526670 A7 -----------B7__ 五、發明説明（〗） <發明欲解決的課題> ^ "-使用於如上述之多段式加熱爐之遠紅外線加熱 ^ 1〇包含有多數個發熱體14與配線部16。該多數個之發 …、體14係例如如第1圖所示，在表面黏著遠紅外線放射 層且藉阻抗發熱體等使加熱爐12之全體構造發熱；該配 線部16，係設置於裡面側用以固定此等同時指導其配線。 而且，在加熱爐12内，加熱器1〇係安裝成使其配線部16位 置於設置在爐内之每一段之給氣室18側。上述給氣室18係 設置成用以構成通過發熱體14相互間在爐内導入為了維持 爐内空氣環境之空氣之吹氣機構。 仁是，在使用上述習知之加熱器丨〇之加熱爐丨2，由於 加熱為10本身之厚度尺寸比較大，且吹氣機構被設置於其 裡面侧，所以在彼等必要之高度尺寸變成較大。而且，在 基板配置之各段相互間，由於為了以防止給氣室18與基板 配置空間之熱的相互干涉為目的設置了斷熱材乃至斷熱空 間，所以藉此等基板之多段堆積間距變大。為此，由於加 熱爐全體之兩度尺寸依設置場所的高度限制與基板投入裝 置之上下衝程限制等而被限制，所以具有多段堆積數被限 制、妨礙生產效率的提升、無法因應近年之生產量增加之 問題。例如在生產效率提升之面期望的是10段程度之多段 堆積數。對於此等，在如前述之加熱器構造，由於多段堆 積間距為數百（mm)以上例如600(mm)程度以上，另一方 面投入衣置之上下衝為1 (m)以下例如750(mm)程度以 下，所以多段堆積數之2〜3段程度變成界限。上述之第2圖 —— --— ________ 本紙張尺度適用巾關家標準（CNS) A4規格(210X297公董)"~4 '
訂丨 (請先閲讀背面之注意事項 2 526670 五、發明説明 構成3段的場合，但其全體之高度尺寸也形成例如 帝m 度。起因於隨著如此之加熱器的厚度尺寸與其設置 而要幸乂大之附隨空間之加熱爐尺寸增大之問題，並不限於 基板的乾燥與燒成，在如使用板狀之加熱器之加熱爐中，、 即使其他之用途同樣的會發生。 *本發明係以以上之事情作為背景’其目的在於提供— 種薄型隨著設置附隨空間較小之遠紅外線加熱器，及基板 之多段堆積數較多生產效率較高之基板加熱爐。 <解決課題之第丨之手段> 為達成如此之目的，作為第1發明之遠紅外線薄型加敎 器之要點’係包含有金屬薄板、設置成覆蓋其金屬薄板的 兩面之遠紅外線放射層、及設置於其金屬薄板的内部且由 其端部連接至外部能源之熱源。 <第1發明的效果> 如此做的話，在金屬薄板的内部具有用以加熱遠紅外 線放射層之熱源’同時其熱源由於被由其金屬薄板的端部 連接至外部能源，所以在加熱器的裡面侧沒有必要設置為 了連接其空間。而且，由.於藉在金屬薄板的兩面設置遠紅 外線放射層’構成由加熱器的兩面發熱，所以即使使用多 段堆積的場合，在工作配置段相互間沒有必要設置用以抑 制熱的相互干涉之斷熱空間。從而，在加熱器的設置需要 之空間的大小’由於略-致於其金屬薄板的大小，所以可 以得到薄型隨著設置附隨空間較小之遠紅外線加熱器。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇><297公釐）
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<第1發明之其他形態> 在此’適當的是前述金屬薄板為具有貫通其端面間之 :數個之貫通孔’前述熱源為插入其貫通孔内之阻抗發熱 y ^ 阻抗發熱体加熱遠紅外線放射体之 夕式之通、.Λ外線加熱态中，在設置於加熱器裡面之配線空 間加熱器變厚，同時在為了配線保護之斷熱空間，適當的 抑制隨著設置附隨空間擴大等。更適當的是，上述阻抗發 熱体為收納於金屬製圓筒内。如此做的話，具有在阻抗發 熱体斷線時’ 11交換®筒就可以容易的修理遠紅外線加熱 器之優點。 、另外，適當的是前述金屬薄板係藉拉出成形，在成形 成板狀後同日寸形成貝通其端面間相互平行之多數個之貫通 孔。如此做的話，不會使製造成本增大可以容易的得到具 有貫通孔之金屬薄板。 另外，適當的是前述遠紅外線加熱器為具有由前述貫 通孔貝通至刖述金屬薄板之一面之多數條空氣流通路。如 此做的話，由於實質的在金屬薄板内設置給氣室，所以在 以排出溶劑蒸氣與黏合劑的分解氣體等之目的，向工件供 給氣體的場合，具有不必要另外確保用以其給氣之空間之 優點。為此，例如，包含吹氣機構之厚度尺寸形成可以飛 躍地薄成15(mm)程度。 另外，適當的是前述金屬薄板係由鋁合金所形成。如 此做的話，由於鋁合金之熱傳導性較佳，所以可以容易的 得到一樣之溫度分布，同時可以抑制因本身重量較輕引起 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） A7 B7 發明説明 之弓曲kl X ’ _般在PDP基板之熱處理，由於使用銅 在基板污染面較不好，所以如上述做的話，溫度分布之一 樣性較高，且得以防止基板的污染得到遠紅外線薄型加熱
卜適曰的疋在熱源為阻抗發熱體的場合中，其指 線密度分料在前述貫通孔之長手方向中，因應作為所穿 之溫度分布作適當變更。例如，捲線密度分布在低至貫讀 中央。Μ王度的场合’適當的抑制中央部的溫度比較灰 週邊部較高’可以得到一層一樣之例如± 2(。〇程度以下之 溫度分布。 <解決課題之第2之手段> 另外，作為為了達成前述目的之第2發明之基板加敎择 之要點，係前述第1發明之遠紅外線薄型加熱器在爐室内以 ^定之相互間P阳重$成多數段，且在該等多數個遠紅外線 薄型加熱器相互間設置多數個基板之各個基板配置空間。 <第2發明之效果> 若如此做的話，前述之遠紅外線薄型加熱器重疊成多 數段，且在其相互間設置基板之配置空間。為此，隨著加 熱器的設置附隨空間較小，由於多段堆積之平均每段之高 度尺寸變低’所以可以得到容易提高較多多段堆積數之: 理效率之基板加熱爐。 <第2發明之其他形態> 在此，適當的是在前述基板加熱爐中，前述遠紅外線 加熱器之錄枚’在聯結成雜於—平面内麟之狀態被 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公ΪΪ ^26670 發明説明 (請先閲讀背面之注意事項本頁) 設置於爐室内之各段。若如此做的話，由於(枚的大小變 小，所以與以1枚構成較大之加熱面的場合相比較，可以提 高加熱器賴！生，同時具有僅變更並排之種種大小之加熱 面之枚數就可以容易的形成之優點。例如，也可以容易的 侍到製造各邊之長度尺寸為1(m)以上之大小之加熱器。為 此，與在每一加熱爐準備專用之加熱器的場合相比較，由 於可以準備共通之小面積之加熱器，僅適當連結彼等，就 可以準備配合加熱爐的大小之加熱器，所以具有隨著加熱 爐之製造成本及加熱器交換就可以抑制維持成本之增大之 優點。 <發明之實施型態> 以下，參H?、圖面洋細說明本發明之一實施例。 第2圖為表示省略中間部之本發明之一實施例之遠紅 外線加熱裔30(以下，單稱加熱器3〇)之外觀之圖。在圖中， 加熱器30在由矩形薄板之鋁合金等所形成之金屬薄板，設 置在其長手方向中貫通兩端面34、34間相互平行之多數個 例如6個之貫通孔36，同時藉由在其中之2個貫通孔361)、 36e、嵌入筒式加熱器等之發熱体38、38而構成。金屬薄板 32之外形尺寸也就是加熱器3〇之外形尺寸，例如為寬度 140(mm)程度、長度為i2〇(mm)程度、厚度為14(mm)程度， 貝通孔36之大小為内徑8(mm)程度。又，在第2圖、第4圖 圖中，誇張了圖示之方便上金屬薄板32之厚度尺寸。 前述之金屬薄板32係藉例如拔出加工而成形，其貫通 孔36同時形成於其拔出加工時。也就是，在加熱器30之製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) M規格（21〇Χ297公釐） 526670 五、發明説明（6 造過中，沒有特別設置為了形成貫 個之貫通孔W 貝通孔％之過程。在此等6 屬薄板32之* 於最外侧之貫通孔36a、36f，謀求金 =之輕量化’同時在其開放端部近旁之雌螺栓中， 荖, …、為30的場合，因應需要螺 1:7、。另外’位置於中央之貫通孔3一為用以供 :二=爐内之給氣用孔。第3圖如由上方看加熱器3。 之狀㈣略中間部且切口一部，在給氣用孔I·呈 有在其長手方向中以略一定之間隔之多數個之空氣噴出孔 4〇。多數個之空氣喷出孔4〇為例如具有加叫程度之直 控二如表示於第4圖之在第3圖中所示之IV_lv視截面，均在 其第4圖中向位置於下側之表面42開口。 另外，在金屬薄板32的外周面，設置如前述第2圖乃至 圖所示以石夕、鈦、破等為主成分之陶变係材料，藉合成 樹脂等使其結合而成之遠紅外線放射層44。遠紅外線放射 層44係除了金屬薄板32的表面之中其兩端面34、μ之外， 略全面的藉浸潰等設置，其厚度尺寸為5〇Um)程度。前述 之加熱器30係用以加熱該遠紅外線放射層料之熱源。 第5圖為表示嵌入前述之加熱器3〇之發熱体％之全體 之透視体。發熱体38之全體形成例如直徑8(mm)程度之圓 柱狀，在有底圓筒狀之金屬製圓筒46内，收納捲回成比其 内徑尺寸還小之直徑之阻抗發熱体48。前述之貫通孔36例 如都形成内徑8(mm)程度之大小，發熱体38其阻抗發熱体 48之兩端48a、48b，在剛好被嵌入該處之大小，由圖中位 置於前面側之圓筒46之一端被向外部導出，並被連接於未 f! (請先閲讀背面之注意事項本頁)
、可I 526670 A7 —_____________B7__ 五、發明説明（7 ) 圖不之電源電路。如前述之第2圖、第3圖所示，發熱体38 之該發熱体48之端部48a、48b側之一部，由金屬薄板32突 出。另外’阻抗發熱体48之捲密度不一樣，在圓筒46之長 手方向之兩端部侧之領域A、C方面，比較於中央部之領域 B相對的較細緻。 如以上構成之加熱器3 0之喪入金屬薄板3 2内之發熱体 38 ’藉由電源電路通電至其阻抗發熱体48，也就是，藉由 外部能源供給能源使其發熱後，加熱覆蓋其金屬薄板32的 外周面之遠紅外線放射層44。此時，阻抗發熱体48之捲密 度在長手方向中，由於被使其分布成如上述，所以在加熱 為30長手方向中，來自兩端部之放熱藉其發熱量較多適當 的補足，得到面内土2(。〇程度以下之略一樣之溫度分布。 藉此等，具有與加熱器3〇同樣之長度尺寸之被加熱物全 體，藉由其放射層所放射之遠紅外線，形成加熱至因應所 希望之溫度也就是其通電之電流值之溫度。又，第5圖為模 式的表示阻抗發熱体48之密度分布，實際之密度分布係適 虽的定於因應加熱器30之大小與用途等。 然而，上述之加熱器·30，其長度尺寸比較於寬度尺寸 為其4倍以上之大小（長度）者，此等乃考慮到在其寬度方向 連接夕數枚作為所望之加熱面積之面加熱器使用。第6圖為 說明如此之加熱器30之使用例之圖，表示藉連結u牧之加 熱裔30，構成具有例如174(mm)xl34〇(mm)程度之面積之^ 枚大型加熱器50的場合。 第6圖中，在加熱器30之長手方向之兩端部側，配置兼 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（21〇x297公董） 10 —---------------— ·- (請先閱讀背面之注意事項本頁) 、\吾. W6670 、發明説明 ^為支擇構件之連結具52、52β連結具52係例如由奥氏体 ，、、不鏽鋼鋼板等所形成，在第7圖如擴大端部所示，厚度尺 寸由例如以5(mm)程度形成截面鉤型之2個之第丨f 第續件56所構成，在此等彎曲之部分中，藉相互重疊形成 戴面$狀作為全體。纟重疊之部分係沿著連結具W之長 手方向也就是加熱器30之寬度方向，以適當之間隔藉鉚釘 與螺釘•螺母等之締結具58等結合。另外，截面降狀之 開放侧端部，係藉刺通設置於貫通加熱㈣於厚度方向之 未圖示之孔之螺釘及螺母等之締結具69，黏著於其加熱器 3〇。為此，多數個加熱器3〇藉相互密接配置且介由連結具 52連結，使其被_体化。又，圖中形成於加熱㈣之端部 34與連結具52之間之空間，係為了沿著連結具^之長手方 向通過發熱体38之導引線（也就是阻抗發熱体48之端部）等 所形成之配線空間。 回到第6圖，在未設置大型加熱器5〇之外周緣中之上述 連結具52之其他2邊，也就是在其連結具52之長手方向中位 置於兩端部側由加熱器30之長邊所構成之2邊，安裝例如由 奥氏体系不鏽鋼鋼板所形成之一對之支撐構件62、62。該 支撐構件62也與連結具52形成截面竽狀，其開放端面向 加熱器30侧。在大型加熱器5〇之圖中，在上面配置在支撐 構件62之長手方向中以略一樣之例如3〇〇(mm)程度之相互 間隔’例如直徑20〜30(mm)程度之例如4跟之支撐管64，在 各個之兩端部中固定於彼等支撐構件62、62的上面。此等 支撐構件64係由不鏽鋼等之金屬材料所形成，並為為了在 11 五、發明説明（9 ) 由加熱杰3 0隔離於上方之位置支撐加熱對象物之玻璃基板 等。 另外，在上述之支撐管64之圓筒狀之外周面中，位置 於最上側之部分，沿著其母線上以適當之間隔嵌入固定多 數跟之承受拴66。該承受栓66係由例如ρΕΕκ(聚醚醚酮）與 聚亞胺等之耐熱性較高之合成樹脂所形成，並形成依照面 向先端而成小徑之略圓錐狀。承受拴66之大小係設定成位 置於支撐管64的外周面上，在其基端部中直徑為叫麵) 程度，先端部之高度尺寸為由加熱器3〇的表面6〇(mm)程 度。例如將圓筒狀之支撐管64之直徑作為27(_)，將其軸 。之问度位置作為由其加熱器表面29(mm)之後，承受栓Μ 的兩度尺寸則為l8(mm)程度。加熱對象物在支撐 管64中， 實際上形成以該承受栓66支撐。因此，其先端不銳利，形 成圓滑之曲面使其不會割傷被加熱物之裡面。 又，藉連結具52使多數個加熱器3〇相互結合，在加熱 爐内今易的專門進行配置或取下加熱器3〇之際之處理，同 時為為了處理位置於設置連結具52之加熱器3〇之端面側之 配線。在大型加熱器5〇中，加熱器3〇保持相互電器的獨立 之狀態，形成得以獨立控制各個之發熱体38。 第8圖為說明如以上構成之大型加熱器50所使用之基 板加熱爐68之截面構造之圖。在加熱爐⑽之爐室内，配置 例々17枚之大型加熱器5〇 κ 一定之相互間隔形成重 疊。在爐室内壁面70對於每一枚之大型加熱器5〇,具有一 對之截面L子型之承受導執72，大型加熱器％在該承受導 526670 A7 説明 * — 執72之水平面，藉被裝於其連結具％中支撐。承受導執μ 為具有一樣之截面形狀，在第8圖中沿著垂直於紙面方向延 伸，亚具有比在大型加熱器5〇之加熱器3〇之寬度方向中之 長度尺寸，也就是垂直於紙面方向中之長度尺寸還長之尺 寸。在丽述之第7圖表示該承受導執72與大型加熱器％之位 置關係。 在加熱爐68内配置大型加熱器5〇之際，例如將大型加 熱器50之裡侧端部裝上承受導軌72，在圖中由面前側押入 加熱爐68之内。此時，大型加熱器5〇之端部形成藉導執^ “過仁由於在其滑動接觸部分具有連結具5 2，所以在其 押入時不會損傷設置於加熱器3〇的表面之遠紅外線放射層 44。也就是，連結具52相互的連結多數個加熱器3〇，同時 t前述德發熱⑽之配㈣間，更在朝加熱_之配設 時，發揮保護其表面之遠紅外線放射層44之任務。 另外，在大型加熱器50中除了上段部之3枚與最下段之 1枚之加熱爐68之南度方向中，配置於中間部者如前述之第 6圖所示，在其上面側具有支撐管料。而且，在具有彼等支 撐管64之大型加熱器5〇上’分別_枚的裝上加熱對象物 之基板74。基板74例如在為了製造液晶面板之"過程 巾’藉包含聚™亞胺等之樹脂之獎形成膜，在其樹脂之燒 成（例如硬化）使用上述加熱爐68。大型加熱器5〇例如由U 枚之加㉟器30所構成，但其牧數訂定成比該基板％之加熱 面積作為全體還大。如此配置之加熱器5〇之配設間距p，也 就是基板74之配設間距為1〇〇(mm)程度以下，比較於例如 —__ — 本紙張尺度翻巾關家鮮（CNS) A4規格（210X297公釐) '—~7^--'—-—
五、發明説明（11 ) 70(mm)程度之習知之加熱器1〇所使用之加熱爐丨2(參照第 1圖）則為極小之值。為此，在加熱爐68投入例如在84〇(mm) 程度之高度範圍内之例如13枚之多數之基板74，位置於其 上端之基板74之高度位置，也停留於由其設置面^爪叫程 度以下之較低位置。 又，在第8圖中省略支撐管64上之承受栓66，在圖中描 述基板74直直的裝上支撐管64上，但實際上基板”藉承受 栓66，在24處所程度藉點接觸承受。另外，未具有支撐管 64之4枚之大型加熱器5〇，在爐内構成為了確保均熱領域 (防止外亂）之虛的領域，在其上不裝上基板74。另外，在 圖中76為為了朝爐内導入空氣之給排氣管。 另外，大型加熱器50係在每個且各個之内之區域，藉 控制加熱器30管理其發熱狀態，為此，在大型加熱器％， 設置連接於未圖示之控制裝置之熱電對等之溫度傳感器 78。第9圖⑷、⑻為說明其溫度傳感器78之配置狀態之圖。 ⑷為表示在大型加熱器5〇之平面視中之各個之傳管器配 置狀怨。大型加熱器5〇在分別設置有_之溫度傳感器乃 之A、Β、c之3個的區域，在加熱器3〇之寬度方向被區分。 A區域及C區域係由3枚之加熱器3〇所構成。B區域係由5枚 之加熱器30所構成，在位置於各個之中央部之i枚之加熱器 3〇之長手方向中，端部近旁例如發熱体％之導引線被導 出’由端面溫度傳感器78僅被嵌入⑽(叫程度。另外， -度傳感器78係如（b)所示被設置於大型加熱㈣之每一 段（每一枚）。 526670 A7 B7 五、發明説明 12 ^蚋述之基板74，係依照例如以如第丨〇圖之虛線所示 之最高保持溫度220(。〇保持14分鐘程度之溫度分布實施 熱處理。此時，多數個大型加熱器5〇之各個，在每一區域 :枚抆制μ度成使藉設置於其每一區域之溫度傳感器 出’里度與預先設定之溫度一致。也就是，Α區域内 之3枚之加熱器3〇，係依據其a區域之溫度傳感器π之檢出 溫度’調節其發熱量成相互同樣之值，C區域内之3枚之加 ，器30,係依據其C區域之溫度傳感器78之檢出溫度，調 節其毛熱里成相互同樣之值。加熱器3〇係以各區域單位來 控制，在每一段形成具有3個為了調節其發熱量之控制器。 由於溫度傳感器78同樣的具備於全部之大型加熱器50，所 以藉每一加熱器50進行如此之溫度控制，在爐内確保均 熱。第10圖中，實線表示在丨枚之大型加熱器5〇中之實際之 測定溫度之一例，在加熱器中央部，比較於中央部形成昇 溫、降溫均較遲，但其差相當小，特別是，在最高溫度之 保持中，可以確保基板溫度220±15rces度之充分之均 性。 第11圖為模式的表示上述基板74之熱處理狀況，在 中，黑色箭頭符號為表示空氣之流動，空白之箭頭符號W 表示來自加熱器50之遠紅外線，也就是熱的放射。在構成 大型加熱器50之加熱器30之各個，具有如前述作為空氣供 給孔機能之貫通孔36c、36d，由於在加熱爐之爐体8〇具有 多數個之排氣用孔82，所以通過前述之給排氣管％供給 氣至加熱爐爐68内後，其空氣通過加熱器刊，更向下方 敎 圖 為 空 由 (請先閱讀背面之注意事項本頁) 訂— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公釐） 五、發明説明（13) 開口之空氣噴出孔40向基板74噴出。該空氣沿著基板74的 表面由中央部向外側流動，被由排氣用孔82排出。為此， 在爐内在如要求等級100程度之較高清淨度2LCD用基板 之燒成中，藉由給排氣管76給排氣清淨之空氣，可以確保 爐内之乾淨度。又，該空氣也有助於由基板74排出發生之 溶劑蒸氣。 另外，如前述由於加熱器30在其表裡兩面設置遠紅外 線放射層，所以如圖所示面向其上下放射遠紅外線。為此， 基板74由於由其上下同時的加熱，所以與如習知之加熱爐 12僅從表面側加熱的場合相比較，可以提高加熱效率，同 日守可以更一層確實的確保其均熱性，隨著加熱•冷卻具有 適當的抑制其偏差的發生之優點。 總而言之，若依據本實施例，在金屬薄板32之内部具 有用以加熱遠紅外線放射層44之發熱体38，同時由於其發 熱体38由其金屬薄板32的端部連接到外部電源，所以沒有 必要在加熱器30的裡面侧設置用以連接此等之空間。而 且，在金屬薄板32的兩面，藉設置遠紅外線放射層料，為 了構成由加熱器30的兩面發熱，所以如第8圖所示在使用於 多段堆積的場合，在各段相互間沒有必要設置為了抑制熱 的相互干涉之斷熱空間。從而，設置加熱器3〇需要之空間 的大小，由於約略一致於其金屬薄板32的大小，所以隨著 設置薄型可以得到附隨空間較小之遠紅外線加熱器。 另外，若依據本實施例，加熱爐68之多數型之大型加 熱器50,在爐内堆積成多數段，使基板74位置於相互之間。 五、發明説明（Μ ) 為此，由於隨著大型加熱器5〇之設置附隨空間較小，平均1 丰又之夕ί又堆積之南度尺寸較低，所以較多多段堆積數形成 容易提高處理效率。而且，大型加熱1150由於藉小面積之 多數個加熱H3G相互密接，在並排於一平面内之狀態連结 而構成’所以其剛性可以提高，同時在比較於每_種大: 之加熱爐準備專用之大型加熱器的場合，隨著加熱爐的製 造成本與加熱爐的替換，具有可以抑制維持成本的上升之 優點。 ，若依據本實施例，金屬薄板32具有貫通其端面 間之6個的貫通孔，發熱体38作為熱源被插入其貫通孔μ 内。為此，在以阻抗發熱体38加熱遠紅外線放射層（放射 形式之遠紅外線加熱器3()中，可以適當的抑制加熱 器在設置於加熱器裡面之配線空間變厚，同時抑制伴隨為 了配線保護之斷熱空間的設置之付隨空間的擴大等。 I另外，在本實施例中，加熱器30由於具有由貫通孔％ 貫通至金屬薄板32之-面之多數個空氣喷出孔4〇，因為實 質的在金屬板32内設置給氣室，所以在以排出溶劑基氣: 黏合劑之分解氣體等為目的，面向基板74供給空氣的場 合，具有不必要另外確保用以其給氣之空間。 另外’在本實施例中，阻抗發熱体料之捲線密度，由 於在貫通孔36之長手方向低至中央部程度，所以其中央部 之溫度比較於週邊部被抑制於適合之較高溫度，可 例如±2(。〇程度以下之良好的溫度分布。 以上’已參照圖面詳細說明了本發明之—實施例，但 526670 五、發明説明（15) 本發明也更實施其他之形態。 例如在貝施例中，已針對本發明適用於使用在lCD 用之基板74之熱處理之加熱器3〇及基板加熱爐⑽的場合加 以說明，但即使在使用於不限於其他之顯示器用基板與板 狀之物之種種形狀之加熱對向物之加熱之加熱器及加熱 爐，同樣的可以適用於本發明。又，在1^〇用基板中，在 配向膜的硬化、密封乾燥、使用於緩冷、pD用基板中，適 合使用於乾燥、預熱等。 另外，在實施例中，加熱器30係使用多數枚連結者， 但即使在單獨使用丨枚的場合，亦同樣適用於本發明。 另外，在實施例中，加熱器30係使用阻抗發熱体48作 為熱源，即使使用液體與氣體等作為用以加熱遠紅外線放 射層44之熱源亦不會有妨礙。 另外，在實施例中，在加熱器3〇設置作為空氣供給孔 機能之貫通孔36 ,但在加熱爐内沒有必要供給空氣的場 合，如此之孔是沒有用的。 另外，在實施例中，金屬薄板32係由鋁合金所形成， 但其材質因應用途可以做·適當之變更。 其他，不1個1個的例示，但本發明只要不逸脫其主旨 之範圍得以加上種種之變更。 〈圖面的簡單說明〉 第1圖為說明具有習知之遠紅外線加熱器之加熱爐之 構造之圖。 第2圖為表示本發明之一實施例之遠紅外線加熱器省 本紙張尺度適用中國國家標準 (CNS) A4規格（210X297公釐) 526670 A7 16 五、發明説明 略中間部之透視圖。 第3圖為表示切口第2圖之加熱器之一部之平面圖。 第4圖為對應第3圖中IV〜IV截面之之圖。 第5圖為表示使用於第2圖之加熱器之發熱體之透視 圖。 第6圖為表示多數枚連結第2圖之加熱器而成之大型加 熱裔之一例之透視圖。 第7圖為詳細說明大型加熱器之連結具之圖。 第8圖為說明具有表示於第6圖之大型加熱器之基板加 熱爐之截面構造之圖。 第9圖（a)、（b)為說明在第§圖之加熱爐中之加熱器之溫 度傳感器配置之圖。 第10圖為表示在第8圖之加熱爐中之溫度分布與實際 之檢出溫度之圖。 第11圖為說明在第8圖之加熱爐中之加熱中之狀態之模式 圖。 元件標號對照 30…遠紅外線加熱器 32…金屬薄板 38…發熱體 44…遠紅外線放射層 68…基板加熱爐 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐）