TW442650B - Torque-sensor of electrostatic capacitor type and detection method for the torque - Google Patents

Torque-sensor of electrostatic capacitor type and detection method for the torque Download PDF

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TW442650B
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torque
electrostatic
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dielectric layer
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TW089118582A
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Toru Ueno
Naoki Wako
Tetsuo Yoshida
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Tokin Corp
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A7 B7 五、發明說明() (技術領域) (請先閲讀背面之注意事項Η填寫本頁) 本發明偽關於轉矩感測器及轉矩檢出方法,更詳細言 之,傺關於適用在汽車之電動式動力轉向裝置和電動肋 動(asist)腳踏車等之轉矩感測器及轉矩檢出方法。 (背景技術) 以往,為輔肋操作操舵輪(以上稱方向盤),開發出電 動式動力轉向裝置。此電動式動力轉向裝置係為偵測施 加於駕駛者之方向盤,響應偵測出之轉矩,産生設在操 舵機構上之電動機之操舵辅肋用驅動力之裝置。這種裝 置相較於油壓式動力轉向裝置具有無因要驅動油壓泵而 消耗引擎輸出,及以電氣方式控制補肋驅動力而具有優 良控制性之優點。 此電動式動力轉向裝置從可靠性和成本方向考慮,需 要構造簡單並能以接觸方式偵測之轉矩感測器,能符合 這種需求之轉矩感測器之一例係示於第1圖。 第1圖之轉矩感測器在轉矩輸入軸和輸出軸之間設有 由導磁傜數(P e r m e a b i 1 i t y )會随瞜變(s t r a i η )而變化之材 料,亦即磁應變材料構成之扭力棒(torsion bar)lU於杻 力棒11之外周上設有兩組隔一定間隔之線匿112、 13。在 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 杻力棒11之表面上設有對其軸心成± 45°傾斜之細長縫 14,這些縫係對應兩組線圏12、 13而形成。 在輸入軸和輸出軸間一旦産生轉矩後轉矩即被施加於 扭力棒11,扭力棒I 1逐産生扭轉應變。一般,圓柱和圓 筒産生之扭轉應變傷被分解成對圓柱和圓筒之長度方向 -3 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 ο Α7 _Β7_ 五、發明說明(2 ) 成45°方向上之伸長應變和與此正交方向上之壓縮應 變。因此,形成於扭力棒11之表面上之缝14之方向分 別産生伸長及壓縮之壓變,各部份之導磁俗數傜成一部 份增加而另一部份減少那樣變化,其等之大小傜約與施 加之轉矩成正比例。 上述的結果,兩組線圏12、 13之電感之變化傜一邊增 加而B —邊則減少。這兩組線圈1 2、 1 3偽分別作為電感元 件經固定電阻而接至接地端子,既定頻率之交流電壓係 施加於固定電阻和接地端子之間。若將此畤之線圈1 2、 13之端子電壓供給至差動放大電路時差動放大電路即産 生與施加之轉矩之大小成正比例之輸出電壓。因此,能 偵測依輸出電壓而定之轉矩之大小》 通常,汽車和電動助動腳踏車等傜使用含有強磁鐵之 電動機。為防止磁鐵産生之磁場受到影饗需用強固之磁 遮蔽。因此,轉矩感測器之周邊構變成複雜此為其缺點。 另外,電動式動力轉向裝置,如前述那搛偵測施加於 方向盤之轉矩之同時也偵測方向盤之切向速度之切角, 為了控制藉電動機産生之操舵補肋力,需要用於偵測操 舵方向之操舵角烕測器。此操舵角烕測器一般偽採用藉 霍爾元件(H a 1 1 e 1 e ra e n t )偵測多極磁化之環狀磁鐵之N 極,S極。為了不使前逑磁應變材料受此環狀磁鐵拽漏之 磁場之影罌,畢竟需要轉矩戲測器之遮蔽。因此之故, 具有構造複雜之缺點。 因此,本發明之目的傺提供不用磁遮蔽,構造簡單之 紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 * 297公爱了 ti i an n I I IB i· n It J"M、· n n I t各『 (請先閱讀背面之注意事項r"填寫本頁) 1 4426 5 0 A7 B7 五、發明說明( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 測 特之及指既 徽面,之 引率 測 測 0 其面,手以 特周層定測使頻ijt0 矩 ,周層叉心 其外體既感動變 矩 矩 轉 器外體對軸 ,之電以矩變調 轉 轉 式 测之電對之 法棒介心轉之逑 式 式 器 感棒介一棒 方述之軸式量前1C器 器 容 矩逑之之逑 出前化之器容自έ@容 容 電 轉前動極前 檢在變棒容電而 Ρ 電 電 靜 式於變電對 矩成而逑電靜進 f 靜 靜 之 器成而個有 轉形變前靜之,£a之 之 述 容形變一具。種,應對之器號 ^ 0 關 前 電,應成極極一 棒隨,器容信 ^有 有 用 靜棒隨形電電現之數地容電率έι«例 例 。利 種之數地型狀實形偽向電型頻 Ρ 施 施 器供 一形偽向指線能_ 電對型指變 π 實 實 測提。 現圓電對手數,為介上指手調 Ml 2 _ 你法 實為.介上叉多明面,層手叉生 第。® 。 矩的方}能面,層對之發斷上體叉對産。明 圖1 圔 轉目出示,斷上體述斜本横份電對逑以矩說ij'u視U視 式之檢掲明橫份電前傾依有部介之前作轉單 斜 Μ 斜 器明矩之發有部介,角,含一述斜應動知簡#*#觀m觀 容發轉明本含一述極斜外用少前傾饗變得式102®概311概 電本之發依為少前電傾另使至於度,調號圖第第之第之 靜 器ί 獻至在型定 為之及角器起信< 器 器 ------------•裝-----I!訂·--------線If. f (請先閱讀背面之注意事項异填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 2 6 5 ο Α7 Ε7_ 五、發明說明(4 ) 第4圖傜使用第3圖之靜電容器式轉矩戲測器之轉矩 偵測電路之電路方塊圖。 第5圖條本發明第3實施例有關之靜電容器式轉矩感測 器之概觀斜視圖。 第6画傺使用第5圖之靜電容器式轉矩感測器之轉矩 偵測電路之電路方塊圖。 (實施本發明之最佳形態) 下面將參照第2圖説明本發明之第1實施例有關之靜 電容器式轉矩感_器。 本靜電容器式轉矩感测器含有由絶緣性塑膠或絶緣性 陶瓷作成,横斷面為圓形之棒2U圄形棒21傺串聯結合 於方向盤上之轉矩輸入軸和輸出軸之間。因此,圓形棒 2 1偽铹應方向盤之操作而旋動。 由介電俗數依應變而變化之材料作成之厚膜或薄膜之 介電體層22慠直接形成在圓形棒21之外周面。再者, 在介電體層22之表面上形成有對圓形棒21之軸心(長 度方向)以約4 5 °之既定傾斜角傾斜之線狀電極(手指 型電極)23a、23b。線狀電掻23a、23b傜各隔一指分別 接至共通電極24a、 24b,形成所謂對叉手指型電極或對 叉手指電極型電容器。如此構成具有靜電容量之一個電 容器。另外,對叉手指型電極上接有一對端子2 5 a、2 5 b。 再者,在圓形棒21之一部份上沿箸棒之外周與棒之軸 方向成直角之方向上捲繞第1線圏26以構成電感器。此 電感器傜與前述電容器併聯連接以構成封閉電路。亦 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 6 5 〇 Α7 _Β7_ 五、發明說明(5 ) 卽,第1線圏26之兩端分別接至端子25a、25tu此情形, 端子25a、25b之作用偽作為構成封閉電路之連接部。另 外,與第1線圈2 6隔一徹小間隙對向設有第2線圏2 7 β 第2線圈2 7傺靜止。 其次,將說明第2圖之靜電容器式轉矩感測器之動作 原理。 操作方向盤時在輸入軸和輸出軸之間即産生相對之旋 動力,而對圓形棒21施加扭轉轉矩。於是,形成在圓形 棒21之表面上之介電體層22産生應變,進而介電係數 産生變化。亦即,介電體層22具有應變對介電係數之變 化待性。介電體層2 2之應變對扭轉之軸向,能分解成 + 45°方向之伸長應變,一 45°方向之壓縮應變。因此之 故,依扭轉轉矩之趨向,與對叉手指型電極之線狀電極 23a、23b成對向之方向之介電傲數則變化,随著此變化, 端子25a、25b之靜電容量之值也變化。根據此靜電容量 之變化,能偵測産生之轉矩之大小。 此電容量之變化因傺以非接觸方式偵測,故藉上述之 構成,第1線圈26和第2線圈27條作成電磁結合。藉 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 !裝 頁 訂 ▲ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之。且 表 2 小®, 之 圈大 @ 矩 棒 線之els轉 屬 成矩_測 金 換轉Kffl偵。之 轉出 式性性 化測^方靠電 變偵 I 之可導 器 之化 Μ 觸之有 屋變U接测具 容之 ^ 非偵在 電感以昇為 之電tli能提傺 極從 Η ,易可 電能u遒容也 容 1 型而影能 2 指進之而棒 手,^場從形 叉化 U 磁,圓 圖 對變 2 部單 I 將之第外簡者 ,感依受造再 此電 不構 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) A7 _B7_ 五、發明說明(6 ) 面上形成介電僳數低之塑_層或者陶瓷層者。 另外,第1線圈26捲繞之部份藉採用磁性體,能提昇 與第2線圏27之電磁結合,從而能得出更高靈敏度之靜 電容器式轉矩感測器。 更甚者,沿著圓形棒21之圓周形成收容第1線圈26 之凹部,及與前述凹部成對向形成收容第2線圏27之凹 部,這種情形也能因具有柑同之效果而能容易得出靜電 容器式轉矩鉞測器。 第2圖上,LC共振用之電感器和電磁結合變壓器用之 電威器偽成共通之構成,但卽使兩電感器分離,也同樣 能容易獲得靜電容器式轉矩感測器。 請 先 閱 讀 背 S] 之 注 項 填二 I裝 頁 靜 之 關 有 例 施 實 2 第 之 明 發 本 明 説go 圖器 3 0 第感 照矩 參轉 將式 面器 下容 電 緣串 絶傺 者31 或棒 膠形 塑圓 性 0 緣31 絶棒 由形 有圓 含之 器形 測圓 烕為 矩面 轉斷 式横 器之 容成 電 作 靜瓷 此陶 性 因 ο 間 之 軸 出 。 輪轉 和旋 軸而 入作 輸操 之之 矩盤 轉向 之方 盤應 向響 方31 於棒 合形 結 _ 地 , 聯此 訂. Ϊ線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 變絶 ^p\ \ 應狀-^ 隨筒徹 數之一 傜狀隔 電圓傺 介心33 有同體 成。緣 形32絶 上層狀 份體筒 部電 。 一 介上 之之31 面膜棒 周薄形 之或圓 31膜在 棒厚裝 形之鑲 圓化33 在變體 而體 隙 間 此 在 地 好 良 ο 止 靜 為 並 向 對 2 3 層 。 體承 電軸 介有 與置 隙配 間内 極 既電 之狀 。 線 5 4 ο 約面 以周 心外 軸之 . 3 之 3 31體 棒縴 形絶 國狀 對筒 4b在 3成 a、形 34地 極斜 電傾 狀度 線角 定 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公衮) A7 B7_ 五、發明說明(7 ) --------------裝*-- ' i (請先閱讀背面之注意事項肾蜞寫本1) 34a、34b偽隔一指而分別接至共通電極35a、35b,形成 所謂對叉手指型電極或對叉手指電極型電容器。如此構 成具有靜電容量之一個電容器。再者,對叉手指型電極 上接有一對端子36、37。 下面將説明第3圖之靜電容器式轉矩感測器之動作原 理。 操作方向盤時在輸入軸和輸出軸之間即産生相對之旋 動力,從而對圓形棒31施加扭轉轉矩。於是,形成在圓 形棒31之表面之介雷體層32逐産生應變,介電像數也 就隨之産生變化〇亦即,介電體層32具有既定之應變對 介電傜數變化之待性。線狀電極3 4 a、3 4 b傺隔一微小間 隙而與介電體層32行靜電結合,随著介電體層32之介 電偽數之變化,端子3 6、3 7間之靜電容量逐産生變化。 根據此靜電容量之變化,能偵測出産生之轉矩之大小。 --線· 藉第3圖之靜電容器式轉矩感測器,能不使用磁遮蔽, 不受外部磁場之影鬱偵測轉矩,且構造簡單,能容易構 成LC振盪電路。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者,國形棒31也可條為在具有導電性之金屬棒之表 面形成介電偽數低之塑膠層或陶瓷層。另外,對叉手指 型電極也可形成在筒狀絶緣體33之内周面。 下商將參照第4圖説明使用第3圖之靜電容器式轉矩 感測器之轉矩偵測電路。 振盪電路4 1係為含有第3圖之靜電容器式轉矩感測器 之靜電容器之L C振盪電路或R C振盪電路,將饗應第3 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 五、發明說明( A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 供 端能 微號 符 或體 周置 面⑯RIO型貞 率,出此 藉信靜考 膜緣軸外配 既周 極極έί 頻歷輸因 ,位之參 1厚絶之之有 之外狀Τ電電之 之電一之。 腦數關之^3之狀3132内 。個筒05通指W 化成i43!sm成有同 45各PM共手π 變換器信 撤作例相 ^0 0 0 0 0 約之至叉3Β 之轉大出 入號施予 而兩圓電之 以3b一^ 接對第 量率放輸 輸信實附1Γ變裝於介小 心3DS4S別或了 容頻算之 傜出D傜 應鑲3b與微 軸a、Ma#分極除 電mg矩 率輸Μ份 Η轉有3隙此 之3333Μ而電Η 靜42。轉 頻將月部 Λ 扭上 a、間在31體體 U 指型周 之器43轉。之地㈣之13ES隨3133小地 棒緣緣34一指之 器換器扭矩出好 同 ^ 數棒體微好 形絶絶、隔手31 測轉大之轉輸良 Μ 相 Μ 俗形緣一良 圓狀狀4a互叉棒 威^放加之41並”。 電圓絶隔。 對筒筒S3偽對形 矩f算施小路,-器 U介。狀別止4b於之_4blf._ 轉20蓮被徹電率5ffl測 U成32筒分靜 3成邊所在 式^至示測盪頻第is_形層兩域為 L 形 l^a,成 , 器換給表偵振數照矩 _上體這領傑34地在線34形此 容® 供生度自計參轉 i 份電。同並 極斜 ,1權,如 "έb t > 電 V 之産確,接將式 I 部介3 不向 電傾外bj電5h。 靜f-將則精者直面器5Γ一之 3 之對。狀度另33狀 3 器 之至後44高再腦下容 β第之膜 3、上成承線角。體銶 a、 容 圖給然子以 電 電號 面薄33向面軸 定上綈35電 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 44265〇 A7 B7 五、發明說明() 测電容器部5 1外別形成基準電容器部5 2 ^ 基準電容器部52之溫度恃性係與偵測電容器部51之 溫度恃性相同。因此,偵测電容器部51對周溫之變化所 産生之靜電容量之變化量傜用基準電容器部52之靜電容 量之變化量予以補正,藉此能柢銷因周溫之變化所産生 之特性之變動,另外,轉矩之偵測靈敏度達約兩倍。 下面將參照第6圖說明第5圖之靜電容器式轉矩感測 器之轉矩偵測電路。 振盪電路61傜為含有偵测電容器部51之靜電容器之 LC振盪電路或RC振盪電路。振盪電路61係將饗應偵測 電容器部51之靜電容量之變化之頻率供給至f-v轉換器 62。f-v轉換器62將頻率轉換為電壓,然後將之供給至 比較器6 3。 振盪電路64傜為含有基準電容器部52之靜電容器之 LC振盪電路或RC振盪電路。振盪電路64條將饗應於基 準電容器部52之靜電容量之變化之頻率供給至f-ν轉換 器65。f-v轉換器65將頻率轉換成電壓,然後將之供給 至tb較器6 3 ^ 比較器63求出被供給之兩電壓之差,並自輸出端子66 輸出表示被施加之扭轉轉矩之輸出信號。如此,執行溫 度之補正,卽使溫度環境有變化,也能以高精確度偵測 撤小之轉矩。 另外,各ί固振盪電路S U 6 4輸出之頻率fe被供給至微 電腦,藉徹電腦直接計數,並良好地將輸出佶號作成為 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS>A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事氣舁填寫本頁) 裝 -線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 4^265〇 A7 B7 五、發明說明() 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 數 位 信 號 〇 上 述 任 一 實 施 例 9 皆 能 使 用 陶 瓷 電 容 器 等 使 用 之 介 電 體 陶 瓷 膜 作 為 介 電 體 膜 〇 另 外 » 如 果 基 準 電 容 器 及 偵 測 電 容 器 間 介 電 體 材 料 膜 厚 及 對 叉 手 指 型 電 極 之 尺 寸 形 成 相 互 約 略 相 等 時 則 基 準 電 容 器 及 偵 測 電 容 器 不 必 形 成 在 同 一 面 上 > 若 偵 测 電 容 器 和 基 準 電 容 器 之 溫 度 環 境 可 視 為 偽 相 同 之 條 件 時 也 可 將 電 容 器 分 開 設 置 〇 ( 産 業 上 利 用 之 可 能 性 ) 本 發 明 之 靜 電 容 器 式 轉 矩 測 器 % 適 用 於 作 為 汽 車 之 電 動 式 動 力 轉 向 裝 置 和 電 動 肋 動 腳 踏 車 等 之 轉 矩 威 測 器 符 號 説 明 11 … 扭 力 棒 12 、 13 … 線 m 14 … 縫 2 1 … 圓 形 棒 2 2 … 介 電 體 層 2 3 a . 2 3 b … 線 狀 電 極 24 a . 2 4 b … 共 通 電 極 2 5 a、 2 5 b … J.CU 端 子 2 6 、 2 7 * * * 線 圈 3 3 »*畤 筒 狀 絶 m 體 4 1 6 1 6 4 *»« 振 盪 電 路 4 2 N 6 2 6 5 ««* f - V轉換器 -12- (請先閱讀背面之注意事項苒填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 44 q Α7 Β7 五、發明說明( 11 器 大子部部 放端器器 算出容容 蓮輸電電 i 〖測準 3 6 6 e 偵基 --------------裝i I i (請先閱tl背面之注意事項再填寫本頁) -I線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國囤家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)

Claims (1)

  1. A8B8C8D8 六、申請專利範圍 1. 一種靜電容器式轉矩感測器,其特擻為含有横斷面為 圔形之棒,形成於前述棒之外周面之至少一部份上之 介電偽數隨應變而變化之介電體層及對向於前述介電 體層而構成一儕電容器之一對(pair)對叉手指型電極 ,前逑對叉手指型電極具有對前逑棒之軸心以既定之 角度傾斜之多數個線狀電極。 2. 如申請專利範圍第1項之靜電容器式轉矩戲測器,其 中前述介電體層之厚度約一樣地形成。 3. 如申謗專利範圍第1項之靜電容器式轉矩感测器,其 中前述既定傾斜角是45° 。 4. 如申請專利範圍第1項之靜電容器式轉矩感測器,其 中前逑棒偽由絶縳體作成。 5 .如申請專利範圍第1項之靜電容器式轉矩_測器,其 中前逑棒含有中心之導電體及形成在前述導電體之表 面上之介電傜數低之層。 6.如申請專利範圍第1項之靜電容器式轉矩感測器,其 中鲔逑線狀電極傺直接形成在前述介電髏之表面。 7 ·如申請專利範圍第6項之靜電容器式轉矩感測器,其 中含有沿箸前逑棒之外周捲繞以構成一個電感器所用 之第1線圏,相互連接前述電容器及前述電感器以構成 封閉電路所用之連接部,及與前逑第1線圈隔一微小間 隙而行電磁結合所用之第2線圈β .8 .如申請專利範圍第7項之靜電容器式轉矩威測器,其 中前述棒沿箸軸心之方向之至少一部份具有磁性體部 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂---------線—{ I n n n I n I* n A8 B8 C8 D8 1六、申請專利範圍 第 述 前 専 請 申 如 9 其 器 。測 部矩 之la 轉0 ^ 生式 ^器 磁Ms 1 40靜 項 捲81 偽第 圈圍 線範 I利 外 朝 圍 周 之 心 軸 之 棒 逑 前 著 沿 有 具第 份述 部前 體 , 性部 磁凹 逑之 前伸 中延 部 凹 之 外 朝 述 前 在 容 收 被 偽 圈 線 其 器Ξ Ϊ 内 感之 矩 向 轉 ί ΐ對 式成 ? 剖 容凹 gB一 電之 0 ^ 之Η 項朝 J 1C I 9a 第 :!刖 圍與 範上 利向 專往 請在 申有 如具 - 中 Μ *r*is ο 器 内測 部1Ε 凹矩 之轉 内式 朝器 述容 -1=1 Ital 育 DFC 在靜 容之 收項 1X 7 圍 圈範 線Ξ 2 禾 第專 述請 前申 ,如 部 裝 鑲 有 含 中 體筒 電述 介 前 述在 前成 與形 隙僳 間極 之電 小狀 微線 一 逑 隔前 上體 棒緣 。 逑絶上 前狀面 於筒周 之之 向體 對緣 成絶 層狀 ,之 器體 測緣 感絶 矩狀 轉筒 式逑 器前 容在 電成 靜形 之俗 項極 II 1 電 第型 圍指 範手 利叉 專對 請述 申前 如中 . 其 面 周 内 ,之 器體 測綠 喊絶 矩狀 轉简 式述 器前 容在 電成 靜形 之傜 項極 11電 第型 圍指 範手 利叉 專對 請逑 申 前 如中 . 其 面 周 外 ,介 器述 測前 感與 矩而 轉隙 式間 器小 容微 電 一 靜隔 之上 項棒 11逑 第前 圍於 範裝 利鑲 專 : 0 有 申含 如中 .其 加叉 附對 me D 过力 前附 於對 成一 形之 及器 ;容 體電 緣個 絶一 狀成 筒構 加且 附面 之周 向之 對體 成緣 層絶 體狀 電筒 棒 述 。 前極 對電 有狀 具線 極加 電附 型個 指數 手多 叉之 對斜 加傾 附度 述角 前之 ,定 極既 電以 型心 指軸 手之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210x 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裘 ----訂---------線J.I . 4426 5 ο Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 矩棒之 轉述變 式前改 器在而 容成變 電形應 靜 ·,随 用棒數 使之偽 為形電 徴圓介 特為且 其面上 ,斷份 法横部 方:一 測有少 偵具至 矩其之 轉 ,面 種器周 一 測外 感之 逑變 前調 應起 锻引 , 使 器動 容變 電之 之量 對極容 層電電 體型靜 電指之 介手器 逑叉容 前對電 與之型 及斜極 ; 傾電 層角指 體定手 電既叉 介以對 心 軸 之 棒 逑 前 對 且 向 得 號 倍 率 頻 變 調 前 ϋΠ 而 從 號 信 率 頻 變 調 生 〇 産矩 而轉 作該 動出 逑對 前成 中層 其體 .電 法介 方逑 測前 偵與 矩種 轉此 之有 項具 5 1 器 第測 圍感 範矩 S- f 轉 專式 請器 申容 如電 .靜 之 指器 手容 叉電 對型 加極 附電 之指 斜手 傾叉 度對 角加 定附 既述 以前 心應 軸馨 之 , 棒器 逑容 前電 對型 且極 向電 頻正 變補 調度 之溫 加行 附進 生以 産號 而信 作率 動頻 變變 調調 起之 i— D 弓 力 使附 動述 變前 之藉 量 , 容號 電倍 靜率 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ--------訂---------線'-- 經濟部智慧財產局員工消費合泎fi印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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