TW513554B - Multi-coordinate probe measurement appliance - Google Patents

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513554 A7 B7 五、發明説明（i ) 本發明係關於多座標探針測量器具，可容許沿測量軸 線的方向及相對於本身的橫方向之距離測量。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 此型的多座標探針測量器具早由DE 195 02 840 A1已知 。此探針測量器具具有一外殼及一探針桿，其中探針桿可 沿測量軸線方向相對於外殻移動，並且藉由萬向接頭而被 引導在外殼上，使得此探針桿可環繞一位在測量軸線上的 樞轉點朝所有方向樞轉。探針桿藉彈簧來預受力而抵靠向 一靜止位置，且具有一由外殻伸出的探針臂，且當探針桿 位於靜止位置時，其自由探針端部界定一位在測量軸線上 的探針參考點。一耦合臂在相同軸線上連接於探針臂，並 且其相對於樞轉點遠離探針端部的自由端部會形成具有凸 出母線（generatrix )的一外部控制表面，當在探針桿位於 靜止位置時，此外部控制表面會相對於測量軸線旋轉對稱 。在外威中引導一耦I合件，使其可沿測量軸線方向移動， 且其相對於外殻的位置可藉由一測量裝置偵測。此耦合件 具有一敞開切口，其朝向探針端部變寬且形成一內部控制 表面，此內部控制表面相對於測量軸線旋轉對稱，且耦合 臂的外部控制表面抵靠向此內部控制表面。控制表面形成 一*鍋合驅動窃，0¾將親合臂親合於親合件，致使在採針臂 沿測量軸線方向移動時及探針臂環繞樞轉點的偏轉時，耦 合臂可沿測量軸線方向驅動耦合件。 就耦合驅動器的構造而言與上述探針測量器具不同的 其他多座標探針測量器具可由DE 41 00 323 A1， US 3 660 906, US 5 3 5 5 5 89，及 GB 2 094 979 A 已知。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -4- 513554 A7 B7 五、發明説明（2 ) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在已知的多座標探針測量器具中，探針桿恢復力是藉 由一彈簧產生的，而該彈簧係夾持在外殼與可沿測量軸線 方向移動的耦合件之間，且經由耦合驅動器而將探針臂預 加載至靜止位置。因此，探針測量器具的測量準確度不只 是受耦合驅動器的致動表面之製造公差影響，並且也受耦 合件的引導表面之製造公差影響。因此，習知探針測量器 具的引導表面必須製造成具有高精確度，特別是被硏磨， 特別是當決定及/或指示距離的撥號盤式試驗指示器（dial test indicator)被耦合於耦合件時，如此會大幅增加探針測 量器具的製造複雜性及製造成本。 線 在GB 2 094 979A所揭示的探針測量器具之情況中，已 知能使可沿測量軸線方向相對於外殼移動的耦合件被引導 在線性滾珠軸承中，以減小由於摩擦滯後作用（hystei.esis )所導致的測量誤差。此線性滾珠軸承具有軸襯，係與外 殼分開，並且當欲滿足精確度的要求時，會大幅增加製造 成本。 經濟部智慧財產局员工消費合作社印製 本發明的目的爲提供一種多座標探針測量器具，其可 在相當寬的製造公差之下被製造，並且容許有精確的距離 測量。 本發明是一種多座標探針測量器具，其包含： 一外殼， 一探針桿，其可相對於該外殻沿一測量軸線的方向移 動，藉由一馬向接頭的引導，該探針桿可環繞一位在該測 量軸線上的樞轉點相對於該外殼朝所有方向樞轉，其係藉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 513554 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 彈簧來預受力而抵靠向一靜止位置，且具有一由外殻伸出 的探針臂，且當該探針桿位於該靜止位置時，其自由探針 端部界定一位在該測量軸線上的探針參考點， 一耦合件，被引導以沿該外殻的一引導表面配置上移 動，使其可沿該測量軸線的方向移動， 一耦合驅動器，在該探針臂沿該測量軸線方向移動時 及在該探針臂沿該測量軸線方向環繞該樞轉點偏轉時，將 該探針桿耦合於該耦合件且驅動該耦合件。 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 相較於此種探針測量器具的背景技術，上述目的可根 據本發明而達成，因爲耦合件及外殼的引導表面配置具有 供一滾珠軸承配置的滾珠用的運轉表面，其中在耦合件及 外殼二組件的至少之一上的運轉表面可相對於運轉表面彈 性地橫向偏轉，並且將滾珠固持住，致使在沒有任何游隙 下被夾在運轉表面之間。最好是由這些組件之一的彈性整 體壁區域所形成的運轉表面能補償滾珠與公差有關的游隙 ，並且容許運轉表面藉由相當具有成本效益的製造方法來 製成，例如藉由在一車床上轉動或藉由摩擦切削加工。例 如，滾珠的運轉表面不須被精確硏磨。 在一較佳實施例中，形成運轉表面的壁區域爲一徑向 彈性管狀區段的形式，其可相對於測量軸線同心，特別是 在耦合件上。耦合件的運轉表面及外殼的引導表面配置的 運轉表面在此情況中有利地爲互相同心的圓柱形表面的形 式。就此方面，已經發現從製造工程學的觀點而言，形成 運轉表面的耦合件的徑向彈性壁區域若設置於耦合件的至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X；297公釐) ~ -6- 513554 A7 B7 五、發明説明（4 ) 少一軸向端部的區域且沿測量軸線的方向自由凸出而形成 一管狀圓柱形區段是很簡單的。此種管狀圓柱形區段被有 利地設置以便在耦合件的二軸向端部區域中形成運轉表面 〇 爲達成可預定的滾珠均勻支撐及滾動特性，滾珠軸承 配置的滾珠最好被固持，致使滾珠可在耦合件及外殼的運 轉表面之間沿測量軸線方向移動的一滾珠罩中旋轉。滾珠 罩較佳地引導至少二列滾珠，這些滾珠係在圓周方向延伸 ，以一軸向距離彼此隔開配置，且特別被配置於耦合件的 二軸向端部區域中。如此能在耦合件的二滾珠引導區域之 間維持相當大的距離，如此也能幫助防止耦合件傾斜的能 力，且因此增進測量準確性。 滾珠罩可爲相對於測量軸線同心的一圓柱形套筒，並 且在每一情況中，於其套筒壁具有徑向通孔，以便分開地 引導每一個別滾珠。通孔有利地在一徑向側受到壓縮，使 得滾珠不會從通孔落出，因而簡化探針測量器具的組裝。 已知探針測量器具的外殼及耦合件可由鋁或鋁合金製 成，且其精密表面通常設置有相當厚的硬質陽極化層，以 提供抵抗損耗及磨耗的長期性保護。令人驚異地，今發現 如果由銘或鋁合金製成的耦合件及/或外殻的運轉表面設 有小於1 0 // m (微米），特別是小於6 m厚度的硬質 陽極化表面層的話，則探針測量器具的製造公差可設計得 極大，因而可製造成本降低。此種硬質陽極化表面層顯著 地比先前用於保護此種鋁組件表面的表面層爲薄。當此種 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2iOX 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 經濟部智慧財產局工消費合作祍印製 513554 A7 B7 五、發明説明（5 ) 表面層充當滾珠軸承的軸承道時，它們仍然太軟，以致滾 珠軸承配置的滾珠在使用期間本身可滾動出溝狀的軸承道 。如此，滾珠爲其本身產生一軸承道床，而自動地補償製 造公差。上述技術思想不只是可被用於前述具有可彈性偏 斜的滾珠軸承運轉表面的探針測量器具上，並且也可被用 於滾珠軸承的成對運轉表面基本上均爲非彈性的探針測量 器具上。因此，薄硬質陽極化表面層的技術思想本身具有 發明上的重大意義。 圖式簡要敘述 以下參考圖式更詳細說明本發明的實施例。 圖1顯示通過多座標探針測量器具的軸向縱向剖面圖 〇 圖2顯示來自圖1的細部Π。 元件對照表 I 探針測量器具 3 外殻 5 探針桿 7 測量軸線 9 球接頭 II 樞轉點 1 3 復位彈簧 15 探針臂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-8- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 513554 A7 B7 五、發明説明（6 ) 17 自由探針端部 19 探針參考點 2 1 耦合臂 2 3 引導開口 2 5 耦合件 2 7 滾珠軸承配置 29 撥號盤式試驗指示器 3 0 耦合銷 31 內部控制表面 33 外部控制表面 3 5 球件 37 環狀凹槽 39 環狀附著件 4 1 陡角套筒 43 接頭球件 45 接頭支架部份 4 7 導件 4 9 銷 5 1 槽溝 5 3 中心通口 55 中心凸出銷 57 止動表面 5 9 止動表面 6 1 弱點 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-9- 513554 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 6 3 外 部 罩 殻 6 5 滾 珠 6 7 通 孔 6 9 滾 珠 罩 7 1 收 縮 部 7 3 管 狀 區 段 7 5 保 護 層 7 5 接 合 器 7 6 滾 道 凹 槽 7 7 中 心 通 孔 7 9 軸 8 1 夾 緊 螺 釘 8 3 環 狀 凸 緣 8 5 止 動 表 面 8 7 定 心 開 □ 8 9 定 心 銷 9 1 止 動 表 面 9 3 調 整 螺 釘 整個以1標示的探針測量器具包含外殼3，而整個以 5標示的探針桿在外殼3上被引導，致使可沿外殻3所界 定的測量軸線7之方向移動。在此情況中，探針桿5是藉 由以球接頭9形式的一萬向接頭而在外殻3上被引導，致 使可另外環繞在測量軸線7上的樞轉點1 1朝所有方向樞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁)

-10- 513554 A7 ________B7_ 五、發明説明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 轉，並且以稍後會詳細說明的方式由復位彈簧1 3以彈簧 的方式預加載至圖中所示的靜止位置。探針桿5具有一由 外殻伸出的探針臂1 5，並且當探針桿5處於靜止位置時 ，其本身由一球件形成的自由探針端部1 7能界定在測量 軸線7上的一探針參考點1 9。相對於樞轉點1 1，探針 桿5的耦合臂2 1沿著與探針臂1 5相反的方向凸出至一 圓柱形引導開口 2 3內，此開口相對於測量軸線7是位在 外殼3的中心。主要是套筒形式的耦合件2 5係藉由稍後 會更詳細說明且整個以2 7標示的滾珠軸承配置而被引導 在引導開口 2 3中，致使能沿測量軸線7的方向移動。被 固持在外殻3上的撥號盤式試驗指示器（dial test indicat or )2 9能偵測出耦合件2 5相對於外殼3的位置，並且爲 此目的設置有嚙合在耦合件2 5的孔中的一耦合銷3 0。 在此情況中，撥號盤式試驗指示器2 9可爲機械長度撥號 盤式試驗指示器，但是可偵測親合件2 5相對於外殼3的 位置量値之其他長度測量感測器也能適用，例如電子撥號 盤式試驗指示器或能產生相應於位置的訊號的其他測量値 發送器。 在軸向遠離樞轉點1 1的端部區域中，耦合件2 5具 有一內部控制表面3 1，係以具有線性母線的截頭錐形表 面之形式出現，而耦合件2 5藉此抵靠在形成在耦合臂 2 1的自由端部處的探針桿5之凸出的外部控制表面3 3 。內部控制表面3 1相對於測量軸線7旋轉對稱，而外部 控制表面3 3會相對於通過探針參考點1 9及樞轉點1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）一 ' -11 - 513554 A7 B7 五、發明説明（9 ) 的直線而旋轉對稱，其中該直線在探針桿5處於靜止位置 時會與測量軸線7 —致。外部控制表面3 3具有成爲圓形 區段的形式的母線，並且在此情況中，係由安裝在耦合臂 2 1的自由端部處的球件3 5形成。但是，也可構成外部 控制表面3 3致使其成爲圓形區段的形式的母線具有相對 於該直線同心的圓心。被引導在其端部之一處於引導開口 2 3的底座的一環狀凹槽3 7中且被引導在其另一端部處 在耦合件2 5上的一環狀附著件3 9上的復位彈簧1 3會 對鍋合件2 5於探針端部1 7的方向預加應力，並且同時 確保彼此抵靠的控制表面3 1， 3 3之間的接觸壓力。也 可設置其他變化的耦合驅動器來取代如上述由控制表面 3 1，3 3形成的耦合驅動器。 在操作時，探針測量器具1藉由一陡角套筒而被固持 於一工具機或一測量器具或類似者中，此陡角套筒是以 4 1標示且其軸線與測量軸線7相同。當探針端部1 7由 於測量操作期間的結果而在測量軸線7的方向上執行一致 動移動時，耦合臂2 1會驅動耦合件2 5，此能控制撥號 盤式試驗指示器2 9。如果探針端部1 7執行相對於測量 軸線7橫向的致動移動，則耦合臂2 1可環繞由球接頭9 所界定的樞轉點1 1樞轉。在耦合臂2 1的樞轉移動期間 沿著其母線彼此滑動的控制表面3 1， 3 3將探針桿5的 樞轉移動轉換爲成爲套筒形式的耦合件2 5之軸向移動， 使得撥號盤式試驗指示器2 9會測量出探針參考點1 9與 測量軸線7之間的徑向距離。控制表面3 1， 3 3的上述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 513554 A7 B7 五、發明説明（10) 結構會導致探針參考點1 9與測量軸線7之間的徑向距離 以1 : 1的線性比例而轉換成由探針桿5的樞轉移動而產 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 生的耦合件2 5之軸向致動移動。 球接頭9具有一接頭球件4 3，此接頭球件是與耦合 臂2 1成一體成形，相對於樞轉點1 1在中心處，並且座 落在將引導開口 2 3限界成爲朝向探針端部1 7的一接頭 支架部份（joint cradle part )中。接頭支架部份4 5被旋入 外殼3，並且沿著與探針端部1 7相反的方向繼續至一圓 柱形導件4 7中，而導件4 7在探針桿5的軸向移動期間 可相對於測量軸線7徑向引導接頭球件4 3。爲保護探針 桿5不致於繞測量軸線7過度旋轉，會在一平面中的接頭 支架部份4 5上設置一銷4 9，當探針桿5位於靜止位置 時，此平面會垂直於軸線且包含樞轉點1 1，並且此銷 4 9會嚙合在一槽溝5 1中，此溝槽是在接頭球件4 3中 探針桿5之軸向縱向方向平面中延伸。 線 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 從外殼3凸出的探針臂1 5在測量操作期間可能會由 於例如疏忽而承受陡震負荷，或是探針臂1 5軸向或徑向 偏轉至其行進的極限。爲限制探針桿5的軸向行進移動， 稱合件2 5具有相鄰於親合臂2 1自由端部的一中心通口 5 3，其中從外殼的引導開口 2 3底座凸出之一中心凸出 銷5 5可嚙合且可撞擊球件3 5。軸向作用在探針端部上 的撞擊力係以此方式直接傳至外殼內而不被控制表面3 1 ，3 3吸收。探針臂5的徑向行進移動藉由一止動表面 5 7限制，其中此止動表面5 7可撞撃耦合件2 5的一環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） -13- 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 513554 Α7 Β7 五、發明説明（Μ ) 狀圓柱形內部止動表面5 9，此內部止動表面是軸向相鄰 於內部控制表面3 1的側面。對控制表面3 1，3 3以及 對撥號盤式試驗指示器2 9的進一步保護是由於探針臂 1 5中陶瓷套筒形式的一弱點6 1所提供的。 耦合件2 5具有形成運轉表面的一圓柱形外部罩殻 6 3 ,其與耦合件2 5 —體成形以便用於滾珠軸承配置 2 7的滾珠6 5。滾珠軸承配置2 7的滾珠另一方面被支 撐在外殼3中的一圓柱形引導開口 2 3上，其同樣地形成 一運轉表面，且相對於測量軸線7以及因而相對於外部罩 殻6 3同軸。滾珠6 5以兩列配置，係在耦合件2 5的軸 向端部之每一個區域中沿圓周方向延伸，並且如圖2中所 最佳顯示的一樣，每一個滾珠在可沿測量軸線7方向移動 的滾珠罩6 9的相關聯通孔6 7中被個別地引導。朝向親 合件2 5，通孔6 7設置有收縮部7 1，使得一旦滾珠罩 6 9已被整個插入引導開口 2 3內，滾珠6 5就被固持在 通孔6 7中，而不需在此之前裝配耦合件25。 耦合件2 5的外部罩殼表面6 3及引導開口 2 3的內 部表面可以相當寬的公差製造，例如藉由將其在一車床上 轉動或藉由摩擦切削加工。但是，爲了盡可能地排除耦合 件2 5與外殼3之間的徑向引導游隙，耦合件2 5在其徑 向端部的區域中及在滾珠6 5的移動區域中均具有相當薄 壁的管狀區段7 3形式，其中只要選擇滾珠6 5的直徑爲 極大，則此管狀區段7 3將滾珠6 5徑向向外壓抵於引導 開口 2 3的內部表面。管狀區段7 3於圓周方向及於軸向 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-14 - 513554 Α7 Β7 五、發明説明（12 ) 方向具有均勻的壁厚度，因此確保所有的滾珠6 5被均勻 地負載。 耦合件2 5及外殼3二者均由鋁或鋁合金構成，並且 均至少在形成滾珠6 5的運轉表面的表面區域上塗覆具有 小於1 0 // m (微米）例如3至5 // m厚度的硬質氧化物 層。如對外殼3以7 5放大標示且亦設置在耦合件2 5內 的此種層，其具有充分的撓性，因而容許滾珠6 5將保護 層7 5滾成在外殻3及耦合件2 5的很軟鋁材料中之溝槽 形式。以此方式，緊密配合的滾道凹槽7 6在使用期間會 自動形成於外殼3及耦合件25的運轉表面中，並且也確 保耦合件2 5的引導，致使其不用扭曲就可移動。縱使有 相當寬的製造公差，此也會導致耦合件2 5於外殻3中在 不沒有任何游隙下被非常正確地引導。 陡角套筒4 1的軸線必須在與由探針測量器具1的其 他組件所支配之測量軸線7相同的軸線上。爲使對準誤差 能被補償，外殻3是藉由一接合器7 5而被安裝在陡角套 筒4 1上，此接合器可容許外殻3的測量軸線7相對於陡 角套筒4 1的軸線被調整爲與其平行。接合器7 5具有一 軸7 9，係在推動配合之下放置於陡角套筒4 1的一中心 通孔7 7內，並且藉由以8 1標示的一夾緊螺釘而固持在 陡角套筒4 1上，使其可被更換。在陡角套筒4 1與外殼 3之間，軸7 9具有一含有平面狀止動表面8 5的環狀凸 緣8 3，此止動表面以直角正確地延伸到陡角套筒4 1的 軸，用於設置有一平面狀配合表面的外殼3。定心開口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】〇Χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 513554 A7 B7 五、發明説明（13 ) 8 7凹設於止動表面8 5中，且由外殼3凸出的一定心銷 8 9在有徑向游隙下嚙合在此開口 8 7中。配置分佈在環 狀凸緣9 3的圓周上的至少三個徑向調整螺釘9 1能容許 在止動表面8 5上徑向調整，被引導成使得其可移動於外 殻3上。一中心安裝螺釘9 3將外殻3固持在接合器7 5 上。對於外殼3相對於陡角套筒4 1的徑向調整，螺釘 9 3首先被稍微地旋緊，以使外殻3稍微被夾緊抵靠止動 表面9 1，並且在調整過程之後，調整螺釘9 1將外殼3 穩固地固持於想要的位置，直到螺釘9 3從遠離外殼的陡 角套筒4 1之端部被穩固地旋緊爲止。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丁 經濟部智慧財產局W工消費合作社印製 適一度 尺 紙 一本 準 標 祕 一釐 公

Claims (1)

1. 513554 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 1 · 一種多座標探針測量器具，包含： 一外殻（3 )， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一探針桿（5 )，其可相對於該外殻（3 )沿一測量 軸線（7 )的方向移動，藉由一禺向接頭（9 )的弓丨導， 該探針桿可環繞一位在該測量軸線（7 )上的樞轉點（ 1 1 )相對於該外殻（3 )朝所有方向樞轉，其係藉彈簧 來預受力而抵靠向一靜止位置，且具有一由外殻（3 )伸 出的探針臂（1 5 )，且當該探針桿（5 )位於該靜止位 置時，其自由探針部（1 7 )界疋一'位在該測量軸線（ 7 )上的探針參考點（1 9 )， 一耦合件（2 5 )，被引導以沿該外殼（3 )的一引 導表面配置（2 3 )上移動，使其可沿該測量軸線（7 ) 的方向移動， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一耦I合驅動器（31，33)，在該探針臂（15)· 沿該測量軸線（7 )方向移動時及在該探針臂（1 5 )沿 該測量軸線（7 )方向環繞該樞轉點（1 1 )偏轉時，將 該探針桿（5 )耦合於該耦合件（2 5 )且驅動該耦合件 (25) 一測量裝置（2 1 )，用以偵測該耦合件（2 5 )相 對於該外殼（3 )的位置， 其特徵在於： 該耦合件（2 5 )及該外殼（3 )的該引導表面配置 (2 3 )具有供滾珠軸承配置（2 7 )的滾珠（6 5 )用 的運轉表面，其中在該耦合件（2 5 )及該外殼（3 )二 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） -17- 513554 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 組件的至少之一上的運轉表面可相對於運轉表面彈性及橫 向偏轉，並且將該滾珠（6 5 )固持成使得該滾珠（6 5 )在沒有任何游隙下被夾在該運轉表面之間。 2 .如申請專利範圍第1項之多座標探針測量器具， 其中該一組件的運轉表面係設置在該一組件的一彈性整體 壁區域（7 3 )上。 3 ·如申請專利範圍第2項之多座標探針測量器具， 其中形成運轉表面的該壁區域（7 3 )係以徑向彈性管區 段的形式出現，且相對於該測量軸線（7 )同心。 ’ 4 .如申請專利範圍第1項之多座標探針測量器具， 其中該耦合件（2 5 )的運轉表面及該外殼（3 )的該引 導表面配置的運轉表面爲互相同心的圓柱形表面的形式， 且彈性運轉表面被設置在該耦合件（2 5 )的一徑向彈性 壁區域（73)上。 5 ·如申請專利範圍第4項之多座標探針測量器具， 其中形成運轉表面的該耦合件（2 5 )的該徑向彈性壁區 域（7 3 )被設置於該耦合件（2 5 )的至少一軸向端部 的區域，且是沿該測量軸線（7 )方向自由凸出的一管狀 圓柱形區段之形式。 6 ·如申請專利範圍第5項之多座標探針測量器具， 其中該管狀圓柱形區段（7 3 )至少於其用爲運轉表面的 區域中具有均勻的璧厚度。 7 .如申請專利範圍第5或6項之多座標探針測量器 具，其中形成運轉表面的管狀圓柱形區段被設置於該親合 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） --- 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 絲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 513554 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 件（2 5 )的二軸向端部區域中。 8 .如申請專利範圍第1項之多座標探針測量器具， 其中該滾珠軸承配置（2 7 )的該滾珠（6 5 )被固持， 致使該滾珠（6 5 )在該耦合件（2 5 )及該外殼（3 ) 的運轉表面之間沿該測量軸線（7 )的方向移動的一滾珠 罩（6 9 )中旋轉。 9 ·如申請專利範圍第8項之多座標探針測量器具， 其中該滾珠罩（6 9 )引導至少二列滾珠（6 5 )，這些 滾珠在圓周方向延伸且以一軸向距離互相隔開配置。· 1 0 .如申請專利範圍第9項之多ji標探針測量器具 ，其中該滾珠列被配置於該耦合件（2 5 )的二軸向端部 的區域中。 1 1 ·如申請專利範圍第8至1 0項中任一項之多座 標探針測量器具，其中該滾珠罩（6 9 )爲相對於該測量 軸線（7 )同心的一圓柱形套筒的形式，且於其套筒壁中 具有徑向通孔（6 7 )，以分開地引導每一個別滾珠（ 6 5)° 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項之多座標探針測量器 具，其中每個該通孔（6 7 )的一側上均具有徑向的一收 縮部，特別是在相鄰於該耦合件（2 5 )之一側上，該收 縮部將該滾珠（6 5 )護持在該通孔（6 7 )中成爲使得 該滾珠（65)不會落出。 1 3 ·如申請專利範圍第1項之多座標探針測量器具 ，其中 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210χ297公董） -19- 513554 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 4 該探針桿（5 )另外具有一耦合臂（2 1 )，其相對 於該樞轉點（1 1 )遠離該探針端部（i 9 )的自由端部 形成具有該耦合驅動器（3 1，3 3 )的一外部控制表面 (3 3 )，其具有一凸出母線而特別是一圓形區段形式的 母線，在該探針桿（5 )位於該靜止位置時，會相對於該 測量軸線（7 )旋轉對稱，且 其中該耦合件（2 5 )具有一敞開切口，會朝向該探 針端部（1 9 )變寬，且形成該耦合驅動器（3 1， 3 3 )的一內部控制表面（3 1 )，係相對於該測量軸線（7 )&E轉對稱，且特別是成爲具有一線性母線的截頭錐形表 面之形式，而該耦合臂（2 1 )的該外部控制表面（3 3 )抵靠著該內部控制表面（3 1 )。 1 4 ·如申請專利範圍第1項之多座標探針測量器具 ，其中該外殻（3)被固持在一張緊圓筒（41)上，且 該外殼（3 )及該張緊圓筒（4 1 )具有互相關聯的接觸 表面（8 5 )，其對該測量軸線（7 )形成直角，且藉由 沿該測量軸線（7 )方向延伸的至少一夾緊螺釘（9 3 ) 而安裝在彼此之上， 該張緊圓筒（4 1 )的該外殼（3 )裝配有一定心銷 (8 9 )，其相對於此部份的§亥測量軸線在中心處，並且 在徑向游隙下囑合在另一部份中的一定心開口（. 8 7 )中 ，且 其中參考該定心銷（8 9 )相對於該測量軸線（7 ) 徑向移動的至少三個調整螺釘（9 1 )是被配置分佈在該 ------訂------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公资） -20 - 513554 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 5 定心開口（ 8 7 )的圓周上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 5 .如申請專利範圍第1項之多座標探針測量器具 ，其中 該耦合件（2 5 )及/或該外殼（3 )的該引導表面 配置係由鋁或鋁合金構成，並且形成供滾珠軸承配置中滾 珠用的運轉表面，且 該耦合件（2 5 )及該外殼（3 )二組件的至少之一 的該運轉表面設置有一硬質陽極化表面層（7 5 )，其具 有小於1 0 // m (微米）而特別是小於6 // m的厚度。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之多座標探針測量器 具，其中該耦合件（2 5 )及該外殻（3 )整個由鋁或鋁 合金構成。 1 7 .如申請專利範圍第1 5項之多座標探針測量器 具，其中該耦合件（2 5 )及該外殻（3 )的該運轉表面 是藉由在一車床上轉動或藉由摩擦切削加工而製成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 8 ·如申請專利範圍第1 5至1 7項中任一項之多 座標探針測量器具，其中該滾珠軸承配置（2 7 )的該滾 .珠（6 5 )在全新時相對於該耦合件（2 5 )上與該外殻 (3 )上的該運轉表面之間的距離而言尺寸過大，以使得 該滾珠（6 5 )在操作期間滾動成該運轉表面內的滾道。 1 9 · 一種多座標探針測量器具，包含： 一外殼（3 )， 一探針桿（5 )，其可相對於該外殼（3 )沿一測量 軸線（7 )的方向移動，藉由一萬向接頭（9 )的引導， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 21 _ 513554 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6 該探針桿可環繞一位在該測量軸線（7 )上的樞轉點（ 1 1 )相對於該外殻（3 )朝所有方向樞轉，其係藉彈簧 來預受力而抵靠向一靜止位置，且具有一由外殻（3 )伸 出的探針臂（1 5 )，且當該探針桿（5 )位於該靜止位 置時，其自由探針端部（1 7 )界定一位在該測量軸線（ 7 )上的探針參考點（1 9 )， 一耦合件（2 5 )，被引導以沿該外殻（3 )的一引 導表面配置（2 3 )上移動，使其可沿該測量軸線（7 ) 的方向移動， 一稱合驅動器（3 1，3 3 )，在該探針臂（1 5 ) 沿該測量軸線（7 )方向移動時及在該探針臂（1 5 )沿 該測量軸線（7 )方向環繞該樞轉點（1 1 )偏轉時，將 該探針桿（5 )耦合於該耦合件（2 5 )且驅動該耦合件 (25) 一測量裝置（2 1 )，用以偵測該耦合件（2 5 )相 對於該外殻（3 )的位置， 其特徵在於： 該耦合件（2 5 )及/或該外殼（3 )的該引導表面 配置係由鋁或鋁合金構成，並且形成供滾珠軸承配置中滾 珠用的運轉表面，且 g亥耦合件（2 5 )及該外殼（3 )二組件的至少之一 的該運轉表面設置有一硬質陽極化表面層（7 5 )，其具 有小於1 0 // m (微米）而特別是小於6 // m的厚度。 2 0 ·如申請專利範圍第1 9項之多座標探針測量器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 綉_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 513554 A8 B8 C8 D8 __ 六、申請專利範圍 7 具，其中該耦合件（2 5 )及該外殼（3 )整個是由銘或 ί呂合金構成。 2 1 .如申請專利範圍第1 9項之多座標探.針測量器 具，其中該耦合件（2 5 )及該外殼（3 )的該運轉表面 是藉由在一車床上轉動或藉由摩擦切削加工而製成。 2 2 ·如申請專利範圍第1 9至2 1項中任一項之多 座標探針測量器具，其中該滾珠軸承配置（2 7 )的該滾 珠（6 5 )在全新時相對於該耦合件（2 5 )上與該外殻 (3 )上的該運轉表面之間的距離而言尺寸過大，以使得 該滾珠（6 5 )在操作期間滾動成該運轉表面內的滾道。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -23-