TW202126975A - 均溫板 - Google Patents

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陳志偉
張天曜
郭哲瑋
簡梓芸
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雙鴻科技股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種均溫板，包括上板以及下板。上板包括材質不同的第一金屬層與第二金屬層。下板貼合於上板。其中，於上板的第一金屬層與第二金屬層進行沖壓加工，使得第一金屬層與第二金屬層同時產生形變而形成至少一支撐結構以及第一裙邊結構，上板藉由第一裙邊結構貼合於下板而定義出作用空間，至少一支撐結構位於作用空間內。

Description

均溫板
本發明關於一種散熱裝置，尤其是關於一種均溫板。
均溫板(Vapor chamber)是一種散熱裝置，其工作原理與熱管相近，差異在於熱管的導熱為一維方向上線的傳遞，均溫板則為二維方向上面的傳遞。均溫板在結構上，主要係由上板體、下板體以及作用空間所組成，當下板體與熱源例如發熱的電子元件接觸後，作用空間內的工作介質便會由液態轉換為氣態並往上板體方向傳遞，最後藉由均溫板上除了接觸熱源以外的區域或均溫板外側的散熱裝置例如鰭片而將熱能傳遞出去，此時，工作介質會轉換回液態而回到下板體，重新下一次的循環。
由於智慧型手機、平板電腦或是小型的筆記型電腦等手持式電子裝置為目前市場上的主流商品，而上述這些手持式電子裝置主要是使用薄型的均溫板來達成內部電子元件散熱的目的，但由於薄型的均溫板容易發生變形的情況，特別是在進行組裝作業中，將均溫板貼附熱源的時候，因此，要如何提升均溫板在結構上的強度，同時又不會妨礙到均溫板的正常運作，實為本領域相關人員所關注的焦點。
本發明的目的之一在於提供一種均溫板，其上板與下板主要是由至少兩種不同材質金屬所完成的複合金屬板，並透過沖壓加工或 蝕刻加工直接於上板或下板形成支撐結構與裙邊結構，如此能夠確保均溫板正常運作的同時，提高其結構強度和使用可靠性。
本發明的其他目的和優點可以從本發明所揭露的技術特徵中得到進一步的了解。
為達上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本發明提供一種均溫板，包括上板以及下板。上板包括材質不同的第一金屬層與第二金屬層。下板貼合於上板。其中，於上板的第一金屬層與第二金屬層進行沖壓加工，使得第一金屬層與第二金屬層同時產生形變而形成至少支撐結構以及第一裙邊結構，上板藉由第一裙邊結構貼合於下板而定義出作用空間，至少一支撐結構係位於作用空間內。
在本發明的一實施例中，上述的上板的第一金屬層與第二金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
在本發明的一實施例中，上述的下板包括材質不同的第三金屬層與第四金屬層，並於第三金屬層進行蝕刻加工而於第三金屬層上形成第二裙邊結構，下板藉由第二裙邊結構貼合於上板的第一裙邊結構而定義出作用空間。
在本發明的一實施例中，上述的下板的第三金屬層與第四金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
在本發明的一實施例中，上述的第一裙邊結構界定出第一空間，第二裙邊結構界定出第二空間，作用空間包括第一空間與第二空間。
在本發明的一實施例中，於下板的第三金屬層上形成毛細結構，毛細結構位於作用空間內，且至少一支撐結構接觸於毛細結構。
在本發明的一實施例中，上述的第一金屬層位於第二金屬層與第三金屬層之間，第二金屬層的厚度大於或等於四分之一第一金屬層的厚度，且第二金屬層的厚度小於或等於三分之一第一金屬層的厚度，第三金屬層位於第一金屬層與第四金屬層之間，第四金屬層的厚度大於或等於四分之一第三金屬層的厚度，且第四金屬層的厚度小於或等於三分之一第三金屬層的厚度。
在本發明的一實施例中，上述的第二金屬層的金屬強度大於第一金屬層的金屬強度，第四金屬層的金屬強度大於第三金屬層的金屬強度。
本發明另一方面提供一種均溫板，包括上板以及下板。上板包括材質不同的第一金屬層與第二金屬層。下板貼合於上板。其中，於上板的第一金屬層進行沖壓加工，使得第一金屬層產生形變而形成至少一支撐結構以及第一裙邊結構，上板藉由第一裙邊結構貼合於下板而定義出作用空間，至少一支撐結構係位於作用空間內。
本發明另一方面提供一種均溫板，包括上板以及下板。上板包括材質不同的第一金屬層與第二金屬層。下板包括材質不同的第三金屬層與第四金屬層。其中，於上板的第一金屬層與第二金屬層進行沖壓加工，使得第一金屬層與第二金屬層同時產生形變而形成第一裙邊結構。其中，於下板的第三金屬層進行蝕刻加工而於第三金屬層上形成第二裙邊結構以及至少一支撐結構，下板藉由第二裙邊結構貼合於上板的第一裙邊結構而定義出作用空間，至少一支撐結構係位於作用空間內。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
1、2、3‧‧‧均溫板
11、21、31‧‧‧上板
12、22、32‧‧‧下板
111、211、311‧‧‧第一金屬層
112、212、312‧‧‧第二金屬層
121、221、321‧‧‧第三金屬層
122、222、322‧‧‧第四金屬層
113、213、323‧‧‧支撐結構
114、214、313‧‧‧第一裙邊結構
123、324‧‧‧第二裙邊結構
223‧‧‧裙邊結構
124、224、314‧‧‧毛細結構
M1、M2‧‧‧模具
S1‧‧‧第一空間
S2‧‧‧第二空間
WS、WS’、WS”‧‧‧作用空間
圖1為本發明一實施例所述的均溫板的剖面示意圖；
圖2A至圖2F為圖1所示的均溫板的製造流程示意圖；
圖3為本發明另一實施例所述的均溫板的剖面示意圖；
圖4為本發明又一實施例所述的均溫板的剖面示意圖；
圖5A至圖5F為圖4所示的均溫板的製造流程示意圖。
請參閱圖1，其為本發明一實施例所述的均溫板的剖面示意圖。如圖1所示，本實施例的均溫板1包括上板11以及下板12。上板11包括材質不同的第一金屬層111與第二金屬層112。下板12貼合於上板11。在本實施例中，上板11具有多個朝向下板12的方向延伸的支撐結構113以及第一裙邊結構114，這些支撐結構113彼此間隔排列，且上板11藉由第一裙邊結構114貼合於下板12，並與下板12之間定義出作用空間WS，而上述這些支撐結構113位於作用空間WS內，且作用空間WS內填充有工作介質。具體而言，上板11的這些支撐結構113與第一裙邊結構114是經由沖壓加工而形成，也就是於上板11的第一金屬層111與第二金屬層112進行沖壓加工，使得第一金屬層111與第二金屬層112同時產生形變而形成朝向下板12的方向延伸的這些支撐結構113以及第一裙邊結構114。而有關於均溫板1的散熱原理與作動係為熟知本技藝人士所知悉，故在此即不再予以贅述。
以下再針對本發明實施例的均溫板1的詳細構造做更進一步的描述。
如圖1所示，本實施例的下板12包括材質不同的第三金屬層121與第四金屬層122。在本實施例中，下板12具有第二裙邊結構123，下板12藉由第二裙邊結構123貼合於上板11的第一裙邊結構114，並與上板11之間定義出上述的作用空間WS。具體而言，下板12的第二裙邊結構123是經由蝕刻加工而形成，也就是於下板12的第三金屬層121上進行蝕刻加工而於第三金屬層121形成上述的第二裙邊結構123。
如圖1所示，當上板11的第一金屬層111與第二金屬層112進行沖壓加工而形成多個支撐結構113以及第一裙邊結構114時，第一裙邊結構114會於上板11的下方界定出第一空間S1，也就是第一裙邊結構114與相鄰的支撐結構113之間的空間以及任兩個相鄰支撐結構113之間的空間。當下板12的第三金屬層121進行蝕刻加工而形成第二裙邊結構123時，第二裙邊結構123會於下板12的上方界定出第二空間S2。當上板11的第一裙邊結構114與下板12的第二裙邊結構123彼此貼合後，兩者之間所定義出的作用空間WS包括上述的第一空間S1與第二空間S2，也就是第一空間S1與第二空間S2結合後組成了完整的作用空間WS。
如圖1所示，本實施例的下板12更包括毛細結構124。毛細結構124形成於下板12的第三金屬層121上，且毛細結構124位於作用空間WS內，而從上板11延伸而出的這些支撐結構113接觸於毛細結構124。具體而言，當下板12的第三金屬層121經由蝕刻加工而形成第二裙邊結構123後，第二裙邊結構123於下板12的上方界定出第二空間S2，此時，形成毛細結構124於下板12的第二空間S2內，當上板11的第一裙邊結構114與下板12的第二裙邊結構123彼此貼合後，從上板11延伸而出的這些支撐結構113接觸於毛細結構124。
如圖1所示，本實施例的第一金屬層111位於第二金屬層112與下板12的第三金屬層121之間，也就是第一金屬層111為上板11的內側金屬層，第二金屬層112為上板11的外側金屬層，在本實施例中，第二金屬層112的厚度例如是大於或等於四分之一的第一金屬層111的厚度且小於或等於三分之一的第一金屬層111的厚度，也就是上板11的外側金屬層的厚度會小於內側金屬層的厚度，且第二金屬層112的金屬強度大於第一金屬層111的強度。本實施例的第三金屬層121位於第四金屬層122與上板11的第一金屬層111之間，也就是第三金屬層121為下板12的內側金屬層，第四金屬層122為下板12的外側金屬層，在本實施例中，第四金屬層122的厚度例如是大於或等於四分之一的第三金屬層121的厚度且小於或等於三分之一的第三金屬層121的厚度，也是下板12的外側金屬層的厚度會小於內側金屬層的厚度，且第四金屬層122的金屬強度大於第三金屬層121的強度。此外，第一金屬層111與第二金屬層112例如是以擴散接合的方式彼此接合，藉以構成複合金屬層結構的上板11，同理，第三金屬層121與第四金屬層122例如是以擴散接合的方式彼此接合，藉以構成複合金屬層結構的下板12。
需特別說明的是，上板11的第一金屬層111與第二金屬層112以及下板12的第三金屬層121與第四金屬層122的材質可選自鈦、鎳、銅、鋼的其中之一，在外層金屬層(第二金屬層112與第四金屬層122)的金屬強度大於內層金屬層(第一金屬層111與第三金屬層121)的強度的前提下，上述的金屬層的材質皆可任意置換，在本實施例中，外層金屬層(第二金屬層112與第四金屬層122)例如是採用鎳，內層金屬層(第一金屬層111與第三金屬層121)例如是採用銅。再者，本發明並不 加以限定第一金屬層111與第二金屬層112之間的接合方式以及第三金屬層121與第四金屬層122之間的接合方式，第一金屬層111與第二金屬層112之間的接合方式以及第三金屬層121與第四金屬層122之間的接合方式可根據實際情況的需求而有所改變。此外，上述衡量金屬強度的標準選自楊氏係數、維氏硬度的其中之一。
請參閱圖2A至圖2F，其為圖1所示的均溫板的製造流程示意圖。如圖2A所示，提供由第一金屬層111與第二金屬層112複合而成的上板11；然後，如圖2B所示，藉由模具M1於第一金屬層111與第二金屬層112進行沖壓加工而形成多個支撐結構113以及第一裙邊結構114；然後，如圖2C所示，提供由第三金屬層121與第四金屬層122複合而成的下板12；然後，如圖2D所示，於第三金屬層121進行蝕刻加工而於第三金屬層121形成第二裙邊結構123；然後，如圖2E所示，於第三金屬層121的第二空間S2內形成毛細結構124；然後，如圖2F所示，上板11的第一裙邊結構114貼合於下板12的第二裙邊結構123以形成如圖1所示的均溫板1結構。
需特別說明的是，圖2A至圖2F所示的均溫板製造流程順序僅為本發明的其中之一實施方式，本發明並不加以限定上述均溫板製造流程的順序，舉例來說，上述圖2C至圖2E的步驟可以在圖2A至圖2B的步驟之前先行完成，也就是先行完成下板12的製作(如對第三金屬層121進行蝕刻加工以及形成毛細結構124)再進行上板11的製作(如同時對第一金屬層111與第二金屬層112進行沖壓加工)，也就是說，上板11與下板12的製作是兩個分別獨立的製程，兩者之間完成的先後順序並不會影響到後續上板11貼合下板12的步驟(如圖2F)。
請參閱圖3，其為本發明另一實施例所述的均溫板的剖面示意圖。如圖3所示，本實施例的均溫板2包括上板21以及下板22。上板21包括材質不同的第一金屬層211與第二金屬層212。下板22包括材質不同的第三金屬層221與第四金屬層222，且下板22貼合於上板21。在本實施例中，上板21具有多個朝向下板22的方向延伸的支撐結構213，這些支撐結構213彼此間隔排列，且上板21藉由第二金屬層212貼合於下板22，並與下板22之間定義出作用空間WS’，而上述這些支撐結構213位於作用空間WS’內，且作用空間WS’內填充有工作介質。下板22具有裙邊結構223，下板22藉由裙邊結構223貼合於上板21的第二金屬層212，並與上板11之間定義出上述的作用空間WS’，也就是說，在本實施例中，作用空間WS’是直接由下板22的裙邊結構223所定義。
承上述說明，本實施例所述的均溫板2與圖1所示的均溫板1的差異處在於，在本實施例中，僅對於內側的第一金屬層211進行沖壓加工，而不對外側的第二金屬層212進行沖壓加工，使得僅有第一金屬層211產生形變而形成朝向下板22的方向延伸的這些支撐結構213。除了上述差異，本實施例的均溫板2的其它細部結構，如下板22的裙邊結構223是蝕刻加工而成以及形成於下板22的第三金屬層221上的毛細結構224等，與圖1所示的均溫板1類似，故在本段即不再予以贅述。此外，本實施例的均溫板2的製造流程與圖2A至圖2F所示的製造流程類似，差別僅在於第一金屬層211與第二金屬層212接合組成上板21前，先行對第一金屬層211進行沖壓加工。
請參閱圖4，其為本發明又一實施例所述的均溫板的剖面示意圖。如圖4所示，本實施例的均溫板3包括上板31以及下板32。上板 31包括材質不同的第一金屬層311與第二金屬層312。下板32包括材質不同的第三金屬層321與第四金屬層322。在本實施例中，上板31具有第一裙邊結構313。下板32具有多個朝向上板31方向延伸的支撐結構323以及第二裙邊結構324，這些支撐結構323彼此間隔排列，且下板32藉由第二裙邊結構324貼合於上板31的第一裙邊結構313，上板31與下板32之間定義出作用空間WS”，而上述這些支撐結構323位於作用空間WS”內，且作用空間WS”內填充有工作介質。
承上述說明，本實施例的均溫板3與圖1所示的均溫板1的差異處在於，在本實施例中，上板31的第一裙邊結構313是經由沖壓加工而形成，也就是於上板31的第一金屬層311與第二金屬層312進行沖壓加工，使得第一金屬層311與第二金屬層312同時產生形變而形成第一裙邊結構313。下板32的這些支撐結構323與第二裙邊結構324是經由蝕刻加工而形成，也就是於下板32的第三金屬層321進行蝕刻加工而於第三金屬層321上形成這些支撐結構323與第二裙邊結構324。此外，本實施例的上板31更包括毛細結構314。毛細結構314形成於上板31的第一金屬層311上，且毛細結構314位於作用空間WS”內(也就是第一裙邊結構313所定義出的第一空間S1內)，而從下板32延伸而出的這些支撐結構323接觸於毛細結構314。除了上述差異，本實施例的均溫板3的其它細部結構與圖1所示的均溫板1類似，故在本段即不再予以贅述。
請參閱圖5A至圖5F，其為圖4所示的均溫板的製造流程示意圖。如圖5A所示，提供由第一金屬層311與第二金屬層312複合而成的上板31；然後，如圖5B所示，藉由模具M2於第一金屬層311與第二金屬層312進行沖壓加工而形成第一裙邊結構313；然後，如圖5C所示， 提供由第三金屬層321與第四金屬層322複合而成的下板32；然後，如圖5D所示，於第三金屬層321進行蝕刻加工而於第三金屬層321形成多個支撐結構323以及第二裙邊結構324；然後，如圖5E所示，於第一金屬層311的第一空間S1內形成毛細結構314；然後，如圖5F所示，上板31的第一裙邊結構313貼合於下板32的第二裙邊324以形成如圖4所示的均溫板3結構。
需特別說明的是，圖5A至圖5F所示的均溫板製造流程順序僅為本發明的其中之一實施方式，本發明並不加以限定上述均溫板製造流程的順序，舉例來說，上述圖5C至圖5D的步驟可以在圖5A至圖5B的步驟之前先行完成，也就是先行完成下板32的製作(如對第三金屬層321進行蝕刻加工)再進行上板31的製作(如同時對第一金屬層311與第二金屬層312進行沖壓加工)，也就是說，上板31與下板32的製作是兩個分別獨立的製程，兩者之間完成的先後順序並不會影響到後續上板31貼合下板32的步驟(如圖5F)。
綜上所述，本發明實施例的均溫板，其上板與下板主要是由至少兩種不同材質金屬所完成的複合金屬板，並透過沖壓加工或蝕刻加工直接於上板或下板形成支撐結構與裙邊結構，如此能夠確保均溫板正常運作的同時，提高其結構強度和使用可靠性。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。另外，本發明的任一實施例或申請專利範圍不須達成本發明所揭露之全部目的或優點或特點。此外，摘要部分和標題僅是用來輔助專利文件搜尋之用，並非用來限制本發明之權利範圍。此外，本說明書或申 請專利範圍中提及的”第一”、”第二”等用語僅用以命名元件(element)的名稱或區別不同實施例或範圍，而並非用來限制元件數量上的上限或下限。
1‧‧‧均溫板
11‧‧‧上板
12‧‧‧下板
111‧‧‧第一金屬層
112‧‧‧第二金屬層
121‧‧‧第三金屬層
122‧‧‧第四金屬層
113‧‧‧支撐結構
114‧‧‧第一裙邊結構
123‧‧‧第二裙邊結構
124‧‧‧毛細結構
S1‧‧‧第一空間
S2‧‧‧第二空間
WS‧‧‧作用空間

Claims (22)

  1. 一種均溫板，包括：
    一上板，包括材質不同的一第一金屬層與一第二金屬層；以及
    一下板，貼合於該上板；
    其中，於該上板的該第一金屬層與該第二金屬層進行一沖壓加工，使得該第一金屬層與該第二金屬層同時產生形變而形成至少一支撐結構以及一第一裙邊結構，該上板藉由該第一裙邊結構貼合於該下板而定義出一作用空間，該至少一支撐結構係位於該作用空間內。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的均溫板，其中該上板的該第一金屬層與該第二金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的均溫板，其中該下板包括材質不同的一第三金屬層與一第四金屬層，並於該第三金屬層進行一蝕刻加工而於該第三金屬層上形成一第二裙邊結構，該下板藉由該第二裙邊結構貼合於該上板的該第一裙邊結構而定義出該作用空間。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的均溫板，其中該下板的該第三金屬層與該第四金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
  5. 如申請專利範圍第3項所述的均溫板，其中該第一裙邊結構界定出一第一空間，該第二裙邊結構界定出一第二空間，該作用空間包括該第一空間與該第二空間。
  6. 如申請專利範圍第3項所述的均溫板，其中於該下板的該第三金屬層上形成一毛細結構，該毛細結構位於該作用空間內，且該至少一支撐結構接觸於該毛細結構。
  7. 如申請專利範圍第3項所述的均溫板，其中該第一金屬層位於該第二金屬層與該第三金屬層之間，該第二金屬層的厚度大於或等於四 分之一該第一金屬層的厚度，且該第二金屬層的厚度小於或等於三分之一該第一金屬層的厚度，該第三金屬層位於該第一金屬層與該第四金屬層之間，該第四金屬層的厚度大於或等於四分之一該第三金屬層的厚度，且該第四金屬層的厚度小於或等於三分之一該第三金屬層的厚度。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的均溫板，其中該第二金屬層的金屬強度大於該第一金屬層的金屬強度，該第四金屬層的金屬強度大於該第三金屬層的金屬強度。
  9. 一種均溫板，包括：
    一上板，包括材質不同的一第一金屬層與一第二金屬層；以及
    一下板，貼合於該上板；
    其中，於該上板的該第一金屬層進行沖壓加工，使得該第一金屬層產生形變而形成至少一支撐結構，該上板藉由該第二金屬層貼合於該下板而定義出一作用空間，該至少一支撐結構係位於該作用空間內。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的均溫板，其中該上板的該第一金屬層與該第二金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
  11. 如申請專利範圍第9項所述的均溫板，其中該下板包括材質不同的一第三金屬層與一第四金屬層，並於該下板的該第三金屬層進行一蝕刻加工而於該第三金屬層上形成一裙邊結構，該下板藉由該裙邊結構貼合於該上板的該第二金屬層而定義出該作用空間。
  12. 如申請專利範圍第11項所述的均溫板，其中該下板的該第三金屬層與該第四金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
  13. 如申請專利範圍第11項所述的均溫板，其中該下板的裙邊結構界定出該作用空間。
  14. 如申請專利範圍第11項所述的均溫板，其中於該下板的該第三金屬層上形成一毛細結構，該毛細結構位於該作用空間內，且該至少一支撐結構接觸於該毛細結構。
  15. 如申請專利範圍第11項所述的均溫板，其中該第一金屬層位於該第二金屬層與該第三金屬層之間，該第二金屬層的厚度大於或等於四分之一該第一金屬層的厚度，且該第二金屬層的厚度小於或等於三分之一該第一金屬層的厚度，該第三金屬層位於該第一金屬層與該第四金屬層之間，該第四金屬層的厚度大於或等於四分之一該第三金屬層的厚度，且該第四金屬層的厚度小於或等於三分之一該第三金屬層的厚度。
  16. 如申請專利範圍第15項所述的均溫板，其中該第二金屬層的金屬強度大於該第一金屬層的金屬強度，該第四金屬層的金屬強度大於該第三金屬層的金屬強度。
  17. 一種均溫板，包括：
    一上板，包括材質不同的一第一金屬層與一第二金屬層；以及
    一下板，包括材質不同的一第三金屬層與一第四金屬層；
    其中，於該上板的該第一金屬層與該第二金屬層進行一沖壓加工，使得該第一金屬層與該第二金屬層同時產生形變而形成一第一裙邊結構；
    其中，於該下板的該第三金屬層進行一蝕刻加工而於該第三金屬層上形成一第二裙邊結構以及至少一支撐結構，該下板藉由該第二裙邊結構貼合於該上板的該第一裙邊結構而定義出一作用空間，該至少一支撐結構係位於該作用空間內。
  18. 如申請專利範圍第17項所述的均溫板，其中該上板的該第一金屬層與該第二金屬層以擴散接合的方式彼此接合，該下板的該第三金屬層與該第四金屬層以擴散接合的方式彼此接合。
  19. 如申請專利範圍第17項所述的均溫板，其中該第一裙邊結構界定出一第一空間，該第二裙邊結構界定出一第二空間，該作用空間包括該第一空間與該第二空間。
  20. 如申請專利範圍第17項所述的均溫板，其中於該上板的該第一金屬層上形成一毛細結構，該毛細結構位於該作用空間內，且該至少一支撐結構接觸於該毛細結構。
  21. 如申請專利範圍第17項所述的均溫板，其中該第一金屬層位於該第二金屬層與該第三金屬層之間，該第二金屬層的厚度大於或等於四分之一該第一金屬層的厚度，且該第二金屬層的厚度小於或等於三分之一該第一金屬層的厚度，該第三金屬層位於該第一金屬層與該第四金屬層之間，該第四金屬層的厚度大於或等於四分之一該第三金屬層的厚度，且該第四金屬層的厚度小於或等於三分之一該第三金屬層的厚度。
  22. 如申請專利範圍第21項所述的均溫板，其中該第二金屬層的金屬強度大於該第一金屬層的金屬強度，該第四金屬層的金屬強度大於該第三金屬層的金屬強度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI792524B (zh) * 2021-08-27 2023-02-11 艾姆勒科技股份有限公司 一種局部施壓補強之液冷散熱基材結構

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