TW202147385A - 紫外線照射裝置 - Google Patents
紫外線照射裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TW202147385A TW202147385A TW110105213A TW110105213A TW202147385A TW 202147385 A TW202147385 A TW 202147385A TW 110105213 A TW110105213 A TW 110105213A TW 110105213 A TW110105213 A TW 110105213A TW 202147385 A TW202147385 A TW 202147385A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- arc tube
- gas
- temperature
- cooling
- gap
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020102237A JP7484463B2 (ja) | 2020-06-12 | 2020-06-12 | 紫外線照射装置 |
JP2020-102237 | 2020-06-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW202147385A true TW202147385A (zh) | 2021-12-16 |
Family
ID=77393917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW110105213A TW202147385A (zh) | 2020-06-12 | 2021-02-17 | 紫外線照射裝置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7484463B2 (ja) |
CN (1) | CN214068692U (ja) |
TW (1) | TW202147385A (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005209398A (ja) | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Harison Toshiba Lighting Corp | 誘電体バリア放電ランプおよび紫外線照射装置 |
JP4329629B2 (ja) | 2004-06-16 | 2009-09-09 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP5083184B2 (ja) | 2008-11-26 | 2012-11-28 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ装置 |
-
2020
- 2020-06-12 JP JP2020102237A patent/JP7484463B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-03 CN CN202120304119.3U patent/CN214068692U/zh active Active
- 2021-02-17 TW TW110105213A patent/TW202147385A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021197268A (ja) | 2021-12-27 |
CN214068692U (zh) | 2021-08-27 |
JP7484463B2 (ja) | 2024-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5861696B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP4893474B2 (ja) | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 | |
JP5092808B2 (ja) | 紫外線照射ユニットおよび紫外線照射処理装置 | |
JP5765504B1 (ja) | 光照射装置 | |
KR102291511B1 (ko) | 열처리 방법 | |
JP2007088116A (ja) | 紫外光照射装置および光洗浄装置 | |
TW202147385A (zh) | 紫外線照射裝置 | |
TW202147723A (zh) | 紫外線照射裝置 | |
JP5408499B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP7459673B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP7464907B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP2017092095A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2021197269A (ja) | 紫外線照射装置 | |
TWI483286B (zh) | Excimer lamp and excimer light irradiation device | |
CN220526865U (zh) | 紫外线照射装置 | |
CN220873524U (zh) | 紫外线照射装置 | |
TW202420397A (zh) | 紫外線照射裝置 | |
JP5093176B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
JP2022177882A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP2021125437A (ja) | バリア放電ランプモジュール、バリア放電ランプ、および紫外線照射装置 | |
JP2021112723A (ja) | 光照射装置、および処理装置 | |
JP2023085681A (ja) | フィラメントランプ、光加熱装置 | |
TW202133216A (zh) | 阻擋放電燈、阻擋放電燈單元以及液體處理裝置 | |
JP2024004646A (ja) | バリア放電ランプモジュール、および液体処理装置 | |
JP2022090390A (ja) | 熱処理装置 |