TW496809B - Method and apparatus for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck - Google Patents

Method and apparatus for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck Download PDF

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Description

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五、發明說明（） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^ryyjoyjy 本發明係關於用於固持一、 u狩工件 < 靜電夾盤，特別是關 於從靜電夾盤解除夾持工件之方法與設備。 發明背景： 靜屯夾盤在各種應用上係用於固持工件，範圍從在一 電腦緣圖冑固持-張紙到纟一"體製程系统中固持一 半導體晶片。雖然靜電夾盤依設計而改變，但其皆基於應 用一包壓至一或多個電極於夾盤致分別在工件及電極上 引發相反極性電荷。在該相反電荷間之靜電力拉引該工件 背離該夾盤，並因此維持該工件。 靜電夾盤之一典型問題係當要將該工件移出該夾盤 時，很難從該夾盤及工件移除電荷。一傳統解決方法係連 接該電極及夾盤至地面而排出電荷。另一種能目的性較快 速移除電荷之傳統解決方法係對該電極使用相反的直流 電極性。此種技術係描述在一具有雙電極（一偶極失盤）之 夾盤之Watanabe於1992年5月26日被授予之美國專利 第 5，117，121 號。 這些傳統移除電荷方法已知之一缺點係其無法完全 移除該電荷，使得一些靜電力仍殘存於工件與電荷之間。 此殘餘靜電力典型上需要使用機械力用以從該夾盤分離 出該工件。當該工件是一半導體晶片時，該所需之機械力 有時會損毁該晶片。甚至當該晶片未毀損時，機械性克服 該殘餘靜電力會因有時會導致該晶片彈出該夾盤到藉由 第2頁 本紙張尺度適用甲國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
496809 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（ 傳統晶片傳輸機難以收取之位置的困難。 為更精確降低殘餘於該工件與該夾盤間之該殘餘靜 電吸引力，最佳化解除夾持電壓之企圖，係藉由測量該夾 持晶片用以決定一最佳解除夾持電壓與解除夾持期間而 達成。解除夾持設備之一般所援引例子係由Birang等於 1995年10月丨7日被授予之美國專利第5,459,632號，以 及由Loo於1998年10月6日被授予之美國專利第 5,818,682 號。 然而，當連續製成多件工件時，這些夾持/解除失持 方法並铁法完全消除或補償夾盤的介電質極化以及逐漸 累積增加在夾盤表面的殘餘電荷。上述之殘餘電荷累積之 結果會逐漸增加解除每一後續工件夾持的困難。 因此，一種方法，施加一解除夾持訊號以補償當連續 處理多件工件時所逐漸累積於夾盤表面之電荷在業界係 極需要的。 發明概述： 本發明與設備藉由決定一施加之解除夾持訊號於靜 電夾盤而促使工件從其解除夾持，克服了迄今有關之先前 技藝之缺點。特別是’上述之方法至少包含如下步驟：決 定一基於儲存之第一殘餘吸引力度（attracti〇n f〇rce metde 之第一解除夹持訊號、施加該解除夾持訊號於該靜電夾 盤、以及在測量第二殘餘吸引力度時移去該第一工件。 此％除夾持工件之方法係在每一工件製程後完成，殘 ;-------------------訂---------il (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7
五、發明說明（） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 餘電荷因此不會一件接著一件地累積於該靜電夾盤上。或 者是，在每一工件解除夹持後，將該夾持與解除夾持訊號 極性反轉，而減少電荷之累積。 凰簡鞏說明： 本發明所教示者能透過下述之發明詳細說明以及所 附之圖式而能很容易地理解，其中： 第1圖為一具有在製程時保持半導體晶片於其中之靜電夾 盤之半導體晶片製程系統之部分圖解的剖面圖； 第2圖為一第丨圖所描述該靜電夾盤旋轉於垂直位置之半 導體晶片製程系統之部分圖解的剖面圖；及 第3圖為描述本發明方法之一流程圖。 為增進理解，將儘可能對相同之元素使用相同之參考 數字。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
圖號對照說明： 100 半 導 體晶 片 製程 系統 .102 控 制 儀 器 104 直 流 電源 106 電 腦 108 半 導 體晶 片 110 共 平 面 電 極 1 12 介 電 質材 料 114 中 央 處 理 單位 116 傳 統 支援 電 路 118 記 憶 體 122 解 除 夾持 例 行程 序 124 離 子 束 126 提 升 系統 128 提 升 促 動 器 130 接 觸 棒 132 提 升 針 第4頁
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支撐平面 電荷減少步驟 真空室 靜電夾盤 通遒 感應器 感應器 次例行程序步輝 殘餘吸引力回饋步驟 離子產生器 背部氣源 量測元件 感應器 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明詳細笔明： 第1圖是一半導體晶片製程系統丨〇〇之橫切面的圖 說明，例如，—離子植人系統。該系統至少包含—真而 160、一離子產生器162、一靜電夾盤164、一背部2 166 ’曰一提升系統126 ,以及控制電子儀器102。本發明 效地提供一快速（亦即小於2〇〇毫秒）之解除夾持工件（ 如，一從該靜電夾盤移走的半導體晶片108)。雖然本發 係描迆在一示範性離子植入系統，但是本發明亦可普遍 用於其它靜電夾盤用於保持晶片於製程室内之半 片製程系統。 & 靜電夾盤164置於製程室160内。靜電夾盤164具 一對崁入於一介電質材料112内之共平面電極丨1〇,而 介電質材料係形成一支撐平面134,其上有靜電夾盤又 用以保持孩晶片1 〇8。上述之介電質材料u 2典型上係 陶瓷材料製成圓柱盤狀，該陶瓷材料諸如氮化鋁、氮 硼、摻雜氧化鈦或氧化鉻之礬土、或其它介電質材料。 第5頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公爱）
MZV--------tr--------- (請先閱讀背面之注意亊項再填寫本頁)
496809 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 介電質材料112至少包含一通道168，其允許一熱傳送氣 體（諸如氦氣）從背部氣源166提供至於支撐表面134與晶 片1〇8之間的空隙，而促使熱傳送。上述之靜電夾盤164 更包含複數個穿透介電質材料112並選擇性接觸晶片ι〇8 的提升針132。上述之電極110典型上係一平盤或一層之 導電材料，諸如鉬。雖然此範例靜電夾盤1 6 4係以偶極型 式描述之，但熟知該項技藝知者從後續說明將認知，本發 明係可使用任何形式之靜電夾盤，至少包含單極靜電夾 盤、介電質夾盤、陶瓷夾盤、及其它諸如此類。 該提升系統1 2 6 —般包含一連接到一接觸棒1 3 〇之提 升促動器128。為從支撐表面134提升晶片1〇8，上述之 提升促動器128舉起接觸棒130以帶動支撐晶片ι〇8之上 述之提升針132,因而提升晶片108至支撐表面134之上。 控制迴路1 02包含一直流電源1 〇4，其係被電腦1 〇6 所控制。上述之直流電源於偶極夾盤之每一電極產生各種 正負電壓。一般而言，電腦1 06設定直流電源1 〇4之輸出 電壓值。控制迴路1 02更包含一量測元件1 70。量測元件 1 70係連接到一感應器1 72，其係監視從背部氣源丨66供 給至支撐表面1 3 4之氣體流量情形。上述之量測元件1 7 〇 提供下述更進一步討論之代表一殘餘力度的訊號給上述 之電腦106。替代地，一感應器174或一感應器176能連 接至量測元件170。感應器174係置於提升針132之一之 上，用以測量移走晶片1 08所須之力量。感應器1 76係測 量晶片1 0 8與靜電夾盤1 6 4之間之電容的改變。 第6頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-n n n n n «^1 ϋ 一δ* β i I n n I β 496809 五、發明說明（ 電腦1 06係一通用目的、可程式化之電腦系統，其包 含一中央處理單位（central pr〇eessing unit ; cpu )ii4, 其連接至傳統支援電路i 16，諸如一電源、快取記憶體、 尤隐te 计時迴路、及其它諸如此類。除此之外，上述之 CPU係連接至記憶體電路i丨8，諸如唯讀記憶體（read_〇niy memory ’· R0M)以及隨機存取記憶體（rand〇m access memory ’ RAM)。更進一步言，該Ram暫時儲存在晶片製 程時所使用之夾持電壓、夾持期間、以及殘餘吸引力度等 數值本發月之只施係依照一儲存於記憶體1 1 8作為解除 夾持例订耘序1 22之軟體程式。在執行上述之解除夾持例 行程序i22的程式之下，該電腦系統成為一用以控制直流 電源而解除該工件夾持之裝置，並且符合如下更進一步敘 述之解除夾持例行程序1 2 2之該操作步驟。 一經該電源施加一夾持電壓於電極11〇時，電荷從電 極110移轉至上述之介電t 112之支撑表面134 ’並且相 反電荷被誘Μ晶彳1()8之背面，使上述之晶片被固定 著’亦即，藉由產生的靜電吸引力而被夾持。該吸引力係 足以允許上述之靜電夾盤164從水平位置旋轉至垂直位 置，而無須晶片108橫過上述之靜電夾盤164之支撐表面 134。當如第2圖所描述在垂直位置時靜電夾盤i“係 在垂直面(如箭頭122所指)上移動…由離子產生器162 所產生而用以植入之離子纟124或其它離子源係水平掃 瞒’而晶片108垂直置放使其所有位置皆能暴露於離子 束0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-n I ϋ ϋ ϋ H II 一5,十· n fli a— n ϋ ϋ f I
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496809 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（） 第3圖係描述-說明解除夾持例行程彳122之流程 圖。為能對上述解除夹持例行程序122之有最佳的晚解， 鼓勵參考第！圖所描述之裝置以及第3圖之流程圖。 上述 < 解除夹持例行程序122至少—般包本一解除夾 持次例行程序步驟150、一殘餘吸引力回饋步^ 154，和 選擇性地包含-電荷減少步帮152。解除夹持例行步驟122 起始於步驟200並進行至解除夾持次例行步驟15〇。解除 夾持次例行程序15〇 —般係由—演算式所組成而用以決定 -解除夾持訊號，其中演算式參數—殘餘力度係透過歷史 或實際在解除夾持時測量殘餘力度而取得。如此，一些傳 統演算式能被修改而使用該殘餘力度，而能取得一精準解 除夾持訊號。解除夾持訊號增加之精準度能產生快速移去 工件之結果，而減少工件損毀之可能性 '一些可行之方法 能提供被步驟150執行而用在解除夾持的方法，其中一經 常被引用的一例係David Loo之獲准於1 998年1〇月6日 之美國專利第5,8 18，682號，其整個在此併為參考文獻。 其它用以決定和應用一解除夾持力之方法亦能有效使 用。 上述說明之次例行程序150起始於步驟2〇2。在步驟 202中，夾持電壓、夾持期間、以及殘餘夾持力度係取自 電腦系統之暫存器。就第一晶片，殘餘夾持力度典型上係 起始於零。替代的是’殘餘夾持力度能從記憶體丨丨8取回 在一預定或歷史數值。夾持電壓及夾持期間係進入暫存器 成為一預定值。在步驟204中，上述之例行程序計算解除 第8頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
I I n n n I ·1 · n ϋ ϋ H ϋ I I I
496809 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 五、發明說明（） 夾持訊號。 一用於解除夾持訊號之說明之演算式係提供如下： Tpw = Tnom + Kp(Fdc-Fnom) 其中·’
Tpw係目前工件之解除失持訊號之期間；
Tnom係預期解除夾持訊號之期間。Tnom —般係解除 夾持電壓之函數（雖然在說明例中解除電壓可能改變，但 是它是固定在一預定程度）； KP係一由實驗決定之常數； FN0M係需要去移走上述之目前晶片之預期殘餘力；及 FDC係需要移走先前晶片之測量所得之殘餘力度（或 其它歷史移走力度）。 讀者應知其他演算式亦能被運用而使用如此所述之 利用該殘餘力度而提供一解除夾持訊號。因此，上述所展 示之演算式僅僅是一種利用來自前解除夾持之解除夾持 訊號之解除夾持方法。 解除夫持電壓典型上係一工件（諸如一氧化物晶片）之 夾持電壓的負1.5倍。然而，解除夾持電壓能藉由一些可 供本技藝利用之解除夾持電壓最佳化方法的任一種而加 以計算。一 一般常引用之方法係描述在Birang等獲准於 1 995年10月17日之美國專利第5,459,632號，其整個在 此併為參考文獻。 一旦解除夾持訊號被計算出來，則例行程序丨5〇係進 行至步驟208。在步驟208,電腦系統送出一控制訊號（亦 第9頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 . — — — — — — — — « I I I I--I ·1111111« (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496809 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 "" B7 五、發明說明（） 即解除夾持訊號）至直流電源而施予解除爽持電壓於一等 於解除電壓期間之期間。在此時，解除爽持製程係完成， 並且工件自然地從該靜電夾盤中移去。 在步驟154時，殘餘吸引力度係在步驟208中工件自 然地移去時取得，並且回饋至該電腦系統暫存器而用於步 驟202時取回。殘餘吸引力度之取得係透過各種本技藝之 已知方法，包含機械力測量、改變晶片與靜電夹盤之電 容、以及在晶片與靜電夾盤間之背氣源流量情形的變化。 例如 $被引用之方法係描述在C ο 11 i n s等獲准於1 9 9 7 年11月4日之美國專利第5,684,669號，其揭露殘餘吸引 力度之取得，係藉由使用一適合力閥之提升針，或監控背 氣流之變化。因此，任何導致殘餘吸引力度之偏移，例如 因在靜電夾盤表面電荷累積所致，皆能在解除夾持第一工 件時被偵測出，而用於更精準計算解除後續工件夬持之解 除夾持參數。例如，如果發現上述之殘餘力增加時，則一 解除夾持訊號之等量變化（亦即，在解除夾持電壓及/或解 除夾持訊號之增加）將用於下個晶片之解除夾持。因此， 在解除夾持需求改變所產生之殘餘吸引之變化，係於下個 晶片製程中分別在步驟204及208決定該解除夾持電壓及 期間時被補償。 為減少在上述之靜電夾盤之潛在電荷之累積，步驟 1 52之電荷減化例行程序應於每一晶片製程後實施之。因 此，在步驟2 1 0，該例行程序將詢問是否進行製程另一工 件。如果該詢問係否定回答時，則該例行程序將進行至步 第10頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 0 amKam βϋ ·1 βϋ 1 I ϋ «I 1§ —Hi n · I 1 IB1 iai n ϋ n-t I n ϋ I an I flu 1 I t]_· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496809 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 驟12而終止該解除夾持例行程序122 '然而，如果詢問 係肯定回答時，則該例行程序將進行至步騾2丨4。 為更進步改良該解除夾持製程，解除夾持電壓應於 每一晶片製程後反轉極性。反轉極性係有助於靜電夾盤之 介電材料避免極化及解除夾持之進行更困難。因而，在步 驟214中’將解除夾持電壓之極性反轉，並在步驟216中， 進行下一個晶片。藉由反轉極性，殘餘吸引力係維持在一 有限循環，其中吸引力強度將低於僅經過同極性解除夾持 包壓者。此係部分因為殘餘吸引力並未被重複提供會導致 累積電荷之相同極性之電壓。為解除下一個工件之夾持， 例行序返回至在步驟2 〇 2之解除夹持次例行程序1 2 2。 在一具體實施例中，所描述方法之使用係可以讓後續工件 被解除夾持時間小於約2 〇 〇毫秒。 本發明解說如上述之具體實施例揭露一包含一解除 夹持電壓以及一解除夾持期間之夾持訊號。另外，解除夾 持訊號可能單獨包含一解除夬持電壓。熟知該技藝者在閱 4過上述之揭露後可輕易對之加以變動及修改，然而本發 明之範圍並不僅侷限於以上所說明之實施例，以上所述之 修改及置換都不脫離本發明之精神範圍。 第11頁 本紙張尺度適 家標準（CNS)A4規格H挪公爱- -ϋ ϋ n n ϋ I ϋ ϋ ϋ n I · ϋ n 1 ϋ n I I « n I ϋ n ·1 1 ϋ I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

  1. 4968 0卜------------------------
    ABCD 第號專利案7/年V月修正 六、申請專利範圍 1. 一種用於解除一晶片夾持之設備，該設備至少包含： 一具有至少一崁入崁入電極的靜電夾盤； 一控制器； 一連接到該控制器及該至少一崁入電極的電源，該 電源係用於提供一解除夹持訊號至該靜電夹盤；及 一與該控制器傳輸之記憶體，該記憶體係用於儲存 並提供一被該控制器用以計算該解除夾持訊號的殘餘 力度（residual force metric)。 2. 如申請專利範圍第1項所述之設備，更包含： 一連接到該控制器之力閥用以測量該殘餘力度。 3. 如申請專利範圍第1項所述之設備’其中上述之殘餘力 度係由監視置於該靜電夾盤與該晶片間之背側氣體之 流量變化情形而決定。 4. 如申請專利範圍第1項所述之設備’其中上述之殘餘力 度係由監視該靜電夾盤與該晶片間電容之變化而決 定。 5. —種在一連續維持多個工件之系統中從靜電失盤解除每 -工件夾持的方法’該方法至少包含· 使用一儲存第一殘餘吸引力度而決定第一解除夾持 訊號， 第12頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2l0X “97 a楚) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496809 ABCD 六、申請專利範圍 施加該解除夾持訊號於該靜電夾盤；及 移去該第一工件而測量第二殘餘吸引力度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 6. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中上述之決定該 第一解除夾持訊號之步驟更包含下列步驟： 決定解除夾持期間。 7. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中上述之決定該 第一解除夾持訊號之步驟更包含下列步驟： 儲存該第二殘餘吸引力度，及 使用該第二殘餘吸引力度而決定第二殘餘解除夾持 訊號；及 解除第二該工件之夾持。 8. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中上述之移去該 第一工件之步驟更包含中和該殘餘吸引力。 9. 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中上述之中和該 殘餘吸引力度發生在小於約200毫秒内。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 0.如申請專利範圍第5項所述之方法，更包含減少在上述 之靜電夾盤上累積之殘餘電荷的步驟。 Π .如申請專利範圍第1 〇項所述之方法，其中上述之減少 第1頂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) A8 B8
    經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 孩累積之殘餘電荷之步驟，更包含反轉解除夹持電壓之 極性至該第二工件之步驟，其中上述之該第二工件係接 續該第一工件之後進行。 12·—種在一連續維持一多工件之系統中從靜電夾盤解除 每一該工件夹持的方法，該方法至少包含： 決定一第一解除夾持訊號； 施加該解除夾持訊號於該靜電夾盤； 移去該第一工件； 測量一實際殘餘吸引力度；及 提供該測量所得之殘餘吸引力度而用以決定一第二 解除夾持訊號β 1 3 ’如申請專利範圍第1 2項所述之方法，其中上述之決定 該第一解除失持訊號之步驟更包含下列步驟： 決定解除夾持期間。 14·如申請專利範圍第12項所述之方法，其中上述之決定 該第一解除夾持訊號之步驟更包含下列步騾： 取回一已儲存之殘餘吸引力度。 1 5 .如申清專利範圍第1 3項所述之方法，更包含藉由反轉 解除夾持電壓之極性至該第二工件而減少累積於該靜 電夬盤之殘餘電荷之步驟，其中上述之該第二工件係接 第14頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) ............•裝..................# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 496809 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 續該第一工件之後進行。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 6. —種電腦可讀取媒體，該媒體至少包含一軟體例行程 序，當由一連接到一連續維持多個工件在靜電夾盤上之 系統的處理器執行時，使得該處理器操作下列步驟： 決定第一解除夾持訊號； 施加該解除夾持訊號於該靜電夾盤； 移去該第一工件； 測量一實際殘餘吸引力度；及 提供該測量所得之殘餘吸引力度而用以決定一第二 解除夾持訊號。 1 7.如申請專利範圍第1 6項所述之電腦可讀取媒體，其中 上述之決定該第一解除夾持訊號之步驟更包含下列步 驟： 決定解除夾持期間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 8.如申請專利範圍第1 6項所述之電腦可讀取媒體，其中 上述之決定該第一解除夾持訊號之步驟更包含下列步 驟： 取回一已儲存之殘餘吸引力度。 19.如申請專利範圍第16項所述之電腦可讀取媒體’其中 上述之移走該第一工件之步驟更包含中和該殘餘吸引 第15頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) ^0809申請專利範圍 力 ABCD 20.如申請專利範圍第19項所述之電腦可讀取媒體，其中 上述之中和該殘餘吸引力度發生在小於約200毫秒内。 2 1.如申請專利範圍第1 6項所述之電腦可讀取媒體’更包 含減少在上述之靜電夾盤上累積之殘餘電荷的步驟。 22 ·如申請專利範圍第21項所述之電腦可讀取媒體’其中 上述之減少該累積之殘餘電荷之步驟，更包含反轉解除 夾持電壓之極性至該第二工件之步驟，其中上述之該第 二工件係接續該第一工件之後進行。 23. — 種離子植入系統，該離子植入系統至少包含 一真空室； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一連接到該真空室之離子產生器； 一位於該真空室内並至少具有一電極之靜电央*盤 一控制器； 一連接到該控制器及至少一該崁入電極之電；<、’以 電源係用於提供一解除夾持訊號至該靜電爽盤’及 一與該控制器傳輸之記憶體，該記憶體係用於儲存 和提供該控制器用於計算該解除夾持訊號：& 度0 第16頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） ............·¥.........、玎.........# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 496809 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 24. 如申請專利範圍第 23項所述之離子植入系統，更包 含·· 一連接到該電腦用以控制該殘餘力度之力閥。 25. 如申請專利範圍第23項所述之離子植入系統，更包含 一藉由監視置於該靜電夾盤與該晶片間之背側氣體流 量變化而決定該殘餘力度之感應器。 26. 如申請專利範圍第23項所述之離子植入系統，更包含 一藉由監視介於該靜電夾盤與該晶片間之電容變化而 決定該殘餘力度之感應器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 頁 17 AyftK 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐)
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