JPH0925569A - ターゲットを飛散させる装置のための陰極装置 - Google Patents
ターゲットを飛散させる装置のための陰極装置Info
- Publication number
- JPH0925569A JPH0925569A JP8178057A JP17805796A JPH0925569A JP H0925569 A JPH0925569 A JP H0925569A JP 8178057 A JP8178057 A JP 8178057A JP 17805796 A JP17805796 A JP 17805796A JP H0925569 A JPH0925569 A JP H0925569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet yoke
- target
- cam
- magnet
- cathode device
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 特に高絶縁材料のスパッタリング用の陰極、
それも、陰極外面に、ねじ頭、穴、間隙等の凹凸が存在
しない陰極を製造することにある。また、特に、ターゲ
ット交換が、極めて簡単かつ迅速に、特別な工具を使用
せずに実施できるようにする。 【解決手段】 定置保持された磁石ヨーク２２，２３
が、ターゲット４９，５０の反対側で、ヘッドプレート
４１，４２に支えられたカム４３，４４，４３′，４
４′に接触し、前記ヘッドプレートが、ねじ又はばねボ
ルト６７，６７′を介して磁石ヨークに、遊びａをもっ
て結合され、更に、磁石ヨークの両側には、Ｕ字形のつ
め付き条片又はクランプ条片３７，３８，３９，４０が
配置されており、これら条片から側方へ突出した脚又は
爪状縁部５９，６０，６１，６２，６３，６４，６５，
６６が、それぞれ、一方の側ではヘッドプレートに、他
方の側では磁石ヨーク及び又はターゲット背板５１，５
２に被さるようにされている。
それも、陰極外面に、ねじ頭、穴、間隙等の凹凸が存在
しない陰極を製造することにある。また、特に、ターゲ
ット交換が、極めて簡単かつ迅速に、特別な工具を使用
せずに実施できるようにする。 【解決手段】 定置保持された磁石ヨーク２２，２３
が、ターゲット４９，５０の反対側で、ヘッドプレート
４１，４２に支えられたカム４３，４４，４３′，４
４′に接触し、前記ヘッドプレートが、ねじ又はばねボ
ルト６７，６７′を介して磁石ヨークに、遊びａをもっ
て結合され、更に、磁石ヨークの両側には、Ｕ字形のつ
め付き条片又はクランプ条片３７，３８，３９，４０が
配置されており、これら条片から側方へ突出した脚又は
爪状縁部５９，６０，６１，６２，６３，６４，６５，
６６が、それぞれ、一方の側ではヘッドプレートに、他
方の側では磁石ヨーク及び又はターゲット背板５１，５
２に被さるようにされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターゲットを飛散
させる装置のための陰極装置であって、磁石ヨークと、
ターゲットと磁石ヨークとの間に配置された永久磁石列
と、磁石ヨークを真空室の壁部に固定する取付け具とを
有する形式のものに関するものである。
させる装置のための陰極装置であって、磁石ヨークと、
ターゲットと磁石ヨークとの間に配置された永久磁石列
と、磁石ヨークを真空室の壁部に固定する取付け具とを
有する形式のものに関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の根底をなす課
題は、特に高絶縁材料のスパッタリング用の陰極、それ
も、陰極外面に、ねじ頭ないしボルト頭、穴、間隙等の
凹凸が存在しない陰極を製造することにある。また、特
に、ターゲット交換が、極めて簡単かつ迅速に、特別な
工具を使用せずに実施できるようにすることにある。
題は、特に高絶縁材料のスパッタリング用の陰極、それ
も、陰極外面に、ねじ頭ないしボルト頭、穴、間隙等の
凹凸が存在しない陰極を製造することにある。また、特
に、ターゲット交換が、極めて簡単かつ迅速に、特別な
工具を使用せずに実施できるようにすることにある。
【０００３】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、定置保持された磁石ヨークが、タ
ーゲットとは反対の側で、ヘッドプレートに支えられた
カムまたはカム対に接触し、前記ヘッドプレートが、ね
じ又はばねボルトを介して磁石ヨークに、遊びをもって
結合され、更に、磁石ヨークの両側には、Ｕ字形のつめ
付き条片又はクランプ条片が配置されており、これら条
片から側方へ突出した脚又は爪状縁部が、それぞれ、一
方の側では、ヘッドプレートに、他方の側では、磁石ヨ
ーク及び又はターゲット背板に被さるようにされている
ようにした。
に本発明の構成では、定置保持された磁石ヨークが、タ
ーゲットとは反対の側で、ヘッドプレートに支えられた
カムまたはカム対に接触し、前記ヘッドプレートが、ね
じ又はばねボルトを介して磁石ヨークに、遊びをもって
結合され、更に、磁石ヨークの両側には、Ｕ字形のつめ
付き条片又はクランプ条片が配置されており、これら条
片から側方へ突出した脚又は爪状縁部が、それぞれ、一
方の側では、ヘッドプレートに、他方の側では、磁石ヨ
ーク及び又はターゲット背板に被さるようにされている
ようにした。
【０００４】
【発明の実施の形態】本発明には、極めてさまざまな実
施形式が可能である。そのうちの１つの実施形態を図面
につき説明する。
施形式が可能である。そのうちの１つの実施形態を図面
につき説明する。
【０００５】図１に示したように、双方の陰極３，４
が、ねじ又はボルト７，８及び９，１０によって真空室
６の上方壁部５に取付けられている。この場合、陰極
３，４自体は、それぞれ、ねじ又はボルト１７，１８を
介して軸受台１３及び絶縁体１５に、鎖リンクを形成す
るリンク板１１，１２を介して連結されるか、もしく
は、ねじ又はボルト１９により軸受台１４に直接結合さ
れた絶縁体１６に連結されている。絶縁体１５，１６の
ほうは、植込みボルト２０，２１若しくは２４，２５を
介して磁石ヨーク２２，２３とねじ結合されている（図
２参照）。この結果、陰極３，４は、これらの陰極３，
４を取囲む側板２６，２７，２８と、磁石ヨーク２２，
２３と、冷却管２９，３０若しくは３１，３２と、永久
磁石３３，３４若しくは３５，３６若しくは５３，５４
若しくは５５，５６と、クランプ条片３７，３８若しく
は３９，４０と、ヘッドプレート４１，４２と、カム軸
４５及びねじ又はばねボルト６７，６７′を有するカム
４３，４４と、背板５１若しくは５２を有するターゲッ
ト４９若しくは５０と共に、上方の壁部５に懸吊されて
いる。
が、ねじ又はボルト７，８及び９，１０によって真空室
６の上方壁部５に取付けられている。この場合、陰極
３，４自体は、それぞれ、ねじ又はボルト１７，１８を
介して軸受台１３及び絶縁体１５に、鎖リンクを形成す
るリンク板１１，１２を介して連結されるか、もしく
は、ねじ又はボルト１９により軸受台１４に直接結合さ
れた絶縁体１６に連結されている。絶縁体１５，１６の
ほうは、植込みボルト２０，２１若しくは２４，２５を
介して磁石ヨーク２２，２３とねじ結合されている（図
２参照）。この結果、陰極３，４は、これらの陰極３，
４を取囲む側板２６，２７，２８と、磁石ヨーク２２，
２３と、冷却管２９，３０若しくは３１，３２と、永久
磁石３３，３４若しくは３５，３６若しくは５３，５４
若しくは５５，５６と、クランプ条片３７，３８若しく
は３９，４０と、ヘッドプレート４１，４２と、カム軸
４５及びねじ又はばねボルト６７，６７′を有するカム
４３，４４と、背板５１若しくは５２を有するターゲッ
ト４９若しくは５０と共に、上方の壁部５に懸吊されて
いる。
【０００６】ターゲット４９，５０若しくはその背板５
１，５２は、クランプ条片３７，３８，３９，４０を介
して、それぞれ、隔膜５７，５８に対して押圧される。
なぜなら、サブストレートに向いた側の条片縁部５９，
６０，６１，６２が、背板５１，５２と重ねられ、それ
ぞれ磁石ヨーク２２，２３に対して背板を引付け固定す
るからである。この目的のために、背板とは反対側の縁
部６３，６４，６５，６６が、ヘッドプレート４１，４
２に被さり、これらのヘッドプレート４１，４２が、ね
じ又はばねボルト６７，６７′によって磁石ヨーク２
２，２３に結合されている。
１，５２は、クランプ条片３７，３８，３９，４０を介
して、それぞれ、隔膜５７，５８に対して押圧される。
なぜなら、サブストレートに向いた側の条片縁部５９，
６０，６１，６２が、背板５１，５２と重ねられ、それ
ぞれ磁石ヨーク２２，２３に対して背板を引付け固定す
るからである。この目的のために、背板とは反対側の縁
部６３，６４，６５，６６が、ヘッドプレート４１，４
２に被さり、これらのヘッドプレート４１，４２が、ね
じ又はばねボルト６７，６７′によって磁石ヨーク２
２，２３に結合されている。
【０００７】ターゲット４９，５０を磁石ヨーク２２，
２３に連結させるためには、カム軸４５，４５´を回転
させて、一方では、ヘッドプレート４１、４２が上方の
縁部６３，６４，６５，６６に、他方では、下方の縁部
５９，６０，６１，６２がスペーサ条片７５，７６，７
７，７８に、それぞれ当て付けられるようにし、クラン
プ条片３７，３８，３９，４０によって囲まれている部
材のすべてが、互いに結合されるようにする。軸受台１
３，１４は、植込みボルト２０，２１若しくは２４，２
５により、磁石ヨーク２２，２３と固定結合されている
ので、真空室６の上方の壁部５により保持される。同時
に、カバープレート７９も絶縁体８１，８２に支えら
れ、絶縁体８１，８２は、植込みボルト２０，２１と２
４，２５によって保持される。軸受台１３と絶縁体１５
との間には、間隙８３が設けられており、これによって
陰極３，４は、図２の右手に示された懸架部に対して一
定に運動を水平面内で行うことができる（なぜなら、一
方の絶縁体１５，１６と、軸受台１３，１４とは、リン
ク板１１，１２若しくはねじ又はボルト１７，１８を介
して枢着結合されており、その結果、鎖リンクの形式で
動作するからである）。陰極３，４は、極めて長尺に構
成されており、しかも、双方の長尺陰極３，４のそれぞ
れが、それぞれ陰極全長にわたって分配配置された複数
のＡ型懸架部（図２の左手に示されている）と，それぞ
れ１つのＢ型懸架部（図２の右手に示したもの）とのと
ころで、上方壁部５に固定されている。
２３に連結させるためには、カム軸４５，４５´を回転
させて、一方では、ヘッドプレート４１、４２が上方の
縁部６３，６４，６５，６６に、他方では、下方の縁部
５９，６０，６１，６２がスペーサ条片７５，７６，７
７，７８に、それぞれ当て付けられるようにし、クラン
プ条片３７，３８，３９，４０によって囲まれている部
材のすべてが、互いに結合されるようにする。軸受台１
３，１４は、植込みボルト２０，２１若しくは２４，２
５により、磁石ヨーク２２，２３と固定結合されている
ので、真空室６の上方の壁部５により保持される。同時
に、カバープレート７９も絶縁体８１，８２に支えら
れ、絶縁体８１，８２は、植込みボルト２０，２１と２
４，２５によって保持される。軸受台１３と絶縁体１５
との間には、間隙８３が設けられており、これによって
陰極３，４は、図２の右手に示された懸架部に対して一
定に運動を水平面内で行うことができる（なぜなら、一
方の絶縁体１５，１６と、軸受台１３，１４とは、リン
ク板１１，１２若しくはねじ又はボルト１７，１８を介
して枢着結合されており、その結果、鎖リンクの形式で
動作するからである）。陰極３，４は、極めて長尺に構
成されており、しかも、双方の長尺陰極３，４のそれぞ
れが、それぞれ陰極全長にわたって分配配置された複数
のＡ型懸架部（図２の左手に示されている）と，それぞ
れ１つのＢ型懸架部（図２の右手に示したもの）とのと
ころで、上方壁部５に固定されている。
【０００８】陰極のボディは、このように包み込むよう
に配置されることによって、薄膜のスパッタリングを防
止されている。つめ付き条片若しくはクランプ条片３
７，３８，３９，４０は、ターゲット４９，５０を固定
し、隔膜５７，５８に対してターゲットを形状接続式に
緊定している。クランプ条片列は、複数の部分から成っ
ており、別個に固定されていることにより、極めて狭い
間隙９０，９１にも拘らず、延びの制御が可能である。
サブストレートの側は、滑らかにされ、局所的な処理不
安定性、例えば特にアーク発生等が回避される。
に配置されることによって、薄膜のスパッタリングを防
止されている。つめ付き条片若しくはクランプ条片３
７，３８，３９，４０は、ターゲット４９，５０を固定
し、隔膜５７，５８に対してターゲットを形状接続式に
緊定している。クランプ条片列は、複数の部分から成っ
ており、別個に固定されていることにより、極めて狭い
間隙９０，９１にも拘らず、延びの制御が可能である。
サブストレートの側は、滑らかにされ、局所的な処理不
安定性、例えば特にアーク発生等が回避される。
【０００９】多くのねじを廃し、六角棒スパナを用いて
カム軸４５，４５′を回すことによって、ターゲットを
簡単に外せることから、ターゲット交換を迅速に行なう
ことができる。
カム軸４５，４５′を回すことによって、ターゲットを
簡単に外せることから、ターゲット交換を迅速に行なう
ことができる。
【００１０】ロックと締付けとはヘッドプレート４１，
４２に回転可能に軸受されたカム軸４５，４５′を介し
て行なう。これらの軸には、カム又は偏心板４３，４
３′が固定取付けされている。これらのカム又は偏心板
は、磁石ヨーク２２，２３の上側に支えられている。こ
の場合、カムの高さ若しくは偏心半径は、少なくとも間
隙「ａ」に合致するように、寸法づけされている（図４
参照）。カム軸４５，４５′を回すのに適した工具を、
これらカム軸４５，４５´の端面側へ差込めるようにす
るため、クランプ条片３７，３８若しくは３９，４０に
は、カム軸４５，４５′と整合する穴９７，９７′を設
けておく。ロックを解除する際には、ばね力によって閉
鎖板又はヘッドプレート４１，４２が持上げられ、クラ
ンプ条片３７，３８，３９，４０が解放される。ねじ若
しくはボルトの操作は、有利には、陰極の、外方へ向け
られた側で行なわれる。ターゲット交換時のターゲット
損傷の危険は、それによって避けられる。ねじ若しくは
ボルトのコーティングの可能性は最小化され、容易なタ
ーゲット交換が保証される。
４２に回転可能に軸受されたカム軸４５，４５′を介し
て行なう。これらの軸には、カム又は偏心板４３，４
３′が固定取付けされている。これらのカム又は偏心板
は、磁石ヨーク２２，２３の上側に支えられている。こ
の場合、カムの高さ若しくは偏心半径は、少なくとも間
隙「ａ」に合致するように、寸法づけされている（図４
参照）。カム軸４５，４５′を回すのに適した工具を、
これらカム軸４５，４５´の端面側へ差込めるようにす
るため、クランプ条片３７，３８若しくは３９，４０に
は、カム軸４５，４５′と整合する穴９７，９７′を設
けておく。ロックを解除する際には、ばね力によって閉
鎖板又はヘッドプレート４１，４２が持上げられ、クラ
ンプ条片３７，３８，３９，４０が解放される。ねじ若
しくはボルトの操作は、有利には、陰極の、外方へ向け
られた側で行なわれる。ターゲット交換時のターゲット
損傷の危険は、それによって避けられる。ねじ若しくは
ボルトのコーティングの可能性は最小化され、容易なタ
ーゲット交換が保証される。
【図１】本発明による２陰極装置の横断面図である。
【図２】図１の陰極装置の縦断面図である。
【図３】図１及び図２の２陰極装置を部分的に破断して
示した平面図である。
示した平面図である。
【図４】陰極の拡大横断面図である。
【図５】図１の陰極装置を、陰極を除去した状態で示し
た横断面図である。
た横断面図である。
３，４ 陰極、 ５ 上方壁部、 ６ 真空室、 ７，
８，９，１０ ねじ又はボルト、 １１，１２ リンク
板、 １３，１４ 軸受台、 １５，１６ 絶縁体、
１７，１８，１９ ねじ又はボルト、 ２０，２１，２
４，２５ 植込みボルト、 ２２，２３ 磁石ヨーク、
２６，２７ 側板、 ２９，３０，３１，３２ 冷却
管、 ３３，３４，３７，３６ 永久磁石、 ３７，３
８，３９，４０ クランプ条片、 ４１，４２ ヘッド
プレート、 ４３，４３′，４４，４４′ カム、 ４
５，４５′ カム軸、 ４９，５０ ターゲット ５
１，５２ 背板、 ５３，５４，５５，５６ 永久磁石
５７，５８ 隔膜、 ５９，６０，６１，６２，６
３，６４，６５，６６ 縁部、 ６７，６７′ ねじ又
はばねボルト、 ７５，７６，７７，７８ スペーサ条
片、 ７９ カバープレート ８０ 端板、 ８１，８
１′，８２ 絶縁体 ８３ 間隙、 ８９，８９′ ば
ね、 ９０，９１ 間隙、 ９７，９７′ 穴
８，９，１０ ねじ又はボルト、 １１，１２ リンク
板、 １３，１４ 軸受台、 １５，１６ 絶縁体、
１７，１８，１９ ねじ又はボルト、 ２０，２１，２
４，２５ 植込みボルト、 ２２，２３ 磁石ヨーク、
２６，２７ 側板、 ２９，３０，３１，３２ 冷却
管、 ３３，３４，３７，３６ 永久磁石、 ３７，３
８，３９，４０ クランプ条片、 ４１，４２ ヘッド
プレート、 ４３，４３′，４４，４４′ カム、 ４
５，４５′ カム軸、 ４９，５０ ターゲット ５
１，５２ 背板、 ５３，５４，５５，５６ 永久磁石
５７，５８ 隔膜、 ５９，６０，６１，６２，６
３，６４，６５，６６ 縁部、 ６７，６７′ ねじ又
はばねボルト、 ７５，７６，７７，７８ スペーサ条
片、 ７９ カバープレート ８０ 端板、 ８１，８
１′，８２ 絶縁体 ８３ 間隙、 ８９，８９′ ば
ね、 ９０，９１ 間隙、 ９７，９７′ 穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨアヒム スチルボフスキー ドイツ連邦共和国 ゴルトバッハ リング オーフェンシュトラーセ ５ (72)発明者 ディーター マルクアルト ドイツ連邦共和国 エルレンゼー ブライ ヒシュトラーセ ６ アー
Claims (4)
- 【請求項１】 ターゲット（４９若しくは５０）を飛散
させる装置のための陰極装置であって、磁石ヨーク（２
２，２３）と、ターゲットと磁石ヨークとの間に配置さ
れた永久磁石列（３３，３４，５３，５４若しくは３
５，３６，５５，５６）と、磁石ヨーク（２２，２３）
を真空室（６）の壁部（５）に固定する取付け具（Ａ若
しくはＢ）とを有する形式のものにおいて、 定置保持された磁石ヨーク（２２若しくは２３）が、タ
ーゲット（４９若しくは５０）とは反対の側で、ヘッド
プレート（４１若しくは４２）に支えられたカムまたは
カム対（４３，４４若しくは４３′，４４′）に接触
し、前記ヘッドプレート（４１若しくは４２）が、ねじ
又はばねボルト（６７，６７′）を介して磁石ヨーク
（２２若しくは２３）に、遊び（ａ）をもって結合さ
れ、更に、磁石ヨーク（２２若しくは２３）の両側に
は、Ｕ字形のつめ付き条片又はクランプ条片（３７，３
８若しくは３９，４０）が配置されており、これら条片
から側方へ突出した脚又は爪状縁部（５９，６０，６
１，６２，６３，６４，６５，６６）が、それぞれ、一
方の側では、ヘッドプレート（４１若しくは４２）に、
他方の側では、磁石ヨーク（２２若しくは２３）及び又
はターゲット背板（５１若しくは５２）に被さるように
されていることを特徴とする、ターゲットを飛散させる
装置のための陰極装置。 - 【請求項２】 定置保持された磁石ヨークが、サブスト
レートとは反対の側で、カム又はカム対に接触又は支持
されており、前記カム又はカム対が、２つのＵ字形つめ
付き条片又はクランプ条片の爪状の上方縁部と協働する
ようにされており、更に、磁石ヨークの両側に配置され
たクランプ条片が、下方の爪状縁部で、サブストレート
側の磁石ヨーク面、又は背板面、又はターゲット面のい
ずれかの周囲を掴むようにされていることを特徴とす
る、請求項１記載の陰極装置。 - 【請求項３】 カム軸又は偏心軸又はそれらのジャーナ
ルが、磁石ヨーク内に軸受されており、かつまた、カム
若しくは偏心板が、締付け位置では、ヘッドプレートに
支えられるか、又は、ターゲットとは反対側のつめ付き
条片縁部に直接支えられることを特徴とする、請求項１
又は２記載の陰極装置。 - 【請求項４】 カム軸又は偏心軸又はそれらのジャーナ
ルが、ヘッドプレート（４１、４２）に軸受されされて
おり、かつまた、カム若しくは偏心板が、締付け位置で
は、ターゲットとは反対側の磁石ヨーク面又は背板面に
支えられることを特徴とする、請求項１又は２記載の陰
極装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19525007.9 | 1995-07-08 | ||
| DE19525007A DE19525007A1 (de) | 1995-03-09 | 1995-07-08 | Kathodenanordnung für eine Vorrichtung zum Zerstäuben eines Targets |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0925569A true JPH0925569A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=7766404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8178057A Pending JPH0925569A (ja) | 1995-07-08 | 1996-07-08 | ターゲットを飛散させる装置のための陰極装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0753882B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0925569A (ja) |
| ES (1) | ES2124048T3 (ja) |
| TW (1) | TW424114B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101250950B1 (ko) * | 2010-04-16 | 2013-04-03 | (주) 씨앤아이테크놀로지 | 마그네트론 스퍼터링장치 |
| JP2015172230A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 住友重機械工業株式会社 | 成膜装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9600210D0 (en) | 1996-01-05 | 1996-03-06 | Vanderstraeten E Bvba | Improved sputtering targets and method for the preparation thereof |
| WO2006017311A1 (en) | 2004-07-12 | 2006-02-16 | Cardinal Cg Company | Low-maintenance coatings |
| US7923114B2 (en) | 2004-12-03 | 2011-04-12 | Cardinal Cg Company | Hydrophilic coatings, methods for depositing hydrophilic coatings, and improved deposition technology for thin films |
| US8092660B2 (en) | 2004-12-03 | 2012-01-10 | Cardinal Cg Company | Methods and equipment for depositing hydrophilic coatings, and deposition technologies for thin films |
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