TW202334659A - 導電接觸針 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種提高對檢測對象的檢測可靠性，且藉由止擋件部限制壓縮量的導電接觸針。

Description

導電接觸針

本發明是有關於一種導電接觸針。

半導體元件的電特性試驗是藉由使配置有多個導電接觸針的檢測裝置接近檢測對象（半導體晶圓或半導體封裝）並使導電接觸針接觸檢測對象上對應的外部端子（焊料球或凸塊等）來執行。作為檢測裝置的一例，包括探針卡或測試插座，但不限定於此。

先前測試插座中存在彈簧（pogo）型測試插座與橡膠（rubber）型測試插座。

用於彈簧型測試插座的導電接觸針（以下被稱為「彈簧型插座針」）包括針部與收容其的筒體來構成。針部藉由在其兩端的柱塞之間設置彈簧部件從而可賦予需要的接觸壓及吸收接觸位置的衝擊。為了使針部在筒體內進行滑動移動，在針部的外表面與筒體的內表面之間應存在縫隙。但是，由於此種彈簧型插座針在單獨製作筒體與針部後將其等結合來使用，因此不能精密地執行針部的外表面與筒體的內表面超過所需隔開等的縫隙管理。因此，由於在電訊號經由兩端的柱塞傳遞至筒體的過程中產生電訊號的損失及失真，因此會產生接觸不穩定的問題。另外，為了提高與檢測對象的外部端子的接觸效果，針部具有尖銳的尖部。尖銳形狀的尖部在檢測後在檢測對象的外部端子產生壓入的痕跡或槽。因損害外部端子的接觸形狀，產生視覺檢測的錯誤，且產生使焊接等之後製程中的外部端子的可靠性下降的問題。

另一方面，用於橡膠型測試插座的導電接觸針（以下被稱為「橡膠型插座針」）作為將導電微型球佈置於為橡膠素材的矽橡膠內部的結構，其為如下結構：若將檢測對象（例如半導體封裝）放上並關閉插座施加應力，則金成分的導電微型球強力地按壓彼此且電導率變高，從而實現電性連接。但是，此種橡膠型插座針在只有以過大的加壓力進行按壓才能確保接觸穩定性的方面存在問題。

另一方面，近來，由於半導體技術的提升及高積體化，因此存在檢測對象的外部端子的節距進一步窄節距化的趨勢。然而，由於現有橡膠型插座針藉由在準備使導電粒子分佈於流動性的彈性物質內的成型用材料並將該成型用材料插入至特定的模具內後，在厚度方向上施加磁場以使導電粒子在厚度方向上排列來製作，因此若磁場之間的間隔變窄，則導電粒子不規則地配向，從而使訊號在面方向上流動。因此，作為現有橡膠型插座針，在與窄節距技術趨勢對應的方面存在限制。

另外，由於彈簧型插座針在單獨製作筒體與針部後將其等結合來使用，因此難以製作成小的大小。因此，現有彈簧型插座針亦在與窄節距技術趨勢對應的方面存在限制。

因此，事實上需要開發一種符合最近的技術趨勢且可提高對檢測對象的檢測可靠性的新型導電接觸針以及具有其之檢測裝置。 [現有技術文獻] [專利文獻]

（專利文獻1）韓國註冊編號第10-0659944號 註冊專利公報 （專利文獻2）韓國註冊編號第10-0952712號 註冊專利公報

[發明所欲解決之課題]

本發明是為了解決上述先前技術的問題點而提出，本發明的目的在於提供一種提高對檢測對象的檢測可靠性的導電接觸針。

另外，本發明的目的在於藉由止擋件部限制導電接觸針的壓縮量。 [解決課題之手段]

為解決上述課題且達成目的，根據本發明的導電接觸針包括：第一連接部；第二連接部；支撐部，在長度方向上延伸；彈性部，連結至所述第一連接部與所述第二連接部中的至少任一者且可沿長度方向彈性變形；凸緣部，連結至所述第一連接部與所述彈性部中的至少一者，配置於所述支撐部與所述彈性部之間且在長度方向上延伸；以及止擋件部，連結至所述支撐部與所述彈性部中的至少一者且在寬度方向上延伸，所述止擋件部與隨著所述彈性部壓縮變形向下移動的所述凸緣部接觸並限制所述凸緣部的下降位置。

另外，所述止擋件部自所述支撐部的內側面向寬度方向內側延伸且連結至所述彈性部。

另外，所述止擋件部藉由在所述支撐部的下部形成向寬度方向內側凹入的部位來配置。

另外，所述止擋件部包括：第一止擋件部，配置於所述彈性部的一側；以及第二止擋件部，與所述第一止擋件部相對且配置於所述彈性部的另一側，所述第一止擋件部與所述第二止擋件部在長度方向上配置於相同的位置處。

另外，所述止擋件部包括：第一止擋件部，配置於所述彈性部的一側；以及第二止擋件部，與所述第一止擋件部相對且配置於所述彈性部的另一側，所述第一止擋件部與所述第二止擋件部在長度方向上配置於不同的位置處。

另外，所述止擋件部的上表面以凹陷的方式配置。

另外，在所述彈性部的兩側包括在寬度方向上厚度較周邊部厚的厚壁部，且所述凸緣部藉由所述厚壁部連結至所述彈性部。

另外，所述凸緣部自所述第一連接部的一側下表面在長度方向上延伸且配置於所述支撐部與所述彈性部之間。

另外，所述第一連接部包括：接觸部；以及向上突出部，在上端部具有接觸突起部。

另外，所述第一連接部包括：接觸部；接觸空洞部，形成於所述接觸部；以及接觸突出部，在所述接觸部的上表面在長度方向上延伸。

另外，所述第二連接部包括：連接主體部；連接空洞部，形成於所述連接主體部；以及至少一個墊連接突起，配置於所述連接主體部的下表面。

另外，所述第二連接部包括：連接主體部；傾斜腿部，自所述連接主體部的兩側向上部延伸；以及第二卡合部，配置於所述傾斜腿部的一端部。

另外，第二連接部包括：連接主體部；以及延伸部，向所述連接主體部的上部延伸。

另外，所述支撐部包括：第一卡合部，配置於一端部；以及第二卡合部，配置於另一端部。

另外，藉由在所述導電接觸針的厚度方向上積層多個金屬層來形成。

另外，所述導電接觸針包括配置於側面的微細溝槽。 [發明的效果]

本發明提供一種提高對檢測對象的檢測可靠性的導電接觸針。

另外，本發明提供一種可藉由止擋件部限制導電接觸針的壓縮量的導電接觸針。

以下的內容僅例示發明的原理。因此即便未在本說明書中明確地進行說明或圖示，相應領域的技術人員亦可實現發明的原理並發明包含於發明的概念與範圍內的各種裝置。另外，本說明書所列舉的所有條件部用語及實施例在原則上體現發明的原理，且可發明出包含在發明的概念與範圍內的各種裝置。另外，本說明書所列舉的所有條件部用語及實施例在原則上應理解為僅是作為明確地用於理解發明的概念的目的，並不限制於如上所述特別列舉的實施例及狀態。

所述的目的、特徵及優點藉由與附圖相關的下文的詳細說明而進一步變明瞭，因此在發明所屬的技術領域內具有通常知識者可容易地實施發明的技術思想。

將參考作為本發明的理想例示圖的剖面圖及/或立體圖來說明本說明書中記述的實施例。為了有效地說明技術內容，對該些附圖所示的膜及區域的厚度等進行誇張表現。例示圖的形態可因製造技術及/或公差等變形。因此，本發明的實施例並不限於所示的特定形態，亦包括根據製造製程生成的形態的變化。在本說明書中使用的技術用語僅用於說明特定的實施例，不旨在限定本發明。除非上下文另有明確規定，否則單數的表達包括複數的表達。在本說明書中，應理解的是，「包括」或「具有」等用語欲指定存在本說明書所記載的特徵、數字、步驟、動作、構成要素、零部件或對其等進行組合，不預先排除一個或一個以上的其他特徵或數字、步驟、動作、構成要素、零部件或對其等進行組合的存在或附加可能性。

以下參照附圖對本發明的較佳實施例具體地進行說明。以下在對各種實施例進行說明時，即使實施例不同，為了方便起見亦對執行相同功能的構成要素賦予相同的名稱及相同的參考編號。另外，為了方便起見，將省略已經在其他實施例中說明的構成及操作。

根據本發明較佳一實施例的導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）配置於檢測裝置（10）並用於與檢測對象（400）進行電接觸、物理接觸以傳遞電性訊號。檢測裝置（10）可為用於半導體製造製程的檢測裝置，且作為一例可為探針卡，且可為測試插座。

檢測裝置（10）包括導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）、以及具有收容導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）的貫通孔（210）的設置部件（200）。以下，作為一例，設置部件（200）可為具有導引孔洞（GH）的導引板（GP）。

導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）可為配置於探針卡的探針，且可為配置於測試插座的插座針。以下作為導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）的一例，對插座針進行例示說明，但根據本發明較佳實施例的導電接觸針（100a）並不限定於此，包括任何施加電以確認檢測對象（400）是否不良的針。

另一方面，以下對第一實施例至第五實施例進行區分說明，但對各實施例的構成進行組合的實施例亦包含在本發明的較佳實施例中。

以下說明的導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）的寬度方向為圖中所標記的±x方向，導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）的長度方向為圖中所標記的±y方向，且導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）的厚度方向為圖中所標記的±z方向。

導電接觸針（100a、100b、100c、100d、100e）在長度方向上具有整體長度尺寸（L），在垂直於所述長度方向（±y方向）的厚度方向（±z方向）上具有整體厚度尺寸（H），且在垂直於所述長度方向（±y方向）的寬度方向（±x方向）上具有整體寬度尺寸（W）。 第一實施例

以下，參照圖1至圖8對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針（以下稱為「第一實施例的導電接觸針（100a）」）進行說明。

圖1是第一實施例的導電接觸針（100a）的平面圖。圖2是第一實施例的導電接觸針（100a）的立體圖。圖3是根據本發明較佳實施例的設置部件（200）的立體圖。圖4是示出第一實施例的導電接觸針（100a）設置於設置部件（200）的圖。圖5是示出利用根據本發明較佳實施例的檢測裝置（10）對檢測對象（400）進行檢測的圖。圖6是表示第一實施例的導電接觸針（100a）的電流通道的圖。圖7的(a)至(d)是對第一實施例的導電接觸針（100a）的製造方法進行說明的圖；其中圖7的(a)是形成有內部空間（1100）的模具（1000）的平面圖，圖7的(c)是圖7的(a)的A-A'剖面圖；圖7的(b)是示出在內部空間（1100）執行電鍍製程的情形的平面圖，圖7的(d)是圖7的(b)的A-A'剖面圖。且圖8是將第一實施例的導電接觸針（100a）的側面的一部分放大示出的圖。

參照圖1、圖2，第一實施例的導電接觸針（100a）包括：第一連接部（110）；第二連接部（120）；支撐部（130），在長度方向（±y方向）上延伸；彈性部（150），連結至第一連接部（110）與第二連接部（120）中的至少任一者且可沿長度方向（±y方向）彈性變形；凸緣部（160），連結至第一連接部（110）與彈性部（150）中的至少一者，配置於支撐部（130）與彈性部（150）之間且在長度方向（±y方向）上延伸；以及止擋件部（170），連結至支撐部（130）與彈性部（150）中的至少一者且在寬度方向上延伸。

第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）、凸緣部（160）及止擋件部（170）利用鍍覆製程一次性製作而成。第一實施例的導電接觸針（100a）利用具有內部空間（1100）的模具（1000）藉由電鍍對內部空間（1100）填充金屬物質來形成。因此第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）凸緣部（160）及止擋件部（170）被製作成彼此連結的一體型。先前導電接觸針藉由在單獨製作筒體與針部後將其等進行組裝或結合來配置，相比之下，第一實施例的導電接觸針（100a）在藉由利用鍍覆製程一次性製作第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）、凸緣部（160）及止擋件部（170）而配置成一體型的方面存在構成上的差異。

第一實施例的導電接觸針（100a）在厚度方向（±z方向）上的各剖面中的形狀是相同的。換言之，x-y平面上的相同的形狀在厚度方向（±z方向）上延伸形成。

第一實施例的導電接觸針（100a）在其厚度方向（±z方向）上積層多個金屬層來配置。多個金屬層包括第一金屬層（101）與第二金屬層（102）。

第一金屬層（101）作為與第二金屬層（102）相比耐磨性相對高的金屬，較佳為可由選自以下中的金屬形成：銠（Rd）、鉑（Pt）、銥（Ir）、鈀（Pd）、鎳（Ni）、錳（Mn）、鎢（W）、磷（Ph）或其等的合金、或鈀鈷（PdCo）合金、鈀鎳（PdNi）合金或鎳磷（NiPh）合金、鎳錳（NiMn）、鎳鈷（NiCo）或鎳鎢（NiW）合金。第二金屬層（102）作為與第一金屬層（101）相比電導率相對高的金屬，較佳為可由選自銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金中的金屬形成。但並非限定於此。

第一金屬層（101）在導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）上配置於下表面與上表面，且第二金屬層（102）配置於第一金屬層（101）之間。例如，導電接觸針（100a）藉由在其厚度方向（±z方向）上按照第一金屬層（101）、第二金屬層（102）、第一金屬層（101）的順序交替積層第一金屬層（101）、第二金屬層（102）來配置，且積層的層數可由三層以上組成。

第一連接部（110）包括與檢測對象（400）接觸的接觸部（110a）以及在上端部具有接觸突起部（110c）的向上突出部（111）。

接觸部（110a）是與檢測對象（400）的連接端子（410）接觸的部分。接觸部（110a）在寬度方向（±x方向）上延伸形成。接觸部（110a）在寬度方向（±x方向）上的一端部的下部面連結至彈性部（150）。

向上突出部（111）在包括多個直線部（153）及彎曲部（154）的彈性部（150）的彎曲部（154）中任一彎曲部（154）的兩側向上部延伸來配置。向上突出部（111）自彈性部（具體而言，彎曲部（154））在長度方向（+y方向）上延伸至與第一連接部（110）對應的位置。

向上突出部（111）包括配置於與第一連接部（110）對應的位置處的接觸突起部（110c）。接觸突起部（110c）配置於向上突出部（111）的上端部且向寬度方向（±x方向）外側突出。接觸突起部（110c）的上表面以向寬度方向（±x方向）內側向下傾斜的方式形成。因此，向上突出部（111）具有向寬度方向（±x方向）內側向下傾斜的上表面。

向上突出部（111）可藉由其上表面與連接端子（410）接觸，且藉由連接端子（410）的加壓力與支撐部（130）的上端部接觸，從而形成電流通道。

參照圖5，第一連接部（110）連結至彈性部（150）從而可藉由接觸壓力彈性地垂直（±y方向）移動。於對檢測對象（400）進行檢測的情況，檢測對象（400）的連接端子（410）在與第一連接部（110）的上表面接觸並使連結至第一連接部（110）側的彈性部（150）逐漸壓縮變形的同時，與向上突出部（111）的上表面接觸。連接端子（410）在使彈性部（150）壓縮變形的同時繼續向下（-y方向）移動。因此，向上突出部（111）的接觸突起部（110c）與支撐部（130）的上端部接觸，從而形成電流通道。

於由連接端子（410）帶來的偏心的加壓力作用於第一實施例的導電接觸針（100a）的情況，向上突出部（111）藉由接觸突起部（110c）與支撐部（130）的上端部接觸且在支撐部（130）被上端部支撐。因此，向上突出部（111）可防止第一實施例的導電接觸針（100a）向左、右方向的過度的挫曲變形。

彈性部（150）在第一實施例的導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）上的各剖面形狀在所有的厚度剖面中是相同的。此可由於藉由鍍覆製程來製作第一實施例的導電接觸針（100a）來達成。

彈性部（150）具有具有實質寬度（t）的板狀板以S字模樣反復彎折的形態，且板狀板的實質寬度（t）整體上是固定的。

彈性部（150）藉由多個直線部（153）與多個彎曲部（154）交替連接形成。直線部（153）連結左、右相鄰的彎曲部（154）。彎曲部（154）連結上、下相鄰的直線部（153）。彎曲部（154）配置成圓弧形狀。

於彈性部（150）的中央部位佈置直線部（153），且於彈性部（150）的外側部位佈置彎曲部（154）。直線部（153）與寬度方向（±x方向）平行地配置，使得彎曲部（154）更容易根據接觸壓進行變形。

直線部（153）配置於支撐部（130）的內側且呈在寬度方向（±x方向）上延伸的形態。彎曲部（154）中的至少一者作為連結部（140）起作用。連結部（140）發揮將向上突出部（111）與凸緣部（160）連結的功能。

在連結部（140）具有厚壁部（141）。厚壁部（141）在寬度方向上具有較周邊部厚的厚度。

第一實施例的導電接觸針（100a）在連結部（140）的兩側在寬度方向（±x方向）上擴大規定程度的寬度來配置厚壁部（141）。因此，厚壁部（141）配置於連結部（140），且向上突出部（111）自厚壁部（141）向上部延伸長度。凸緣部（160）自厚壁部（141）向下部延伸長度。厚壁部（141）在寬度方向（±x方向）上的外側面以凸出的形態較周邊部在寬度方向（±x方向）上突出規定程度的方式形成。在由連接端子（410）帶來的加壓力偏心地作用於彈性部（150）時，向上突出部（111）中的任一者與支撐部（130）的上端部接觸且被支撐部（130）支撐，且凸緣部（160）中的任一者與支撐部（130）的內側面的任意位置接觸並被支撐部（130）支撐。此時，厚壁部（141）可使連結部（140）與向上突出部（111）及凸緣部（160）的連結部位不容易損壞。

凸緣部（160）以寬度方向（±x方向）為基準配置於支撐部（130）與彈性部（150）之間。在彈性部（150）不被壓縮的狀態下，凸緣部（160）與支撐部（130）彼此隔開。

凸緣部（160）與彈性部（150）連結。凸緣部（160）與彈性部（150）的彎曲部（154）中的任一者連結且向下部延伸。因此，具有以一個彎曲部（154）為基準向上部延伸的向上突出部（111）以及向下部延伸的凸緣部（160）。

凸緣部（160）具有規定長度且自連結部（140）向下部延伸。因此，凸緣部（160）以其一端向支撐部（130）的內側延伸規定長度的狀態位於與支撐部（130）的中間部側對應的位置。凸緣部（160）在寬度方向（±x方向）上位於支撐部（130）的內側，且以與支撐部（130）的至少一部分（具體而言，包括第一卡合部（SP1）的支撐部（130）的上端部）在寬度方向（±x方向）上重疊的方式定位。因此，藉由連接端子（410）的偏心加壓力，凸緣部（160）與支撐部（130）接觸並被支撐部（130）支撐。

第一實施例的導電接觸針（100a）將自連結部（140）向下部延伸的凸緣部（160）的延伸長度形成為規定長度以上以使得凸緣部（160）的一端位於與支撐部（130）的中間部側對應的位置。因此，凸緣部（160）在其一端在長度方向（±y方向）上向支撐部（130）的內側插入規定長度的狀態下，以與支撐部（130）的中間部側對應的方式定位。在彈性部（150）藉由連接端子（410）的偏心加壓力傾斜規定程度且被壓縮變形使凸緣部（160）與支撐部（130）接觸時，凸緣部（160）的一端與支撐部（130）的中間部的內側面接觸。因此防止彈性部（150）過度挫曲。

凸緣部（160）的一端連結至彈性部（150），且另一端為自由端。凸緣部（160）包括配置於自由端的輔助接觸突起部（161）。輔助接觸突起部（161）的外側面向寬度方向（±x方向）外側凸出地突出來配置。輔助接觸突起部（161）的下表面形成為凸出的形態。

凸緣部（160）包括：第一凸緣部（160a），位於彈性部（150）的一側；以及第二凸緣部（160b），與第一凸緣部（160a）相對且位於彈性部（150）的另一側。第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）在彈性部（150）的兩側分別向下部延伸。

支撐部（130）在長度方向（±y方向）上延伸形成且配置於第一連接部（110）的寬度方向（±x方向）外側。

在彈性部（150）不被壓縮的狀態下，支撐部（130）與第一連接部（110）的向上突出部（111）彼此隔開。另外，支撐部（130）與位於支撐部（130）的內側的凸緣部（160）彼此隔開。

支撐部（130）包括：第一支撐部（130a），位於第一連接部（110）的一側；以及第二支撐部（130b），位於第一連接部（110）的另一側。

在支撐部（130）的一端部（上端部）配置第一卡合部（SP1）。第一卡合部（SP1）以向寬度方向（±x方向）外側突出的方式形成。換言之，第一卡合部（SP1）以向寬度方向（±x方向）外側突出的方式配置於支撐部（130）的上端部。

支撐部（130）在另一端部（下端部）具有鉤形態的第二卡合部（SP2）。支撐部（130）在下端部包括：第一傾斜部（IC1），向寬度方向（±x方向）內側傾斜；以及第二傾斜部（IC2），一端與第一傾斜部（IC1）連結，另一端形成為自由端，且沿第一傾斜部（IC1）的傾斜方向傾斜。第二傾斜部（IC2）的形成為自由端的另一端在長度方向（±y方向）上垂直地形成。具體而言，第二傾斜部（IC2）以自與第一傾斜部（IC1）連結的一端開始越向另一端側越傾斜的方式形成，且另一端在長度方向（±y方向）上垂直地形成。支撐部（130）藉由第一傾斜部（IC1）及第二傾斜部（IC2）的構成在下端部形成鉤形態，從而配置第二卡合部（SP2）。第二傾斜部（IC2）的另一端被導引板（GP）的下表面支撐。第二傾斜部（IC2）的另一端在長度方向（±y方向）上垂直地形成，且另一端的上表面向第一傾斜部（IC1）的傾斜方向傾斜。因此，在為了將第一實施例的導電接觸針（100a）插入至導引孔洞（GH）而使第一實施例的導電接觸針（100a）的下端部向寬度方向（±x方向）內側壓縮變形時，第二傾斜部（IC2）的另一端可與第一傾斜部（IC1）密接且更容易彈性變形。

第一實施例的導電接觸針（100a）在插入至導引孔洞（GH）時，將包括第二卡合部（SP2）的下端部向寬度方向（±x方向）內側壓縮，從而首先插入第二連接部（120）側。此時，第一實施例的導電接觸針（100a）藉由第一傾斜部（IC1）、第二傾斜部（IC2）更容易使下端部壓縮變形，以在寬度方向（±x方向）上具有較導引孔洞（GH）的開口小的尺寸。

接著，對第一實施例的導電接觸針（100a）自上部向下部方向加壓，從而強行推入至導引孔洞（GH）內部。第一實施例的導電接觸針（100a）在寬度方向（±x方向）上被壓縮且移動至導引孔洞（GH）的下部。

第二卡合部（SP2）通過導引孔洞（GH）的下側開口時，將第一實施例的導電接觸針（100a）向上推升直至第二卡合部（SP2）被導引孔洞（GH）的下表面支撐時為止。藉此，包括第一卡合部（SP1）的第一實施例的導電接觸針（100a）的上部被配置成自導引板（GP）的上表面突出的狀態。

第一實施例的導電接觸針（100a）藉由第二卡合部（SP2）防止自導引孔洞（GH）向上方方向脫落，且藉由第一卡合部（SP1）防止自導引孔洞（GH）向下方方向脫落。

第一實施例的導電接觸針（100a）使支撐部（130）的長度較導引孔洞（GH）的長度形成得長，從而在完成插入至導引孔洞（GH）時使支撐部（130）的至少一部分突出至導引孔洞（GH）的外側。因此，在導引板（GP）的上表面與第一卡合部（SP1）之間具有突出長度（h）。

第一實施例的導電接觸針（100a）可藉由突出長度（h）確保檢測對象（400）的接觸衝程。第一實施例的導電接觸針（100a）藉由突出長度（h）確保與形成於導引孔洞（GH）周邊的導引板（GP）的上表面存在突出長度（h）大小的餘裕空間。因此，在第一實施例的導電接觸針（100a）被連接端子（410）加壓並向下移動時，在藉由突出長度（h）提供的餘裕空間內第一實施例的導電接觸針（100a）可整體地向下移動。

連接端子（410）為與第一實施例的導電接觸針（100a）接觸而向下移動時，衝程可能不固定。因此，在由於不能確保支撐部（130）自導引孔洞（GH）突出配置的突出長度（h）而不能提供支撐部（130）的第一卡合部（SP1）與導引板（GP）之間的餘裕空間的情況，第一實施例的導電接觸針（100a）可能被過度加壓。此可能引起第一實施例的導電接觸針（100a）的損壞問題。

但是，第一實施例的導電接觸針（100a）使支撐部（130）的上端部較導引孔洞（GH）突出，且藉由第一卡合部（SP1）與導引板（GP）之間的突出長度（h），從而確保接觸衝程。

因此，第一實施例的導電接觸針（100a）在最初與連接端子（410）接觸後，可藉由支撐部（130）的第一卡合部（SP1）與導引板（GP）之間的突出長度（h）整體地向下移動，從而防止損壞。

突出長度（h）可形成為5 μm以上且50 μm以下。在突出長度（h）小於5 μm的情況下，難以確保檢測對象的接觸衝程，且在超過50 μm的情況下，由於擔心誘發接觸針（100a）的過度變形或支撐部（130）損壞，因此是不佳的。

止擋件部（170）藉由自支撐部（130）的內側面向寬度方向（±x方向）內側延伸規定長度來形成。止擋件部（170）以自支撐部（130）的內側面越向寬度方向（±x方向）內側寬度越小的方式形成。止擋件部（170）自支撐部（130）的內側面向寬度方向內側延伸且連結至彈性部（150）。

具體而言，止擋件部（170）與靠近第二連接部（120）側的彈性部（150）的彎曲部（154）中的至少一者在長度方向上配置於相同的位置處，且一端連結至彎曲部（154）。

止擋件部（170）配置於凸緣部（160）的下部。在彈性部（150）壓縮變形之前，止擋件部（170）與凸緣部（160）的下表面隔開。在彈性部（150）壓縮變形時，凸緣部（160）向下（-y方向）移動。止擋件部（170）與向下移動的凸緣部（160）接觸並限制凸緣部（160）的下降位置。

詳細進行說明，在彈性部（150）壓縮變形之前，止擋件部（170）的上表面與凸緣部（160）的下表面在長度方向上具有規定的隔開距離（R）。在彈性部（150）被連接端子（410）壓縮變形時，會使凸緣部（160）與止擋件部（170）的上表面的隔開距離（R）變窄且向止擋件部（170）側逐漸向下移動。止擋件部（170）以固定的方式配置。因此，即便止擋件部（170）與向下移動的凸緣部（160）接觸亦不會彈性變形，且在固定的位置處保持固定狀態。因此，止擋件部（170）在上表面接觸凸緣部（160）的下表面時起到使向下移動的凸緣部（160）停止成固定的狀態的功能。因此，凸緣部（160）不會進一步向下移動。止擋件部（170）以固定狀態配置，並在上表面接觸凸緣部（160）時使凸緣部（160）停止不再下降，從而可限制凸緣部（160）的下降位置。

第一實施例的導電接觸針（100a）可藉由止擋件部（170）限制凸緣部（160）的下降位置，從而限制導電接觸針（100a）的壓縮量。第一實施例的導電接觸針（100a）要求可與和第一連接部（110）接觸的連接端子（410）進行穩定接觸的程度的壓縮量。其原因在於妨礙第一實施例的導電接觸針（100a）與連接端子（410）間的穩定接觸的過大的壓縮量可能降低檢測的可靠性。

第一實施例的導電接觸針（100a）藉由彈性部（150）壓縮變形之前止擋件部（170）與凸緣部（160）之間的隔開距離（R）的構成限制凸緣部（160）的向下移動距離，且在彈性部（150）壓縮變形時藉由止擋件部（170）限制凸緣部（160）的下降位置。凸緣部（160）為連結至彈性部（150）且與第一連接部（110）連結的結構。因此，第一實施例的導電接觸針（100a）可藉由止擋件部（170）限制凸緣部（160）的下降位置，從而限制彈性部（150）及第一連接部（110）的過多的壓縮變形。因此，第一實施例的導電接觸針（100a）的壓縮量得到限制。

止擋件部（170）包括：第一止擋件部（170a），配置於彈性部（150）的一側；以及第二止擋件部（170b），與第一止擋件部（170a）相對且配置於彈性部（150）的另一側。第一止擋件部（170a）及第二止擋件部（170b）分別連結至同一直線部（153）的端部且在長度方向上配置於相同的位置處。

第一實施例的導電接觸針（100a）藉由第一止擋件部（170a）將彈性部（150）與第一支撐部（130a）連結，且藉由第二止擋件部（170b）將彈性部（150）與第二支撐部（130b）連結。

第一止擋件部（170a）以在長度方向上與第一凸緣部（160a）上、下對應的方式配置於第一凸緣部（160a）的下部，且第二止擋件部（170b）以在長度方向上與第二凸緣部（160b）上、下對應的方式配置於第二凸緣部（160b）的下部。

第一止擋件部（170a）及/或第二止擋件部（170b）包括彎曲的面。因此，第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在分別與第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的凸出的形態的端部接觸時可以相對密接的形態進行接觸。因此，第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在執行限制向下移動的第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的下降位置的功能時可在下降位置處牢固地支撐第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）而不會發生晃動。

第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）包括彎曲的面，但彎曲的面的彎曲程度形成得不同。

具體而言，第一止擋件部（170a）連結至直線部（153）的左側端部且以靠近自直線部（153）的左側端部側向上方方向延伸的彎曲部（154）的方式配置。因此，第一止擋件部（170a）藉由較平坦的底面以及由彎曲部（154）與第一支撐部（130a）形成的側壁面形成為凹陷的槽的形態。

第二止擋件部（170b）連結至直線部（153）的右側端部。第二止擋件部（170b）自第二支撐部（130b）的內側面向寬度方向（±x方向）內側延伸且向下彎曲地形成，藉由連結至直線部（153）的右側端部的部位形成。因此，第二止擋件部（170b）的彎曲的面的彎曲程度與第一止擋件部（170a）的彎曲的面相比相對大。

藉由使第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在上表面分別接觸第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的下表面，從而支撐第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）且使其停止以使得第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）不進一步向下移動。

第一凸緣部（160a）與第一止擋件部（170a）的較平坦的底面接觸。

另一方面，第二凸緣部（160b）與彎曲程度較第一止擋件部（170a）相對大的第二止擋件部（170b）的彎曲的面接觸，在長度方向（±y方向）及寬度方向（±x方向）上進行規定程度的變形並接觸。

第一實施例的導電接觸針（100a）藉由止擋件部（具體而言，第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b））區分成上側空間（US）及下側空間（LS）。因此，第一實施例的導電接觸針（100a）使自上部流入的異物不會流入至下側空間（LS），且使自下部流入的異物亦不會流入至上側空間（US）。第一實施例的導電接觸針（100a）藉由止擋件部（170）來限制流入至導電接觸針（100a）的內側的異物的移動，從而可防止由異物引起的妨礙操作的問題。

第二連接部（120）配置於形成於第一支撐部（130a）的下部的第一傾斜部（IC1）、第二傾斜部（IC2）與形成於第二支撐部（130b）的下部的第一傾斜部（IC1）、第二傾斜部（IC2）之間。因此，第二連接部（120）配置於支撐部（130）的下端部的寬度方向（±x方向）內側。

第二連接部（120）與電路基板的墊（310）接觸。

第二連接部（120）包括：連接主體部（120a）；連接空洞部（120d），形成於連接主體部（120a）；以及至少一個墊連接突起（120c），配置於連接主體部（120a）的下表面。

連接主體部（120a）包括：連接傾斜部（CI），向寬度方向（±x方向）內側傾斜且沿第一傾斜部（IC1）傾斜的方向傾斜；以及連接垂直部（CV），以長度方向（±y方向）為基準自連接傾斜部（CI）的一端向下部垂直地延伸。

第二連接部（120）藉由連接空洞部（120d）的構成使接觸面可藉由電路基板的墊（310）的加壓更容易變形。

第二連接部（120）具有至少一個以上墊連接突起（120c），以與位於連接主體部（120a）的下部的電路基板的墊（310）形成多觸點（multi-contact）。墊連接突起（120c）沿著連接主體部（120a）的厚度方向（±z方向）形成且在長度方向（±y方向）上較其周邊部突出且長長地延伸形成。

作為一例，墊連接突起（120c）具有三個。三個墊連接突起（120c）中配置於外廓部的兩個墊連接突起（120c）以向寬度方向（±x方向）外側傾斜的方式形成。各個墊連接突起（120c）藉由配置於墊連接突起（120c）之間的槽（121）隔開。

參照圖6，於對檢測對象（400）進行檢測的情況，檢測對象（400）的連接端子（410）與第一連接部（110）的上表面及向上突出部（111）的上表面依序接觸，同時向下（-y方向）移動。具體而言，連接端子（410）首先與第一連接部（110）的上表面接觸，在使彈性部（150）壓縮變形的同時與向上突出部（111）的傾斜上表面接觸。連接端子（410）以與第一連接部（110）及向上突出部（111）的接觸突起部（110c）的上表面接觸的狀態向下移動。因此，第一連接部（110）及向上突出部（111）逐漸向下移動，且接觸突起部（110c）與支撐部（130）的上端部接觸。因此，第一實施例的導電接觸針（100b）形成由第一連接部（110）及支撐部（130）形成的電流通路。

在連結至第二連接部（120）側的彈性部（150）藉由電路基板的墊（310）的加壓力向上壓縮變形並向上移動時，連接主體部（120a）的連接垂直部（CV）與將第一傾斜部（IC1）及第二傾斜部（IC2）連結的部位接觸。藉此，第二實施例的導電接觸針（100b）形成由第二連接部（120）及支撐部（130）形成的電流通道。

以下，對第一實施例的導電接觸針（100a）的製造方法進行說明。

圖7的(a)是形成有內部空間（1100）的模具（1000）的平面圖，且圖7的(c)是圖7的(a)的A-A'剖面圖。

模具（1000）可由陽極氧化膜、光阻、矽晶圓或與其相似的材質形成。但，較佳為模具（1000）可由陽極氧化膜材質形成。陽極氧化膜意指對作為母材的金屬進行陽極氧化形成的膜，氣孔意指於對金屬進行陽極氧化形成陽極氧化膜的過程中形成的孔洞。例如，於作為母材的金屬為鋁（Al）或鋁合金的情況，若對母材進行陽極氧化，則於母材的表面形成氧化鋁（Al ₂O ₃）材質的陽極氧化膜。但母材金屬並非限定於此，包括Ta、Nb、Ti、Zr、Hf、Zn、W、Sb或其等的合金。如上所述形成的陽極氧化膜在垂直方向上區分為在內部未形成氣孔的阻擋層、與在內部形成有氣孔的多孔層。在具有阻擋層與多孔層的陽極氧化膜形成於表面的母材中，若移除母材，則僅保留氧化鋁（Al ₂O ₃）材質的陽極氧化膜。陽極氧化膜可由移除在進行陽極氧化時形成的阻擋層且氣孔沿上、下貫通的結構形成，或者由在進行陽極氧化時形成的阻擋層照原樣保留並將氣孔的上、下中的一端部密閉的結構形成。

陽極氧化膜具有2 ppm/℃至3 ppm/℃的熱膨脹係數。因此，於在高溫的環境下暴露出的情況，由溫度引起的熱變形小。因此，於導電接觸針（100a）的製作環境即使為高溫環境，亦可製作精密的導電接觸針（100a）而無熱變形。

在第一實施例的導電接觸針（100a）利用陽極氧化膜材質的模具（1000）代替光阻模具來製造的方面，可發揮出實現作為光阻模具實現時曾存在限制的形狀的精密度、微細形狀的效果。另外，於現有的光阻模具的情況下，可製作40 μm厚度水準的導電接觸針，但於利用陽極氧化膜材質的模具（1000）的情況下，可製作具有100 μm以上且200 μm以下的厚度的導電接觸針（100a）。

於模具（1000）的下表面配置晶種層（1200）。晶種層（1200）可於在模具（1000）形成內部空間（1100）之前配置於模具（1000）的下表面。另一方面，在模具（1000）的下部形成支撐基板（未圖示），從而可提高模具（1000）的可操作性。另外，於此情況，亦可在支撐基板的上表面形成晶種層（1200）並將形成有內部空間（1100）的模具（1000）結合至支撐基板來使用。晶種層（1200）可由銅（Cu）材質形成，且可利用沈積方法形成。

內部空間（1100）可藉由對陽極氧化膜材質的模具（1000）進行濕式蝕刻來形成。為此，可在模具（1000）的上表面配置光阻並對其進行圖案化，然後經圖案化而被開口的區域的陽極氧化膜與蝕刻溶液進行反應，從而形成內部空間（1100）。

接著，對模具（1000）的內部空間（1100）執行電鍍製程來形成導電接觸針（100a）。圖7的(b)是示出對內部空間（1100）執行電鍍製程的情形的平面圖，且圖7的(d)是圖7的(b)的A-A'剖面圖。

由於金屬層在模具（1000）的厚度方向（±z方向）上生長並形成，因此在導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）上的各剖面中的形狀是相同的，且在導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）上積層多個金屬層來配置。多個金屬層包括第一金屬層（101）與第二金屬層（102）。第一金屬層（101）作為與第二金屬層（102）相比耐磨性相對高的金屬，包含銠（rhodium，Rd）、鉑（platinum，Pt）、銥（iridium，Ir）、鈀（palladium）或其等的合金、或鈀鈷（palladium-cobalt，PdCo）合金、鈀鎳（palladium-nickel，PdNi）合金或鎳磷（nickel-phosphor，NiPh）合金、鎳錳（nickel-manganese，NiMn）、鎳鈷（nickel-cobalt，NiCo）或鎳鎢（nickel-tungsten，NiW）合金。第二金屬層（102）作為與第一金屬層（101）相比電導率相對高的金屬，包含銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金。

第一金屬層（101）在導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）上配置於下表面與上表面，且第二金屬層（102）配置於第一金屬層（101）之間。例如，導電接觸針（100a）藉由按照第一金屬層（101）、第二金屬層（102）、第一金屬層（101）的順序交替積層第一金屬層（101）、第二金屬層（102）來配置，且積層的層數可由三層以上組成。

另一方面，在完成鍍覆製程之後，藉由在升溫至高溫後施加壓力對完成鍍覆製程的金屬層進行按壓，從而可使第一金屬層（101）及第二金屬層（102）更高密度化。於將光阻材質用作模具的情況，由於在完成鍍覆製程之後的金屬層周邊存在光阻，因此不能執行升溫至高溫並施加壓力的製程。與此不同，根據本發明的較佳實施例，由於在完成鍍覆製程的金屬層的周邊配置有陽極氧化膜材質的模具（1000），因此即便升溫至高溫，亦因陽極氧化膜的低熱膨脹係數而可將變形最小化且使第一金屬層（101）及第二金屬層（102）高密度化。因此，與將光阻用作模具的技術相比，可獲得更加高密度化的第一金屬層（101）及第二金屬層（102）。

在電鍍製程完成時，執行移除模具（1000）與晶種層（1200）的製程。於模具（1000）為陽極氧化膜材質的情況下，利用與陽極氧化膜材質選擇性地反應的溶液移除模具（1000）。另外，於晶種層（1200）為銅（Cu）材質的情況下，利用與銅（Cu）選擇性地反應的溶液來移除晶種層（1200）。

參照圖8，第一實施例的導電接觸針（100a）於其側面包括多個微細溝槽（88）。微細溝槽（88）在導電接觸針（100a）的側面中在導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）上長長地延伸形成。此處，導電接觸針（100a）的厚度方向（±z方向）意指在進行電鍍時金屬填充物生長的方向。

微細溝槽（88）的深度具有20 nm以上且1 μm以下的範圍，其寬度亦具有20 nm以上且1 μm以下的範圍。此處，由於微細溝槽（88）源於在製造陽極氧化膜模具（1000）時形成的氣孔，因此微細溝槽（88）的寬度與深度具有陽極氧化膜模具（1000）的氣孔的直徑範圍以下的值。另一方面，於在陽極氧化膜模具（1000）形成內部空間（1100）的過程中可至少部分形成微細溝槽（88），所述微細溝槽（88）藉由蝕刻溶液使陽極氧化膜模具（1000）的氣孔的一部分彼此破碎且具有較在進行陽極氧化時形成的氣孔的直徑範圍更大範圍的深度。

由於陽極氧化膜模具（1000）包括大量氣孔，對此種陽極氧化膜模具（1000）的至少一部分進行蝕刻形成內部空間（1100），且利用電鍍在內部空間（1100）內部形成金屬填充物，因此在導電接觸針（100a）的側面配置有與陽極氧化膜模具（1000）的氣孔接觸的同時形成的微細溝槽（88）。

如上所述般的微細溝槽（88）對於導電接觸針（100a）的側面而言具有可使表面積變大的效果。藉由在導電接觸針（100a）的側面形成的微細溝槽（88）的構成，可快速釋放在導電接觸針（100a）中產生的熱，因此可抑制導電接觸針（100a）的溫度上升。另外，藉由在導電接觸針（100a）的側面形成的微細溝槽（88）的構成，可提高在導電接觸針（100a）變形時抗扭曲的能力。

為了有效地對應檢測對象（20）的高頻率特性檢測，應使導電接觸針（100a）的整體長度（L）變短。因此，彈性部（150）的長度亦應變短。但是，若彈性部（150）的長度變短，則會產生接觸壓變大的問題。若欲使彈性部（150）的長度變短同時接觸壓亦不變大，應使構成彈性部（150）的板狀板的實質寬度（t）變小。然而，若使構成彈性部（150）的板狀板的實質寬度（t）變小，則會產生彈性部（150）容易損壞的問題。為了使彈性部（150）的長度變短同時接觸壓亦不變大且防止彈性部（150）的損壞，應使構成彈性部（150）的板狀板的整體厚度尺寸（H）形成得大。

第一實施例的導電接觸針（100a）以使板狀板的實質寬度（t）變薄且板狀板的整體厚度尺寸（H）亦大的方式形成。即，板狀板的整體厚度尺寸（H）相較於實質寬度（t）形成得大。較佳為構成導電接觸針（100a）的板狀板的實質寬度（t）在5 μm以上且15 μm以下的範圍內配置，整體厚度尺寸（H）在70 μm以上且200 μm以下的範圍內配置，且板狀板的實質寬度（t）與整體厚度尺寸（H）在1:5至1:30的範圍內配置。例如，板狀板的實質寬度實質上形成為10 μm，整體厚度尺寸（H）形成為100μm，從而板狀板的實質寬度（t）與整體厚度尺寸（H）可以1:10的比率形成。

藉此，可防止彈性部（150）的損壞同時使彈性部（150）的長度變短，且即便使彈性部（150）的長度變短亦可具有適當的接觸壓。進而，由於與構成彈性部（150）的板狀板的實質寬度（t）相比可使整體厚度尺寸（H）變大，因此對在彈性部（150）的前、後方向上作用的力矩的阻力變大，因此接觸穩定性得到提高。

由於可使彈性部（150）的長度變短，因此導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）與整體長度尺寸（L）在1:3至1:9的範圍內配置。較佳為導電接觸針（100a）的整體長度尺寸（L）可在300 μm以上且2 mm以下的範圍內配置，更佳為可在350 μm以上且600 μm以下的範圍內配置。如此，可使導電接觸針（100a）的整體長度尺寸（L）變短以容易地與高頻率特性對應，且隨著彈性部（150）的彈性復原時間縮短，可發揮出亦縮短測試時間的效果。

另外，由於構成導電接觸針（100a）的板狀板的實質寬度（t）形成為較厚度（H）小的大小，因此在前、後方向上的彎曲阻力得到提高。

第一實施例的導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）在1:1至1:5的範圍內配置。較佳為導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）可在70 μm以上且200 μm以下的範圍內配置，導電接觸針（100a）的整體寬度尺寸（W）在100 μm以上且500 μm以下的範圍內配置，更佳為導電接觸針（100a）的整體寬度尺寸（W）可在150 μm以上且400 μm以下的範圍內配置。如此，藉由使導電接觸針（100a）的整體寬度尺寸（W）變短，從而可達成窄節距化。

另一方面，第一實施例的導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）可以實質上相同的長度形成。因此，不需要在厚度方向（±z方向）上多個接合多個導電接觸針（100a）以使整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）具有實質上相同的長度。另外，由於導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）可以實質上相同的長度形成，因此對在導電接觸針（100a）的前、後方向上作用的力矩的阻力變大，因此提高接觸穩定性。進而，根據導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）為70 μm以上且整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）在1:1至1:5的範圍內配置的構成，導電接觸針（100a）的整體的耐久性及變形穩定性得到提高，且與連接端子（410）的接觸穩定性得到提高。另外，由於導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）形成為70 μm以上，因此可提高電流運載容量（Current Carrying Capacity）。

由於利用先前光阻模具製作的導電接觸針（100a）藉由積層多個光阻來構成模具，因此因對準問題無法使整體厚度尺寸變大。因此，整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）相比是小的。例如，由於先前導電接觸針（100a）的整體厚度尺寸（H）小於70 μm且整體厚度尺寸（H）與整體寬度尺寸（W）在1:2至1:10的範圍內構成，因此對藉由接觸壓使導電接觸針（100a）在前、後方向上變形的力矩的阻力弱。先前為了防止產生因彈性部在導電接觸針（100a）的前面、後面的過度變形引起的問題，應考慮在導電接觸針（100a）的前面、後面額外形成殼體，但根據本發明的較佳實施例不需要額外的殼體構成。 第二實施例

接著，對根據本發明的第二實施例進行說明。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，參照圖3及圖9對根據本發明較佳第二實施例的導電接觸針（以下稱為「第二實施例的導電接觸針（100b）」）進行說明。圖9是第二實施例的導電接觸針（100b）的平面圖。

第二實施例的導電接觸針（100b）包括第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）、凸緣部（160）以及止擋件部（170），所述第一連接部（110）包括接觸部（110a）及向上突出部（111），所述第二連接部（120）包括連接主體部（120a）、自連接主體部（120a）的兩側向一個方向延伸的傾斜腿部（120b）以及配置於傾斜腿部（120b）的一端部的第二卡合部（SP2），所述支撐部（130）包括第一寬度變形部（131a）、第二寬度變形部（131b）。

支撐部（130）越向另一端部（下端部）則越向導電接觸針（100a）的寬度方向（±x方向）內側彎折來形成。支撐部（130）在另一端部包括：第一寬度變形部（131a），使支撐部（130）之間距離的寬度向寬度方向（±x方向）內側減小；以及第二寬度變形部（131b），配置於第一寬度變形部（131a）的下部且以越向端部越向寬度方向（±x方向）內側傾斜的方式形成。支撐部（130）在第一寬度變形部（131a）與第二寬度變形部（131b）之間配置將第一寬度變形部（131a）、第二寬度變形部（131b）連結的寬度變形連結部（132）。

第二實施例的導電接觸針（100b）藉由第一寬度變形部（131a）形成向寬度方向（±x方向）內側凹入的部位。第二實施例的導電接觸針（100b）藉由凹入的部位配置止擋件部（170）。

換言之，止擋件部（170）藉由利用第一寬度變形部（131a）向寬度方向（±x方向）內側凹入的部位在支撐部（130）的至少一部分（下部側）與支撐部（130）形成為一體形態。第一寬度變形部（131a）是以在支撐部（130）的下部的外側向寬度方向（±x方向）內側凹入的形態形成的部位。對於第二實施例的導電接觸針（100b），支撐部（130）的下部內側面在與第一寬度變形部（131a）對應的位置沿著第一寬度變形部（131a）向寬度方向（±x方向）內側突出地形成。在支撐部（130）的下部內側面向寬度方向（±x方向）內側突出的部位在寬度方向（±x方向）上具有自支撐部（130）的內側面向寬度方向（±x方向）內側突出的長度大小的厚度來形成。第二實施例的導電接觸針（100b）藉由利用第一寬度變形部（131a）在支撐部（130）的下部內側面向寬度方向（±x方向）內側突出的部位來配置止擋件部（170）。

第一止擋件部（170a）配置於第一支撐部（130a）的下部，且以長度方向（±y方向）為基準與第一凸緣部（160a）上、下對應。第二止擋件部（170b）配置於第二支撐部（130b）的下部，且以長度方向（±y方向）為基準與第二凸緣部（160b）上、下對應。

第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）藉由彈性部（150）的壓縮變形向下（-y方向）移動而下降。

第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）使彈性部（150）壓縮變形之前凸緣部（160）與止擋件部（170）的隔開距離（R）逐漸變窄且下降，從而與第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）的上表面接觸。第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）以在上表面接觸第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的下表面的狀態進行支撐使第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）不進一步向下移動，從而限制第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的下降位置。

支撐部（130）的第二寬度變形部（131b）的端部連結至第二連接部（120）。

第二連接部（120）包括在長度方向（±y方向）上具有規定厚度的連接主體部（120a）。連接主體部（120a）的寬度以自上部越向下部在寬度方向上越大的方式形成。連接主體部（120a）的上端部連結至彈性部（150）。

作為一例，第二連接部（120）具有四個墊連接突起（120c）。各個墊連接突起（120c）藉由配置於墊連接突起（120c）之間的槽（121）隔開。四個墊連接突起（120c）中配置於外廓部的兩個墊連接突起（120c）藉由傾斜腿部（120b）的不具有第二卡合部（SP2）的另一端部進行配置。

第二連接部（120）藉由墊連接突起（120c）與電路基板的墊（310）接觸並被加壓。

第二連接部（120）具有自連接主體部（120a）的寬度方向（±x方向）兩端部向上部方向延伸的傾斜腿部（120b）。傾斜腿部（120b）的寬度以自下部越向上部越向寬度方向（±x方向）外側變大的方式傾斜地形成。連接主體部（120a）在傾斜腿部（120b）的上端部具有第二卡合部（SP2）。第二卡合部（SP2）以向寬度方向（±x方向）內側突出的方式配置。

在連接主體部（120a）的中間部的寬度方向（±x方向）兩端部連結第二寬度變形部（131b）的端部。藉此，連結第二連接部（120）及支撐部（130）。

第二實施例的導電接觸針（100a）在第二連接部（120）的傾斜腿部（120b）的寬度方向（±x方向）內側具有第二寬度變形部（131b）。傾斜腿部（120b）及第二寬度變形部（131b）以彼此隔開的方式定位，且自上部越向下部越向寬度方向（±x方向）內側傾斜的形態是對應的。如上所述的形態使得在將第二實施例的導電接觸針（100a）插入至導引板（GP）的導引孔洞（GH）時可更容易進行插入過程。

第二實施例的導電接觸針（100a）以如下方式配置：藉由支撐部（130）的一端部（上端部）在其上端部配置第一卡合部（SP1），且藉由第二寬度變形部（131b）及傾斜腿部（120b）使導電接觸針（100a）的下端部在寬度方向（±x方向）上的寬度自上部越向下部越小。

第二實施例的導電接觸針（100a）在插入至導引孔洞（GH）時，將包括第二卡合部（SP2）的下端部向寬度方向（±x方向）內側壓縮，從而首先插入第二連接部（120）側。此時，第一實施例的導電接觸針（100a）藉由第二寬度變形部（131b）及傾斜腿部（120b）更容易使下端部壓縮變形，以在寬度方向（±x方向）上具有較導引孔洞（GH）的開口小的尺寸。

連接端子（410）使與第一連接部（110）連結的彈性部（150）壓縮變形，同時向上突出部（111）的接觸突起部（110c）與支撐部（130）接觸，墊（310）與第二連接部（120）的墊連接突起（120c）接觸，從而在第二連接部（120）處使彈性部（150）壓縮變形。因此，第二實施例的導電接觸針（100a）形成由第一連接部（110）、支撐部（130）及第二連接部（120）形成的電流通道。 第三實施例

接著，對根據本發明的第三實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，參照圖10對根據本發明較佳第三實施例的導電接觸針（以下稱為「第三實施例的導電接觸針（100c）」）進行說明。圖10是第三實施例的導電接觸針（100c）的平面圖。

第三實施例的導電接觸針（100c）包括第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）、凸緣部（160）以及止擋件部（170），所述第一連接部（110）包括接觸部（110a）、及形成於接觸部（110a）的接觸空洞部（110b）以及在接觸部（110a）的上表面在長度方向上延伸的接觸突出部（110e），所述凸緣部（160）連結至第一連接部（110）。

第一連接部（110）在接觸部（110a）配置接觸空洞部（110b）以使得接觸面藉由檢測對象（400）的加壓可更容易變形。以接觸空洞部（110b）為基準，接觸部（110a）的上部面為與檢測對象（400）的連接端子（410）接觸的部位，且以接觸空洞部（110b）為基準，接觸部（110a）的下部面連結至彈性部（150）。接觸空洞部（110b）形成為左、右彎曲的空的空間，從而使得接觸部（110a）的上部面更容易變形。

第一連接部（110）在接觸部（110a）的上表面包括與連接端子（410）形成多觸點的至少一個以上接觸突出部（110e）。接觸突出部（110e）沿著接觸部（110a）的厚度方向（±z方向）形成，且以在長度方向（±y方向）上較其周邊部突出的方式長長地延伸形成。

凸緣部（160）在接觸部（110a）的寬度方向（±x方向）端部的下部面連續地形成且向下側延伸。凸緣部（160）藉由接觸部（110a）連結至第一連接部（110）。此時，接觸部（110a）與接觸空洞部（110b）的彎曲的左、右對應而呈左、右彎曲的形態。因此，接觸部（110a）藉由彎曲的左、右以凸緣部（160）為基準向寬度方向（±x方向）外側突出。第一連接部（110）藉由在左、右突出的部位與支撐部（130）的端部接觸，從而形成由第一連接部（110）及支撐部（130）形成的電流通道。

凸緣部（160）包括配置於彈性部（150）的一側的第一凸緣部（160a）以及配置於彈性部（150）的另一側的第二凸緣部（160b）。

第一凸緣部（160a）配置於彈性部（150）的一側且配置於第一支撐部（130a）與彈性部（150）之間，第二凸緣部（160b）與第一凸緣部（160a）相對且配置於彈性部（150）的另一側。因此，第二凸緣部（160b）配置於第二支撐部（130b）與彈性部（150）之間。

第一凸緣部（160a）與第二凸緣部（160b）可配置成相同的長度，亦可配置成彼此不同的長度。作為一例，第三實施例的導電接觸針（100c）的第一凸緣部（160a）的長度較第二凸緣部（160b）的長度配置得長。

對於第一凸緣部（160a），上部區域（UF）的一端連結至接觸部（110a），且自上部區域（UF）的一端開始越向上部區域（UF）的另一端越向寬度方向（±x方向）內側傾斜。下部區域（LF）的一端連結至上部區域（UF）的另一端，且自下部區域（LF）的一端開始至下部區域（LF）的另一端為在長度方向（±y方向）上垂直的形態。下部區域（LF）包括輔助接觸突起部（161）。

第二凸緣部（160b）與第一凸緣部（160a）長度不同，但上部區域（UF）及下部區域（LF）的形態相同。

於第三實施例的導電接觸針（100c）受到由連接端子（410）引起的偏心加壓力的情況，藉由第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）防止向左、右方向的過度的挫曲變形。彈性部（150）因偏心加壓力向一側傾斜且被壓縮變形時，第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）與各自所對應的支撐部（130）的內側面接觸並被支撐部（130）支撐。因此，防止第三實施例的導電接觸針（100c）因偏心加壓力向左、右方向過度地挫曲變形。

包括第一支撐部（130a）、第二支撐部（130b）的支撐部（130）具有越向下側方向（-y方向）寬度越厚且向內側方向傾斜的內表面傾斜部（IS）。第三實施例的導電接觸針（100c）藉由凸緣部（160）的輔助接觸突起部（161）及內表面傾斜部（IS）的構成，在凸緣部（160）藉由彈性部（150）的壓縮變形向下（-y方向）移動時與支撐部（130）的內側面柔和地接觸且保持接觸狀態。

止擋件部（170）包括配置於彈性部（150）的一側的第一止擋件部（170a）以及與第一止擋件部（170a）相對且配置於彈性部（150）的另一側的第二止擋件部（170b）。第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在長度方向上配置於不同位置來分散第三實施例的導電接觸針（100c）的應力。

以圖10為基準，第一止擋件部（170a）與第二止擋件部（170b）以在長度方向（±y方向）上靠近第二連接部（120）側的方式定位，且第二止擋件部（170b）以在長度方向（±y方向）上較第一止擋件部（170a）靠近第一連接部（110）的方式定位。

第三實施例的導電接觸針（100c）藉由以彼此不同的方式配置第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）的長度方向（±y方向）位置，使彼此不同長度的第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）與第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）穩定地進行接觸。

第三實施例的導電接觸針（100c）具有在長度方向（±y方向）上位置不同的第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b），且具有彼此不同長度的第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）。

此時，與相對長的長度的第一凸緣部（160a）對應的第一止擋件部（170a）以靠近第二連接部（120）側的方式定位，且配置於在長度方向上較第二止擋件部（170b）低的位置處。另一方面，與相對短的長度的第二凸緣部（160b）對應的第二止擋件部（170b）以靠近第一連接部（110）側的方式定位，且配置於在長度方向上較第一止擋件部（170a）高的位置處。

第三實施例的導電接觸針（100c）考慮到第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）彼此不同的長度而將第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在長度方向（±y方向）上的位置配置得不同。因此，即便第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的長度不同且第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在長度方向（±y方向）上的位置不同，第一止擋件部（170a）與第一凸緣部（160a）間的隔開距離（R）及第二止擋件部（170b）與第二凸緣部（160b）間的隔開距離（R）的大小亦相同。

因此，在第三實施例的導電接觸針（100c）被連接端子（410）加壓時，第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）藉由加壓力分別向下移動且與各自所對應的第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）接觸。

第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）藉由上表面與第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）接觸，從而使藉由彈性部（150）的壓縮變形下降的第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）停止。藉由使第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）在與第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）接觸的同時不進一步下降來限制下降位置。因此，第三實施例的導電接觸針（100c）不再被壓縮且壓縮量受到限制。

第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）的上表面以凹陷的方式配置，與第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）的上表面形狀對應地，第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）的自由端以凸出的方式配置。在隨著第一連接部（110）向下移動而第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）向下移動時，第一凸緣部（160a）、第二凸緣部（160b）凸出的自由端被收容在各自所對應的第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）的凹陷的部分。向下移動的凸緣部（160）被第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）牢固地支撐而不會使下降位置發生晃動。 第四實施例

接著，對根據本發明的第四實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例至第三實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例至第三實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，參照圖3及圖11對根據本發明較佳第四實施例的導電接觸針（以下稱為「第四實施例的導電接觸針（100d）」）進行說明。圖11是第四實施例的導電接觸針（100d）的平面圖。

第四實施例的導電接觸針（100d）包括第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）、凸緣部（160）以及止擋件部（170），所述第一連接部（110）包括形成有接觸空洞部（110b）的接觸部（110a）及接觸突出部（110e），所述第二連接部（120）包括連接主體部（120a）及墊連接突起（120c），所述凸緣部（160）自第一連接部（110）的一側下表面沿長度方向（±y方向）延伸。

第一連接部（110）包括自在中央部具有接觸空洞部（110b）的接觸部（110a）的寬度方向（±x方向）端部向上部延伸的接觸突出部（110e）。第四實施例的導電接觸針（100d）具有兩個接觸突出部（110e）。接觸突出部（110e）以寬度方向（±x方向）為基準較接觸部（110a）向外側突出地形成。接觸突出部（110e）的上表面以傾斜的方式形成。接觸突出部（110e）的上表面以寬度方向（±x方向）為基準自外側越向內側越向下傾斜。因此，在連接端子（410）與第四實施例的導電接觸針（100d）間的反復接觸過程中產生的顆粒可容易地移動至形成於接觸突出部（110e）之間的槽部（110f）側。

槽部（110f）在接觸突出部（110e）之間以凹陷的方式形成來收容藉由接觸突出部（110e）的上表面流入的顆粒。

接觸部（110a）在外側面具有向寬度方向外側傾斜的傾斜面。因此，接觸部（110a）的寬度以寬度方向為基準自上部越向下部越小。在第一連接部（110）隨著彈性部（150）的壓縮變形向下移動時，接觸部（110a）藉由外側面的傾斜面與支撐部（130）接觸。因此，形成由支撐部（130）及第一連接部（110）形成的電流通道。

凸緣部（160）自第一連接部（110）的一側下表面向長度方向（±y方向）延伸。具體而言，凸緣部（160）自接觸部（110a）的一側下表面向長度方向（±y方向）延伸。因此，凸緣部（160）配置於第一支撐部（130a）與彈性部（150）之間，且以與第一支撐部（130a）的上端部在寬度方向（±x方向）上重疊的方式定位。在由連接端子（410）帶來的偏心加壓力作用於第四實施例的導電接觸針（100d）時，凸緣部（160）與支撐部（130）接觸且被支撐部（130）支撐。因此防止第四實施例的導電接觸針（100d）因偏心加壓力向左、右方向過度地挫曲變形。

凸緣部（160）的外側面以垂直的方式形成，其一端連結至接觸部（110a）的傾斜的外側面的下端部，且凸緣部（160）的另一端為自由端。

凸緣部（160）隨著彈性部（150）的壓縮變形向下移動從而與止擋件部（170）接觸。

第四實施例的導電接觸針（100d）包括自支撐部（）的內側面向寬度方向（±x方向）內側延伸且連結至彎曲部（154）的一側的止擋件部（170）。具體而言，第四實施例的導電接觸針（100d）包括第一止擋件部（170a），所述第一止擋件部（170a）自第一支撐部（130a）的內側面向寬度方向（±x方向）內側延伸，連結至彈性部（150）的彎曲部（154）中的至少一者的一側，且配置於第一支撐部（130a）與彎曲部（154）之間。

第一止擋件部（170a）自第一支撐部（130a）的內側面向寬度方向（±x方向）內側彎曲地延伸的部位藉由連結至彎曲部（154）的一側的形態來配置。第一止擋件部（170a）以與凸緣部（160）在長度方向（±y方向）上上、下對應的方式配置。因此，凸緣部（160）藉由彈性部（150）的壓縮變形下降從而與第一止擋件部（170a）的上表面接觸。第一止擋件部（170a）在上表面接觸凸緣部（160）時支撐凸緣部（160）且使凸緣部（160）的下降停止。因此，凸緣部（160）僅下降至與第一止擋件部（170a）接觸的位置且下降位置受到限制。

在彈性部（150）壓縮變形之前，在凸緣部（160）的下表面與第一止擋件部（170a）的上表面之間存在具有規定長度的隔開距離（R）。

支撐部（130）的第二卡合部（SP2）包括：外側傾斜部（134a），向寬度方向（±x方向）外側傾斜；突出棱（134b），向寬度方向（±x方向）外側突出；以及切開部（134c），配置於外側傾斜部（134a）與突出棱（134b）之間。

突出棱（134b）將切開部（134c）置於其間且形成有至少兩個以上。

藉由切開部（134c）的構成，第二卡合部（SP2）使得外側傾斜部（134a）可在寬度方向上彈性變形，從而使得第二卡合部（SP2）自身可彈性變形。

第四實施例的導電接觸針（100d）在設置於導引孔洞（GH）時將包括第二卡合部（SP2）的下端部向寬度方向（±x方向）內側壓縮，從而藉由導引孔洞（GH）的上側開口插入。此時，第四實施例的導電接觸針（100d）藉由切開部（134c）更容易進行下端部的壓縮變形，且藉由外側傾斜部（134a）使得在導引孔洞（GH）內側的移動變得容易，從而可提高插入至導引孔洞（GH）的效率。

第二連接部（120）包括自連接主體部（120a）向下方方向延伸的三個墊連接突起（120c）。

第二連接部（120）隨著墊（310）的加壓力向上（+y方向）移動，使三個墊連接突起（120c）中配置於外廓的兩個墊連接突起（120c）與包括第二卡合部（SP2）的支撐部（130）的下端部的內側面接觸。因此，形成由第二連接部（120）及支撐部（130）形成的電流通道。 第五實施例

接著，對根據本發明的第五實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例至第四實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例至第四實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，參照圖3及圖12對根據本發明較佳第五實施例的導電接觸針（以下稱為「第五實施例的導電接觸針（100e）」）進行說明。圖12是第五實施例的導電接觸針（100e）的平面圖。

第五實施例的導電接觸針（100e）包括第一連接部（110）、第二連接部（120）、支撐部（130）、彈性部（150）、凸緣部（160）以及止擋件部（170），所述第一連接部（110）包括接觸部（110a）及接觸突出部（110e），所述第二連接部（120）包括連接主體部（120a）及向連接主體部（120a）的上部延伸的延伸部（123）。

第一連接部（110）包括自接觸部（110a）的寬度方向（±x方向）端部向上部延伸的接觸突出部（110e）。

凸緣部（160）自接觸部（110a）的寬度方向（±x方向）端部向下部延伸長度。凸緣部（160）配置成寬度在寬度方向（±x方向）上自上部越向下部越大的形態。換言之，以寬度方向（±x方向）為基準，第一凸緣部（160a）與第二凸緣部（160b）之間的隔開距離自上部越向下部越大。

凸緣部（160）的一端連結至接觸部（110a）的寬度方向（±x方向）端部的下部面，且另一端為自由端。

凸緣部（160）配置於支撐部（130）與彈性部（150）之間且以與支撐部（130）的上端部在寬度方向（±x方向）上重疊的方式定位。因此，在藉由連接端子（410）將偏心加壓力作用於第五實施例的導電接觸針（100e）時，凸緣部（160）與支撐部（130）接觸並對支撐部（130）進行支撐，從而防止支撐部（130）向左、右方向過度地挫曲變形。

凸緣部（160）藉由另一端的自由端與止擋件部（170）接觸。凸緣部（160）隨著彈性部（150）的壓縮變形而向下移動，進而與止擋件部（170）接觸。

止擋件部（170）包括配置於彈性部（150）與第一支撐部（130a）之間的第一止擋件部（170a）以及配置於彈性部（150）與第二支撐部（130b）之間的第二止擋件部（170b）。

第一止擋件部（170a）自第一支撐部（130a）的內側面向寬度方向（±x方向）內側延伸，且連結至以長度方向（±y方向）為基準向直線部（154）的上部（+y方向）延伸長度的彎曲部（154）。

第二止擋件部（170a）自第二支撐部（130b）的內側面向寬度方向（±x方向）內側延伸，且連結至以長度方向（±y方向）為基準向直線部（154）的上部（-y方向）延伸長度的彎曲部（154）。

第一止擋件部（170a）、第二止擋件部（170b）在長度方向（±y方向）上配置於相同的位置處。

止擋件部（170）藉由上表面對向下移動的凸緣部（160）進行支撐從而使凸緣部（160）停止。因此，止擋件部（170）限制凸緣部（160）的下降位置。因此，第五實施例的導電接觸針（100e）的壓縮量得到限制。

第五實施例的導電接觸針（100e）藉由止擋件部（170）與凸緣部（160）的接觸形成由第一連接部（110）、凸緣部（160）及止擋件部（170）形成的電流通道。

第五實施例的導電接觸針（100e）在支撐部（130）的上端部具有包括傾斜部（134a）及突出棱（134b）的第二卡合部（SP2），且在支撐部（130）的下端部具有較周邊部向外側方向突出的第一卡合部（SP1）。

因此，第五實施例的導電接觸針（100e）在插入至導引孔洞（GH）時，支撐部（130）的上端部向寬度方向內側壓縮變形以插入至導引孔洞（GH）的下側開口。接著，對第五實施例的導電接觸針（100e）自下部向上部方向加壓，從而將其強行推入至導引孔洞（GH）內部。第二卡合部（SP2）通過導引孔洞（GH）的上側開口時，包括第二卡合部（SP2）的支撐部（130）的上端部藉由支撐部（130）的彈性復原力向寬度方向外側展開且復原。第一卡合部（SP1）的上表面與存在於導引孔洞（GH）的下側開口周邊的導引板（GP）的下表面接觸並被支撐。

第二連接部（120）包括向連接主體部（120a）的下部延伸的兩個墊連接突起（120c）。

第二連接部（120）包括向連接主體部（120a）的上部延伸的延伸部（123）。延伸部（123）包括：延伸傾斜部（123a），自連接主體部（120a）的寬度方向（±x方向）端部向寬度方向（±x方向）外側傾斜且向上部延伸；延伸密接部（123b），配置於延伸傾斜部（123a）的上部；以及延伸自由部（123c），配置於延伸密接部（123b）的上部。

延伸密接部（123b）形成為在寬度方向（±x方向）上較周邊部（延伸傾斜部（123a）及延伸密接部（123b））厚的厚度。因此，對於延伸部（123），形成延伸密接部（123b）的部位的外側面較形成延伸自由部（123c）的部位的外側面向寬度方向（±x方向）外側突出。

在第二連接部（120）被墊（310）加壓而向上（+y方向）移動時，位於支撐部（130）的內側的延伸自由部（123c）在長度方向上向上移動，使延伸密接部（123b）位於支撐部（130）的內側。延伸密接部（123b）與支撐部（130）的內側面接觸且位於支撐部（130）的內側。延伸密接部（123b）以寬度方向（±x方向）為基準向外側方向推動支撐部（130）且與支撐部（130）的內側面接觸。因此，包括第一卡合部（SP1）的支撐部（130）的下端部與導引孔洞（GH）的內側面進一步密接，且強化插入至導引孔洞（GH）的第五實施例的導電接觸針（100e）的固定狀態。因此，更有效地防止第五實施例的導電接觸針（100e）向上方方向脫落。

如上所述，雖然參照本發明的較佳實施例進行說明，但相應技術領域的普通技術人員可在不脫離下述申請專利範圍所記載的本發明的思想及領域的範圍內對本發明實施各種修改或變形。

10:檢測裝置 88:微細溝槽 100a、100b、100c、100d、100e:導電接觸針 101:第一金屬層 102:第二金屬層 110:第一連接部 110a:接觸部 110b:接觸空洞部 110c:接觸突起部 110e:接觸突出部 110f:槽部 111:向上突出部 120:第二連接部 120a:連接主體部 120b:傾斜腿部 120c:墊連接突起 120d:連接空洞部 121:槽 123:延伸部 123a:延伸傾斜部 123b:延伸密接部 123c:延伸自由部 130:支撐部 130a:第一支撐部 130b:第二支撐部 131a:第一寬度變形部 131b:第二寬度變形部 132:寬度變形連結部 134a:外側傾斜部/傾斜部 134b:突出棱 134c:切開部 140:連結部 141:厚壁部 150:彈性部 153:直線部 154:彎曲部 160:凸緣部 160a:第一凸緣部 160b:第二凸緣部 161:輔助接觸突起部 170:止擋件部 170a:第一止擋件部 170b:第二止擋件部 200:設置部件 210:貫通孔 310:墊 400:檢測對象 410:連接端子 1000:模具 1100:內部空間 1200:晶種層 CI:連接傾斜部 CV:連接垂直部 GH:導引孔洞 GP:導引板 h:突出長度 H: 整體厚度尺寸 IC1:第一傾斜部 IC2:第二傾斜部 IS:內表面傾斜部 LF:下部區域 LS:下側空間 R:隔開距離 SP1:第一卡合部 SP2:第二卡合部 UF:上部區域 US:上側空間 x、y、z:方向

圖1是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的平面圖。 圖2是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的立體圖。 圖3是根據本發明較佳實施例的設置部件的立體圖。 圖4是示出根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針設置於設置部件的圖。 圖5是示出利用根據本發明較佳實施例的檢測裝置對檢測對象進行檢測的圖。 圖6是表示根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的電流通道的圖。 圖7的(a)~(d)是對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的製造方法進行說明的圖；其中圖7的(a)是形成有內部空間的模具的平面圖，圖7的(c)是圖7的(a)的A-A'剖面圖；圖7的(b)是示出在內部空間執行電鍍製程的情形的平面圖，圖7的(d)是圖7的(b)的A-A'剖面圖。 圖8是將根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的側面的一部分放大示出的圖。 圖9是根據本發明較佳第二實施例的導電接觸針的平面圖。 圖10是根據本發明較佳第三實施例的導電接觸針的平面圖。 圖11是根據本發明較佳第四實施例的導電接觸針的平面圖。 圖12是根據本發明較佳第五實施例的導電接觸針的平面圖。

100a:導電接觸針

110:第一連接部

110a:接觸部

110c:接觸突起部

111:向上突出部

120:第二連接部

120a:連接主體部

120c:墊連接突起

120d:連接空洞部

121:槽

130:支撐部

130a:第一支撐部

130b:第二支撐部

140:連結部

141:厚壁部

150:彈性部

153:直線部

154:彎曲部

160:凸緣部

160a:第一凸緣部

160b:第二凸緣部

161:輔助接觸突起部

170:止擋件部

170a:第一止擋件部

170b:第二止擋件部

CI:連接傾斜部

CV:連接垂直部

IC1:第一傾斜部

IC2:第二傾斜部

LS:下側空間

R:隔開距離

SP1:第一卡合部

SP2:第二卡合部

US:上側空間

x、y:方向

Claims (16)

1. 一種導電接觸針，包括： 第一連接部； 第二連接部； 支撐部，在長度方向上延伸； 彈性部，連結至所述第一連接部與所述第二連接部中的至少任一者且能夠沿長度方向彈性變形； 凸緣部，連結至所述第一連接部與所述彈性部中的至少一者，配置於所述支撐部與所述彈性部之間且在長度方向上延伸；以及 止擋件部，連結至所述支撐部與所述彈性部中的至少一者且在寬度方向上延伸， 所述止擋件部與隨著所述彈性部的壓縮變形向下移動的所述凸緣部接觸並限制所述凸緣部的下降位置。
2. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述止擋件部自所述支撐部的內側面向寬度方向內側延伸且連結至所述彈性部。
3. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述止擋件部藉由在所述支撐部的下部形成向寬度方向內側凹入的部位來配置。
4. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述止擋件部包括： 第一止擋件部，配置於所述彈性部的一側；以及 第二止擋件部，與所述第一止擋件部相對且配置於所述彈性部的另一側， 所述第一止擋件部與所述第二止擋件部在長度方向上配置於相同的位置處。
5. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述止擋件部包括： 第一止擋件部，配置於所述彈性部的一側；以及 第二止擋件部，與所述第一止擋件部相對且配置於所述彈性部的另一側， 所述第一止擋件部與所述第二止擋件部在長度方向上配置於不同的位置處。
6. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述止擋件部的上表面以凹陷的方式配置。
7. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 在所述彈性部的兩側包括在寬度方向上厚度較周邊部厚的厚壁部， 所述凸緣部藉由所述厚壁部連結至所述彈性部。
8. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述凸緣部自所述第一連接部的一側下表面在長度方向上延伸且配置於所述支撐部與所述彈性部之間。
9. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述第一連接部包括： 接觸部；以及 向上突出部，在上端部具有接觸突起部。
10. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述第一連接部包括： 接觸部； 接觸空洞部，形成於所述接觸部；以及 接觸突出部，在所述接觸部的上表面在長度方向上延伸。
11. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述第二連接部包括： 連接主體部； 連接空洞部，形成於所述連接主體部；以及 至少一個墊連接突起，配置於所述連接主體部的下表面。
12. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述第二連接部包括： 連接主體部； 傾斜腿部，自所述連接主體部的兩側向上部延伸；以及 第二卡合部，配置於所述傾斜腿部的一端部。
13. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 第二連接部包括： 連接主體部；以及 延伸部，向所述連接主體部的上部延伸。
14. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述支撐部包括： 第一卡合部，配置於一端部；以及 第二卡合部，配置於另一端部。
15. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 藉由在所述導電接觸針的厚度方向上積層多個金屬層來形成。
16. 如請求項1所述的導電接觸針，包括： 微細溝槽，配置於側面。

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