TW202312855A

TW202312855A - 電磁波屏蔽膜

Info

Publication number: TW202312855A
Application number: TW111125545A
Authority: TW
Inventors: 田島宏; 石岡宗悟; 香月貴彥; 上農憲治
Original assignee: 日商拓自達電線股份有限公司
Priority date: 2021-09-09
Filing date: 2022-07-07
Publication date: 2023-03-16
Also published as: KR20240054965A; CN117882503A; JPWO2023038097A1; JP2024024660A; WO2023038097A1

Abstract

本發明提供一種電磁波屏蔽膜，其耐撓曲性夠高，而且即便運用在傳輸高頻區域信號之傳輸電路，電磁波屏蔽特性也夠高。本發明之電磁波屏蔽膜之特徵在於：其係由接著劑層、積層於上述接著劑層上的屏蔽層及積層於上述屏蔽層上的絕緣層構成；並且，於上述屏蔽層形成有複數個開口面積為1~5000μm ²之開口部，上述開口部包含：第1開口部，其開口面積大於1μm ²且在300μm ²以下；及第2開口部，其開口面積大於300μm ²且在5000μm ²以下；上述開口部中，上述第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)為30~90%，上述第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)為10~70%。

Description

電磁波屏蔽膜

發明領域本發明是有關於一種電磁波屏蔽膜。

背景技術迄今，持續進行例如在撓性印刷配線板(FPC)等印刷配線板上貼合電磁波屏蔽膜，以屏蔽來自外部的電磁波。

電磁波屏蔽膜通常具有依序積層有導電性接著劑層、由金屬薄膜等構成的屏蔽層及絕緣層之構造。在將該電磁波屏蔽膜疊合於印刷配線板的狀態下進行加熱壓製，電磁波屏蔽膜便可藉由接著劑層而接著於印刷配線板上，從而製作出屏蔽印刷配線板。該接著後，利用焊料回流，於屏蔽印刷配線板上安裝零件。又，印刷配線板會形成基底膜上的印刷圖案被絕緣膜覆蓋的構造。

製造屏蔽印刷配線板時，若利用加熱壓製或焊料回流來加熱屏蔽印刷配線板，便會有氣體從電磁波屏蔽膜之接著劑層或印刷配線板之絕緣膜等產生。又，當印刷配線板之基底膜係由聚醯亞胺等吸濕性高之樹脂形成時，會有因加熱而從基底膜產生水蒸氣之情形。從接著劑層、絕緣膜或基底膜產生的該等揮發成分因無法通過屏蔽層而積存於屏蔽層與接著劑層間。故，若在焊料回流步驟中進行急遽之加熱，便會因積存於屏蔽層與接著劑層間的揮發成分，使得屏蔽層與接著劑層之層間密著受到破壞，而有電磁波屏蔽特性降低之情形。

為了解決此種問題，持續進行在屏蔽層(金屬薄膜)設置複數個開口部來提升通氣性。若於屏蔽層設置複數個開口部，即便揮發成分已產生，揮發成分亦可經由開口部而通過屏蔽層。因此，可防止揮發成分積存於屏蔽層與導電性接著劑層間，進而可防止層間密著受到破壞而導致電磁波屏蔽特性降低。

作為此種在屏蔽層(金屬薄膜)具有開口部的電磁波屏蔽膜，於專利文獻1中揭示有一種電磁波屏蔽膜，其係由導電性接著劑層、積層於前述導電性接著劑層上的屏蔽層及積層於前述屏蔽層上的絕緣層構成，且於前述屏蔽層形成有複數個開口部，於下述層間剝離評價中不會產生膨脹，利用KEC法測得前述電磁波屏蔽膜於200MHz下之電磁波屏蔽特性為85dB以上，且前述開口部之開口面積與開口節距滿足預定關係。

又，於專利文獻2中揭示有一種電磁波屏蔽片，其係由絕緣層、金屬層及導電性接著劑層構成，前述金屬層之膜厚為0.2~5μm，並具有10000~200000個/cm ²之面積0.7~5000μm ²之開口部，且開口率為0.05~40%，並且，於金屬層之開口部中，從開口部之中心點至最鄰近開口部之中心點之距離以及金屬層面積S中開口部之個數滿足預定關係。

先前技術文獻專利文獻專利文獻1：日本專利第6404533號公報專利文獻2：日本專利第6202177號公報

發明概要發明欲解決之課題以專利文獻1及專利文獻2中記載的電磁波屏蔽膜(電磁波屏蔽片)而言，可防止揮發成分積存於屏蔽層(金屬層)與導電性接著劑層間，可一定程度預防層間密著受到破壞。然而，若於屏蔽層形成開口部，電磁波屏蔽特性或耐撓曲性便會降低。尤其是運用在傳輸50GHz以上高頻區域信號之傳輸電路時，會有電磁波屏蔽特性變得不足的問題。

本發明是用以解決上述問題而成的發明，本發明之目的在於提供一種電磁波屏蔽膜，其耐撓曲性夠高，而且即便運用在傳輸高頻區域信號之傳輸電路，電磁波屏蔽特性也夠高。

本發明之電磁波屏蔽膜之特徵在於：其係由接著劑層、積層於上述接著劑層上的屏蔽層及積層於上述屏蔽層上的絕緣層構成；並且，於上述屏蔽層形成有複數個開口面積為1~5000μm ²之開口部，上述開口部包含：第1開口部，其開口面積大於1μm ²且在300μm ²以下；及第2開口部，其開口面積大於300μm ²且在5000μm ²以下；上述開口部中，上述第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)為30~90%，上述第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)為10~70%。

於本發明之電磁波屏蔽膜形成有複數個開口面積為1~5000μm ²之開口部。故，在將電磁波屏蔽膜配置於印刷配線板時，即便揮發成分已產生，揮發成分亦可通過開口部。因此，可防止揮發成分積存於屏蔽層與導電性接著劑層間，而可預防層間密著受到破壞。

本發明之電磁波屏蔽膜中，於屏蔽層形成有開口部，該開口部包含：第1開口部，其開口面積大於1μm ²且在300μm ²以下；及第2開口部，其開口面積大於300μm ²且在5000μm ²以下。電磁波屏蔽膜其電磁波屏蔽特性仰賴屏蔽層之面積。因此，若為了提升揮發成分之穿透性而增加屏蔽層之開口部面積，電磁波屏蔽特性便會降低。即，電磁波屏蔽特性與揮發成分之穿透性呈現取捨的關係。將開口部之大小調整為一樣的話，難以高水準地兼顧電磁波屏蔽特性與揮發成分之穿透性。另一方面，本發明之電磁波屏蔽膜中，於屏蔽層形成有開口面積小的第1開口部及開口面積大的第2開口部。藉由如所述使開口面積大的第2開口部與開口面積小的第1開口部並存，便可於維持電磁波屏蔽特性的狀態下提升揮發成分之穿透性。

本發明之電磁波屏蔽膜中，開口部中上述第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)為30~90%，上述第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)為10~70%。若在此種範圍內，即可充分提升揮發成分之穿透性及電磁波屏蔽特性。若開口部中第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)小於30%，由於第2開口部所佔比率變多，因此電磁波屏蔽特性降低。若開口部中第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)大於90%，由於第2開口部所佔比率減少，因此揮發成分之穿透性降低。

本發明之電磁波屏蔽膜中，上述屏蔽層之開口率宜為3~10%。若屏蔽層之開口率在上述範圍內，即可兼顧揮發成分之穿透性及電磁波屏蔽特性又將該等提升。若屏蔽層之開口率小於3%，揮發成分之穿透性會容易降低。若屏蔽層之開口率大於10%，電磁波屏蔽特性會容易降低。並且，屏蔽層之強度會降低，耐撓曲性容易降低。

以本發明之電磁波屏蔽膜而言，其遵行JISK7129之水蒸氣穿透率於溫度80℃、濕度95%RH、差壓1atm下宜為40g/m ²．24h以上。若水蒸氣穿透率在此種範圍內，揮發成分便不易積存於屏蔽層與接著劑層間。因此，不易因揮發成分使得屏蔽層與接著劑層之層間密著受到破壞。

本發明之電磁波屏蔽膜中，屏蔽層宜由金屬層構成。又，金屬層宜包含選自於由銅、銀、金、鋁、鎳、錫、鈀、鉻、鈦及鋅所構成群組中至少一種金屬。該等金屬適合作為電磁波屏蔽膜之屏蔽層。

發明效果依據本發明，可提供一種電磁波屏蔽膜，其揮發成分之穿透性夠高，而且即便運用在傳輸高頻區域信號之傳輸電路，電磁波屏蔽特性也夠高。

用以實施發明之形態以下，具體說明本發明之電磁波屏蔽膜。然而，本發明並不限於以下實施形態，在未變更本發明要旨之範圍內可適當變更而加以應用。

圖1為截面圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之一例。如圖1所示，電磁波屏蔽膜10為一依序積層有絕緣層20、屏蔽層30及接著劑層40的電磁波屏蔽膜。

又，於屏蔽層30形成有複數個開口面積為1~5000μm ²之開口部50。開口部50之開口面積宜為50~5000μm ²，更佳為50~2000μm ²。若形成有此種開口部50，在將電磁波屏蔽膜10配置於印刷配線板時，即便揮發成分已產生，揮發成分亦可通過開口部。因此，可防止揮發成分積存於屏蔽層30與接著劑層40間，而可預防層間密著受到破壞。

開口部50包含：第1開口部51，其開口面積大於1μm ²且在300μm ²以下；及第2開口部52，其開口面積大於300μm ²且在5000μm ²以下。電磁波屏蔽膜其電磁波屏蔽特性仰賴屏蔽層之面積。因此，若為了提升揮發成分之穿透性而增加屏蔽層之開口部面積，電磁波屏蔽特性便會降低。即，電磁波屏蔽特性與揮發成分之穿透性呈現取捨的關係。將開口部之大小調整為一樣的話，難以高水準地兼顧電磁波屏蔽特性與揮發成分之穿透性。另一方面，電磁波屏蔽膜10中，於屏蔽層30形成有開口面積小的第1開口部51及開口面積大的第2開口部52。藉由如所述使開口面積大的第2開口部52與開口面積小的第1開口部51並存，便可於維持電磁波屏蔽特性的狀態下提升揮發成分之穿透性。

電磁波屏蔽膜10中，開口部50中第1開口部51所佔數量之比率(累積頻率)為30~90%，第2開口部52所佔數量之比率(累積頻率)為10~70%。另，第1開口部51所佔數量之比率(累積頻率)宜為30~80%，第2開口部52所佔數量之比率(累積頻率)宜為20~70%。若在此種範圍內，即可充分提升揮發成分之穿透性及電磁波屏蔽特性。若開口部中第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)小於30%，由於第2開口部所佔比率變多，因此屏蔽特性降低。若開口部中第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)大於90%，由於第2開口部所佔比率減少，因此揮發成分之穿透性降低。

另，本說明書中，第1開口部及第2開口部之判定、第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)及第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)可利用以下方法來測定。首先，使用掃描電子顯微鏡(SEM)取得屏蔽層之影像。接著，對所取得之影像使用影像分析軟體「GIMP2.10.6」而將屏蔽層30部分與開口部50之空隙部分二值化成白與黑。然後，從開口部50之空隙部分之像素數，判定是第1開口部51或是第2開口部52。第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)及第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)是藉由計算第1開口部51之數量及第2開口部52之數量而算出。

電磁波屏蔽膜10中，屏蔽層30之開口率宜為3~10%。若屏蔽層30之開口率在上述範圍內，即可兼顧揮發成分之穿透性及電磁波屏蔽特性，又可使該二特性提升。若屏蔽層之開口率小於3%，揮發成分之穿透性會容易降低。若屏蔽層之開口率大於10%，電磁波屏蔽特性會容易降低。並且，屏蔽層之強度會降低，耐撓曲性容易降低。

另，本說明書中，屏蔽層之開口率意指利用以下方法測得之值。首先，使用掃描電子顯微鏡(SEM)取得屏蔽層之影像。接著，對所取得之影像使用影像分析軟體「GIMP2.10.6」而將屏蔽層30部分與開口部50之空隙部分二值化成白與黑。然後，從屏蔽層30部分之像素數與開口部50之空隙部分之像素數算出開口率。

電磁波屏蔽膜10中，屏蔽層30中開口部50之密度並無特殊限制，宜為10~1000個/mm ²，較佳為20~500個/mm ²，更佳為50~200個/mm ²。若屏蔽層中開口部之密度小於10個/mm ²，由於揮發成分之通道狹小，因此容易發生層間密著之破壞。若屏蔽層中開口部之密度大於1000個/mm ²，屏蔽層之強度便會降低，屏蔽層容易受到破壞。

電磁波屏蔽膜10中，屏蔽層30之厚度宜為0.1~20μm，較佳為0.5~10μm，更佳為1.0~6μm。若屏蔽層之厚度小於0.1μm，因屏蔽層過薄所以屏蔽層之強度會變低。故，耐撓曲性會降低。而且，變得不易充分反射及吸收電磁波，因此電磁波屏蔽特性會降低。若屏蔽層之厚度大於20μm，電磁波屏蔽膜的整體會變厚而變得不易處理。

電磁波屏蔽膜10中，屏蔽層30可由金屬層構成，亦可由導電性接著劑層構成。

當屏蔽層30由金屬層構成時，金屬層宜包含選自於由銅、銀、金、鋁、鎳、錫、鈀、鉻、鈦及鋅所構成群組中至少一種金屬。又，金屬層亦可由選自該等之群組中之至少二種合金構成。該等金屬適合作為電磁波屏蔽膜之屏蔽層。

當屏蔽層30由導電性接著劑層構成時，導電性接著劑層宜由導電性粒子及接著性樹脂組成物構成。

導電性粒子並無特殊限制，可為金屬微粒子、碳奈米管、碳纖維、金屬纖維等。

接著性樹脂組成物之材料並無特殊限制，可使用：苯乙烯系樹脂組成物、乙酸乙烯酯系樹脂組成物、聚酯系樹脂組成物、聚乙烯系樹脂組成物、聚丙烯系樹脂組成物、醯亞胺系樹脂組成物、醯胺系樹脂組成物、丙烯酸系樹脂組成物等熱塑性樹脂組成物；抑或酚系樹脂組成物、環氧系樹脂組成物、胺甲酸酯系樹脂組成物、三聚氰胺系樹脂組成物、醇酸系樹脂組成物等熱硬化性樹脂組成物等。接著性樹脂組成物之材料可為該等中之單獨一種，亦可為二種以上的組合。

接著，說明電磁波屏蔽膜10中第1開口部51及第2開口部52之配置。圖2A為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之一例。圖2B為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之另一例。圖2C為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之另一例。圖2D為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之另一例。

如圖2A所示，電磁波屏蔽膜10中，第1開口部51及第2開口部52之形狀及排列亦可以不規則方式形成。形成此種第1開口部51及第2開口部52之方法可舉例如以下方法。首先，準備金屬箔，該金屬箔包含：對蝕刻液之溶解性低的難溶解性成分、及對蝕刻液之溶解性高於難溶解性成分的易溶解性成分。藉由將該金屬箔浸漬於蝕刻液中使易溶解性成分溶解，而可在有易溶解性成分的部分形成開口部。使金屬箔含有像是能形成第1開口部51之大小的成分以及像是能形成第2開口部52之大小的成分作為易溶解性成分，並調整蝕刻液之組成、蝕刻條件等，藉此可控制第1開口部51及第2開口部52所佔數量之比率(累積頻率)。另，具有如圖2A所示第1開口部51及第2開口部52之屏蔽層中，在形成有開口部的部分與存在有屏蔽層的部分會產生斑駁。因此，會產生屏蔽層廣為存在的部分。具有此種部分的電磁波屏蔽膜10可提升電磁波屏蔽特性。

又，如圖2B所示，電磁波屏蔽膜10中，第1開口部51係規則性地以固定周期形成，而第2開口部52之形狀及排列可以不規則方式形成。形成此種第1開口部51及第2開口部52之方法可舉例如以下方法。首先，準備金屬箔，該金屬箔包含：對蝕刻液之溶解性低的難溶解性成分；及對蝕刻液之溶解性高於難溶解性成分的易溶解性成分。藉由將該金屬箔浸漬於蝕刻液中使易溶解性成分溶解，而可在有易溶解性成分的部分形成開口部。此時，使金屬箔含有像是能形成第2開口部的成分作為易溶解性成分。藉此，可形成第2開口部52之形狀及排列以不規則方式形成的屏蔽層。然後，利用雷射等於屏蔽層規則性地以固定周期形成第1開口部51，藉此，可形成如圖2B所示之屏蔽層30，該屏蔽層30中第1開口部51係規則性地以固定周期形成，且第2開口部52之形狀及排列以不規則方式形成。

又，如圖2C所示，電磁波屏蔽膜10中，第1開口部51之形狀及排列係以不規則方式形成，而第2開口部52可規則性地以固定周期形成。形成此種第1開口部51及第2開口部52之方法可舉例如以下方法。首先，準備金屬箔，該金屬箔包含：對蝕刻液之溶解性低的難溶解性成分、及對蝕刻液之溶解性高於難溶解性成分的易溶解性成分。藉由將該金屬箔浸漬於蝕刻液中使易溶解性成分溶解，而可在有易溶解性成分的部分形成開口部。此時，使金屬箔含有像是能形成第1開口部的成分作為易溶解性成分。藉此，可形成第1開口部51之形狀及排列以不規則方式形成的屏蔽層。然後，利用雷射等於屏蔽層規則性地以固定周期形成第2開口部52，藉此，可形成如圖2C所示之屏蔽層30，該屏蔽層30中第1開口部51之形狀及排列係以不規則方式形成，且第2開口部52規則性地以固定周期形成。

又，如圖2D所示，電磁波屏蔽膜10中，第1開口部51及第2開口部52亦可規則性地以固定周期形成。此種第1開口部51及第2開口部52，可以會形成如上述開口部之方式，利用雷射等而於構成屏蔽層的金屬箔上形成開口部；亦可以會形成如上述開口部之方式，於構成屏蔽層的金屬箔上配置抗蝕劑，之後再利用蝕刻來形成；亦可以會形成如上述開口部之方式進行金屬鍍敷來形成；亦可以會形成如上述開口部之方式印刷導電性糊來形成。

電磁波屏蔽膜10中，絕緣層20只要具有充分之絕緣性並且可保護屏蔽層30及接著劑層40，即無特殊限制，但例如宜由熱塑性樹脂組成物、熱硬化性樹脂組成物、活性能量線硬化性組成物等構成。上述熱塑性樹脂組成物並無特殊限制，可列舉：苯乙烯系樹脂組成物、乙酸乙烯酯系樹脂組成物、聚酯系樹脂組成物、聚乙烯系樹脂組成物、聚丙烯系樹脂組成物、醯亞胺系樹脂組成物、丙烯酸系樹脂組成物等。

上述熱硬化性樹脂組成物並無特殊限制，可列舉：酚系樹脂組成物、環氧系樹脂組成物、胺甲酸酯系樹脂組成物、三聚氰胺系樹脂組成物、醇酸系樹脂組成物等。

上述活性能量線硬化性組成物並無特殊限制，但可舉例如分子中具有至少2個(甲基)丙烯醯氧基之聚合性化合物等。

絕緣層20可由單獨一種材料構成，亦可由二種以上的材料構成。

絕緣層20中，視需要亦可含有硬化促進劑、賦黏劑、抗氧化劑、顏料、染料、塑化劑、紫外線吸收劑、消泡劑、調平劑、填充劑、阻燃劑、黏度調節劑、抗結塊劑等。

絕緣層20之厚度並無特殊限制，可以視需要適當設定，但宜為1~15μm，較佳為3~10μm。若絕緣層20之厚度小於1μm，因過薄而不易充分保護屏蔽層30及接著劑層40。若絕緣層20之厚度大於15μm，因過厚所以電磁波屏蔽膜10變得不易彎折，而且絕緣層20本身容易破損。因此，不易應用在要求耐撓曲的構件中。

電磁波屏蔽膜10中，接著劑層40可具有導電性，亦可不具導電性，惟以具有導電性為佳。

首先，說明接著劑層40具有導電性之情形。當接著劑層40具有導電性時，接著劑層40宜由導電性粒子及接著性樹脂組成物構成。

當導電性粒子為金屬微粒子時，金屬微粒子並無特殊限制，可為銀粉、銅粉、鎳粉、焊粉、鋁粉、對銅粉施以鍍銀的銀包銅粉、以金屬被覆高分子微粒子或玻璃珠等而成的微粒子等。該等之中，從經濟性之觀點來看，宜為能便宜取得的銅粉或銀包銅粉。

導電性粒子之平均粒徑並無特殊限制，宜為0.5~15.0μm。若導電性粒子之平均粒徑為0.5μm以上，接著劑層之導電性會變得良好。若導電性粒子之平均粒徑為15.0μm以下，則可薄化接著劑層。

導電性粒子之形狀並無特殊限制，可從球狀、扁平狀、鱗片狀、樹枝狀、棒狀、纖維狀等中適當選擇。

接著劑層40中導電性粒子之摻合量並無特殊限制，宜為15~80重量%，較佳為15~60重量%。若在上述範圍內，接著劑層40對印刷配線板的接著性會提升。

接著劑層40之厚度並無特殊限制，可以視需要適當設定，但宜為0.5~20.0μm。若接著劑層之厚度小於0.5μm，不易獲得良好之導電性。若接著劑層之厚度大於20.0μm，電磁波屏蔽膜整體的厚度會變厚而變得不易處理。

又，接著劑層40可具有各向異性導電性，亦可具有各向同性導電性，惟以具有各向異性導電性為佳。若接著劑層40具有各向異性導電性，相較於具有各向同性導電性之情形，印刷配線板之利用信號電路傳輸的高頻信號傳輸特性會提升。

藉由將接著劑層40中導電性粒子之比率設為2~40重量%，可賦予接著劑層40各向異性導電性。又，藉由將接著劑層40中導電性粒子之比率設為大於40重量%且在80重量%以下，可賦予接著劑層40各向同性導電性。

接著，說明接著劑層40不具導電性之情形。當接著劑層40不具導電性時，接著劑層40宜由接著性樹脂組成物構成。接著性樹脂組成物之理想材料與上述接著劑層40具有導電性時理想的接著性樹脂組成物之材料相同。

在接著劑層40具有導電性之情形以及不具導電性之情形下，接著劑層40皆可視需要含有硬化促進劑、賦黏劑、抗氧化劑、顏料、染料、塑化劑、紫外線吸收劑、消泡劑、調平劑、填充劑、阻燃劑、黏度調節劑等。

以電磁波屏蔽膜10而言，其遵行JISK7129之水蒸氣穿透率於溫度80℃、濕度95%RH、差壓1atm下宜為40g/m ²．24h以上，較佳為200g/m ²．24h以上。若電磁波屏蔽膜10具有此種參數，揮發成分就容易通過屏蔽層。其結果，揮發成分不易積存於屏蔽層與接著劑層間。因此，就不易因揮發成分而使得屏蔽層與接著劑層之層間密著受到破壞。

電磁波屏蔽膜10中，於絕緣層20與屏蔽層30間亦可形成錨固塗佈層。錨固塗佈層之材料可列舉：胺甲酸酯樹脂、丙烯酸樹脂、以胺甲酸酯樹脂為殼且以丙烯酸樹脂為核的核-殼型複合樹脂、環氧樹脂、醯亞胺樹脂、醯胺樹脂、三聚氰胺樹脂、酚樹脂、脲甲醛樹脂、使苯酚等封端劑與聚異氰酸酯反應而得的封端異氰酸酯、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯啶酮等。

又，電磁波屏蔽膜10亦可於絕緣層20側具備支持體膜，亦可於接著劑層40側具有剝離性膜。若電磁波屏蔽膜10具有支持體膜或剝離性膜，在運送電磁波屏蔽膜10抑或在製造使用了電磁波屏蔽膜10的屏蔽印刷配線板等時的作業中，電磁波屏蔽膜10的處理會變得容易。另，此種支持體膜或剝離性膜會在將電磁波屏蔽膜10配置於印刷配線板等時剝下。

本發明之電磁波屏蔽膜會配置於印刷配線板上，成為屏蔽印刷配線板之一部分。說明此種屏蔽印刷配線板。

圖3為截面圖，其示意顯示具備本發明之電磁波屏蔽膜的印刷配線板之一例。圖3所示屏蔽印刷配線板1具有印刷配線板60及設置於印刷配線板60上的電磁波屏蔽膜10，且前述印刷配線板60具有：基底構件61，其形成有印刷電路62；及絕緣膜63，其係以覆蓋印刷電路62之方式設置於基底構件61上。另，屏蔽印刷配線板1中，電磁波屏蔽膜10之接著劑層40與印刷配線板之絕緣膜63相接。

屏蔽印刷配線板1具備電磁波屏蔽膜10。因此，不易發生電磁波屏蔽膜10之屏蔽層30與接著劑層40之層間剝離，電磁波屏蔽特性會變得良好。

另，當電磁波屏蔽膜10之接著劑層40具有導電性且印刷電路62中包含接地電路時，亦可於絕緣膜63設置孔而露出接地電路，使接著劑層40與接地電路接觸。藉由設為此種構造，可將屏蔽層30與接地電路電連接，因此電磁波屏蔽特性會提升。

又，基底構件61與絕緣膜63宜皆由工程塑膠構成。可舉例如：聚丙烯、交聯聚乙烯、聚酯、聚苯并咪唑、聚醯亞胺、聚醯亞胺醯胺、聚醚醯亞胺、聚伸苯硫醚(PPS)等樹脂。

印刷電路62可使用銅等一般電路用材料。

基底構件61與印刷電路62可利用接著劑來接著，亦可採取與不用接著劑之所謂無接著劑型敷銅積層板相同之方式來接合。又，絕緣膜63可為利用接著劑貼合複數片可撓性絕緣膜而成者，亦可藉由感光性絕緣樹脂之塗敷、乾燥、曝光、顯影、熱處理等一連串手法來形成。

實施例以下顯示更具體說明本發明之實施例，惟本發明並不限於該等實施例。

(實施例1) 準備由厚度為5μm之環氧樹脂構成的絕緣層。接著，於絕緣層上，配置厚度為3μm且包含氧化銅(I)粒子的輥軋銅箔。然後，對輥軋銅箔進行蝕刻處理，作成厚度1μm。藉此，使銅箔中的氧化銅(I)溶解而設置開口部，將其作成屏蔽層。

利用SEM拍攝屏蔽層，並使用影像分析軟體「GIMP2.10.6」，將屏蔽層部分與開口部之空隙部分二值化成白與黑。圖4中顯示SEM影像二值化後的影像。圖4為實施例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層俯視照片的二值化影像。又，分析該影像，算出第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)、第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)及屏蔽層之開口率。將結果顯示於表1。又，於圖5顯示實施例1之形成於屏蔽層的開口部之開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。圖5為直方圖，其顯示實施例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層中開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。

然後，於屏蔽層上塗佈具有導電性之接著劑層且塗佈至厚度成為15μm，該具有導電性之接著劑層係於含磷環氧樹脂中添加有20重量%之Ag包Cu粉末者。塗佈方法是使用模唇塗佈方式。經由以上步驟，製作出實施例1之電磁波屏蔽膜。

(比較例1) 對厚度1μm之輥軋銅箔(JX日鑛日石金屬股份有限公司製)進行雷射照射，形成複數個開口部，作成屏蔽層。

利用SEM拍攝屏蔽層，並使用影像分析軟體「GIMP2.10.6」，將屏蔽層部分與開口部之空隙部分二值化成白與黑。圖6中顯示SEM影像二值化後的影像。圖6為比較例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層俯視照片的二值化影像。又，分析該影像，算出第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)、第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)及屏蔽層之開口率。將結果顯示於表1。又，於圖7顯示比較例1之形成於屏蔽層的開口部之開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。圖7為直方圖，其顯示比較例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層中開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。

接著，將屏蔽層配置於由厚度為5μm之環氧樹脂構成的絕緣層上。然後，於屏蔽層上塗佈具有導電性之接著劑層且塗佈至厚度成為15μm，該具有導電性之接著劑層係於含磷環氧樹脂中添加有20重量%之Ag包Cu粉末者。塗佈方法是使用模唇塗佈方式。經由以上步驟，製作出比較例1之電磁波屏蔽膜。

(比較例2) 準備由厚度為5μm之環氧樹脂構成的絕緣層。於絕緣層之其中一主面上印刷銀糊，形成50nm之銀層。此時，於銀層上規則性地每1000μm形成一直徑100μm之圓形露出部。接著，將印刷銀糊後的絕緣層於55℃下浸漬於無電鍍銅液(奧野製藥工業股份有限公司製「ARG COPPER」，pH12.5)中20分鐘，而於銀層上形成無電鍍銅膜(厚度0.5μm)。然後，將上述所製得的無電鍍銅膜之表面設置於陰極，並將含磷銅設置於陽極，使用含硫酸銅的電鍍液，於電流密度2.5A/dm ²下進行電鍍30分鐘，藉此，於銀層上積層合計厚度為1μm之鍍銅層而作成屏蔽層。電鍍液是使用硫酸銅70g/公升、硫酸200g/公升、氯離子50mg/公升、TOP LUCINA SF(奧野製藥工業股份有限公司製之光澤劑)5g/公升之溶液。

利用SEM拍攝屏蔽層，並使用影像分析軟體「GIMP2.10.6」，將屏蔽層部分與開口部之空隙部分二值化成白與黑。圖8中顯示SEM影像二值化後的影像。圖8為比較例2之電磁波屏蔽膜之屏蔽層俯視照片的二值化影像。又，分析該影像，算出第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)、第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)及屏蔽層之開口率。將結果顯示於表1。又，於圖9顯示比較例2之形成於屏蔽層的開口部之開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。圖9為直方圖，其顯示比較例2之電磁波屏蔽膜之屏蔽層中開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。

然後，於屏蔽層上塗佈具有導電性之接著劑層並塗佈至厚度成為15μm，該具有導電性之接著劑層係於含磷環氧樹脂中添加有20重量%之Ag包Cu粉末者。塗佈方法是使用模唇塗佈方式。經由以上步驟，製作出比較例2之電磁波屏蔽膜。

(有無層間剝離之評價) 利用熱壓，將實施例1之電磁波屏蔽膜配置於印刷配線板上。接著，將該印刷配線板放置於23℃、63%RH之無塵室內7日後，暴露於回焊時的溫度條件下，再評價有無層間剝離。另，回焊時的溫度條件是設想為無鉛焊料，並設定最高265℃之溫度曲線。又，有無層間剝離是令貼合有屏蔽膜的印刷配線板通過IR回焊爐5次、再利用目視觀察有無膨脹來進行評價。其結果是實施例1之電磁波屏蔽膜完全未產生膨脹。

[表1]

(耐撓曲性之評價) 利用以下方法，評價實施例1及比較例1~2之電磁波屏蔽膜。利用熱壓，將各電磁波屏蔽膜貼合於厚度50μm之聚醯亞胺膜之兩面上，且切割成長×寬=130mm×15mm之大小作成試驗片，再針對各試驗片之耐撓曲性，使用MIT耐折疲勞試驗機(安田精機製作所股份有限公司製，No.307 MIT式耐折度試驗機)並基於JIS P8115：2001所規範之方法測定耐撓曲性。試驗條件如下。彎折夾鉗前端R：0.38mm 彎折角度：±135° 彎折速度：175cpm 負載：500gf 檢測方法：利用內建電傳輸裝置感測屏蔽膜之斷線

又，耐撓曲性之評價基準如下。將結果顯示於表1。 ○：即使彎折次數為2500次，亦不會發生斷線。 ×：彎折次數小於2500次即已發生斷線。

(電磁波屏蔽特性之評價) 針對實施例1及比較例1~2之電磁波屏蔽膜之電磁波屏蔽特性，利用同軸管法進行測定。

同軸管法是遵行ASTM D4935，於溫度25℃、相對濕度30~50%之條件下使用凱科夢(KEYCOM)公司之同軸管形式屏蔽效果測定系統，測定1~10GHz之電磁波因實施例1及比較例1~2之電磁波屏蔽膜而衰減的衰減量。將結果顯示於表1。另，表1中在電磁波屏蔽特性之評價中之比率(%)意指在10GHz下的電場衰減量相對於在1GHz下的電場衰減量之比率。

如表1所示，可看出實施例1之電磁波屏蔽膜在高頻區域之電磁波屏蔽特性不會比在低頻區域之電磁波屏蔽特性低落。再者，可看出耐撓曲性夠高。

另一方面，以比較例1~2之電磁波屏蔽膜而言，可看出在高頻區域之電磁波屏蔽特性比在低頻區域之電磁波屏蔽特性低落。再者，可看出耐撓曲性不足。

1:屏蔽印刷配線板 10:電磁波屏蔽膜 20:絕緣層 30:屏蔽層 40:接著劑層 50:開口部 51:第1開口部 52:第2開口部 60:印刷配線板 61:基底構件 62:印刷電路 63:絕緣膜

圖1為截面圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之一例。圖2A為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之一例。圖2B為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之另一例。圖2C為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之另一例。圖2D為俯視圖，其示意顯示本發明之電磁波屏蔽膜之屏蔽層之另一例。圖3為截面圖，其示意顯示具備本發明之電磁波屏蔽膜的印刷配線板之一例。圖4為實施例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層俯視照片的二值化影像。圖5為直方圖，其顯示實施例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層中開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。圖6為比較例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層俯視照片的二值化影像。圖7為直方圖，其顯示比較例1之電磁波屏蔽膜之屏蔽層中開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。圖8為比較例2之電磁波屏蔽膜之屏蔽層俯視照片的二值化影像。圖9為直方圖，其顯示比較例2之電磁波屏蔽膜之屏蔽層中開口面積大小的等級與開口部數量之累積頻率之關係。

50:開口部

51:第1開口部

52:第2開口部

Claims

一種電磁波屏蔽膜，特徵在於：其係由接著劑層、積層於前述接著劑層上的屏蔽層及積層於前述屏蔽層上的絕緣層構成；並且，於前述屏蔽層形成有複數個開口面積為1~5000μm ²之開口部，前述開口部包含：第1開口部，其開口面積大於1μm ²且在300μm ²以下；及第2開口部，其開口面積大於300μm ²且在5000μm ²以下；前述開口部中，前述第1開口部所佔數量之比率(累積頻率)為30~90%，前述第2開口部所佔數量之比率(累積頻率)為10~70%。
如請求項1之電磁波屏蔽膜，其中前述屏蔽層之開口率為3~10%。
如請求項1或2之電磁波屏蔽膜，其遵行JISK7129之水蒸氣穿透率於溫度80℃、濕度95%RH、差壓1atm下為40g/m ²．24h以上。
如請求項1至3中任一項之電磁波屏蔽膜，其中前述屏蔽層由金屬層構成。
如請求項4之電磁波屏蔽膜，其中前述金屬層包含選自於由銅、銀、金、鋁、鎳、錫、鈀、鉻、鈦及鋅所構成群組中至少一種金屬。