TW464574B - Electric discharge processing method and apparatus therefor - Google Patents
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Description
五、發明說明(1) [發明領域] 電力,施行極與被加工物之間供給加工 改良。 &之放電加工之放電加工方法及敦置之 [以往技術] 首先將以往之# 之整體構成表示於=電加工裝置之一例,線放電加工裝置 中嘴出加工液之下^圖。^,2為被加工物,3為加卫 工液之上部嘴嘴,;;喷施嘴:NC裝置,5為加工中喷出加 =及v轴驅動=使=内裝_ 置對於下部喷嘴3 ::面力時使上部噴嘴5之位 力之加工電源裝置為工物2及線電極6供給加工電 Μ—),22為改變線1為極^之線電極捲轴Uire 極6給予一定之張力 11之⑺輪,23為對於線電 達,28為將板8向Χ轴方向移動之X轴飼服馬 29為將斜面加工轴方向移動之Υ抽飼服馬達, 服馬達,30為將斜面加工坡^嘴5向2轴方向移動之ζ軸伺 馬達,31為將斜面丄=_軸方向移動之U轴飼服 達。在此,關“裝置 轴方向移動之¥軸伺服馬 略而不予記述 被加卫物2及線電極6之供電方式則省 圖為’在以往之線放電加工裝置為獲得更為平 滑之加工面之粗糙度所需之工作台面板部分之構成圖,圊
C:\Program FiIes\Patent\310545. ptd 第 4 頁
464574 五、發明說明(2) t,1為絕緣配件,2為被加工物,3為在加工中喷出加工 液之下部喷嘴,5為在加工中噴出加工液之上部噴嘴,1〇 為供電線’ 11為精細加工供電線,1 2為施行供電線及精細 加工供電線11之供電通斷之接觸器,13為施行對於被加工 物供電之供電線10之供電通斷之輔助接觸器,14為貯存浸 潰被加工物2、下部噴嘴3及上部噴嘴5等之加工液之加工 槽。 再者,在第8圖中,對於線電極之供電方式則省略而 不予記述。 其次’說明供電方法。例如,加工面之表面粗繞度為 大於3 /zmRmax時之加工時使用供電線10反精細加工供電線 11以施行加工,若加工面之表面粗糙度更為平滑之3 μ mRmax以下時之加工時僅使用精細加工供電線11使加工能 量減少以施行高精確度加工》此為,當被加工物2之材質 為SKD11,被加工物之厚度為20 mm,線電極6之材質為黃 銅,線電極6之直徑為0.2 mm時之一例;若被加工物2之材 質或厚度變化時,或線電極6之材質或直徑變化時,變更 供電量之加工面之表面粗糙度(前述例中為mRinax)亦變 化0 以下,以變更供電量之加工面之表面粗糙度為3// mRmax之情況為例說明。 第8圖(a)中,絕緣配件1係設置在工作台面板8之上 部,被加工物2載置於其上部。經過施行加工完了後該產 品所要求之加工面之表面粗糙度決定之加工次數,及依據
C:\Program Files\Patent\310545. ptd 第 5 頁 4 S 4 5 7 4 五、發明說明(3) 該加工次數之加工電源裝置9之能量之設定值輸入於加工 程式進行程式’當加工面之表面粗链度成為3 /imRinax以下 之加工時,經由接觸器12之動作停止供電線1〇之供電,由 此成為僅有精細加工供電線11之供電。在其同時,輔助接 觸器1 3成為啟開狀態時,可以成為除了精細加工供電線丄i 之供電外均為絕緣之狀態,結果防止迴流流入電流,可以 有更為平滑之表面粗糙度之加工。 但是,在第8圖(a)之構成,工作台面板8之上部有絕 緣配件1,工作台面板8與絕緣配件1之組裝必須在實際施 行加工之現場實施以使被加工物2固定在絕緣配件1,因此 比較被加工物2直接安裝於工作台面板8之情況其準備時間 延長,結果引起放電加工所製造配件之製造成本增大之問 題。 第8圖(b)中,被加工物2直接設置在工作台定盤8之上 部〇由此施行加工完了後之產品所要求之加工面之表面粗 链度決定之加工次數,以及依據該加工次數之加工電源裝 置9之能量之設定值輸入於加工程式中進行該程式,加工 面之表面粗链度成為3 jtzniRinax以下之加工時停止供電線ι 〇 之供電,僅留下精細加工供電線11之供電。結果可以成為 除了精細加工供電線11之供電以外均為絕緣之狀態,由此 防止迴流流入之電流,可以達成更為平滑之表面粗糙度之 加工。 但是,在第8圖(b)之構成,即使工作台定盤8之下部 組裝絕緣配件1,但由於加工槽14與工作台面板8之距離
C:\Program F i1es\Patent\310545. ptd 第 6 頁 4 6 4 5 7 4 五、發明說明(4) -------- 近,設如加工槽14與工作台面板8相對向之面積增大時 :-種:容器,尤其施加交流電壓時,即使有絕緣而仍秋 &通電流結果,加工電力增加而無法獲得所預期之加工面 之表面粗链度。由於此,&避免加工槽14與工作台面板8 之距離太過接近,使用大的絕緣配件之情況為,引起盔法 避免使用瓷等高價材料製成之絕緣材料而使材料成本昇高 及加工成本增大之問題。 再者’為因應近年之放電加工裝置之加工配件市場之 縮短交貨期限之趨向,及高精確度加工之要求,使兼顧加 工精確度之提昇與加工速度之提昇之需求益見昇高。 在以往,為獲得平滑之加工面之表面粗糙度之前述第 8圖(a)及(b)所示之方法,雖然加工面之表面粗糙度可以 更為平滑’但由於使用絕緣配件1而由供電線及精細加工 供電線施行供電,因此受到供電線及精細加工供電線之電 感等使放電峰值電流降低’尤其使粗加工時之加工速度降 低。因此丨起無法達成前所述強烈期望兼顧加工精確度 與加工速度提昇之問題。 [欲解決之問題] 本發明為,解決前述問題而研創者;其目的在於提 供,可以兼顧加工精確度之提昇與加工速度之提昇之同 時’可以期求成本之大幅度縮減之放電加工方法及裝置。 [解決問題之手段] 第1發明之放電加工方法為,設置經由内部之流體之 壓力施行膨脹或收縮之袋狀體,在被加工物之加工面之表
464574 五、發明說明(5) 面粗糙度大於預定值時,使前述袋狀體成為收縮狀態而在 加工槽與工作台夾盤之間充滿加工液以施行加工,前述被 加工物之加工面之表面粗糙度為預定值以下時,使前述袋 狀體成為膨脹狀態而減少流入前述加工槽與前述工作台面 板之間之前述加工液以施行加工。 第2發明之放電加工方法為,在第1發明之放電加工方 法中,前述被加工物之加工面之表面粗糙度大於預定之值 時,經由可以增減加工電力之供電量控制裝置增加供電量 以施行加工’前述被加工物之加工面之表面粗糙度為預定 值以下時,由前述供電量控制裝置減少供電量以施行加 工〇 第3發明之放電加工方法為,被加工物之加工面之表 面粗糖度大於預定值時’在形成於工作台定盤與加工槽之 間,對於前述加工糟内之加工液之遮蔽空間中充滿高介質 常數之物質以施行加工,前述被加工物之加工面之表面粗 糙度為預定值以下時,前述遮蔽空間中充滿低介質常數之 物質以施行加工。 第4發明之放電加工方法為,在第3發明之放電加工方 法中:當前述被加工物之加工面之表面粗糙度大於預定值 時’經由可以增減加工電力之供電量控制裝置增加供電量 以施行加工,@前述被加工物之加工面之表面粗糙度為預 定值以下時,經由前述供電量控制裝置減少供電量以施 行加工。
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接前述工 用以配 盤及前 係用以 部之流 前述袋 等,並 時,使 前述加 工;當 時,使 流入於 施行加 置在工作台 述加工槽, 配置在前述 體之壓力施 狀體内部之 且當被加工 前述袋狀體 工槽與前述 前述被加工 前述袋狀體 前述加工槽 工〇 定盤與加 由此支持 工作台面 行膨脹或 壓力變化 物之加工 經由前述 工作台面 物之加工 經由前述 與前述工 工槽之 前述工 板與前 收縮; ,使前 面之表 膨縮裝 板之間 面之表 膨縮裴 作台面 間,連 作台面 述加工 一膨縮 述袋狀 面粗縫 置成為 充滿加 面粗链 置成為 板之間 板; 袋 槽之間, 裝置,係 體膨脹或 度大於預 收縮狀態 工液以施 度為預定 膨脹狀態 之前述加 作台定 狀體, 經由内 用以使 收縮 定值 ,而在 行加 值以下 而減少 工液以 第6發明之放電加工裝置為,在第5發明之放電加工裝 置中,包括可以增減加工電力之供電量控制裝置,當前述 被加工物之加工面之表面粗糙度大於預定值時,經由前述 供電量控制裝置增加供電量以施行加工;當前述被加工物 之加工面之表面粗糖度為預定值以下時,經由前述供電量 控制裝置減少供電量以施行加工。 第7發明之放電加工裝置為,包括;一絕緣配件,係 用以配置在工作台面板與加工槽之間,連接於前述工作台 面板及前述加工槽,由此支持前述工作台面板;一遮蔽空 間’係形成在前述工作台面板與前述加工槽之間,對於前 述加工槽内之加工液施行遮蔽;一流體供給回收裝置,係 具有在前述遮蔽空間將高介質常數之物質供給及回收之機
C:\Program Files\Patent\310545. ptd 第 Θ 頁 '46457 4 五、發明說明(7) 能,及低介質常數之物質供給及回收之機能等,並且當被 加工物之加工面之表面粗糙度大於預定值時,經由前述流 體供給回收裝置對於前述遮蔽空間充滿高介質常數之物質 以施行加工,而當前述被加工物之加工面之表面粗糙度為 預定值以下時,經由前述流體供給回收裝置對於前述遮蔽 空間充滿低介質常數之物質以施行加工。 第8發明之放電加工裝置為,在第7發明之放電加工裝 置中,包括可以增減加工電力之供電量控制裝置,當前述 被加工物之加工面之表面粗糙度大於預定值時,經由前述 供電量控制裝置增加供電量以施行加工,前述被加工物之 加工面之表面粗糙度為預定值以下時’經由前述供電量控 制裝置減少供電量以施行加工。 [圖式簡單說明] 第1圖為’本發明之實施例1之放電加工裝置之全面構 成圖。 第2圖為,本發明之實施例1之工作台面板部分之構成 圖。 第3圖為,表示本發明之實施例1之供電線,精細加工 供電線及袋狀體在加工時之狀態之表圖。 第4圖為,本發明之實施例2之放電加工裝置之工作台 面板部分之構成圖。 第5圖為,表示本發明之實施例2之流體供給回收裝置 之構成之一例之圖。 第6圖為’表示本發明之實施例2之供電線,精細加工
C:\Program Files\Patent\310545. ptd 第 10 頁 4 6457 4 五、發明說明(8) --- 供電線及空間A之加工時之狀態之表圖。 第7圖為,以往之放電加工裝置之全面構成圖。 第8圖為,以往之放電加工裝置之工作台面板部分之 構成圖。 [符號說明] 1 絕緣配件 2 被加工物 4 NC裝置 8 工作台面板 14 加工槽 15 袋狀體 16 膨縮裝置 17 加工液 19 流體供給回收 裝置 27 X輛伺服馬達 28 Y軸伺服馬達 29 Z軸伺服馬達 30 U軸伺服馬達 31 V轴伺服馬達 [實施例] 實施例1 第1 圖及第2圖為, 表 示 本發 明之實施例1之放電加工 裝置’表不線放電加工裝 置 為一 個實例之情況。再者’第 1圖表示 全面構成,第2圖 表 示工 作台夾盤部分之構成。再 者,第1 圖及第2圖中, 對 於 以往 技術之第7圖及第8圖之相 同或相當部分附加相同符 號 0 第1 圖中,1 5為經 由内部之流體壓力施行膨脹或收縮 之袋狀體,16為可以使袋 狀 體15 膨脹或收縮之膨縮裝置’ 例如經由泵等之流體之能 量 傳達使袋狀體15内部之壓力變 化,由此使袋狀體15膨脹 及 收縮 。再者,在第2圖中’ 17 為加工液,在加工槽14内 浸 潰被 加工物2等。
C:\PrograniFiles\Patent\310545.ptd 第 11 頁 4 q 4 5 7 4 五、發明說明(9) 供電方法為,與以往技術中所說明之放電加工裝置相 同’以下仍以加工面之表面粗糙度為3 // mRmax以變更供電 量之情 >兄為例說明。 第2圖(a)為表示加工面之表面粗糙度大於3 時 之加工時之工作台面板部分之構成,第2圖(b)為表示加工 面之表面粗糖度為3 /zniRmax以下時之加工時之工作台面板 部分之構成。再者,第2圖(c)為表示第2圖(a)之剖面 X-X °袋狀體15為設置在工作台面板與加工槽之間,經由 膨縮裝置16施行膨脹或收縮。 加工面之表面粗繞度大於3 #mRmax時之加工時,如第 2圖(a)所示使袋狀體15經由膨縮裝置16成為收縮狀態,由 此在加工槽1 4與工作台面板8之間充滿加工液1 γ。經由 此在加工槽14與工作台面板8之間形成一種電容器,蓄 積於電容器之電荷由交流電力以電流流出,由此補償對於 被加工物2之供電量可以防止加工速度之降低。 、 加工面之表面粗链度為3 emRmax以下時之加工時,如 第2圖(b)所示袋狀體15經由膨縮裝置16成為膨脹狀態由 此對於加工槽14與工作台面板8之間儘量不流入加工^液 17。袋狀體15中填充空氣等介質常數低之物質。所填充之 物質只求介質常數低,氣體或液體均可以使用。經由袋狀 體1,5之膨脹抑制加工槽14與工作台面板8之間成為一種電 容器’由此確保工作台面板8之絕緣狀態,結果可以獲得 更為平滑之表面粗链度之加工面。 袋狀體15可以使用例如伸縮囊狀、枕狀、管狀等種種
C:\ProgramFiles\Patent\310545.ptd 第 12 頁 46457 4 五、發明說明(ίο) 形狀’只需成為如前所述,内部可以填充流體,可以經由 膨縮裝置16使袋狀體15之内部壓力變化,可以施行膨脹及 收縮者即可。 其次’說明絕緣配件1與袋狀體丨5之配置。第2圖(c) 為’工作台面板8成為矩形狀之情況之一例,在工作台面 板8之四角配置絕緣配件1,工作台面板$與加工槽14經過 絕緣配件固定。再者,袋狀體1 5在4個絕緣配件1之間以填 補間隙之狀態配置。第2圖中,袋狀體1 5之配置僅在工作 台面板8之底面,但亦可以配置在工作台面板8之側面。再 者’絕緣配件1為’可以直接使工作台面板8及加工槽14連 接’亦可以經由間隔片(spacer)等間接連接。 第3圖表示’加工面之表面粗链度大於3 " mifmax之情 況之加工時與加工面之表面粗糙度為3 " 以下之情況
之加工時’供電線、精細加工供電線及袋狀體15之加工時 之狀態之—覽表。此等狀態之切換指示為,由NC裝置4對 於加工電源裝置9發出電條件之切換指示時,由NC裝置4發 出指令。再者’對於X軸伺服馬達2 7、γ軸伺服馬達28、z 軸伺服馬達29、ϋ軸伺服馬達3〇、X軸伺服馬達31之移動指 令為’在袋狀體15之膨脹或收縮終了後發出。 S
C:\Program Files\Patent\310545. ptd 第 13 頁 作為施行供電量之增減之供電量控制裝置為,除了乾 所述經由接觸器等施行多數之供電線之通斷之構成外,5 可使用在加工電源裝置9之内部控制供電量後再經過供電 線施行供電等種種構成,只要是可以增減供電量者即可。 再者’絕緣配件1為,如第2圖(C)所說明除了絕緣 464574 五、發明說明(11) 作台面板8之目的外,亦有將工作台面板8固定之功能。由 於此’在第2圖(c )之例中使用4個絕緣配件1,但不限定於 4個,可以因應於工作台面板8之大小之需求任意變更。 在此,絕緣配件1之厚度宜取可以施行工作台面板8之 絕緣與固定之程度之厚度之同時,由於形狀成為小型,因 此大幅度削減高價格材料之使用量,可以達成大幅度之成 本降低β 實施例2 第4囷為表示,本發明之實施例2之放電加工裝置之工 作台面板部分之構成’對於實施例1之第2圖之相同或相當 部分附加相同符號。第4圖(a)中,18為由工作台面板8與 加工槽14之間不流入加工槽14内之加工液17之方式,形成 對於加工槽14内之加工液17遮蔽之遮蔽空間之側壁,19為 具有,對於前述遮蔽空間(以下,稱為空間A),將加工液 等介質常數高之物質供給及回收之機能,及空氣等介質常 數低之物質供給及回收之機能之流體供給回收裝置。再 者,第4圖(b)為表示第4圖(a)之剖面Y-Y,表示由側壁18 隔間之空間A。 流體供給回收裝置19之構成之一例表示於第5圖。該 例中’表示介質常數高之物質使用加工液17,介質常數低 之物質使用空氣之情況。圖中,41至43為閥,44 ' 45為配 管,46為泵閥41為施行空間a與大氣之間之啟閉,配管45 為經由閥43連接空間A與加工槽14。 對於空間A供給加工液1 7時,閉合閥41 *啟開閥4 2,
C:\Program F iles\Patent\310545. ptd 第 14 頁 4d4574 五、發明說明(12) 啟開閥43,以加工液17之壓力由配管45將加工液17向空間 A供給而充滿,然後閉合閥4 2。其次,回收加工液1 7,對 於空間A供給空氣時,首先閉合閥4 3、啟開閥4 2、以泵4 6 將空間A内之加工液17由配管44¾上加工槽14内,此時啟 開閥41即可以使空間A充滿空氣。如此,對於空間a可以供 給高介質常數之物質及供給低介質常數之物質。 加工面之表面粗糖度大於3 /zmRm ax時之加工時,經由 流體供給回收裝置1 9,在空間A中充滿加工液等高介質常 數之物質。充滿之物質只要是介質常數高者氣體或液體均 可使用。如此,在加工槽14與工作台面板8之間形成一種 電容器’蓄積於電容器之電荷受到交流電力以電流流出, 由此補償對被加工物2之供電量而防止加工速度之降低。 加工面之表面粗糙度為3 /Z mRm ax以下時之加工時,經 由流體供給回收裝置19,使空間A中充滿空氣等介質常數 低之物質。所填充之物質只要是介質常數低者氣體或液體 均可以使用。經由此,抑制加工槽1 4與工作台面板8之間 形成一種電容器’確保工作台面板8之絕緣狀態,結果可 以獲付表面粗較度更為平滑之加工面。 關於絕緣配件1與侧壁1 8之配置,使用第4圖(b)說 明。作為一例,由工作台面板8成為矩形形狀之情況說 明。工作台面板8之四角配置絕緣配件1由此使工作台面板 8固定在加工槽U ’且在4個絕緣配件1間填補間隙之方式 配置側壁18。本說明中僅針對工作台面板8之下面,但亦 可以配置於側面。
C:\Prograra Files\Patent\310545. ptd 第 15 頁 〇457 4 五、發明說明(13) 第6圖中表示加工面之表面粗糙度大於3 ymRmax之情 況之加工時與加工面之表面粗糖度為3 ymRaiax以下之情況 之加工時,供電線、精細加工供電線及空間A之加工時之 狀態之一覽表》此等狀態之切換指示可以由實施例1同樣 施行。 在前述實施例2中,與實施例1同樣,絕緣配件1之厚 度宜使用可以施行工作台面板8之絕緣與固定之厚度之同 時,由於可以成為更小型,因此大幅度削減高價格材料之 使用量,可以達成大幅度之成本降低。 在前述說明中,以線放電加工裝置為例而說明,但本 發明也可以適用於形彫放電加工裝置等其他放電加工裝 置,自不待言。 如前所述,本發明之放電加工方法及裝置為,由於可 以期求兼顧加工精確度之提昇與加工速度之提昇,可以期 求大幅度降低成本,適合使用在放電加工作業。 [發明效果] 本發明具有以下所述效果。 第1發明及第3發明之放電加工方法為,被加工物之加 工面之表面粗糙度大於預定值時,由於可以補償對於前述 被加工物之供電量,可以防止加工速度之降低。再者,前 述被加工物之加工面之表面粗糙度為預定值以下時,由於 可以確保工作台面板之絕緣狀態,可以獲得更為平滑之表 面粗糙度之加工面。由於此,可以兼顧加工精確度之提昇 及加工速度之提昇。再者,由於可以期求所使用之絕緣配
C:\Program Files\Patent\310545. ptd 第 16 頁 4 6457 4 五、發明說明(14) 件之小型化,大幅度削減高價格材料之使用量,可以達成 大幅度之成本降低。 第2發明及第4發明之放電加工方法為,除了具有第1 發明及第3發明之同樣效果外,由於由被加工物之加工面 之所定值之表面粗糙度切換供電量,可以期求加工精確度 更為提昇及加工速度更為提昇。 第5發明及第7發明之放電加工裝置為,具有第1發明 及第3發明之同樣效果。 第6發明及第8發明之放電加工裝置為,具有第2發明 及第4發明之同樣效果。
C:\PiOgramFiles\Patent\310545.ptd 第 17 頁
Claims (1)
- ^64574 六、申請專利範圍 i· 一種放電加工方法,係對於固定在貯存加工液之加工槽 中之工作台面板上之被加工物與電極之間供給加工電力 ’以放電將别述被加工物加工之放電加工方法; 當前述被加工物之加工面之表面粗縫度大於預定值 時,使經由内部之流體之壓力施行膨脹或收縮之袋狀艎 成為收縮狀態’對於前述加工槽與前述工作台面板之間 充滿前述加工液施行加工; 當前述被加工物之加工面之表面粗链度為預定值以 下時,使前述袋狀體成為膨脹狀態’減少流入於前述加 工槽與前述工作台面板之間之前述加工液以施行加工。 2· 一種放電加工方法’係對於固定在貯存加工液之加工槽 中之工作台面板上之被加工物與電極之間供給加工電力 ,以放電對前述被加工物加工之放電加工方法; 當前述被加工物之加工面之表面粗糖度大於預定值 時’在前述工作台面板與前述加工槽之間形成,而將前 述加工槽内之前述加工液遮蔽之遮蔽空間中充滿高介質 常數之物質以施行加工; 當前述被加工物之加工面之表面粗糙度為預定值以 下時,將前述遮蔽空間中充滿低介質常數之物質以施行 加工。 3.如申請專利範圍第1項或第2項之放電加工方法,前述被 加工物之加工面之表面粗糙度大於預定值時,由可以增 減前述加工電力之供電量控制裝置增加供電量以施行加 工,前述被加工物之加工面之表面粗链度為預定值以下 111 C:\ProgramFiles\Patent\310545.ptd 第 18 頁 464574 六、 申請專利範圍 時 經 由 前 述 供 電 量 控 制 裝 置 減 少 供 電 量 以 施 行 加 工 0 4. -— 種 放 電 加 工 裝 置 係 對 於 固 定 在 貯 存 加 工 液 之 加 工 槽 中 之 工 作 台 面 板 上 之 被 加 工 物 與 電 極 之 間 供 給 加 工 電 力 以 放 電 施 行 前 述 被 加 工 物 之 加 工 之 放 電 加 工 裝 置 此 裝 置 包 括 • 一 絕 緣 配 件 配 置 在 前 述 工 作 台 面 板 與 前 述 加 工 槽 之 間 連 接 前 述 工 作 台 面 板 及 前 述 加 工 槽 由 此 支持 前 述 工 作 台 面 板 袋 狀 體 係 配 置 在 前 述 工 作 台 面 板 與 前 述 加 工 槽 之 間 以 内 部 之 流 體 之 壓 力 施 行 膨 脹 或 收 縮 '— 膨 縮 裝 置 用 以 使 前 述 袋 狀 體 内 部 之 壓 力 變 化 而 可 以 使 前 述 袋 狀 施 行 膨 脹 或 收 縮 0 5. 一 種 放 電 加 工 裝 置 係 對 於 固 定 在 貯 存 加 工 液 之 加 工 槽 中 之 工 作 台 面 板 上 之 被 加 工 物 與 電 極 之 間 供 給 加 工 電 力 以 放 電 施 行 前 述被 加 工 物 之 加 工 之 放 電 加 工 裝 置 此 裝 置 包 括 一 絕 緣 配 件 配 置 在 前 述 工 作 台 面 板 與 前 述 加 工 槽 之 間 連 接 前 述 工 作 台 面 板 及 前 述 加 工 槽 由 此 支持 前 述 工 作 台 面 板 t — 遮 蔽 空 間 形 成 在 前 述 工 作 台 面 板 與 前 述 加 工 槽 之 間 對 於 前 述 加 工 槽 内 之 前 述 加 工 液 施 行 遮 蔽 流 體 供 給 回 收 裝 置 在 前 述 遮 蔽 空 間 内 具 有C:\ProgramFiles\Patent\310545.ptd 第 19 頁 ^ 〇 4 5 7 4 六、申請專利範圍 介質常數之物質供給及回收之機能,及低介質常數之物 質供給及回收之機能等。 6.如申請專利範圍第4項或第5項之放電加工裝置,包括可 以增減前述加工電力之供電量控制裝置,當前述被加工 物之加工面之表面粗糙度大於預定值時,由前述供電 控制裝置增加供電量以施行加工,前述被加工物之加工 =表::糖度為預定值以下時’由前述供電量控制裝 置減少供電量以施行加工。 裝C:\Program Files\Patent\310545. ptd 第 20 頁
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