TW202248653A - 導電接觸針 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種在積層多個金屬層形成的導電接觸針中使其物理特性或電特性得到提高的導電接觸針。

Description

導電接觸針

本發明是有關於一種導電接觸針。

導電接觸針是可在與檢測對象接觸來對檢測對象進行檢測的探針卡或測試插座中使用的接觸針。以下，作為一例，對探針卡的接觸針進行例示說明。

半導體元件的電特性試驗是藉由使半導體晶圓接近具有多個導電接觸針的探針卡並使導電接觸針接觸半導體晶圓上的對應的電極墊來執行。在使導電接觸針與半導體晶圓上的電極墊接觸時，在達到兩者開始接觸的狀態以後，進行使半導體晶圓進一步接近探針卡的處理。將此種處理稱為過驅動（over drive）。過驅動是使導電接觸針彈性變形的處理，藉由進行過驅動，即使電極墊的高度或導電接觸針的高度存在偏差亦可使所有的導電接觸針切實地與電極墊接觸。另外，導電接觸針在過驅動時彈性變形且其尖端在電極墊上移動，藉此進行刮擦（scrub）。藉由此刮擦，可移除電極墊表面的氧化膜且降低接觸電阻。

此種導電接觸針可利用微機電系統（Micro Electro Mechanical System，MEMS）製程製作。對使用MEMS製程製作導電接觸針的過程進行闡述，首先在導電性基材表面塗佈光阻，之後對光阻進行圖案化。此後，將光阻用作模具，藉由電鍍法在開口內使金屬材料析出，移除光阻與導電性基材，得到導電接觸針。

但現存的導電接觸針在提高其物理特性或電特性方面存在限制。

[現有技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]韓國註冊編號第10-0449308號註冊專利公報

[發明所欲解決之課題] 本發明是為了解決上述先前技術的問題點而提出，本發明的目的在於提供在積層多個金屬層形成的導電接觸針中使其物理特性或電特性得到提高的導電接觸針。

[解決課題之手段] 為了達成此種本發明的目的，根據本發明的導電接觸針包括：主體部，積層多個金屬層來構成；以及尖端部，位於所述主體部的端部側且在與所述主體部的接合面處與構成所述主體部的多個金屬層相接。

另外，所述主體部包括第一金屬及第二金屬，所述第一金屬構成所述主體部的外部表面，且所述第二金屬位於所述主體部的內部。

另外，所述主體部包括第一金屬及第二金屬，且所述第一金屬（210）由選自以下中的金屬形成：銠（Rd）、鉑（Pt）、銥（Ir）、鈀（Pd）、鎳（Ni）、錳（Mn）、鎢（W）、磷（Ph）或其等的合金、或鈀鈷（PdCo）合金、鈀鎳（PdNi）合金或鎳磷（NiPh）合金、鎳錳（NiMn）、鎳鈷（NiCo）或鎳鎢（NiW）合金，且所述第二金屬（230）由選自銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金中的金屬形成。

另外，所述尖端部具有與所述主體部的高度相同的高度。

另外，所述尖端部埋置在形成於所述主體部的槽部並形成，且所述尖端部的三個面與所述主體部相接。

另外，所述尖端部埋置於所述主體部並暴露出三個面，且所述尖端部以不自所述主體部的端部側突出的方式構成。

另外，所述尖端部的至少一部分埋置於所述主體部且暴露出至少三個面。

另外，所述尖端部包括：第一部分，在與所述主體部的接合面處與構成所述主體部的多個金屬層相接；以及第二部分，具有較所述第一部分的高度低的高度且形成於所述第一部分以與對象接觸。

另外，所述尖端部包括：第一部分，在所述尖端部與所述主體部的接合面處與構成所述主體部的多個金屬層相接；以及第二部分，以與所述第一部分的高度相同的高度形成，具有較所述第一部分的寬度小的寬度，且形成於所述第一部分以與對象接觸。

另外，所述尖端部包括：第一部分，在與所述主體部的接合面處與構成所述主體部的多個金屬層相接，且至少一部分埋置於所述主體部；以及第二部分，形成於所述第一部分以與對象接觸。

另外，在所述接合面處在主體部配置第一結合部，且在所述尖端部中配置第二結合部以使得結合至所述第一結合部而形成結合增強結構。

另外，所述第一結合部沿所述接合面的高度方向配置於所述主體部，且所述第二結合部沿所述接合面的高度方向配置於所述尖端部。

另外，所述第一結合部沿所述接合面的周緣方向配置於所述主體部，且所述第二結合部沿所述接合面的周緣方向配置於所述尖端部。

[發明的效果] 本發明提供一種在積層多個金屬層形成的導電接觸針中使其物理特性或電特性得到提高的導電接觸針。

以下的內容僅例示發明的原理。因此即便未在本說明書中明確地進行說明或圖示，相應領域的技術人員亦可實現發明的原理並發明包含於發明的概念與範圍內的各種裝置。另外，本說明書所列舉的所有條件部用語及實施例在原則上應理解為僅是作為明確地用於理解發明的概念的目的，並不限制於如上所述特別列舉的實施例及狀態。

所述的目的、特徵及優點藉由與附圖相關的下文的詳細說明而進一步變明瞭，因此在發明所屬的技術領域內具有通常知識者可容易地實施發明的技術思想。

將參考作為本發明的理想例示圖的剖面圖及/或立體圖來說明本說明書中記述的實施例。為了有效地說明技術內容，對該些附圖所示的膜及區域的厚度等進行誇張表現。例示圖的形態可因製造技術及/或公差等變形。因此，本發明的實施例並不限於所示的特定形態，亦包括根據製造製程生成的形態的變化。在本說明書中使用的技術用語僅用於說明特定的實施例，不旨在限定本發明。除非上下文另有明確規定，否則單數的表達包括複數的表達。在本說明書中，應理解的是，「包括」或「具有」等用語欲指定存在本說明書所記載的特徵、數字、步驟、動作、構成要素、零部件或將其等組合，不預先排除一個或一個以上的其他特徵或數字、步驟、動作、構成要素、零部件或將其等組合的存在或附加可能性。

以下，參照附圖對本發明的較佳實施例具體地進行說明。以下在對各種實施例進行說明時，即使實施例不同，為了方便起見亦對執行相同功能的構成要素賦予相同的名稱及相同的參考編號。另外，為了方便起見，將省略已經在其他實施例中說明的構成及操作。

另一方面，以下對第一實施例至第十二實施例進行區分並說明，但對各實施例的構成進行組合的實施例亦包含於本發明的較佳實施例中。 第一實施例

以下，參照圖1至圖3對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖1的(a)是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的正面立體圖，圖1的(b)是對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的一端部側的尖端部進行分解的正面立體圖，圖2的(a)是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的背面立體圖，圖2的(b)是對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的另一端部側的尖端部進行分解的背面立體圖，圖3的(a)是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的平面圖，且圖3的(b)是圖3的(a)的A-A剖面圖。

根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針（100）包括：主體部（110），積層多個金屬層來構成；以及尖端部（150），位於主體部（110）的端部側。

主體部（110）包括第一金屬（210）與第二金屬（230）且積層多個金屬層來構成。積層的各金屬層具有平面形態。包括第一金屬（210）與第二金屬（230）的多個金屬層的積層方向為主體部（110）的高度方向（z方向）。在x-y平面上，平面形態的各金屬層在高度方向（z方向）上積層構成主體部（110）。參照圖1的(a)及圖1的(b)，第一金屬（210）由五個層組成，且第二金屬（230）由四個層組成，從而主體部（110）由九個金屬層積層構成。

第一金屬（210）為與第二金屬（230）相比耐磨性或硬度相對高的金屬，且第二金屬（230）可由與第一金屬（210）相比電導率相對高的金屬形成。

第一金屬（210）較佳可為由選自以下中的金屬形成：銠（Rd）、鉑（Pt）、銥（Ir）、鈀（Pd）、鎳（Ni）、錳（Mn）、鎢（W）、磷（Ph）或其等的合金、或鈀鈷（PdCo）合金、鈀鎳（PdNi）合金或鎳磷（NiPh）合金、鎳錳（NiMn）、鎳鈷（NiCo）或鎳鎢（NiW）合金。

第二金屬（230）較佳可為由選自銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金中的金屬形成。

但，除上述金屬以外，第一金屬（210）、第二金屬（230）可包括其他金屬來構成，並非僅限定於上述例示性的材質。

藉由使主體部（110）積層多個金屬層來構成，從而藉由對電導率高的金屬的含有量進行調節可提高導電接觸針（100）的電流運載容量（Current Carrying Capacity）。

根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針（100）使傳遞1 GHz以上的高頻訊號變得容易。

由於主體部（110）以多段積層多個金屬層來構成，因此與由單一材質形成的第二金屬（230）相比，以多段積層的各第二金屬（230）的厚度形成得更薄。於由單一材質而非多段積層方式構成第二金屬（230）的情況下，在傳遞高頻訊號時，高頻訊號因皮膚效應（skin effect）在第二金屬（230）的表面沿皮膚深度（skin depth）傳遞，從而在第二金屬（230）的內部出現不進行傳遞的部分。

相反，根據本發明的較佳第一實施例，在導電接觸針（100）傳遞高頻訊號時，藉由電導率較第一金屬（210）高的第二金屬（230）使更大量的電流流通，且藉由第二金屬（230）流通的電流因皮膚效應（skin effect）與在第二金屬（230）的內部流通的電流相比，藉由第二金屬（230）的表面流通的量更多。此時，因以薄的厚度形成的多個第二金屬（230）與各第二金屬（230）的皮膚效應（skin effect），發揮出使高頻訊號的傳遞路徑變多的效果，且將不用於訊號傳遞的第二金屬（230）部分最小化，從而可將在第二金屬（230）內的電流密度最大化。藉此，可提高導電接觸針（100）的電特性。

如此，藉由利用將與第一金屬（210）相比電導率相對高的第二金屬（230）、以及與第二金屬（230）相比電導率相對低的第一金屬（210）交替積層的多個金屬形成主體部（110），從而有利於根據本發明的導電接觸針（100）測定1 GHz以上的高頻訊號。此處，高頻訊號的頻率可為1 GHz以上且20 GHz以下。但並非限定於此。

第一金屬（210）構成主體部（110）的外部表面。為了提高導電接觸針（100）的耐磨性，主體部（110）的最下位層與最上位層由第一金屬（210）形成。第二金屬（230）位於主體部（110）的內部。

構成主體部（110）的多個金屬層可自最下層開始按照第一金屬（210）、第二金屬（230）、第一金屬（210）的順序交替積層。例如，主體部（110）可按照鈀鈷（PdCo）合金、銅（Cu）、鈀鈷（PdCo）合金的順序交替積層第一金屬（210）、第二金屬（230）、第一金屬（210），或者按照鎳（Ni）、銅（Cu）、鎳（Ni）的順序交替積層第一金屬（210）、第二金屬（230）、第一金屬（210）。或者主體部（110）可按照鈀鈷（PdCo）合金、銅（Cu）、鎳（Ni）、銅（Cu）、鈀鈷（PdCo）合金的順序交替積層第一金屬（210）、第二金屬（230）、第一金屬（210）。

多個金屬層可形成為至少三個層。換言之，多個金屬層可形成為三個層以上的奇數層或偶數層。但金屬層的個數並非限定於此。

在主體部（110）的端部側配置有尖端部（150）。尖端部（150）配置於主體部（110）的至少一個端部側。尖端部（150）可具有與主體部（110）的高度相同的高度。

尖端部（150）可由與構成主體部（110）的金屬層不同材質的金屬形成，或者由與構成主體部（110）的金屬層中的至少任一金屬層相同材質的金屬形成。例如，於將鎳鈷（NiCo）與銅（Cu）交替積層構成主體部（110）的情況，尖端部（150）可由與構成主體部（110）的金屬層不同的材質的銠（Rd）形成，或者由作為構成主體部（110）的金屬層中的一者的鎳鈷（NiCo）或銅（Cu）形成。

尖端部（150）可由單一金屬層形成或者積層多個金屬層來構成。尖端部（150）可包含選自以下中的至少一種金屬來構成：銠（Rd）、鉑（Pt）、銥（Ir）、鈀（Pd）、鎳（Ni）、錳（Mn）、鎢（W）、磷（Ph）或其等的合金、或鈀鈷（PdCo）合金、鈀鎳（PdNi）合金或鎳磷（NiPh）合金、鎳錳（NiMn）、鎳鈷（NiCo）或鎳鎢（NiW）合金、銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金。於考慮尖端部（150）的耐磨性的情況，尖端部（150）可由選自以下中的金屬形成：銠（Rd）、鉑（Pt）、銥（Ir）、鈀（Pd）、鎳（Ni）、錳（Mn）、鎢（W）、磷（Ph）或其等的合金、或鈀鈷（PdCo）合金、鈀鎳（PdNi）合金或鎳磷（NiPh）合金、鎳錳（NiMn）、鎳鈷（NiCo）或鎳鎢（NiW）合金。另一方面，於考慮尖端部（150）的電導率的情況，尖端部（150）可由選自銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金中的金屬形成。但，尖端部（150）的材質並非限定於此。

尖端部（150）位於主體部（110）的端部側且在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接。在接合面處在主體部（110）的高度方向（z方向）上配置多個金屬層，且尖端部（150）與在主體部（110）的高度方向上配置的多個金屬層相接。

在利用根據本發明較佳實施例的導電接觸針（100）對高頻訊號進行測定時，通過尖端部（150）的電流在尖端部（150）與主體部（110）的接合面中相較於第一金屬（210），更多的電流藉由第二金屬（230）流通。尖端部（150）作為在接觸對象（未圖示）與主體部（110）之間使高頻訊號均勻地傳遞至主體部（110）的多個第二金屬（230）的分配層發揮作用。單一材質的尖端部（150）在尖端部（150）的高度方向上與主體部（110）的多個金屬層相接，且使得均勻的電流沿在高度方向上配置有多個的各第二金屬（230）的表面流通。

藉由第二金屬（230）流通的高頻訊號因皮膚效應（skin effect）與在第二金屬（230）的內部流通的電流相比，在表面有更多的訊號流通，且由於藉由第一金屬（210）與第二金屬（230）的積層結構使第二金屬（230）的厚度變得更薄，因此可將跨越第二金屬（230）的剖面整體可利用的電流密度最大化。藉此，使高頻訊號的傳遞變得容易。

與本發明的較佳第一實施例不同，於尖端部（150）為在其厚度方向上與由單一材質形成的主體部（110）相接的構成的情況下，在傳遞高頻訊號時，因皮膚效應而按照皮膚深度（skin depth）程度沿主體部（110）的最外廓表面流通，且在主體部（110）的內部存在電流不流通的區域。

相反，根據本發明的較佳第一實施例，藉由利用多個金屬層使第二金屬（230）的厚度（高度）變薄的構成，第二金屬（230）的大部分厚度區域成為高頻訊號流通的區域。藉此，可藉由第二金屬（230）的整體的厚度區域傳遞高頻訊號。

由於尖端部（150）由單一材質形成且以塊體（bulk）形態配置，因此高頻訊號在尖端部（150）的表面沿皮膚深度（skin depth）流通。藉由沿尖端部（150）的表面流通的高頻訊號在主體部（110）的接合面處被均勻地分配至多個第二金屬（230）且沿第二金屬（230）的表面流通，從而使高頻訊號的傳遞變得容易。

尖端部（150）可包括：位於主體部（110）的第一端部側的第一尖端部（150a）、以及位於主體部（110）的第二端部側的第二尖端部（150b）。

首先，參照圖1的(a)及圖1的(b)對第一尖端部（150a）進行說明。

在主體部（110）的第一端部側配置有第一尖端部（150a）。第一尖端部（150a）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接。

第一尖端部（150a）以與主體部（110）的高度相同的高度構成。因此，第一尖端部（150a）與在主體部（110）的高度方向（z方向）上積層的所有多個金屬層相接。

在主體部（110）的第一端部側配置槽部（120），且在槽部（120）中配置第一尖端部（150a）。槽部（120）在主體部（110）的長度方向（y方向）上在第一端部面（111b）中以凹陷地凹入的形態配置。在槽部（120）的內部區域中，提供暴露出主體部（110）中積層的多個金屬層的內部側面（111a）。在槽部（120）的兩側定位有主體部（110）的第一端部面（111b）。換言之，槽部（120）位於主體部（110）的第一端部面（111b）之間。由於主體部（110）在高度方向（z方向）上積層多個金屬層來構成，因此在內部側面（111a）處暴露出的金屬層亦具有在高度方向（z方向）上積層的形態。

第一尖端部（150a）具有上表面、下表面以及連接上表面與下表面的外部側面（151）。在第一尖端部（150a）埋置於主體部（110）的槽部（120）來配置的結構中，主體部（110）的內部側面（111a）與尖端部（150）的外部側面（151）彼此面對接合。主體部（110）與尖端部（150）彼此面對的接合面為與平面形態的金屬層垂直的垂直平面。在主體部（110）與第一尖端部（150a）彼此面對的垂直平面中，第一尖端部（150a）的外部側面（151）與構成主體部（110）的多個金屬層均相接。

如圖1的(a)及圖1的(b)所示，於第一尖端部（150a）為長方體的形狀的情況，第一尖端部（150a）的三個外部側面（151）與主體部（110）的內部側面（111a）彼此面對，且各外部側面（151）與構成主體部（110）的多個金屬層相接。第一尖端部（150a）以不自主體部（110）的第一端部側突出的方式構成。換言之，第一端部面（111b）與第一尖端部（150a）的暴露外部側面在導電接觸針（100）的第一端部側處構成一個平面。

在主體部（110）的第一端部中，在主體部（110）的寬度方向（x方向）上具有按照主體部（110）的第一端部面（111b）、尖端部（150）、主體部（110）的第一端部面（111b）的順序排列的形態。另一方面，第一尖端部（150a）的形狀並非限定於長方體的形狀，可由圓柱、多面體的形狀形成。

接著，參照圖2的(a)及圖2的(b)對第二尖端部（150b）進行說明。

在主體部（110）的第二端部側配置第二尖端部（150b）。第二尖端部（150b）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接。

第二尖端部（150b）與第一尖端部（150a）不同，在不埋置於主體部（110）的內部而與第二端部面（111c）相接來構成的方面存在構成上的差異。

第二尖端部（150b）包括：第一部分（310），在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接；以及第二部分（320），形成於第一部分（310）且與對象接觸。第一部分（310）與第二部分（320）可由相同的材質形成或由彼此不同的材質形成。

第一部分（310）以與主體部（110）的高度相同的高度構成。因此，第一部分（310）與在主體部（110）的高度方向（z方向）上積層的多個金屬層均相接。

第二部分（320）可以與主體部（110）的高度不同的高度構成。例如，如圖2的(a)及圖2的(b)所示，第二部分（320）的高度可以較主體部（110）的高度低的高度構成，或者以較主體部（110）的高度高的高度構成。第二部分（320）的寬度方向（x方向）長度可以與第一部分（310）的寬度方向長度相同的長度構成。在自側面觀察導電接觸針（100）時，如圖3的(a)、圖3的(b)所示，第二尖端部（150b）具有「└」字形狀。

主體部（110）包括沿其長度方向（y方向）長長地延伸且內部空餘的空隙（115）。藉由空隙（115）暴露出構成主體部（110）的多個金屬層。主體部（110）包括作為與第一金屬（210）相比電導率相對高的金屬的第二金屬（230）的多個層，且第二金屬（230）以平面形態構成。由於形成空隙（115），因此即便使主體部（110）的長度變得更短，亦不會誘發過大的接觸壓力。因此，藉由空隙（115）可使主體部（110）的長度變短從而有利於傳遞高頻訊號。

利用藉由兩端部在長度方向（y方向）上施加的外力，第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）中的至少任一者的尖端部（150）在寬度方向（x方向）上水平移動的同時移除接觸對象的氧化膜。

第一尖端部（150a）及/或第二尖端部（150b）中的任一尖端部（150）的長度具有100 μm以上400 μm以下的範圍。導電接觸針（100）可插入至探針卡的導引板來使用，於此情況導電接觸針（100）的端部向導引板（下部導引板）的下部突出。於此種狀態下，若長期多次使用導電接觸針（100），則異物會黏附在端部側，為了將其移除，執行對端部進行打磨的製程。由於執行對端部打磨的製程，因此導電接觸針（100）的長度變短。導電接觸針（100）向導引板（下部導引板）的下部的突出長度為100 μm以上400 μm以下的範圍較佳，若由於打磨的製程其突出長度小於100 μm，則將導電接觸針（100）替換成新的。藉由尖端部（150）的長度具有100 μm以上400 μm以下的範圍的構成，即便在100 μm以上400 μm以下的範圍內對端部進行打磨，由於可使尖端部（150）存在於端部，因此亦可保持尖端部（150）的功能。

在執行打磨的製程中，在尖端部（150）不再存在的情況下，較佳為替換成新的導電接觸針（100）。由於尖端部（150）的殘留程度可藉由暴露於導電接觸針（100）的側面的第二積層部（120）的外觀進行確認，因此可藉由尖端部（150）確認導電接觸針（100）的替換時期。

另一方面，在導引板中形成數百至數千個導引孔洞，供導電接觸針（100）插入至各導引孔洞。考慮到導引板的導引孔洞的製作公差及導電接觸針（100）與接觸對象間的對準誤差等，尖端部（150）的寬度具有10 μm以上40 μm以下的範圍。藉此，即便產生導電接觸針（100）的端部與接觸對象間的水平方向位置誤差，亦可使尖端部（150）可與接觸對象接觸。

第一尖端部（150a）可為與接觸對象接觸的部位。因此，第一尖端部（150a）可由耐磨性或硬度高的金屬形成。例如，第一尖端部（150a）可由與構成主體部（110）的第二金屬（230）相比硬度高的材質形成。藉此，可提高在導電接觸針（100）的端部處的耐磨性或硬度特性，同時提高在導電接觸針（100）的主體部（110）中電導率高的金屬的含量，從而可提高電流運載容量（Current Carrying Capacity）。

第二尖端部（150b）可為與檢測裝置的接墊接觸的部位。因此，第二尖端部（150b）可由電導率高的金屬形成。例如，第二尖端部（150b）可由與構成主體部（110）的第一金屬（210）相比電導率高的材質形成。藉此，可降低接觸電阻從而提高導電接觸針（100）的檢測可靠性。

與此不同，第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）可由彼此相同材質的金屬形成。例如，第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）兩者可由鈀鈷（PdCo）合金形成或由銅（Cu）形成。但並非限定於此，只要是可提高導電接觸針（100）的電特性、物理特性及/或化學特性的材質，則可包括其作為本發明的較佳實施例。

以下，對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針（100）的製造方法進行說明。導電接觸針（100）的製造方法包括以下步驟：形成主體部（110），利用形成有內部空間的模具對內部空間進行鍍覆來形成積層多個金屬層構成的主體部（110）；以及在與主體部（110）的端部側對應的位置處在模具中形成附加空間，對附加空間進行鍍覆來形成尖端部（150）。模具可由陽極氧化膜、光阻、矽晶圓或與其相似的材質形成。

形成主體部（110）的步驟為藉由利用形成有開口空間的模具對開口空間內部進行電鍍來形成的步驟。藉由電鍍，在開口空間內部包括第一金屬（210）與第二金屬（230）並形成多個金屬層。因此，主體部（110）包括第一金屬（210）與第二金屬（230）並積層多個金屬層來形成，且積層的各金屬層具有平面形態。

在形成主體部（110）之後，在模具中形成附加空間並對附加空間進行電鍍來形成尖端部（150）。在形成尖端部（150）的過程中，尖端部（150）在與主體部（110）的接合面處一體化。 第二實施例

接下來，對根據本發明的第二實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖4的(a)及圖4的(b)對根據本發明較佳第二實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖4的(a)是根據本發明較佳第二實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖4的(b)是對圖4的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖4的(a)及圖4的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第二實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第二實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在僅其一部分埋置於主體部（110）的方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異。

根據第二實施例的尖端部（150）的一部分較第一端部面（111b）（或第二端部面（111c））向長度方向外側突出來構成。因此，在尖端部（150）與對象接觸時，主體部（110）的端部面不與對象接觸，從而與根據第一實施例的第一尖端部（150a）相比可提高導電接觸針（100）的耐久性。另外，由於尖端部（150）的一部分埋置於主體部（110），因此與根據第一實施例的第二尖端部（150b）相比可提高剛性。 第三實施例

接下來，對根據本發明的第三實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖5的(a)及圖5的(b)對根據本發明較佳第三實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖5的(a)是根據本發明較佳第三實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖5的(b)是對圖5的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖5的(a)及圖5的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第三實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第三實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在以下方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異：包括第一部分（310）及第二部分（320）且第一部分（310）埋置於主體部（110），所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有較第一部分（310）的高度低的高度且形成於第一部分（310）以與對象接觸。

由於根據第三實施例的尖端部（150）藉由使第一部分（310）埋置於主體部（110）的槽部（120）來構成，因此與根據第一實施例的第二尖端部（150b）相比可提高剛性。另外，在尖端部（150）與對象接觸時，藉由主體部（110）的端部面不與對象接觸，從而與根據第一實施例的第一尖端部（150a）相比可提高導電接觸針（100）的耐久性。

另外，使第二部分（320）的垂直剖面面積小於第一部分（310）的垂直剖面面積，從而與根據第二實施例的尖端部（150）相比可提高在第一部分（310）處的接觸壓力。 第四實施例

接下來，對根據本發明的第四實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖6的(a)及圖6的(b)對根據本發明較佳第四實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖6的(a)是根據本發明較佳第四實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖6的(b)是對圖6的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖6的(a)及圖6的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第四實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第四實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在以下方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異：包括第一部分（310）及第二部分（320）且第一部分（310）埋置於主體部（110），所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有較第一部分（310）的高度低的高度且形成於第一部分（310）以與對象接觸。

由於根據第四實施例的尖端部（150）藉由使第一部分（310）埋置於主體部（110）的槽部（120）來構成，因此與根據第一實施例的第二尖端部（150b）相比可提高剛性。另外，在尖端部（150）與對象接觸時，主體部（110）的端部面不與對象接觸，從而與根據第一實施例的第一尖端部（150a）相比可提高導電接觸針（100）的耐久性。

另外，在第二部分（320）位於第一部分（310）的中央的方面與第二部分（310）以偏心的方式位於第一部分（310）的一側的第三實施例的尖端部（150）的構成存在差異。藉此，與根據第三實施例的尖端部（150）相比使得在導電接觸針（100）的端部中央處與對象接觸，從而可將由偏心引起的彎曲力矩最小化。 第五實施例

接下來，對根據本發明的第五實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖7的(a)及圖7的(b)對根據本發明較佳第五實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖7的(a)是根據本發明較佳第五實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖7的(b)是對圖7的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖7的(a)及圖7的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第五實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第五實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在包括第一部分（310）及第二部分（320）的方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異，其中所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有與第一部分（310）的高度相同的高度且具有較第一部分（310）的寬度小的寬度，並形成於第一部分（310）以與對象接觸。

由於根據第五實施例的尖端部（150）使第一部分（310）埋置於主體部（110）的槽部（120）來構成，因此與根據第一實施例的第二尖端部（150b）相比可提高剛性。另外，在尖端部（150）與對象接觸時，主體部（110）的端部面不與對象接觸，從而與根據第一實施例的第一尖端部（150a）相比可提高導電接觸針（100）的耐久性。

另外，在第二部分（320）位於第一部分（310）的中央且第二部分（320）的寬度小於第一部分（310）的寬度的方面與第三實施例及第四實施例的尖端部（150）的構成存在差異。藉此，在藉由尖端部（150）移除氧化膜時具有可在更高的區域移除氧化膜的效果。 第六實施例

接下來，對根據本發明的第六實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖8的(a)及圖8的(b)對根據本發明較佳第六實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖8的(a)是根據本發明較佳第六實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖8的(b)是對圖8的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖8的(a)及圖8的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第六實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第六實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在包括第一部分（310）及第二部分（320）的方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異，其中所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有較第一部分（310）的高度低的高度且具有較第一部分（310）的寬度小的寬度，並形成於第一部分（310）以與對象接觸。

由於根據第六實施例的尖端部（150）使第一部分（310）埋置於主體部（110）的槽部（120）來構成，因此與根據第一實施例的第二尖端部（150b）相比可提高剛性。另外，在尖端部（150）與對象接觸時，主體部（110）的端部面不與對象接觸，從而與根據第一實施例的第一尖端部（150a）相比可提高導電接觸針（100）的耐久性。

另外，在第二部分（320）位於第一部分（310）的中央且第二部分（320）的寬度與高度小於第一部分（310）的寬度與高度的方面與第三實施例至第五實施例的尖端部（150）的構成存在差異。藉此，可提高在尖端部（150）的中央處的接觸壓力。 第七實施例

接下來，對根據本發明的第七實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖9的(a)及圖9的(b)對根據本發明較佳第七實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖9的(a)是根據本發明較佳第七實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖9的(b)是對圖9的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖9的(a)及圖9的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第七實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第七實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在包括第一部分（310）及第二部分（320）的方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第二尖端部（150b）的構成存在差異，所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有與第一部分（310）的高度相同的高度且形成於第一部分（310）以與對象接觸。

藉此，藉由尖端部（150），與第一實施例的第二尖端部（150b）相比，在移除氧化膜時具有可在更高的區域移除氧化膜的效果。 第八實施例

接下來，對根據本發明的第八實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖10的(a)及圖10的(b)對根據本發明較佳第八實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖10的(a)是根據本發明較佳第八實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖10的(b)是對圖10的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖10的(a)及圖10的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第八實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第八實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在包括第一部分（310）及第二部分（320）的方面與根據第一實施例的導電接觸針（100）的第二尖端部（150b）的構成存在差異，其中所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有較第一部分（310）的高度低的高度且在第一部分（310）的中央位置處形成於第一部分（310）以與對象接觸。

藉此，與根據第一實施例的第二尖端部（150b）相比使得在導電接觸針（100）的端部中央處與對象接觸，從而可將由偏心引起的彎曲力矩最小化。 第九實施例

接下來，對根據本發明的第九實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖11的(a)及圖11的(b)對根據本發明較佳第九實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖11的(a)是根據本發明較佳第九實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖11的(b)是對圖11的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖11的(a)及圖11的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第九實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第九實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在包括第一部分（310）及第二部分（320）的方面與根據第一實施例的第二尖端部（150b）的構成存在差異，其中所述第一部分（310）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，所述第二部分（320）具有較第一部分（310）的高度低的高度且具有較第一部分（310）的寬度小的寬度，並形成於第一部分（310）以與對象接觸。

在第二部分（320）位於第一部分（310）的中央且第二部分（320）的寬度與高度小於第一部分（310）的寬度與高度的方面，與第一實施例的第二尖端部（150b）相比可提高在尖端部（150）的中央處的接觸壓力。

如以上所說明的內容所示，尖端部（150）可具有與主體部（110）的高度相同的高度。另外，尖端部（150）埋置於形成在主體部（110）的槽部來形成，因而尖端部（150）的三個面可與主體部（110）相接。另外，尖端部（150）埋置於主體部（110）且暴露出三個面，且尖端部（150）可以不自主體部（110）的端部側突出的方式構成。另外，尖端部（150）的至少一部分可埋置於主體部（110）且暴露出至少三個面。

另一方面，尖端部（150）可包括：第一部分（310），在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接；以及第二部分（320），具有較第一部分（310）的高度低的高度且形成於第一部分（310）以與對象接觸。

另外，尖端部（150）可包括：第一部分（310），在尖端部（150）與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接；以及第二部分（320），以與第一部分（310）的高度相同的高度形成，具有較第一部分（310）的寬度小的寬度且形成於第一部分（310）以與對象接觸。

另外，尖端部（150）可包括：第一部分（310），在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，且至少一部分埋置於主體部（110）；以及第二部分（320），形成於第一部分（310）以與對象接觸。 第十實施例

接下來，對根據本發明的第十實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖12的(a)及圖12的(b)對根據本發明較佳第十實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖12的(a)是根據本發明較佳第十實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖12的(b)是對圖12的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖12的(a)及圖12的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第十實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第十實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在以下方面與根據第一實施例的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異：在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，且其寬度以與主體部（110）的寬度相同的大小形成。

換言之，根據第十實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，且其寬度與高度以與主體部（110）的寬度與高度相同的大小形成。

作為根據第十實施例的導電接觸針（100）的變形例，尖端部（150）可包括以下來構成：第一部分（310），在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接；以及第二部分（320），形成於第一部分（310）以與對象接觸。此處，第一部分（310）的寬度與高度以與主體部（110）的寬度與高度相同的大小形成。另外，第二部分（320）可以小於第一部分（310）的寬度及/或高度的大小形成，且第二部分（320）可以向第一部分（310）的任一側偏心的方式配置或者位於第一部分（310）的中心側來配置。 第十一實施例

接下來，對根據本發明的第十一實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖13的(a)及圖13的(b)對根據本發明較佳第十一實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖13的(a)是根據本發明較佳第十一實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖13的(b)是對圖13的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖。圖13的(a)及圖13的(b)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第十一實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第十一實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在以下方面與根據第一實施例的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異：在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，且與主體部（110）接合作為結合增強結構。

在尖端部（150）與主體部（110）的接合面中，在主體部（110）配置第一結合部（410），且在尖端部（150）配置第二結合部（420）以使得與第一結合部（410）結合來形成結合增強結構。

第一結合部（410）沿接合面的高度方向配置於主體部（110），且第二結合部（420）沿接合面的高度方向配置於尖端部（150）。

在接合面處，在主體部（110）配置第一結合部（410），且在尖端部（150）配置第二結合部（420）以使得與第一結合部（410）結合來形成結合增強結構。

在配置於主體部（110）的槽部（120）中配置由凹部形成的第一結合部（410）。第一結合部（410）以在內部側面（111a）中凹陷地凹入的形態沿主體部（110）的高度方向延伸配置。第一結合部（410）形成至少一個以上。在圖13的(b)中示出在第一結合部（410）的槽部（120）的各內部側面（11a）中形成有一個的情形，但並非限定於此。另外，第一結合部（410）的形狀並非僅限定於如圖所示的四邊形剖面，只要是可發揮出錨定（anchoring）效果的形狀則可全部包括。

在尖端部（150）的側面在與第一結合部（410）對應的位置處配置由凸部形成的第二結合部（420），以與第一結合部（410）結合。第二結合部（420）以在尖端部（150）的側面凸凸地突出的形態沿尖端部（150）的高度方向延伸配置。第二結合部（420）以與第一結合部（410）的個數相同的個數形成。第二結合部（420）與第一結合部（410）形狀囓合結合。

配置於主體部（110）的第一結合部（410）與配置於尖端部（150）的第二結合部（420）彼此結合，從而形成結合增強結構。藉此，在尖端部（150）與主體部（110）之間發揮出錨定（anchoring）效果，從而尖端部（150）可更牢固地結合至主體部（110）。

另一方面，與此不同，在主體部（110）中配置第二結合部（420），且在尖端部（150）中配置第一結合部（410），從而可彼此形成結合增強結構。

根據第十一實施例的結合增強結構亦可應用於根據其他實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）與主體部（110）的接合面中。 第十二實施例

接下來，對根據本發明的第十二實施例進行闡述。但，以下說明的實施例與所述第一實施例相比以特徵性的構成要素為中心進行說明，且盡可能省略對與第一實施例相同或相似的構成要素的說明。

以下，圖14的(a)及圖14的(b)對根據本發明較佳第十二實施例的導電接觸針（100）進行說明。圖14的(a)是根據本發明較佳第十二實施例的導電接觸針（100）的端部側立體圖，且圖14的(b)是對圖14的(a)的尖端部（150）進行分解的立體圖，且圖14的(c)是沿圖14的(a)的A-A'線的剖面圖。圖14的(a)至圖14的(c)是僅示出導電接觸針（100）的一部分的圖。

根據第十二實施例的尖端部（150）的構成可為位於導電接觸針（100）的第一端部的第一尖端部（150a），或者可為位於導電接觸針（100）的第二端部的第二尖端部（150b）。

根據本發明較佳第十二實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）在以下方面與根據第一實施例的第一尖端部（150a）及第二尖端部（150b）的構成存在差異：在與主體部（110）的接合面處與構成主體部（110）的多個金屬層相接，且與主體部（110）接合作為結合增強結構。

在尖端部（150）與主體部（110）的接合面中，在主體部（110）配置第一結合部（410），且在尖端部（150）配置第二結合部（420）以與第一結合部（410）結合來形成結合增強結構。

第一結合部（410）沿接合面的周緣方向配置於主體部（110），且第二結合部（420）沿接合面的周緣方向配置於尖端部（150）。

在配置於主體部（110）的槽部（120）中配置由凹部形成的第一結合部（410）。第一結合部（510）以在內部側面（111a）中凹陷地凹入的形態構成，且沿內部側面（111a）的周緣方向構成。

參照圖14的(c)，第一結合部（510）使構成主體部（110）的多個金屬層中的至少任一層相對突出來構成。藉由以一個金屬層為基準沿上、下相鄰的金屬層在接合面處突出來構成第一結合部（410）。於主體部（110）藉由第一金屬（210）與第二金屬（230）交替積層構成多個金屬層的情況，在接合面處第一金屬（210）與沿上、下相鄰的第二金屬（230）相比相對突出，並將第一結合部（410）配置在第一金屬（210）之間。該情形可在形成主體部（110）後形成尖端部（150）之前藉由對接合面處的第二金屬（230）選擇性地進行蝕刻來實現。

在尖端部（150）的側面在與第一結合部（510）對應的位置處配置有由凸部形成的第二結合部（520）。第二結合部（520）以在尖端部（150）的側面凸凸地突出的形態沿尖端部（150）的周緣方向延伸配置。第二結合部（520）以與第一結合部（510）的個數相同的個數形成。

配置於主體部（110）的第一結合部（510）與配置於尖端部（150）的第二結合部（520）彼此結合，從而形成結合增強結構。藉此，尖端部（150）可更牢固地結合至主體部（110）。

根據第十二實施例的結合增強結構亦可應用於根據其他實施例的導電接觸針（100）的尖端部（150）與主體部（110）的接合面中。

以上說明的根據本發明較佳實施例的導電接觸針（100）配置於檢測裝置並用於與接觸對象進行電接觸、物理接觸以傳遞電訊號。檢測裝置可為用於半導體製造製程的檢測裝置，且作為一例可為探針卡，且可為測試插座。根據本發明較佳實施例的導電接觸針（100）可為配置於探針卡的探針，且可為配置於測試插座的插座針。但並不限定於此，包括任何施加電以確認接觸對象是否不良的針。

如上所述，雖然參照本發明的較佳實施例進行說明，但相應技術領域的普通技術人員可在不脫離下述申請專利範圍所記載的本發明的思想及領域的範圍內對本發明實施各種修改或變形。

100:導電接觸針 110:主體部 111a:內部側面 111b:第一端部面 115:空隙 120:槽部 150:尖端部 150a:第一尖端部 150b:第二尖端部 151:外部側面 210:第一金屬 230:第二金屬 310:第一部分 320:第二部分 510:第一結合部 420、520:第二結合部 x、y、z:方向

圖1的(a)是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的正面立體圖。 圖1的(b)是對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的一端部側的尖端部進行分解的正面立體圖。 圖2的(a)是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的背面立體圖。 圖2的(b)是對根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的另一端部側的尖端部進行分解的背面立體圖。 圖3的(a)是根據本發明較佳第一實施例的導電接觸針的平面圖。 圖3的(b)是圖3的(a)的A-A剖面圖。 圖4的(a)是根據本發明較佳第二實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖4的(b)是對圖4的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖5的(a)是根據本發明較佳第三實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖5的(b)是對圖5的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖6的(a)是根據本發明較佳第四實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖6的(b)是對圖6的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖7的(a)是根據本發明較佳第五實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖7的(b)是對圖7的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖8的(a)是根據本發明較佳第六實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖8的(b)是對圖8的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖9的(a)是根據本發明較佳第七實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖9的(b)是對圖9的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖10的(a)是根據本發明較佳第八實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖10的(b)是對圖10的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖11的(a)是根據本發明較佳第九實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖11的(b)是對圖11的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖12的(a)是根據本發明較佳第十實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖12的(b)是對圖12的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖13的(a)是根據本發明較佳第十一實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖13的(b)是對圖13的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖14的(a)是根據本發明較佳第十二實施例的導電接觸針的端部側立體圖。 圖14的(b)是對圖14的(a)的尖端部進行分解的立體圖。 圖14的(c)是沿圖14的(a)的A-A'線的剖面圖。

100:導電接觸針

110:主體部

111a:內部側面

111b:第一端部面

115:空隙

120:槽部

150:尖端部

150a:第一尖端部

150b:第二尖端部

151:外部側面

210:第一金屬

230:第二金屬

x、y、z:方向

Claims (13)

1. 一種導電接觸針，包括： 主體部，積層多個金屬層來構成；以及 尖端部，位於所述主體部的端部側且在與所述主體部的接合面中與構成所述主體部的所述多個金屬層相接。
2. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述主體部包括第一金屬及第二金屬， 所述第一金屬構成所述主體部的外部表面， 所述第二金屬位於所述主體部的內部。
3. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述主體部包括第一金屬及第二金屬， 所述第一金屬（210）由選自以下中的金屬形成：銠（Rd）、鉑（Pt）、銥（Ir）、鈀（Pd）、鎳（Ni）、錳（Mn）、鎢（W）、磷（Ph）或其等的合金、或鈀鈷（PdCo）合金、鈀鎳（PdNi）合金或鎳磷（NiPh）合金、鎳錳（NiMn）、鎳鈷（NiCo）或鎳鎢（NiW）合金， 所述第二金屬（230）由選自銅（Cu）、銀（Ag）、金（Au）或其等的合金中的金屬形成。
4. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部具有與所述主體部的高度相同的高度。
5. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部埋置在形成於所述主體部的槽部並形成，且所述尖端部的三個面與所述主體部相接。
6. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部埋置於所述主體部並暴露出三個面， 所述尖端部以不自所述主體部的端部側突出的方式構成。
7. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部的至少一部分埋置於所述主體部且暴露出至少三個面。
8. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部包括： 第一部分，在與所述主體部的接合面中與構成所述主體部的所述多個金屬層相接；以及 第二部分，具有較所述第一部分的高度低的高度且形成於所述第一部分以與對象接觸。
9. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部包括： 第一部分，在所述尖端部與所述主體部的接合面中與構成所述主體部的所述多個金屬層相接；以及 第二部分，以與所述第一部分的高度相同的高度形成，具有較所述第一部分的寬度小的寬度，且形成於所述第一部分以與對象接觸。
10. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 所述尖端部包括： 第一部分，在與所述主體部的接合面中與構成所述主體部的所述多個金屬層相接，且至少一部分埋置於所述主體部；以及 第二部分，形成於所述第一部分以與對象接觸。
11. 如請求項1所述的導電接觸針，其中 在所述接合面中在主體部配置第一結合部，且在所述尖端部中配置第二結合部以使得結合至所述第一結合部而形成結合增強結構。
12. 如請求項11所述的導電接觸針，其中 所述第一結合部沿所述接合面的高度方向配置於所述主體部， 所述第二結合部沿所述接合面的高度方向配置於所述尖端部。
13. 如請求項11所述的導電接觸針，其中 所述第一結合部沿所述接合面的周緣方向配置於所述主體部， 所述第二結合部沿所述接合面的周緣方向配置於所述尖端部。

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