六自由度的可動結構,並於各段旋轉楼皆設 有相對產生敲擊力的位移驅動元件組,使旋轉檯產生奈/ 微米的位移。 上述於角度位置的調整係受到重力影響,故對於以圓 弧面接合的旋轉檯,即需考慮其接觸的磨擦力影響,請參 閱第五圖所示,於Χ微動檯(3 〇)上端凹弧面(3 2 ) 的中心線位置形成一γ軸長槽(321),而該γ角度旋 轉檯(40)的上端弧面依中心線位置同樣形成一乂軸長 本紙張―尺㈣财關家鮮(CNS)A4規格⑵G χ 29丨70公爱 --------------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —訂. 536442 A7 五、發明說明(^ ) 槽(4 2 1 ),並於兩長槽(3 2丄)(4 2丄)的中心 .…占形成一牙孔(3 2 2 ) ( 4 2 2 ),以供調整磨擦力裝 置設於其中,各調整磨擦力裝置包含有: 一螺柱(4 5 ),其插設於該貫穿孔(4 2 2 )中;螺巾自(4 6 ),自螺柱(4 5 ) —端栓入,可配合 墊圈(4 8 )使用; 一強力磁鐵(4 7 ),係吸附於該螺帽(4 6 )上, 並且谷置於長槽(321) (421)中。 以Y角度旋轉台(4 0 )的磨擦力調整裝置來說,該 強力磁鐵(4 7 )係與對應的X角度旋轉檯(5 〇 )呈相 異磁性,而令Y角度旋轉檯U 0)與X角度旋㈣(5 〇)形成一吸引力,以增加兩者間之磨擦力令 樓(…固定於Υ角度娜(40),又二= 磁鐵(4 7 )吸附於螺帽(4 6 )上,故調整螺帽(4 6)位置,即能改變吸收力的強弱,而達到調整兩 擦力的作用。 請參閱第八圖所示,係為上述位移驅動元件組的詳細 結構没計圖,其包含有; 外设(1 3 1 ),其一側形成一穿孔( 6 ) -壓電元件(132),係具極高的頻率響應特性, 故施予脈衝電壓,會令其瞬間產生伸縮狀態; -打擊部(1 3 3 ),係連接於該壓電元件 的一適當位置; 丄J -慣性體(1 3 4 ),係設置於相對該打擊部(1 3 本紙張尺度刺巾闕家鮮(CNS)A4規格(210 X ^公爱「 --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·
536442 A7 五 3 )對稱位置的壓電元件(1 3 2 )上; 一彈簧(1 3 5 ),係設於該慣性體(1 3 4 )上, H 4打擊部(1 3 3 )位置呈一直線,並抵止於外殼(1 31)内壁。 欠前述夾座設置於微移基座裝置,達到六自由度位置調 整’以下分別就該夾座進行各自由度的調整說明如下,請 一 5多閱第一圖及第二圖所示(以第一象限正、 向): 1 Y軸的自由度移動:欲令夾座(9〇)向γ軸的 正向移動,則控制基座(丨i )左側的位移驅動元件組 (1 4 )彳里擊γ軸微動檯(2 〇 ),故疊設於γ軸微動檯 (2 〇)之上各旋轉檯及夾座(g〇),即可於呈γ軸正 向移動,反之,若令夾座(9 〇 )呈Y軸反向運動,則令 基座右側的位移驅動元件組(i 3 )向左敲擊,使夾座 (9 0)得連動向左移動。 2 X軸的自由度移動:欲令夾座(g〇)向X軸的 正向移動,則控制Y軸微動檯(2 〇 )後側的位移驅動元 件、、且(2 3 ) 4里擊X軸微動檯(3 〇 ),故疊設於X軸微
動檯(30)上的各旋轉檯及夾座(g〇),即可於呈X 軸正向移動,反之,若令夾座(9 〇)呈X軸反向運動, 則令Y軸微動檯(2 〇 )前側的位移驅動元件組(2 4 ) 向後的X軸微動檯(3 〇 )敲擊,使夾座(9 〇 )得連動 向後移動。 3 · Z軸的自由度移動:欲令夾座(9丄)向z軸的 --------------裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 536442 五、發明說明(y \ 龍制ZIA微動檯(7 Q)下側的位 ::,件組(72)向上撞擊,令2軸微動檯(72) ^二柱(8 〇)上向上移動,此時,即帶動夾座(9 下);私’反之’若欲令夾座(9丄)呈Z軸反向(向 組Γ 7則7 2軸微動檯(7 0)的上側位移驅動元件 下撞擊,使夹座(91)得隨著ζ ◦)向下移動。 站2·¥軸角度的自由度移動:欲令夾座(9 0)作γ 後如广!角度順向調整,則控制¥角度旋轉檯(40)的 =移驅動元件組(44),如第五圖所示, :轉棱(40)中間位置敲擊,以令γ角度旋轉摄(4 疊接旋轉檯與夾座(9〇),一同於χ軸微動 :3 0)上呈順向角度移動;反之,該夾座(")欲 f =軸角度的逆向移動,僅需控制該另-位移驅動元件 。且(4 3 )動作即可。 5 X軸角度的自由度移動··欲令夾座(9 〇 )作X =度順向調整’如第六圖所示,則控制x角度旋 至 的左側位移驅動元件組(5 3 )向X角产旋 轉檯(5 〇 )的中間敲擊,令X角度旋轉檯(5 0):夾 f (9〇),一同於Y角度旋轉檯(40)上呈順向角度 移動,反之’該夾座(9 Q )欲達到χ㈣度的逆向^ 動’僅需控制該另-位移驅動元件組(5 2)動作即可。 6 · Ζ軸角度的自由度移動:欲令夾座作Ζ轴角度的 角度順向調整,如第七圖所示,係控制該圓形轉心6 本紙張尺㈣财關家鮮(CNS)A4祕(21G X 297公愛 五、發明說明(Ια) 〇 )内之位移驅動元件 於其上的夹座(90)順向偏移=動:,即可令固定 〇)欲進行逆向調整,再令 ,右圓形轉塊(6 4)動作即可。 側之位移驅動元件組(6 由上述可知,將兩光、纖(9 兩夹座(90) (91)上,即可(93)分别設置於 正,以降低損耗。 ^由度的精密校調對
請參閱第九圖所示,传A 其中基座(1 〇 )與直線微調整二:二二佳實施例, 向微調旋動組係以球體代替弧; 訂 藉由圓弧面達到角声轉動^疋轉&的§又叶,但同樣為 -轉動的功效’請配合參閱第+ F1所 =,该多轴向微調旋動組係包含有-基檯(二十圖: 成;其中:勺套衣(34)及一支撐體(35)組 螺外側形成有外螺紋,其中心點形成一 螺紋該Γ(34)内壁形成有對應該基接(33)的内 〆支铋體(3 5 )的上段位置内凹一球形凹室(3 5 1)而下奴位置形成一貫穿上方球形凹室(η】)的 内螺、次工間(3 5 2 )’以同樣螺合至該基檯(3 3 ) 球形方疋動檯(3 6 ),係由一具有球面的本體(3 7)與一轉盤(3 8)構成,其中: ^紙張尺度適用中國國""^票準(CNS)A4規格(210 X 2^公楚)------ 336442 A7 B7 、發明說明(/3 ) (3 本3 7)形成有球面的位置係容置於該支撐遷 的球圓凹室、 成數個容置槽(371) 並對應XZ、YZ平面死 上,而H、(3 8)係設置於該本體(3 7)的非球面 士應於π平面位置形成兩對稱容置槽(38 1); 位移驅動元件組(3 7 2 ) ( 3 8 2 ),係 於球形旋動檯㈡6)的對應容置槽(3川 、J 8 1 )内。 !且P1棋述可知,配合S —較佳實施例的直線微調微動 氕平可達到六自由度的微調功能,即設置於本發明微 =口裝置的夾座(90),可供元件,如光纖(92) 後’經由平台的各角度調整,得令兩光纖的接 占决為最低,亦即,可獲得最小損耗值。 月多閱苐十一圖所示,係為上述裝設於轉盤(3 8) 二的位移驅動元件組(3 8 2 )的剖面圖,其同樣包含有 ^電兀件(3 8 3 )、打擊部(3 8 4 )、慣性體(3 8 及彈f ( 3 8 6 ),請配合參閱第十二圖所示,當加 入一週期性的脈波至上述壓電元件(3 84),即令其產 生週期性的膨脹/縮小狀態,當瞬間膨脹時,即可提供兩 相對設置的打擊部(3 8 5 )與彈簧(3 8 6 )各一Z小 相同方向相反的作用力F1、F0,此時,供予彈箬(3 8 6 )的作用力F0會由彈簧(3 8 6 )吸收,故僅剩作用力 F1供予該打擊部( 3 8 4 ),令其向外推出。 丽揭第一及第二實施例的直線微調微動組係作為三軸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . •線- 本紙張尺度適用中國^^票準(CNS)A4 格 χ 2^公釐- A7 五 、發明說明(丨f) B7 X平Y1:直線微調,而其中Z軸微動檯(7 〇 )係另設置於 以轴微動擾(7〇)與轉塊(6〇): ( 刀別固設有兩放置光纖用的夾座(9〇) ,失兩夾座皆為可調夾座(9〇) (91),而再 微調微動組二二广發明的第三實施例’係將直線 ;、夕軸向知轉組全部整合,亦即,言亥z軸微動 後 a可设於基座(1 1 )的下方,其由—组钭面 接合的上、τ/ 、、'且针® 下斜塊(77) (78)組成,並於該基座 ^側邊樞設_個定位柱(111),又,該下斜塊 认)上斜面凹入一軌槽(7 8 1 )供上斜塊(7 7) 的下斜面於其中潛叙 ^ 、 動,如弟十四圖A所示,其中下斜塊 )底面相對兩側凹設一位移驅動元件組(7 2 a ) 7 2 a ),藉中驅動單一側位移驅動元件組(7 1 a ) j 7 2、a ),令下斜塊(7 § )内部產生瞬間敲擊力,使 :左右平移’又斜面結構及定位柱(1 1 1 )配合,當下 枓塊(7 8 )移動,會將上斜塊(7 7)及其以上之多軸 向旋轉組將全部作Z軸方向的移動。 。綜上所述,本發明確實具有六自由度的位置改變,並 且可達奈/微米的移動精度,此外,更具有下列各項優 點: 一 1可構成自走式的定位裝置,其行程不受限於壓電 兀件的微小位移,可任意加大作業範圍。 2、 因為使用衝擊力,除驅動外,無需通電操作。 3、 改變位移驅動元件組不同的配置位置,可構成卜 家標準(CNS)A4 細: (210 x 297 公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - -------t·--------- » 536442 A7 五、發明說明(丨f) 3自由度(直動2軸及旋轉1轴)的移動機構。 4、定位分解能,可達丨微米至1〇 度要求。 /、木从下的高精 5、可構成小型化移動檯,故可於真空室㈣ / 6、對於半固^狀態的微小零件作精密定位 可得穩定微動位移。 調整時· 7、控制壓電元件波形單純, 電’控制器之價格相對低廉。 因此,本發明確實符合精密產業上利 發明專利之要件,爰依法具文提出申請。 ''且付5 加上驅動外並不需通 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ ϋ n n n n 一-口、 I ϋ n ϋ ϋ · 17 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
Claims (1)
- 536442 098899 ABCD 、申請專利範圍 1、一種六自由度微調定位平台裝置,其包含有: 一基座; 、-直線微調微動組,係設置於該基座,由數組旋轉檯 、、且成,以一直線排設於基座上,各旋轉檯於對稱位置設有 位移驅動兀件組; 、夕軸向彳政_旋動組,係疊設於該直線微調微動組之 上,並於各轴向的對稱位置設置兩位移驅動元件組。 、,么^如申明專利範圍第1項所述之六自由度微調定位 平口放置该直線微調微動組係包含有: 一γ軸微動檯,用以直線滑設於該基座上,其兩相對 Y軸兩側即分別插止於基座上的位移驅動元件組,其相對 X軸兩側分別設置有一位移驅動元件組; 一X軸微動檯,用以直線滑設於該γ軸微動檯上,並 抵止於γ軸微動檯的兩位移驅動元件組間,又其上端面形 成一 Υ軸圓弧面; y 固疋柱,係固定設置於基座上對應上述γ、X軸微 動檯的直線位置,其形成一長形軌槽; 一 Z軸微動檯,係透過一螺栓插設於該固定柱的長形 軌槽上,並於相對2軸方向設置一組對稱擺設的位移驅動 元件組,其頂部可供一夾座連接。 “ 3、如申請專利範圍第2項所述之六自由度微調定位 平台裝置,該多轴向微調旋動組包含有: Y角度旋轉檯,係與X軸微動檯形成弧形滑接,其 上端面形成X軸圓弧面,其中下圓弧面形成有兩對稱的χ Λ張尺度適財_家標準(CNS) A4規格⑽x糊公箸) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)536442 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 轴凹槽,供一組正、反方向移動的位移驅動元件組設置其 中; -X角度旋轉檯’係與γ角度旋轉檯滑接,其中下圓 孤面形成有兩對稱的γ軸凹槽’供—組正、反方向移動的 位移驅動元件組設置其中; 一轉塊’係樞接於該X角度旋轉檯上,其間凹設兩組 位移驅動元件組,其上可供一夾座連接。 …4、如申請專利範圍第項所述之六自由度 锨凋疋位平台裝置,各位移驅動元件組包含有: 一外殼’其一側形成一穿孔; 壓電元件,係設置於該外殼内,當電壓改變時,其 膨脹量亦隨之改變; -打擊部,係設置於該壓電元件的一端,並自外殼的 穿孔伸出。 f、如巾請專利範圍第4項所述之六自由度微調定位 平口 I置,各位移驅動元件組進一步包含有·· 一慣性體,係設置於該壓電元件的另一端; 一弹黃,其冑接至該慣性體之一側,並抵止於外殼 壁。 、$、如中請專利範圍第i項所述之六自由度微調定位 平台裝置’該基座形成一鳩尾凸塊,又該γ軸微動搂下端 面相對形成一螞尾卡槽,以與基座相卡接,其中基座的兩 位移驅動元件組分別設置於鳩尾凸塊兩侧。 7、如中請專利範圍第2項所述之六自由度微調定位 I紙張尺度適財關家標準(CNS) Α4規格⑵Q χ漱公愛) ..........................裝------ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 線 536442 A8B8C8D8 申請專利範園 平台裝置,該γ軸微動檯上端面形成一鸠尾凸塊,又該X 軸微動檯相對形成-鴻尾卡槽,以與γ軸微動棱相卡接, 其中γ軸微動檯的兩位移驅動元件組分別設置於填尾凸塊 的兩側。 “ 8如申5月專利範圍第3項所述之六自由度微調定位 平口裒置’该Υ角度旋轉檯的上端面分別形成一X軸方向 之f槽二並於長槽中心點形成一穿孔,用以供一調整磨擦 力哀置谷置’而该x角度微動檯上的γ軸圓弧面形成一長 槽,並於長槽中心點形成一穿孔,同樣供 置設置於其中,該調整磨擦力裝置包含有:磨… 一螺柱,其插設於該貫穿孔中; 兩累巾自,为別自螺柱兩端栓入,可配合墊圈使用; 2強力磁鐵,係吸附於兩螺帽上,並且容置於長槽 中:當調整螺帽的位置,即可令Y角度旋轉檯調整與上、 下豐接X角度旋轉檯與X軸微動檯的距離。 ^9、如申請專利範圍第3項所述之六自由度微調定位 t 口波置’該轉塊中心形成一軸孔,而該X角度旋轉檯上 :面相對該轉塊形成一穿孔’供-樞軸容置於軸孔與穿孔 立、如申請專利範圍第1項所述之六自由度微調定 位平口I置,該z軸微動檯之斷面係呈一 E形狀。 11、如申請專利範圍第i項所述之六自由度微調定 位平台裝置,該固定柱係為一L形狀。 1 2、如申請專利範圍第丄項所述之六自由度微調定 娜⑽x 2卵公釐) 536442 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 位平台裝置,該螺栓係進一步套設有墊片與彈箬。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 1 3、如巾請專利範圍第2項所述之六自^ 位平台裝置,該多軸向微調旋動組係包含有:又° 一基檯,其外側形成有外螺紋; 一套環,其内壁形成有對應該基檯的内螺紋;及 -支撐體’其上段位置内凹一球形凹室,而下段位置 形成一貫穿上方球形凹室的内螺紋空間,以螺合至該基檯 上; i 一球形旋動檯,係由一具有球面的本體與一轉盤構 成,其中: 該本體形成有球面的位置係容置於該支撐體的球圓凹 至上’並對應XZ、YZ平面形成數個容置槽; 忒轉盤係没置於該本體的非球面上,而對應於平面 位置形成兩對稱容置槽;至少六組位移驅動元件組,係分別設置於球形旋動檯 的對應容置槽内。 i !· 4、如申請專利範圍第1 3項所述之六自由度微調 定位平台裝置,該基檯中心點位置形成一螺孔,供一螺絲 設置於其中,該螺絲頂部吸附一強力磁鐵。 1 5、如申請專利範圍第1 3或1 4項所述之六自由 度微調定位平台裝置’各位移驅動元件組包含有·· 一壓電元件,係設置於該外殼内,當電壓改變時,其 膨脹量亦隨之改變; 打擊部’係設置於該壓電元件的一端。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)人4規格(210 χ淋公釐) --------- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 ) ^36442 、申請專利範園 定位平 利範圍第15項所述之六自由度微調 干口衣置’各位移驅動元件組進—步包含有: 二生體’係設置於該壓電元件的另-端; 壁。^,其連接至該慣性體之-側,並抵止於外殼内 1 7、如申請專利範圍第 定位平台裝置,該基座形成= =:對形成一鳩尾卡槽,以與基座相卡接, 的兩位移驅動元件組分別設置於續尾凸塊兩側。 ^ 8彡申明專利範圍第1 3項所述之六自由产糌 定位平台裝置,兮γ圭山Μ說 又a 口周 “ 軸動接端面形成-鳩尾凸塊,又 二= i尾卡槽,以與Y軸微動檯相卡 凸塊的兩側純的兩位移驅動元件組分別設置於鳩尾 〜19、如申請專利範圍第13項所述之六自由度微調 疋位平台裝置,該Ζ軸微動檯之斷面係呈一 Ε形狀。° 定位平w、r請專利範圍第13項所述之六自由度微調 疋位千台裝置,該固定柱係為一 L形狀。 —Η、如申請專利範圍第13項所述之六自由度微調 疋位平台裝置’連接Z軸微動檯與固定座的螺栓係進_ + 套設有墊片與彈簧。 ^ 22、如申請專利範圍第工項所述之六自由度微調定 位平台裝置,該直線微調微動組包含有·· 一Y軸微動檯’用以直線滑設於該基座上,其兩相對— — — — — ----1 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 線 536442 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 Y軸兩側即分別插止於基座上的位移驅動元件組,其相對 X軸兩側分別設置有一位移驅動元件組; -X軸微動檯1以直線滑設於該丫轴微動檯上,並 抵.止於Y轴微動檯的兩位移驅動元件组間 成一Y轴圓孤面; 、’又其上端面形 一 Z軸微動檯,係疊設於該基座的下方,其勹人 =接滑設的上、下斜塊,該下斜塊形成:軌 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X _公釐7 --------------------------裝……---------訂……..........-線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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