TW459129B - Method for evaluating displaying element of liquid crystal, information storage medium for storing computer program representative of the method and evaluating system using the same - Google Patents

Description

459129 五、發明說明（l) 【發明領域】 fS ί ί月係關於—種液晶顯示元件評估方法以及一種使 用於其中的評估系统，尤其關於—種用以量測液晶之：： 與：均傾斜角以及液晶層之厚度的方法、一種使用於直中 的設備、以及-種用以評估基板之用以規範液 能 的方法。 /m此刀 【相關技藝之說明] 喊中揭露一種 度等於基板間 本未實審專利 件上時，透射 而決定。使用 議基於透射光 來確定單元間 的焦點深度。 出聚焦位置依 位置依隨性來 第 6-265839 與 器間間隙之液 申請案公報第 曰本未實審專利申請案公報第4-307312 用以量測液晶層之厚度的方法。液晶層之厚 之間隙，據此稱之為「單元間隙」。依據曰 申請案公報，當連續極化光束入射於液晶元 光之強度表現出波長依隨性，亦即依據波長 波長依隨性，日本未實審專利申請案公報提 之強度來確定單元間隙。 另一先前技藝量.測系統係基於反射強度 隙。在共焦系統中’收斂光束係假定為極小 當收斂光束入射於樣品上時，反射強度表現 隨性，亦即依據聚焦位置而決定。使用聚焦 確定單元間隙。 … 至於扭角，日本未實審專利申請案公報 6-26 5840號提議基於穿過填滿偏振器與解析 晶之透射光強度來確定固定角。 至於單元間隙與扭角’曰本未實審專利 459129 五、發明說明（2) 8-184413號提議某於—斜谪曰 +基於一對液阳顯示元件之方向與偏振器/ 確定單元間隙與挺角。先前技藝系統包括 Ξΐ:光；；ϋ、二對液晶顯示元件、解析器、光㈣ 示元#、u 早色光，射出且穿過偏振器、二對液晶顯 器、、則曰入μ *解析器。單色光入射至光偵測器上。光偵測 =入射光強度。偏振器/解析器之方向與二對液晶顯 不凡之方向改變。晝出Λ射光強度，且確定區域最小 值。偏振器/解析器之方向與二對液晶顯示元件之方向係 讀取於區域最小值，且基於偏振器/解析器之方向與二對 液晶顯示元件之方向來確定單元間隙與扭角。 曰本專利第2778935號提議測量單元間隙與扭角，以 確定固定角。單元間隙與扭角係基於解析器之方向與液晶 元件之方向而確定於透射光強度之區域最小值。為了增強 精確度’先前技藝直測系統包括光源、偏振器、液晶顯示 元件、解析器、光貞測器、以及光彈性元件。 在利用波長依隨性的先前技藝方法以及以及利用共焦 系統的先前技藝方法中，藉由利用液晶與基板間折射率之 差異來確定單元間隙。然而，作為液晶顯示元件之結構之 特徵的扭角並未藉由先前技藝方法而確定。雖然日本未實 審專利中請案公報第6-265839與6-265840號中所揭露的先 前技藝方法可用以確定扭角，但必須已知單元間隙。 曰本未實審專利申請案公報第8-1 844 1 3號與曰本專利 第2778 935號中所揭露的先前技藝方法係用以基於二對液 晶顯示元件之方向以及偏振器/解析器之方向於透射光強

4 5 9 12 9 五、發明說明（3) 度之區域最 而，先前技 種組合提供 向。為了確 角，必須知 單元間 度，亦即量 而’不容易 方向。在單 透射光之強 意謂液晶顯 精確。倘若 光之強度不 定。 小值來 藝方法 液晶顯 定給定 道扭角 隙與扭 測液晶 準確地 元間隙 度變化 示元件 單元間 會取決 確定單元 僅教導單 示元件之 的樣品之 或單元間 角之組合 顯示元件 測量液晶 與扭角之 一點點， 之方向以 隙與扭角 於樣品之 間隙與 元間隙 方向以 單元間 隙。 之精確 之方向 顯示元 組合靠 且難以 及偏振 之組合 方向， 扭角，如前所述。然 與扭角之組合。有複數 及偏振器/解析器之方 隙或給定的樣品之扭 度係取決於測量之準確 以及解析器之方向。然 件之方向以及解析器之 近摩根極限之例子中， 確定區域最小強度。此 解析器之方向較不 滿足摩根極限，則透射 且單元間隙與扭角2 【發 其免 其儲 實現 法， 明概 因而 於先 本發 存代 本發 評估 述 9 .広 剛 明 表 明 方 ] 本發明 技藝方 之另一 依據 之又 法0 本 之一重要目的在於提供一猫▲ 法所存在之問題。 "平估方法， 重要目的在於提供一種資訊 發明之方法的電腦種式。 伟媒體， 重要目的在於提供一種評估 屯統’其中 一態樣，提供一種液晶顯示 :a)照射具有一特定波帶與件評估方 包含下列步 驟 預定的

第7頁 459129 五、發明說明（4) 偏極化之一光束至該液晶顯示元件以產生一透射光束；b ) 量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透射光束之該 偏極化之波長依隨性中之至少一種依隨性；以及基於 該方向依隨性與該波長依隨性中之該至少一種依隨性而確 定褐限於該液晶顯示元件中之液晶之扭角、該液晶之平均 傾斜角、與該液晶之厚度中之至少一物理量。 依據本發明之另一態樣，提供一種液晶顯示元件評估 方法’包含下列步驟：a)照射具有一特定波帶與一預定 的偏極化之一光束至該液晶顯示元件之一部分以產生一透 射光束；b)量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該 透射光束之該偏極化之波長依隨性卡之至少一種依隨性； c)移動該液晶顯示元件於一垂直於該光束之光軸之虛擬 平面上，使得該光束入射至該液晶顯示元件之另一部分 上；d)對於該液晶顯示元件之該另一部分重複該步驟 b);以及e)基於該方向依隨性與該波長依隨性中之該至 少一種依隨性而確定褐限於該液晶顯示元件中之液晶之扭 角、該液晶之平均傾斜角、與該液晶之厚度中之至少一物 理量之分散度。 依據本發明之又一態樣，提供一種資訊儲存媒體’用 以儲存一代表液晶顯示元件評估方法之電腦程式’其中該 方法包含下列步驟：a)照射具有一特定波帶與一預定的 偏極化之一光束至該液晶顯示元件以產生一透射光束；b) 量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透射光束之遠 偏極化之波長依隨性中之至少一種依隨性；以及c)基於

第8頁 4 5 9 1 2 9 發明說明（5) f方向依隨性與該波長依隨性中之該至少一種依隨性而確 限於該液晶顯示元件令之液晶之扭角、該液晶之平均 傾斜角、與該液晶之厚度甲之至少一物理量。 、依據本發明之再一態樣，提供一種資訊儲存媒體，用 以儲存—代表液晶顯示元件評估方法之電腦程式，其中該 方法包含下列步驟：a)照射具有一特定波帶與一預定的 偏極化之一光束至該液晶顯示元件之一部分以產生一透射 光，’ b)量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透 射光束之該偏極化之波長依隨性中之至少一種依隨性；c) 移動該液晶顯示元件於一垂直於該光束之光袖之虛擬平面 上’使得該光束入射至該液晶顯示元件之另一部分上；d) 對於該液晶顯示元件之該另一部分重複該步驟b);以及e) 基於該方向依隨性與該波長依隨性中之該至少一種依隨性 而讀定侷限於該液晶顯示元件中之液晶之扭角、該液晶之 平均傾斜角、與該液晶之厚度中之至少一物理量之分散 度。 依據本發明之更一態樣’提供一種液晶顯示元件評估 設備’包含：一光源，照射一光束向該液晶顯示元件；一 偏振器，設於該光源與該液晶顯示元件間，用以從該光束 產生一偏極化光束；一樣品臺’維持該液晶顯示元件於該 偏極化光束之光軸上；一解析器’設於該偏極化光束之該 光軸上；一光強度量測單位，用以量測穿過該解析器之^ 射光束之光強度且產生代表該光強度之數據資訊；以及— 數據處理系統，選擇性連接至5亥光源、該偏振器、今樣σ

459129 五、發明說明（6) - 一 臺、與該解析器，用以控制其態度，且連接 ::單位，用以接收該二據資訊，且量測該透射;;束之偏極 ^之方向依隨性與該透射光束之該偏極化之波長依隨性中 ^至少一種依隨性，以確定侷限於該液晶顯示元件中之液 曰日之扭角、該液晶之平均傾斜角、與該液晶之 中之至 ^ —物理量。 【較佳實施例之 從下文附有 系統之特徵與優 光之偏極化 表平行於在垂直 之兩轴中之一軸 電場分量的另一 △。當tan(- Ψ) 通常而言，電場 常直角座標系統 在用以確定 解析器之方向於 軸之方向。因而 全確定。液晶顯 元件之性質將經 透射光之偏極化 像產生表面上， 詳細說明】 圖示之說明可更清楚明瞭評估方法與評估 點。 係由比值Ep/ES與相位差△所描述。Ep代 於行進光之平面上定義正常直角座標系統 的電場分量之振幅，且Es代表垂直於前述 電場分量之振幅。電場分量具有相位差 等於Ep/ES時，則角度ψ代表比值Ep/Es。 分量Es與Ep在垂直於行進光之平面上之正 中之橢圓軌道上移動。 單元間隙與扭角的先前技藝方法中，確定 透射光之區域最小強度相等於確定橢圓短 ，透射光之偏極化藉由解析器之方向不完 示元件控制透射光之偏極化，且液晶顯示 由確定透射光之偏極化而確定。為了確定 ’極化的單色光入射於液晶顯示元件之影 而確定透射光之偏極化。即使樣品之單元

第10頁 五、發明說明（7) --- 間隙與扭角靠近摩根極限’單元間隙與扭角仍基於入 之偏極化與透射光之偏極化間之關係或樣品之方向鱼透^ 光之偏極化間之關係而精確確定。再者，透射光之偏極化 更取決於液晶分子之平均傾斜角。透射光之偏極化對於樣 品之方向具有依隨性，此種依隨性在下文中稱之為「方向 依隨性」。倘若方向依隨性被精確測量，則可確定平均傾 斜角。 雖然確定方向依隨性，但必須已知單元間隙或扭角範 圍’因為有複數種單元間隙與扭角間之組合。方向依隨性 隨著入射光之波長呈非線性變化。本發明提議將複數個光 分量照射至液晶顯示元件之表面’用以確定方向依隨性。 光分量相互間之波長不同但偏極化相同。每一透射光分量 之偏極化取決於對應的入射光分量之偏極化。每一透射光 分量之偏極化與相關聯的入射光分量之偏極化間之依隨性 於下文中稱之為「偏極化依隨性」。再者，每一透射光分 量之偏極化取決於樣品之方向。使用偏極化依隨性或方向 依隨性’單元間隙與扭角被唯一地確定。倘若精確測量方 向依隨性，則更確定平均傾斜角。 使用白光源作為入射光源’且組合有光譜儀，用以量 測方向依隨性之波長分散度^然後’類似於使用不同波長 之複數光分量之方法，單元間隙與扭角被唯一地確定。 在樣品之方向固定之例子中，在波長區間等於奈米 或更少之條件下，於透射光之偏極化之波長分散度中觀察 到取決於單元間隙的週期性。經由對於一或更多入射光分

第11頁 45 912 9 五、發明說明（8) '-- 觀察而唯一地確定單元間隙與扭角。倘 透射光之偏極化之波長分散度與方向依隨性， 可確疋液晶分子之平均傾斜角。 倘若適合的機制引起樣品於平面上運動、單元間 及單元間隙之扭角或分散，則在平面上確定液 釦子之扭角與平均傾斜角。 曰曰 第一實施相丨 圖1係顯示實施本發明之評估系統。參考符號1〇1代表 2源。光源101係採用He〜Ne雷射發射裝置，且使光束經由 偏振器102照射至欲評估的樣品。換言之，光轴從圖】中之 光源101向右延伸出。樣品1〇3附著於 1〇 ^ ^ 1 〇 4 器項取樣品103之方向。解析器1〇5關聯於樣品臺1〇4，且 光轴旋轉。解析器1〇5裝配有編碼器，1使用編碼 讀取解析器105之方向。光束穿過偏振器102、樣品 1乂、與解析器、105 ’ l落在光摘測器1〇6上。光偵測器- 疋入射光之強度。在此例子中，光偵測器丨〇 6係採用光 倍增器。 樣品臺104、解析器105、與光偵測器106連接於電腦 ’、統1 0 7。電腦系統1 〇 7控制樣品臺丨〇 4之方向與解析器工〇 5 之方向。透射光之偏極化取決於樣品2 〇3之方向，亦即方 =依隨性。電腦系統丨07基於由光偵測器1〇6所檢測的透射 光之強度計算透射光之方向依隨性，且確定樣品丨〇3之單

4 5 9 12 9 五、發明說明（9) 元間隙、扭角、與平均傾斜角。 假定二個正交方向。二個正交方向係位於垂直於行進 光之平面上。假定光之電場向量具有平行於二個正交方向 中之一個的s分量以及平行於二個正交方向中之另—個的p 分S。偏振器1 〇 2之方位係安置成產生線性偏極光，其中s 分量與p分量間之比值係1 : 1。偏振器1 〇 2對於s分量與p分 量兩者皆傾斜4 5度。透射光之偏極化係經由轉動解析器之 方法而確定。經由轉動解析器之方法基於取決於解析器之 方向所檢測出的光強度而確定穿過樣品的光之偏極化。所 檢測出的光強度係以2度之間隔來量測，亦即1 8 0個方向。 樣品A之製造如下。準備二片玻璃板。玻璃板之尺寸 係30毫米寬、40毫米長、以及1.1毫米厚。聚醯亞胺自旋 塗覆於玻璃板上。聚驢亞胺係由Nissan Chemical Corporation所製造，且以PI-A販賣。聚醯亞胺在烤爐中 以攝氏80度乾燥15分鐘。隨後，烤爐升溫至攝氏250度， 且燒結聚醯亞胺6 0分鐘。準襟一研磨軸。研磨軸係由人造 纖維製成，且研磨軸之直徑為3釐米。研磨軸以8 0 0 rpm轉 動。推進長度係0. 3毫米，且研磨軸每秒移動2 0毫米。此 研磨在室溫下重複三次。玻璃板係排列成使一玻璃板上之 研磨方向與另一玻璃板上之研磨方向交又90度。間隙物之 \ 直徑係5毫米，且間隙物混合於環氧化物系統中之二液體 黏附化合物内。使用二液體黏附化合物，將玻璃板组裝起 來。液晶經由毛細現象注入玻璃板間之空間。液晶表現出 攝氏62度的過渡溫度以及對於633奈米波長光之折射率為

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1.586與1.510。注入埠由環氧化物系 封。隨後，所形成的單开级構—也@ + ιπ化口物茶 ,^ ra . 早兀、^構在烤爐中以攝氏90度受熱2 %因此，液曰曰方位經由各向均等性製程而均勻。 、樣品A附著於樣品臺104，且光從光源1〇1照射至樣品 A。透射光穿過解析器105，且入射至光偵測器ι〇6上。偏 極化係由振幅比Ep/Es與相位差△所表達，且角度ψ代表 振幅比Ep/Es，如前所述。透射光之相位差厶與^产巫關 於樣品a之方向繪製於圖2與3令。圖2與3中觀察到ς動對 稱。樣品Α之單元間隙與扭角係基於實驗結果而確 下所述。 波長；I之光被假定至液晶元件。液晶具有折射率Ne盥 No。單元間隙為d、扭角為φ、平均傾斜角為0、且方向、 係關於s-分量為零。2. 2鍾士矩陣展現液晶元件之光學特 性，且鍾士矩陣之元素m、J12、J21 '與J22表示為 111 = sin (φ) Sin (φγ) + cos (φ) cos ( φν) χ y + iU c〇s( Φ) sin ( Φν)/ V Π2 = 〇〇3(Φ) sin (OV) - sin (φ) cos (Φν)/ γ _

iU sin ( φ) Sin ( 〇V) / V

J21 = -cos ( φρ ) sin ( Φν) + 8ίη(φ) cos(OV)/ V

+ iU sin(<I>) sin (ΦΥ) / V

J22 = 5ίη(φ) 3ίη(φν) + cos((1)) c〇s((I))/ v _ iif cos( Φ) sin( Φ)/ V 此處i係虛數單位且U與V係表示為 U - (Ne{l + (Ne2/No2 - 1) sin2 Θ YU2 - No)/ λ Φ

459Ί 2 9 五、發明說明（11) V = ( 1 + u2)1/2 倘若液晶元件之方向關於光之s分量傾斜A，鐘士矩陣之元 素Jll(A) 、J12(A) 、J21(A)、與J22(A)

Jll(A) = Jllcos2(A) - (J12 + J21) sin(A) cos(A) + J22 sin2(A) J12(A) = J12cos2(A) + (Jll - J22) sin(A) cos(A)-J21sin2(A) J21(A) = J21cos2(A) + (Jll - J22) sin(A) cos(A)-J12sin2(A) J22(A) = J22 cos2(A) + (J12 + J21) sin(A) cos(A) + J11 s i n2 (A) 如前文所述，入射光係線性偏極，且s分量與p分量間 之比值係1 ·· 1。透射光之s分量係J 11 (A) + J 1 2 (A)。p分 量係由角度Ψ所表示，其正切值亦即tan Ψ(Α)提供J21(A) + J22(A)與s分量Jll(A) + J12(A)之相位差Δ(Α)以及其 絕對值之比值 |J21(A) + J22(A)| / 丨 J11(A) + J12(A)|。計 算出的偏極化△ (Α)/ Ψ(Α)與測量出的偏極化△ / Ψ間之差 異被平方，且該平方數相加在一起。扭角Φ與單元間隙d 係確定於總和之區域最小值。 偏極化Δ (Α)/ Ψ(Α)之解答難以經由最小平方之標準 方法例如Marcut方法、最速落徑方法、與Gauss-Newton方 法所獲得。為了獲得解答，單元間隙d與扭角Φ於預定的 間隔下在特定範圍内變動。計算△ (A)與Ψ (A)之測量值與 計算值間之差異。將差異平方，且確定平方數之總合。詳

第15頁 五、發明說明（12) 言之，扭角以間隔占從Φϋήη變化至φπιβχ。條件是（Omax -<Dmin)/<5 + 1。另一方面，對於每一扭角，單元間隙 以間隔？？從dmiη變化至dmax。條件是（draax - dmiη)/乃+ 1。條件是（Omax - Φιπίη)/<5 + 1。對於{((J)inax - φ min)/ (5 + 1}與{(dmax - dmin)/;/+ 1}間之每一組合計 算偏極化Δ(Α)/ ψ (A)。因此，獲得一系列數值，其中每 一數值代表平方和。 搜尋此集合中給出平方和之最小值的單元間隙dl與扭 角Ψ 1。倘若所需的準確度大於欲計算的單元間隙與扭 角。從（dl ， )至（dl + π )之單元間隙範圍係由小於〇 之數值’舉例而言β / 1 〇所分隔，用以計算偏極化。至於 扭角’從（Φ 1 - d )至（Φ 1 + β)之扭角範圍係由小於<5 之數值，舉例而言3 / 1 0所分隔。總組合係1 21 ^對於1 21 組合中之每一個計算偏極化。測量值與計算結果間之差異 被平方，且將平方數加總。獲得另一系列數值，其中每二 數值代表平方和。搜尋此集合中給出平方和之最小值的單 το間隙df與扭角ψ 2。重複前述序列直到單元間隙間隔與 扭角間隔變得小於所需的準確度。 在未知研磨方向之例子中，首先計算偏極化Δ(Α)/ψ U)，如前所述。給出每一 Δα)<ψ(Α)之最大值的方向 出每一 △⑴或ψ⑴之最小值的方向Μη相比較 :給”：化Δ/Ψ之最大值的方向_χ與給出偏極化△/ 1 = 向0—，且經由此比較估計研磨方向。假 疋偏極化之方向依隨性為Δ(Α- Amax + 〇maxVw(A_ 459129

Amax + Omax)或 Δ(Α_ Amin + 〇min)/w(A_ Amin +

Om l n)，且重新什算偏極化。計算測量值與計算值間之差 異’且確定平方和。 代表前述方法之電腦程式顯示於圖4中，且儲存於電 腦系統107中。在樣品A之例子中，扭角與單元間隙預估為 90度與5微米之數量級。扭角範圍係從8〇度至1〇〇度，且單 元間隙範圍係從4微米至6微米。液晶之平均傾斜角以工度 =間隔從零變化至5度。使用圖丨所示之量測設備且計算測 虿偏極化，如前所述。計算平方和◊當平均傾斜角為3度 時’平方和最小。 當液晶之平均傾斜角調整為零時，經由圖4所示之電 腦程式’單元間隙、扭角、與平均傾斜角預估為5.丨3微 米：89. 8度、與3度。 相位差Δ之方向依隨性顯示於圖5中，且振幅比Ψ之 方向依隨性顯示於圖6中。計算相位差△與振幅比ψ。採 用轉動分析方法。在轉動分析方法中，解析器1 〇 5旋轉用 以調變入射至解析器1 〇 5上之光，且確定偏極化。得使用 轉動相位板方法。在轉動相位板方法中，插入相位板，例 如四分之一波長板，以藉由旋轉相位板調變光強度。偏極 化得經由另一使用電性調變的光彈性元件之可採用方法而 確定。 第二貧施合1_丨 圖1所示之評估系統用於樣品B，用以量測透射光之偏

第17頁 459129 五、發明說明（14) 極化。樣品B之製造如下。準備玻璃板。玻璃板之尺寸為 30毫米寬、40毫米長、與1.1毫米厚。由Nissan Chemical Corporation所製造的聚醢亞胺PI-B自旋塗覆於玻璃板 上。聚醯亞胺在烤爐中以攝氏8 0度乾燥1 5分鐘。隨後，聚 醯亞胺在烤爐中以攝氏180度燒結60分鐘。使用由人造纖 維製成的研磨軸’聚醯亞胺層於室溫中被研磨三次。研磨 軸之直徑為3釐米，且以800 r pm轉動。推進長度為〇.3毫 米，且研磨軸每秒移動20毫米。在每一玻璃板上之研磨方 向調整為5 0度，且使用混合有間隙物的二液體環氧化物黏 附化合物將玻璃板組合起來。間隙物之直徑為8毫米。液 晶經由毛細現象在室溫中注入玻璃板間之空間。液晶之過 渡溫度為攝氏62度’且對於633奈米波長光之折射率為 1. 586/1. 5 1 0。注入埠由環氧化物黏附化合物所密封。因 此，獲得液晶顯示元件。液晶顯示元件在烤爐中於攝氏90 度下遭受各向均等性處理2小時。液晶之方位被均勻化。 對於穿過樣品B的透射光測量偏極化之方向依隨性。 圖7與8顯示相位差△之方向依隨性與振幅比Ψ之方向依隨 性。偏極化之方向依隨性微弱至扭角與單元間隙難以經由 先前技藝方法而續定。然而’經由依據本發明之方法可確 定單元間隙與扭角。此方法類似第一實施例。在依據本發 明之方法中，單元間隙範圍與扭角範圍係從4微米至1 〇微 米且從20度至90度。單元間隙與扭角評估為8. 08微米與 44, 8 度。

第18頁 第三實施例. 圖! ：-了/品施=外，，第三實施例之評估系統類似於 不Λ二Γ貫施例…系統之樣品臺1。4被替 二 樣品103之主表面的虛擬平面上 移動的樣品臺。彳，之’樣品臺包括轉 動臺22/23，安裝於轉動臺21上、與1 一個了移 移動臺2.2上。轉動臺21呈環形，且可繞著垂4〜〜於内了 空間28的中心軸旋轉。中心轴符合％ '、 有框架組態，且安裂於轉動於ί軸。可移動臺23具 3在轉動臺21上可於單-方向上相 有之箭頭所指*。另-可移動臺22亦具 ί:Ϊί= 6。臺22亦在可移動臺23上可於單-方 向係垂直於臺23之銘叙碩所指示。臺22之移動方 22，且呈铲相。土 ，向。保持臺24附著於可移動臺 卦# i 穿過保持臺24之内部空間27。 24。可4叙ΐ Γ丨置單兀間隙與扭角。樣品A附著於保持臺 軸。# 臺2 /23適當地移動樣品Λ俾使樣品Λ對準光 1 〇 δ 。攸光源丨〇 1照射至樣品A，且透射光落至光偵測器 向依隨驅動轉動臺2 1轉動’且測量透射光之偏極化之方 光轴。可移動臺22/23移動樣品Λ，俾使另一部分對準 # 且測量方向依隨性。 對於严之後，以類似於第—實施例之樣品Α之方式， 、 α〇Α之每一部分確定單元間隙與扭角。既然樣品八之 五、發明說明（16) 平均傾斜角小，甚至當平均傾斜角調整至零時，所計算的 扭角之變化與所計算的單元間隙之變化仍甚小。因此，在 樣品Α之所有部分中液晶之平均傾斜角調整至零，且確定 早7C間隙與扭角。測量係以2亳米之間隔重複，使得樣品a 被虛擬分隔成九部分，如同格子。單元間隙與 佈，如圖1 0與11所示。 ' 第四實施例 一圖12顯示實施本發明之又一評估系統。如前所述， 面：f:Ϊ施2::估系統中’ •品臺移動與轉動虛擬平 第二f施!I揭二軸係位於該虚擬平面之法線方向。在 第一實施例中，樣〇〇旋轉以變動樣品之方向。

實施例之評估系統中，樣口计A 行第四實施例之評估系1 偏振器轉動。施 動臺2。4 ,用以保持樣4=::;偏振器202、可移 與電㈣㈣7。 2〇3、解析㈣5、光倍增器206、 樣《 2(n。‘M出命、且，且使先束經過偏振器202照射至 擬平板上，其中井鉍及， 、 ^ 器205亦附著於裝配有、立於該虛擬平板之法線方向。解析 繞著光軸。 _編碼器之轉動臺，且被驅動以轉動 上。偏振哭202附荖過解析器2〇5 ’且入射至光倍增器206 成繞配有編碼器之轉動臺，且被驅動 轴：移動臺，二維地移動樣副於-虛 電腦系統207連接至用於偏振器202之轉動臺、可二維 459129 五、發明說明（17) 移動樣品臺204、用於解析器20 5之轉動臺、與光倍增器 206。電腦系統207控制偏振器/解析器2〇2/2〇5之方向與樣 品臺2 0 4之位置’且拿取代表光強度之數據資訊。電腦系 統207计算透射光之偏極化之方向依隨性，且確定樣品go〗 之單元間隙、樣品2 0 3之扭角、與液晶之平均傾斜角。 樣品A安裝於樣品臺204上’且樣品臺2〇4以4毫米之間 隔線性移動，用以確定扭角之分散度與單元間隙之分散 度。平均傾斜角假定為零。扭角之分散度與單元間隙之分 散度分別顯示於圖1 3與1 4。 相位板3 0 3 ’例如半波長板得插入偏振器3 〇 2與樣品 304間，如圖1 5所示。在此例子中，樣品之方向固定，且 相位板303變動偏極化之方向。偏振器3〇2係固定的，且相 位板3 0 3在電腦系統3 〇 8之控制下轉動❹光源、二維可移動 臺、解析器、與光倍增器分別標有參考符號3〇1、3〇5、 30 6、與307。樣品臺3〇5得為固定的。 第五貧施例 在第二實施例中’當扭角範圍由2〇度改變為6〇度，且 單元間隙範圍從9微米改變為2〇微米時，在44. ?度扭角與 1/. 35微求單元間隙之平方和等於44. 8度扭角與8, 〇8微米 單7L間隙之平方和。此意謂對於未知的樣品單元間隙，扭 角與單元間隙並非獨一確定。 、，為了獨一確定樣品之單元間隙與樣品之扭肖以及液晶 之平均傾斜角，二光源4〇1與4〇2合併入如圖16所示的施行

第21頁 五、發明說明（18) 第五實施例之評估系統中。 詳言之，評估系統包含光源40 1 /402、反射鏡403、半 鏡4 0 4、偏振器4 0 5、轉動樣品臺4 0 7，用以保持樣品4 0 6、 解析器408、光偵測器409，採用光倍增器 '與電腦系統 4 1 〇。光源4 0 1係H e - N e雷射發射裝置，且另一光源4 0 2係發 光二極體。發光二極體402產生688奈米-波長光，且波長 不同於另一光源4 0 1發射之光束。光源4 0 1照射光束至反射 鏡403，且反射鏡403將光束導向樣品406。光束穿過半鏡 404與偏振器405，且入射至樣品406上。另一方面，另一 光束從光源402射出，且在半鏡404上反射向樣品406。轉 動臺407裝配有編碼器，且驅動樣品406以繞著光軸轉動。 解析器4 0 8亦繞著光軸轉動’且裝配有編碼器。轉動臺4 〇 7 與解析器4 0 8係由電腦系統4 1 0所控制。光憤測器4 〇 9係採 用光倍增器，且確定透射光之強度。 光摘測器4 0 9供應代表透射光之強度數據資訊至電腦 系統410。電腦系統410基於代表透射光之強度之數據資訊 計算透射光之偏極化之方向依隨性，且確樣品4 〇 6之單元 間隙、樣品406之扭角、侷限於樣品4〇β中的液晶之平均傾 斜角。在測量中，二正交軸被假定於垂直於光軸之虛擬 面上，且光之電場向量分解成平行於正交軸中之一個的$ 分量與平行於正交軸中之另一個的〇分量。對於從 40 1 /402射出之每一光束測量偏極化。當光源4〇1/4〇2'中之 一個照射光束時，另一個光源4〇2/4〇1關閉。否則， 40 1 /402兩者皆受能量供給，且一遮擋板選擇性中斷光“ 459129 五、發明說明（19) 束。 偏振器405調整成關於二正交軸形成45度，使得入射 光之s分量與入射光之p分量間之比值落於1 : 1。因此，線 性偏極光入射於樣品406上。解析器408轉動，且基於光強 度對於解析器4〇8之方向之依隨性而確定透射光之偏極 化。光強度係以2度之間隔測量。換言之，解析器4 〇 8依序 改變至1 8 0個方向，且對於光束測量光強度。對於6 8 8奈米 波長光之量測結果在從4微米至1 〇微米之單元間隙範圍與 從2 0度至7 0度之扭角範圍中分析，且扭角與單元間隙預估 為4 5.0度與8.09微米。偶若扭角範圍改變為2〇度至6〇度， 且單元間隙範圍從9微米改變為2 0微米時，則扭角與單元 間隙預估為105· 2度與15_ 57微米，其廣泛不同於由使用 He-Ne雷射發射裝置所預估者❶因此，對於樣品b，單元間 隙與扭角確定為44. 8度至45· 0度且8. 08微米至8· 〇9微求。 圖1 7所示的評估系統得重新模組化成如同圖9與丨2所 示者，用以確定偏極化之分散度。圖17顯示施行第五實施 例方法所用之電腦程式序列。 第六實施例 圖18顯示實施本發明之更一評估系統。評估系統包含 光源501、偏振器502、轉動臺，用以保持樣品5〇3、 器505、光譜儀5 0 6、光倍增器5 07、與電腦系統5〇8。 501係採用齒素燈。樣品臺5〇4可繞著光軸旋轉，且裝配 編碼器。解析器5 0 5亦可繞著光軸旋轉，且裝配有編^馬

459129 五、發明說明（20) 器。光源501射出光束，且光束穿過偏振器502。偏極光入 射至樣品503上’且光譜儀5 06使透射光色散，以產生單色 光分量。單色光分量入射至光倍增器5〇7。電腦系統508控 制樣品臺504之方向、解析器507之方向、與光譜儀50 6。 電腦系統508更連接至光倍增器507，且拿取代表光強度之 數據h 。電腦系統5 0 8基於光強度計算偏極化之方向依 隨性，且確定樣品5 0 3之單元間隙、樣品5 〇 3之扭角、與侷 限於樣品5 0 3中的液晶之平均傾斜角度。 光之電場向量分解成s分量與ρ分量，且s分量與ρ分量 平行於直角座標系統之正交軸D偏振器5 〇 2之方位係對於 每一正交軸形成45度，且使s分量與ρ分量1 : 1的入射光線 性偏極。解析器5 0 5以2度之間隔旋轉，且對於1 8 0個方向 之每一個進行測量。光譜儀5 〇 6使透射光色散成波長相互 不同的單色光分量。雖然未顯示於圖18中，但單色光分量 選擇性落入光倍增器5 0 7中。亦即，電腦系統選擇單色光 分量中之一，且命令光譜儀506使所選擇的單色光分量穿 過。所選擇的單色光分量入射至光倍增器5〇7上。然而， 另一單色光分量被内部遮蔽。 雖然確定偏極光之方向依隨性，用以類似於施行第五 實施例之方法確定樣品503之單元間隙、樣品5〇3之扭角、 以及液晶之平均傾斜角’但單元間隙係基於透射光之偏極 化之波長依隨性而確定。樣品5 0 3之位置維持不變。選擇 單色光分量’且規範光譜儀506使單色光分量穿過。選定 的單色光分量之強度係由光倍增器507測量，且確定選定

第24頁 459 12 9 五、發明說明（21) 的單色光分量之偏極化之角度依隨性。樣品5 0 3之扭角、 樣品5 0 3之單元間隙、與液晶之平均傾斜角度之組合有複 數個候選者。複數候選者將滿足角度依隨性。透射光之偏 極化之波長依隨性係基於每一候選者而計算。 繼而，在樣品5 0 3之位置維持不變的條件下，確定透 射光之偏極化之波長依隨性。經由測量而確定的波長依隨 性相比較於經由計算而確定的波長依隨性。當對於候選者 之一所計算的波長依隨性匹配於經由測量而確定的波長依 隨性時’單元間隙、扭角、與平均傾斜角度預估為與候選 者相等。 圖19與20顯示穿過樣品B之透射光之偏極化之波長依 隨性。圖1 9教導相位差△與波長間之關係，且圖2〇教導振 巾备比Ψ與波長間之關係。透射光之波長以2 〇奈米之間隔變 化，且圖1 9與2 0所示之波長依隨性係基於所測量的光強度 而確定。 圖2 1與2 2顯不對於扭角與單元間隙之二組合所計算出 的波長依隨性。第一組合為44· 7度扭角與16. 35微米單元 間隙’以及第一組合為4 4. 8度扭角與8, 〇 8微米單元間隙。 樣品B調整為零度。 、 比較經由測量而確定的波長依隨性與經由計算而確定 的波長依隨性，瞭解到第二組合所用的波長依隨性類似於 經由測量而確定的波長依隨性。因此，樣品B之扭角盥、 元間隙預估為44.8度與8.08微米。前述方法係由圖23所 的電腦程式執行。

五、發明說明（22)

重新模式化

—圖18所示的評估系統得被 三與第四實施例者。 如同那些施行 施例 雖然施行第六實施例之古、、土# _ 光強度之波長依隨性係在樣σ邀^波長分散度，但透射 條件下而石隹冑。 樣印與解析器之方向維持不變之 *金樣：Β調哲整成零度/且解析器調整成90度。光源照射 M S办占之/偏振器至樣品β ’且透射光經過解析器入 ' 夂'則器上。透射光強度之波長依隨性如圖24所繪製 般：對於單元，隙與扭角 <第 '植合以及單元間隙與扭角 之第二組合計算透射光強度之波長依隨性。第一組合之扭 ，與單元間隙為44. 8度與8. 08微米，且第二組合之扭角與 單兀間隙為44· 7度與16. 35微米。既然不考慮1〇的光譜儀 解析度，圖25中之圖形與圖24中之圖形不一致。光譜儀解 析度為1 0奈米。當考慮解析度時，計算結果繪製於圖2 6 中’且圖开> 類似於代表所測量出的波長依隨性之圖形。從 實驗而來’扭角與單元間隙匹配於第六實施例之4 4, 8度與 8. 0 8微来。前述方法係由電腦程式所表達。 第八實施例 雖然樣品B之扭角調整為5 0度’但藉由施行第二、第 五、第六、與第七實施例之方法’扭角與單元間隙預估為 44. 8度與8. 08微米。對於液晶方位之規範能力a係表示為

第26頁 459129 五、發明說明（23) " ' 一 A = 2K22 Ot/ (d χ sin(2 φ〇_2 φ〇) $處Φ Ο為樣品之扭角’ φ t為在液晶中所測量的扭角、且 為扭彈性係數。樣品B之扭彈性係數K22為9. 3 pN。然 後’規範能力A為9. 9 7 χ 1 0-6 J / m2。 從前述說明可知’依據本發明組合單色光源、偏振 ，、解析器、與光偵測器。倘若必須更组合有相位板。預 的偏極光入射至樣品或液晶顯示元件上’且測量透射光 =偏極=之方向依隨性。單元間隙與扭角基於此結果而精 地確疋。當精確地確定方向依隨性時，更確定液晶之平 均傾斜角。 即使樣品固定於特定方向，仍可能藉由變化入射光之 偏極化而測量透射光之偏極化對於入射光之偏極化之依隨 性。液晶顯示元件之扭角、其單元間隙、與液晶之平均傾 斜角係基於依隨性而確定。 —複數光分量可用以測量。複數光分量之波長相互不 同。、對於每一複數光分量測量透射光之偏極化之方向依隨 ί·生或f射光之偏極化對於入射光之偏極化之依隨性。使用 此測量，液晶顯示元件之扭角、其單元間隙、與液晶之平 均傾斜角被獨一確定。 白光亦可用以測量。白光入射至樣品上，且從透射光 中抽取出特別的波長光分量。使用特別波長光分量，確定 特別波長光分量之偏極化之方向依隨性。否則，樣品固定 於預定的方向，且偏極化變動以確定透射光分量之偏極化 對於入射光分量之偏極化之依隨性。透射光強度之波長依

五、發明說明（24) 隨性得於入射光固定於預定的偏極化或樣品/解 八 固疋於特定方向之條件下而確定。液晶顯示元件 別 其單元間隙被獨一確定。當精確度高時，介 之扭角與 角。 了亦確定平均傾斜 可移動臺可用以確定樣品上之偏極 動臺得單一方向或二維地移動 之习散度。可 虛擬地分隔樣品成複數部& 叩。可移動臺允許分析 規範能力係基於扭π間隙時，用π y散度 計算。 扭角、翠元間隙用：液晶顯示元件方位 雖然已經顯示與= 一液晶之扭彈性係數 項技藝之人士明瞭徨說明本發明之麻 之精神與範圍^ 進行各種改變與=只施例，但熟悉 、修正而不偏離本發

圖式簡單說明 圓1係顯示依據本發明之評估系統之示咅圖· = 之相位差與樣品之“間之關係之圖； 圖4係Ϊ -依之振幅比與樣品之方向間之關係之圖； 名、、員不依據本發明用以評估液晶顯示元 方法之流 程圖； 丁 圖5:不經由計算所繪出的相位差對於樣品之方向之依 以性之圖； „經由計算所繪出的振幅比對 之依 丨现性之圖； 示相位差對於另一樣品之方向之依隨性之圖； 圖圖:二顯:合：於另-評估系統中之 圖11係：品上之單元間隙之分散度之圖； =係顯示樣品上之扭角之分散度之圖； 面係顯示依據本發明之又一評估系统 圖“係d:上之單元間隙之分散度之圖； EM C r 不樣°口上之扭角之分散度之圖； 糸藏真示圖1 2所示的評估系统之修祚 . 圖Μ係顯+你祕Π f估糸統之修改之示意圖， 圖1 7係顯。用本發明之再一評估系統之示意圖； 圖18係系統之電腦程式之流程圖； 圖19係之更一評估系統之示意圖； 佴不！測1所確定的-透射光之相位差與波長間之 _ 1系之圖； 田'、屬不紅由測董所確定的透射光之振幅比與波長間之

第29頁 圖式簡單說明 關係之圖； 圖2 1係顯示經由計算所確定的相位差與波長間之關係之 圖； 圖2 2係顯示經由計算所確定的振幅比與波長間之關係之 圖； 圖2 3係顯示另一方法所用的電腦程式之流程圖。 圖24至26係顯示光強度與波長間之關係之圖。 〔符號說明〕 21 轉動臺 2 2 可移動臺 23 可移動臺 24 保持臺 25 内部空間 26 内部空間 27 内部空間 28 内部空間 101 光源 102 偏振 103 樣品 104 樣品臺 105 解析器 106 光偵測器 107 電腦糸統 201 光源

第30頁 Λ59129

第31頁 圖式簡單說明 202 偏振 203 樣品 204 樣品臺 205 解析器 206 光倍增 器 207 電腦系 統 301 光源 302 偏振器 303 相位板 304 液晶顯不元件 305 樣品臺 306 解析器 307 光倍增 器 308 電腦系 統 401 光源 402 光源 403 反射鏡 404 半鏡 405 偏振Is 406 樣品 407 樣品臺 408 解析器 409 光偵測器 410 電腦系 統 459129

第32頁

Claims (1)

1. 459129 六、申請專利範圍 1. 一種液晶顯示元件評估方法*其特徵在於包含下列步 驟： a) 照射具有一特定波帶與一預定的偏極化之一光束 至該液晶顯示元件（103 ; 203 ; 304 ; 406 ; 503)以產生一 透射光束； b) 量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透射 光束之該偏極化之波長依隨性中之至少—種依隨性；以及 c) 基於該方…肉依.隨性與該波長依隨性中之該至少一 種依隨性而確定侷限於該液晶顯示元件中之液晶之扭角、 該液Η曰之平均傾斜角、與該液晶之厚度中之至少^一物理 量。 2. 一種液晶顯·示元件評估方法，其特徵在於包含下列步 驟： a) 照射具有一特定波帶與一預定的偏極化之—光束 至該液晶顯示元件（103 ;203 ;304 ;406 ;503)之一部分 以產生一透射光束； b) 量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透射 光束之該偏極化之波長依隨性_之至少一種依隨性；

   c) 移動該液晶顯示元件（1〇3 ; 2〇3 ; 3〇4 ; 4〇6 ; 5〇3) 於-垂直於該光束之光軸之虛擬平面丨，使得該光束入射 至該液晶顯示元件之另—部分上. d) 對於該液晶顯示元件（1〇3 ; 2〇3 ; 3〇4，4〇6 ; 5〇3) 之該另一部分重複該步驟b );以及

   459129 六、申請專利範圍 e)基於該方向依隨性與該波長依隨性中之該至少一 種依隨性而確定侷限於該液晶顯示元侔nnq . 4〇6 ; 5。3)中之液晶之扭角、該液晶之=::3二’ 液晶之厚度中之至少一物理量之分散度。 3 · 一種資訊儲存媒體，用以儲存一代表液晶顯示元件 (103 ;203 ;304 ;406 ;503)評估方法之電腦程式，其中 該方法包含下列步驟 ' a) 照射具有一特定波帶與一預定的偏極化之一光束 至該液晶顯示元件（103 ;203 ;304 ;406 ;503)以產生一 一 透射光束； b) 量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透射 光束之該偏極化之波長依隨性中之至少一種依隨性；以及 c) 基於該方向依隨性與該波長依隨性中之該至少一 種依隨性而確定偈限於該液晶顯示元件; 203 ; 304 ; 4 0 6，5 0 3 )中之液晶之扭角、該液晶之平均傾斜角、與該 液晶之厚度中之至少一物理量。 4. 一種資訊儲存媒體，用以儲存一代表液晶顯示元件 (103 ; 203 ; 304 ; 406 ; 50 3 )評估方法之電腦程式，其_ 了J 該方法包含下列步驟 a)照射具有一特定波帶與一預定的偏極化之一光束 至該液晶顯示元件（103 ; 203 ; 304 ; 406 ; 503)之一部分 以產生一透射光束；

   第34頁 4 5 9 12 9 六、申請專利範圍 b) 量測該透射光束之偏極化之方向依隨性與該透射 光束之該偏極化之波長依隨性中之至少一種依隨性； c) 移動該液晶顯示元件（103 ; 203 ; 304 ; 406 ; 503) 於一垂直於該光束之光軸之虛擬平面上，使得該光束入射 至該液晶顯示元件之另一部分上； d) 對於該液晶顯示元件（103 ; 203 ; 304 ; 406 ; 503 ) 之該另一部分重複該步驟b);以及 e) 基於該方向依隨性與該波長依隨性中之該至少一 種依隨性而確定侷限於該液晶顯示元件（1 03 ; 203 ; 304 ; 4 06 ; 503 )中之液晶之扭角、該液晶之平均傾斜角、與該 液晶之厚度中之至少一物理量之分散度。 5. 一種液晶顯示元件評估設備，包含： 一光源（101，201，301，401/402，501)，照射一光 束向該液晶顯示元件（103，203，3 04，406，503 );以及 一裝置，用以確定該液晶顯示元件之性質， 其特徵在於 該裝置包含 一偏振器（102，202，302，405，502)，設於轉光源 (101 ’201 ’301 ’401，501)與該液晶顯示元件（1〇3， 203 ’304，406，503)間’用以從該光束產生一偏極化光 束； 一樣品臺（104，21/22/23/24，204，305，407， 504 ) ’維持該液晶顯示元件（103，203，304，406，5 0 3 )

   第35頁 469129 六、申請專利範圍 於該偏極化光束之光軸上； 一解析器（105，205，306，408，505)，設於該偏極 化光束之該光軸上； —光強度量測單位（106，206，307，409，507)，用 以量測穿過該解析器（105，205，306，408，505)之透射 光束之光強度且產生代表該光強度之數據資訊；以及 一數據處理系統（1 〇 7，2 0 7，3 0 8，41 0，5 0 8 )，選擇 性連接至該光源、該偏振器、該樣品臺、與該解析器，用 以控制其態度’且連接至該光強度量測單位，用以接收該 數據資訊’且量測該透射‘束之偏極化之方向依隨性與該； 透射光束之該偏極化之波長依隨性中之至少一種依隨性， 以確定侷限於該液晶顯示元件（103 ;203 ;304 ;406 ; 5〇3)中之液晶之扭角、該液晶之平均傾斜角、與該液晶之 摩度中之至少一物理量。 6.如_凊專利範圍第5項之液晶顯示元件評估設備，其中 該樣品臺（104)與該解析器（1〇5)分別包括編碼器，且在該 數據處理系統（1 〇 7 )之控制下繞著該光軸轉動，使得該數 據處理系統（1 0 7)基於該方向依隨性確定該扭角、該平均 傾斜角、與該厚度中之該至少一物理量。 i 7 -如申请專利範圍第5項之液晶顯示元件評估設備，其中 該樣品臺包括一第一臺（21) ’繞著該光軸轉動、一第二臺 (23) ’女裝於該第一臺且在垂直於該光軸之虛擬平面上可

   459129 六、申請專利範圍 '---- 往復移動於一第一方向上、以及一第三臺（22)，安裝於 第一宜上，保持該液晶顯示元件且在該虛擬平面上可 3 於垂直於該第一方向之—第二方向上。 移勒 8.如申請專利範圍第7項之液晶顯示元件評估設備，夏 該數據處理系統控制該第—臺（21)繞著該光軸之一角^肀 向、該第二臺（23)在該第一方向上之一位置、該第三臺 (22)在該第二方向上之一位置、與該解析器繞著該光ς 角位置，使得該數據處理系統基於該方向依隨性而確 扭角、該平均傾斜角、與該厚度中之該至少一物理量之= 9」如申請專利範圍第5項之液晶顯示元件評估設備，其中 该數據處理系統（2〇7)控制該偏振器（2〇2)繞著該光軸之角 位置與該解析器（205)之繞著該光軸之角位置，使得該數 據處理系統（2 〇 7 )基於該方向依隨性而確定該扭角、該平 均傾斜角、與該厚度中之至少一物理量。 1 如申請專利範圍第9項之液晶顯示元件評估設備，其 中该樣品臺包括一第一臺（23)，在垂直於該光軸之虚擬平 面上^往復移動於一第一方向上，與一第二臺（22)，在該 虛擬平面上可往復移動於垂直於該第一方向之一第二方向 上使得該數據處理系統確定該扭角、該平均傾斜角、與 該厚度中之該至少一物理量之分散度。

   45 912 9 六、申請專利範圍 11 _如申請專利範圍弟5項之液晶顯示元件評估設備，更 包含一相位板（3 0 3 )，設於該偏振器（3 〇 2 )與該液晶顯示元 件（3 0 4 )間’且該數據處理系統（3 0 8 )控制該相位板（3 〇 3 ) 繞著該光軸之角位置與該解析器（3 06 )繞著該光軸之角位 置’使得該數據處理系統（3 0 8 )基於該方向依隨性而確定 該扭角、該平均傾斜角、與該厚度中之該至少一物理量。 12. 如申請專利範圍第11項之液晶顯示元件評估設備，其 中該樣品臺（305)包括一第一臺，在垂直於該光軸之虛擬 平面上可往復移動於一第一方向上，與一第二臺，在該虛 擬平面上可往復移動於垂直於該第一方向之一第二方向 上’使得5亥數據處理糸統（3 〇 8 )確定該扭角、該平均傾斜 角、與該厚度中之該至少一物理量之分散度。 13, 如申請專利範圍第5項之液晶顯示元件評估設備，其 _該光源（401/402)照射具有不同波長的複數光分量之該 光束，且該數據處理系統從複數個候選者中選擇該扭角、 該平均傾斜角、與該厚度令之該至少一物理量，該複數個 候選者中之每一個係基於該方向依隨性而確定。 14·如申請專利範圍第1 3項之液晶顧示尽件評估設備，其 光源包括複數光<源（4〇1/4〇2)，分別照射該複數光 分量’與複數光路徑改變裝置（4〇3/ 404)，用以引導該複

   第38頁 459129 六、申請專利範圍 ' --- 數光分量經由該偏振器（405)朝向該液晶顯示元件（4〇6)。 15.如申叫專利範圍第1 4項之液晶顯示元件評估設備，其 中該複數光路徑改變裝置中之一個係採用一反射鏡 、 (40 3) ’且該複數光路徑改變裝置中之另一個係採闬一半 鏡（ 404 )，位於該反射鏡與該偏振器間。

   16.如申明專利範圍第5項之液晶顯示元件評估設備，更 $含一光譜儀（ 5 06 )，設於該解析器（505 )與該光強度量測 單位（507)間，用以分離該光束成複數光分量，且該數據 處理系統（5 0 8 )從複數個候選者中選擇該扭角、該平均傾 斜角、與該厚度中之該至少一物理量，該喪數個候選者中 之每一個係基於該方向依隨性而確定： 17.如申請專利範圍第5項之液晶顯平元件評估設備，更 包含一光譜儀（ 5 06 )，設於該解析器（ 505 )與該光強度量測 單位（507)間，用以分離該光束成複數光分量，且該數據 處理系統（508)從複數僻候選者中選擇該扭角、該平均傾 斜角、與該厚度中之該至少一物理量，該複數個候選者中 之每一個係基於該波長依隨性而確定。 18·如申請專利範圍第1 7項之液晶顯示元件評估設備，其 中该數據處理糸統（507)碟定該光分量之選定者之該偏極 化之角度依隨性以及滿足該偏極化之該角度依隨性與該波

   第39頁 459129 六、申請專利範圍 長依随性之該扭角、該平均傾斜角、與兮& 合’其中前者係藉由改變二夜晶二 置 變該液晶顯示元件⑽)之角位置下使用該光 用於該複數組合之波長依隨性、且將計算結果、於十該波 長依隨性用以確定該扭角、該平均傾斜角、與該最 適當的候選者而確定。 又 19.如申請專利範圍第1 7項之液晶顯示元件評估設備，其 中該其中該數據處理系統（508)確定該光分量之選定者之、ΓΛ 該偏極化之角度依隨性以及滿足光強度之該角度依隨性與 該波長依隨性之該扭角、該平均傾斜角、與該厚度之複數 組合’其中前者係藉由改變該液晶顯示元件（503)之角位 置與該解析i ( 5 0 5 )之角位置而確定，而後者係藉由在不 改變該液晶顯示元件（ 503)與該解析器（505)之角位置下使 用該光分量、計算用於該複數組合之波長依隨性、且將計 算結果比較於該波長依隨性用以確定該扭角、該平均傾斜 角、與該厚度之最適當的候選者而確定。

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