TW517444B - High-order resonant drive circuit for linear piezoelectric ceramic motor - Google Patents

Description

517444 A7 五、發明説明（丨 線型壓電陶瓷馬達（Linear Piezoelectric Ceramic Motor，LPCM) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 為新型壓電陶瓷馬達，一般以超音波驅動，且由於具有體 積小、安靜、高保持力、低速高驅動力及無傳統電磁馬達 之電磁干擾問題等優點，使之廣泛於工業應用，特別是應 用於高精度之微機電直線運動控制。LPCM的動態特性及馬 達參數為非線性且時變，尤其馬達參數對於溫度變化非常 敏感’因此為減少高頻諧波電壓對LPCM產生不穩定脈動現 象且考慮溫升效應，一般而言，皆以高頻正弦波電壓驅動。

、1T 目前產生高頻正弦波方式大多以方波切換加裝濾波器或是 使用共振電路為主，由於共振方式輸出電壓波形具有柔性 切換、效率高及無諧波成分等優點，為目前電力電子主要 研究方向。共振又名諧振，頻域響應解釋為極點，由於極 點附近電壓增益曲線相當陡峭，應用於LPCM易受負載變動 或長期運作造成電壓增益不穩定，使得操作特拄不佳。本 發明所提出.之驅動電路採LLCC共振技術並操控在幾何頻率 (geometry freqUenCy)，沒有極點問題，可以克服時變系統的參 數及負、載變化所造成之影響。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1表示本發明所揭示之線型壓電陶瓷馬達之機械結 構。線型壓電陶瓷馬達是利用壓電陶瓷的逆電壓效應，將 電壓加於壓電材料上，材料將反抗性的產生一些機械力或 是應變所形成的彈性震動以得到摩擦驅動力，再利用此摩 擦驅動力形成運動，馬達本身乃是由四個薄平板架構、而成， 四個電極j、彳、5、5’如棋盤般附著在正面並分別覆蓋四 分之一的表面，而反面則完全覆蓋單一電極。成^電極 (、（^一万）以電線連接之，再經由轉向控制電路控制共 517444 五、發明説明（2 ) 出交流電壓所跨的電極，做為正向與負向的行 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2控制’而反面電極經由_可調變共振反流器的可變電感 後接地。線型壓電陶瓷馬達運 心 赵W η α 運的運動疋又限於四個高彈性係 #頁’這些彈簧沿著馬達的長邊連接在壓電陶究上， 並且在連接點上沒有X方向的運動，只在¥方向滑動。相當 硬的-個陶瓷轉動子以黏著劑接合在壓電陶瓷短邊的中 間而另個短邊的中間有一緊壓在壓電陶瓷上之預力彈 簧。如此以來，預力彈簧便可提供一壓力在轉動子和移動 平台之間，摩擦力便會產生在平台和轉動子之間的表面， 而轉動子即可將力量.准遞至平台並使之移動，當交流電壓 的驅動頻率等於壓電陶瓷的自然共振頻率時，其振幅為最 大，本發明所使用壓電陶瓷馬達之自然機械共振頻率為 39.6kHz。 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明採用如圖2線型壓電陶瓷馬達之、、高階LLCc共振 驅動方塊圖之架構。PWM推挽式直流電源換流器23提供— 叮调直電廢’供應L L C C共振反流器2 4，其大小由直流電 壓迴授控制20控制，本發明電壓控制‘範圍為直流丨〇〜3〇〇 伏特。電壓控制頻率之驅動電路22產生39 6kHz方波驅動訊 號，分離為四組0°及18〇。兩種方波波形，四組驅動訊號需 經由驅動放大電路將電流放大/再以變壓、器隔離電源以避 免共地現象’以提供共振反流器24所需4個電子式開關&、 \&以及&(MOSiET)之閘極驅動訊號，其中&以及&之 驅動訊號相差1 80 ° ，叉以及&之驅動訊號亦相差1 80 ° 。& 以及\之驅動訊號為同時導通及截止，同理乂以及&之驅 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29^公釐) 517444 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

慮開闕屡降、共振元件參數變化等，仍 適二負 4·時低環流及重載時波形失真率低·· LLCC共 疋一由，共振槽’ '组是由叫組成串聯共振：路 質因由、以及Μ成並聯共振槽。當負载為輕载(品 共振槽儲存能量大於串聯共振槽，足 .八負載所而之正弦波形，避免二階串聯共振 之問題。而並聯共振槽只需設計供應輕負載之 疋故環流小且為自然㈣並不經過開關元件，串 振槽僅需少量電流以維持共振所需即可。當負載為 =(品質因數低），並聯共振槽儲存能量將不足以提 需’此時串聯共振槽電流大增，增加其儲存能 广供至負載’理論上’當切換頻率等於幾何頻率時， ^共振槽之阻抗為零’電流雖大但流經串聯共振槽卻 …壓降，由此推之，重載時波形失真率低。 5.容許共振元件參數變化：三階Lcc及Llc共振之電壓增 盈曲線中，有一段範圍之頻率’電壓增益不易受品質因 數變化影響’兩者斜率相反，而LLCC兼具兩種共振之 特性，兩種斜率曲線交又點即為幾何頻率。當共振元件 因溫升、磁飽和等因素以致容抗不等於電抗7或者負 載為具有電容或電感成份時，LLCC共振曲線將偏移成 上述三階共振電路之其中一種，電壓增益將會因此改 變，但幅度仍在可接受範圍内，因此不易受品質因數變 517444 A7 ___________ ____B7___ 五、發明説明（5 ) 化影響之特性依然存在。 6·柔性切換（soft switching)，轉換效率高：操作在幾何頻 率時’開關之方波電壓波形與其正弦電流波形為同步， 故有零電流切換特性（ZCS)。 7·無須緩衝秦(snubber) ··疼振槽為正弦電流，不具有瞬間 電流變化所形成線路電感之電壓，因此不必加裝緩衝器 並且無该項元件之切換損失。 8.降低開關元件之額定規格：本發明之LLCC共振槽操作 頻率固定，不易受异質因數變化之影響，故電子式開關 承受電壓固定。此點不同於其他共振電路開關元件之電 壓易受品質因數影響且高低起伏很大，需加大開關元件 電壓容量以避免損壞。 本發明利用高階LLCC共振理論來改善傳統共振反流器 之缺點’並製作電路實測驗證其有效性，其相關理論及實 測波形’請參照以下之附圖及針對本發明之實施例之詳細 說明。 本發明所列圖示簡單說明如下： 圖1表不本發明所揭示之線型壓電陶瓷馬達之機械結構。 圖2表示本發明所揭示之線型壓電陶瓷馬達之高階LLCC 共振驅動方塊圖。 圖3表示本發明所揭示之高階LLCC共振式反流器之Q值、 電壓增盈、相位移對應切換頻率之曲線圖。 圖4表示本發明所揭示之共振槽阻抗與切換頻率之曲線 圖。 本紙張尺度適財關家辟（CNS)A^\ 210X29^) —-ϋ n n 1_1 n I I I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1T -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 517444 A7 B7 五、發明説明（έ ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖5表示本發明所揭示之高階LLCC共振式反流器在切換 頻率分別小於、等於及大於幾何頻率時，各電壓電流 波形。 表示為本發明所揭示之高階LLCC共振電路之一實施 例之主電路圖。 表示本發明所揭示之電壓控制頻率電路、分相電路、 互鎖電路、驅動放大電路及電氣隔離電路之一實施例 之方塊圖。 表示本發明所揭示之電壓控制頻率電路、分相電路、 互鎖電路、驅動放大電路及電氣隔離電路之一實施例 之電路圖。 表示本發明所揭示之互鎖電路基本原理之一實施例。 圖1 〇表不本發明所揭示之pWM推挽式直流電源換流器電 路、全波整流電路、轉向控制電路之一實施例. 圖11表不本發明所揭示之高階共振驅動裝置應用於線型壓 電陶瓷馬達於無載時，共振反流器之並聯共振槽輸出 交流電壓K之實測波形之一實施例。 圖12表不本發明所揭示之高階共振驅動裝置應用於線型壓 電陶曼馬達於加載3公斤時，共振反流器之並聯共振 槽輸出交流電壓\之實測波形之一實施例。 圖1 3表不本發明所揭不之高階共振驅動裝置應用於線型壓 電陶瓷馬達於堵住測試時，共振反流器之並聯共振槽 輸出交流電壓之實測波形之一實施例。 圖6 圖7 圖8 圖9 表紙張尺度適用中國國家^ ( CNS ) A4胁（21Gx2^^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本I) 訂 -線 517444 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

私紙張尺度適财關家標準（CNS ) A4· ( 210X297公釐） 517444 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

參紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (10) 517444 五、發明説明（9 )

Qpi ~ / ω〇2^5 ①(nCs _ 上式中之仏]以及么必為正值。將 ^ m脒方程式（7)乘以方程式（8) 可得到 ^01^02 =1/v^%C^7 (11) 如果兩個共振頻率.所·|丁屮q Y吉并 t午所盯出Q值並不相同，而用來分析兩共振 頻率中間的曲線較為複雜。為使系統簡單化，當負載值相 同且在共一振頻率％與〜時，系統有相同之^直。因此令 L =仏2，化簡且利用方程式⑴）可得

Lp/Ls =Cs/CP (12) 所以LLCC共振的四個元件依方程式(12)比例決定，則同樣 負載在不同的共振頻率，其Q值相同'，利用絕對值將方二 (9)及方程式（1〇)單一化 i式 q=rl ^cs 匕-从 （13 上式之仍G可為⑺01或仍〇2為將結果代入方程式（3)可寫成 _ % ·

Gv 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Q

C0SLS ㊉sCs ψ = tan' 一 ① sLs--1^ Qklscp— 1 ^ -c〇iLX：P ω^8 V ⑺ sLpL s ) 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） (15) ；)丄/444 、發明説明（/i?) ::二Γ1)推導兩共振頻率之幾 將方程式（16)代入方程式<14)， A 、， 侍畐％ 時，分母虛部 為零，刀母貫部為1 ’（^不受Q值警化 / Y丨旦夂化之景》響，因此可得到 Gv=Y =1213 ' (17) 其物理意義為當時，串聯共振槽阻抗⑽，並聯 共振槽阻抗為減大，輸人電壓直接加人並聯共振槽。 仏值即為方波函數等效傅立葉級數之基本波係數。方波的 其匕電壓咕波因本系統頻譜特性使其增益幾乎為零。將方 程式（16)代入方程式（15)計算出分子項係數為零，因此 ψ = 〇 (18) 輸出電壓vf，與方波電壓Κνν,同相位，且與Q值大小無關。 LLCC共振反流器中，若將捨棄，形成LCC共振反流 器。令Ip為無限大代入方程式（3)及方程式（4)，可簡化成 (16) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂

Gv 4v^^4

π vi π Z1NYP % 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ψ - tan' \^-c〇lLsCP Is λ + /_ ❻ S[s 1 1 J y l Rl ⑺SRlCs) ① sLs______I_ j?L cosRlCs 1 + / - 尸 (19) (20) ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210公釐） 517444 A7 B7

五、發明説明（I 重新定義LCC幾何頻率 COgLCC = V (21) 且令將方程式（21)代入方程式（19)，當％=似抑,(，時，分母虛 部為零，分母實部為1，$不受Q值變化之影響，因此可得 到與方程式（17)及方程式（18)相同結果。 LLCC共振反流器中，若將CV捨棄，形成LLC共振反流 器。令CP為零代入方程式（3)及方程式（4)，可簡化成 v0 4 1 G' π ζ1ΝΥΡ 1 ] + / ω8^8 _ 1 、Lp ①sLpCs， J 、①S^lCs j °^Ls___1 Rl ① s (22) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T ψ - tan~ 1 + (23) _|本 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Lp cosLpCs 重新定義LLC幾何頻率 〜w 二 l/y[LsCs (24) 且令將方程式（21)代入方程式（19)，當％=气似，管，分母虛 部為零，分母實部為1，％不受Q值變化之影響，因此可得 到與方程式（17)及方程式（18)相同結果。 由LCC及LLC所組成三階共振反流器，兩種幾何頻率 是相同的，取決於串^共振槽中之八及C,，值，電壓增益及 相位移之特性，與LI?CC共振反流器之幾何頻率並無相異 紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（hOX』公釐） 517444 A7 B7 五、發明説明（丨Z) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之處。因此本發明可以使用LLCC、lcc及LLC等三種共 振反飢為，達成輸出振幅不易受負載變化而改變之目的， 二種差別在於LLCC共振反流器之環流較小以及波形更接 近正弦波。 依據方程式（12)以及方程式（16)決定下列參數值 Ls^Lp= 1.32mH, CS=CP= 12.23nF (25) 上式數值代入解方程式^妁，可得圖3(幻及3(c)，為Q值不同 日守，％大小對頻率響應之曲線圖。圖及3(幻為方程式（Μ) 之Q值不同時，W相位移對頻率響應冬曲線圖。由方程式（16) 得/g =39.6kHz。當頻率等於人時，其電壓增益及相位偏移 最為穩定。 z 圖4為阻抗大小對頻率之曲線圖。當乃〈八時，串聯共 振槽阻抗义為電容性，並聯共振槽阻抗&為電感性。當 Λ>Λ時，兩者相反。當厶=九或Λ=/〇2時。當 入=Λ時A =〇且A =〇〇 ,成為零電流切換（zcs)。 圖5(a)表示本發明所揭示之高階llcc共振式反流器在 切換頻率分別小於、’等於及大於幾何頻率時，各電壓電流 波形。其波形定義請參考圖5(b)所示。 圖6表示為本發明所揭示之高階llcc共振電路之—實 施例之主電路圖。電子式開關元件為M〇SFET(金氧半場效 電晶體），m、D2、D3及D4則為對應MOSFET之基體二極體 (body diode)。設計&以及心為i3.2mH，Q以及cp皆為 12.23nF ° 圖7表示本發明所揭示之電壓控制頻率電路 〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 -線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祕（210/29^公釐） 517444 A7 B7 五、發明説明（/3 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 circuit)、分相電路（split-phase circuit)、互鎖電路（lockout circuit)、驅動放大電路及電氣隔離電路之一實施例之方塊 圖’其電路圖詳繪如圖8所示。電壓控制頻率電路22以可變 電阻分壓，提供參考電壓予LM566產生158.4kHz，再經過 IC4013除以4’使其輸出導通與截止週期各5〇%之39 6kHz* 波訊號VI。分相電路70由反相器所組成，將LM566輸出方 波訊號分離為V2、V3、V4、乂5等4組0。及180。兩種方波 波形。再送往互鎖電路7 1做訊號延遲處理，利用rc充放電 特性使得每一個驅動訊號調整延遲導通，避免兩組反相輸 出方波同一時間内發生重疊，防止同一臂之電子開關同時 導通而造成短路，其基本原理如圖9所示。驅動放大電路72 採推挽式將驅動電流放大，提供共振所需4個電子開關&、 \\以及&之驅動訊號。四組驅動訊號V6、V7、V8、V9 需經由電氣隔離電路73，以變壓器解決四個電子開關、 以及Lr不共地之問題 ^圖10表示本發明所揭示之PWM推挽式直流電源換流器 電路、全波整流電路及轉向控制電路，其電路圖詳繪如圖8 所不。TL494之腳5與腳6連接兩個外部元件尽與丨，藉由RC 充放電可獲得所需頻率之鋸齒波，此信號再與回授和命令 之誤差放大訊號比較，執行輸出脈波寬度調變（pwM)，作 為控制腳10與腳n兩射極輸出脈波寬度，當命令電壓大於 迴杈電壓時，兩射極脈波寬度為最大，若命令電壓小於迴 杈電壓時’誤差放大器將誤差放大以控制射極輸出脈波寬 度大小，再經過一圖騰極電路，讓訊號成為電子式開關 訂 線 1 紙張尺度 準(CNS) Α_4· (210^^ 517444 五、發明説明（) • MOSFET所需的驅動句躲，π ^ w 而—勃Λ唬，可以進一步的控制推挽式轉換器 開關的責任周期比，使盆給φ A θ 民八™出调整至迴授電壓小於命令.電 壓後形成一穩定的迴路，；查士、上田^ 違成凋控供給共振反流器電壓的 效果。全波整流電路中，去F 丄 τ胃K >0時r ;當γ <〇時，

V 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R3=R 以反 R4=2R， 則匕。因此c即可達到全波整流的效果，可在 =,〇或R < 〇時都給一正的值當作命令電壓控制線型壓電陶 究馬達的速度。馬達行進方向則由轉向控制電路決^，當 電晶體贵導通時’气導通，娜“以，聯共^ 輸出交流電壓跨於气上，馬達做正向運動；t晶體02導 通時，獅“導通，气截止，此時並聯共振槽輸出交流電 壓跨於％上’則馬達做逆向運動"如此—來即可達到控 制轉向的效果。 〜 表示本發明所揭示之高階共振驅動裝置應用於線 型壓電陶£馬達於無載時，共振反流器之並聯共振槽輸出 交流之實測波狀一實施例，其中⑷、(b)以及⑷分 別為命令電壓+3、+6以及+9伏特時，輪出39 6kHz正弦交流 電Μ波形，其對應速率與電壓峰值分別為55mn^e—165V、 16〇m%c-謂以及267m%ec._256v ;⑷、⑷以及⑴分別 為命令電壓-3、-6以及-9伏特;夺，輸出39 ·ζ正弦交流電 壓波形，其對應速率與電峰值分別為45mn>i64v、 R, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 517444 五、發明説明（/5* ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 150 mi%ec - - 208ν 以及 248 παη/' . ^ /sec *244v。無論在各種命令電壓 二造= = _ 二電陶变馬，的最佳工作細9 6k]^ 達靜止時正向與逆向之靜』里&菟陶是馬 ,^ L 止電各分別為1.83nf以及1 93nf， 由於此正向靜止電容與逆、 + 雷態枯”延向靜止電容的不同，造成當命令 電壓值一樣時，正向盥读& 丨7 疋向兩者速度與電壓峰值的差显， 此乃塵電材料内部電容之^ /、 n， 性特性，形成LLCC共振曲線 存在。 易党負翁變化恭篆之特性仍 圖12表示本發呀所揭示古 ^ C ^ ^ ^ ^ ^ ^ 1 丁之间階共振驅動裝置應用於線 t&電陶竞馬達於加載3公斤0士 > 卞，/、振反流器之並聯共振槽 輸出交流電壓义之實測波形之一實q 貧鈀例，其中（a)、（b)以及（c) 分別為命令電壓+3、+6以及+9伏特時，輪出Μ働正弦 流電壓波形’其對應速率與電壓峰值分別為54u65v 以及2541^.姻；⑷⑷以:⑴分 為命令電壓-3、-6以及_9伏特時，輸出39鳥正弦交流 壓波形’其對應速率與電壓峰值分別為4 ·-謂 /see 144mn^e_-208v 以及 24〇mn^__244v。 •圖S 丁本毛月所揭不之向階共振驅動裝置應用於綠 型壓電陶W達於堵住測試時，共振反流器之並聯共振槽 輸出交流電壓匕之實測波形之_實施例，其中⑷、⑻以及⑷ 缺 η、、 交 電 線 A7 " '------ -B7五、發明説明（M ) ^別為命令電壓+3、+6以及+9伏特時，輸出39.6kHz正弦交 流電壓波形。 由Θ11，圖12及圖13可清楚得知，在一定的命令電壓 :’無論是無載、加載3&斤或堵住測試時，共振反流器所 輸出的正鬼電壓波形幾乎不變，只有在如載3公斤時馬達的 仃進速率慢於無载時，由扁可明顯表示出本發明所揭示之 線型壓電陶瓷馬達驅勤裝置具有極佳的穩定性。， ,”圖14表示本發明巧揭示之高階共振驅動裝置應用於線 型壓電陶瓷馬達，弦波位置命令及方波位置命令閉迴路控 制測試，共振反流器之並聯共振槽輸出交流電壓v。之實測 波形之-實施例。壓電陶瓷馬達正向與逆向行進因非線性 特性’使得速度並不相$，因此利用壓電陶瓷馬達内部位 置感測器訊號，來修正外界電壓命令。圖⑷為正弦位置命 令與實際運動位置對照，另外對照交流電壓'之振幅·。圖⑻ 則使用方波位置命令以相同方式測锪。由圖“賒證在實I 閉迴路控制上，對於不同位置命令，可以準確作定位控制。

ί -訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) ·* - I- 1- - ^ · Γ丨 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 — 丨 — ____ 一― 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇><297公釐）

Claims (1)

1. 517444

   ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •線ϋ電陶£馬達驅動裝置’其中包含推挽式直 流電源換流器電路、LLCq振反流器電路、電壓控制 頻率電路、分相電路、互鎖電路、驅動放大電路、電 氣隔離電路、全波整流電路以及方向控制電路。pwM 推挽式直流電源換&器電路主要目的為提供—可調直 *電C ’供應LLCC共振反流器。Llcc共振反流器電 路將直電壓切換成39·6kHz之交流正弦電壓。電壓控 制v員率電路產生39.6kHz方波驅動訊號，經由分相電路 分離為4組0。及18〇。兩種方波波形，再送往互鎖電路 以避免兩組反相輸出方波同一時間内發生重疊，四組 驅動訊號需經由驅動放大電路將電流放大，再以變壓 器隔離電源以避免共地現象，提供共振反流器所需4 個電子式開關之閘極驅動訊號。全波整流電路將外界 送入的父流命令電壓，轉成直流命令電壓，送給 推挽式直流電源換流器電路進行電壓調整。方向控制 電路亦將外界送入的交流命令電壓之正負符號，控制 馬達的行進方向。本高階共振驅動裝置之特徵為：第 點運用南階LLCC共振理論中幾何頻率之特性製作 成驅動電路；第二點，開關元件具柔性切換，輸出效 率高且架構簡單；第三點，正弦電壓波形，無諧波及 電磁干擾問題；第四點，在無回授控制下，負載裝置 從無載、滿載至堵住測試，輸出電壓變動在丨伏特以 内。 2·如申請專利範圍第1項所述之線型壓電陶瓷馬達驅動 裝置，其中PWM推挽式直流電源換流器電路，可以將 本紙張家標準（CNS) A4· ( 2iGx297公 ^)

   517444 B8 C8 --- - D8 六、申請專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 低輸入直流電壓轉成高輸出直流電壓，提供LLcc共振 反流器，由直流命令電壓進行調整；本專利申請範圍 包括以其他形式之直流電壓換流器電路替代，達成直 流電壓調整功能。 3.如申叫專利範圍第丨項所述之線型壓電陶瓷馬達驅動 波置，其中之LLCC共振反流器電路，設計幾何頻率與 切換頻率相同皆為39.6kHz，使得電子式開關在導通時 具柔性切換效果，降低切換損失之優點。 4· ^申明專利範圍第丨項所述之線型壓電陶瓷馬達驅動 裝置，其中之LLCC共振反流器電路，操作在幾何頻率 時具有輸出電壓及相位不易受負載變化影響；本申請 專利範圍包括利用LLCC共振電路以及簡化成Lcc及 LLC共振電路中幾何頻率特性，於任何頻率範圍使 用。 5·如申請專利範圍第丨項所述之線型壓電陶瓷馬達驅動 裝置，其中LLCC共振反流器電路之架構，本申請專利 範圍為採用2個電子式開關之半橋式架構、4個電子式 開關之全橋式架構或6個電子式開關之全橋式架構。 6·如申請專利範圍第1項所述之線型壓電陶瓷馬達驅動 裝置，其中LLCC共振反流器電路如專利申請範圍第！ 項所述之輸出電壓變動在1伏特以内，本申請專利範圍 包括為減少輪出電壓變動所增加之迴授電路，以調整 如專利申睛範圍第2項所述之PWM推挽式直流電源換 流器電路所需之電壓值。 7.如申请專利範圍第1項所述之線型壓電陶瓷馬達驅動 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210Χ29Ί ) 517444 Αό Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 裝置，其中全波整流電·路及方向控制電路，為將外界 交流電壓命令分別處理，成為控制速度電壓命令及方 向控制訊號。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財是局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公f )