TW439331B - Laser chamber with minimized acoustic and shock wave disturbances - Google Patents
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Description
經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 4 3 9331'·· Λ7 A / _ Β7 五、發明説明(1 ) 發明領域 本發明係關一種雷射放電腔室,且尤其是一種具有最 小的聲波或震波擾動之雷射放電腔室。 發明背景 脈衝式雷射系統,V準分子雷射係很普及的》第1圖 係使用於習常脈衝雷射系統之雷射腔室10的正視圖。如第 1圖所示,雷射腔室10包括一電極結構12、一吹風機14、 一熱交換器26、一前置電離器28、障板30和一接地網32, 其係用以連接電極12之下方至接地端。雷射放電區24係由 電極結構12界定。 第2圖係雷射腔室10的侧視圖。如第2圖所示,雷射腔 室10也包括窗16, 18,以及雷射束20 » 如業界人士所熟悉的’一種脈衝式雷射系統如準分子 雷射’在雷射腔室10内電極12間之氣體產生高能量、高頻 率脈衝。該氣體可以包含氪和氤,係維持在高氣壓,例如 3大氣壓。前置電離器28以自由電子(每立方厘米至1〇8) 在放電區24内首先注滿氣體。一旦在放電區24内的氣體以 一種充分增加的電子密度調制時,電極12發生一種高能量 的放^電’其可能是例如15-50千伏特。由於高能量的放電 ’在距放電時間的100奈秒内發生雷射作用。 在放電區24的高能量放電時,在氣體内部產生大量的 局部加熱。該熱擾動改變了氣體的折射指數,其在雷射系 統的效率和能量方面具有不利的影響。在氣體内部的熱擾 動並不會影響由脈衝而造成熱擾動的雷射作用,因為該雷 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS )八4祕(21〇χ297公瘦) 4 {諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁j -訂.
經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明(2 ) 射作用係發生在高能量放電後的短時間範圍内,大約是100 奈秒。然而’後續的高能量放電,其發生在頻率為大約1 到2千赫時’將會在熱能量氣體高度擾動的狀況下產生, 除非在雷射腔室10内的氣體係呈循環狀◊因此,使用吹風 機14在雷射腔室10内部循環氣體,同時熱交換器26係裝置 在氣流道道内,藉以在其循環時冷卻氣體。在一般狀況下 ’在雷射腔室10的氣體係以每秒25-30米的流速循環,然 而這種數值係依脈衝雷射系統的頻率決定。 當電極結構12產生高能量放電時會產生聲波及/或震 波,然後由放電區24往外傳播。聲波係一種駐波,其係在 雷射腔室10的腔内形成並以音速行進》另一方面,震波係 非駐波’其產生高的壓力梯度並以高於音速的速度行進。 聲波和震波通過氣體傳播直到它們抵達雷射腔室10的 壁面Π和13,此時聲波和震波係反射回到放電區24。在氣 體内聲波和震波係作不必要的壓力變更,因此當反射回到 放電區24時,干擾到雷射系統的能量效率和能量穩定性。 該能量效率和能量穩定性其受影響的程度,依在這些頻率 與該腔室的天然聲音模式互動時的脈衝重複頻率而定。 發明概述 一種根據本發明之一具體實施例的雷射腔室,具有沿 雷射放電區旁侧設置的負反射器,藉以反射磬波和震波使 其遠離雷射放電區。因此,由放電區透射的聲波和震波容 許在雷射腔室内耗散而不致直接反射回到雷射放電區。另 外’角反射器可以協助導引雷射腔室内部的循環氣體之流 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS > Α4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 3 五 4 — Κ-經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _ B7 發明説明(3 ) ^ ' ~~~ - 動。 角反射器可以具有不同的配置以協助耗散聲波和震波 。該角反射器可以具有在反射面界定之切槽和孔,其散射 入射波以及在波的内部產'生·千擾j角反射器也可以用聲波 和震波吸收材斜乂如氈狀金屬等覆蓋β還有,角反射器可 以具有?#孔層,其吸收入射聲波和震波。例如,一種由多 片穿孔板堆疊垛成層疊的障板可以用以作為層疊角反射器 。層疊角反射器的多孔層其係最接近雷射放電區者,須具 有比距雷射放電區較遠的多孔層更高的孔隙度。 另外’雷射腔室之壁面可予以調變藉以協助聲波和震 波經由吸收、散射、以及由在反射波内部產生干擾而耗免 。例如層疊障板垛可沿雷射腔室壁使用,俾便吸收與散射 入射波。雷射腔室之壁面也可以用聲波和震波吸收材料, 如氈狀金屬等覆蓋《在其他具體實施例中,雷射腔室之壁 面可以具有切槽,例如三角形或矩形切槽,其散射入射波 並在波的内部產生干擾》 圖式之簡單說明 前述和其他本發明之特色、方面 '和優點以下述的有 關說明、附列的申請專利範圍、以及伴以圖式將更加明瞭 ,附圖中: 第1圖係在脈衝式雷射系統内所使用的習常雷射腔室 之正視圖; 第2圖係在脈衝式雷射系統内所使用的習常雷射腔室 之側視圖; 6 本紙張尺度適用中國國家榇準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐)
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明(4 ) 第3圖係使用角反射器以提供聲波和震波-耗散性質的 雷射腔室之正視圖; 第4圖顯示第3圖所示雷射腔室之側視圖; 第5A,5B和5C圖顯示角反射器的經調變的反射面之 特定具體實施例; 第5D圖顯示由薄板構築障板的技術; 第6圖顯示具有層疊角反射器的雷射腔室之正視圖; 第7圖顯示層疊障板堆疊垛,其可用作為第6圖所示的 層4反射器具體實施例或如第8圖所示作為雷射腔室壁面 使用; 第8圖顯示具有層疊多孔壁面如氈狀金屬的雷射腔室 之正視圖; 第9圖顯示在壁面具有聲波和震波吸收材料如氈狀金 屬的雷射腔室之正視圖; 第10圖顯示具有壁面其係以三角形水平切槽調變的雷 射腔體之正視圖;以及 第π圖顯示具有壁面其係以矩形水平切槽調變的雷射 腔室之正視圖。 較佳具體例之詳細說明 第3圖係依據本發明之一具體實施例,具有角反射器 11 6和118藉以使聲波和震波擾動減至最低的雷射腔室1⑽ 之正視圖。雷射腔室1〇〇包含一具有陰極102和陽極1〇4的 電極結構,其界定放電區丨03,以及一前置電離器1〇6。雷 射腔室100也包括一吹風機108、一熱交換器H0、障板112 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210 X297公釐〉 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁)
4 4 經濟部中央榡準局員工消費合作衽印製 Α7 Β7 五、發明説明(5 ) 和113、以及一電流網114。 如第3圖所示,雷射腔室1〇〇係類似於美國加州聖地牙 哥的CYMER公司所產製之準分子雷射5000型雷射,然而 ’雷射腔室100包括兩件角反射器116和118其係裝置在放 電區103的各側。然而,本發明的具體實施例並不侷限於 使用所示的特定雷射腔室,而可以使用於具有不同配置的 雷射腔室》 第4圖顯示雷射腔室1〇〇的侧視圖β在第4圖中也顯示 後窗120、前窗122、以及雷射124。第4圖顯示角反射器118 沿放電區1〇3之長度設置。角反射器116(未在第4圖顯示) 以同樣的方式沿放電區103之對側裝置。如第4圖所示,角 反射器118之長度係短於放電腔室1〇〇之長度,然而,若有 需要角反射器118,以及角反射器116,將緊靠雷射腔室100 的前壁126和後壁128 »然而,一般人士可以理解的是,角 反射器116和118為了最佳功能勢必沿放電區1〇3的整個長 度設置。 如第3圖所示之角反射器116和118係定位在緊靠雷射 腔室100之頂壁121沿放電區103的各側,並轉角折向雷射 腔室1〇〇之底壁123。角反射器116和11 8可以用鋁、陶竞、 或其他硬質材料’其係與在雷射腔室1〇〇内所使用的特定 氣體相容,或鍍以相容性材料如鎳者。角反射器116和118 可以與雷射腔室1〇〇的對應壁面U7和119一體成形,或可 以在產製後裝置在雷射腔室1〇〇内。 當陰極102和陽極1〇4產生高能量放電時,在雷射腔室 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 •族丨 ™' 一 r - Μ y 4 3 93 3 1 A7 經濟部中央揉準局男工消费合作社印製 B7五、發明説明(6 ) 100的氣體内會產生聲波和震波。該聲波和震波朝外傳播 直到它們抵達角反射器116和118。由於角反射器116和118 係朝雷射腔室100之底部呈轉折角度,由高能量放電所產 生的聲波和震波會反射遠離放電區103,並朝向雷射腔室 100底部。因此聲波和震波並未直接反射回到放電區103, 而是朝下反射到雷射腔室100因而實質的耗散波。如此, 將聲波和震波反射遠離放電區103,藉此使波所造成的擾 動減至最低。 要了解的是,角反射器116和118須相對放電區103設 置成可反射聲波和震波使其遠離放電區103。角反射§5 jl6 和U8的反射面可以是平面、曲面、或調變的,藉以散射 所反射的波。角反射器116和118的特定角度依雷射腔室之 配置而定,但應予調^整_到矣波射回到放電區103的聲波和 震波減至最彳&。標準的角度範圍是與垂直壁面117和119呈 肩-45度‘ 角反射器116和118另外具有用以在雷射腔室100内部 氣體循環時作為流導件的優點。因此角反射器116和118, 其在第3圖所示係靠緊頂壁121,防止在氣體流動時的擾動 »雖然第3圖也顯示障板113,在某些具體實施例中由於角 反射器118將適切的引導氣體的流動,可以免除障板113。 另外,角反射器116和118可以具有不同形態的反射面 。例如,如第3圖所示,角反射器116和118可以具有平坦 表面,其將有效的反射聲波和震波遠離放電區103,而將 極少對雷射腔室内部氣體的循環產生擾動。角反射器116 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本黃) 本紙張尺度適用中國國家梯準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 9 4 3 93 3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(7 ) 和118的表面也可以用—種聲波和震波吸收性材料如氈狀 金屬襯裡。襯有氈狀金屬的角反射器116和118將會吸收一 部份聲波和震波,並將剩下的波反射遠離放電區103。還 有’角反射器116和118的表面可以用切槽予以調變。第5 A, 5B和5C圖顯示具有調變表面的角反射器Π6之透視圖。要 了解的是,為了易於對照參考,第5A, 5B和5C圖只顯示 角反射器116,而角反射器118可以具有類似的配置。如第 5A圖所示,角反射器116的反射面130係以垂直切槽132調 變。如第5A圖所示,角反射器116反射聲波和震波使其遠 離放電區103。另外,在角反射器Π6的反射面130内的切 槽132’散射入射的聲波和震波以及在反射波内產生干擾 。因此’反射面130將不僅反射聲波和震波使其遠離放電 區103 ’切槽132還將協助瓦解和耗散聲波和震波。 切槽132係以大約0.3吋的間距相隔,且係呈寬〇. 1吋 和深0· 1吋。當然可以有其他的配置,包括改變切槽132的 寬度、深度、或接近程度。還有,切槽132可以具有不同 的配置包括三角形或彎曲型。若有必要,切槽13 2可以配 置呈水平跨越角反射器116的反射面130。然而,水平切槽 可能比垂直切槽132更會擾及反射面130上的循環氣流。 第5B圖顯示具有調變反射面140的角反射器116之透 視圖。調變反射面140包括孔142,其作用類似第5A圖所 示之切槽132。孔142散射聲波和震波以及在波的内部產生 干擾,同時角反射器116的反射面140反射來波使其遠離放 電區103。孔142可以是大約在直徑0.1吋和深0.1吋並以大 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂. 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 4 3 93 3 1 A7 ____B7 五、發明説明(8 ) 約0,3吋的間距定置。 — 第5C圖顯示鋸齒狀調變表面,其轉換各個震波成為 龐大數額的碎波並以許多方向散射β 第5D圖顯示一種以堆疊平板構築障板的方法,是以 其邊緣顯露在欲予耗散的震波之方式,一片頂另一片的構 築。 第6圖顯示雷射腔室150之正視圊,其具有層疊角反射 器152和154沿放電區103定置,藉以反射聲波和震波使其 遠離放電區103。雷射腔室150係類似於第3圖所示的雷射 腔室100’相似標示之元件也是一樣。然而,雷射腔室 包括層疊角反射器152和154。層疊角反射器可以含有例如 多層的穿孔板或多層線網。雖然第6圖係顯示四層,要了 解的是,可以使用任何所需之層數。 第7圖顯示層疊障板堆疊垛160,其可以使用於如作為 層疊角反射器152和154之具體實施例。層疊障板堆疊碌ι6〇 如第7圖所示,包含四片平板162,164,166,和168部份〇要 了解的是,層疊障板堆疊垛160並不限於四片平板,而可 以具有任何所需的平板數目。層疊障板堆疊垛160可以用 鋁、陶瓷、或其他類似的硬質材料其具有孔,藉以產生所 需的孔隙度,或以類似材料的網製造。 四片平板162, 164, 166,和168係由外侧板162往内側 板168呈孔隙度的遞減,各平板可以定置於距下一片平板 約0 1吋,但可以改變平板之接近程度藉以調整層疊障板 堆疊垛160之吸收效率。因此,外侧板162其係最接近放電 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 11 ----ί :-Iii (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *^τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 - 3 ci 1 Α7 Β7 五、發明説明(9 ) 區103的平板,可以具有孔隙度0·9或百分之九十,而平板 164,166,和168具有之孔隙度分別為〇_7,0.5,和〇·3 »當然 平板162,164,166,和168的孔隙度可予以改變,例如控制 聲波和震波之吸收性而非控制該波的反射,而在一具體實 施例中平板162, 164, 166,和168可以具有一樣的孔隙度, 或者是由低到高孔隙度作反向的改變。 該與層疊障板堆疊垛160接觸之聲波和震波係呈部份 被吸收和部份被反射。由於高度孔隙度的平板162係在層 疊障板堆疊垛160的外侧,聲波和震波的主流係由平板i 62 透射。當平板的孔隙度降低時,發生聲波和震波的更多的 反射和較少的透射。透射到層疊障板堆疊垛160的聲波和 震波由在層疊障板堆疊垛160内部的平板作多次的反射。 如此,雖然可能會有某些波由層叠障板堆疊珠160反射出 去’該聲波和震波實質上係在層疊障板堆疊垛16〇内部耗 散。 第6圖所示的層疊角反射器152和154,使用第7圖所示 的層疊障板堆疊垛160之配置’該層疊角反射器152和154 之平板係堆疊垛呈外側平板,亦即最接近放電區1〇3的平 板’具有最高孔隙度的層體’以各個後續層朝雷射腔室150 的壁面117或U9具有遞減的孔隙度。如此,層疊角反射器 152和154將部分吸收和耗散聲波和震波並將反射剩下的波 遠離放電區103 » 層疊角反射器152和154也可用多層線網產製,其也可 以由外層網,亦即最接近放電區的一層網往内層網遞減其 本纸乐尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4規格(2!0X297公楚)
Bmf ml 1^11 ^^^^9 HI :: ...,:^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本X ) 、11 12 '4 '4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(10 ) 孔隙度。在一其他的具體實施例,線網的各層j具有同樣的 孔隙度,或者是以遞增的孔隙度反向變化。 第8圖顯示一具有多孔層調變的壁面117,119,和123 的雷射腔室170之正視圖〇層疊多孔壁面172,174和176係 沿雷射腔室170的壁面117,119,和123定置,如此,由放 電區透射的聲波和震波會由多孔壁面17 2,174,和176散射 並吸收。雷射腔室170類似於如第3圖所示之雷射腔室100 ,類似標示之先件也相同。然而,雷射腔室17〇並未顯示 角反射器116和118’而是包括層疊多孔壁面172,174,和 176 » 雖然第8圖顯示四層的多孔壁面,要了解的是,層疊 多孔壁面172, 174,和176可以包含多層且不限於一特定層 數。另外,雷射腔室170可以具有不同的配置,包括具有 沿雷射腔室170的頂壁121的層疊多孔壁面,或僅有分別沿 侧壁117和119的層疊多孔壁面172和174,及/或具有局部 覆蓋,如此只有最接近放電區103的侧壁117和119的區域 係覆蓋的侧壁117和119 〇還有,業界人士可以了解的是, 雷射腔室170也可以含有角反射器116和118或層疊角反射 器152和154。如此,雷射腔室170可以有利的受益於反射 聲波和震波使其遠離放電區103,以及受益於以層疊多孔 壁面172, 174,和176的吸收和散射聲波和震波。 層疊多孔壁面172} 174,和176可以包含多層穿孔面板 ’如在第7圖所示的層疊障板堆疊株160。然而,由於層疊 多孔壁面172和174並未呈角度狀,可能發生非期望的聲波 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 13 (請先閲讀背面之注意事項再球寫本頁}
B7 五、發明説明(11 ) 和震波之逆向反射。如此’層疊多孔壁面172,174,和176 需要具有高吸收效率及/或產生波的大量散射。 另外’層疊多孔壁面172, 174,和176可以用線網與各 後續層的網距放電區103具有遞減的孔隙度,請參考如在 第6圖所示層疊角反射器152, 154所作的說明。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第9圖顯示具有以一種聲波和震波吸收材料182調變壁 面117,119,和123的雷射腔室180之正視圖。雷射腔室ι8〇 類似於第8圖所示的雷射腔室170,類似標示之元件也相同 。然而’雷射腔室180使用一種聲波和震波吸收材料藉以 吸收並耗散透射自放電區103的聲波和震波,而不是使用 一種層疊多孔壁之配置。雷射腔室18〇可以使用例如,& 狀金屬或泡沫金屬作為聲波和震波吸收材料182。如第8圖 所示的雷射腔室170,雷射腔室180可以使用聲波和震波吸 收材料182與角反射器116和118或層疊角反射器152和154 結合。壁面117, H9, 121,和123也可以用如分別於第1〇和 11圖所顯示說明的雷射腔室i 90和200之調變方式調變。第 10圖顯示具有具有三角形水平切槽192的侧壁117,U9和 底壁U3的雷射腔室190之正視圖。雷射腔室19〇類似於第8 圖所示的雷射腔室170,類似標示之元件也相同β然而, 雷射腔室190的壁面117,119,和123係以三角形水平切槽 192調變。作為舉例但非限制性,切槽192的尖峰間距可以 大約0.3吋而高度可以約〇.丨吋。 第11圖顯示雷射腔室2〇〇之正視圖,其係類似於第1〇 圖所示雷射腔室190,然而雷射腔室200包含具有矩形切槽 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )八4驗(21〇><297公釐) :—. 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 ____B7 五、發明説明(u ) 202的調變壁面117, 119,和123。作為舉例但-不侷限的是 ’矩形切槽202可以間距約〇·3吋而寬可以約〇. 1吋以及深 0.1 对。 如第10和π圖所分別顯示的切槽192和202,散射入射 之聲波和震波以及對所反射的波產生干擾。如此,壁面丨i 7, 119,和123將具有至少佔放電區1〇3之長度,而且可如第4 圖所示的佔有由前壁126到後壁128的切槽192和202,藉以 有利的分解和耗散聲波和震波。 一般人士可以了解的是’切槽192和2 02可以具有不同 的配置。因此’切槽192和202可以具有不同的形狀,包括 方形、彎曲型、或鋸齒狀且可以定置呈垂直的而不是水平 的。另外’調變的壁面117,119,和123可以具有孔,其界 定於類似於第5B圖所示之調變反射面14〇的表面。 還有’業界人士要了解的是,分別於第1〇和11圖的雷 射腔室190和200,也可以包括角反射器π 6和118或層疊角 反射器152和154 *如此’雷射腔室19〇和2〇〇可以有利的受 益於經由使用角反射器反射聲波和震波遠離放電區1〇3, 以及受益於具有聲波和震波以調變壁面H7,119,和123予 以散射和.耗散。 雖然本發明的具體實施例例,其係以參考某些變動作 相當詳細的說明’但仍可能會有其他的具體實施例例。例 如’本發明的具體實施例可以與具有所顯示以外的配置之 雷射腔室結合使用。另外’要了解的是,本發明的實施例 可彼此結合使用。因此’例如角反射器U 6和n 8或層疊角 本紙張尺度適用中國國家標芈(CNS ) A4規格(210X297公釐) 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部中夬標準局貝工消費合作社印製 ^^933 1 A7 _ B7五、發明説明(13 ) 反射器152和154可以與切槽!92或202結合使用,在此切槽 192或202係以聲波和震波吸收材料丨82,例如氈狀金屬覆 蓋。還有’層疊障板堆疊垛160其可以使用於内侧板162者 係以包含切螬192或202調變,藉以增加散射效果。所說明 的本發明實施例之組合一般人士將可了解。因此,所附申 請專利範圍的要旨和範疇將不侷限於附圊所說明的版本。 元件標號對照 10 雷射腔室 Π 壁面 12 電極結構 13 壁面 14 吹風機 16 前窗 18 後窗 20 雷射束 24 放電區 26 熱交換器 28 前置電離器 30 障板 32 接地網 100 雷射腔室 102 陰極 103 放電區 104 陽極 106 前置電離器 108 吹風機 110 熱交換器 112 障板 113 障板 114 電流網 116 角反射器 117 垂直壁面 118 角反射器 119 垂直壁面 120 後窗 121 頂壁 122 前窗 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 4 3 9331 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明(Μ ) 123 底壁 124 雷射 126 前壁 128 後壁 130 反射面 132 垂直切槽 140 反射面 142 孔 150 雷射腔室 152 層疊角反射器 154 層疊角反射器 160 層疊障板 162 平板 164 平板 166 平板 168 平板 170 雷射腔室 172 層疊孔隙度壁面 174 層疊孔隙度壁面 176 層疊孔隙度壁面 180 雷射腔室 182 波吸收材料 190 雷射腔室 192 三角形水平切槽 202 矩形水平切槽 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Α. 本紙浪尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) -17-
Claims (1)
- 填請匕、..,,.-¾示竹年5月Μ曰所提之 修;i,广變更實質i是否准予修正。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α· —種雷射裝置,其包含: 一雷射腔室(100); 一容納於該雷射腔室(100)内部的電極結構,該電 極結構包含陽極(104)和陰極(102),其係以界定一雷射 洩放區(103)之距離予以分開;以及 一在雷射腔室(1〇〇)内部的肖反射器(116),該角反 射器(116)反射透射自該雷射洩放區(1〇3)的波使其遠離 該雷射洩放區(103)。 2.如申請專利範圍第1項所述之雷射裝置,其中該角反射 器(116)具有調變表面(130)。 3* —種雷射腔室(170),其包含: 至少一壁面(117)形成該雷射腔室(17〇)之一部份; 以及 該至少一壁面(II7)具有調變表面(192)。 4·如申請專利範圍第2項所述之雷射裝置(1〇〇,200),其 中該調變表靣(130, 117)係以切槽(202)調變。 5.如申請專利範園第3項所述之雷射腔室(1〇〇,200),其 中該調變表面(130, 117)係以切槽(202)調變。 6_如申請專利範圍第4項所述之雷射裝置(100, 190),其 中該切槽(第5C圖,192)係三角形。 7. 如申請專利範圍第5項所述之雷射腔室(1〇〇, 190),其 中該切槽(第5C圖,192)係三角形。 8. 如申請專利範圍第2項所述之雷射裝置(100,200),其 中該調變表面(140,202)係以在該調變表面(140,202) — — — — — — rill·!! — - I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·- --線. 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 18 4 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 所界定的孔(142)調變。 9. 如申請專利範圍第3項所述之雷射腔室(100,200),其 中該調變表面(140,202)係以在該調變表面(140,202) 所界定的孔(142)調變。 10. 如申請專利範圍第2項所述之雷射裝置(100,180),其 中該調變表面(116, 117)具有包含波吸收材料(182)的表 面。 11. 如申請專利範圍第3項所述之雷射腔室(100,180),其 中該調變表面(116, 117)具有包含波吸收材料(182)的表 面.。 12. 如申請專利範圍第2項所述之雷射裝置(15〇,17〇),其 中該調變表面(152,172)係層疊表面,該層疊表面包含 複數多孔面(160)。 13. 如申請專利範圍第3項所述之雷射腔室(15〇,17〇),其 中該調變表面(152, 172)係層疊表面,該層疊表面包含 複數多孔面(160) » 14_如申請專利範圍第12項所述之雷射裝置(150,170),其 中該複數多孔面(160)係多層多孔板。 15. 如申請專利範圍第13項所述之雷射腔室(丨5〇,17〇),其 中該複數多孔面(160)係多層多孔板。 16. 如申請專利範圍第3項所述之雷射腔室(17〇),其更包 含: 一容納在雷射腔室(100)内部的電極結構,該電極 結構包含陽極(104)和陰極(102) ’其係以界定雷射洩放 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21CU 297公楚) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i —,—訂---------線— 19 」:彡...w 〆.J A8 B8 C8 ____D8 六、申請專利範圍 區(103)之距離予以分開;以及 一在該雷射腔室(1〇〇)内部的角反射器(116),該角 反射器(116)反射透射自該雷射洩放區(〗〇3)的波使其遠 離該雷射洩放區(103)。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂: -線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 20
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GD4A | Issue of patent certificate for granted invention patent | ||
MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |