TW202346941A - 彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法及電子機器用彈簧構件 - Google Patents

彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法及電子機器用彈簧構件 Download PDF

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Abstract

[課題]提供一種可抑制在由金屬箔形成之彈簧構件的厚度方向之寬度的偏差之彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法及電子機器用彈簧構件。 [解決手段]一種彈簧構件用金屬箔10，其具備第一區域10R1，該第一區域10R1係具有一邊的長度為300mm的正方形狀，且用以形成彈簧構件。於第一區域10R1中，從軋製方向之厚度的標準偏差減去與軋製方向正交之寬度方向的厚度之標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。

Description

彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法及電子機器用彈簧構件
本揭示係關於一種彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法及電子機器用彈簧構件。
平板型電腦終端及智慧型手機等之附設相機的電子機器所具備的相機模組，具有用以可自動聚焦或變焦的驅動機構。驅動機構方面，已知有透鏡驅動方式及感測器驅動方式。透鏡驅動方式的驅動機構具有板狀彈簧，該板狀彈簧可用以變更透鏡在透鏡之光軸方向的位置。與此相對，感測器驅動方式的驅動機構具有板狀彈簧，該板狀彈簧可用以變更圖像感測器在透鏡之光軸方向的位置(例如，參照專利文獻1、2)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2014-059345號公報 專利文獻2：日本特開2020-170170號公報
[發明欲解決之課題]
然而，板狀彈簧被要求於有限的容積內滿足特定的彈簧負載或撓度。為了滿足對彈簧負載及撓度的要求，板狀彈簧必須由高硬度的金屬形成。
板狀彈簧具有的寬度及厚度極大地左右彈簧負載及撓度。板狀彈簧之原料即金屬箔，係藉由軋製(rolling)而被軋薄至既定的厚度。由於金屬箔係由高硬度的金屬形成，因此與由硬度低之金屬形成的情況比較，難以藉由軋製將金屬箔的厚度均勻化。
另一方面，板狀彈簧係藉由對金屬箔進行濕式蝕刻而形成。金屬箔之厚度的偏差會產生蝕刻量的偏差，藉此，於板狀彈簧厚度方向上產生寬度的偏差。由於板狀彈簧之厚度方向的寬度偏差會使板狀彈簧具有之彈簧負載及撓度產生偏差，因此要求抑制厚度方向的彈簧寬度的偏差。 [用以解決課題之手段]
用以解決前述課題的彈簧構件用金屬箔，其具備第一區域，該第一區域係具有一邊的長度為300mm的正方形狀，且用以形成前述彈簧構件。於前述第一區域中，從軋製方向之厚度的標準偏差(Standard Deviation)減去與前述軋製方向正交之寬度方向的厚度之標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。
用以解決前述課題之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其包含以下的過程：軋製母材；及於準備複數個藉由前述母材的軋製而獲得的軋製材料之後，從前述複數個軋製材料中對前述彈簧構件用金屬箔進行分選(sorting)。於前述軋製材料中，具有一邊的長度為300mm的正方形狀且用以形成前述彈簧構件的區域係第一區域。關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，從前述複數個軋製材料中分選下述條件之前述軋製材料作為前述彈簧構件用金屬箔，該條件為，於前述第一區域中，從軋製方向之厚度的標準偏差減去與前述軋製方向正交之寬度方向的厚度的標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。
用以解決前述課題的電子機器用彈簧構件，係使用彈簧構件用金屬箔的電子機器用彈簧構件。從前述彈簧構件用金屬箔的軋製方向之厚度的標準偏差減去與前述軋製方向正交之寬度方向的厚度的標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。
根據前述各構成，由於從第一標準偏差減去第二標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下，因此可抑制彈簧構件用金屬箔的厚度的偏差。因此，於藉由對彈簧構件用金屬箔進行濕式蝕刻而形成的彈簧構件中，可抑制厚度方向之寬度的偏差。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差(Variance)減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件進一步包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；及於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；及於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選之過程中，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，亦可為關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，也可於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
於前述電子機器用彈簧構件中，也可於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下，從前述軋製方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值可為0.8μm以下。
根據前述各構成，彈簧構件用金屬箔滿足以下記載的條件中的至少一個條件。 ‧從第一方差減去第二方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。 ‧從第一標準偏差減去第二標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。 ‧從第一方差減去第二方差而得的差分值為0.15μm 2以下。 ‧從第一差分值減去第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
藉此，由於可抑制彈簧構件用金屬箔的厚度的偏差，因此可於藉由對彈簧構件用金屬箔進行濕式蝕刻而形成的彈簧構件中，抑制厚度方向之寬度的偏差。
於前述彈簧構件用金屬箔中，前述彈簧構件用金屬箔，也可包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金(corson alloy)及鈦銅所構成的群組中的任一者。
於前述彈簧構件用金屬箔的製造方法中，前述彈簧構件用金屬箔，也可包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金及鈦銅所構成的群組中的任一者。
於前述電子機器用彈簧構件中，前述彈簧構件用金屬箔，也可包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金、及鈦銅所構成的群組中的任一者。
根據前述各構成，由於彈簧構件用金屬箔可具有較高的硬度，因此可提高由彈簧構件用金屬箔形成的彈簧構件的耐久性。 [發明之效果]
根據本發明，可抑制由金屬箔形成之彈簧構件的厚度方向的彈簧寬度的偏差。
[用以實施發明的形態]
參照圖1至圖15，對彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法、及電子機器用彈簧構件之一實施形態進行說明。
[彈簧構件用金屬箔] 參照圖1，對彈簧構件用金屬箔進行說明。
於圖1所示的彈簧構件用金屬箔(以下，也稱為金屬箔)10中，用以形成彈簧構件的區域係第一區域10R1。第一區域10R1具有一邊的長度為300mm的正方形狀。金屬箔10係軋製材料，其由具有可實現對彈簧構件要求的彈簧負載或撓度之程度的高硬度之金屬形成。金屬箔10具有沿軋製方向DR延伸的帶狀。與軋製方向DR正交的方向係寬度方向DW。金屬箔10具有的厚度T例如為150μm以下，較佳為50μm以上且120μm以下。金屬箔10的厚度係具有金屬箔10之厚度T的最大值與厚度之最小值的差分值相對於基材厚度的平均值之比率為3%以下的均勻性。
金屬箔10滿足以下條件1。 (條件1)於第一區域10R1中，從軋製方向DR之厚度的標準偏差減去寬度方向DW之厚度的標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。
軋製方向DR之厚度的標準偏差為第一標準偏差，寬度方向DW之厚度的標準偏差為第二標準偏差。從第一標準偏差減去第二標準偏差而得之差分值的絕對值為第一絕對值。再者，第一標準偏差係沿軋製方向DR延伸之直線上的各點之厚度的標準偏差。此外，第二標準偏差係沿寬度方向DW延伸之直線上的各點之厚度的標準偏差。
由於第一絕對值為0.15μm以下，因此可抑制金屬箔10之厚度的偏差。因此，於藉由對金屬箔10進行濕式蝕刻而形成的彈簧構件中，可抑制厚度方向的彈簧寬度的偏差。
金屬箔10係具備表面10F及作為與表面10F相反側之面的背面10B。金屬箔10之厚度T係表面10F與背面10B之間的距離。軋製方向DR之厚度的最大值及最小值係以如下方式特定。即，對於第一區域10R1設定第一測定區域R1R，該第一測定區域R1R具有沿軋製方向DR延伸的帶狀。寬度方向DW之第一測定區域R1R的長度例如為20mm。於包含於第一測定區域R1R中之直線上的複數個點的每一點測定的金屬箔10之厚度中最大的值為最大值，最小的值為最小值。
寬度方向DW之厚度的最大值及最小值係以如下方式特定。即，對於第一區域10R1設定第二測定區域R1W，該第二測定區域R1W具有沿寬度方向DW延伸的帶狀。軋製方向DR之第二測定區域R1W的長度例如為20mm。於包含於第二測定區域R1W中之直線上的複數個點的每一點測定的金屬箔10之厚度中最大的值為最大值，最小的值為最小值。
於金屬箔10中，軋製方向DR之厚度的偏差，隨著反復地對用以製造金屬箔10之材料進行軋製而變小。因此，於抑制軋製方向DR之偏差的觀點上，較佳為增加製造金屬箔10時進行的軋製的次數。然而，於實現對彈簧構件要求之彈簧負載或撓度的觀點上，彈簧構件用的金屬箔10需要具有既定以上的厚度。因此，於彈簧構件用的金屬箔10中，難以於金屬箔10之製造中進行可消除軋製方向DR之厚度的偏差之次數的軋製。與此相對，於金屬箔10中，由於寬度方向DW之厚度的偏差係藉由使用於軋製之軋輥的表面狀態支配，因此具有可於不依賴軋製次數之狀態下抑制偏差的傾向。因此，金屬箔10具有第二標準偏差容易成為第一標準偏差以下的傾向。
另一方面，於對金屬箔10進行濕式蝕刻的情況下，於金屬箔10中厚度越薄的部分，形成貫通孔所需的時間越短，其中該濕式蝕刻係用以形成沿金屬箔10之厚度方向貫通金屬箔10的貫通孔。並且，形成於金屬箔10的貫通孔，會於金屬箔10之表面10F與背面10B之間形成蝕刻液的液流，但對於朝與貫通之方向垂直的方向的金屬箔10之等向性蝕刻的進行，幾乎沒有貢獻。與此相對，於金屬箔10中厚度越厚的部分，形成貫通孔所需的時間越長。因此，金屬箔10中厚度較厚的部分，對於金屬箔10之等向性蝕刻的進行大有貢獻。
因此，可於金屬箔10之厚度上，將第一標準偏差作為軋製方向DR上的等向性蝕刻之產生容易度的指標。此外，可於金屬箔10之厚度上，將第二標準偏差作為寬度方向DW上的等向性蝕刻之產生容易度的指標。再者，可將第一絕對值作為相對於難以產生等向性蝕刻的寬度方向DW之軋製方向DR上的等向性蝕刻之產生容易度的指標。
關於這點，於金屬箔10滿足前述條件1的情況下，於將寬度方向DW之等向性蝕刻的產生容易度作為基準時，可抑制軋製方向DR上之等向性蝕刻的產生容易度過度增大。因此，於藉由對金屬箔10進行蝕刻而形成的彈簧構件中，容易獲得期望的形狀。
於第一區域10R1中，軋製方向DR之厚度T的方差係第一方差。即，第一方差係沿軋製方向DR之一條直線上的各點之厚度T的方差。於第一區域10R1中，寬度方向DW之厚度T的方差係第二方差。即，第二方差係沿寬度方向DW之一條直線上的各點之厚度T的方差。
於第一區域10R1中，軋製方向DR之厚度T的最大值與最小值的差分值係第一差分值。即，沿軋製方向DR之一條直線上的各點的厚度T為第一厚度，第一厚度中的最大值與最小值的差分值係第一差分值。於第一區域10R1中，寬度方向DW之厚度T的最大值與最小值的差分值係第二差分值。即，沿寬度方向DW之一條直線上的各點的厚度為第二厚度，第二厚度中的最大值與最小值的差分值係第二差分值。
較佳為，金屬箔10滿足以下的條件2至條件5中的至少一個條件。即，金屬箔10可僅滿足條件2至條件5中的一個，也可滿足選自條件2至條件5中的2個以上。
(條件2)於第一區域10R1中，從第一方差減去第二方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。 再者，從第一方差減去第二方差而得之差分值的絕對值係第二絕對值。
(條件3)於第一區域10R1中，從第一標準偏差減去第二標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。 再者，從第一標準偏差減去第二標準偏差而得的差分值係第三差分值。
(條件4)於第一區域10R1中，從第一方差減去第二方差而得的差分值為0.15μm 2以下。 再者，從第一方差減去第二方差而得的差分值係第四差分值。
(條件5)從第一差分值減去第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。 再者，從第一差分值減去第二差分值而得之差分值的絕對值係第三絕對值。
於金屬箔10滿足條件2至條件5的情況下，也與滿足條件1的情況同樣，於將寬度方向DW之等向性蝕刻的產生容易度作為基準時，可抑制軋製方向DR上之等向性蝕刻的產生容易度過度增大。因此，於藉由對金屬箔10進行蝕刻而形成的彈簧構件中，容易獲得期望的形狀。
如上述，金屬箔10係由金屬形成，該金屬具有可實現對使用金屬箔10製造之彈簧構件要求的彈簧負載或撓度之程度的高硬度。金屬箔10例如可由不鏽鋼合金或銅合金形成。不鏽鋼合金例如可為由JIS G 4313：2011「彈簧用不鏽鋼帶」規定的不鏽鋼合金。銅合金例如可為由JIS H 3130：2018「彈簧用鈹銅、鈦銅、磷青銅、鎳錫銅及鋅白銅板及條」規定的銅合金。
較佳為，金屬箔10包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金及鈦銅所構成的群組中的任一者。藉此，由於金屬箔10可具有高硬度，因此可提高由金屬箔10形成的彈簧構件的耐久性。
[彈簧構件] 參照圖2，對彈簧構件進行說明。圖2示意顯示從與彈簧構件擴展的平面對向之視點觀察的彈簧構件的平面構造。
如圖2所示，彈簧構件20具有外框部21、內框部22及彈簧部23。彈簧構件20係板狀彈簧。於圖2所示的例中，外框部21的外形係八角形狀，且內框部22的外形係圓形。彈簧部23具有折線狀。再者，外框部21的外形及內框部22的外形，可根據搭載彈簧構件20之相機模組的驅動機構具備之其他構件、即彈簧構件20以外的構件具有的形狀而變更。內框部22位於外框部21界定的區域內。彈簧部23係將內框部22連接於外框部21。
於透鏡驅動方式的驅動機構中，於透鏡的光軸方向上以夾著透鏡的方式配置一對彈簧構件20。於光軸方向上，藉由與該外框部21連接的內框部22相對於各外框部21的位置改變，而使透鏡之光軸方向的透鏡的位置改變。藉此，可藉由透鏡驅動方式的驅動機構校正手抖動。
與此相對，於感測器驅動方式的驅動機構中，於透鏡的光軸方向上以夾著攝像感測器的方式配置一對彈簧構件20。於光軸方向上，藉由改變與該外框部21連接的內框部22相對於各外框部21的位置，以改變透鏡之光軸方向之攝像感測器的位置。藉此，可藉由感測器驅動方式的驅動機構校正手抖動。
於彈簧構件20中，於與彈簧構件20擴展的平面對向俯視時，與外框部21具有之各邊延伸的方向正交之方向的長度，係外框部21中的彈簧構件20的寬度。此外，於與彈簧構件20擴展的平面對向俯視時，沿內框部22之徑向的內框部22的長度，係內框部22中的彈簧構件20的寬度。此外，於與彈簧構件20擴展的平面對向俯視時，彈簧部23中的折線之俯視時的線寬，係彈簧部23的寬度即彈簧寬度SW。
搭載有具備彈簧構件20之相機模組的電子機器，例如可為行動電話終端、智慧型手機、平板型電腦終端、筆記型個人電腦等。
[彈簧構件用金屬箔的製造方法] 參照圖3至圖5，對金屬箔10的製造方法進行說明。 金屬箔10的製造方法，其包含以下過程：軋製母材；及於準備複數個藉由母材的軋製而獲得的軋製材料之後，從複數個軋製材料中對金屬箔10進行分選(sorting)。關於對金屬箔10進行分選方面，從複數個軋製材料中分選滿足前述條件1的軋製材料作為金屬箔10。此外，金屬箔10的製造方法，可於從複數個軋製材料中對金屬箔10進行分選時的條件中進一步包含前述條件2至條件5中的至少一個條件。即，可僅包含條件2至條件5中的一個，也可包含選自條件2至條件5中的2個以上。
以下，參照圖式，對金屬箔10的製造方法更詳細地進行說明。 圖3及圖4示意顯示對用以形成金屬箔10之母材進行軋製的步驟。
如圖3所示，於製造金屬箔10時，首先，準備母材BM1，該母材BM1具有沿軋製方向DR延伸的帶狀。接著，以母材BM1的軋製方向DR與搬送母材BM1之搬送方向平行的方式，將母材BM1沿搬送方向朝具備一對軋輥RL1、RL2的軋製裝置RE搬送。
若母材BM1到達一對軋輥RL1、RL2之間，則藉由一對軋輥RL1、RL2對母材BM1進行軋製。藉此，將母材BM1的厚度減小，且藉由使母材BM1沿搬送方向延伸，可獲得軋製材料BM2。軋製材料BM2被捲繞於芯軸C。再者，軋製材料BM2也可不捲繞於芯軸C，而以拉伸成帶狀的狀態進行處理。軋製材料BM2的厚度例如為150μm以下，較佳為50μm以上且120μm以下。
如圖4所示，為了除去蓄積於藉由母材BM1之軋製而形成的軋製材料BM2之內部的殘留應力，使用退火裝置AE對軋製材料BM2進行退火。藉此，獲得退火後的軋製材料BM3。由於軋製材料BM2的退火係一面沿搬送方向拉伸軋製材料BM2一面進行，因此與退火前的軋製材料BM2比較，可獲得減小了殘留應力的軋製材料BM3。
再者，如上述，形成母材BM1的材料，可包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金及鈦銅所構成的群組中的任一者。由於這些金屬具有高硬度，換言之，與具有較低硬度的金屬、即較柔軟的金屬比較難以延伸，因此容易於母材BM1內產生被軋製之程度的偏差。此外，於複數個母材BM1之間，也容易隨軋製而產生偏差。因此，藉由母材BM1之軋製而形成的金屬箔10的分選條件，包含前述條件1時的實效性高。
圖5示意顯示對經過軋製步驟而形成的金屬箔10之厚度進行測定的步驟。 如圖5所示，於準備複數個經過軋製而獲得的軋製材料BM3之後，使用測定裝置ME對用以於各軋製材料BM3中形成彈簧構件20之第一區域測定厚度。藉此，對各軋製材料BM3的第一區域，至少計算前述第一絕對值。然後，從複數個軋製材料BM3中分選滿足前述第1條件的軋製材料BM3作為金屬箔10，且將分選的金屬箔10利用於彈簧構件20的製造。
再者，也可對各軋製材料BM3的第一區域，計算前述第一方差、第二方差、第二絕對值及第三絕對值。並且，也可於從軋製材料BM3中對金屬箔10進行分選的條件中加入前述條件2至條件5中的至少一個條件。即，可於從軋製材料BM3中對金屬箔10進行分選的條件中僅添加條件2至條件5中的一個，也可添加選自條件2至條件5中的2個以上。此外，測定裝置ME可使用接觸式的測定裝置，也可使用非接觸式的測定裝置。
接觸式的測定裝置例如可使用長度計。非接觸式的測定裝置例如可使用具備照射X射線的照射部、及檢測螢光X射線之檢測部的測定裝置。於使用該測定裝置的情況下，首先，使用照射部對金屬箔10照射X射線，藉此，使用檢測部對從金屬箔10放射出的螢光X射線進行檢測。由於藉由檢測部檢測出的螢光X射線之強度取決於金屬箔10的厚度，因此可根據螢光X射線的強度把握金屬箔10的厚度。
再者，第一標準偏差、第二標準偏差、第一方差、第二方差、第一差分值及第二差分值，可藉由變更以下的至少一個而變更。藉由變更軋輥RL1、RL2的旋轉速度、軋輥RL1、RL2之間的按壓力、軋輥RL1、RL2的溫度、及軋輥RL1、RL2的數量中的至少一個，可變更前述值。即，也可僅變更軋輥RL1、RL2的旋轉速度、軋輥RL1、RL2之間的按壓力、軋輥RL1、RL2的溫度、及軋輥RL1、RL2的數量中的一個。或者，也可變更軋輥RL1、RL2的旋轉速度、軋輥RL1、RL2之間的按壓力、軋輥RL1、RL2的溫度、及軋輥RL1、RL2的數量中的任意2個以上。
[彈簧構件的製造方法] 參照圖6至圖10，對彈簧構件20的製造方法進行說明。 如圖6所示，於製造彈簧構件20時，首先，於金屬箔10之表面10F形成第一阻劑層PR1，且於背面10B形成第二阻劑層PR2。再者，於使用圖6至圖10說明的例中，各阻劑層PR1、PR2係由正型之光阻形成，但各阻劑層PR1、PR2也可由負型之光阻形成。
接著，如圖7所示，於第一阻劑層PR1上配置第一光罩PM1，且於第二阻劑層PR2上配置第二光罩PM2。然後，使用第一光罩PM1對第一阻劑層PR1進行曝光，且使用第二光罩PM2對第二阻劑層PR2進行曝光。
如圖8所示，對曝光後的阻劑層PR1、PR2進行顯影，藉此，從第一阻劑層PR1形成第一阻劑遮罩RM1，且從第二阻劑層PR2形成第二阻劑遮罩RM2。
如圖9所示，使用阻劑遮罩RM1、RM2對金屬箔10進行濕式蝕刻。此時，將金屬箔10從表面10F及背面10B兩面對進行蝕刻。藉此，於金屬箔10形成沿金屬箔10之厚度方向貫通的貫通孔，其結果，形成外框部21、從外框部21分離的內框部22、及將內框部22連接於外框部21的彈簧部23。
此時，由於金屬箔10滿足條件1，因此於金屬箔10之厚度方向上，容易獲得具有期望形狀的彈簧構件20。此外，由於金屬箔10滿足條件1，因此即使不根據金屬箔10之厚度的偏差變更濕式蝕刻的條件，也可獲得將彈簧構件20之厚度方向的彈簧寬度之偏差抑制在既定的範圍內的彈簧構件20。因此，於彈簧構件20的製造中，由於不需要根據厚度的偏差變更濕式蝕刻的條件，因此，也可消除厚度的偏差與濕式蝕刻之條件的組合上的失誤。
如圖10所示，將阻劑遮罩RM1、RM2從蝕刻後的金屬箔10上除去後，從蝕刻後的金屬箔10切出彈簧構件20，藉此可獲得彈簧構件20。
[實施例] 參照圖11至圖15，對實施例及比較例進行說明。 [實施例1] 首先，對以鈦銅作為材料的母材實施軋製步驟，形成軋製材料。然後對軋製材料實施退火步驟。藉此，獲得厚度的設計值為120μm之實施例1的金屬箔。
[實施例2至實施例8、及比較例1至比較例4] 於實施例1中，於軋製母材時，變更軋輥的旋轉速度、軋輥之間的按壓力、軋輥的溫度、及軋輥的數量中的至少一個，除此以外是與實施例1相同，藉此獲得實施例2至實施例8、及比較例1至比較例4的金屬箔。
[評價方法] [厚度的測定] 參照圖11，對金屬箔10之厚度的測定方法進行說明。
如圖11所示，從各實施例及各比較例的金屬箔切出具有一邊的長度為300mm之正方形的測定用金屬箔30。以各測定用金屬箔30之第一之一邊延伸的方向與金屬箔之軋製方向DR平行，且各測定用金屬箔30之第二之一邊延伸的方向與金屬箔的寬度方向DW垂直的方式，從各金屬箔切出測定用金屬箔30。於各測定用金屬箔30中設定：包含測定用金屬箔30的中央且具有正方形狀的測定區域30A；及具有圍繞測定區域30A的矩形框狀的周邊區域30B。此時，將周邊區域30B的寬度W3設定為10mm。
此外，於測定區域30A內設定具有沿軋製方向DR延伸之帶狀的第一測定區域R1R、及具有沿寬度方向DW延伸之帶狀的第二測定區域R1W。此時，將第一測定區域R1R的寬度方向DW的長度即寬度W1設定為20mm，且將第二測定區域R1W的軋製方向DR的長度即寬度W2設定為20mm。
然後，於在軋製方向DR上將第一測定區域R1R等分為14等分之區域的全部區域中對金屬箔的厚度進行了測定。此外，於在寬度方向DW上將第二測定區域R1W等分為14等分之區域的全部區域中對測定用金屬箔30的厚度進行了測定。
於各區域中之連結對向之2個角部的對角線彼此相交的點上測定出厚度。即，於位於同一直線上的各點對厚度進行了測定。按每個測定用金屬箔，於軋製方向DR上的14點及寬度方向DW上的14點測定了厚度。但是，於第一測定區域R1R與第二測定區域R1W相交的區域中，由於軋製方向DR的測定點與寬度方向DW的測定點屬於同一點，因此，對各測定用金屬箔，於合計27點上進行了厚度的測定。然後，將測定出的值四捨五入至小數第二位，藉此，作為各區域之厚度的測定值。
根據這些測定值，算出第一標準偏差、第二標準偏差、第一方差及第二方差。此外，算出從第一標準偏差減去第二標準偏差而得之差分值即第三差分值、及第三差分值的絕對值即第一絕對值。此外，算出從第一方差減去第二方差而得之差分值即第四差分值、及第四差分值的絕對值即第二絕對值。此外，算出從第一差分值減去第二差分值而得之差分值的絕對值即第三絕對值、及從軋製方向DR之厚度的最大值減去寬度方向DW之厚度的最大值而得之差分值的絕對值即第四絕對值。
於測定用金屬箔30之厚度的測定中，使用接觸式的厚度測定器(尼康(股)製、MH-15M)。於測定厚度時，首先，於使測定件接觸於底板的狀態下將附屬於測定器的板厚測定機計數器的電源開啟，藉此進行零點對準。然後，於測定件與底板之間設置測定用金屬箔，接著，藉由使測定件下降對測定用金屬箔的各部分的厚度進行了測定。
[蝕刻圖案的評價] 於各測定用金屬箔30之表面及背面形成具有與彈簧構件20之形狀對應的複數個開口的阻劑遮罩，使用2個阻劑遮罩將測定用金屬箔30從表面及背面兩面對進行濕式蝕刻。再者，將與1個彈簧構件20對應且具有20mm見方之正方形狀的單位區域，以於軋製方向DR及寬度方向DW的兩個方向上佈滿的方式呈格子狀配置於測定區域30A。因此，於各阻劑遮罩也是，將與1個彈簧構件20之形狀對應的單位圖案以於軋製方向DR及寬度方向DW的兩個方向上佈滿的方式呈格子狀配置。
於單位圖案中，於彈簧構件20中的形成具有折線狀之彈簧部23的部分，將於彈簧部23中相互平行且與鄰接之線段的間隙對應之光阻圖案的開口寬度設定為100μm，且將鄰接之線段的間距設定為200μm。在此，鄰接之線段的間距，係指於蝕刻圖案的設計中相互平行、且於鄰接的線段中設定於各線段的中央線間的距離。
再者，對於各阻劑遮罩，於與測定用金屬箔30之表面對向俯視時，以位於測定用金屬箔30之表面的阻劑遮罩具有的1個單位圖案整體與位於測定用金屬箔30之背面的阻劑遮罩中的1個單位圖案整體重疊的方式，於各阻劑遮罩形成複數個單位圖案。
使用如此的阻劑遮罩，於測定用金屬箔30中形成複數個與彈簧構件20之形狀對應的蝕刻圖案。於蝕刻圖案中，彈簧部23在俯視下的彈簧寬度的設計值設定為30μm。
使用合成樹脂將存在於蝕刻後的各測定用金屬箔30之彈簧構件20的彈簧部23埋入。然後，藉由使用微切片機將埋入後的彈簧部23切斷，而使與彈簧部包含之線段延伸的方向正交的平面上之彈簧部23的截面露出。
於彈簧部23的截面中，對以下位置的彈簧寬度進行了測定。即，於彈簧部23中，對測定用金屬箔30之表面的彈簧寬度、測定用金屬箔30之背面的彈簧寬度、及於厚度方向上將彈簧部23等分為4等分的平面中的被測定用金屬箔30之表面與背面夾持的3個平面上的彈簧寬度進行了測定。即，於將測定用金屬箔30之表面的深度設定為0μm的情況下，於蝕刻圖案中，對深度為0μm的彈簧寬度、深度約為30μm的彈簧寬度、深度約為60μm的彈簧寬度、深度約為90μm的彈簧寬度、及深度約為120μm時的彈簧寬度進行了測定。於測定彈簧部23的彈簧寬度時，使用數位顯微鏡(Keyence(股)製，VHX-7000)，且於數位顯微鏡中將物鏡的倍率設定為200倍。
此外，針對從各實施例及各比較例的測定用金屬箔30獲得的蝕刻圖案，算出第一規格值、彈簧寬度的標準偏差、第二規格值、相對於彈簧寬度之平均值的3σ的百分率、及彈簧寬度的方差。
再者，針對測定用金屬箔30所包含的各單位圖案，於彈簧部23所包含的所有彈簧中，對厚度方向之前述5個部位的彈簧寬度進行了測定。然後，按每個彈簧特定最大值及最小值，算出從最大值減去最小值而得之差分值，且算出彈簧寬度的平均值。接著，從針對所有彈簧特定的最大值計算出最大值的平均值，且將該平均值設定為該測定用金屬箔30中的彈簧寬度的最大值。此外，從針對所有彈簧特定出的最小值計算出最小值的平均值，且將該最小值設定為該測定用金屬箔30中的彈簧寬度的最小值。此外，從針對所有彈簧算出的差分值計算差分值的平均值，將該平均值設定為該測定用金屬箔30的差分值。此外，計算對所有彈簧算出之平均值的平均值，將該平均值設定為該測定用金屬箔30的平均值。
此外，針對從各實施例及各比較例的測定用金屬箔30獲得的蝕刻圖案，算出第一規格值、彈簧寬度的標準偏差、第二規格值、及相對於彈簧寬度之平均值的3σ的百分率。於計算相對於彈簧寬度之平均值的3σ的百分率時，使用了對各測定用金屬箔30設定的平均值。再者，第一規格值係彈簧寬度之差分值相對於彈簧寬度之設計值的百分率。第一規格值的計算係使用了對各測定用金屬箔30設定的差分值。此外，第二規格值係彈簧寬度的標準偏差相對於彈簧寬度的設計值的百分率。
於計算彈簧寬度的標準偏差時，首先，從按每個彈簧所測定出之5個部位的厚度算出彈簧寬度的標準偏差。接著，從針對所有彈簧所算出之標準偏差算出標準偏差的平均值，且將該平均值設定為該測定用金屬箔30的彈簧寬度的標準偏差。此外，第二規格值的計算係使用了對各測定用金屬箔30設定的標準偏差。
於計算彈簧寬度的方差時，首先，從按每個彈簧所測定出的5個部位之厚度算出彈簧寬度的方差。接著，從針對所有彈簧所算出的方差算出方差的平均值，且將該平均值設定為該測定用金屬箔30的彈簧寬度的方差。
[評價結果] 參照圖12至圖15，對測定用金屬箔30之厚度、及蝕刻圖案的彈簧寬度的評價結果進行說明。
圖12顯示對各測定用金屬箔30之厚度進行測定的結果、及藉由對各測定用金屬箔30進行濕式蝕刻而形成之蝕刻圖案的彈簧寬度的測定結果。再者，於圖12中，第四絕對值係從軋製方向DR之厚度的最大值減去寬度方向DW之厚度的最大值而得之差分值的絕對值。
如圖12所示，可以確認第一標準偏差於實施例1中為0.313μm，於實施例2中為0.291μm，於實施例3中為0.389μm，於實施例4中為0.261μm。此外，確認第一標準偏差於實施例5中為0.516μm，於實施例6中為0.421μm，於實施例7中為0.532μm，於實施例8中為0.524μm。此外，確認第一標準偏差於比較例1中為0.766μm，於比較例2中為0.571μm，於比較例3中為0.566μm，於比較例4中為0.498μm。
確認第二標準偏差於實施例1中為0.243μm，於實施例2中為0.303μm，於實施例3中為0.332μm，於實施例4中為0.184μm。此外，確認第二標準偏差於實施例5中為0.447μm，於實施例6中為0.311μm，於實施例7中為0.420μm，於實施例8中為0.412μm。確認第二標準偏差於比較例1中為0.260μm，於比較例2中為0.218μm，於比較例3中為0.221μm，於比較例4中為0.307μm。
藉此，可以確認第三差分值於實施例1中為0.069μm，於實施例2中為-0.012μm，於實施例3中為0.057μm，於實施例4中為0.077μm。此外，確認第三差分值於實施例5中為0.068μm，於實施例6中為0.110μm，於實施例7中為0.112μm，於實施例8中為0.111μm。此外，確認第三差分值於比較例1中為0.507μm，於比較例2中為0.353μm，於比較例3中為0.346μm，於比較例4中為0.191μm。
此外，確認第一絕對值於實施例1中為0.069μm，於實施例2中為0.012μm，於實施例3中為0.057μm，於實施例4中為0.077μm。此外，確認第一絕對值，於實施例5中為0.068μm，於實施例6中為0.110μm，於實施例7中為0.112μm，於實施例8中為0.111μm。此外，確認第一絕對值於比較例1中為0.507μm，於比較例2中為0.353μm，於比較例3中為0.346μm，於比較例4中為0.191μm。
如此，可以確認於實施例1至實施例8的測定用金屬箔30中，第一絕對值為0.15μm以下，而於比較例1至比較例3的測定用金屬箔30中，第一絕對值大於0.15μm。詳細而言，確認於實施例1至實施例8的測定用金屬箔30中，第一絕對值為0.012μm以上且0.112μm以下，而於比較例1至比較例4的測定用金屬箔30中，第一絕對值為0.191μm以上且0.507μm以下。此外，確認於實施例1、實施例3至實施例8的測定用金屬箔30、及比較例1至比較例4的測定用金屬箔30中，第一標準偏差大於第二標準偏差，而於實施例2中，第一標準偏差小於第二標準偏差。
此外，確認第一方差於實施例1中為0.098μm 2，於實施例2中為0.085μm 2，於實施例3中為0.151μm 2，於實施例4中為0.068μm 2。確認第一方差於實施例5中為0.266μm 2，於實施例6中為0.177μm 2，於實施例7中為0.283μm 2，於實施例8中為0.274μm 2。確認第一方差於比較例1中為0.587μm 2，於比較例2中為0.326μm 2，於比較例3中為0.321μm 2，於比較例4中為0.248μm 2。
確認第二方差於實施例1中為0.059μm 2，於實施例2中為0.092μm 2，於實施例3中為0.110μm 2，於實施例4中為0.034μm 2。確認第二方差於實施例5中為0.200μm 2，於實施例6中為0.096μm 2，於實施例7中為0.176μm 2，於實施例8中為0.170μm 2。確認第二方差於比較例1中為0.067μm 2，於比較例2中為0.048μm 2，於比較例3中為0.049μm 2，於比較例4中為0.095μm 2。
藉此，可以確認第四差分值於實施例1中為0.039μm 2，於實施例2中為-0.007μm 2，於實施例3中為0.041μm 2，於實施例4中為0.034μm 2。確認第四差分值於實施例5中為0.066μm 2，於實施例6中為0.081μm 2，於實施例7中為0.107μm 2，於實施例8中為0.104μm 2。此外，確認第四差分值於比較例1中為0.520μm 2，於比較例2中為0.278μm 2，於比較例3中為0.272μm 2，於比較例4中為0.154μm 2。
此外，確認第二絕對值於實施例1中為0.039μm 2，於實施例2中為0.007μm 2，於實施例3中為0.041μm 2，於實施例4中為0.034μm 2。確認第二絕對值於實施例5中為0.066μm 2，於實施例6中為0.081μm 2，於實施例7中為0.107μm 2，於實施例8中為0.104μm 2。此外，確認第二絕對值於比較例1中為0.520μm 2，於比較例2中為0.278μm 2，於比較例3中為0.272μm 2，於比較例4中為0.154μm 2。
如此，可以確認於實施例1至實施例8的測定用金屬箔30中，第二絕對值為0.15μm 2以下，而於比較例1至比較例4的測定用金屬箔30中，第二絕對值大於0.15μm 2。詳細而言，確認於實施例1至實施例8的測定用金屬箔30中，第二絕對值為0.007μm 2以上且0.107μm 2以下，而於比較例1至比較例4的測定用金屬箔30中，第二絕對值為0.154μm 2以上且0.520μm 2以下。
此外，確認第三絕對值於實施例1中為0.2μm，於實施例2中為0μm，於實施例3中為0.3μm，於實施例4中為0.3μm。此外，確認第三絕對值於實施例5中為0.5μm，於實施例6中為0.4μm，於實施例7中為0.2μm，於實施例8中為0.4μm。此外，確認第三絕對值於比較例1中為1.6μm，於比較例2中為1.2μm，於比較例3中為1.2μm，於比較例4中為0.9μm。
此外，確認第四絕對值於實施例1中為0μm，於實施例2中為0μm，於實施例3中為0.4μm，於實施例4中為0μm。確認第四絕對值於實施例5中為0.8μm，於實施例6中為0.5μm，於實施例7中為0.4μm，於實施例8中為0.6μm。確認第四絕對值於比較例1中為1.5μm，於比較例2中為1.1μm，於比較例3中為0.2μm，於比較例4中為0.9μm。
另一方面，確認彈簧寬度的差分值於實施例1中為8.4μm，於實施例2中為8.4μm，於實施例3中為8.2μm，於實施例4中為7.0μm。此外，確認彈簧寬度的差分值於實施例5中為7.5μm，於實施例6中為9.1μm，於實施例7中為8.4μm，於實施例8中為9.7μm。此外，確認彈簧寬度的差分值於比較例1中為12.5μm，於比較例2中為13.7μm，於比較例3中為11.3μm，於比較例4中為14.3μm。
此外，確認第一規格值於實施例1中為27.9%，於實施例2中為28.0%，於實施例3中為27.4%，於實施例4中為23.1%。此外，確認第一規格值於實施例5中為24.9%，於實施例6中為30.3%，於實施例7中為28.1%，於實施例8中為32.3%。確認第一規格值於比較例1中為41.6%，於比較例2中為45.6%，於比較例3中為37.6%，於比較例4中為47.5%。
確認彈簧寬度的標準偏差於實施例1中為2.0μm，於實施例2中為1.7μm，於實施例3中為1.9μm，於實施例4中為1.4μm。確認彈簧寬度的標準偏差於實施例5中為1.4μm，於實施例6中為1.9μm，於實施例7中為2.0μm，於實施例8中為2.1μm。確認彈簧寬度的標準偏差於比較例1中為2.5μm，於比較例2中為2.6μm，於比較例3中為2.2μm，於比較例4中為2.6μm。
確認第二規格值於實施例1中為6.6%，於實施例2中為5.7%，於實施例3中為6.3%，於實施例4中為4.7%。確認第二規格值於實施例5中為4.7%，於實施例6中為6.3%，於實施例7中為6.6%，於實施例8中為7.1%。確認第二規格值於比較例1中為8.2%，於比較例2中為8.5%，於比較例3中為7.4%，於比較例4中為8.5%。
確認相對於彈簧寬度之平均值之3σ的百分率，於實施例1中為17.8%，於實施例2中為16.0%，於實施例3中為18.3%，於實施例4中為13.0%。確認相對於彈簧寬度之平均值之3σ的百分率，於實施例5中為13.0%，於實施例6中為18.1%，於實施例7中為18.3%，於實施例8中為18.8%。確認相對於彈簧寬度之平均值之3σ的百分率，於比較例1中為24.8%，於比較例2中為26.4%，於比較例3中為23.5%，於比較例4中為22.0%。
確認彈簧寬度的方差於實施例1中為3.9μm 2，於實施例2中為2.9μm 2，於實施例3中為3.6μm 2，於實施例4中為2.0μm 2。確認彈簧寬度的方差於實施例5中為2.0μm 2，於實施例6中為3.6μm 2，於實施例7中為4.0μm 2，於實施例8中為4.5μm 2。確認彈簧寬度的方差於比較例1中為6.0μm 2，於比較例2中為6.5μm 2，於比較例3中為4.9μm 2，於比較例4中為6.6μm 2。
如此，確認於實施例1至實施例8的彈簧構件用金屬箔中，與比較例1至比較例4的彈簧構件用金屬箔比較，第一規格值、標準偏差、第二規格值、相對於平均值之3σ的百分率、及方差，全都較小。因此，根據實施例1至實施例8的彈簧構件用金屬箔，其與比較例1至比較例4的彈簧構件用金屬箔比較，可說抑制了厚度方向的彈簧寬度的偏差。
圖13為顯示第一絕對值與彈簧寬度的差分值之關係的曲線圖。 如圖13所示，於第一絕對值為0.15μm以下的情況下，確認蝕刻圖案之彈簧寬度的差分值包含於6.0μm以上且10.0μm以下的範圍內。與此相對，於第一絕對值大於0.15μm的情況下，確認蝕刻圖案之彈簧寬度的差分值超過11μm。如此，確認於第一絕對值中，蝕刻圖案之彈簧寬度的偏差以0.15μm為界而存在大的差異。
圖14為顯示第二絕對值與彈簧寬度的差分值之關係的曲線圖。 如圖14所示，確認於第二絕對值為0.15μm 2以下的情況下，蝕刻圖案之彈簧寬度的差分值包含於6.0μm以上且10.0μm以下的範圍內。與此相對，確認於第二絕對值大於0.15μm 2的情況下，蝕刻圖案的彈簧寬度的差分值超過11μm。如此，確認於第二絕對值中，蝕刻圖案的彈簧寬度的偏差以0.15μm 2為界而存在大的差異。
圖15為顯示第三絕對值與彈簧寬度的差分值之關係的曲線圖。 如圖13所示，確認於第三絕對值為0.8μm以下的情況下，蝕刻圖案之彈簧寬度的差分值包含於6.0μm以上且10.0μm以下的範圍內。與此相對，確認於第三絕對值大於0.8μm的情況下，蝕刻圖案之彈簧寬度的差分值超過11μm。如此，確認於第三絕對值中，蝕刻圖案之彈簧寬度的偏差以0.8μm為界而存在大的差異。
如以上說明，根據彈簧構件用金屬箔、彈簧構件用金屬箔的製造方法、及電子機器用彈簧構件的一實施形態，可獲得以下記載的效果。 (1)由於金屬箔10滿足條件1，因此可抑制金屬箔10之厚度的偏差。因此，於藉由對金屬箔10進行濕式蝕刻而形成的彈簧構件20中，可抑制厚度方向的彈簧寬度的偏差。
(2)由於金屬箔10滿足條件2至條件5中的至少一個，因此可抑制金屬箔10之厚度的偏差。因此，於藉由金屬箔10之濕式蝕刻而形成的彈簧構件20的厚度方向抑制寬度的偏差。
(3)由於金屬箔10可具有高的硬度，因此可提高由金屬箔10形成的彈簧構件20的耐久性。
10:彈簧構件用金屬箔 10R1:第一區域 20:彈簧構件
圖1為顯示一實施形態之彈簧構件用金屬箔之構造的立體圖。 圖2為顯示同一實施形態之電子機器用彈簧構件之構造的俯視圖。 圖3為用以說明同一實施形態之彈簧構件用金屬箔的製造方法的步驟圖。 圖4為用以說明同一實施形態之彈簧構件用金屬箔的製造方法的步驟圖。 圖5為用以說明同一實施形態之彈簧構件用金屬箔的製造方法的步驟圖。 圖6為用以說明圖2所示之電子機器用彈簧構件的製造方法的步驟圖。 圖7為用以說明圖2所示之電子機器用彈簧構件的製造方法的步驟圖。 圖8為用以說明圖2所示之電子機器用彈簧構件的製造方法的步驟圖。 圖9為用以說明圖2所示之電子機器用彈簧構件的製造方法的步驟圖。 圖10為用以說明圖2所示之電子機器用彈簧構件的製造方法的步驟圖。 圖11為用以說明彈簧構件用金屬箔之厚度的測定部位的俯視圖。 圖12為顯示實施例及比較例之金屬箔的測定結果的表。 圖13為顯示第一絕對值與彈簧寬度之差分值的關係的曲線圖。 圖14為顯示第二絕對值與彈簧寬度之差分值的關係的曲線圖。 圖15為顯示第三絕對值與彈簧寬度之差分值的關係的曲線圖。
10:彈簧構件用金屬箔
10R1:第一區域
10F:表面
10B:背面
R1W:第二測定區域
R1R:第一測定區域
T:厚度
DR:軋製方向
DW:寬度方向

Claims (51)

  1. 一種彈簧構件用金屬箔，係用以製造彈簧構件，其具備： 第一區域，該第一區域係具有一邊的長度為300mm的正方形狀，且用以形成前述彈簧構件， 於前述第一區域中，從軋製方向之厚度的標準偏差減去與前述軋製方向正交之寬度方向的厚度之標準偏差而得的差分值的絕對值為0.15μm以下。
  2. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值的絕對值為0.15μm 2以下。
  3. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
  4. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  5. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  6. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
  7. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  8. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  9. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  10. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  11. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  12. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  13. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  14. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  15. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  16. 如請求項1之彈簧構件用金屬箔，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  17. 如請求項1至16中任一項之彈簧構件用金屬箔，其中前述彈簧構件用金屬箔，包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金及鈦銅所構成的群組中的任一者。
  18. 一種彈簧構件用金屬箔的製造方法，係用以製造彈簧構件，包含以下的過程： 軋製母材；及 於準備複數個藉由前述母材的軋製而獲得的軋製材料之後，從前述複數個軋製材料中對前述彈簧構件用金屬箔進行分選；且 於前述軋製材料中，具有一邊的長度為300mm的正方形狀且用以形成前述彈簧構件的區域係第一區域， 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，從前述複數個軋製材料中分選下述條件之前述軋製材料作為前述彈簧構件用金屬箔，該條件為，於前述第一區域中，從軋製方向之厚度的標準偏差減去與前述軋製方向正交之寬度方向的厚度的標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。
  19. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件進一步包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。
  20. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
  21. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  22. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  23. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；及 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
  24. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；及 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  25. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  26. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  27. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  28. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  29. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下； 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  30. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下； 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  31. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下； 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  32. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下； 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  33. 如請求項18之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值，且 關於對前述彈簧構件用金屬箔進行分選方面，分選前述彈簧構件用金屬箔的條件包含：於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下； 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下； 於前述第一區域中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下；及 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  34. 如請求項18至33中任一項之彈簧構件用金屬箔的製造方法，其中前述彈簧構件用金屬箔，包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金及鈦銅所構成的群組中的任一者。
  35. 一種電子機器用彈簧構件，係使用彈簧構件用金屬箔的電子機器用彈簧構件，其包含： 從前述彈簧構件用金屬箔的軋製方向之厚度的標準偏差減去與前述軋製方向正交之寬度方向的厚度的標準偏差而得之差分值的絕對值為0.15μm以下。
  36. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下。
  37. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
  38. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  39. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  40. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下。
  41. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  42. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  43. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  44. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  45. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  46. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下。
  47. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  48. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  49. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向之前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  50. 如請求項35之電子機器用彈簧構件，其中於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得之差分值的絕對值為0.15μm 2以下， 從前述軋製方向之前述厚度的前述標準偏差減去前述寬度方向之前述厚度的前述標準偏差而得的差分值為0.15μm以下， 從前述軋製方向之前述厚度的方差減去前述寬度方向之前述厚度的方差而得的差分值為0.15μm 2以下， 於前述彈簧構件用金屬箔中，從前述軋製方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第一差分值，從前述寬度方向的前述厚度的最大值減去最小值而得的差分值係第二差分值， 從前述第一差分值減去前述第二差分值而得之差分值的絕對值為0.8μm以下。
  51. 如請求項35至50中任一項之電子機器用彈簧構件，其中前述彈簧構件用金屬箔，包含選自由不鏽鋼合金、鈹銅、鎳錫銅、磷青銅、卡遜合金及鈦銅所構成的群組中的任一者。
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