TW295706B - - Google Patents

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A7 B7 經濟部中央椋^-^N工消费合作杜印奴 五、發明説明（ 1 ) 1 ! 1 [產業 :之利領域] 1 1 I 置 本 發 明 係 有 關 測 定 被 檢 體 之 面 形 狀 的 表 面 形 狀 測 定 装 請 1 1 〇 先 1 閱 | [先前忮術] 讀 背 I 面 I 例 如 在 具 有 液 相 外 延 生 長 層 之 化 合 物 半 導 體 晶 片 上 > 冬 1 I 意 1 1 液 相 外 延 層 表 面 之 狀 態 為 重 要 製 品 规 格 之 — 因 此 要 m 事 項 1 I k 1 1 行 表 面 形 狀 之 測 定 而 來 判 定 製 品 合 不 合 格 〇 填 寫 Ή 、 由 於 茌 it 合 物 半 導 體 Μ 板 上 生 (¾ 肜 成 ib 合 物 半 導 體 層 * 本 頁 '^ * *·— 1 I 所 以 相 外 延 生 長 法 it 廣 泛 地 受 到 應 用 但 Μ 在 具 m 1 1 梠 外 延 生 層 之 ib 合 物 半 導 錄 晶 片 中 因 受 到 其 製 法 上 的 1 1 限 制 所 Μ 容 易 在 液 相 外 延 生 茛 層 表 面 部 形 成 狀 Λ 穴 狀 1 訂 Λ 突 起 狀 等 等 之 凹 凸 ιίιί 在 Hi 依 製 法 所 之 m 述 化 八 L4 1 I 物 半 m 體 晶 Η 來 製 造 發 光 一 極 體 等 之 半 導 體 裝 置 時 — Η 1 1 | m ii 凹 凸 之 段 差 大 則 範 圍 所 形 成 之 電 極 會 變 成 不 良 t 1 1 m ιίιϊ 半 導 體 置 \ϊί 會 m 成 不 良 ΰ 丄 如 此 一 來 白 具 有 液 相 外 延 生 ti Μ 之 1L· 合 物 半 導 體 晶 ί 來 製 造 各 II 半 導 體 裝 置 之 1M 八 P 山 於 其 表 ϊίίϊ 肜 狀 左 右 3半 1 I 導 體 裝 置 之 特 性 所 K 有 必 装 結 111 测 定 液 相 外 延 生 長 層 之 1 1 表 面 肜 狀 來 判 定 預 先 設 定 ΠΪΙ 肜 狀 -* / 面 形 狀 規 格 即 1 1 > η > . 止 否 滿 idj 凹 tJli 格 成 /-J 必 It 面 形 狀 1 1 不 合 範 11) {/ it 之 品 1; 判 定 位 置 1 I 為 Ϊ m 行 該 判 定 可 fij 用 下 述 η it 對 被 檢 體 肜 成 二 ϋ 1 I m η 之 光 强 度 分 佈 將 等 強 度 分 虛 疊 而 II 由 m U 1 1 I 耳 F- 涉 條 紋 形 成 來 m 行 判 定 之 U 耳 干 涉 條 紋 法 使 投 射 光 1 1 本紙张尺度適州t國國家橾隼（CNS〉Λ4規格（2丨OX 公釐） A7 B7 經濟部中央標率局只工消費合作社印狀 五、發明説明（2 之被檢艄上下移動•紹山檢测眾M::狀態，來进行判定之聚 焦法；及藉由光干涉來進行判定之光干涉法。 丨Μ足，該等方法由於迆行判定州裝置之光學上的調整操 作相當複雜，而且判定需要長峙間，同時，利用各個之方 法在可判定之被檢體表面的凹凸形態（凹凸之程度）上就有 各個條件，因此，在廣大之範圃上耍Μ —個//法進行Μ对 如此多樣之凹凸形態的衣面形狀判定是不可能的。

« ·方面，在水平設置之被檢體投射平行光，再M C C D 檢测全反射光而形成反射像，並將該反射像顯示在終端機 上|在該终端機畫像上出有利用以Η視來判定被檢體之表 lili肜狀的方法υ [發明所欲解決之問題] 越於該全反射光之反射像以终端機來監視，並以目視來 判定衣面肜狀之方法·赶是拟據熟練之操作Μ的話，雖然 可進行表面狀態之概略（性質丄）判定* ifl足缺乏判定悄度 且無法在定Μ上把握被險體之表面形狀。 本發明係舟鑑於如前述之表面肜狀测定的琨狀而所成者 ，K tl的在於提供-植既可簡單操作又能就被檢體之表面 形狀而進行品精度之定Μ測定的表面形狀测定裝置者。 [解決問題之手段] 為」’達成前述Θ的，如申諸谆利範圍第1項之發明•其 特徵為，貝有：載置被檢體之樣品台； 投射光至前述被檢體上之投光機構； 接收來自前述被檢體之反射光的受光撾構； 本紙张尺度適州中固阐家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -a 5 A7 B7 經濟部中央標苹局貝工消费合作社印聚 五、發明説明 ( 3 ) 1 1 1 以 Μ 定 面 為 Μ 準 使 m 述 樣 品 ti 做 傾 灼 使 /JIJ 述 投 光 機 1 1 I 構 和 收 光 機 構 移 動 再 II 由 使 構 成 被 备，、 m 體 之 受 光 面 的 角 度 變 1 I ib 而 做 傾 角 t 或 組 合 VX 前 述 樣 品 台 之 湞 定 面 為 m 準 的 傾 角 請 £ 1 1 閱 | 和 受 到 前 述 投 光 槠 構 及 受 光 槠 構 之 移 動 所 產 生 之 傾 斜 角 度 讀 背 | ιέ I 而 做 傾 角 的 傾 角 機 構 及 之 1 I 意 1 1 \k 前 述 傾 角 機 構 之 傾 斜 角 度 η Μ 於 Μ 每 -* m 位 角 度 所 事 項 1 I 再 1 Λ 得 之 前 述 受 光 機 構 的 受 光 資 料 來 檢 測 表 面 凹 凸 之 檢 測 機 填 i?. 本 批 構 者 ϋ 頁 1 I 為 il 成 -Λ-*. 刖 述 相 同 之 0 的 如 丨I丨 専 利 圃 第 3項之發明 1 1 > 其 徵 為 具 有 裝 置 被 檢 體 之 樣 品 έϊ 1 1 投 射 光 至 Mi 述 被 撿 體 之 投 光 機 構 1 訂 接 收 來 白 m 述 被 檢 體 之 反 則 光 的 受 光 機 構 1 I 以 Ki 定 面 為 基 準 使 前 述 樣 ΡΓΙ η 做 傾 角 成 使 前 述 投 光 槠 1 1 | m 和 受 光 储 IM' 移 動 再 m 山 使 構 成 被 檢 體 之 受 光 m 的 角 度 變 1 1 ib fiij 做 傾 角 成 組 合 Μ Jj!J 述 樣 品 li 之 預 定 面 為 Μ 準 的 傾 斜 又 角 度 和 受 到 JJU 述 投 光 機 構 及 受 光 機 構 之 移 動 所 產 生 之 傾 斜 1 角 度 ιίιί 做 傾 角 的 傾 角 機 構 及 1 I 依 )]fl 述 傾 角 機 構 使 前 述 樣 品 IJ 朝 順 時 線 方 向 及 反 時 鐘 1 1 I 方 l“J \k 偵 定 角 度 做 各 別 傾 角 並 Μ 由 里 盛 Μ 谷 m 斜 角 度 所 1 1 之 m 述 受 光 機 m 之 受 光 η 料 來 檢 测 HU 述 敁 檢 體 之 Μ 定 1 1 角 度 偵 Μ 上 的 傾 斜 表 面 凹 凸 之 檢 測 機 構 者 〇 1 | 為 成 前 述 相 同 之 a 的 如 φ 専 利 範 圍 第 5項之發明 1 I > 在 l|l 請 專 利 範 圍 第 1項或第3項 中 Μ 特 徴 為 前 述 被 檢 1 1 | 91 ί系 為 具 有 液 相 外 延 層 之 化 合 物 半 導 體 晶 片 者 1 1 本紙張尺度適;丨〗中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中夾椋準历只工消f合作社印^ A7 B7 五、發明説明（4 ) 為垃成前述相间之fl的，如Ψ站W利範圍第6項之發明 •在中請專利範圍第1項成第3項中，其特徵為：前述受光 I速構妬為（:t： 1)者。

[作丨IJ J 杇报據本發明，則由於可Μ陆單之操作迆行既高精度又 定Μ地測定破檢體的表而形狀* m Μ，可迅迚乂確實地根 據該測定結采，來判定被檢體之表面形狀 >> 不合格（判定 傾斜ft度有超出規格值之凹凸的被檢體為不合格），或者 ，在#在著衷面形狀不合格純幽（傾斜角有超出規格值之 凹凸的範圍）的被檢體上使其表面形狀分區地關化成合格 範幽和不合格範圍。_之，出於U坷將衣面肜狀合格品（ 存ιϊ y衣面肜狀不合格範幽古，例如·將不合格範圍ω斷 去除）投入下·製程*所Μ不會存在表面形狀在下一製 程發止不良的起因。 [筲胞例] [晋_例1 ] 參照圖1至_ 4說明本發明之實砲例1。 圆1顯示本筲胞洌之構成的說明圆。 如y 1所示，本實皰例屮設釘诚置Η杳液相外延曆之化 合物半導體品Η等之被檢體1的様品ί) 3，ιίι]該樣品臼3係 以灰而Μ ίϊ角之31直蚰2 a及衣lili Μ水Ψ之傾角籼2 6為屮心 ，並名依禺達5、6，Μ紐--犁位角度形成可能旋動，洱賴 此使對應於樣品台3 (敁檢體〗）之砧·單位角度的旋轉及榴 準面（例如，樣品台為被檢體敕置而）之坫一單位角度的傾 玉紙认尺度i〇l十凼國家橾準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公f ) n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Λ 'V-1· 295706 A7 B7 經濟部中央榡华局舅工消资合作社印製 五、發明説明 (5 ) 1 1 1 角 成 為 可 能ύ 在該 樣品 台3之破檢體1 之 上方 ，配設有將平 1 1 1 行 光 7投射至被檢體1全 面之 光 學 糸 統 8 •該光學糸統8 ί系由 /*—S 1 | 光 源 11 為了將來自光源11之 光 Μ 平 行 光 投射 至被檢體1全 請 先 I 1 閱 I 面 的 m 明 透鏡 12、 13 ； 投射 物 鏡 1 4 及 將来 自被檢體1之 讀 背 | I 反 射 光 結 像.之 結像 透鏡 1 5所 構 成 0 在 該 結像 透鏡1 5之後段 之 1 1 意 I 1: 配 置 有接 收來 自依 結像 透 鏡 1 5所 集 光之 被檢體1之反 事 項 1 I 射 光 的 C C D 1 6 j 再 填 1 Η 本 另 •— 方 面， 本實 皰例 上設 有 控 制 全 體 動作 的中央控制裝 頁 、〆 1 I 置 (Μ 、‘稱作C P U ) 該 C P U 1 7 上 介 Μ 匯 流 排Β迆接著前述 1 1 C C D 1 6 i 同樣 CPU 1 7上 介著 匯 流 排 Β迪接有存儲控_程式 1 1 之 Κ0Η 1 8 控制勦作時存儲 或满出各褪資料的R Α Μ 1 9 *及 1 訂 存 儲 崗1 像 資料 的圖 像記 憶器 20 1 1 同 樣 9 C P U 1 7上介著匯流排B 連 接 有 根 據以 傾角蚰2b旋轉 1 1 I (依谣要垂直蚰2 a也轉動並使樣品台轉動。） 之每一單位角 1 1 度 所 得 之 C C D 1 6的受光貨料 而演算解析被檢體1之表面形 狀 的 m 算 解析 電路 21 - 接著 CP U 1 7上介著匯流排1)迪接有 1 I Μ Η 輸 入 控制 指令 之储 能， 且 m 有 光 筆 L之拗作部2 4 ;顯 1 I 示 依 演 算 解析 電路 2 1所 m η Μ 祈 之. 破 檢 體1之表面肜狀的 1 1 終 端 a ( 储 22 ；印 出該 等之 衷面 形 狀 資 料 之 印字 1幾2 3及馬達5 1 1 1 U c 將 被 檢 體1裝置於樣品臼3 上 投 入 電 源拗 作操作部2 4進 1 1 I 行 虐 置 調 整’ 得將 平行 光7投射至被檢體1全 面。在該狀態 1 I 下 來 II 被檢 體1之反射光 當作對應反射光強度之光信 1 1 1 號 逐 次 地 輸入 至C C D 1 6中，在C CD 1 G 中 將 之轉 換為電氣信號 1 1 本紙张尺度過用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 8 經濟部屮失標準^M工消費合作社印^ A7 »7 五、發明説明（β ) 並以形狀信號輸出。接替，依（:P U 1 7之指令，使米自C C D 1 6 之肜狀信號，輸入至圖像記憶器2 0内，而在IM1像記憶器2 0 中，形狀資料可對應成位置資料而存儲起來。 接著 > 紹山操作部24將繪園之指令及其條件輸入，並依 解析運算電路2 1，從_像記憶器2 0屮諫出形狀边料及對應 肜狀資料之位置資料，再根據所讁出之上述資料·進行繪 圖處理，並將其繪圖_形顯示在終端_ 2 2上· 其次，使用_ 1所示之表面形狀测定裝置，並參照圓1及 圓2說明定虽測定被檢體1之表而形狀的表面形狀測定動作。 被檢體之表而凹凸由於是依略傾斜面（Μ下，僅稱傾斜 阳）所構成，所Μ在本發明中，將表面凹凸之程度Μ上述 傾斜而之角度（Μ下，稱作傾斜角。符號使用Θ ，右上傾 斜時標記為十0 ° ，左上傾斜時標記為一 Θ u (但是，0 u > 0 ))'上i iL·之。在此，構成丄述凹凸之傾斜面的角度， 即傾斜角，係為與被檢體之基準面（例如，被檢體之背面或 與共平行之面）相對之傾斜面的角度（參照圖2之被檢體1)。 另外*在圖1所示之裝置中，將設定成標準狀態（例如· 樣品台3之被檢體載置為水平狀態）之樣品台3的被檢體載 置面成與此平行之面當作表面形狀测定之標準lili S，而該 揲準面S即使在使樣品台3傾角時tli不會改變。自光源1 1投 射至被檢體1之被檢面的平行光7像在被檢面上反射。該反 射光對應反射光強度而M C C ΙΠ 6受光，根據該受光資料如 前述般地進行_像處理，但足，與上述標準面S相對之被 檢ώ (傾斜面）的商角度（符號使用0 ，右上傾斜時撺自d為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公f ) - 0 - (請先閱讀背面之注意_項再填鸿本頁) -乂' ----¾ A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印狀 五、發明説明 ( 7 ) 1 1 + φ ο > 而 左 上 傾斜 時攛記為- -Φ ° (但足 Φ ° > 〇))只 1 1 在 預 定 之 面 角 度 0 0(可依光 學系 統8及 CCD16之綢節做 任意 1 1 角 度 之 設 定 〇 以 下， 稱作受光界限面 角 度Φ u )以下之情況 /-—V 請 1 先 1 1 前 述 反 射 光 以C C D 1 β受 光， 而其反射光之強度， 即依 閱 ijt 1 背 1 C C D 1 6之受光强度在負 1述面 角度 0為0 ° 時， 為最大值。 面 之 1 注 1 # 昭 m 2(a) Μ 體說 明之 j樣品G 3設定為標準狀態 (水平 意 事 I I 狀 態 ) 而標準面S (Μ --點 鏈線 _]示）為 樣品 台3之被 檢體 再 填 Λ 置 面 〇 被 檢 體 1以具有傾 斜角 0 (基 準 面為 破檢S豊1 之背 寫 本 本 頁 1 ίίπ )之傾斜面單純構造作為 本説 明用1 另夕卜 131 2(a) 之倩 1 I 況 由 於 標 準 面 S和被檢面 之Μ 準ιίΐΗ系屬同 ••面，所 Μ與 1 1 被 檢 面 之 傾 斜 角 0和 標準面相對之被 檢 面的 而角度4 >是為 1 1 同 —一 值 即 Φ — Θ 。 訂 1 因 此 > -旦將C C D 1 6 之前述受光界限 面 角度 Φ 〇為土 0 . 1時 1 I ? 被 檢 體 1屮 來自被檢 面之 反射圯在M C C D 1 6受光時- 1 1 | 被 檢 面 之 傾 斜 角0 --.為 0 $ 0 . 1 ° (-0 .1 ° έ Θ £ 丄 + 〇. r ) 時 就 被 檢测 出。又，上述1 1 為絕 對值符办 Ϊ - Μ • /- 1' 亦 〇 1 I IM μ 樣 品 台 3上， 即只 將破 檢體1 保 持於 標準狀態之檢 1 1 i!!!l 鈾 作 上 如 上 所述 ，被檢面之傾斜 角 0R 掂得到 10 1 1 1 0 . 1 u 或不Μ·」之檢测 ，而無法定Μ檢测出 ?皮檢 1 1 面 的 傾 角 0 〇 1 | ίί 次 沿 川 上 述之 前提條ί牛 使用 圖 1所示之裝置 ，說 1 m / · · At Μ 檢 測 被 檢 酣之 傾斜角0的傾斜 角 檢测 1 1 (倾斜W u檢测_作） 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標华（CNS〉A4規格（2丨0X297公釐〉 〜1 0 一 經濟部中央標準局Μ工消资合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（8 ) 定41檢测傾斜面之前述傾斜角0的傾斜角檢测動作，在 圖i所示之裝Μ屮 > 其特徵為，介著樣品台3 K榴準面S為 Μ準迚敁檢體1做角度傾斜•並參照關2 ( b )、_ 2 U )及_ 3 說明其動作。在此，標準面（Μ ·點鏈線_示）、被檢體1 之基準面和问2 ( a )之情況相同，而C C D 1 6之受光界限面角 度必u為〇 . 1 ° 。 閫2(b)顯示介著樣品台3，將被檢體1與標準面S梠對· 在反时鐘方1¾ Μ每一單位角度做角度傾斜（傾角.角度</»’， 而4 2 0 )之情況。該情況，與標準面S相對之彼檢面的面 角度A ，Μ下述之[數據1 ]表示之 [數 Μ 1 ] Φ 二 Θ + Φ ’ «外，關2 ( c )係顯示介著樣品台3將敁檢體3與標準面S 梠對·依順時鐘旋轉並以每·犁位角度做角度傾斜（為傾 角角度4 ，且4 S 0)之埸合。該埸合之必以下述[數據2 ] .占不之ϋ [數 Μ 2 j Φ — Q - Φ 山C C D ] G所受光之反射光強度（受光強度）P，為 I φ | > 0 . 1 ° ( 0 < — 0 . 1 ° 成必 > + 0 .厂）時，P 二 0 I φ | S 0 . 1 ° (-0.1。 S Φ S -f 0 . 1 u )時.P > 0，而 在一0 . 1 u S 4各+ 0 . 1 u之範幽屮，K 0 = 0 °峙，P為最 大值（P m a X )。因此，II山得到表示P m a X (此特，4 = 0 ° ) 之4成0 ’ * "J從上述[數诚1 ]及[數诚2 ]之關係中檢测出 本紙悵尺度通用中闽囤家標隼（CNS ) A4规格（210 X 2耵公釐） -]1 - (請先閱讀背面之注意事項耳填寫本頁)

經濟部中央標準"JM工消f合作社印鉍 kl B7 五、發明説明（9 ) 破掄面之傾斜角0為0 = — 4 ·成者£) = +必。 使用圖3具體説明之。圆3顯示舣檢體1之傾角角度U 及必），和C C D 1 6之受光強、度P的關係。圖3 ( a )中，Μ必= 0 · :Γ‘时，受光強度為最大值（此時，0 = 0 ° )。從此（必 二0 . 3 4 = 0 ° )和上述[敝據2 ]之關係屮，可得下述 [數據3]， [數據3 ] 0 二 4 = + 0 . 3 ° ifi]被檢面之傾斜角0 ，可檢测出和丛準山MU斟ί系為石上傾 斜 0 . 3° 。 另外，_ 3 ( b )中，使之和上述相同，從[數據1 ]之關係 中"ί糾下述丨敝據4 ] | [數诚4 ] 〇 = - φ，= - Q.2。 而被檢面之傾斜角0 ，可檢測出和基準面相對ί系為左上傾 斜 0 . 3。。 牡拟據上述本筲胞例之傾斜角檢测動作，則山於"ί Μ收 定量性、又高精度地檢测出構成被檢體1之表面凹凸的傾 斜面之傾斜角0 •所Μ Κ既定Μ性、又高精度地測定被檢 體1之衣面肜狀的目的就成為可能。 利川如此之測定動作|测定3 _ 4所示之破檢體1的表面 形狀（怛是| 0 α = 土 0 . 1 ° )。在圆4 ( a )所示之標準狀態的 檢測勋作中，來自被檢面之Μ範圃的反射光無法M C C D 1 6完 全受光，而且，構成該Μ範圍之傾斜面的傾斜角0 ，被檢 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X 297公釐） _ , 9 _ I - 1^ ^^1 - _「--—^1 - - !爾Α I m^i - - : - - - * 一：0· -- In -i !· -- - ^------ (請先閱讀背面之注意事項耳填寫本頁) 經濤郎t火椋準局只工消费合作社印狀 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（Γ0 ) 测出為丨 ο I > 〇. r (即，〇 < — 〇. ]u 成者 〇 > + 〇. 1 ° )，而該定性肜狀資料被對應於位置資料，並存儲在圖像 記憶器2 〇中。 接著，如關4 ( b )所示，介習樣品台3使被檢體1，Μ反時 鐘旋轉方向做角度傾斜。在由函像記憶器2 0屮所讀出之Μ 砘Ιϋ屮，來自傾斜部m 2之反射光的C C D 1 G之受光強度 > 在 0 . (T時，其傾角角度0 ’表示最大值* S於此，傾斜部 m 2之傾斜角0 ’可檢測出為左上傾斜0 . 6 ° (即，0 '= 一 0 ‘ 6 〇 )。 接著，如1SI 4 ( c )所示，使被檢體1依順時鐘方向做角度 傾斜。來自傾斜部si i之反射光的C C D 1 ΰ之受光強度•在0 . 3 時，Κ傾角角度表示Μ大ill ·姑於此，傾斜部m i之傾斜角 0岈協測出為右上傾斜0 . 3。（即，0 = + 0 . 3° )。 依诎以上之結采，被檢面之Μ萜幽"ί形狀判定為像欣 + 0 . 3 u之傾斜部〇! 1及一0 . 6 °之傾斜部m 2所構成之突起。 而該形狀判定係顯示和依表面粗度計（K 〇 s a k a L a I) 〇 r a t 〇 r y L L d 製，Μ o (R、1 1’ R 1 0 0 X )所測出之測定值（0 = + 0 . 2 5 ° ， ί) ’ = — 0 . (3 ；T )有較佳的·致性。 [實施例2 ] 使用具有G a P液相外延生長層之iL·合物半導體晶片作為 被檢體1，並以和實胞例]相间之測定動作，進行G a P液相 外延生昆層衣面之肜狀测定。 將榴準狀態中之被檢體1的受光資料；和使？皮檢體1以鉍 -單位角度依順時鐘方向及反時鐘方向，做角度傾斜至 -1 3 - 1^1 I - ^ -I m {_ .^1^1 —-Hi ml -I -=- 一 > In -- - -I —I— ! I — mL\ —ϋ - J-ll. 、1 ^ ^ » (請先閱讀背面之注意事項洱填寫本頁) A 7 B7 五、發明説明（U) ο. 6u ，n在各倾角狀態中之受光資料存鼬全_像記憶器 20屮。 Κ次* 一坦以操作部24命令繪圖顯示時，就基於對應存 丨ig π y像記憶器2 0之位迓資料的受光货料，並依運算解析 馆路2 1運算，而檢测出在被檢體1全面之傾斜範圍的傾斜 角ϋ 。然後> 照0 Μ分條件，使被檢ιίι丨之衷Iiij形狀，如 闞5所示，顯不在終端機2 2上。該等之终端機2 2上所顯示 繪丨副IMI像，亦可依操作邰2 4之操作，利用印字機2 3印刷在 又·在圖5所示之終端機2 2上所顯示之被檢體1的表面形 狀繪關屮| D i為：0具有丨0丨S 0 . 3 u之傾斜面的範圍 1) 2、D 3為：0具有0 . 3 ° < | Ο | S 0 . 4 ϋ之傾斜而的範 D 4、D u為：0具有0 . 4 ° < | θ | S 0 . 5 ϋ之傾斜面的範 圍。 經濟部屮火標準杓K工消费合作社印批 (請先閱讀背面之注意事項再填‘衫本頁) D u、丨）ν、I) u為：0具有丨G丨> 0 . 5U之傾斜面的範圍。 如此·來|赶依本實施例•則可與其位置相對應而Μ高 幀度丨&測出破檢體之全萜丨谢各傾斜部的傾斜角0 ，並基於 此，可測定及顯示被檢體之表面形狀。又•轉勤垂直軸2a ，並介著樣品台3使被檢嬋1旋轉（例如 > 朝顺時鐘方向旋 轉9(Τ )，W Κ和本實施例相間之檢测動作，得到在標準 狀態及各傾角狀態中之受光資枓*而將該受光資料和本甯 施例之受光W料Μ將存儲在關像妃位器2 0 ip ，妗依诚該等 本紙張尺度適汛中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -14 - A7 295706 137 五、發明説明（12 ) 之受光資料迆行運算解析的話，則更能達到高精度之表面 形狀_定。 [筲施例3 ] 參照[tail 6及阊7說明本實施例。圖（5顯示本貿施例構成_ 之説明丨威，Ιίιΐ麗7為本質胞例終端機顯示围像之例。 本贺施例為將已說明之實胞例2随化者，且為在生產現 埸，Μ陆單·確實地判定表面形狀之合不合格為目標者。 屯W胞例之衣lid肜狀测定裝Μ ，除了設置Ml #運W遒路2 1 作為迎算遒路之外，其餘則和蜇胞例1龆間 '構成。而該 出盤迤铽笛路2 1 A具有使被檢體i介習樣品台3與標準面相 對，並朝順時鐘旋轉和反時鐘旋轉之方向，在Μ各別同一 角度做角度傾釗（傾角角度热欣傾斜而之傾釗角G的合不 合格W格所決定）之狀態下，虛#運算各別所収人之形狀 庚料，而將所得之重疊資科與位置資料對應，再存儲至 圆像妃憶器2 0屮之機能。 本貨施例屮，使用和货施例2相問之ib合物半導體品J i 作為被檢體1，而傾斜角Θ係K R具有I Ο I £0.5°之傾 斜liiJ的範圆岱作合格範幽，又，傾斜角Ο M U釘丨θ丨> 0 . ΓΓ之傾斜而的範Ιϋϋ當作不合格範' u » «外 C C D .1 G Λ之受 光界附面角度4 u，為前述合· ί〈合格规格说界值土 0 . 5 u 的：分之·，即土 0 . 2 5。，而此乃报诚在實施例1所示之[ 數據1 I及[數诚2 ]者。也就是説 > 將破檢體1朝反時鐘方向 做0 . 2 5 u角度傾斜時，與標準iii丨相對之被檢面的面角度必 ，妬山[數彼1 ] Μ下述[數诚5 ]來表示、> 冬紙张Κ度過州 '丨，阐_家標半（CNS ) A4At格（210 X 297公f_ ) , r (請先閱讀背面之注意事項卧填，¾本頁) ·-=" 处濟郎中皮標卒灼Hx消f合作社印裝 五、發明説明（13 ύ. 敝 ο 在 0 ο = ο Vil A7 137 為ct 成 Μ , 是 時 光 射 反 之 面 檢 被 白 VII 外 Φ 另 ν=ο 〇 光 5 : 2 'S.又 + 0 5 做 示 向 衣 方来 鐘6.] 時IJ11 w JjiKO liili數0 F " 0 斜 傾 度 角 由 係 依據 檢 被 Μ ：—_ 2 n^i - 1^1 HI·- --1 ( ^ n I (請先閱靖背面之注意事項耳填寫本頁)

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VII Μ 是 光 射 反 之 而 檢體統 被檢系 自 被學 來 使光 lfl]vi:u 做 向 ♦ J 丨Μ ΑΪ 時 反 ^ UL //1 1Λ 射 投 光 受 0 狀 之 傾 度 角 光 反 二 11 體 檢 被 、1Γ 檢 位 應 對 ¾ 狀 之 面 檢 被 而 111 後 之 料 0 故 鏹 w: 順 依 1X 體 檢 ίίϋ被 像使 1Μ1’ 至 次 wfiM C ΧΙΞ i. 並 4» 倾 度 經減部中央標準灼Μ工消費合作社印製 p\ ,-·-· "Λ 开 ϋ 之 u 列 出 ir 个 檢20fJ 被器料 而憶？3 , 妃狀 作像形 動lilii 之至 L 冏 璐 之 ll'iri屮 述再例 k 後施 和 之 宵 行料本 進¾ 置 位 成 應 對 以 1¾ 光 反 光 料 " 狀 肜 HIJ;iLl ’I» 寺 f Π w o不 ρ>& 度光 強射 光反 受② <- 度 —強 ο I 光 gil受 胧( tj-'-u i Λ 為 受 之 應 資 狀 肜 之 外 Jrs u/ 终 在 --' --/ 顯 料 資 狀 形 is ,5 h ο 之 >!ίβ 丨存 ο 耵 111 將 旦 機 素 进 •Π Μ 係 1b 1>1索 之 虚 ①黑 述以 I^ W 兄 —V ·./> β. S 暗 之 之 @ 述 —1 ! U 之 -· \ - 顯 部 ^ 本紙张尺度適用中困國家標半·（ CNS )八4蚬格（210X 297公釐） 經满郎t央標苹杓·，只工消f合作社印焚 本紙张尺度適用中闽國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Λ 7 117 五、發明説明（14 ) 然後，利川虛#迎算馆路2 1 Λ，使依反时_/；向做0 , 2 5 ‘ 角度傾Μ之被檢體1的形狀賣料；及依顺時鐘方向做ϋ . 2 5 ' 角度傾斜之敁檢體1的形狀贾>對應成位1；資料之後再 III K Lil # ，ιίιι所得之ώ # N您的迓枓，在對Μ成位1資料 之後，iV璐全關像記惊器2 0屮。· S使該蚩疊Η料顯示在 终端機22上卟，就成為如圆7所不。 乂 >關7之虛#圖像，係在前述反時鐘方向傾角及順時 Μ // !ί·1傾角之測定勤作屮，當闷方成任·方為丨Ί迸索時， 就U Α逛索（合格範丨ϋ )顯示，liij兩方為黑迸素時，就Κ黑 Ji桌（不合格祕圃）顯示。 如此一來•在本實胞例中，就可使被檢體1衷面之形狀 ί>格範幽和肜狀不合岱盹副，當作如副7所小之虛# lil像 在終端储22上顯示。 W此，奋關本實施例之衣妞形狀測定裝置，例如，配置 &以打液相外延生搔層之ti a Ρ品）i的製造tti埸上|為了在 终端機22上^祝Μ於衣血肜狀之A_ ·不合规格的虛#關像 而始山迆行丨:1似檢逛，就可核對占彻形狀之合·不合格判 定，戍合·不合格範圃之識別… /L·丨：述筲施例1至實施例3中，雖然Μ預定而為Μ準可使 陡品0做角度艄斜，丨丨將被檢體與闹定丨票準Μ梠對1接做 角度似、斜，μ丨將被檢體與固定光投射·受光储描相對做角 度傾斜，但足，以其他之貨施例，亦可賴山使投光機構和 受光储惝移#且使構成被檢體之受光ιΐιί的角度變化而做角 度傾ί-1 ，或I ，亦可組合· Μ樣品台之預定面為越準之傾角 … ]7 - ·--Λτ'— (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) --¾ 經消部屮次惊率Απχ消f合作社印狀 本紙張K度適川屮囚國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Λ7 1J7 五、發明説明（15 ) ;扣依投光胧構及受光储構之移勋的傾角而i故角度傾斜， 丨上何-·植作為表面形狀測定之原埋皆相向，並"ί獲得W間 之效果。 丨發明之效果] η依诚Φ站爯利範闓第1項之發明，則例如，在Κ預定 iw為丛準使II品台做倾角.而榀成時.，投射光至樣品台所m 置之敁檢體上，而樣品台係以拟定山丨（標準而）為基準依每 '氓位角度做傾角，並接收來被檢體之反則光，由於被 沿腊之々ιίι丨肜狀Μ Μ於欣记· m位角度所彳丨I之受光黄料而 iiMr迤算解析，所Μ就釘可能既定Μ又迅速丨1馊地自動解 析被檢體的衣面肜狀。 技依據申諕W利範幽第3瑣之發明，則例如，在以預定 i&i為丛準使丨I品台做傾角而構成特，投射光Μ樣品台所載 1之敁Β體」：，而碌品台以拟定血（熘準ιίι丨）為丛準·依（U 丑對Μ之角度做各別傾角，並接收來自角度傾斜之被檢體 的反刖光，丨丨山於Μ # Μ各傾角角度所得之受光窟枓，尚 佔於所得之丨Π #實料，就灯可掂迅速確筲地檢测出超過被 檢體衣面之預定傾斜角的傾斜衣ιϊιί丨》1凸。 衿攸诚Φ沾W利範幽泊5项及诏G瑣之發明|刖可獲得和 Ψ M W利範幽第1項或第3瑣之發明效果相丨rij之效果。 丨關式之簡單說明] 副1顯示椹成本發明筲施例1的說明丨副。 _ 2為Μ - ·筲施例之檢测傾斜角的朌埋賊丨。 顯π Μ ·蜇胞例之Μ角角度和〔:C ϋ ! G之受光強度的關 一 18 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明説明（代 Μ ο ϋ Λ7 B7 明 VL 測 Λ 4, $ 傾 之 2 例 uhw 筲 明 本 二卜 -> :,¾ 4 Μ yyiwl ylw VL ·" 的 例 /顯 機端終 之 例 ,Μ 為 HJ 槠 施端 實終 明 之 發例 1 本施!lil 構 一 之 顯為 Ξ3 體 0

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Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 定 测 狀 形 Λ8B8C8 D8 4 H- ,ό y'·' 徵 構^ ;受 構的 機光 光射 投反 之之 台上體 品體檢 樣檢被 之被述 體述HU B前 A 被 Μ 來 ayc收 战投接 & 述 .ο -Μη 使 準 ¾ 為 面 定 拟 K tM0^ IL 移 構 δ KL· 投 述 •lu 1月 / 使的 山.1111 ) 或受 ’ 之 角體 傾 檢 做敁 台 成 度 的做 :rr 基角 為 傾 ιίίι之 {疋也 愤產 之 所 4口 迎 品 栘 樣 之 ii!/4 前機 以光 合 受 —I 1J S3 利 I 構 者 槠 成 光 , 投 角述 w{Ηϋ 做與的 ιίιιΛ角 出 *3 '傾 及匕一~J 頃 角枓 fill資 之 光 構受 。 機的 普 PJ構成 1111¾權 述光所 )JU受I1L Itj述如 利>!Μ, >祸 u- 得储 m 测 度檢 角的 i 1J i— —ί fi r----1 WH, Ξ-ΐ ' -tj ·- I I - !_ - - In HA n^— : ---1/^/ -i —i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 0 利 如 之 置 裝 定 1^ 肜 面 1·1 之 曲a ΛΗ 檢 被 ·-_^ J/ 解 ί- t> ^ 山 feο ’t 構成 機 構^Hy -( 汨 e： 八妙 M. If 之 機 凸析 凹解 niiίΐ 衷迎 述的 IliJ狀 — J v\-· Μ 儿 W .Π Jo 測 狀 形 .0 Μ Η 經滴郎中失標率扃Μ工消资合作社印$ Ί口 i 丨u MW 0 檢之 敁 .H " -UK 檢 使 被準 述 迖 述 δ Λ -- *-丨 ;Μ 1¾U16 0 -光 角 受flu 的 做 光 -3 ij 丨1.1 n^. IU ; 之 之Mi 台 上 體iiu KU 投 使 以光 11乂 π 受 勤組 U 移，描 構者储 機或光 光 ?-IQ 受的述 和Mllij 描 做|;|!'、· |4而 的 卜儿fL·[I!! /ϋ-」 ·π 受 M/ii 之ilΜ ρ台# 檢 品 移 被 樣之 成述}{4 變 度 角 越 的為 !ί,ί1111 準 的 0 傾 :-¾ 及 本紙张尺度適.用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） ABCD 六、申請專利範圍 利丨丨〗前述_闪賭構之Μ角，使前述樣品0 _順時鐘旋轉 // Ν及反時毺旋$④方丨id Μ預定角度名別做傾角，並#1山Μ # Μ Η Μ Λ Λ度所抖之ίιΰ述受光傭描的受光0料，而檢測 山侦述被檢體之拟定角度值以丄的傾斜表面丨11丨凸的檢测機 1與者u 4 .如ιμ請啦利範圍第3瑣之衣而形狀測定裝置* Κ中檢 Μ出肋述表Μ凹凸之檢测賭椹*係山運W解析被檢體之衷 山丨肜狀的蓮μ解祈機祸所椹成古。 G .如Ψ站啦利萜幽第1頂之λ ιίι丨肜狀测定裝1 ，其中前 述敁G體，ί系為具有液彳丨丨外延生良If之iL·合物半導體晶}] U… β .如Φ請❼利範圍第3项之次而形狀测定裝1 ，：It屮前 述彼檢體，说為Μ有液川外延也歧層2 ib合物半導體品片 m " 7 .如Ψ誚W利範圍第1填之衷lili肜狀測定裝1 ，共中前 述受ye機構，像為C C 1)者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .兮 - 經濟部中夾標準钓負工消资合作社印粼 狀 形 ώί 之 ,,Μ. -3 isD '"cc §為 a受 述 屮 »本紙沾尺度ii?l丨丨丨中阖阖家榡率（CNS ) Λ4現格（210 X 297公釐）