TW510976B - Delta time event based test system - Google Patents

Description

510976 A7 B7 五、發明説明（ t明領域 一般而言’本發明與半導體測試裝置有關，它產生測 試信號用以測i式電子裝置，更明確地說，與一事件基準的 半導體測試裝置有關，用以產生不同時序的事件，藉以評 估被測試的半導體裝置，其中每一個事件的時序是從前一 事件算起的時間長度定義。 發明背景 在以半導體測試裝置（如I C測試器）測試半導體 Ϊ C裝置時’在既定的測試時序提供被測試之半導體I c 裝置某適當接腳一測試信號。I C測試器接收被測I c裝 置反應測試信號所產生的輸出信號。輸出信號被讀取，即 ，被選通信號以既定的時序取樣，並與預期的資料比較， 以決定I C裝置的功能是否正確。 慣例上，定義測試信號與選通信號的時序，與半導體 測試裝置的測試器速率或測試器周期有關。此種測試裝置 有時稱爲周期基準的測試裝置。在此種周期基準之測試裝 置的時序關係，例見圖1 A - 1 E。在周期基準的測試裝 置中，半導體裝置（D U T )是被一周期的針狀圖案向量 以規劃的資料率（測試器周期）在時序邊緣提供給形成器 ，以產生所要的波形（測試信號）或選通信號。

在圖1的例中，根據如圖1 A所示的參考（裝置）時 計，一周期基準的測試裝置產生如圖1 B所示的測試器周 期。測試裝置產生圖1 C及1 D的測試信號，以及圖1 E 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- 510976 A7 B7 五、發明説明（2) 所示的選通信號。測試信號與選通信號的時序參考圖1 B 的測試器周期定義。例如，圖1 C之測試信號的時序，乃 是參考對應之測試器周期的開始緣，分別由T 1、T 1與 T 3的時間長度來定義。圖1 D的測試信號與圖1 E的選 通信號也是相對於測試器的周期以相同方法定義。 如上所述，一般來說，測試信號周期的各種時序，測 試信號與選通信號，如上例，都是根據圖1 A所示的參考 時計所產生。參考時計例如是由配置在I C測試器內的石 英振盪器所產生。當I C測試器內所需要的時序解析度等 於或是參考時計振盪器之最高時計率（時計周期最短）的 整數倍時，只需經由計數器或分頻器簡單地分除參考時計 ，並以參考時計同步分頻的輸出，即可產生所需的時序信 號。 不過，I C測試器通常需要具有高於參考（裝置）時 計最局時計率（即最短的時間周期）的時序解析度。例如 ，市售的參考時計爲1 0奈秒，但I C測試器需要〇 · 1 奈秒的時序解析度。此外，I C測試器會根據測試程式逐 周期地動態改變不同的時序。 爲產生時序解析度尚於參考時計率的時序信號，在習 知技術中，此種時序在測試程式中是以時序資料描述。時 序資料是參考時計時間間隔的整數倍加上參考時計時間間 隔的分數。因此，在每一個測試周期中，測試信號與選通 信號是根據時序資料參考測試周期以產生，諸如每一個周 期的開始點。 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 510976 A7 B7 五、發明説明（3) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 還有另一型的測試裝置稱爲事件基準的測試裝置，其 中所要的測試信號與選通信號是由來自事件記憶體的資料 所產生，直接加到每一接腳。事件基準的測試裝置至今仍 未在市面上出現，但仍在硏究中。在事件基準的測試裝置 中，事件是邏輯狀態的任何改變，例如測試信號與選通信 號的上升與下降，是由相對於參考時間點的時間長度來定 義。典型上，這類時間參考點是前一事件的時序，如圖 3 A — 3 K的例所示。爲產生高解析度的時序，事件間的 時間長度，是由參考時計時間間距的整數倍加上參考時計 時間間距的分數來定義。 在圖3的例中，事件1的時序是從開始時間，，〇，，算 起的1 ( 3 / 1 6 )奈秒’如圖3 I所示。事件2的時序 是事件1之後的1 ( 7 / 1 6 )奈秒，如圖3 J所示，事 件3的時序是事件2之後的1 ( 8 / ;l 6 )奈秒，如圖 3 K所不。在事件基準的測試裝置中產生時序的細節，將 在本發明中稍後描述。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在事件基準的測試裝置中，由於在時序記憶體（事件 記憶體）中的時序資料不需要包括每一個以及所有測試周 期的時序資料，因此，產生測試信號與選通信號的方法可 以簡化，且此種產生方法可以在每一個測試器接腳上單獨 地執行。在事件基準的測試裝置中，每一個事件的時序嘗 料是儲存在事件記憶體中，以目前事件與最近一次事件間 的時間差來表示。由於兩毗鄰事件間的時間差通常很小， 資料在記憶體中的大小也可以很小，因此所需要的記憶體 本^張尺度適用中^國家標準（CN$ ) A4規格（210X29^^ —〜 -6- 510976 A7 B7 五、發明説明（4) 容量也很小。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此外，如今，已普遍使用電腦輔助設計（C A D )裝 置設計半導體裝置，諸如LSI 、VLSI等，在CAD 裝置中的邏輯模擬器，絕大部分是使用事件基準的測試信 號來評估半導體裝置。因此’事件基準的測試裝置可以更 直接地與C A D裝置在設計階段所產生的設計資料鏈結， 並使用設計資料來產生測試信號。 發明槪述 、 因此，本發明的目的是提供一種事件基準的半導體測 試裝置，用以根據儲存在事件記憶體中的事件資料產生測 試信號與選通信號，用以評估半導體裝置。 本發明還有另一目的是提供一種事件基準的半導體測 試裝置，其中每一事件的時序是以從最近一次事件算起的 時間長度（時間差）來定義。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明還有另一目的是提供一種事件基準的半導體測 試裝置，用以根據事件資訊產生測試信號與選通信號，它 從前一事件算起的時間長度（時間差），是由參考時計周 期的整數倍加上參考時計周期的分數所定義。 本發明還有另一目的是提供一種事件基準的半導體測 試裝置，用以使用事件記憶體中的時序資料直接產生測試 信號與選通。 本發明還有另一目的是提供一種事件基準的半導體測 試裝置，它能使用C A D裝置之測試台在半導體裝置設計 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 510976 A7 B7 五、發明説明（5) 階段所產生的資料，直接產生測試信號與選通。 本發明是一種事件基準的測試裝置，用於測試被測試 的電子裝置（D T U )，該裝置供應測試信號給D T U， 並在選通信號的時序評估D T U的輸出。事件基準的測試 裝置包括：一事件記憶體，用以儲存每一事件由參考時計 周期的整數倍（資料的整數部分）與參考時計周期的分數 (資料的分數部分）所構成的時序資料，其中，時序資料 代表兩毗鄰事件的時間差，一位址順序器，用以產生位址 資料，供存取事件記憶體，以從其中讀取時序資料，一時 序計數邏輯，用以加總時序資料以產生每一事件相對於一 既疋參考點的總時間，其中時序計數邏輯包括一延遲裝置 ，當每次分數的和超過參考時計周期時，用以提供一個參 考時計周期的額外延遲，一事件產生電路，用以根據總時 間產生每一事件，供規劃測試信號或選通信號，以及一主 電腦，用以經由一測試程式控制事件基準測試裝置的整個 操作。 在本發明的另一態樣中，事件記憶體包括一時計計數 記憶體，用以儲存每一事件之該時序資料的整數部分資料 ，一微變記憶體，用以儲存每一事件之該時序資料的分數 部分資料，以及事件類型記憶體，用以儲存代表儲存在時 計計數記憶體與微變記憶體中之時序資料所對應之每一事 件之類型的資料。 在本發明的另一態樣中，用以加總該時序資料的時序 計數邏輯包括一向下計數器，其內預置一整數部分資料， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） ----— — — — 1#! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8- 510976 A7 B7 五、發明説明（6) 並向下計數該整數部分資料，用以產生一延遲時間，該延 遲時間是參考時計周期的整數倍，一多工器，用以在來自 向下I十數器的延遲時間中插入一個時計的延遲，藉以產生 一事件開始信號，以及一加法器，用以將事件記憶體之目 前事件的分數部分資料加到前一個事件的分數部分資料， 藉以產生一微變和的資料，其中，每當分數部分資料相加 的結果超過參考時計周期時，加法器產生一進位信號，其 中進位信號觸發事件開始信號等於一個周期之參考時計的 額外延遲。 在本發明的另一態樣中，事件產生電路包括一解多工 器，用以根據來自事件記憶體事件類型資料，選擇性地提 供來自時序計數邏輯中的事件開始信號，複數個可變延遲 電路，用以接收來自解多工器的事件開始信號，其中每一 個可變延遲電路提供一個由來自時序計數邏輯之微變和資 料所定義的額外延遲’以及用以產生測試信號間之可變補 償延遲的裝置。 按照本發明’事件基準半導體測試裝置可以根據儲存 在事件記憶體中的事件資料產生測試信號與選通信號，以 評估半導體裝置。每一個事件的時序，是由從最近一次事 件開始算起的時間長度差（時間差）所定義。測試信號與 選通信號乃根據事件資訊產生，它與前一事件的時間差， 是由參考時計周期的整數倍加上參考時計周期的分數所定 義0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ----— IHL·! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9 - 510976 A7 B7 五、發明説明（7) Η式翬說明_ 圖1 A - 1 E顯示習用技術以周期爲基準的測試裝置 中，各不同信號間之時序關係的時序圖。 圖2的方塊圖顯示在事件基準測試裝置中結合本發明 之產生事件時序差的結構例。 圖3 A - 3 K顯示本發明之事件基準測試裝置中各不 同信號間之時序關係的時序圖。 圖4之方塊圖顯示根據來自顯示與前一事件之時間差 之事件記憶體的時間差資料產生總時序資料的電路結構。 圖5之方塊圖顯不根據圖4之電路所產生之總時序資 料產生各事件的電路結構。 圖6的槪圖顯示本發明之事件基準測試裝置的基本裝 置架構。 圖7的資料表顯示使用圖4及5的電路產生圖3 I -3 K所示不同時序之事件間的關係。 符號說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 2 主電腦 1 3 匯流排介面 1 4 裝置匯流排 1 5 內部匯流排 18 位址順序器 17 故障記憶體 2 0 事件記憶體 tiir^TcNS ) ( 210X 297^^") ^ ~ — -10 - 510976 A7 B7 五、發明説明（ 2 2 2 4 2 6 2 8 3 1 3 2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 6 3 7 3 8 3 9 4 2 4 3 4 5 4 6 4 7 4 8 5 1 5 2 4 7 時序計數與補償邏輯 事件產生與校正 接腳電子裝置 被測半導體裝置 時計計數R A Μ 微變計數R A Μ 事件類型R A Μ 向下計數器 鎖存器 正反器 多工器 加法器 解多工器 比較器 可變延遲電路 可變延遲電路 可變延遲電路 〇R電路 S R正反器 S R正反器 接腳驅動器 可變延遲電路 可變延遲電路 可變延遲電路 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) L·. 、!! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -11 - 510976 A7 _ B7 五、發明説明（9) 6 2 正反器 6 3 正反器 6 4 正反器 6 5 〇R電路 6 6 正反器 7 5 接腳卡 7 3 接腳匯流排 7 2 接腳匯流排控制器 7 1 主電腦 佳實施例描沭說明 圖2的方塊圖顯不本發明之事件基準測試裝置的結構 實例。事件基準測試裝置包括主電腦1 2、匯流排介面 1 3，兩者都連接到裝置匯流排1 4，內部匯流排1 5、 位址順序器1 8、故障記憶體1 7、事件記憶體2 0、時 序計數與補償邏輯2 2、事件產生與校正2 4、以及接腳 電子裝置2 6。事件基準測試裝置是用來評估被測半導體 裝置（DUT) 2 8，典型上它是記憶體I c或微處理器 I C，連接到接腳電子裝置2 6。 主電腦1 2的例子之一是內有U N I X作業裝置的工 作站。主電腦1 2的功能如同一使用者介面，供使用者下 達測試作業開始及停止的指令、輸入測試程式及其它測試 條件、或在主電腦1 2中執行測試結果分析。主電腦i 2 經由裝置匯流排1 4與匯流排介面1 3與測試裝置的硬體 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格(210X297公釐） ' '12- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 P. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 510976 A7 B7 五、發明説明（^ 介接。雖然未顯示，主電腦1 2最好是連接到通信網路， 以與其它的測試裝置或電腦網路傳送或接收測試資訊。 內部匯流排1 5是測試裝置硬體內部的匯流排，通常 是與大部分的功能方塊連接’例如順序器1 8、故障記憶 體1 7、事件記憶體2 0、時序計數與補償邏輯2 2、事 件產生與校正2 4。順序器1 8的例子是測試處理器，它 專供測試裝置的硬體使用，使用者無法存取。順序器1 8 根據來自主電腦1 2的測試程式及條件，提供指令給測言式 裝置中的其它功能方塊。故障記憶體1 7將測試結果（如 D T U 2 8的故障資訊）儲存到順序器1 8所定義的位 址中。儲存在故障記憶體1 7中的資訊供D T U的故障分 析階段使用。 順序器1 8的任務之一是提供位址資料給事件記憶體 2 0，如圖2所示。在實際的測試裝置中，將配置複數個 事件記憶體2 0，每一個對應於測試裝置的一個測試接腳 。事件記憶體2 0儲存每一事件之測試信號與選通信號的 時序資料。如後文中更詳細的描述，事件記憶體2 〇是以 兩種不同方式儲存事件資料，一是儲存參考時計之整數倍 的時序資料，另一是儲存參考時計之分數的時序資料。在 本發明中，每一個事件的時序資料是以從前一事件開始算 起的時間差來表不，將在後文中詳細描述。 時序計數與補償邏輯2 2根據來自事件記憶體2 0的 時間差資料產生顯示每一事件總時序的資料。基本上，此 總時序資料是加總多個分數資料所產生。在加總時序資料 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -----!_§! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 訂 P. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13- 510976 A7 B7 五、發明説明（j (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的處理期間，在時序計數與補償邏輯2 2中也進行分數資 料的進位操作（補償到整數資料）。後文中將參考圖3 A - 3 K及圖4的實例加以描述。 事件產生與校正2 4根據來自時序計數與補償邏輯 2 2的總時序資料實際產生事件。事件（測試信號與選通 信號）產生後經由接腳電子裝置2 6提供給D T U 28 。基本上，接腳電子裝置2 6是由大量的組件所構成，每 一個都是由驅動器、比較器以及開關所構成，以建立與 D T U 2 8相關的輸入與輸出關係。 時間差事件基準測試裝置更詳細的結構與操作，將參 考圖3 A — 3 K及圖4及5描述之。圖4的電路圖顯示事 件記憶體2 0，以及根據來自顯示與前一事件之時間差之 事件記憶體2 0的時序差資料產生總時序資料之時序計數 與補償邏輯2 2的結構例。圖5的方塊圖顯示事件產生與 校正2 4的結構，用以在圖4電路之總時序資料所定義的 時序產生各種事件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 位址順序器1 8供應位址資料給事件記憶體2 0。在 最簡單的例中，位址順序器1 8是位址計數器。此位址計 數器在零計數時開始，並順序地增加1 ，直到偵測到預設 的停止位址爲止。所需位元寬度的數量，視所支援之事件 記憶體的深度而定，不過，在實際的應用中，至少需要 1 6位元。 在圖4的例中，事件記憶體2 0是由時計計數 RAM 31、微變計數RAM 32及事件類型 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（^ 、R AM 3 3所構成。時計計數R AM 3丄儲存時序資 料的整數時計邰分’即參考時計間距的整數倍。微變計數 R A Μ 3 2儲存時序資料的分數時計部分（微變），即 參考時計間距的分數。事件類型R Α Μ儲存用以選擇事件 』型的貪料。事件類型是用來選擇將測試器的輸出接腳信 號（測試信號）設定成邏輯” i ” 、” 〇，，、或，，高阻抗 ，或是設定預期貪料的類型，用以在選通信號的時序鎖 存來自D T U 2 8的反應信號。 爲產生圖3 I — 3K的事件，要將圖7之最左兩行的 貪料儲存到事件記憶體2 〇中。事件1的時序是從開始時 間算起的1 ( 3 / 1 6 )奈秒，如圖3 I所示。就事件1 而言，時計計數R A Μ 3 1內的時序資料是” 1，，，同 時，在微變計數R A Μ 3 2內的分數資料是3 / 1 6。 事件2的時序是與事件1相隔1 ( 7 / 1 6 )奈秒，如圖 3 J所示。因此，在時計計數r a Μ 3 1內的時序資料 是” 1 ” ，同時，在微變計數R A Μ 3 2內的分數資料 是7/1 6。由於事件3是在事件2之後1 (8/1 6) 奈秒發生，如圖3 Κ所示，因此，在時計計數 RAM 3 1內的時序資料是” 1 ” ，同時，在微變計數 RAM 32內的分數資料是8/16。 在時計計數R A Μ 3 1內的資料（整數部分）代表 在執行相關事件前所等待的參考（主）時計計數數量。微 變計數R A Μ 3 2內的資料（分數部分）代表在整數時 計計數終止之後’到開始執行事件之前所需等待的微變單 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i# 訂 P. 15- 510976 Α7 Β7 五、發明説明（^ 位數量。配置給微變部分的位元數量決定每個時計之分數 單位的數量。在上例中，分數單位的數量是” 1 6 ” 。 圖7中的微變和顯不前一事件與目前事件中分數資料 的和。例如’事件2的微變和是” 10/16” ，它是事 件1之微變計數” 3 / 1 6 ”與事件2之微變計數” 7 / 1 6 ”的和。事件3的微變和是” 18/16” ，它是事 件1之微變計數” 3/16” 、事件2之微變計數，，7 / 1 6 ”與事件3之微變計數” 8 / 1 6 ”的和。’ 在圖7之右行中的總時間代表事件以圖3之開始點” 0 ”爲參考的總時序。此總時間是由時序資料的整數部分 加上時序資料的分數部分所產生。當分數部_分的和超過參 考時計的單位時間間距時，資料中的整數部分即被增加。 事件1與開始點間隔的總時間是1 ( 3 / 1 6 )奈秒。事 件2與開始點間隔的總時間是2 ( 1 0 / 1 6 )奈秒。事 件3與開始點間隔的總時間是4 ( 2 / 1 6 )奈秒。 圖4中的時序計數與補償邏輯2 2與圖5中的事件產 生與校正2 4產生圖3 I - 3K的事件，其時序如圖7中 的總時間。時序計數與補償邏輯2 2包括時計向下計數器 3 5、鎖存器3 6、正反器3 7、多工器3 8、及加法器 3 9。時計向下計數器3 5從時計計數R A Μ 3 1接收 時序資料的整數部分。加法器3 9從微變計數 RAM 3 2接收時序資料的分數部分。 例如，來自R A Μ 3 1的整數部分資料出現在向下 計數器3 5中，並向下計數所預設的時計參考C L Κ値。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ----^__ — — —#1 — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 510976 A7 B7 五、發明説明（^ 當向下計數器3 5到達零時，即產生一輸出信號（最後的 計數），供應給多工器3 8的一輸入。多工器3 8的另一 輸入是由正反器3 7的輸出提供，它產生向下計數器3 5 在前一事件的輸出信號。因此，多工器3 8將一額外的時 計延遲計數插入到來自時計計數R A Μ 3 1的整數部分 資料。多工器3 8的輸出表示一事件的開始，它是若干裝 置時計計數値。事件開始信號提供給事件產生與校正2 4 以及位址順序器1 8。 來自微變計數R A Μ 3 2的分數部分資料提供給加 法器3 9的一輸入端。加法器3 9的另一輸入端是由鎖存 器3 6提供的前一事件的微變資料。因此，加法器3 9加 總來自時計計數R A Μ 3 2所有的分數部分資料。當分 數資料的和超過一個時計計數時（在圖3及7的例中是 1 6/1 6 )即產生一個進位延遲，送給多工器3 8。在 接收到進位延遲時，多工器3 8的輸出延遲一個參考時計 計數。因此，在圖7的例中，事件3的分數資料和是” 18/16” ，提供一進位給多工器3 8以致使事件額外 延遲一個時計計數才開始。 每一事件的總時間是由整時計計數値的數量加上參# 時計之分數部分的和。根據前述，產生圖3 I〜3 Κ之事: 件1 - 3的方法，已參考圖3及4加以描述。參考時計（ C L Κ )顯示於圖3 A，它提供給時計向下計數器3 5及 其它電路。由於事件1的整數部分資料是” 1 ” ，向下計 數器3 5計數一個時計脈波，產生一圖3 B所示的脈波（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ——HIII0I, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 510976 A7 __ B7 五、發明説明（^ 最終計數）。在多工器3 8的輸出端輸出圖3 B的最終計 數做爲事件開始。圖3 C顯示在加法器3 9之輸出端的微 變和，要被加到事件產生與校正2 4中的事件開始中，藉 以產生圖3 I的事件1。 由於事件2的整數部分資料也是” 1 ” ，向下計數器 3 5計數一個時計脈波產生一個脈波（最終計數）。向下 計數器3 5的最終計數被多工器3 8加到先前的最終計數 ，藉以在多工器3 8的輸出端產生圖3 D中所示的事件開 始。事件2的事件開始被兩個參考時計計數延遲。圖3 E 顯示加法器3 9輸出的微變和，要加到事件產生與校正 2 4中之圖3 D的事件開始中。由於事件1的分數資料是 ” 3/16” ，事件2的分數資料是” 7/16” ，因此 加法器3 9輸出的微變和是” 10/16” ，它被加到圖 3 D的事件開始，藉以產生圖3 j的事件2。 至於事件3，由於事件3的整數部分資料也是” 1 ” ’向下計數器3 5經由計數一個時計脈波產生一個脈波（ 最終計數）。向下計數器3 5的最終計數被送至多工器 3 8 ’它是圖3 F的時序，即，被延遲3個參考時計計數 °不過’由於前一事件的微變和” 1 〇 / 1 6，，被加法器 3 9加到事件3的分數資料” 8 / 1 6 ” ，得到事件3的 分數資料和是” 8 / 1 6 ” 。因此，進位延遲提供給多工 器3 8 ’致使事件開始增加一個時計計數的額外延遲，如 W 3 G所示，加法器3 9的輸出端產生一剩下來的資料” 2 / 1 6 ” ，是爲事件3的微變和，如圖3 Η所示。因此 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) Α4規格（210χ29<7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 510976 A7 B7 五、發明説明（士 ’圖3 K的事件3是圖3 η的微變和加到圖3 G的事件開 始中所產生。 & ΙΕ 2 4的電路結構如圖5的電路圖所示 ° Μ前的簡單i兌明’圖5的事件產生與校正2 4根據圖4 之時序s十數與補償邏輯所提供的總時間資料（事件開始與 微變和）產生測試信號與選通信號。 圖5的電路圖包括一解多工器4 2、比較器4 3、可 變延遲電路4 5 — 47、〇r電路48、SR正反器5 1 及52、接腳驅動器53、可變延遲電路5 5 - 57、正 反器6 2 — 6 4、OR電路6 5及正反器6 6。可變延遲 電路4 5 - 4 7與5 5 - 5 7由對應的事件處理器驅動（ 未顯示）所致動，以使來自圖4之電路圖的”微變和，，選 擇校正的延遲時間。爲便於解釋，接腳驅動器5 3與比較 器4 3也包括在圖5中，雖然這些單元在實際的實施中是 包括在圖2的接腳電子裝置2 6中。 當D U T的接腳是輸入接腳時，接腳驅動器5 3的輸 出提供測試信號給D U T的接腳。測試信號所需的振幅與 轉換率是由接腳驅動器5 3產生。當D U T的接腳是輸出 接腳時，比較器4 3接收D U T的反應輸出。比較器4 3 提供類比功能，將所連接之D U T接腳的類比位準與預設 的電壓範圍做比較，以決定D U T接腳位於那一個範圍。 3個可能的範圍是位準”高”、位準”低”及高阻抗” Z ”，如圖5所示。在本例中，這3個範圍一次僅活化一個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 510976 A7 B7 五、發明説明（以 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 解多工器4 2接收圖4之時序計數與補償邏輯的事件 開始，以及從事件記憶體2 0之事件類型R A Μ 3 3接收 事件類型資料。事件類型資料施加到解多工器4 2的選擇 端。因此，事件開始信號被解多工送到具有對應於事件類 型所指定之可變延遲電路的事件處理器。 當事件類型資料指示目前的事件（事件1 )是”將 D U Τ接腳驅動到H i g h ” ，事件開始信號被送到可變 延遲4 5 .，其中，它所延遲的時間是由微變和所定義。因 此，可變延遲電路4 5 (如圖3 I所示的事件1 )的輸出 設定S R正反器5 1。此致使接腳驅動器5 3將所連接的 D U T接腳驅動到邏輯1。 當事件類型資料指示目前的事件（事件2 )是”將 D U T接腳驅動到L 〇 w ” ，事件開始信號被送到可變延 遲4 6 ，其中，它所延遲的時間是由微變和所定義。因此 ，可變延遲電路4 6 (如圖3 J所示的事件2 )的輸出設 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 定S R正反器5 2。此將致使連接到D U T接腳的接腳驅 動器5 3置於高阻抗狀態，以由比較器4 3接收D U 丁接 腳的輸出。 當接腳驅動器5 3在高阻抗模式由比較器4 3接收 D U T接腳的信號時，典型上該事件是用來產生選通信號 以鎖存比較器所輸出的邏輯。例如，當事件類型資料指示 目前的事件是”測試D U T的高阻抗”，事件開始信號被 送到可變延遲5 5 ，其中，它所延遲的時間是由微變和所 定義。比較器4 3比較D U T接腳的電壓位準與預規劃之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ~~ 一 -20- 510976 A7 Β7 五、發明説明（^ 高阻抗位準，如果沒有達到最小的高阻抗位準’比較器 4 3的輸出被來自可變延遲電路5 5的選通信號（事件3 )鎖存在正反器6 2內。此資料指示D U T故障，並被時 計通過OR電路6 5與正反器6 6，並輸出一錯誤 ° 當事件類型資料指示目前的事件是”測試D U T的 L〇w” ，事件開始信號被送到可變延遲5 6 ，其中，它所 延遲的時間是由微變和所定義。比較器4 3比較D U T 接腳的電壓位準與預規劃的低位準。如果沒有達到低阻抗 的最小位準，比較器4 3的輸出在來自可變延遲電路5 6 的選通信號時序被鎖存在正反器6 3內。此資料指示 D U T故障，並被時計通過〇R電路6 5與正反器6 6， 並輸出一”錯誤”。 當事件類型資料指示目前的事件是”測試D U 丁的 High” ，事件開始信號被送到可變延遲5 7，其中，它所 延遲的時間是由微變和所定義。比較器4 3比較D U T 接腳的電壓位準與預規劃的高位準。如果沒有達到高阻抗 的最小位準，比較器4 3的輸出在來自可變延遲電路5 7 的選通信號時序被鎖存在正反器6 5內。此資料指示 DUT故障，並被時計通過〇r電路6 5與正反器6 6， 並輸出一”錯誤”。 圖6的槪圖顯不本發明之事件基準測試裝置的裝置架 構。以簡單裝置的單接腳事件測試器的架構，很容易建立 將事件資料載入複數個接腳的事件測試器（接腳卡7 5 i — 75η)。每一個接腳卡經由一接腳匯流排7 3連接， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210χ297公釐） ----------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -21 - 510976 A7 __________B7 __ 五、發明説明（^ 其中每一個接腳卡7 5可被接腳匯流排控制器7 2單獨地 定址。接腳匯流排控制器7 2連接到主電腦7 1 ，用以執 行測試控制器軟體。接腳匯流排控制器7 2經由全部的接 腳匯流排信號提供開始、停止、測試結果、事件資料載入 以及將接腳關聯在一起的工作。此架構允許構建” N ”個 接腳的測試裝置。 按照本發明，事件基準測試裝置可以根據儲存在事件 記憶體中的事件資料產生測試信號與選通信號。每一事件 的時序，是由從最近一個事件算起的時間長度差（時間差 )。根據事件資訊產生測試信號與選通，它與前一事件的 時間差，是由參考時計周期的整數倍加上參考時計周期的 分數所定義。 本發明的事件基準半導體測試裝置可以直接使用事件 記憶體中的時序資料產生測試信號與選通。由於時序資料 表示兩毗鄰事件間的時間差，因此每一個資料的大小可以 很小，可以實質地減少事件記憶體的容量。本發明的事件 基準半導體測試裝置可以直接使用被測半導體裝置於設計 階段由C A D裝置測試台所產生的資料來產生測試信號與 選通。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22-

Claims (1)

1. 510976 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍/ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 一種用於測試被測試之電子裝置（D u T )的事 件基準測試裝置，該裝置供應測試信號給D U T，並在一 選通信號的時序評估D ϋ T的輸出，包括： 事件記憶體，用以儲存每一事件由參考時計周期的整 數倍（整數部分的資料）加上參考時計周期的分數（分數 部分的資料）所構成的時序資料，該時序資料是兩毗鄰事 件間的時間差 位址順序器，用以產生位址資料供存取該事件記憶體 ，用以讀取其內的該時序資料； · 時序計數邏輯，用以加總該時序資料以產生每一事件 相對於既定參考點的總時間，該時序計數邏輯包括一延遲 裝置，每當該分數的和超過該參考時計周期時，用以增加 一個參考時計周期； 事件產生電路，根據該總時間產生每一事件，用·以規 劃該測試信號或選通信號；以及 一主電腦，用以經由測試程式控制該事件基準測試裝 置的整個操作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 ·如申請專利範圍第1項的事件基準測試裝置，進一 步包括一故障記憶體，對該D U 丁施加該測試信號，並在 該選通信號的時序將該D U T對測試信號的反應輸出與預 期値做比較，所得到該D U T的故障資訊儲存在故障記憶 體中。 3 ·如申請專利範圍第1項的事件基準測試裝置，進一 步包括一接腳電子裝置，位於該事件產生電路與該D U T 本^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 7^1 " 510976 A8 B8 C8 _08 六、申請專利範圍> 之間。 4 .如申請專利範圍第1項的事件基準測試裝置，其巾 該事件記憶體是隨機存取記憶體（R A Μ )。 5 ·如申請專利範圍第1項的事件基準測試裝置，其$ 該事件記憶體包括： 時計計數記憶體，用以儲存每一事件之該時序資料白勺 整數部分資料； 微變記憶體，用以儲存每一事件之該時序資料的# _ 部分資料；以及 · 事件類型資料，用以儲存代表對應於該時計計數記，隱 體與微變記憶體中之該時序資料之每一事件之類型的寳料 〇 6 ·如申請專利範圍第1項的事件基準測試裝置，其中 用於加總該時序資料的該時序計數邏輯包括： ·. 向下計數器，用以將該整數部分預設定於其內，並向 下計數該整數部分資料，用以產生一延遲時間，該延遲時 間是該參考時計周期的整數倍； 多工器，用以在來自該向下計數器的延遲時間中插入 一個時計的延遲，藉以產生一事件開始信號；以及 加法器，用以將來自該事件記憶體之目前事件的該分 數部分資料加到前一事件的分數部分資料，藉以產生一微 變和資料，每當該分數部分資料加總的結果超過該參考時 計周期時，該加法器產生一進位信號； 其中該多工器每當接收到來自該加法器的該進位信號 ^紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24- 510976 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍3 時，產生一等於該參考時計之一個周期的額外延遲。 7 ·如申請專利範圍第6項的事件基準測試裝置，該時 序計數邏輯進一步包括一正反器，用以將該前一事件之該 延遲時間載入該多工器，以及一鎖存電路，用以將該前一 事件之該微變和資料載入該加法器。 8 ·如申請專利範圍第6項的事件基準測試裝置，該 事件產生電路進一步包括： 一解多工器，用以根據來自該事件記憶體的事件類型 資料，選擇性地提供來自該時序計數邏輯的該事件開始信 號； 複數個可變延遲電路，用以接收來自該解多工器的該 事件開始信號，每一個該可變延遲電路提供來自該時序計 數邏輯由該微變資料所定義的額外延遲；以及 用以根據至少2:個該可變延遲電路的輸出信號產生該 測試信號的裝置；以及 用以根據至少1個該可變延遲電路的輸出信號產生該 選通信號的裝置。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ-

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