TW202228988A - 分離裝置及分離方法 - Google Patents

Abstract

[課題]不使第一板狀構件與第二板狀構件的凹凸接合部的形狀變形而進行剝離。 [解決手段]本發明的分離裝置，其係將相互凹凸狀接合之第一板狀構件與第二板狀構件的凹凸接合部剝離，其特徵為，在收納於形成在腔室的內部之加壓室中之第一板狀構件或第二板狀構件中的任一個的凹凸接合部的背側與腔室的第一室內表面之間設置之分離吸收部係具有移位部位，前述移位部位相對於腔室的第一室內表面，與第一板狀構件或第二板狀構件中的任一個的背側以在其厚度方向上變形或移動自如的方式抵接，在收納於加壓室中之第一板狀構件或第二板狀構件中的另一個的凹凸接合部的背側與腔室的第二室內表面之間設置之保持部係具有固定部位，前述固定部位相對於腔室的第二室內表面，與第一板狀構件或第二板狀構件中的另一個的背側以無法在厚度方向上移動的方式抵接，控制部係如下進行控制：藉由基於對加壓室供給陽壓流體之正壓調整部的動作之加壓室的內壓上升，在與設置於腔室的第一室內表面與分離吸收部之間之氣密狀的第一減壓空間部之間產生壓力差，使第一板狀構件或第二板狀構件中的任一個與分離吸收部的移位部位一同朝向第一減壓空間部移動。

Description

分離裝置及分離方法

本發明係有關一種分離裝置及使用分離裝置之分離方法，該分離裝置用於以包括奈米壓印之壓印技術成形加工之成形模具與成形基板的剝離、並列配置之複數個微型發光二極體等微小器件與黏著卡盤的剝離等中。

以往，作為這種分離裝置，有一種脫模裝置，其具備：剝離防止機構，加壓至不使至少任一個為薄膜狀之模具與被成形物剝離至既定的另一個剝離位置；保持部，保持模具或被成形物中的任一個；張力賦予機構，對模具或被成形物賦予張力；及移動機構，使剝離防止機構與模具及被成形物相對地移動（例如，參閱專利文獻1）。 藉由奈米壓印技術，將模具的成形圖案加壓到樹脂等被成形物上，並利用熱或光將成形圖案轉印到被成形物之後，從被成形物將模具脫下。 在專利文獻1的圖示例中，具備角度調節機構，其相對於被保持部保持之被成形物，從剝離位置將形成為具有撓性之薄膜之模具剝離，並將剝離之後的模具與被成形物之間的角度調節為恆定。亦即，藉由角度調節機構，從被成形物以恆定的脫模角度傾斜地拔下模具的成形圖案。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2015/072572號

[發明所欲解決之問題]

然而，在專利文獻1中，針對轉印到被成形物之凹凸圖案，以既定的角度向傾斜方向拔下模具的成形圖案，因此導致在剝離過程中被成形物的凹凸圖案形狀變形而造成損傷。 詳細而言，對包括圖7（a）～圖7（c）所示之奈米壓印之壓印的情況進行說明。 在圖7（a）所示之剝離之前的狀態下，藉由與模具100的成形圖案110的凹凸接合，轉印到被成形物200之凹凸圖案210相對於被成形物200的底面220垂直狀立起。 但是，在圖7（b）所示之剝離時的狀態下，隨著向傾斜方向拔下模具100的成形圖案110，導致被成形物200的凹凸圖案210中凸狀部211崩塌。 因此，在圖7（c）所示之剝離之後的狀態下，一旦崩塌凹凸圖案210的凸狀部211始終崩塌，而無法復原為剝離之前的狀態。 如此，存在當從被成形物200的凹凸圖案210拔下模具100的成形圖案110之方向（剝離方向）傾斜時，尤其凹凸圖案210的凹凸差越長越容易形狀變形（崩塌），而無法實現高精度的壓印成形的問題。 尤其在奈米壓印的情況下，凹凸圖案極其精細，因此存在剝離時有一點形狀變形（崩塌），亦會成為凹凸圖案的破損因素，而無法製作高精度的凹凸圖案的問題。 [解決問題之技術手段]

為了解決這種問題，本發明之分離裝置，係將相互凹凸狀接合之第一板狀構件與第二板狀構件的凹凸接合部剝離，其特徵為，係具備：加壓室，係形成於腔室的內部，並收納成使凹凸接合之前述第一板狀構件及前述第二板狀構件進出自如；分離吸收部，係設置於收納在前述加壓室中之前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第一室內表面之間；保持部，係設置於收納在前述加壓室中之前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第二室內表面之間；第一減壓空間部，係在前述腔室的前述第一室內表面與前述分離吸收部之間，與前述加壓室分離並設置成氣密狀；正壓調整部，係對前述加壓室供給陽壓流體使內壓上升；及控制部，係對前述正壓調整部進行動作控制，前述分離吸收部係具有移位部位，前述移位部位相對於前述腔室的前述第一室內表面，與前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述背側以在其厚度方向上變形或移動自如的方式抵接，前述保持部係具有固定部位，前述固定部位相對於前述腔室的前述第二室內表面，與前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述背側以無法在前述厚度方向上移動的方式抵接，前述控制部係以如下方式進行控制：藉由基於前述正壓調整部的動作之前述加壓室的內壓上升，在與前述第一減壓空間部之間產生壓力差，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個與前述分離吸收部的前述移位部位一同朝向前述第一減壓空間部移動。 又，為了解決這種問題，本發明之分離方法，係將相互凹凸狀接合之第一板狀構件與第二板狀構件的凹凸接合部剝離，其特徵為，係包括：搬入步驟，係朝形成於腔室的內部之加壓室運入凹凸接合之前述第一板狀構件及前述第二板狀構件；保持步驟，係在前述加壓室中將前述第一板狀構件及前述第二板狀構件進行定位；加壓步驟，係對保持前述第一板狀構件及前述第二板狀構件之前述加壓室供給陽壓流體使內壓上升；剝離步驟，係在內壓上升之前述加壓室中將前述第一板狀構件與前述第二板狀構件的前述凹凸接合部剝離；及搬出步驟，係將已剝離前述凹凸接合部之前述第一板狀構件和前述第二板狀構件從前述加壓室中取出，在前述保持步驟中，相對於設置於前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第一室內表面之間之分離吸收部的移位部位，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述背側在其厚度方向上抵接，並且相對於設置於前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第二室內表面之間之保持部的固定部位，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述背側在前述厚度方向上抵接，在前述剝離步驟中，在藉由前述陽壓流體的供給使內壓上升之前述加壓室與第一減壓空間部之間產生壓力差，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個與前述分離吸收部的前述移位部位一同朝向前述第一減壓空間部移動，前述第一減壓空間部係在前述腔室的前述第一室內表面與前述分離吸收部之間，與前述加壓室分離並設置成氣密狀。

以下，依據圖式對本發明的實施形態進行詳細說明。 本發明的實施形態之分離裝置A及分離方法係如圖1～圖6所示，如同以包括奈米壓印之壓印技術成形加工之成形模具與成形基板的剝離、並列配置之複數個微型發光二極體等微小器件與黏著卡盤的剝離等，將相互凹凸狀接合之第一板狀構件B與第二板狀構件C剝離來進行分離之剝離裝置和剝離方法。 第一板狀構件B由玻璃或合成樹脂等硬質材料形成為薄板狀，作為與第二板狀構件C對置之表側的凹凸接合部具有第一凹凸部B1。 第二板狀構件C由玻璃或合成樹脂等硬質材料形成為薄板狀，作為與第一板狀構件B對置之表側的凹凸接合部具有使第一凹凸部B1凹凸接合之第二凹凸部C1。 另外，第一板狀構件B與第二板狀構件C通常配置成在上下方向上接合，以下將第一板狀構件B及第二板狀構件C的厚度方向稱為“Z方向”。以下將沿與Z方向交叉之第一板狀構件B及第二板狀構件C之方向稱為“XY方向”。

當相互凹凸接合之第一板狀構件B與第二板狀構件C使用於包括奈米壓印之壓印等時，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個相當於成形模具，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個相當於成形基板。 在藉由壓印成形將成形模具的凹凸圖案轉印到成形基板之狀態下，凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）相互凹凸接合，而成為能夠輸送地一體化之積層狀態。 又，當相互凹凸接合之第一板狀構件B與第二板狀構件C使用於在使並列配置之複數個微型發光二極體等微小器件維持姿勢之狀態下輸送之後而轉移到輸送目的地之輸送裝置等時，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個相當於並列配置之微小器件，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個相當於黏著卡盤。在為了接收微小器件而在並列配置之微小器件的表面黏著黏著卡盤之狀態下，凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）相互凹凸接合，而成為能夠輸送地一體化之積層狀態。

作為第一板狀構件B及第二板狀構件C的具體例，在圖1～圖6所示之情況下，第一板狀構件B為包括奈米壓印之壓印的成形模具，第二板狀構件C為成形基板。 此外，在第一板狀構件B中成為表側的凹凸接合部之第一凹凸部B1的背側（相反側）亦即第一背面B2上，由硬質材料而成之第一保持板B3被安裝成能夠裝卸。在第一保持板B3的表面，第一板狀構件B以突出的方式配置。 與此相同，在第二板狀構件C中成為表側的凹凸接合部之第二凹凸部C1的背側（相反側）亦即第二背面C2上，由硬質材料而成之第二保持板C3被安裝成能夠裝卸。在第二保持板C3的表面，第二板狀構件C以突出的方式配置。 第一保持板B3及第二保持板C3形成為矩形（包括長方形及正方形之角度為直角的四邊形）的板形狀或圓形的晶圓形狀，藉由夾持凹凸接合之第一板狀構件B及第二板狀構件C，成為能夠輸送地一體化之積層體D。 作為積層體D，藉由並列配置複數個第一板狀構件B及第二板狀構件C，同時剝離複數個凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）為較佳。 在積層體D中第一保持板B3與第二保持板C3之間，除了第一板狀構件B及第二板狀構件C之外具有間隙E為較佳。作為間隙E的具體例，可列舉形成於複數個第一板狀構件B及第二板狀構件C的外側之方框狀或圓環狀等外側間隙E1、通過複數個第一板狀構件B及第二板狀構件C彼此之間之貫通間隙E2、與開鑿於第一保持板B3或第二保持板C3之通孔D1連通之內側間隙E3等。 在圖示例中成為成形基板之第二板狀構件C在由硬質材料而成之基板C4的表面積層藉由成為第二凹凸部C1之光或熱等進行圖案轉印之樹脂層C5。 又，作為其他例雖未圖示，但亦能夠進行不安裝第一保持板B3或第二保持板C3，而直接將第一板狀構件B與第二板狀構件C剝離的變更。

詳細而言，本發明的實施形態之分離裝置A，作為主要的構成要素具備：加壓室1，收納相互凹凸接合之第一板狀構件B及第二板狀構件C；分離吸收部2，設置於收納在加壓室1中之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側；保持部3，設置於收納在加壓室1中之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側；第一減壓空間部4，與加壓室1分離而設置；及正壓調整部5，設置成使加壓室1的內壓上升。 此外，具有如下構件為較佳：第一負壓調整部6，使第一減壓空間部4的內壓下降；第二減壓空間部7，與加壓室1分離而設置；第二負壓調整部8，使第二減壓空間部7的內壓下降；及控制部9，動作控制正壓調整部5、第一負壓調整部6及第二負壓調整部8等。

加壓室1在腔室10的內部形成為能夠密閉，遍及腔室10內的加壓室1與腔室10的外部空間以進出自如的方式收納第一板狀構件B及第二板狀構件C。 腔室10的內部具有與所搬入之第一板狀構件B及第二板狀構件C在厚度方向（Z方向）上對置狀配置之第一室內表面10a和第二室內表面10b。 第一室內表面10a與第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的凹凸接合部（第一凹凸部B1或第二凹凸部C1）的背側直接或間接地在Z方向上對置形成於XY方向的平面上。第二室內表面10b與第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的凹凸接合部（第一凹凸部B1或第二凹凸部C1）的背側直接或間接地在Z方向上對置形成於XY方向的平面上。 腔室10具有用於使第一板狀構件B及第二板狀構件C相對於能夠密閉的加壓室1進出的出入口10c。腔室10的出入口10c構成為開閉自如，且藉由由致動器等構成之驅動機構10d開閉。 在加壓室1搬入第一板狀構件B及第二板狀構件C時，在凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）凹凸狀接合之凹凸接合狀態下，例如利用輸送機器人等輸送機構（未圖示）進行。從加壓室1搬出第一板狀構件B及第二板狀構件C時，在凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）剝離之分離狀態下，藉由輸送機構等依序或同時進行。

作為加壓室1的具體例，在圖1～圖6所示之情況下，安裝於第一板狀構件B中表側的第一凹凸部B1的背側亦即第一背面B2之第一保持板B3配置成與上側的第一室內表面10a對置。安裝於第二板狀構件C中表側的第二凹凸部C1的背側亦即第二背面C2之第二保持板C3與下側的第二室內表面10b對置配置。 在第一室內表面10a與第二室內表面10b之間，第三室內表面10e形成於Z方向的平面上。 又，作為其他例子雖未圖示，但亦能夠與上側的第一室內表面10a對置配置第二板狀構件C的第二保持板C3，且與下側的第二室內表面10b對置配置第一板狀構件B的第一保持板B3。 此外，在腔室10的第一室內表面10a，為了對第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側等進行位置檢測而配置間隙檢測感測器（未圖示）為較佳。

分離吸收部2與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的凹凸接合部（第一凹凸部B1或第二凹凸部C1）的背側在其厚度方向（Z方向）上接觸，並且與腔室10的第一室內表面10a相隔配置。 分離吸收部2具有相對於腔室10的第一室內表面10a，與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側在厚度方向（Z方向）上抵接之移位部位2a。 移位部位2a構成為能夠在厚度方向（Z方向）上變形或移動，與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側抵接，從而在與厚度方向（Z方向）交叉之方向（XY方向）上無法錯位地被定位而一體化。 亦即，分離吸收部2構成為相對於腔室10的第一室內表面10a，移位部位2a配置成在Z方向上變形自如或移動自如，伴隨移位部位2a的變形或移動，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個在Z方向上移動。 在分離吸收部2與腔室10的第一室內表面10a之間，第一減壓空間部4與加壓室1相隔形成。第一減壓空間部4相對於分離吸收部2的移位部位2a，與第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側抵接，從而形成為氣密狀。 此外，分離吸收部2具有將第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側與第一減壓空間部4連通之第一通氣口2b為較佳。

作為分離吸收部2的具體例，在圖1～圖6所示之情況下，通過開設於分離吸收部2之第一通氣口2b，第一減壓空間部4與第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側始終連通。因此，利用藉由後述第一負壓調整部6下降之第一減壓空間部4的內壓與加壓室1的內壓的壓量差，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個能夠真空吸附於分離吸收部2的移位部位2a。 藉此，藉由加壓室1的內壓上升，將第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個裝卸自如地吸附保持於移位部位2a而臨時固定。 又，作為分離吸收部2的其他例子雖未圖示，但亦能夠變更為使用黏著構件或靜電吸附等之臨時固定來代替真空吸附。

保持部3配置成與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C的背側在其厚度方向（Z方向）上接觸。 此外，保持部3具有固定部位3a，該固定部位3a相對於腔室10的第二室內表面10b，與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側以無法在厚度方向（Z方向）上移動的方式抵接。 亦即，保持部3構成為藉由使第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個相對於固定部位3a抵接，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個被保持為無法在Z方向上移動。 在保持部3與腔室10的第二室內表面10b之間，與加壓室1相隔形成第二減壓空間部7為較佳。第二減壓空間部7使第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個與保持部3的固定部位3a抵接，從而形成為氣密狀。 又，保持部3具有將第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側與第二減壓空間部7連通之第二通氣口3b為較佳。

作為保持部3的具體例，在圖1～圖6所示之情況下，係固定於腔室10的第二室內表面10b之保持用環狀體31，保持用環狀體31的內側空間成為第二通氣口3b而形成第二減壓空間部7。 保持用環狀體31例如由軟質合成樹脂或橡膠等能夠彈性變形的材料、或者硬質合成樹脂或金屬等無法變形的材料形成為方框狀或圓環狀等。在保持用環狀體31的厚度方向（Z方向）的一端部具有保持於腔室10的第二室內表面10b之保持用固定部位31a。保持用環狀體31中成為固定部位3a之厚度方向（Z方向）的另一端部與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側（在圖示例中為安裝於第二板狀構件C的第二背面C2之第二保持板C3）抵接。 此外，成為保持部3的第二通氣口3b之第二減壓空間部7與第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側始終連通，因此利用藉由後述第二負壓調整部8下降之第二減壓空間部7的內壓與加壓室1的內壓的壓量差，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個能夠真空吸附於保持部3的固定部位3a。 藉此，藉由加壓室1的內壓上升，將第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個裝卸自如地吸附保持於固定部位3a而臨時固定。 又，作為保持部3的其他例子雖未圖示，但亦能夠變更為利用黏著構件或靜電吸附等之臨時固定來代替真空吸附。

正壓調整部5構成為藉由從供給源（未圖示）朝向加壓室1供給壓縮空氣、氣體、水等陽壓流體5F使內壓上升。 作為正壓調整部5的具體例，在圖1（a）等所示之情況下，例如具有從壓縮機等供氣用驅動源（未圖示）貫通腔室10來通過加壓室1之正壓通道5a及設置於正壓通道5a中途之正壓用控制閥5b。 藉由正壓調整部5（供氣用驅動源或正壓用控制閥5b）的動作，加壓室1的內壓能夠設定為大氣氣氛至既定的高壓氣氛。 詳細而言，藉由供氣用驅動源或正壓用控制閥5b的動作控制，控制供給至正壓通道5a之陽壓流體5F的總量來階段性地調整加壓室1的內壓為較佳。

第一負壓調整部6構成為藉由從第一減壓空間部4排出空氣等第一陰壓流體6F，第一負壓調整部6的內壓比加壓室1的內壓更下降。 作為第一負壓調整部6的具體例，在圖1（a）等所示之情況下，例如具有從真空泵等第一排氣用驅動源（未圖示）貫通腔室10來通過第一減壓空間部4之第一負壓通道6a及設置於第一負壓通道6a中途之第一負壓用控制閥6b。 藉由第一負壓調整部6（第一排氣用驅動源或第一負壓用控制閥6b）的動作，第一減壓空間部4的內壓能夠設定為大氣氣氛至真空或接近真空的低壓氣氛。 詳細而言，藉由第一排氣用驅動源或第一負壓用控制閥6b的動作控制，控制從第一負壓通道6a排出之第一陰壓流體6F的總量來階段性地調整第一減壓空間部4的內壓為較佳。

第二負壓調整部8構成為藉由從第二減壓空間部7排出空氣等第二陰壓流體8F，第二負壓調整部8的內壓比加壓室1的內壓更為下降。 作為第二負壓調整部8的具體例，在圖1（a）等所示之情況下，例如具有從真空泵等第二排氣用驅動源（未圖示）貫通腔室10來通過第二減壓空間部7之第二負壓通道8a及設置於第二負壓通道8a中途之第二負壓用控制閥8b。 藉由第二負壓調整部8（第二排氣用驅動源或第二負壓用控制閥8b）的動作，第二減壓空間部7的內壓能夠設定為大氣氣氛至真空或接近真空的低壓氣氛。 詳細而言，藉由第二排氣用驅動源或第二負壓用控制閥8b的動作控制，控制從第二負壓通道8a排出之第二陰壓流體8F的總量來階段性地調整第二減壓空間部7的內壓為較佳。

控制部9為具有與正壓調整部5、第一負壓調整部6及第二負壓調整部8等分別電連接之控制電路（未圖示）之控制器。 此外，與開閉腔室10的出入口10c之驅動機構10d電連接。除此以外，還與用於使第一板狀構件B及第二板狀構件C相對於加壓室1進出的輸送機構等電連接。 成為控制部9之控制器，按照預先設定於其控制電路（未圖示）之程式，在預先設定之時刻依序分別進行動作控制。

之後，將設定於控制部的控制電路之程式作為基於分離裝置A之分離方法進行說明。 使用本發明的實施形態之分離裝置A之分離方法分成剝離過程及取出過程。 剝離過程作為主要的步驟，包括：搬入步驟，在加壓室1中運入第一板狀構件B及第二板狀構件C；保持步驟，在加壓室1內將第一板狀構件B及第二板狀構件C保持為氣密狀；加壓步驟，使加壓室1內壓上升；及剝離步驟，在加壓室1內將第一板狀構件B與第二板狀構件C剝離。 在搬入步驟中，如圖1（a）等所示，藉由輸送機構的動作，將凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）相互凹凸接合而一體化之第一板狀構件B及第二板狀構件C送入加壓室1進行收納。 在保持步驟中，如圖2（a）等所示，使第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）的背側在厚度方向（Z方向）上抵接於分離吸收部2的移位部位2a。因此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側在與厚度方向（Z方向）交叉之方向（XY方向）上無法錯位地定位於分離吸收部2的移位部位2a而一體化。藉此，伴隨在移位部位2a的厚度方向（Z方向）上的變形或移動，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側能夠相對於腔室10的第一室內表面10a移動。 與此同時，使第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）的背側在厚度方向（Z方向）上抵接於保持部3的固定部位3a。藉此，相對於腔室10的第二室內表面10b無法在厚度方向（Z方向）上移動。

在加壓步驟中，如圖2（b）等所示，藉由正壓調整部5的動作，朝向保持第一板狀構件B及第二板狀構件C之加壓室1供給陽壓流體5F使內壓上升。 在剝離步驟中，如圖2（c）等所示，伴隨加壓室1的內壓上升，比形成於腔室10的第一室內表面10a與分離吸收部2之間之第一減壓空間部4的內壓成為高壓。因此，在加壓室1的內壓與第一減壓空間部4的內壓之間產生壓力差，而產生朝向第一減壓空間部4拉攏分離吸收部2之引力。 藉由該引力，與分離吸收部2一同經由移位部位2a抵接之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個藉由陽壓流體5F朝向第一減壓空間部4被拉攏而移動。藉此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個相對於因固定部位3a無法在厚度方向（Z方向）上移動的另一個在厚度方向（Z方向）上被剝下，從而剝離凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）。 此時，藉由配置於腔室10的第一室內表面10a之間隙檢測感測器，對第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側等進行位置檢測，以對其檢測值進行監視，從而能夠檢測凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）的剝離進展或剝離完成的情況。

除此之外，在加壓步驟中，藉由第一負壓調整部6的動作，使第一減壓空間部4的內壓下降為較佳。 如圖2（b）等所示，藉由基於正壓調整部5的動作之陽壓流體5F的供給使加壓室1內壓上升的同時，藉由來自第一減壓空間部4的排氣，第一減壓空間部4的內壓相對於加壓室1的內壓之壓力差變得更大。在圖示例中，分離吸收部2具有第一通氣口2b，因此將第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側真空吸附於分離吸收部2的移位部位2a。 此外，在加壓步驟中，藉由第二負壓調整部8的動作，使形成於腔室10的第二室內表面10b與保持部3之間之第二減壓空間部7的內壓下降為較佳。 在圖示例中，保持部3具有第二通氣口3b，因此在加壓室1的內壓上升的同時或加壓室1的內壓開始上升之前，藉由從第二減壓空間部7的排氣，將第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側真空吸附於保持部3的固定部位3a。 又，如同圖示例，當在安裝於第一板狀構件B的第一背面B2之第一保持板B3與安裝於第二板狀構件C的第二背面C2之第二保持板C3之間具有能夠使陽壓流體5F侵入的間隙E時，陽壓流體5F侵入第一保持板B3及第二保持板C3的間隙E，從而產生使第一板狀構件B與第二板狀構件C相對地推開之推斥力。

取出過程作為主要的步驟包括：減壓步驟，使加壓室1內壓下降；一次搬出步驟，從加壓室1取出第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個；及二次搬出步驟，從加壓室1取出第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個。 在減壓步驟中，如圖3（a）所示，使正壓調整部5動作停止，並且將充滿於加壓室1之陽壓流體5F釋放到加壓室1的外部等進行大氣釋放，從而加壓室1內壓下降。 在一次搬出步驟中，如圖3（b）所示，藉由第二負壓調整部8的動作停止和輸送機構的動作，從保持部3拆卸第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個（在圖示例中為第二板狀構件C）並搬出到加壓室1外部。 在二次搬出步驟中，如圖3（c）所示，藉由第一負壓調整部6的動作停止和輸送機構的動作，從分離吸收部2拆卸第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個（在圖示例中為第一板狀構件B）並搬出到加壓室1外部。

接著，對加壓室1（腔室10）、分離吸收部2、積層體D的構造等不同的情況的代表例（第一實施形態～第四實施形態）進行說明。 圖1～圖3所示之第一實施形態的分離裝置A1為分割類型的加壓室1，係將在凹凸接合之第一板狀構件B及第二板狀構件C的外側安裝有第一保持板B3及第二保持板C3之積層體D，藉由分離吸收部2的變形來剝離之情況。 分割類型的加壓室1係指將腔室10分割為第一腔室11和第二腔室12，以在相隔之第一腔室11與第二腔室12之間形成出入口10c。在出入口10c夾裝有由方框狀或圓環狀的襯墊或Ｏ型環等而成之密封件13。 藉由驅動機構10d使第一腔室11或第二腔室12相對地靠近，從而出入口10c藉由密封件13關閉為氣密狀，使加壓室1開閉自如並且成為密封構造。 在圖示例中，僅使上側的第一腔室11相對於下側的第二腔室12往返移動，但亦能夠變更為僅使下側的第二腔室12或第一腔室11及第二腔室12均往返移動等圖示例以外的構造。

能夠變形的分離吸收部2由相對於腔室10的第一室內表面10a安裝成能夠在Z方向上彈性變形之彈性通氣體21構成。 在圖示例中，彈性通氣體21由襯墊或Ｏ型環等環狀構件而成，該環狀構件例如由軟質合成樹脂或橡膠等能夠彈性變形的材料形成為在其中央具有一個第一通氣口2b之方框狀或圓環狀等。在彈性通氣體21的厚度方向（Z方向）的一端部具有安裝於腔室10的第一室內表面10a之安裝部位21a。彈性通氣體21將厚度方向（Z方向）的另一端部作為移位部位2a，而與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側（在圖示例中安裝於第一板狀構件B的第一背面B2之第一保持板B3）抵接，從而在彈性通氣體21的內側形成第一減壓空間部4。 因此，藉由基於陽壓流體5F的流入之加壓室1的內壓上升和第一減壓空間部4的內壓的差，彈性通氣體21在Z方向上彈性地壓縮變形，使第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個與其移位部位2a一同朝向第一減壓空間部4移動。藉此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個（在圖示例中為第一板狀構件B）從另一個（在圖示例中為第二板狀構件C）被剝下。 另外，作為彈性通氣體21的其他例子雖未圖示，但亦能夠使用具有複數個第一通氣口2b之板狀構件或具有多個第一通氣口2b之多孔質構件等來代替環狀構件。 在該等情況下，藉由配置於腔室10的第一室內表面10a之間隙檢測感測器，對第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個（在圖示例中為第一板狀構件B）進行位置檢測，從而能夠檢測第一板狀構件B的異常變形或過度變形。亦能夠設置用於機械防止第一板狀構件B的過度變形的制動器等變形抑制構件（未圖示）。 此外，在圖1（a）～圖1（c）所示之例子中，在成為積層體D之第一保持板B3與第二保持板C3之間，複數個第一板狀構件B及第二板狀構件C在XY方向上分別以既定間隔並列配置，且具有方框狀的外側間隙E1、在XY方向的兩個方向上直線狀通過之複數條貫通間隙E2。 藉此，陽壓流體5F不僅侵入到外側間隙E1，而且還分別侵入到複數條貫通間隙E2中，因此產生將第一板狀構件B與第二板狀構件C整體推開之推斥力。

圖4（a）～圖4（c）所示之第二實施形態的分離裝置A2係局部開閉類型的加壓室1之構成與前述第一實施形態不同，其他構成與第一實施形態相同。 在圖示例中，在箱形腔室14的一部分開設出入口10c，且藉由驅動機構10d使門體14a相對於出入口10c開閉活動。 藉此，構成為加壓室1的一部分開閉自如並且成為密封構造。

圖5（a）～圖5（c）所示之第三實施形態的分離裝置A3係藉由分離吸收部2的移動來剝離積層體D之構成與前述第一實施形態不同，其他構成與第一實施形態相同。 能夠移動的分離吸收部2由被支撐為相對於腔室10的第一室內表面10a能夠在Z方向上往返移動之升降通氣體22構成。 在圖示例中，升降通氣體22例如由硬質合成樹脂或金屬等無法變形的材料形成為在其中央具有一個第一通氣口2b之四角板狀或圓板狀等之板狀構件而成。升降通氣體22的側面具有被支撐為沿腔室10的第三室內表面10e在Z方向上往返移動自如並且氣密狀之滑動部位22a。腔室10的第三室內表面10e具有朝向升降通氣體22突出之一側制動器10f及另一側制動器10g。藉由在Z方向上移動之升降通氣體22與一側制動器10f或另一側制動器10g抵接，限制升降通氣體22的移動範圍。升降通氣體22將厚度方向（Z方向）的前端部作為移位部位2a，而與所搬入之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側（在圖示例中安裝於第一板狀構件B的第一背面B2之第一保持板B3）抵接，從而在升降通氣體22與腔室10的第一室內表面10a之間形成第一減壓空間部4。 因此，藉由基於陽壓流體5F的流入之加壓室1的內壓上升和第一減壓空間部4的內壓的差，升降通氣體22在Z方向上移動，使第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個與其移位部位2a一同朝向第一減壓空間部4移動。藉此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個（在圖示例中為第一板狀構件B）從另一個（在圖示例中為第二板狀構件C）被剝下。 另外，作為升降通氣體22的其他例子雖未圖示，但亦能夠使用具有複數個第一通氣口2b之板狀構件或具有多個第一通氣口2b之多孔質板狀構件等來代替具有一個第一通氣口2b之板狀構件。 此外，亦能夠變更為如下支撐構造來代替升降通氣體22的滑動部位22a被支撐為能夠沿第三室內表面10e移動之支撐構造，亦即在不銹鋼等能夠彈性變形的薄板狀的撓性構件的中央將升降通氣體22支撐為浮島狀，從而藉由撓性構件的彈性變形將升降通氣體22支撐為能夠在Z方向上往返移動。在該浮島狀的情況下，將撓性構件的外周安裝到腔室10的第三室內表面10e，從而第一減壓空間部4在撓性構件的背側與加壓室1分離並設置成氣密狀。

如圖6（a）～圖6（c）所示之第四實施形態的分離裝置A4係剝離形成有與第一保持板B3或第二保持板C3的通孔D1連通之內側間隙E3之積層體D之構成與前述第一實施形態不同，其他構成與第一實施形態相同。 通孔D1在第一保持板B3或第二保持板C3中的任一個或兩者上，與第一減壓空間部4或第二減壓空間部7相隔被鑿開，並使加壓室1的陽壓流體5F通過通孔D1侵入到內側間隙E3。 在圖示例中，在成為積層體D之第一保持板B3與第二保持板C3之間，複數個第一板狀構件B及第二板狀構件C在以內側間隙E3為中心之圓周方向等上分別以既定間隔並列配置，且具有外側間隙E1及在以內側間隙E3為中心之放射方向上等直線狀通過之複數條貫通間隙（未圖示）。 在與第一減壓空間部4對置之第一保持板B3或第二保持板C3中的任一個（在圖示例中為第一保持板B3）的中央鑿開通孔D1。 在與通孔D1對置之腔室10的第一室內表面10a以與通孔D1連通的方式形成使陽壓流體5F通過之正壓導入通道5c，以從正壓導入通道5c的流出口在通孔D1導入陽壓流體5F。 又，與前述第一實施形態相同地，利用分離吸收部2的變形來剝離積層體D，但在腔室10的第一室內表面10a打開正壓導入通道5c的流出口，因此需要將正壓導入通道5c的流出口至通孔D1之通道與第一減壓空間部4分離為氣密狀。 因此，圖示例的分離吸收部2與相當於第一實施形態的彈性通氣體21之外側環狀構件23另行地以包圍從正壓導入通道5c的流出口至通孔D1之通道的方式設置內側環狀構件24。在外側環狀構件23與內側環狀構件24之間形成有第一減壓空間部4。 另外，作為彈性通氣體21的其他例子雖未圖示，但亦能夠使用具有複數個第一通氣口2b之板狀構件或具有多個第一通氣口2b之多孔質構件等來代替外側環狀構件23或內側環狀構件24。 藉此，陽壓流體5F不僅侵入到外側間隙E1，而且還通過正壓導入通道5c、內側環狀構件24的內側通道、通孔D1而侵入到內側間隙E3，且從貫通間隙E2分別流入複數條貫通間隙E2中，因此產生將第一板狀構件B與第二板狀構件C整體地推開之推斥力。

依據這種本發明的實施形態之分離裝置A及分離方法，將凹凸接合之第一板狀構件B及第二板狀構件C收納到加壓室1中，從而第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側（在圖示例中為第一背面B2側）與分離吸收部2的移位部位2a抵接，而能夠相對於腔室10的第一室內表面10a在厚度方向（Z方向）上變形或移動。第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側（在圖示例中為第二背面C2側）與保持部3的固定部位3a抵接，而無法相對於腔室10的第二室內表面10b在厚度方向（Z方向）上移動。 在該收納狀態下對加壓室1供給陽壓流體5F，從而加壓室1的內壓上升而變得比第一減壓空間部4的內壓更高。因此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個（在圖示例中為第一板狀構件B）與分離吸收部2的移位部位2a一同朝向第一減壓空間部4移動。藉此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個（在圖示例中為第一板狀構件B）從另一個（在圖示例中為第二板狀構件C）被剝下。 因此，能夠不使第一板狀構件B與第二板狀構件C的凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）形狀變形（崩塌）而進行剝離。 其結果，與從轉印到被成形物之凹凸圖案傾斜地拔下模具的凹凸圖案之習知技術相比，即使凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）的突出量變長，亦能夠防止伴隨剝離之形狀變形。 因此，當用於包括奈米壓印之壓印成形等中時，能夠不破壞凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）的凹凸圖案而製作高精度的凹凸圖案。 又，在將並列配置之複數個微型發光二極體等微小器件從黏著卡盤剝離來進行微小器件的轉移之輸送裝置等的情況下，不使微小器件破損而進行高精度的轉移。

尤其，具備使第一減壓空間部4的內壓下降之第一負壓調整部6為較佳。 在該情況下，與加壓室1的內壓上升同時，藉由第一負壓調整部6使第一減壓空間部4的內壓下降，從而加壓室1的內壓與第一減壓空間部4的內壓的壓力差變得更大。 因此，朝向第一減壓空間部4拉攏分離吸收部2之引力增大。 因此，能夠將相互凹凸接合之第一板狀構件B與第二板狀構件C的凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）平滑地剝離。 其結果，可實現剝離能力的提高。 此外，藉由正壓調整部5（供氣用驅動源或正壓用控制閥5b）或第一負壓調整部6（第一排氣用驅動源或第一負壓用控制閥6b）中的任一個或兩者的動作控制，相對地段階性地調整加壓室1的內壓與第一減壓空間部4的內壓之情況下，能夠將凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）更平滑地剝離。 又，由於加壓室1的內壓與第一減壓空間部4的內壓的壓力差，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個的背側（在圖示例中為第一背面B2側）能夠真空吸附於分離吸收部2的移位部位2a。藉此，由於加壓室1的內壓與第一減壓空間部4的內壓的壓力差，能夠吸附保持與分離吸收部2的移位部位2a一同朝向第一減壓空間部4移動之第一板狀構件B或第二板狀構件C中的任一個。

此外，具備形成於腔室10的第二室內表面10b與保持部3之間之氣密狀的第二減壓空間部7及使第二減壓空間部7的內壓下降之第二負壓調整部8為較佳。 在該情況下，藉由從加壓室1的內壓上升的同時或加壓室1的內壓開始上升之前使第一減壓空間部4的內壓下降，在加壓室1的內壓與第一減壓空間部4的內壓之間產生壓力差。 因此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個的背側（在圖示例中為第二背面C2側）藉由壓力差而真空吸附於保持部3的固定部位3a。藉此，第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個被吸附保持為無法移動。 因此，能夠在保持部3的固定部位3a牢固地固定第一板狀構件B或第二板狀構件C中的另一個。 其結果，能夠將相互凹凸接合之第一板狀構件B與第二板狀構件C的凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）可靠地剝離。

又，在第一板狀構件B的第一背面B2安裝有第一保持板B3，且在第二板狀構件C的第二背面C2安裝有第二保持板C3，並且在第一保持板B3與第二保持板C3之間具有能夠使陽壓流體5F流入的間隙E為較佳。 在該情況下，藉由加壓室1與第一減壓空間部4的壓力差，產生朝向第一減壓空間部4拉攏離間吸收部2之引力之同時，陽壓流體5F侵入到間隙E中而產生使第一板狀構件B與第二板狀構件C的凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）相對地推開之推斥力。 因此，引力與推斥力相輔相成而能夠將凹凸接合部（第一凹凸部B1、第二凹凸部C1）更平滑地剝離。 其結果，可實現剝離能力的進一步的提高。

另外，上述實施形態（第一實施形態～第四實施形態）中，對第一板狀構件B及第二板狀構件C為包括奈米壓印之壓印的成形模具與成形基板之情況進行了說明，但並不限定於此，亦可以用作進行微小器件的轉移之輸送裝置。 在該情況下，從第一保持板B3突出狀配置之複數個第一板狀構件B或從第二保持板C3突出狀配置之複數個第二板狀構件C中的任一個為並列配置之微小器件，另一個成為與複數個第一板狀構件B或第二板狀構件C凹凸接合之黏著卡盤。 即使在這種情況下，亦可獲得與上述第一實施形態～第四實施形態相同的作用和優點。

1:加壓室 2（21）:分離吸收部（彈性通氣體） 2a:移位部位 2b:第一通氣口 3（31）:保持部（保持用環狀體） 3a:固定部位 3b:第二通氣口 4:第一減壓空間部 5:正壓調整部 5a:正壓通道 5F:陽壓流體 6:第一負壓調整部 6a:第一負壓通道 6F:第一陰壓流體 7:第二減壓空間部 8:第二負壓調整部 8a:第二負壓通道 8F:第二陽壓流體 9:控制部 10a:第一室內表面 10b:第二室內表面 10d:驅動機構 10e:第三室內表面 11:第一腔室 12:第二腔室 13:密封件 21a:安裝部位 31a:保持用固定部位 A（A1）:分離裝置 B:第一板狀構件 B1:凹凸接合部（第一凹凸部） B2:第一凹凸部的背側、第一背面 B3:第一保持板 C:第二板狀構件 C1:凹凸接合部（第二凹凸部） C2:第二凹凸部的背側、第二背面 C3:第二保持板 E（E1）:間隙（外側間隙） E（E2）:間隙（貫通間隙）

圖1係表示本發明的實施形態（第一實施形態）之分離裝置及分離方法的整體構成之說明圖，圖1（a）係搬入步驟的縱斷前視圖，圖1（b）係圖1（a）的橫斷俯視圖，圖1（c）係局部放大一部分之縱斷前視圖。 圖2係表示該分離方法的剝離過程之說明圖，圖2（a）係保持步驟的縱斷前視圖，圖2（b）係加壓步驟的縱斷前視圖，圖2（c）係剝離步驟的縱斷前視圖。 圖3係該分離方法的取出過程之說明圖，圖3（a）係減壓步驟的縱斷前視圖，圖3（b）係一次搬出步驟的縱斷前視圖，圖3（c）係二次搬出步驟的縱斷前視圖。 圖4係表示本發明的第二實施形態之分離裝置及分離方法之說明圖，圖4（a）係搬入步驟的縱斷前視圖，圖4（b）係加壓步驟的縱斷前視圖，圖4（c）係剝離步驟的縱斷前視圖。 圖5係表示本發明的第三實施形態之分離裝置及分離方法之說明圖，圖5（a）係搬入步驟的縱斷前視圖，圖5（b）係加壓步驟的縱斷前視圖，圖5（c）係剝離步驟的縱斷前視圖。 圖6係表示本發明的第四實施形態之分離裝置及分離方法之說明圖，圖6（a）係搬入步驟的縱斷前視圖，圖6（b）係加壓步驟的縱斷前視圖，圖6（c）係剝離步驟的縱斷前視圖。 圖7係表示習知分離方法的一例之說明圖，圖7（a）係剝離之前的局部放大縱斷前視圖，圖7（b）係剝離中的局部放大縱斷前視圖，圖7（c）係剝離之後的局部放大縱斷前視圖。

1:加壓室

2(21):分離吸收部(彈性通氣體)

2a:移位部位

2b:第一通氣口

3(31):保持部(保持用環狀體)

3a:固定部位

3b:第二通氣口

4:第一減壓空間部

5a:正壓通道

5F:陽壓流體

6a:第一負壓通道

6F:第一陰壓流體

7:第二減壓空間部

8a:第二負壓通道

8F:第二陽壓流體

10:腔室

10a:第一室內表面

10b:第二室內表面

10d:驅動機構

10e:第三室內表面

11:第一腔室

12:第二腔室

13:密封件

21a:安裝部位

31a:保持用固定部位

A(A1):分離裝置

B:第一板狀構件

B1:第一凹凸部

B3:第一保持板

C:第二板狀構件

C1:第二凹凸部

C3:第二保持板

E(E1):間隙(外側間隙)

E(E2):間隙(貫通間隙)

Claims (7)

1. 一種分離裝置，其係將相互凹凸狀接合之第一板狀構件與第二板狀構件的凹凸接合部剝離，其特徵為，係具備 加壓室，係形成於腔室的內部，並收納成使凹凸接合之前述第一板狀構件及前述第二板狀構件進出自如； 分離吸收部，係設置於收納在前述加壓室中之前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第一室內表面之間； 保持部，係設置於收納在前述加壓室中之前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第二室內表面之間； 第一減壓空間部，係在前述腔室的前述第一室內表面與前述分離吸收部之間，與前述加壓室分離並設置成氣密狀； 正壓調整部，係對前述加壓室供給陽壓流體使內壓上升；及 控制部，係對前述正壓調整部進行動作控制， 前述分離吸收部係具有移位部位，前述移位部位相對於前述腔室的前述第一室內表面，與前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述背側以在其厚度方向上變形或移動自如的方式抵接， 前述保持部係具有固定部位，前述固定部位相對於前述腔室的前述第二室內表面，與前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述背側以無法在前述厚度方向上移動的方式抵接， 前述控制部係如下進行控制：藉由基於前述正壓調整部的動作之前述加壓室的內壓上升，在與前述第一減壓空間部之間產生壓力差，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個與前述分離吸收部的前述移位部位一同朝向前述第一減壓空間部移動。
2. 如請求項1所述之分離裝置，係具備： 第一負壓調整部，係使前述第一減壓空間部的內壓下降。
3. 如請求項1或請求項2所述之分離裝置，係具備： 氣密狀的第二減壓空間部，係形成於前述腔室的前述第二室內表面與前述保持部之間；及 第二負壓調整部，係使前述第二減壓空間部的內壓下降。
4. 如請求項1所述之分離裝置，其中在前述第一板狀構件的第一背面安裝有第一保持板，且在前述第二板狀構件的第二背面安裝有第二保持板，在前述第一保持板與前述第二保持板之間具有能夠使前述陽壓流體侵入的間隙。
5. 如請求項2所述之分離裝置，其中在前述第一板狀構件的第一背面安裝有第一保持板，且在前述第二板狀構件的第二背面安裝有第二保持板，在前述第一保持板與前述第二保持板之間具有能夠使前述陽壓流體侵入的間隙。
6. 如請求項3所述之分離裝置，其中 在前述第一板狀構件的第一背面安裝有第一保持板，且在前述第二板狀構件的第二背面安裝有第二保持板，在前述第一保持板與前述第二保持板之間具有能夠使前述陽壓流體侵入的間隙。
7. 一種分離方法，其係將相互凹凸狀接合之第一板狀構件與第二板狀構件的凹凸接合部剝離，其特徵為，係包括： 搬入步驟，係朝形成於腔室的內部之加壓室運入凹凸接合之前述第一板狀構件及前述第二板狀構件； 保持步驟，係在前述加壓室中將前述第一板狀構件及前述第二板狀構件進行定位； 加壓步驟，係對保持前述第一板狀構件及前述第二板狀構件之前述加壓室供給陽壓流體使內壓上升； 剝離步驟，係在內壓上升之前述加壓室中將前述第一板狀構件與前述第二板狀構件的前述凹凸接合部剝離；及 搬出步驟，係將已剝離前述凹凸接合部之前述第一板狀構件和前述第二板狀構件從前述加壓室中取出， 在前述保持步驟中，相對於設置於前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第一室內表面之間之分離吸收部的移位部位，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個的前述背側在其厚度方向上抵接，並且相對於設置於前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述凹凸接合部的背側與前述腔室的第二室內表面之間之保持部的固定部位，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的另一個的前述背側在前述厚度方向上抵接， 在前述剝離步驟中，在藉由前述陽壓流體的供給使內壓上升之前述加壓室與第一減壓空間部之間產生壓力差，使前述第一板狀構件或前述第二板狀構件中的任一個與前述分離吸收部的前述移位部位一同朝向前述第一減壓空間部移動，前述第一減壓空間部係在前述腔室的前述第一室內表面與前述分離吸收部之間，與前述加壓室分離並設置成氣密狀。

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