TW495705B - Method for controlling semiconductor equipments - Google Patents

Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 495705 A7 _____B7_ _ 五、發明説明（i ) 本發明係關於一種半導體製造設備的控制方法並且，尤 其是，關於同時地並且自動地控制半導體製造設備和一組電 腦系統，例如一組主電腦，之一種控制方法。 因爲半導體元件是經由大量的處理程序而被製造，大量 處理程序之設備，例如一組濺射設備、一組蝕刻設備以及類 似者，被配置在半導體製造線上。在設備中，包含大約20 至25晶圓而被聚集爲單元組的晶圓在程序之分別步驟的最 佳情況下被處理。 此時，如果該設備依據一種離線技術而進行處理程序，. 則在分別的步驟產生之資料幾乎全部被顯示在設備的螢幕 上。如果該設備依據一種線上技術而進行處理程序，則該資 料被儲存到連接該設備之一組主電腦的資料庫中。 第1圖展示用以控制半導體設備之一種習見方法的流程 圖。在該方法中，有關程序是否在分別步驟的最佳處理情況 之下被進行之決定是在許多步驟被達成之後經由一組量測 步驟而形成，如第1圖所展示。在該量測步驟中，決定經過 許多步驟所處理之產品是否具有缺陷。如果該產品在量測步 驟被決定是具有缺陷，則該結果被顯示在進行程序的設備之 螢幕上或者缺陷的成因被參看儲存在主電腦之資料庫中的 資料而檢測出。 換言之，當程序是在一種不良條件之下被進行的情況 中，該產品是否有缺陷之決定無法在一組步驟完成之後馬上 被形成。更進一步地’當產品中之缺陷是在許多步驟之後在 量測步驟被檢測的情況中，該等步驟被往回追蹤.以檢測缺陷 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _裝_ .加 495705 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2 ) 之成因。這可能導致時間和材料的損失。 此種不良的處理情況可能發生於當在某一步驟之處理 情況因爲工程師之失誤而未被設定爲一種最佳情況時、當該 單元組是在處理條件之値被錯誤地輸入的情況之下被連續 地處理時、以及當因爲操作設備本身之失效而使得程序在未 被設定爲一種最佳情況的處理程序環境之下連續地被進行 時。 因此，可抑制與上述情況有關的不良情況之設備的一種 控制方法被揭示。在此方法中，在該設備產生的資料和原先 暫存在主電腦之資料庫中的規格値比較。如果該資料不在規 格値的範圍中，則該設備被連結。 但是，此方法具有許多如下之缺點。 當半導體設備依據該方法而被控制時，只有該設備被連 結並且在該連結設備上之資訊（例如，連結設備的實際數目） 未被儲存在主電腦中。因此，該連結設備之實際狀態不同於 被主電腦所辨識的狀態。因此，主電腦無法辨識該連結設 備。 一般而言，當一組設備被連結時，一組警報信號被產生 在安裝在設備上之一組警報元件中。依據該警報信號，操作 員利用一組通訊元件，例如一組電話裝置，通知工程師該設 備被連結。工程師接著在連結設備上採取適當的動作以解決 其問題並且通知操作員該設備之問題被解決。接著，操作員 釋放設備之連結狀態並且將設備返回程序中。在此方法中’ 操作員應該檢查每組設備以決定該等設備在分.別的步驟時 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 "% 495705 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 是否沒被忽略地連結。這項工作需要大量的時間和勞力。因 此，操作員實際上無法檢査所有的設備。 當在連結設備中之問題尙未被工程師所解決的情況之 下操作員意外地輸入一組操作命令至主電腦時’主電腦無法 辨認實情並且程序的步驟在一種錯誤地設定的情況之下被 設備連續地進行。錯誤地被設定的情況可導致缺陷產品之增 加並且降低處理程序的可靠度。 因此本發明之一目的是提供用以控制半導體設備的一 種方法，它可防止操作員意外地操作一組連結設備。在此方 法中，決定一組處理程序是否在目前進行的處理程序之分別 步驟被完成時在一種特定法則之範圍內在暫存於一組主電 腦之資料庫中的一種處理條件之下被正常地進行。如果決定 該程序未被正常地進行，則該設備和主電腦之一組追蹤模組 同時地被連結並且因而將連結設備之實際數目自動地輸入 到主電腦。因此’主電腦可再核對是否將下面的一組引入該 • < 設備。因此，可防止操作員意外地操作該連結設備。 爲了達成上述目的以及其他的優點，本發明提供一種半 導體設備的控制方法它包含：報告目前進行的單元組處理程 序之處理情況給一組主電腦；決定該報告的處理情況資料是 否在暫存於主電腦之資料庫中的程序之分別步驟的最佳處 理情況範圍內；如果決定該報告資料是在最佳處理情況的範 圍內，則決定該報告資料是否滿足暫存於主電腦中之一組特 定法則；如果決定該報告資料不在最佳處理情況的範圍內， 則暫停並且分析經由該處理程序所處理的產品且採取適當 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) _裝-

、1T 495705 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（4 ) 的行動；如果決定該報告資料滿足特定法則，則繼續該處理 程序並且如果決定該報告資料不滿足特定法則，則同時地連 結該設備和主電腦的一組追蹤模組，自動地將連結資訊儲存 在主電腦內並且停止該處理程序直到操作失效被完全地移 除爲止；並且重複地進行上述步驟直到該處理程序被完成爲 止。 該特定法則是被使用在統計程序控制（SPC)中的一種控 制限制。用以控制半導體設備的方法可進一步地包含··在分 析經由該目前進行處理程序被處理的產品並且採取適當的 動作之後，如果決定該產品無缺陷，則繼續後序處理程序， 並且如果決定該產品有缺陷，則捨棄該產品。 依據用以控制半導體設備之方法，即使當操作員意外地 按下一組操作按鈕並且該連結設備因此在對於連結設備不 採取任何行動的情況之下操作時，可使用儲存在主電腦中之 追蹤模組的連結資訊而決定是否將下面的一組引入該設 備。因此，它可能防止操作員意外地操作該連結設備。 本發明之上述目的和其他的優點將可參考附圖從其較 佳實施例之詳細說明而更明白，其中： 第1圖是用以控制半導體設備之一種習見方法的流程 圖；以及 第2圖是依據本發明用以控制半導體設備之方法的流程 圖。 本發明接著將參考附圖而被更完整地說明’其中本發明 之較佳實施例被展示。但是，本發明可以被以多種不同的型 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 ··· 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 495705 A7 B7 五、發明説明（5 ) 式實施並且應該不被此處之實施例所限制；然而，這些被提 供的實施例將使得熟習本技術者明白本說明之徹底且完 整，並且將完全地涵蓋本發明的範疇。 第2圖是依據本發明用以控制半導體設備之一種方法的 流程圖。該方法大致地包含如下之八個步驟。該方法之一種 實施例將以一組處理程序的範例而被加以說明，其中一產品 ’a’在一組設備中被製造。 在第一步驟1〇〇,將在設備’A’中被進行之處理程序的分 別步驟之最佳情況被暫存（設定或者儲存）在一組主電腦的 記憶體中。 在第二步驟110，包含大約20至25晶圓的一組單元組被 安裝在設備’A1中。接著該處理程序分別地進行於單元組中 之晶圓。 在第三步驟1 20，當在單元組之分別的晶圓被完全地處 理時處理情況被報告至主電腦。 在第四步驟130，爲了決定分別的步驟是否被正常地進 行，使用主電腦之一組特定模組以決定該報告的處理情況資 料是否在暫存於記憶體之資料庫中分別步驟之最佳處理情 況的範圍內。最佳處理情況之範圍是不導致任何產品缺陷的 設備資料之一組限制。 在第五步驟140,如果在步驟13 0決定該報告資料在暫存 於主電腦中的最佳處理情況之範圍內，則決定該報告資料是 否滿足在統計程序控制（SPC)中被主電腦使用的一組控制限 制之特定法則。 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格Γ210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -·裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 495705 A7 B7 五、發明説明（6 ) 在第六步驟150至160，如果在步驟140決定該報告資料 滿足該特定法則，則第一步驟100至第四步驟130被重複地進 行直到整個處理程序被完成而使得產品可在另一處理程 序中被處理爲止。當全部步驟被完成時，該處理程序被終 止。 另一方面，如果決定該報告資料不滿足特定法則，則主 電腦之追蹤模組和設備’A·被同時地連結並且因而被連結設 備的實際數目在設備被連結的同時自動地被儲存在主 電腦中以防止其他的產品，例如，產品’b’，產品’c’，產品V 以及類似者，被引入設備’A’。一組適當的動作被採取以解 決在設備’A’中之問題。當該問題被解決時，設備·Α’再次地 被置入處理程序。該追蹤模組作用而將有關一組產品之處理 程序的開始點輸入主電腦的一組終端機。 當該報告資料不滿足該特定法則時主要有四種情況：當 該報告資料超出在SPC中被使用之特定法則的控制限制，亦 即，上方控制限制（UCL)或者下方控制限制（LCL)時；當連 續的往上趨勢或者連續的往下趨勢發生在報告資料中時；當 在報告資料中之連續三點之兩點存在於和3σ之間的區 域內時；以及當在報告資料中連續五點之四點不在-1σ和1 σ之間的區域內時。 利用同時地連結主電腦之追蹤模組和該設備，被主電腦 所辨識的設備狀態與實際設備之狀態成爲一致。因而，該連 結設備可在主電腦中被辨識。 結果，即使當操作按鈕被操作員意外地按下時，主電腦 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 【裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 495705 A7 B7 五、發明説明（7 ) 可以在自動地儲存於主電腦中的設備’A’被操作之前再核對 下面的一組是否被引入該設備。因此，管理該設備的困難可 被解決至某種程度。同時，關於管理該設備之困難而發生的 缺陷可被大幅地減低。這加強半導體製造處理程序的可靠 度。 在第七步驟170至180,如果決定該報告資料不在暫存於 主電腦中的最佳處理情況之範圍內，則產品’a’被暫停而不接 受下面的處理程序並且被分析使得工程師可採取適當的動 作。 在第八步驟190至200,產品’a’被測量以決定產品’af是否 具有缺陷。如果決定產品i不具有缺陷，則下面的步驟被進 行。否則，如果決定產品’a’具有缺陷，則產品’a’被捨棄。 依據該方法，即使當在連結設備中之問題未被解決的情 況之下操作員意外地按下操作按鈕時，該電腦可取得目前被 連結的設備。這表示主電腦可再核對是否將下面的一組引入 該設備。因此，可以防止該連結設備被自動地操作。 如前所述，依據本發明，無法被該設備辨識的程序失 效，例如與操作員在操作該設備時之失誤相關的程序失效、 設備之功能缺陷、對於該設備之一種錯誤地指定之處理情 況，可在一組處理程序被完成之後馬上地發現。這可快速地 穩定處理程序，將缺陷最小化並且因此加強半導體製造程序 的可靠度。發生在半導體產品中之缺陷可利用捨棄無法被修 復的缺陷產品而被減低。更進一步，即使當操作員在對於連 結設備不採取任何適當的動作的情況之下意外地操作該設 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) C· 訂 495705 A7 B7 五、發明説明（8 ) 備時，仍可使用儲存在主電腦中的追蹤模組之連結資訊再核 對是否將下面的一組引入該連結設備並且因此可防止該連 結設備被自動地操作。因此可以克服管理設備的困難。 本發明已參考上述的實施例而被加以說明。但是，明顯 地，熟習本技術者可由上面說明知道本發明可有許多不同形 式、修改和變化。因此，本發明包含所有此等不同形式、修 改和變化於所附申請專利範圍之精神和範疇內。 I-------批衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 495705 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種半導體設備控制方法，包含的步驟有： 報告目前進行的單元組處理程序之處理情況給連接到 該等設備之一組主電腦； ，決定該報告的處理情況資料是否在暫存於該主電腦之 資料庫中的程序之分別步驟的最佳處理情況範圍內； 如果決定該報告資料是在該最佳處理情況的範圍內，則 決定該報告資料是否滿足暫存於該主電腦中之一組特定法 則，如果決定該報告資料不在該最佳處理情況的範圍內，則 暫停並且分析經由該目前進行之處理程序所處理的產品並 且採取適當的行動； 如果決定該報告資料滿足該特定法則，則繼續該處理程 序，並且如果決定該報告資料不滿足該特定法則，則同時地 連結該設備和該主電腦的一組追蹤模組，自動地將該連結資 訊儲存在該主電腦內並且停止該處理程序直到操作失效被 完全地移除爲止；並且 重複地進行上述該等步驟直到整個處理程序被完成爲 止。 ·、 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2. 依據申請專利範圍第1項的方法，進一步遥包含的 步驟有：在分析經由該目前進行處理程序被處理的產品並且 採取適當的動作之後，如果決定該產品無缺陷，則繼續後序 處理程序，並且如果決定該產品有缺陷，則捨棄該產品。 3 . 依據申請專利範圍第1項的方法，其中該特定法則 是被使用於統計程序控制（SPC)中的一組控制限制。 __12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）