TW202237257A - 過濾裝置 - Google Patents

Abstract

過濾裝置10係包括：水槽80，儲存有對象處理液；複數之過濾單元100，被沉入對象處理液之中；以及第2過濾室35，被配置於兩個過濾單元100之間，而且，與具有對象處理液之空間相隔開。在過濾單元100中，第1電極31係設有複數之第1開口31b。第2電極32，其設有複數之第2開口32b，而且，被設成與第1電極31的一邊之面相向。過濾介質34，其設有複數之開口34b，而且，被設於第1電極31與第2電極32之間。第1過濾室30，其被設成與第1電極31的另一邊之面相接，而且，供給有對象處理液。第3電極33，其被設於第1過濾室30，而且，與第1電極31相向。

Description

過濾裝置

本發明係關於一種過濾裝置。

在粒子流體系統漿料之由過濾所做之固液分離中，利用電滲、電泳等以分離分離對象的粒子與液體之方法係被知曉（例如參照專利文獻1、2）。利用電滲之固液分離，其為施加電壓與壓力到被夾在電極間之濾餅層，使濾餅層中的水分，藉電滲作用而通過過濾介質以剔除之方法。又，利用電泳之固液分離，其為使漿料中的粒子藉電泳而移動，以直接接觸到過濾介質，以分離漿料中的粒子之方法。 [先行技術文獻] [專利文獻]

［專利文獻1］日本特開昭61-018410號公報 ［專利文獻2］國際公開第2004/045748號公報

[發明所欲解決的問題]

在直接接觸漿料中的粒子到過濾介質以固液分離之方法中，有可能產生由過濾介質之阻塞所致之過濾速度降低。

本發明之目的，其在於提供一種可提高過濾速度之過濾裝置。 [用以解決問題的手段]

本發明之一側面之過濾裝置，其具有：水槽，儲存有對象處理液；複數過濾單元，被沉入該對象處理液之中；以及第2過濾室，被配置於兩個該過濾單元之間，而且，與該對象處理液所在之空間相隔開；該過濾單元係包含：第1電極，設有複數第1開口；第2電極，設有複數第2開口，與該第1電極的一邊之面相向，而且，與該第2過濾室相接；過濾介質，設有複數開口，而且，被設於該第1電極與該第2電極之間；第1過濾室，被設成與該第1電極的另一邊之面相接，而且，供給有該對象處理液；以及第3電極，被設於該第1過濾室，而且，與該第1電極相向。 [發明功效]

當依據本發明之過濾裝置時，可提高過濾速度。

[用以實施發明的形態]

以下，參照圖面，詳細說明本發明。而且，本發明並不侷限於下述之用於實施發明之形態（以下，稱做實施形態）。又，在下述實施形態中之構造元件中，其包含該業者可容易地假設者、實質上同一者、及所謂均等範圍者。而且，在下述實施形態所開示之構造元件，其可適宜組合。

圖1為實施形態之過濾裝置之示意圖。圖2為實施形態之過濾單元之示意圖。實施形態之過濾裝置10，其為自做為在液體72中，粒子71被分散之對象處理液之漿料70（原液），分離粒子71之裝置。具體來說，過濾裝置10，其可適用於生命科學領域、污水處理、排水處理領域等。在生命科學領域中，其可適用於進行培養細胞、微細藻類、細菌、細菌、病毒等之微生物體培養之生物產業、或培養微生物體生產於體外、體內之酵素、蛋白質、多糖類、脂質等之利用、做為應用領域之發現生物藥物、化妝品業界等、或處理釀造、發酵、搾汁、飲料等之飲料產業。在污水處理、排水處理領域中，於難過濾性之微細生物質水系統漿料中，可適用於生物質粒子之分離。或者，過濾裝置10，其於表面帶電之微粒子，以電氣性排斥作用而高度分散後之膠體粒子系統漿料中，可適用於膠體微粒子之濃縮回收用途。

如圖1所示，過濾裝置10係包括水槽80、複數之濾單元100、複數之第2過濾室35、排出管85、過濾液儲存器86、減壓裝置17、空氣擴散器13、及加壓裝置15。

水槽80係儲存有漿料（原液）70。被儲存於水槽80之漿料（原液）70，其為例如活性污泥。複數之過濾單元100，其沉入漿料（原液）70之中。水槽80中之漿料（原液）70之水面，其處於全部之過濾單元100之上。複數之過濾單元100，其被配置為在水平方向上排列。第2過濾室35，其被配置於在水平方向上排列之兩個過濾單元100間。第2過濾室35，其與水槽80內的漿料（原液）70所在之空間相隔開。兩個過濾單元100間之間隙係被密封，藉此，形成有自漿料（原液）70所處之空間隔開之第2過濾室35。

排出管85，其為用於排出處於第2過濾室35之過濾液之配管。排出管85，其與複數之第2過濾室35相連接。過濾液儲存器86，其被設於排出管85之中途。自複數之第2過濾室35收集之過濾液，其被收集到過濾液儲存器86。排出管85係與減壓裝置17相連接。減壓裝置17係例如真空幫浦。減壓裝置17係賦予負壓到第2過濾室35。藉由減壓裝置17所產生之壓差，第2過濾室35的漿料（原液）70，其暫時收集到過濾液儲存器86後，排出到水槽80之外部。

空氣擴散器13係供給氣泡到漿料（原液）70之裝置。空氣擴散器13係被配置於過濾單元100之下方。空氣擴散器13釋出到漿料（原液）70之氣泡，其上昇而通過過濾單元100。加壓裝置15係與空氣擴散器13相連接。加壓裝置15係例如加壓幫浦。藉加壓裝置15之驅動，氣泡自空氣擴散器13釋出到漿料（原液）70內。

如圖2所示，複數之過濾單元100係包含過濾單元101、過濾單元102、過濾單元103、過濾單元104、過濾單元105、過濾單元106、過濾單元107、及過濾單元108。過濾單元101、過濾單元102、過濾單元103、及過濾單元104，其被配置為在一方向X上排列。過濾單元105、過濾單元106、過濾單元107、及過濾單元108，其被配置為在一方向X上排列。在本實施形態中，一方向X係水平方向。過濾單元101及過濾單元105，其被配置為在相對於一方向X而言直交之另一方向Y上排列。過濾單元102及過濾單元106，其被配置為在另一方向Y上排列。過濾單元103及過濾單元107，其被配置為在另一方向Y上排列。過濾單元104及過濾單元108，其被配置為在另一方向Y上排列。在本實施形態中，另一方向Y係鉛直方向。每一個過濾單元100係具有框體20、第1過濾室30、第1電極31、第2電極32、第3電極33、及過濾介質34。

第1過濾室30，其為被第1電極31及第3電極33所包圍之空間。第1過濾室30，其為鉛直方向（方向Y）之上表面及下表面係開口，與水槽80的內部空間相連接。漿料（原液）70係流入第1過濾室30。第1電極31及第2電極32係網目狀之電極。具體來說，第1電極31，其具有複數之導電細線31a，在複數之導電細線31a間，設有複數之第1開口31b。第2電極32，其具有複數之導電細線32a，於複數之導電細線32a間，設有複數之第2開口32b。第2電極32，其被設成透過過濾介質34，與第1電極31的一邊之面相向。換言之，過濾介質34，其被設於第1電極31與第2電極32之間。第1電極31及第2電極32，其被設成與過濾介質34直接相接。第1電極31、過濾介質34及第2電極32，其中介於第1過濾室30與第2過濾室35之間。第2過濾室35，其藉框體20而與水槽80的內部空間相隔離，但是，透過第1電極31、過濾介質34及第2電極32，以與第1過濾室30相連接。複數之導電細線31a及複數之導電細線32a，其可以為金屬，也可以為碳纖維。而且，第1電極31及第2電極32，其並不侷限於與過濾介質34直接相接之構造，其也可以被配置為在與過濾介質34之間具有間隙。

第3電極33，其為板狀之構件，被設成夾持第1過濾室30，以與第1電極31的另一邊之面相向。一個過濾單元100所包括之第1電極31、第2電極32、第3電極33及過濾介質34，其與在另一方向Y鄰接之過濾單元100共用。換言之，一個第1電極31、一個第2電極32、一個第3電極33及一個過濾介質34之每一個，其與在另一方向Y上鄰接之過濾單元100共用。

在過濾單元101、過濾單元103、過濾單元105及過濾單元107中，於一方向X中（自圖2之左往右），複數電極係以第3電極33、第1電極31、第2電極32之順序排列。在過濾單元102、過濾單元104、過濾單元106及過濾單元108中，於一方向X中（自圖2之左往右），複數電極係以第2電極32、第1電極31、第3電極33之順序排列。

過濾單元102所包括之第3電極33，其與在一方向X上鄰接之過濾單元103共用。過濾單元106所包括之第3電極33，其與在一方向X上鄰接之過濾單元107共用。換言之，在一方向X上，兩個排列之第1過濾室30之間，其被在一方向X上鄰接之過濾單元100（過濾單元102及過濾單元103之組、及過濾單元106及過濾單元107之組）所共用之第3電極33所分割。

而且，在過濾裝置10中，四個過濾單元100，其也可以未必在一方向X上排列。在一方向X上排列之過濾單元100之數量，其可以為三個以下，也可以為五個以上。又，在一方向X上，被配置於兩個排列之第1過濾室30間之第3電極33，其也可以未必被兩個過濾單元100所共用。亦即，在一方向X上，兩個排列之第1過濾室30之間，也可以配置有彼此絕緣之兩個第3電極33。

複數之過濾單元100，其也可以被配置為在相對於一方向X及另一方向Y兩者而言，直交之方向（往圖2中之紙面之深處之方向）上排列。亦即，複數之過濾單元100，其也可以被配置為三維性地排列。

過濾介質34係包含過濾膜34a與開口34b。在過濾膜34a設有複數之開口34b。電場作用於過濾膜34a。過濾介質34係例如適用精密過濾膜（MF膜（Microfilation Membrane））。在實施形態中，過濾介質34，其以樹脂材料等絕緣材料所形成，藉過濾介質34，第1電極31與第2電極32係被絕緣。而且，在圖2中，第1電極31的第1開口31b、第2電極32的第2開口32b及過濾介質34的開口34b，其以相同大小表示，但是，其只不過係為了說明而示意性地表示者，第1開口31b、第2開口32b及開口34b之大小也可以為不同。

而且，圖2所示之過濾單元100之構造，其只不過係一例，只要可形成以第1電極31、第2電極32及過濾介質34與第3電極33所夾持之第1過濾室30，其可以為任何構造。

圖3為概示第1電極、過濾介質及第2電極之構造之剖面圖。如圖3所示，被設於過濾介質34之開口34b之直徑D3，其小於第1電極31的第1開口31b之直徑D1，而且，小於第2電極32的第2開口32b之直徑D2。換言之，複數之導電細線31a之配置節距、複數之導電細線32a之配置節距、及過濾膜34a之配置節距，其被設成彼此不同。例如第1電極31的第1開口31b之直徑D1，其為0.5μm以上500μm以下，例如70μm左右。第2電極32的第2開口32b之直徑D2，其為0.5μm以上1000μm以下，例如100μm左右。被設於過濾介質34之複數之開口34b之直徑D3，其為0.1μm以上100μm以下，1μm以上7μm以下左右則更佳。

又，第1電極31的第1開口31b之直徑D1，其小於第2電極32的第2開口32b之直徑D2。但是，並不侷限於此，第1電極31的第1開口31b之直徑D1，其也可以被形成為與第2電極32的第2開口32b之直徑D2為相同大小。藉這種構造，在至少與第1開口31b及第2開口32b相重疊之領域中，過濾介質34的開口34b，其被設成與複數之導電細線31a及複數之導電細線32a不重疊。又，第1電極31與第2電極32間之距離，其以過濾介質34之厚度規定。

如圖2所示，過濾裝置10係包括複數之第1電源51、複數之第2電源52、及複數之第3電源53。第1電極31，其與第1電源51的第2端子51b電性連接。又，第1電極31，其與第2電源52的第1端子52a電性連接。第2電極32，其與第2電源52的第2端子52b電性連接。第3電極33，其與第3電源53的第1端子53a電性連接。第3電源53的第2端子53b及第1電源51的第1端子51a，其被連接於基準電位GND。基準電位GND係例如接地電位。但是，並不侷限於此，基準電位GND也可以為既定之固定電位。

圖4為表示實施形態之過濾單元之等效電路圖。如圖4所示，第1電源51，其供給極性與粒子71相同之第1電位V1到第1電極31。第1電位V1係例如－30V。第2電源52，其供給極性與粒子71相同，而且，絕對值大於第1電位V1之絕對值之第2電位V2到第2電極32。第2電位V2係例如－40V。第3電源53，其供給極性與粒子71不同之第3電位V3到第3電極33。第3電位V3係例如＋30V。第1電位V1、第2電位V2及第3電位，其可以絕對值設定在1mV以上1000V以下之範圍。

如圖4所示，第1電源51及第3電源53係定電壓源，第2電源52係定電流源。在第1電極31與第2電極32之間，電阻成分R1與電容成分C係並列連接。電阻成分R1及電容成分C，其為藉設有多數之開口34b之過濾介質34，等效表示之成分。又，於第1電極31與第3電極33之間，連接有電阻成分R2。電阻成分R2，其為藉第1過濾室30之漿料（原液）70，等效表示之電阻成分。

第2電源52，其可為定電壓電源，也可為定電流電源。在本實施形態中，第2電源52係定電流源，所以，因應過濾裝置10之過濾之狀態，亦即，因應過濾介質34之電阻成分R1及第1過濾室30之電阻成分R2之變動，第2電位V2係改變。但是，第2電位V2之極性係與粒子71之極性相同，其維持比第1電位V1之絕對值還要大之值。

藉各電極之驅動，粒子71係自水槽80漿料（原液）70分離。粒子71被分離後之液體72，其通過第1電極31、第2電極32及過濾介質34，流到第2過濾室35。粒子71被分離後之液體72，其透過排出管85以被排出到水槽80之外部。

粒子71，其為例如生物質粒子、膠體粒子等，粒子表面係帶負電。具體來說，粒子71在本實施形態中，其為污水活性污泥，但是，其也可以為例如小球藻、微細藻類螺旋藻、膠體二氧化矽、大腸菌等。粒子71之直徑，其因應適用之技術領域、分離對象之種類而不同，但是，其為5nm以上2000μm以下，例如20nm以上500μm以下左右。

粒子71被分散後之液體72，其為水，一部份之水分子73係帶正電。藉此，漿料（原液）70之全體，其成為被電性中和後之狀態。液體72並不侷限於水，其也可以為酒精等。亦即，液體72只要係極性溶媒即可。

又，漿料（原液）70還包含色素蛋白質74。色素蛋白質74，其帶電與粒子71之極性（負）相同，具有小於粒子71之粒徑。色素蛋白質74，其為10nm以上300nm以下，例如30nm左右。而且，也可以沒有色素蛋白質74。

當漿料（原液）70被供給到第1過濾室30時，依據庫侖定律，帶負電之粒子71與第1電極31之間，產生排斥力。又，於帶負電之粒子71與第3電極33之間，產生吸引力。

在此，庫侖定律係以下述之公式（1）表示。

F＝k×（q1×q2／s ²）．．．（1）

在此，k係常數，以k＝4πε表示。q1及q2係電荷，s係電荷間之距離。亦即，距離s愈小，則愈大之庫侖力F作用於粒子71。具體來說，於位於接近第1電極31之位置之粒子71，產生較強力之排斥力，位於接近第3電極33之位置之粒子71，產生較強力之吸引力。在粒子71產生之排斥力及吸引力，其作用於箭頭F1所示之方向，亦即，作用於遠離第1電極31，而接近第3電極33之方向。帶負電之粒子71係藉電泳，移動到第3電極33側。

藉此，過濾裝置10，其可抑制粒子71堆積在第1電極31的表面及過濾介質34的表面，以形成濾餅層之情事。亦即，可增大過濾介質34的開口34b之過濾電阻。

又，帶正電之水分子73，其在與第1電極31之間，產生吸引力。作用於帶正電之水分子73之吸引力，其作用於箭頭F2所示之方向，亦即，作用於自第3電極33往第1電極31之方向。帶正電之水分子73，其移動到第1電極31側。此時，藉第1電極31與第2電極32間之電位差，形成有自第1電極31往第2電極32之電場，使得在厚度方向上，貫穿過濾介質34。

移動到第1電極31側之水分子73，其藉電場而承受力量，以被拉引到第2電極32側，而通過過濾介質34。伴隨著帶正電之水分子73之移動，未帶電之水分子也被拖到第2電極32側，而形成電滲流。藉此，包含帶正電之水分子73之液體72，其流到第2過濾室35。如上所述，粒子71，其藉電泳而自第1電極31被拉離，而移動到第3電極33側，粒子71被分離後之液體72係被排出，藉此，可提高第1過濾室30內的漿料（原液）70的粒子71之濃度。

如此一來，過濾裝置10，其組合在第1電極31與第3電極33之間，藉庫侖力F（產生於粒子71與第1電極31間之排斥力），而移動粒子71之電泳、及藉第1電極31與第2電極32間之電場，移動水分子73以通過過濾介質34之電滲，藉此，可分離粒子71。又，第1電極31係兼用為電泳之電極、及電滲之電極。藉此，其與單純地施加壓力於漿料（原液）70，而分離粒徑大於過濾介質34的開口34b之粒子71之方法相比較下，可抑制在第1電極31的表面及過濾介質34的表面，形成濾餅層之情事，可提高過濾速度到數倍～10倍以上。

換言之，其與單純地施加壓力於漿料（原液）70之方法相比較下，可提高在第1過濾室30內的漿料（原液）70的粒子71之濃縮度。又，可減少過濾介質34之清掃、更換之頻率，可高效地進行漿料（原液）70之過濾。或者，其與單純地施加壓力到漿料（原液）70，以進行過濾之情形相比較下，即使減少第1過濾室30之體積，減少過濾介質34之面積，也可以實現與先前相同程度之過濾速度。亦即，過濾裝置10係可謀求小型化。

又，藉控制形成於第1電極31與第2電極32間之電場，也可控制通過過濾介質34之粒子等級（粒子直徑）。例如藉施加第1電位V1＝－30V於第1電極31，施加第2電位V2＝－40V於第2電極32，而於第1電極31與第2電極32之間，形成屏蔽之電場，可抑制粒徑小於過濾介質34的開口34b之色素蛋白質74，通過過濾介質34之情事。

亦即，即使使用相當於精密過濾膜（MF膜）之過濾介質34時，藉在第1電源51、第2電源52及第3電源53之各電極間之電場控制，也可以變更分離對象的粒子直徑至相當於超過濾膜（UF膜）、或奈米過濾膜（NF膜）。超過濾膜（UF膜），其為開口之直徑係10nm以上100nm以下左右之過濾膜。奈米過濾膜（NF膜），其為開口之直徑係1nm以上10nm以下左右之過濾膜。

而且，上述之過濾裝置10之構造僅係一例，而可適宜變更。例如積層第1電極31、過濾介質34及第2電極32以形成之負極過濾板、及第3電極33，其為平行平板狀地相向配置。並不侷限於此，積層第1電極31、過濾介質34及第2電極32以形成之負極過濾板、及第3電極33，其也可以被形成為分別具有曲面。負極過濾板及第3電極33之形狀、配置等，其可因應過濾裝置10之形狀、構造而適宜變更。又，做為被供給到第1過濾室30之對象處理液之漿料（原液）70之濃度，並未特別侷限，可因應過濾裝置10所適用之領域而變更。

又，第1電位V1、第2電位V2及第3電位V3，其最好因應分離對象的粒子71之種類、要求之過濾特性等，而適宜變更。

過濾裝置10，其未必要包括加壓裝置16及減壓裝置17兩者。過濾裝置10，其也可以僅包括加壓裝置16及減壓裝置17之一者。

在實施形態中，其於第2過濾室35賦予有負壓，第2過濾室35之內部壓力小於第1過濾室30之內部壓力。作為其他之態樣，也可以藉加壓水槽80之水面，使第1過濾室30之內部壓力，大於第2過濾室35之內部壓力。

過濾裝置10也可以不包括第3電源53。圖5為表示實施形態之變形例1之過濾單元之等效電路圖。如圖5所示，在實施形態之變形例1中，第3電極33係例如被連接於基準電位GND。當連接第3電極33到基準電位GND時，其與設置電源於第1電極31、第2電極32、第3電極33之每一個之情形相比較下，可謀求過濾裝置10之小型化。

過濾裝置10，其也可以不包括供給氣泡到對象處理液之空氣擴散器13。圖6為實施形態之變形例2之過濾裝置之示意圖。如上所述，帶負電之粒子71，其藉電泳而移動到第3電極33側（參照圖2）。因此，即使不作用來自空氣擴散器13之氣泡，粒子71也離開過濾介質34之機率較高，而浮遊於水槽80內。結果，較難形成阻塞過濾介質34之濾餅層，而可抑制過濾速度之降低。

如上所述，本實施形態之過濾裝置10係包括：水槽80，儲存有做為對象處理液之漿料70；複數之過濾單元100，沉入對象處理液之中；以及第2過濾室35，被配置於兩個過濾單元100之間，而且，與對象處理液所在之空間相隔開。過濾單元100係包含第1電極31、第2電極32、過濾介質34、第1過濾室30、及第3電極33。第1電極31係設有複數之第1開口31b。第2電極32係設有複數之第2開口32b，而且，被設成與第1電極31的一邊之面相向。過濾介質34，其設有複數之開口34b，而且，被設於第1電極31與第2電極32之間。第1過濾室30，其被設成與第1電極31的另一邊之面相接，而且，供給有對象處理液。第3電極33，其被設於第1過濾室30，而且，與第1電極31相向。

當據此時，僅沉入過濾單元100到水槽80內的對象處理液中，而在過濾單元100浸漬於對象處理液中後之狀態下動作，藉此，可自水槽80內之做為對象處理液之漿料70，分離液體72及粒子71。又，藉在第1過濾室30中，於第1電極31與第3電極33之間，在粒子71產生之庫侖力F（在粒子71與第1電極31間，所產生之排斥力），粒子71係自第1電極31往第3電極33之方向移動。藉這種電泳，可抑制在第1電極31的表面及過濾介質34的表面，形成濾餅層。又，藉由藉第1電極31與第2電極32間之電場，而移動水分子73，以透過過濾介質34之電滲，可分離粒子71，而可提高在第1過濾室30內的漿料（原液）70的粒子71之濃縮度。藉此，其與單純地施加壓力於漿料（原液）70，分離粒徑大於過濾介質34的開口34b之粒子71之方法相比較下，可提高過濾速度為數倍～10倍以上。

又，過濾裝置10，其包含被設於過濾單元100之下方，而且，供給氣泡到對象處理液之空氣擴散器13。

當據此時，水槽80的對象處理液之攪拌係被促進。又，氣泡接觸到第1電極31的表面及過濾介質34的表面，藉此，可更加抑制形成濾餅層。因此，本實施形態之過濾裝置10，其可更加提高過濾速度。

又，過濾裝置10係包含：排出管85，用於排出處於第2過濾室35之過濾液；以及減壓裝置17，被連接於排出管85，賦予負壓到第2過濾室。

當據此時，過濾裝置10，其與加壓水槽80之水面之情形等相比較下，可更容易自第1過濾室30，導引對象處理液到第2過濾室35。

又，在過濾裝置10中，於一個過濾單元100中，第2電極32之第2電位V2之絕對值，其大於第1電極31之第1電位V1之絕對值。第1電極31之第1電位V1與第3電極33之第3電位V3之電位差，其大於第1電位V1與第2電位V2之電位差。

當據此時，其與第1電極31與第2電極32之距離相比較下，即使夾持第1過濾室30以相向之第1電極31與第3電極33之距離較大時，藉電泳，可良好地移動粒子71到第3電極33側。

而且，上述之實施形態，其為用於容易理解本發明者，並非用於侷限解釋本發明者。本發明係在不脫逸其旨趣下，可變更／改良，同時也包含本發明之等效物。

10:過濾裝置 13:空氣擴散器 15:加壓裝置 17:減壓裝置 20:框體 30:第1過濾室 31:第1電極 31a,32a:導電細線 31b:第1開口 32:第2電極 32b:第2開口 33:第3電極 34:過濾介質 34b:開口 35:第2過濾室 51:第1電源 52:第2電源 53:第3電源 70:漿料（對象處理液） 71:粒子（分離對象的粒子） 72:液體 73:水分子 74:色素蛋白質 80:水槽 85:排出管 86:過濾液儲存器 100,101,102,103,104,105,106,107,108:過濾單元

圖1為實施形態之過濾裝置之示意圖。 圖2為實施形態之過濾單元之示意圖。 圖3為概示第1電極、過濾介質及第2電極之構造之剖面圖。 圖4為表示實施形態之過濾單元之等效電路圖。 圖5為表示實施形態之變形例1之過濾單元之等效電路圖。 圖6為實施形態之變形例2之過濾裝置之示意圖。

10:過濾裝置

13:空氣擴散器

15:加壓裝置

17:減壓裝置

30:第1過濾室

35:第2過濾室

80:水槽

85:排出管

86:過濾液儲存器

100:過濾單元

Claims (5)

1. 一種過濾裝置，其具有：水槽，儲存有對象處理液；複數過濾單元，被沉入該對象處理液之中；以及第2過濾室，被配置於兩個該過濾單元間，而且，與具有該對象處理液之空間相隔開， 該過濾單元係包含： 第1電極，設有複數第1開口； 第2電極，設有複數第2開口，與該第1電極的一邊之面相向，而且，與該第2過濾室相接； 過濾介質，設有複數開口，而且，被設於該第1電極與該第2電極之間； 第1過濾室，被設成與該第1電極的另一邊之面相接，而且，供給有該對象處理液；以及 第3電極，被設於該第1過濾室，而且，與該第1電極相向。
2. 如請求項1之過濾裝置，其中其包含被設於該過濾單元之下方，而且，供給氣泡到該對象處理液之空氣擴散器。
3. 如請求項1之過濾裝置，其中其包含： 排出管，用於排出處於該第2過濾室之過濾液；以及 減壓裝置，連接於該排出管，以賦予負壓到該第2過濾室。
4. 如請求項2之過濾裝置，其中其包含： 用於排出處於該第2過濾室之過濾液；以及 減壓裝置，連接於該排出管，以賦予負壓到該第2過濾室。
5. 如請求項1～請求項4中任一項之過濾裝置，其中該第2電極之第2電位之絕對值，其大於該第1電極之第1電位之絕對值， 該第1電位與該第3電極之第3電位之電位差，其大於該第1電位與該第2電位之電位差。

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