TWI477347B - 微型工具機及其控制系統 - Google Patents

Description

微型工具機及其控制系統

本發明係有關於微型工具機，特別是有關於基於縮放儀之微型工具機及其控制系統。

因應工業產品的縮小化趨勢，這些縮小化工業產品的零件必須更加精小，其材料可能不是以矽或似矽材質所製成且其外形可能是複雜的立體形狀，因此微機電系統(MEMS；Micro-Electro-Mechanical System)之技術並不見得適用，所以藉由non-MEMS相關的微米/奈米級(micro/nano-scale)技術仍然將是此領域零件/產品製造的主要技術。

在航太產業、汽車產業、生醫產業、光電產業、軍事產業以及微電子封裝產業，要求具有極佳外觀比例與精緻外表的縮小化裝置已逐漸增加。因此，發展微米/奈米等級的機器以滿足快速、直接、大量製造金屬、聚合物、複合物或陶土材質之縮小化的功能產品將更顯重要。對於高精密機械工具與機電整合而言，縮小化與高性能在設計時為其相當重要之考量，高精密加工可使產品的品質與可靠度顯著提升並使得產品尺寸縮小且重量減少，進而使產品更具有競爭力，所以各產業界對微元件的需求更是逐漸增加。至於微型機械工具，其設計時對精確度的考量要求則更高。

然而，根據現有文獻之研究，微元件的價格均相當昂貴，因此S. M. Wang,C. P. Yang,Z. S. Chiang and J. S. Huang,“Development of a new low-cost and high-resolution micro machine tool,” The 2^nd International Conference on Micro manufacturing,2007.提出一種利用肘節設計機構以調節控制機制進而減少位移而達到高精密度狀態，然而當使用此調節控制時，則需要許多的補償方法以達到所要的指定位移。

有鑑於上述之缺點，本發明提供一種微型工具機與其控制系統，其可以解決微型工具機高價格的問題、減少習知微型工具機控制系統的補償方法。

鑒於上述之發明背景中，為了符合產業上特別之需求，本發明提供一種縮放儀可用以解決上述傳統技藝未能達成之標的。

本發明之一目的，係利用一工具機帶動一縮放儀，並在此縮放儀縮小端架設一微動平台，藉此達到微觀尺度的精準移動。

本發明之另一目的，係藉由一縮放儀可以自行調整之縮放比例以達到所要求之精準度。

本發明之又一目的，係藉由一防旋轉裝置以防止本發明之一微動平台在一縮放儀移動時而旋轉。

本發明之再一目的，係藉由兩滑軌提供本發明之一微動平台在一縮放儀移動時於兩軸向所產生的分量位移。

本發明揭露一種微型工具機，包含：一微動平台；一支撐裝置，支撐此微動平台；一防旋轉裝置，內嵌於一桿件，防止此支撐裝置旋轉；以及一固定裝置，固定此支撐裝置以限制此支撐裝置隨此桿件移動而旋轉。

前述之微型工具機，其中此支撐裝置包含一支撐軸。

前述之微型工具機，其中此防旋轉裝置包含一軸承，其中此軸承係軸向支撐此支撐裝置。

前述之微型工具機，其中此軸承包含一滾珠軸承。

前述之微型工具機，其中此固定裝置包含：一夾具，位於此支撐裝置下，固定此支撐裝置；一第一滑軌，以一第一軸向位於此夾具下；以及一第二滑軌，以一第二軸向位於此第一滑軌下，其中此第一、第二軸向包含相互垂直。

前述之微型工具機，其中此固定裝置更包含一止付螺絲以限制此支撐裝置旋轉。

前述之微型工具機，其中此第一、第二滑軌包含線性滑軌。

前述之微型工具機，其中此第一、第二滑軌在此桿件移動時，分別提供此夾具、此支撐裝置與此微動平台在此第一、第二軸向移動分量的位移。

前述之微型工具機，其中此固定裝置包含：一第一滑軌，以一第一軸向位於此微動平台下；一第二滑軌，以一第二軸向位於此第一滑軌下，其中此第一、第二軸向包含相互垂直；以及一夾具，位於此第二滑軌與此支撐裝置間，固定此支撐裝置，其中此支撐裝置更支撐此第一、第二滑軌與此夾具。

前述之微型工具機，其中此固定裝置更包含一止付螺絲以限制此支撐裝置旋轉。

前述之微型工具機，其中此第一、第二滑軌包含線性滑軌。

前述之微型工具機，其中此第一、第二滑軌在此桿件移動時，分別提供此夾具、此支撐裝置與此微動平台在此第一、第二軸向移動分量的位移。

前述之微型工具機，其中此桿件包含一縮放儀之桿件。

前述之微型工具機，其包含位於此縮放儀之等比例縮小路徑上。

本發明亦揭露一種微型工具機控制系統，包含：一等比例放大器，接收至少一工作路徑命令訊號並加以放大後輸出；一三軸工具機，接收此等比例放大器之輸出訊號以驅動一縮放儀移動；以及一微型工具機，位於此縮放儀之等比例縮小路徑上，隨此縮放儀移動進行等比例縮小移動，其中此微型工具機包含：一微動平台；一支撐軸，支撐此微動平台；一軸承，內嵌於此縮放儀之桿件，軸向支撐此支撐軸並防止此支撐軸因此縮放儀之桿件移動而旋轉；及一固定裝置，固定此支撐軸以限制此支撐軸隨此縮放儀之桿件移動而旋轉。

前述之微型工具機控制系統，更包含兩光學尺，分別偵測此縮放儀在一第一軸向與一第二軸向之位移以回饋給此三軸工具機修正此縮放儀移動誤差。

前述之微型工具機控制系統，更包含兩線性位移光學尺，分別偵測此微型工具機在一第一軸向與一第二軸向之位移以輸出對應位移訊號。

前述之微型工具機控制系統，更包含一補償控制系統，接收此兩線性位移光學尺輸出之對應位移訊號，並加以對此至少一工作路徑命令訊號進行調整以輸出至此等比例放大器。

前述之微型工具機控制系統，其中此固定裝置包含：一夾具，位於此支撐軸下，固定此支撐軸；一第一滑軌，以一第三軸向位於此夾具下；以及一第二滑軌，以一第四軸向位於此第一滑軌下，其中此第三、第四軸向包含相互垂直。

前述之微型工具機控制系統，其中此固定裝置更包含一止付螺絲以限制此支撐軸旋轉。

前述之微型工具機控制系統，其中此第一、第二滑軌包含線性滑軌。

前述之微型工具機控制系統，其中此第一、第二滑軌在此縮放儀之桿件移動時，分別提供此夾具、此支撐軸與此微動平台在此第三、第四軸向移動分量的位移。

前述之微型工具機控制系統，其中此固定裝置包含：一第一滑軌，以一第三軸向位於此微動平台下；一第二滑軌，以一第四軸向位於此第一滑軌下，其中此第三、第四軸向包含相互垂直；以及一夾具，位於此第二滑軌與此支撐軸間，固定此支撐軸，其中此支撐軸更支撐此第一、第二滑軌與此夾具。

前述之微型工具機控制系統，其中此固定裝置更包含一止付螺絲以限制此支撐軸旋轉。

前述之微型工具機控制系統，其中此第一、第二滑軌包含線性滑軌。

前述之微型工具機控制系統，其中此第一、第二滑軌在此縮放儀之桿件移動時，分別提供此夾具、此支撐軸與此微動平台在此第三、第四軸向移動分量的位移。

本發明在此所探討的方向為縮放儀，為了能徹底地瞭解本發明，將在下列的描述中提出詳盡的結構及其元件與方法步驟。顯然地，本發明的施行並未限定於縮放儀之技藝者所熟習的特殊細節。另一方面，眾所周知的結構及其元件並未描述於細節中，以避免造成本發明不必要之限制。此外，為提供更清楚之描述及使熟悉該項技藝者能理解本發明之發明內容，圖示內各部分並沒有依照其相對之尺寸而繪圖，某些尺寸與其他相關尺度之比例會被突顯而顯得誇張，且不相關之細節部分亦未完全繪出，以求圖示之簡潔。本發明的較佳實施例會詳細描述如下，然而除了這些詳細描述之外，本發明還可以廣泛地施行在其他的實施例中，且本發明範圍不受限定，其以之後的專利範圍為準。

請參照第一圖，其為一習知縮放儀10。縮放儀10具有四桿件AC、CD、DE、EB，其中桿件AC的長度大於桿件CD、DE、EB的長度，且四桿件分別連接於四節點B、C、D、E以形成一平行四邊形BCDE。在本發明之實施例中，以節點D為固定端且以節點A為驅動端，則節點A所位移之距離將會等比例縮小於由節點A、D所形成之直線路徑上的節點所位移之距離。在此以一節點H為例，節點H為桿件EB上的一點且位於節點A、D的直線路徑上，因此兩三角形ACD、ABH為相似三角形，所以節點A位移距離與節點H位移距離的比值為直線AD比直線DH，換句話說，節點H位移距離將節點A位移距離縮小成(直線DH)/(直線AD)。因此，在本發明中，此由節點A、D所形成之直線路徑稱之為“等比例縮小路徑”。此外，在本發明之一實施例中，節距BC=節距DE>節距CD=節距EB；又另一實施例中，節距BC=節距DE<節距CD=節距EB；又再一實施例中，節距BC=節距DE=節距CD=節距EB。

請參照第二A圖，其為本發明之一較佳實施例與一縮放儀之相對位置示意圖12。一微型工具機110係位於一縮放儀之一桿件EB的節點H與由節點A、D所形成之直線的等比例縮小路徑上，因此微型工具機110的位移將節點A的位移等比例縮小成(直線DH)/(直線AD)。請接著參照第二B圖，其為本發明另一較佳實施例與另一縮放儀相對位置示意圖14。一微型工具機110係位於一縮放儀之一桿件FG的節點I與由節點A、D所形成之直線的等比例縮小路徑上，因此微型工具機110的位移將節點A的位移等比例縮小成(直線DI)/(直線AD)。

請參照第三A圖，其為本發明之一較佳實施例30之架構方塊圖。一微動平台32。一支撐裝置34，用以支撐微動平台32，其中支撐裝置34包含一支撐軸。一防旋轉裝置36，內嵌於一桿件，用以防止支撐裝置34旋轉，其中防旋轉裝置36包含一軸承且此軸承軸向支撐支撐裝置34，而上述之桿件為一縮放儀之桿件。一固定裝置38，用以固定支撐裝置34以限制支撐裝置34隨上述之桿件移動而旋轉。

在本實施例中，上述之軸承包含一滾珠軸承。接著請參照第三B圖，其為第三A圖之一較佳機構圖。一微動平台310。一支撐軸320，位於微動平台310下方，用以支撐微動平台310。一軸承330，內嵌於一縮放儀之桿件360，用以軸向支撐支撐軸320並防止支撐軸320因縮放儀之桿件360移動而旋轉。一夾具340，位於支撐軸320下方，用以固定支撐軸320以防止支撐軸320因縮放儀之桿件360移動而旋轉。一第一滑軌350A，以一第一軸向位於夾具340下方；以及一第二滑軌350B，以一第二軸向位於第一滑軌350A下方，其中上述之第一、第二軸向包含相互垂直。

在本實施例中，固定裝置38更包含一止付螺絲，然未限定之，以限制支撐裝置34旋轉，而第一、第二滑軌350A、350B包含線性滑軌，且第一、第二滑軌350A、350B在縮放儀之桿件360移動時，分別提供夾具340、支撐軸320與微動平台310在第一、第二軸向移動分量的位移，此外，本實施例位於縮放儀之等比例縮小路徑上。

請參照第四A圖，其為本發明另一較佳實施例40之架構方塊圖。一微動平台42。一支撐裝置46，用以支撐微動平台42，其中支撐裝置46包含一支撐軸。一防旋轉裝置48，內嵌於一桿件，用以防止支撐裝置46旋轉，其中防旋轉裝置48包含一軸承且此軸承軸向支撐支撐裝置46，而上述之桿件為一縮放儀之桿件。一固定裝置44，用以固定支撐裝置46以限制支撐裝置46隨上述之桿件移動而旋轉。不同於第三A圖之實施例，本實施例之支撐裝置46更支撐固定裝置44，換句話說，本實施例之固定裝置44與支撐裝置46之相對位置不同於第三A圖之固定裝置38與支撐裝置34之相對位置。

此外，在本實施例中，上述之軸承包含一滾珠軸承。接著請參照第四B圖，其為第四A圖之一較佳機構圖。一微動平台410。一第一滑軌420A，以一第一軸向位於微動平台410下方；以及一第二滑軌420B，以一第二軸向位於第一滑軌420A下方，其中第一、第二軸向包含相互垂直。一夾具430，位於第二滑軌420B下方。一支撐軸440，位於夾具430下方，用以支撐微動平台410、第一、第二滑軌420A、420B、夾具430，其中夾具430更用以固定支撐軸440以防止支撐軸440因一縮放儀之桿件460移動而旋轉。一軸承450，內嵌於縮放儀之桿件460，用以軸向支撐支撐軸440並防止支撐軸440因縮放儀之桿件460移動而旋轉。

在本實施例中，固定裝置44更包含一止付螺絲，然未限定之，以限制支撐裝置46旋轉，而第一、第二滑軌420A、420B包含線性滑軌，且第一、第二滑軌420A、420B在縮放儀之桿件460移動時，分別提供微動平台410、夾具430與支撐軸440在第一、第二軸向移動分量的位移，此外，本實施例位於縮放儀之等比例縮小路徑上。發明人在此要說明的是，若採第四A圖之架構及/或第四B圖之機構，則須一輔助支撐裝置支撐固定裝置，以防止微動平台過度往某一軸向位移而使得固定裝置重心失衡，而此部分為本領域具有通常知識者可依本實施例之揭露而輕易推知，故此部分在此並不加以詳述。

請參照第五A圖，其為本發明之一微型工具機開迴路控制系統實施例50。一等比例放大器510，接收至少一工作路徑命令訊號並加以放大後輸出。一工具機系統520(例如：三軸工具機)，接收等比例放大器510之輸出訊號以驅動一縮放儀移動。一微型機台系統530(例如：第三A、B圖及/或第四A、B圖所示之微型工具機，在此不再重複贅述)，位於上述之縮放儀之等比例縮小路徑上，隨此縮放儀移動進行等比例縮小移動。一微型工件540，位於微型機台系統530之上以進行加工處理。其中，本微型工具機控制系統50更包含兩光學尺550，分別偵測上述之縮放儀在一第一軸向與一第二軸向之位移以回饋給工具機系統520(例如：三軸工具機)修正此縮放儀移動誤差。

請參照第五B圖，其為本發明之一較佳微型工具機閉迴路控制系統實施例52，其中第五B圖與第五A圖的不同處在於，第五B圖之實施例更包含兩線性位移光學尺560以及一補償控制系統570。兩線性位移光學尺560，分別偵測微型工具機530在一第一軸向與一第二軸向之位移以輸出對應位移訊號。補償控制系統570，接收兩線性位移光學尺560輸出之對應位移訊號，並加以對至少一工作路徑命令訊號進行調整以輸出至等比例放大器510。至於等比例放大器510、工具機系統520、微型機台系統530、微型工件540以及兩光學尺550之相對關係及功能均與第五A圖之描述相同，在此不再重複贅。

發明人在此要說明的是，不論是在第五A圖及/或第五B圖所示之實施例中的第一滑軌與第二滑軌係分別以一第三軸向與一第四軸向放置，其中第三、第四軸向包含相互垂直，因此第一、第二滑軌在縮放儀之桿件移動時，分別提供夾具、支撐軸與微動平台在第三、第四軸向移動分量的位移，而第三、第四軸向可以包含對應相等於第一、第二軸向。

請參照第六A圖、第六B圖、第七A圖、第七B圖、第八A圖與第八B圖，其等分別為本發明之一實施例在Solidworks於驅動端與縮小端(即微型工具機所在位置)模擬線性移動、圓形移動與橢圓形移動之測試結果，發明人在此要強調的是，本發明為模擬所設定之數據以及測試所得之資料係僅用以說明本發明實施例之測試過程與結果，而並非用以限定本發明實施例之實行。根據第六A、B圖、第七A、B圖以及第八A、B圖之模擬結果所示，本實施例之縮小比例約為1/16，且驅動端與縮小端的移動路徑相似，換句話說，本實施例之縮小端的位移等比例縮小驅動端的位移。

請再參照第九A圖、第九B圖、第十A圖與第十B圖，其等分別為本發明之一實施例在第五A圖與第五B圖所示之控制系統以兩軸向同時移動時所量測的結果(包含理論值與實際移動值)。請先參照第九A圖，在設定路徑為45度角前進(亦即兩軸向同時移動相同距離)且驅動端設定進給為1公釐(mm)的情況下，實際移動值與理論值在進給距離越遠時，其等間的位移相距也越大。

再參照第九B圖，在使用直徑1 mm的圓形當成驅動端驅動，則實際移動的圓軌跡圖與理論的圓軌跡圖之半徑誤差為-0.3%~-25.25%之間。請接著參照第十A圖，其與第九A圖的測試條件相同，只是經由第五B圖所示之控制系統加以補償後，實際移動值與理論值的最大輪廓誤差約為7.071×10^-3 ，另外在線性位移之比較，整體精度亦提升約72%，並且在進給距離越遠時，其等間的位移相距也補償回來。

請參照第十B圖，其與第九B圖的測試條件相同，只是經由第五B圖所示之控制系統加以補償後，實際移動的圓軌跡圖與理論的圓軌跡圖之半徑誤差為-6.2%~6.15%之間，整體精度提升約48%。

顯然地，依照上面實施例中的描述，本發明可能有許多的修正與差異。因此需在其附加的權利請求項之範圍內加以理解，除上述詳細描述外，本發明還可以廣泛地在其他的實施例中施行。上述僅為本發明之較佳實施例而已，並非用以限定本發明之申請專利範圍；凡其它未脫離本發明所揭示之精神下所完成的等效改變或修飾，均應包含在下述申請專利範圍內。

10．．．縮放儀

12．．．本發明之一較佳實施例與一縮放儀之相對位置示意圖

14．．．本發明另一較佳實施例與另一縮放儀相對位置示意圖

30．．．本發明之一較佳實施例

32、42、310、410．．．微動平台

34、46．．．支撐裝置

36、48．．．防旋轉裝置

38、44．．．固定裝置

40．．．本發明之另一較佳實施例

50．．．本發明之一微型工具機開迴路控制系統

52．．．本發明之一較佳微型工具機閉迴路控制系統

110．．．微型工具機

320、440．．．支撐軸

330、450．．．軸承

340、430．．．夾具

350A、350B、420A、420B．．．滑軌

360、460．．．縮放儀之桿件

510．．．等比例放大器

520．．．工具機系統

530．．．微型機台系統

540．．．微型工件

550．．．光學尺

560．．．線性位移光學尺

570．．．補償控制系統

A、B、C、D、E、F、G、H、I．．．節點

AC、CD、DE、EB、FG．．．桿件

第一圖係一習知縮放儀；

第二A圖係本發明之一較佳實施例與一縮放儀之相對位置示意圖；

第二B圖係本發明之另一較佳實施例與另一縮放儀之相對位置示意圖；

第三A圖係本發明之一較佳實施例之架構方塊圖；

第三B圖係第三A圖之一較佳機構圖；

第四A圖係本發明之另一較佳實施例之架構方塊圖；

第四B圖係第四A圖之一較佳機構圖；

第五A圖係本發明之一微型工具機開迴路控制系統實施例之方塊圖；

第五B圖係本發明之一較佳微型工具機閉迴路控制系統實施例之方塊圖；

第六A圖係本發明之一實施例在驅動端模擬線性移動之測試結果；

第六B圖係本發明之一實施例在縮小端模擬線性移動之測試結果；

第七A圖係本發明之一實施例在驅動端模擬圓形移動之測試結果；

第七B圖係本發明之一實施例在縮小端模擬圓形移動之測試結果；

第八A圖係本發明之一實施例在驅動端模擬橢圓形移動之測試結果；

第八B圖係本發明之一實施例在縮小端模擬橢圓形移動之測試結果；

第九A圖係本發明之一實施例在第五A圖所示之控制系統以兩軸向同時線性移動時所量測的結果(包含理論值與實際移動值)；

第九B圖係本發明之一實施例在第五A圖所示之控制系統以兩軸向同時圓形移動時所量測的結果(包含理論值與實際移動值)；

第十A圖係本發明之一實施例在第五B圖所示之控制系統以兩軸向同時線性移動時所量測的結果(包含理論值與實際移動值)；以及

第十B圖係本發明之一實施例在第五B圖所示之控制系統以兩軸向同時圓形移動時所量測的結果(包含理論值與實際移動值)。

30．．．本發明之一較佳微型工具機

310．．．微動平台

320．．．支撐軸

330．．．軸承

340．．．夾具

350A、350B．．．滑軌

360．．．縮放儀之桿件

Claims (25)

1. 一種微型工具機，該微型工具機包含：一微動平台；一支撐裝置，支撐該微動平台；一防旋轉裝置，內嵌於一桿件，防止該支撐裝置旋轉；以及一固定裝置，固定該支撐裝置以限制該支撐裝置隨該桿件移動而旋轉，固定裝置更包含一第一滑軌，以一第一軸向位於該微動平台下；一第二滑軌，以一第二軸向位於該第一滑軌下，其中該第一、第二軸向包含相互垂直；以及一夾具，位於該第二滑軌與該支撐裝置間，固定該支撐裝置，其中該支撐裝置更支撐該第一、第二滑軌與該夾具。
2. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中上述之支撐裝置更包含一支撐軸。
3. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中上述之防旋轉裝置更包含一軸承，且該軸承係軸向支撐該支撐裝置。
4. 根據申請專利範圍第3項之微型工具機，其中上述之軸承更包含一滾珠軸承。
5. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中上述之固定裝置更包含：一夾具，位於該支撐裝置下，固定該支撐裝置；一第一滑軌，以一第一軸向位於該夾具下；以及一第二滑軌，以一第二軸向位於該第一滑軌下，其中該第一、第二軸向包含相互垂直。
6. 根據申請專利範圍第5項之微型工具機，其中上述之固定裝置更包含一止付螺絲以限制該支撐裝置旋轉。
7. 根據申請專利範圍第5項之微型工具機，其中上述之第一與該第二滑軌至少包含一線性滑軌。
8. 根據申請專利範圍第5項之微型工具機，其中上述之第一與該第二滑軌於該桿件移動時，分別提供該夾具與該支撐裝置及該微動平台在該第一與該第二軸向移動分量的位移。
9. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中該固定裝置更包含一止付螺絲以限制該支撐裝置旋轉。
10. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中該第一、第二滑軌包含線性滑軌。
11. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中上述之第一與該第二滑軌於該桿件移動時，分別提供該夾具、該支撐裝置與該微動平台於該第一與該第二軸向移動分量的位移。
12. 根據申請專利範圍第1項之微型工具機，其中上述之桿件更包含一縮放儀之桿件。
13. 根據申請專利範圍第12項之微型工具機，更包含位於該縮放儀之等比例縮小路徑上。
14. 一種微型工具機控制系統，該微型工具機控制系統包含：一等比例放大器，接收至少一工作路徑命令訊號並加以放大後輸出； 一三軸工具機，接收該等比例放大器之輸出訊號以驅動一縮放儀移動；以及一微型工具機，位於該縮放儀之等比例縮小路徑上，隨該縮放儀移動進行等比例縮小移動，其中該微型工具機包含：一微動平台；一支撐軸，支撐該微動平台；一軸承，內嵌於該縮放儀之桿件，軸向支撐該支撐軸並防止該支撐軸因該縮放儀之桿件移動而旋轉；及一固定裝置，固定該支撐軸以限制該支撐軸隨該縮放儀之桿件移動而旋轉。
15. 根據申請專利範圍第14項之微型工具機控制系統，更包含兩光學尺，分別偵測該縮放儀在一第一軸向與一第二軸向之位移以回饋給該三軸工具機修正該縮放儀移動誤差。
16. 根據申請專利範圍第14項之微型工具機控制系統，更包含兩線性位移光學尺，分別偵測該微型工具機在一第一軸向與一第二軸向之位移以輸出對應位移訊號。
17. 根據申請專利範圍第16項之微型工具機控制系統，更包含一補償控制系統，接收該兩線性位移光學尺輸出之對應位移訊號，並加以對該至少一工作路徑命令訊號進行調整以輸出至該等比例放大器。
18. 根據申請專利範圍第14項之微型工具機控制系統，其中上述之固定裝置包含：一夾具，位於該支撐軸下，固定該支撐軸；一第一滑軌，以一第三軸向位於該夾具下；以及一第二滑軌，以一第四軸向位於該第一滑軌下，其中該第三、第四軸向包含相互垂直。
19. 根據申請專利範圍第18項之微型工具機控制系統，其中上述之固定裝置更包含一止付螺絲以限制該支撐軸旋轉。
20. 根據申請專利範圍第18項之微型工具機控制系統，其中上述之第一、第二滑軌包含線性滑軌。
21. 根據申請專利範圍第18項之微型工具機控制系統，其中上述之第一、第二滑軌在該縮放儀之桿件移動時， 分別提供該夾具、該支撐軸與該微動平台在該第三、第四軸向移動分量的位移。
22. 根據申請專利範圍第14項之微型工具機控制系統，其中該固定裝置包含：一第一滑軌，以一第三軸向位於該微動平台下；一第二滑軌，以一第四軸向位於該第一滑軌下，其中該第三、第四軸向包含相互垂直；以及一夾具，位於該第二滑軌與該支撐軸間，固定該支撐軸，其中該支撐軸更支撐該第一、第二滑軌與該夾具。
23. 根據申請專利範圍第22項之微型工具機控制系統，其中上述之固定裝置更包含一止付螺絲以限制該支撐軸旋轉。
24. 根據申請專利範圍第22項之微型工具機控制系統，其中上述之第一與該第二滑軌更包含線性滑軌。
25. 根據申請專利範圍第22項之微型工具機控制系統，其中該第一、第二滑軌在該縮放儀之桿件移動時，分別提供該夾具、該支撐軸與該微動平台在該第三、第四軸向移動分量的位移。