TW424114B - Cathode-arrangement for an equipment to sputter a target - Google Patents

Description

4 24 1 1 H. ., 7； a7 ^ - v - » f t · B7 五、發明説明（） 本發明是有谪一種濺鍍靶之裝置所使用之陰極配置， 此配置具有磁軛及配置在靶與磁軛之間的永久磁鐵以及 一種固定裝置，以便將磁軛固定在真空室之壁面上。 類似之陰極配置在DE 19508406.3中已為人所知。在 DE 19508406.3中對一對（pair)靶（TARGET)進行濺鍍所 用之裝置除了具有陰極配置以外，還包括：磁軛；狹長 之板形組態之靶；配置於靶和磁軛之間的複數列（row) 之永久磁鐵；以及固定裝置A或 B以便使陰極固定於 真空室之壁面組件上，每一受支撐之位置固定之磁繭在 其遠離靶之側面上固定地設有一些外形（profile)嵌條 ，這些嵌條之平行於磁軛之縱向側而延伸之側面構成上 升式斜面（ramp),此種斜面對應於夾緊顎板上之表面， 這些夾緊顎板同樣是用作上升式斜面，其中在外形嵌條 二側所設置之夾緊顎板藉助於夾緊螺釘而可平行於靶面 而移動且藉肋於其遠離靶之側面而可支撐於一掴可與靶 相建接之平頭上，在該平頭側於磁軛之方向中對該平頭 施加一種彈簧力。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再¥^-本頁) 本發明之目的在於提供一種陰極，以濺鍍高絕緣性之 物質，此種陰極之外部表面大部份是平坦的，不至於有 像螺栓頭、穿孔或隙縫之類的粗糙表面。特別重要的一 點是靶之更換應以簡易、迅速、無須特殊工具的方式卽 可進行。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 24 1 Μ/ΐϊ ^ ’ Α7 Β7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印掣 五、發明説明（) 此目的是以下列方式而得以解決：固定在一處之磁軛 在其與靶遠離的一側上與凸輪或成對之凸輪鄰接，凸輪 則以平頭加以支撑，平頭經由螺釘或具有間隙之彈簧式 螺栓而與磁轭相連，其中磁軛的兩側上都設計有ϋ型搆 造的爪式或夾式嵌條，嵌條侧邊上遠立之支管或爪狀 邊緣組件一方面各輿平頭重另一方面與磁甎及/或 靶之背板重璺。 申請專利範圍各項中會進一步説明本發明的其他細節 與特擻。 本發明可有不同型式的實施方式，附國中顯示其中一 種構造方式。圖式簡箪銳明如下： 圖1本發明中兩陰槿配置之橫切面匾。 圖2 _1中除極配置之设向切面國。 圖3圖1與匯2中兩陰極配置之俯視圔（切面之一部 份）〇 画4陰槿横切面之放大圈〇 圍5圖1中陰極Κ置之横切面圄，但具有逮離中間平 板之陰極。 如圖1所示，兩餾陰捶（3)(4)藉助螺釘（7)(δ)或（9)( 10)固定在真空室（6)之上壁（5)上，其中陰極（3)(4)本身 各經由形成鐽條的成對接H (11)(12)而與軸承支架（13) 及絕緣子（15)連接，且經由螺釘（17)(18)或與軸承支架 -4 - ----------^.^— {請先閲讀背面之注意事項再广一本頁)

•tT /線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 424114； A7 B7 經濟部中央標準爲員工消費合作社印f 五、發明説明（） (14)及與螺釘（19)直接相連的絕緣子（16)相脚接。絕緣 子（15M16)—方面播助立式螺栓（20)(21)或（24)(25)而 旋緊在磁軛（22)(23)上（參閲鼸2).使得陰掻（3)(4)與 包圍陰極（3)(4>的脚板（26 Μ27)(2δ)、磁轭（22 )(23)、 冷卻管（29)(30)或（30)(31)、永久磁鐵（33)(34)或（35) (36)或（53M54)或（55 )(56)、夾式嵌條（37)(38)或（39) (40)、平頭（41)或（42)、具有凸輪軸U5)及彈簧式螺栓 (67>(67M...等之凸輪（43)(44)、具有背板（51)或（52) 之靶（49)或（50),共同懸掛在上壁（5)上。 靶（49)(50)或其背板（51)(52),藉助於夾式嵌條（37) (3 8)(39)(40),相對於膜（57)( 58 >而分別受到壓緊，由於 其面向基醱的邊界部份（59)(60) (6 1)(62)會遮蓋背板（51) (52),而背板各又與磁輞（22 )(23)貼緊，其中遠離背板 的邊界部份（63)(64)(65)(66)與平頭（41)(42)重蠱，此 外平頭各別藉螺釘（67M67’）而與磁軛922)(23)相連。 為了使靶（49)(50)堅固地與磁轭（22)(23)相連接，凸輪 軸（45M45’）.，.等會旋轉成一定程度，使平頭（41)(42) —方面固定在上方之邊緣部份（63)(64)(65)(66)上，另 一方面使下方之邊錄部份（59)(60)(61)(62)固定在間隔 嵌條（75)(76)(77)(78)上，而所有由夾式嵌條（37 )(38) (39)(40)所包困的部份彼此堅固地互相連接。由於轎承 支架（13)(14)藉助螺釘（20)(21)或（24)(25)而與磁轭（ ---------4 装-- (請先W讀背面之注意事項再)*)本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐） 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 424114 4 A7 __ B7______五、發明説明（） 22)(23)相連，軸承支架（13)(14)會因而由真空室（6)的 上壁（5)所支撑住。同時，蓋板（79)會支撑在絕緣子（81 )(82)上，而絕緣子（81), (82)再由螺釘（20)(21)或（24 )(25)所支撑。介於軸承支架（13)與絕緣子（15)之間設 有一道缝隙（83),這樣一來陰® (3)(4)即可相對於臛2 右方水平面上所顯示的懸置醱來進行固定的移動（由於絕 緣子（15)(16)、軸承支架（13M14)鉸接式地經由接片（ 11)(12)或螺釘（17)(18)而相連，Μ因此以鍵條的方式作 用）。陰極（3)(4)之構造相當長，每一櫥長形之陰搔（3) (4)皆經由多偏各在其長度上分怖而配置之型式（Α)的懸 置體（潁示在圈2左方）以及經由各型式（Β)的懸置體（顯 示在圖2右方）而固定在上壁（5)上。 經由包封配置可使陰搔醴相對於濺鍍層而受到保謳〇 爪式嵌條或夾式嵌條（37)至（40)可将靶（49)(50)固定， 並依據外形而將靼（49M50)相對於膜（57)(58)而夾緊。 夾式嵌條由多偁部份組成，經由分離式定位而在最小缝 敝（90) (91)的情況下可控制長度之擴展。伸向基體方向 的那一面是平滑的，可防止局部之程序不穣定，尤其是 電孤（Arcing)。 如果取掉許多雄釘，並藉助起子將凸輪軸（45)(45·) ...等旋轉而鬆開，即可很迅速地更換靶。 上鎖與夾緊則經由平頭（41)(42)上可旋轉的凸輪轅（- 6 一 ----；—-----裝— (請先閲讀背面之注^項再本頁) 订 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（） 45)(45’）...等來進行，凸輪或傾心輪固定配置在凸輪 鞴上，凸輪或偏心_支撑在磁轭（22) (23)的上方。凸輪 的高度或偏心率是根撺以下方式澍得的：凸輪高度或餹 心率至少應相當於縫除"a”（參閲圖4)。為了將適合用來 旋轉凸輪軸（45)(45’）...的工具導入凸輪軸（45)(45*) 的正面，夾式嵌條（37)(38)或（39)(40)中相對地設 有與凸輪軸（45)(45·)·..對準的穿孔（97M97’）...。鬆 開時是以彈簧力把鋇定板或平頭（41)(42)提高，再辕開 夾式嵌條（37)至（40)。螺釘的運作較有利的是在朝外對 準之陰棰面上進行。這樣可以防止更換靶時損寄了靶。 螺釘受到塗層的可能性減為最小，並可確保靶之更換簡 易而方便。 符號對照表 ----------ΤΓ 裝·-- (請先閲讀背面之注意事項再Ji)本頁) *^τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 3 陰極 4 >! 5 上壁 6 真空室 7 螺釘 8 >) 9 !> 10 )) 11 接Η 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) a4規格（210Χ297公釐） 424114/“ A7 B7 五、發明説明（） 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 12 接 片 13 軸 承 支 架 14 1 15 絕 緣 子 16 η 17 螺 釘 18 刀 19 J/ 20 立 式 螺 栓 21 / > 22 磁 扼 23 24 立 式 螺 栓 25 / / 26 侧 板 27 / 28 中 間 板 29 冷 卻 管 38 31 ” 32 33 永 久 磁 鐵 ---------^装-- \ (請先閱讀背面之注意事項再产}本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 2d ] 14 -¾ '： A7 B7 五、發明説明（） 34 J/ 35 J/ 36 永 久 磁 ΛΙ* 鐵 37 夾 式 嵌 條 38 )ϊ \ 39 }) \ 40 }) 41 平 頭 42 J/ 4 3 · 4 3 ’---- 凸輪，偏心輪 44.44.____ ” 45, 45'，.·.凸輪軸，鯈心輪軸 49 範 50 ” 51 背板 5 2 ” 53 永久磁鐵 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 4 5 6 7 8 Rv ro 5 5 5 膜" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 424114/31 m A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 59 60 61 62 63 64 65 66 67.67 - . 75 76 77 78 79 80 81,81',... 82 83 89，δ9 ’，… 90 91 97,97,____ 邊綠組件 η /1 η 邊緣組件 ” » 螺釘，彈簧式螺栓 間隔嵌條 Jf 遮蓋板，底板 正面 線線子 縫隙 彈簧 開口，键陳 }! }f -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------^裝'-- (請先聞讀背面之注意事項再\ 本頁) 訂

Claims (1)

1. 4^4 1 I 4 η 公告本 六、申請專利範圍 第85 1 06366號「濺鍍靶之裝置所使用之陰棰配置」專利案 (88年5月修正） 巧申請専利範圍 1. 一種濺鍍靶（49或50)之裝置所使用之陰極62置，其具 有磁軛（22,23)及配置在靶與磁軛之間的成排永久磁 鐵（33,34,53,54或35,36,55,56),以及具有固定裝置 (Α或Β),以便將磁轭（22或23)固定在真空室（6)之壁 面（5>上，其待欺為：固定在一處之磁轭（22或23)在 其逋離靶（49或50>的一面是與凸輪或成對之凸輪（ 43,44或43',44*>鄰接，凸輪或成對之凸輪則支掙在 平頭（41或42)上，平頭經由媒釘或具有間酴（a)之 彈簧式螺栓（67,67·..·)而與磁轭（22或23)相連，其 中磁轭（22或23)的兩倒上都設有ϋ型構迪的爪式或夾 式嵌條（37,38或39,40)，嵌條側邊上逮立之支管或爪 狀邊镰組件（59至66) —方面各與平頭（41或42)重叠· 另一方面與磁轭（22或23)及/或靶之背板（51或52)重 叠。 經濟部中央標华爲員工消費合作社印装 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2. 根據申請專利範圍第1項之陰極配置，其中 固定在一處之磁軛在其遠離基體的一面是與凸韈或成 對之凸輪鄰接或支撑在這些組件上，凸輪或成對之凸 輪則與兩値U型構造之爪式或夾式嵌條上方之爪狀邊 綠组件一起作用，其中在磁軛兩面上的夾式嵌條與其 本紙張尺度速用中國菌家梯準（CNS ) Α4规格（210x297公釐） 4 24 1 14 i· A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 下方之爪狀邊猓組件，則與磁軛、背板或靶之面向基 體的那一面重*。 3. 根據申諳專利範圍第1項或第2項之陰搔配置，其中 凸輪軸或偏心輪軸或其軸承頸是位於磁軛上，處於夾 緊位置下之凸輪或徧心輪以平頭或直接以爪式嵌條之 逮離靶之邊緣組件來支掙本身。 4. 根據申請專利範圍第1項或第2項之陰極配置，其中 凸輪軸或瘺心輪軸或其軸承頸是位於平頭上，處於夾緊 位置下之凸輪或偏心輪以磁轭或背板之遠離靶的那一面 來支撑本身。 ---,r------裝-- % 〆 (請先閱讀背面之注意事項声 <本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 -2- 本紙張尺度逋用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐）