TW202332158A - 電源裝置 - Google Patents

Abstract

電源裝置（1）包括：電源裝置本體（31）；壓力罐（32），收容電源裝置本體（31）；冷卻器（41），設置於壓力罐（32）的內部；電動風扇（42），設置於壓力罐（32）的內部；以及磁屏蔽構件（43），設置於電動風扇（42）與電源裝置本體（31）之間。

Description

電源裝置

本發明是有關於一種例如電子線照射裝置等中使用的電源裝置。

例如電子線照射裝置等中使用的電源裝置包括用於產生高電壓的電源裝置本體、及收容該電源裝置本體的罐。例如，在專利文獻1所記載的電源裝置中，罐在內部形成有密閉空間。在罐內例如填充有電絕緣性氣體。該電源裝置例如對使電子加速而產生電子線的加速管供給高電壓。另外，該電源裝置包括用於使罐內的溫度降低的冷卻機構。冷卻機構在罐的外部包括冷卻器。罐內的氣體經由配管而流入冷卻器中。經冷卻器冷卻後的氣體再次流入罐內。藉由利用冷卻機構適當地保持罐內的溫度，電源裝置穩定地運作。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平9-84260號公報

[發明所欲解決之課題] 所述專利文獻1般的電源裝置中，由於在罐的外部包括冷卻器，因此存在電源裝置整體上大型化的問題。因此，本發明者對將冷卻器設置於罐的內部的結構進行了研究。在該情況下，由於在罐內的有限的空間內設置冷卻器，因此需要使冷卻器小型化。然而，當使冷卻器小型化時，難以獲得充分的冷卻能力，因此在該方面有改善的餘地。

本發明是為了解決所述課題而成，其目的在於提供一種能夠在實現小型化的同時提高冷卻能力的電源裝置。 [解決課題之手段]

解決所述課題的電源裝置包括：電源裝置本體；罐，收容所述電源裝置本體；冷卻器，設置於所述罐的內部；電動風扇，設置於所述罐的內部；以及磁屏蔽構件，設置於所述電動風扇與所述電源裝置本體之間。

根據該結構，藉由將冷卻器設置於罐的內部，可實現電源裝置的小型化。並且，藉由在罐的內部設置電動風扇，能夠在罐內利用電動風扇將因電源裝置本體發出的熱而成為高溫的氣體輸送至冷卻器。即，藉由由電動風扇的驅動產生的強制對流，能夠利用冷卻器使罐內的溫度有效率地降低。另外，在本結構中，能夠藉由磁屏蔽構件在電源裝置本體與電動風扇之間對自電源裝置本體發出的磁力進行遮蔽。藉此，能夠防止由自電源裝置本體發出的磁力引起的電動風扇的運作不良。因此，能夠穩定地發揮出藉由電動風扇的冷卻能力的提高效果。如此，藉由本結構，能夠在使電源裝置小型化的同時提高冷卻能力。

在所述電源裝置中，所述冷卻器具有冷卻散熱片，所述磁屏蔽構件具有位於所述電源裝置本體與所述電動風扇之間的第一屏蔽部、及位於所述電源裝置本體與所述冷卻散熱片之間的第二屏蔽部。

藉由該結構，對於電源裝置本體的磁力，電動風扇被第一屏蔽部屏蔽，並且冷卻散熱片被第二屏蔽部屏蔽。藉由冷卻散熱片被第二屏蔽部屏蔽，能夠抑制冷卻散熱片受到磁力影響而發熱。因此，能夠抑制冷卻器的冷卻能力的降低。

在所述電源裝置中，將與所述電源裝置本體和所述電動風扇的相向方向正交的方向作為正交方向，所述冷卻散熱片相對於所述電動風扇而位於所述正交方向的側方。

藉由該結構，在磁屏蔽構件中，能夠設為第一屏蔽部與第二屏蔽部沿所述正交方向排列的結構。因此，能夠簡化具有第一屏蔽部及第二屏蔽部的磁屏蔽構件的形狀。

在所述電源裝置中，所述罐呈兩端被堵塞的圓筒狀，所述電源裝置本體配置於所述罐的與中心軸線重疊的位置，在所述罐的徑向上，在所述電源裝置本體的外側配置有所述磁屏蔽構件，在所述磁屏蔽構件的外側配置有所述電動風扇。

藉由該結構，相對於配置於罐的靠近中心的位置的電源裝置本體，電動風扇配置於罐的靠近內周面的位置。藉此，可將電動風扇的配置設為有效利用罐內的空間的配置。

在所述電源裝置中，所述電動風扇以自所述徑向的內側向外側送風的方式配置，在所述罐的內部，自所述電動風扇的所述徑向的外側至與所述電源裝置本體和所述電動風扇的相向方向正交的正交方向上的所述電動風扇的兩側分別形成有一對送風流路，所述冷卻器具有多個冷卻散熱片，所述冷卻散熱片分別設置於所述一對送風流路。

藉由該結構，冷卻散熱片分別設置於電動風扇的送風所通過的一對送風流路。因此，能夠藉由電動風扇將自電源裝置本體側吸入的氣體較佳地送風至冷卻散熱片。其結果，可有助於藉由冷卻器的冷卻效率的提高。

所述電源裝置被用作對電子線照射裝置所包括的加速管供給電力的電源。 藉由該結構，在電子線照射裝置中使用的電源裝置中，能夠在實現小型化的同時提高冷卻能力。 [發明的效果]

本發明的電源裝置發揮出在實現小型化的同時提高冷卻能力的效果。

以下，參照圖式對電源裝置的一實施方式進行說明。再者，在圖式中，為了便於說明，有時將結構的一部分誇張或簡略化地表示。另外，各部分的尺寸比率亦有時與實際不同。另外，本說明書中的「正交」不僅包括嚴格正交的情況，亦包括在起到本實施方式中的作用以及效果的範圍內大致正交的情況。

[電子線照射裝置的整體結構] 如圖1所示，本實施方式的電源裝置1例如用於電子線照射裝置10。電子線照射裝置10例如為掃描式的電子線照射裝置。電子線照射裝置10包括進行熱電子的發射的例如鎢製的燈絲11。燈絲11藉由基於來自電源裝置本體31中包含的燈絲用電源12的電力供給的自身的加熱而發射電子。燈絲11設置於加速管13的上端側。

加速管13呈配置有燈絲11的上端側經封閉的筒狀。加速管13具有在自身的管軸方向上並排設置的多個加速電極14。加速電極14基於來自電源裝置本體31中包含的加速電極用電源15的電力供給，產生使自燈絲11發射的電子會聚並且朝向下方加速般的電場。即，在加速管13中，藉由在加速電極14產生的電場，而產生朝向管軸方向的下方的電子流、即電子線e。加速管13在下端部連接有掃描管16。加速管13和掃描管16彼此與內部空間17連通，在所述內部空間17中，電子線e自加速管13向掃描管16側行進。

掃描管16呈上端側的寬度窄、且越朝向下方越擴開的形狀。掃描管16在其寬度窄的上端部設置有掃描線圈18。掃描線圈18基於對自身的通電，使加速管13中生成的電子線e的朝向偏轉、即進行電子線e的掃描。在掃描管16的下端部例如設置有大致長方形狀的開口窗部19，在開口窗部19安裝有大致長方形狀的窗箔20。窗箔20使電子線e透過，同時亦使開口窗部19密閉。即，橫跨加速管13與掃描管16的內部空間17由密閉空間構成。內部空間17例如在與掃描管16連接的真空泵21的驅動下，至少在產生電子線e的期間成為真空狀態。

所述燈絲用電源12、加速電極用電源15、掃描線圈18及真空泵21由控制裝置22進行控制。控制裝置22進行經由燈絲用電源12及加速電極用電源15的電子線e的輸出調整、經由掃描線圈18的電子線e的掃描控制、及經由真空泵21的加速管13及掃描管16的內部空間17的真空調整等。

並且，經由裝設於開口窗部19的窗箔20而射出的電子線e例如對由搬送裝置23沿搬送方向x搬送的被照射物24進行照射。再者，在該情況下，電子線照射裝置10以大致長方形狀的開口窗部19的長度方向朝向搬送裝置23的搬送正交方向y的方式配置。進行包含搬送方向x及搬送正交方向y在內的電子線e的規定掃描，並進行與開口窗部19對應的大致長方形狀的照射區域A的照射。作為電子線e對被照射物24的照射效果，例如可期待素材的性質改善或功能附加、殺菌/滅菌等。

[電源裝置1的結構] 如圖2及圖4所示，電源裝置1包括電源裝置本體31、及收容電源裝置本體31的壓力罐32。在本實施方式的壓力罐32例如收容有加速管13。再者，於在壓力罐32內設置加速管13的情況下，壓力罐32具有用於將自加速管13發射的電子線e向壓力罐32的外部射出的未圖示的射出口。在壓力罐32的內部例如填充SF6氣體等電氣絕緣性氣體。壓力罐32的內部的氣壓例如被設定為0.5 MPa左右的高氣壓。壓力罐32例如包含金屬等導體。再者，壓力罐32例如電性接地。

再者，圖2是表示壓力罐32的內部結構的剖面圖，且是表示沿著中心軸線L切斷壓力罐32的狀態的圖。另外，圖4是表示壓力罐32的內部結構的剖面圖，且是表示與中心軸線L正交的剖面形狀的圖。

如圖2所示，壓力罐32包括呈以中心軸線L為中心的筒狀的周壁33、及分別設置於沿著中心軸線L的方向上的周壁33的兩端部的底壁34。即，壓力罐32呈如下形狀：呈筒狀的周壁33的兩端被一對底壁34堵塞。壓力罐32例如包含構成周壁33的部位、具有其中一個底壁34的部位、及具有另一個底壁34的部位的至少三個分割體。

如圖4所示，周壁33呈以中心軸線L為中心的例如圓筒狀。即，與中心軸線L正交的周壁33的剖面形狀呈圓形，因此適於耐受壓力罐32的內部的壓力。電源裝置本體31配置於周壁33的內側。另外，電源裝置本體31配置於壓力罐32的與中心軸線L重疊的位置。

[冷卻單元40的結構] 電子線照射裝置10在壓力罐32的內部包括冷卻單元40。冷卻單元40具有冷卻器41、電動風扇42、及磁屏蔽構件43。即，冷卻單元40所具有的冷卻器41、電動風扇42及磁屏蔽構件43設置於壓力罐32的內部。另外，相對於配置於壓力罐32的靠近中心軸線L的位置的電源裝置本體31，冷卻單元40配置於壓力罐32的靠近周壁33的內周面的位置。

如圖4所示，冷卻器41具有多個冷卻散熱片44及將冷卻散熱片44彼此連結的連結管45。冷卻散熱片44例如為空氣翅片管（aerofin tube）。空氣翅片管形成為如下結構，即帶狀的散熱板呈螺旋狀地設置於管的外周的結構。另外，冷卻散熱片44例如為金屬製。作為冷卻散熱片44中使用的金屬材料，例如可列舉不鏽鋼等。

冷卻散熱片44以其長度方向沿著中心軸線L的方式設置。另外，多個冷卻散熱片44藉由連結管45而串聯連接。多個冷卻散熱片44中的一個連接於沿壓力罐32的外部延伸的流入側管46。另外，多個冷卻散熱片44中的一個連接於沿壓力罐32的外部延伸的流出側管47。

本實施方式的冷卻器41例如為水冷式。自流入側管46流入至冷卻散熱片44中的水利用冷卻散熱片44接收熱，然後自流出側管47排出。再者，冷卻器41中的冷卻介質並不限定於水，能夠變更為其他流體。

再者，連結管45、流入側管46及流出側管47例如由不鏽鋼形成。在利用需要釺焊的銅形成連結管45、流入側管46及流出側管47的情況下，有可能引起漏水。關於該方面，藉由將連結管45、流入側管46及流出側管47設為能夠進行焊接而並非釺焊的不鏽鋼，能夠減少漏水的可能性。

磁屏蔽構件43設置於電動風扇42與電源裝置本體31之間。磁屏蔽構件43由金屬材料等導電性材料形成。作為形成磁屏蔽構件43的金屬材料，使用熱傳導率高的例如銅等。另外，磁屏蔽構件43例如呈薄板狀。

磁屏蔽構件43在壓力罐32的徑向上與電源裝置本體31相向。再者，在以下的說明中，有時將壓力罐32的徑向簡稱為「徑向」。另外，在徑向上，有時將電源裝置本體31與磁屏蔽構件43相向的方向稱為相向方向D1。

在壓力罐32的徑向上，電源裝置本體31、磁屏蔽構件43及電動風扇42並排。即，電動風扇42配置於磁屏蔽構件43的徑向外側。另外，電動風扇42在徑向上設置於電源裝置本體31與冷卻器41之間。

冷卻單元40例如具有多個電動風扇42。多個電動風扇42在沿著中心軸線L的方向上排列設置。如圖5所示，電動風扇42包括具有葉片部51的風扇本體52、及作為使風扇本體52旋轉的驅動源的馬達53。電動風扇42的送風藉由利用馬達53的驅動的風扇本體52的旋轉來進行。電動風扇42以自徑向的內側向外側送風的方式配置。即，電動風扇42自電源裝置本體31側吸氣，並送風至冷卻器41側。

如圖5所示，冷卻單元40具有一對送風流路61。送風流路61自電動風扇42的徑向外側形成至與電源裝置本體31和電動風扇42的相向方向D1正交的正交方向D2上的電動風扇42的兩側。若進行詳細敘述，則冷卻單元40具有外壁部62及內壁部63。外壁部62及內壁部63例如呈包含金屬的薄板狀。在外壁部62與內壁部63之間構成送風流路61。另外，在內壁部63的徑向內側配置電動風扇42。在內壁部63中，於與電動風扇42在徑向上相向的部位形成有開口64。來自電動風扇42的送風經由開口64而流入送風流路61。

外壁部62支撐於壓力罐32。詳細而言，在外壁部62設置有連結片65。連結片65藉由螺釘等固定於自周壁33的內周面延伸的第一固定部33a。藉此，外壁部62固定於壓力罐32。

在沿著中心軸線L的方向上的外壁部62的兩端分別設置有側壁部66。側壁部66在沿著中心軸線L的方向上將收容送風流路61及電動風扇42的空間封閉。內壁部63及電動風扇42支撐於側壁部66。

在一對送風流路61的內部配置有多個冷卻散熱片44。各冷卻散熱片44例如支撐於側壁部66。在各送風流路61中，多個冷卻散熱片44以沿著送風流路61排列的方式配置。另外，配置於一對送風流路61各者的各冷卻散熱片44相對於電動風扇42而位於正交方向D2的側方。

磁屏蔽構件43具有第一屏蔽部71及第二屏蔽部72。第一屏蔽部71在相向方向D1上位於電源裝置本體31與電動風扇42之間。第二屏蔽部72在相向方向D1上位於電源裝置本體31與冷卻散熱片44之間。第一屏蔽部71及第二屏蔽部72包含於板狀的磁屏蔽構件43中。即，在磁屏蔽構件43中，第一屏蔽部71及第二屏蔽部72沿正交方向D2排列。藉由冷卻散熱片44被第二屏蔽部72磁屏蔽，可抑制冷卻散熱片44受到磁力影響而發熱。

圖3是表示壓力罐32的內部結構的剖面圖，且是自電源裝置本體31與電動風扇42的相向方向D1觀察冷卻單元40的圖。 如圖3所示，第一屏蔽部71具有與多個電動風扇42分別對應的多個吸氣孔群73。各吸氣孔群73以在相向方向D1上與各電動風扇42相向的方式設置。各吸氣孔群73包含多個吸氣孔74。各吸氣孔74自電源裝置本體31側貫通至電動風扇42側。另外，各吸氣孔74沿相向方向D1貫通第一屏蔽部71。

吸氣孔74以在相向方向D1上與電動風扇42的葉片部51相向的方式設置。另外，吸氣孔74未設置於與配置於電動風扇42的中心部的馬達53在相向方向D1上相向的位置。即，第一屏蔽部71於與馬達53在相向方向D1上相向的位置包括不具有吸氣孔74的馬達屏蔽部75。

第二屏蔽部72具有自冷卻散熱片44側貫通至電源裝置本體31側的排氣孔76。排氣孔76沿相向方向D1貫通第二屏蔽部72。排氣孔76例如沿著中心軸線L設置有多個。再者，各吸氣孔74及各排氣孔76的尺寸被設定為基於磁力的頻率算出的電磁場不浸透的尺寸。

如圖3及圖5所示，冷卻單元40包括側方屏蔽部81。側方屏蔽部81分別設置於正交方向D2上的磁屏蔽構件43的兩側。側方屏蔽部81例如藉由螺釘等固定於磁屏蔽構件43，並且固定於自壓力罐32的周壁33的內周面延伸的第二固定部33b。側方屏蔽部81對自相對於磁屏蔽構件43為正交方向D2的側方繞入並作用於外壁部62的磁力進行遮蔽。另外，側方屏蔽部81由金屬材料等導電性材料形成。作為形成側方屏蔽部81的金屬材料，使用熱傳導率高的例如銅等。另外，側方屏蔽部81例如呈薄板狀。

側方屏蔽部81例如在沿著中心軸線L的方向上被分割為多個。並且，在沿著中心軸線L的方向上分割的兩個側方屏蔽部81之間例如配置有自壓力罐32的周壁33的內周面延伸的支撐部33c。支撐部33c例如用於支撐電源裝置本體31。

其次，對本實施方式的作用進行說明。 電動風扇42自第一屏蔽部71的吸氣孔74取入電源裝置本體31的周圍的氣體並送風至一對送風流路61。送風至一對送風流路61的氣體被各冷卻散熱片44冷卻，並自第二屏蔽部72的排氣孔76排出至電源裝置本體31側。如此一來，在磁屏蔽構件43具有第一屏蔽部71及第二屏蔽部72的結構中，能夠較佳地對電源裝置本體31的周圍的氣體進行冷卻。

對本實施方式的效果進行說明。 （1）藉由將冷卻器41設置於壓力罐32的內部，可實現電子線照射裝置10整體上的小型化。另外，藉由將電動風扇42設置於壓力罐32的內部，能夠在壓力罐32內利用電動風扇42將因電源裝置本體31發出的熱而成為高溫的氣體輸送至冷卻器41。即，藉由由電動風扇42的驅動產生的強制對流，能夠利用冷卻器41使壓力罐32內的溫度有效率地降低。另外，在本實施方式中，能夠藉由磁屏蔽構件43在電源裝置本體31與電動風扇42之間對自電源裝置本體31發出的磁力進行遮蔽。藉此，能夠防止由自電源裝置本體31發出的磁力引起的電動風扇42的運作不良。因此，能夠穩定地發揮出藉由電動風扇42的冷卻能力的提高效果。如此，藉由本實施方式，能夠在使電子線照射裝置10小型化的同時提高冷卻能力。

（2）磁屏蔽構件43具有位於電源裝置本體31與電動風扇42之間的第一屏蔽部71、及位於電源裝置本體31與冷卻散熱片44之間的第二屏蔽部72。根據該結構，相對於電源裝置本體31的磁力，電動風扇42被第一屏蔽部71屏蔽，並且冷卻散熱片44被第二屏蔽部72屏蔽。藉由冷卻散熱片44被第二屏蔽部72屏蔽，能夠抑制冷卻散熱片44受到磁力影響而發熱。因此，能夠抑制冷卻器41的冷卻能力的降低。

（3）冷卻散熱片44相對於電動風扇42而位於正交方向D2的側方。藉由該結構，在磁屏蔽構件43中，能夠設為第一屏蔽部71與第二屏蔽部72沿正交方向D2排列的結構。因此，能夠簡化具有第一屏蔽部71及第二屏蔽部72的磁屏蔽構件43的形狀。

（4）壓力罐32呈兩端被堵塞的圓筒狀。電源裝置本體31配置於與壓力罐32的中心軸線L重疊的位置。在壓力罐32的徑向上，在電源裝置本體31的外側配置有磁屏蔽構件43。並且，在磁屏蔽構件43的外側配置有電動風扇42。根據該結構，相對於配置於壓力罐32的靠近中心的位置的電源裝置本體31，電動風扇42配置於壓力罐32的靠近內周面的位置。藉此，可將電動風扇42的配置設為有效利用壓力罐32內的空間的配置。

（5）電動風扇42以自徑向的內側向外側送風的方式配置。在電子線照射裝置10中，在壓力罐32的內部，自電動風扇42的徑向外側至與電源裝置本體31和電動風扇42的相向方向D1正交的正交方向D2上的電動風扇42的兩側分別形成有一對送風流路61。冷卻器41具有多個冷卻散熱片44。並且，冷卻散熱片44分別設置於一對送風流路61。根據該結構，冷卻風扇44分別設置於電動風扇42的送風所通過的一對送風流路61。因此，能夠將藉由電動風扇42自電源裝置本體31側吸入的氣體較佳地送風至冷卻散熱片44。其結果，可有助於藉由冷卻器41的冷卻效率的提高。

（6）第一屏蔽部71於與馬達53在相向方向D1上相向的位置包括不具有吸氣孔74的馬達屏蔽部75。藉此，能夠藉由馬達屏蔽部75較佳地屏蔽電動風扇42中的馬達53。

本實施方式可以如下方式進行變更來實施。本實施方式及以下的變更例可在技術上不矛盾的範圍內相互組合來實施。 ·所述實施方式的磁屏蔽構件43由金屬板等板狀的素材形成，但並不特別限定於此。例如，可將磁屏蔽構件43設為例如由金屬裸線編織而成的網眼構件。

·所述實施方式的側方屏蔽部81由金屬板等板狀的素材形成，但並不特別限定於此。例如，可將側方屏蔽部81設為例如由金屬裸線編織而成的網眼構件。

·冷卻器41中的冷卻散熱片44的數量並不限定於所述實施方式，能夠根據電子線照射裝置10的結構適宜變更。 ·冷卻單元40中的電動風扇42的數量並不限定於包含圖式的所述實施方式，能夠根據電子線照射裝置10的結構適宜變更。

·所述實施方式的磁屏蔽構件43具有屏蔽冷卻散熱片44的第二屏蔽部72，但並不特別限定於此。例如，亦可設為自所述實施方式的磁屏蔽構件43省略第二屏蔽部72且磁屏蔽構件43僅屏蔽電動風扇42的結構。

·電源裝置本體31、電動風扇42及冷卻散熱片44的位置關係並不限定於所述實施方式，能夠根據電子線照射裝置10的結構適宜變更。 ·所述實施方式的加速管13收容於壓力罐32中，但並不特別限於此，亦可設為加速管13收容於與壓力罐32不同的收容體中的結構。

·在所述實施方式中，作為在內部收容有電源裝置本體31及冷卻單元40的罐，使用可將內部的氣壓設為較標準大氣壓大的氣壓的壓力罐32。然而，並不特別限定於此，亦可為不具備可將內部的氣壓設為較標準大氣壓大的氣壓的功能的罐。

·在所述實施方式中，具體化為電子線照射裝置10中使用的電源裝置1，但亦可應用於電子線照射裝置10以外的裝置中使用的電源裝置。 ·此次揭示的實施方式及變更例在所有方面均為例示，本發明並不限定於該些例示。即，本發明的範圍由申請專利範圍示出，旨在包含與申請專利範圍均等的含義及範圍內的所有變更。

1:電源裝置 10:電子線照射裝置 11:燈絲 12:燈絲用電源 13:加速管 14:加速電極 15:加速電極用電源 16:掃描管 17:內部空間 18:掃描線圈 19:開口窗部 20:窗箔 21:真空泵 22:控制裝置 23:搬送裝置 24:被照射物 31:電源裝置本體 32:壓力罐（罐） 33:周壁 33a:第一固定部 33b:第二固定部 33c:支撐部 34:底壁 40:冷卻單元 41:冷卻器 42:電動風扇 43:磁屏蔽構件 44:冷卻散熱片 45:連結管 46:流入側管 47:流出側管 51:葉片部 52:風扇本體 53:馬達 61:送風流路 62:外壁部 63:內壁部 64:開口 65:連結片 66:側壁部 71:第一屏蔽部 72:第二屏蔽部 73:吸氣孔群 74:吸氣孔 75:馬達屏蔽部 76:排氣孔 81:側方屏蔽部 A:照射區域 D1:相向方向 D2:正交方向 e:電子線 L:中心軸線 x:搬送方向 y:搬送正交方向

圖1是實施方式中的電子線照射裝置的概略結構圖。 圖2是示意性地表示該實施方式的電源裝置中的壓力罐內的結構的剖面圖。 圖3是示意性地表示該實施方式的電源裝置中的壓力罐內的結構的剖面圖。 圖4是示意性地表示該實施方式的電源裝置中的壓力罐內的結構的剖面圖。 圖5是將圖4中的一部分放大表示的剖面圖。

1:電源裝置

31:電源裝置本體

32:壓力罐(罐)

33:周壁

33c:支撐部

34:底壁

40:冷卻單元

41:冷卻器

42:電動風扇

43:磁屏蔽構件

44:冷卻散熱片

46:流入側管

47:流出側管

61:送風流路

62:外壁部

63:內壁部

64:開口

66:側壁部

81:側方屏蔽部

D1:相向方向

D2:正交方向

L:中心軸線

Claims (6)

1. 一種電源裝置，包括： 電源裝置本體； 罐，收容所述電源裝置本體； 冷卻器，設置於所述罐的內部； 電動風扇，設置於所述罐的內部；以及 磁屏蔽構件，設置於所述電動風扇與所述電源裝置本體之間。
2. 如請求項1所述的電源裝置，其中 所述冷卻器具有冷卻散熱片， 所述磁屏蔽構件具有位於所述電源裝置本體與所述電動風扇之間的第一屏蔽部、以及位於所述電源裝置本體與所述冷卻散熱片之間的第二屏蔽部。
3. 如請求項2所述的電源裝置，其中 將與所述電源裝置本體和所述電動風扇的相向方向正交的方向作為正交方向， 所述冷卻散熱片相對於所述電動風扇而位於所述正交方向的側方。
4. 如請求項1至請求項3中任一項所述的電源裝置，其中 所述罐呈兩端被堵塞的圓筒狀， 所述電源裝置本體配置於所述罐的與中心軸線重疊的位置， 在所述罐的徑向上，在所述電源裝置本體的外側配置有所述磁屏蔽構件，在所述磁屏蔽構件的外側配置有所述電動風扇。
5. 如請求項4所述的電源裝置，其中 所述電動風扇以自所述徑向的內側向外側送風的方式配置， 在所述罐的內部，自所述電動風扇的所述徑向的外側至與所述電源裝置本體和所述電動風扇的相向方向正交的正交方向上的所述電動風扇的兩側分別形成有一對送風流路， 所述冷卻器具有多個冷卻散熱片， 所述冷卻散熱片分別設置於所述一對送風流路。
6. 如請求項1至請求項5中任一項所述的電源裝置，其被用作對電子線照射裝置所包括的加速管供給電力的電源。