TW304232B - The wide band polarizer with multi-layers film - Google Patents

Description

經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 ______ 五、發明説明（1 ) 本發明係有關於一種偏極分光器，特別係有關於一種 高效率多層膜寬頻偏極分光器，其可用以將一寬頻的非偏 極光分離成兩道具高消光比的正交線性偏極光。且由於此 分光器的多層鍍膜材料爲接近無損耗的介電質材料，所以 可忽略此多層膜寬頻偏極分光器之吸收損耗。 多層膜偏極分光器被廣泛地應用在目前的光電系統 中，然而，除非是應用在單一波長或較窄頻寬的情況中， 大多數的偏極分光器均需在高光通量及高消光效率間做一 選擇。所以對可應用在整個可見光範圍的多層膜寬頻偏極 分光器的需求便日益迫切。習知技藝中，在R. Messner, “Die theoretischen grundlagen optischer interferenzpolarisatoren’’，

Feinwerktechnik 57, 142-147(1953)中曾提出一種方式，其 使用15塊平板，每一塊平板兩面均鍍有四分之一波長的薄 膜，然後平行堆疊起來，且中間均保持有間隙，以便在傾 斜入射時提供90%的偏極光透射。所以其也被稱爲堆疊式 平板偏極器（pile-of-plates polarizers)。但是此種方式亦具 有下列缺點，例如：堆疊的程序過於複雜；透射光的離散太 大；操作頻寬依然太窄；特別是分布較廣的反射光束與透 射光束不爲正交。前述最後一項缺點大大地限制了此種裝 置的應用，例如做爲一偏極分光器。 第二種習知的方式爲H. Schroder在“Die erzeugung von linearpolarisiertem licht durch dunne dielektrische schichten”, Optik 3, 499-503(1948)中所揭露的，其爲在一特定角度下 去操作堆疊式乎板偏極器，使得只有偏極方向垂直於入射 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2i〇X297公釐） I I I I 裝 ^ I I I I I 線 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ______B7 五、發明説明（2 ) 平面的光會被反射。雖然這改善了消光比，並且可以較少 的平板達到相同的功效。但其仍然無法用來做爲一偏極分 光器。 第三種習知方式係以低折射率材料薄層取代複數個平 板，以加強干涉效果。多層的高折射率材料及低折射率材 料被交錯地設置在一平板上，或被嵌入具有適當折射率的 材料之間。這些偏極器的頻寬較堆疊式平板偏極器要小很 多，而且折射率及入射角的選擇會對多層薄膜偏極器的頻 寬及消光比有極大的影響。由於寬頻薄膜偏極器的製作極 爲困難，習知改善消光比的方式係使入射光經過多次的偏 極程序，例如使用一堆疊式乎板偏極器，然而如此卻會造 成光通量變小。再者，此種偏極器的反射光束很難結合成 偏極方向與透射光束垂直的單一光束。因此，其亦無法做 爲一偏極分光器。 有鑑於此，本發明之目的係在於提供一多層介電質膜 寬頻偏極分光器，其具有低損耗及易於製作等特點。 本發明的另一個目的乃在於提供一多層膜寬頻偏極分 光器，其可應用於寬頻的操作，且頻寬爲的範圍， 其中，爲最長的操作波長，心爲最短的操作波長。 本發明之再一目的爲提供一多層膜寬頻偏極分光器， 其具有可調整的高消光比。 。本發明的又一目的在於提供一多脣膜寬頻偏極分光 器，其可分離出相同強度且具正交的線性偏極態的兩道 東。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. -訂 線

304232 A7 B7 五、發明説明（ 依據S.M. MacNeille在美國專利第2,403,731號中的説 明，當滿足下列方程式時，寬頻偏極器的偏極程度爲最佳 値： lpSinGp^nLnH/(nL2+nn2) 1/2 Ο) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 其中，ηρ及θρ分別爲折射率及入射至立方棱鏡時的角度； ηΗ及nL則分別爲高折射率及低折射率薄膜材料的折射 率。同時定義直接透射之光束的偏極程度爲Ρτ，反射光束 的偏極程度爲PR，則 Pt=|(Tp-Ts)/(Tp+Ts)| Pr=|(Rp-Rs)/(Rp+Rs)| 其中’ TP、Ts及RP、113分別爲平行於入射面之偏極光 (p-polanzed)及垂直於入射面之偏極光（s_p〇iarized)的平均 透射率及平均反射率。若Ρτ及Pr接近！，則定義爲Tp/Ts 或Rs/Rp的消光比會較高。 根據第（1)式，經由適當地選擇棱鏡材料及薄膜堆疊的 鬲折射率與低折射率材料，可設計出理想的寬頻立方體偏 極分光器。 爲了使本發明之架構、特徵及製作的方式更易於了 解，茲配合附圖説明較佳實施例如下，其中： 第la圖係繪示一未鍍膜的直角棱鏡； 第lb圖係繪示一鍍有寬頻偏極多層薄膜的直角稜 鏡 第lc圖係繪示一寬頻偏極分光器； 第2a圖係繪示當第1 c圖裝置中的棱鏡材質爲BK7 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝.

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 時，其光譜之透射率； 第2b圖係繪示當第lc圖裝置中的稜鏡材質爲BK7 時，其光譜之反射率； 第3圖係績示兩個第lc圖所示之寬頻偏極分光器組成 之架構的圖式； 第4圖係繪示當第lc圖裝置中的棱鏡材質爲LAF3 時，其光譜之透射率及反射率； 第5圖係繪示利用第1(；圖之架構組合而成的高效率寬 頻偏極分光器； 第6圖係繪示本發明之多層膜寬頻偏極分光器的一較 佳實施例之架構； 第7圖係繪示本發明之多層膜寬頻偏極分光器的另一 較佳實施例之架構。 在上述本發明之圖式中，相同的標號係用以標示相同 的裝置或元件。 較佳實施例的説明： 4參閲第la圖至第lc圖’本發明之多層膜寬頻偏極 分光器的製作方法係包括下列步驟：（1)選取如第u圖所 示之直角棱鏡10 ，其截面爲一等腰直角三角形；（2)如第 lb圖所示，在前述直角稜鏡10的斜面上鍍上寬頻偏極多 層薄膜丨2 ;(3)將已鍍膜之直角棱鏡10與另—未鍍膜之直 角棱鏡10a膠合，並利用紫外光固化，以形成如第lc圖所 示的立方體偏極分光器20 ; (4)確定立方體偏極分光器2〇 的偏極平面之方向，並且決定其在多階組合中的排列方 裝 訂 線 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 304232 A7 B7 五、發明説明（5 ) 式，然後在光線入、出射寬頻偏極分光器的立方體偏極分 光器的表面上均鍍上抗反射膜；（5)最後再將這些立方體偏 極分光器膠合，並利用紫外光加以固化。 經由上述方法步驟（1)至（3)所製成之立方體偏極分光 器，如第lc圖所示，若其直角棱鏡是由BK7玻璃塊構成， 則其偏極程度爲：

Pt=KTp-Ts)/(Tp+Ts)| = |(〇.94-0.06)/(0.94+0.06)1=0.88 (2a) Pr=|(Rp-Rs)/(Rp+Rs)| = |(〇.06-0.94)/(0.06+0.94)1=0.88 (2b) 在前述步驟（3)中，當立方體偏極分光器的直角棱鏡材 質爲BK7，以白光入射，入射角度爲45。，參考波長爲460.0 nm，且其對角斜面上之寬頻偏極多盾薄膜如附表一所示 時，其光譜透射率及反射率係如第2a及2b圖所示，其中 A表p偏極光且B表s偏極光，由圖中可發現p偏極光的 透射率及s偏極光的反射率均在90%以上。 訂 务 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(請先聞讀背面之注意事項存填寫本ΐ·) 装· 订 …若於原來的〔I方體偏-第 工方體偏極刀光器22 ,如第3圖所示，使第二立方體偏 接分光器22的人射面貼附於第—立方體偏極分光器2〇的 反射光 < 出射面，且兩個立方體偏極分光器的？(或偏極 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（210X297公釐 A7 B7 五、發明説明（7 ) 平面的方向相互垂直，而組合成一個二階的偏極分光器， 則可大幅改善偏極程度。從第二偏極分光器22射出的光束 之光譜透射率係如下所示：

Tp—TpxRs—0.94x0.94=0.884 Ts=RpxTs=〇. 06x0.06=0.004 因此，此種組成架構之透射率的偏極程度爲： P=PT=K〇. 884-0.004)/(0.884+0.004)丨=0.991 (3) 當前述立方體偏極分光器的直角棱鏡材質爲LAF3， 且其對角斜面上之寬頻偏極多層薄膜如附表二所示時，其 光譜透射率及反射率係如第4a圖及第4b圖所示，其中A’ 表p偏極光且B’表s偏極光。而其偏極程度則爲 PT=|(〇.994-0.002)/(0.994+0.002)1=0.996 (4a) PR=|(0.006-0.998)/(0.006+0.998)1=0.988 (4b) ---------^------ΐτ------i (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

A 五、發明説明（8 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 附表二 層數 材質 厚度(NM) 折射率 基板 LAF3 1.73 1 Sl02 177.25 1.46 2 Ti02 60.06 2.44 3 Si02 85.22 1.46 4 Ti02 25.68 2.44 5 Sl02 136.35 1.46 6 Ti02 40.79 2.44 7 Si02 97.21 1.46 8 Ti〇2 36.38 2.44 9 si〇2 129.59 1.46 10 Ti〇2 43.86 2.44 11 Si02 102.89 1.46 12 Ti〇2 29.97 2.44 13 Si02 123.54 1.46 14 Tl〇2 95.75 2.44 15 Si02 219.46 1.46 16 Ti02 27.20 2.44 17 Si02 219.55 1.46 18 Ti02 78.28 2.44 19 Sl02 182.91 1.46 20 Tl〇2 73.16 2.44 21 Sl02 226.85 1.46 22 Ti02 70.33 2.44 23 Sl02 158.84 1.46 入射介質 LAF3 1.73 請參閲第5圖，本發明之一較佳實施例的架構係包 括：一第一立方體偏極分光器30，於其内部對角接面上具 有一寬頻偏極多層薄膜31;—第二立方體偏極分光器32， 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 訂 線

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 其光線入射面與前述第一立方體偏極分光器30的透射光 線之出射面緊密接合，且其p(或幻偏極平面的方向與第一 立方體偏極分光器30的p(或S)偏極平面方向互相乎行； 一第二立方體偏極分光器34,其光線入射面與前述第一立 万體偏極分光器30的反射光線之出射面緊密接合，且其 p(或s)偏極平面的方向與第一立方體偏極分光器3〇的 P(或S)偏極平面方向互相垂直。 在上述的架構中，爲了實際應用上方便的需要，可於 第一立方體偏極分光器32的透射光出射面處再設置一直 角棱鏡36，藉内部全反射以改變偏極光的行進方向。 由前述以LAF3爲基材的立方體偏極分光器所組成的 二階式多層膜寬頻偏極分光器，其偏極程度爲： pT=l(TPTp-TsTs)/(TpTp+TsTs)| = |(0.988-4χ1〇-6)/(〇.988+4χ1〇·6)|=〇. 99999 (5a)

Pr=|(RsTp-RpTs)/(RsTp+RpTs)| = |(〇.992-12χ1〇-6)/(〇.992 + ΐ2χΐ〇-6)|=〇 99998 (5b) 由上面的計算可知利用本發明之架構，所得到的透射 光或反射光的偏極程度均已極高。但若需要得到更高偏極 程度的光東，可將前述之架構修正爲如第6圖或第7圖所 示的三階式多層膜寬頻偏極分光器。 請參閲第6圖，本發明實施例之架構乃是直接在第5 圖的架構上修正，即在其第二立方體偏極分光器32及第三 立方體偏極分光器34的透射光出射面上各設置一第四立 方體偏極分光器38及第五立方體偏極分光器39，並使其 (請先聞讀背面之注意事項存填寫本貰) 装·

*1T 12

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 3〇48S2 A7 -——一------------- B7 五、發明説明（10 ) P(或s)偏桎平面的方向分別與第二立方體偏極分光器32 及第三立方體偏極分光器34的P(或S)偏極平面的方向互 相平行，藉以使得經由第二立方體偏極分光器32及第三立 方體偏柽分光器34透射出的偏極光，可經由第四立方體偏 極分光器38及第五立方體偏極分光器39進一步地純化。 土於用以改變偏極光行進方向的反射棱鏡36則可設置於 第四立方體偏極分光器38的透射光出射面上。 請參閲第7圖，本發明之三階式多看膜寬頻偏極分光 器的另-較佳實施例與第5圖及第6圖的架構並不相似， 然其運用的觀念是相同的，亦即使得未偏極的光束在經過 第一立万體偏極分光器分成不同偏極方向的兩道光束後， 再各自經過相同次數的偏極分光多層鍍膜的透射及反射， 藉以提高其偏極程度。第7圖所示之架構係包括：一第一 互万體偏極分光器40，於其内部對角接面上具有一寬頻偏 極多層薄膜41 ; 一第二立方體偏極分光器42，其光線入 射面與前述第-立方體偏極分光器4〇的透射光線之出射 =緊密接合，且其p(或s)偏極平面方向與第一立方體偏極 分光器4〇的P(或S)偏極平面方向互相平行；一第三立方 ，偏極分光器44,其光線人射面與前述第—立方體:極分 ^ 40的反射光線之出射面緊密接合，且其p(或s)偏極 :面的万向亦與第-立方體偏極分光器4〇的p(或s)偏極 +面万向互相平行；一第四立方體偏極分光器46，其光線 =射面與前述第二立方體偏極分光器42的透射光線之出 射面緊密接合，且其P(或S)偏極平面的方向與第-立方體 __ 13 本紙張尺Μ規格(210X297·；^—~~—-__ ^1Τ------- ^ (請先閲讀背面之注意^項再填寫本頁) B7 五、發明説明（11 ) 偏極分光器40的P(或s)偏極平面方向互相平行；一第五 立方體偏極分光器48,其光線入射面與前述第三立方體偏 極分光器44的反射光線之出射面緊密接合，且其p(或s) 偏極平面的方向與第三立方體偏極分光器44的p(或8)偏 極平面方向互相垂直。 藉由上述的架構可發現，未偏極的入射光經第一立方 體偏極分光器40分成不同偏極方向的透射及反射兩道光 束，透射光束又再經過第二立方體偏極分光器42及第四立 方體偏極分光器46的兩次透射，而反射光束則經過第三立 方體偏極分光器44的反射及第五立方體偏極分光器的透 射。由於在立方體偏極分光器的對角接面上鍍有寬頻偏極 多層薄膜，所以光束每經過一次的透射或反射，其偏極程 度便會提高。 在前述的實施例中，所使用的立方體偏極分光器都具 有相同的結構，且在同一實施例中，立方體偏極分光器内 部的寬頻偏極多層薄膜亦都具有相同的材料與結構。不 過，前述實施例僅是用以説明本發明，而並非用以限制本 發明。/、要符合本發明創作之概念，立方體偏極分光器的 排列方式及其内部的寬頻偏極多層薄膜可以有不同的變化 與組合。 由第4a圖及第4b圖中，可看出卩偏極光的透射率和s 偏極光的反射率至少在380nm至760nm的波長範圍内均保 持在接近100%。亦即，本發明可應用在較大的頻寬中。再 者’本發明可利用增加更多階的立方體偏極分光器來改善 A4規格（2】0X297公麓） A7 A7

發明説明（12 ) 裝置的偏極程度。且由前面的實施例中，可知本發明可用 以將入射光分離成兩道具相同強度、正交偏極方向且行經 相等之光學距離的光東。又因爲本發明在光線入、出射寬 頻偏極分光器的立方體偏極分光器的表面上均有鍍上抗反 射膜，同時在立方體偏極分光器的對角接面間的全介電質 寬頻偏極多層薄膜也具有低損耗的特性，所以本發明之多 層膜寬頻偏極分光器具有低損耗的優點。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝.

、-IT 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. S04232 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 、申請專利範圍 1·一種多層膜寬頻偏極分光器，包括 -第-立方體偏極分光器，於其内部對角接面 -寬頻偏極多㈣膜，用以將人射光 6 透射光與反射光； Π偏極万向的 -第二立方體偏極分光器，其光線人射面與前 立方體偏極分光器的透射光線<出射面緊密接合， p(或s)偏極平㈣方向與第-立讀触分光㈣ 偏極平面方向互相平行； 、-第三立方體偏極分光器，其光線人射面與前述第一 立方體偏極分光器的反射光線之出射面緊密接合，且其 P(或S)偏極平面的方向與第一立方體偏極分光器的p(或s') 偏極平面方向互相垂直。 2.如申請專利範圍第i項的多層膜寬頻偏極分光器， 更包括： 一第四立方體偏極分光器，設置於第二立方體偏極分 光器的透射光出射面上，且其p(或s)偏極乎面的方向與第 二立方體偏極分光器的P(或s)偏極平面之方向互相平行； 及 一第五立方體偏極分光器，設置於第三立方體偏極分 光器的透射光出射面上，且其p(或s)偏極平面的方向分別 與第三立方體偏極分光器的p(或5)偏極平面之方向互相平 行，藉以提高前逑第一立方體偏極分光器所分離的透射光 及反射光的偏極程度。 3.—種多層膜寬頻偏極分光器，包括： 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（21〇χ297公釐） ------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 線 A8 B8 C8 D8

   經濟部中央標準局員工消費合作社印製 、申請專利範圍 -第-立方體偏極分光器，於其内部對角 一寬頻偏極多層薄膜； -第二立㈣偏好Μ，其切續面與前 立方體偏極分光器的透射光線之出射面緊密接合， ρ(或s)偏極平面的方向與第―立方體偏極分光器^ ^ 偏極平面方向互相乎行； —） 、、-第三立方體偏極分光器，其光線入射面與前述第一 立方體偏極分光器的反射光線之出射面緊密接人， Ρ(或S)偏極平面的方向亦與第一立方體偏極分光器的戋 S)偏極平面方向互相平行； ^ 一第四立方體偏極分光器，其光線入射面與前述第二 立方體偏極分光器的透射光線之出射面緊密接合，且其 Ρ(或S)偏極平面的方向與第一立方體偏極分光器的？(或、 偏極平面方向互相平行； 一第五立方體偏極分光器，其光線入射面與前述第 立方體偏極分光器的反射光線之出射面緊密接合，且央 Ρ(或S)偏極平面的方向與第三立方體偏極分光器的^或s 偏極平面方向互相垂直。 4. 一種多層膜寬頻偏極分光器，包括： 一第一立方體偏極分光器，於其内部對角接面上具凑 一寬頻偏極多層薄膜，入射光經過前述寬頻偏極多層薄肜 時，會被分離成具不同偏極方向的透射光和反射光； 至少一個第二立方體偏極分光器，位於前述透射光< 路徑上，且與前述第一立方體偏極分光器緊密貼合，其P(减 S) 其 ---------^— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2]0x297公釐） A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 s)偏極平面之方向可與前逑第—立方_極分光器的^ s):極:面方向平行或垂直，藉以使入射至該對角接面的 光線透射或反射；及 π至少二個第三立方體偏接分光器，位於前述反射光之 路徑上’前述第三立方體偏極分Β的數目與前述第二立 万體偏極分光器的數目相同，且與前述第—立方體偏極分 光器緊密貼合，其Ρ(或s)偏極平面之方向可與前述第一立 万體偏極分m p(或s)偏極平面方向平行或垂直，藉以 使入射至該對角接面的光線反射或透射。 5’如申4專利㈣第i項、第2項、第3項或第4喷的 多層膜寬頻偏極分光器，其中，前述立方體偏極分光器係 由兩個等腰直角棱鏡組成，且該等腰直角棱鏡的基材爲 BK7玻璃。 6.如申請專利範圍第5項的多層膜寬頻偏極分光器， 其中，則述立方體偏極分光器對角接面間的寬頻偏極多層 薄膜之結構係如下表所示 ¾------ir------.it (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 18 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 基板 BK7 1.52 1 Ti〇2 22.94 2.29 2 MgF2 88.44 1.38 3 Ti〇2 48.88 2.29 4 MgF2 87.38 1.38 5 Ti〇2 37.70 2.29 6 MgF2 115.90 1.38 7 Ti02 49.81 2.29 8 MgF2 98.99 1.38 9 Ti〇2 37.19 2.29 ho__ MgF2 123.48 1.38 11 Ti02 116.46 2.29 12 MgF2 121.53 1.38 13 Ti02 36.43 2.29 14 MgF2 137.70 1.38 15 Ti02 104.19 2.29 16 MgF2 191.68 1.38 17 T1O2 103.24 2.29 18 MgF2 237.15 1.38 19 Ti〇2 111.86 2.29 20 —- .......... MgF2 286.46 1.38 21 — — Tl〇2 133.54 2.29 22 — MgF2 29.97 1.38 入射介質 BK7 1.52 304232 ---------裝-- ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經潦部中央樣隼局負工消费合作社印製 7. 如申請專利範圍第第1項、第2項、第3項或第4 項的多層膜寬頻偏極分光器，其中，前述立方體偏極分光 器係由兩個等腰直角棱鏡組成，且該等腰直角棱鏡的基材 爲LAF3玻璃。 8. 如申請專利範圍第7項的多層膜寬頻偏極分光器， 其中，前述立方體偏極分光器對角接面間的寬頻偏極多層 19 04232

   申請專利範圍 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製

   20 •-N碕先閱讀背面之注意事頊再嗔寫本耳) -裝 -訂- 線_ 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS )以祕（2獻297公幻

   經濟部中央標準局員工消費合作社印製

   (iii)將已鍍膜之直角稜鏡與另一未鍍膜之直角棱鏡膠 合，並利用紫外光固化，以形成立方體偏極分光器，重覆 前述步驟以製作出複數個立方體偏極分光器； (IV)確定立方體偏極分光器的偏極平面之方向，並且使 其排列方式H立方體偏極分光器，人射光經過其寬 頻偏極多層薄膜時，會被分離成具不同偏極方向的透射光 和反射光，至少一個第二立方體偏極分光器，位於前述透 射光之路徑上，且與前述第一立方體偏極分光器緊密貼 合，其P(或S)偏極平面之方向可與前述第一立方體偏極分 光器的P(或S)偏極平面方向平行或垂直，及至少一個第三 立方體偏極分光器，位於前述反射光之路徑上，前述第三 立方體偏極分光器的數目與前述第二立方體偏極分光器的 數目相同，且與前述第一立方體偏極分光器緊密貼合，其 P(或S)偏極平面之方向與前述第一立方體偏極分光器的 P(或S)偏極平面方向乎行或垂直； (V)然後在光線入、出射寬頻偏極分光器的立方體偏極 分光器的表面上均鍍上抗反射膜； (vi)最後再將前述複數個立方體偏極分光器固著接 合。 10.如申請專利範圍第9項的製作方法，其中，前述直 角棱鏡的基材爲BK7玻璃或LAF3玻璃。 21 適用中國國家榡準（CNS ) M規格（21〇><297公餐）_

   -裝· '1Τ 線 • ινϋ m·— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I I 1— —^1 .