TW202100868A - 用於氣體的乾泵及一組多個用於氣體的乾泵 - Google Patents

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Abstract

一種用於氣體的乾泵包含第一轉子(1)，其包含第一波瓣部分(1A)及第一螺桿(1B)、以及第二轉子(2)，其包含第二波瓣部分(2A)及第二螺桿(2B)。一外殼界定一內部體積，該第一及第二螺桿(1B，2B)以及第一和第二波瓣部分(1A，2A)一起被設置在該內部體積內。該第一及第二螺桿(1B，2B)的每一者包含一沿著長度不變的螺紋齒部(threading)。第一及第二轉子(1，2)轉動於相反方向上且以依次連續的組態被設置。在該等轉子的第一組態中，第一和第二波瓣部分(1A，2A)、第一螺桿(1B)的一部分、第二螺桿(2B)的一部分和該外殼一起界定一被封閉的室(30)。在該等轉子的第二組態中，該室(30)具有比第一組態小的容積。在該等轉子的第三組態中，該室(30)在該第一及第二螺桿(1B，2B)處被完全移位且與該等波瓣部分隔離。

Description

用於氣體的乾泵及一組多個用於氣體的乾泵
本發明係有關於氣體的抽泵及壓縮的領域。更具體地，本發明涉及用於氣體的乾泵以及一組多個用於氣體的乾泵。
一種用於氣體的乾泵是螺旋泵(screw pump)。螺旋泵包含兩個螺桿(screw)，它們相互嚙合且被驅動於相反方向上，每一螺桿是在兩個平行的轉動軸線的一者上。在某些混合式泵的例子中，每一螺桿屬於一個轉子，其進一步包含一波瓣部分(lobe portion)，以此方式，螺旋泵和波瓣泵因而被結合，例如美國專利第7,611,340 B2號中所揭示者。
在螺旋泵中，螺桿的螺紋齒部(threading)可沿著螺桿而改變，用以在螺桿的上游端和其下游端之間界定一內部的氣體的壓縮比。例如，螺桿的螺紋齒部可藉由每一螺紋(thread)的螺距(pitch)的漸進式或步進式來改變。在螺旋泵中，螺紋沿著螺桿的匝數可被改變，用以改變動態“緊密度”以及該螺旋泵所獲得之最終一力或最終真空。無論如何，壓縮比的改變需要每一螺桿都達成一新的形式的螺桿，而在螺旋泵中，可變螺紋齒部的螺桿的形狀極為複雜，因而極難設計及加工。
為了要修改螺旋泵的標稱流率(nominal flow rate)、保持相同的轉速及相同的間距，被修改的可以是在螺桿上游端的螺紋的螺距及/或螺紋的底部直徑以及螺紋的頂徑(crest diameter)(螺紋輪廓高度)。這些修改必須保持在轉動時機械穩定度的限制內以及在工業加工的可能性之內。無論如何，標稱流率的改變需要每一螺桿都達成一新的形式的螺桿，而在螺旋泵中，可變螺紋齒部的螺桿的形狀極為複雜，因而極難設計及加工。
本發明的至少一目的是要簡化一個範圍內的用於氣體的乾泵的設計及/或創造，其具有不同的壓縮比。更具體地，本發明的一個目的是要創造一個範圍內的用於氣體的乾泵，在相同或類似的與龐大體積、能量消耗等等相關的限制條件下提出一變螺距螺旋泵的用途彈性及優點，且具有更容易設計及/或加工的輪廓。
依據本發明，此目的是由一用於氣體的乾泵來達成，其包含第一轉子，其包含第一波瓣部分及第一螺桿、第二轉子，其包含第二波瓣部分及第二螺桿、以及一外殼，該第一及第二轉子以一種該第一及第二螺桿彼此嚙合且該第一及第二波瓣部分彼此嚙合的方式被轉動地安裝於其內。該外殼界定一內部體積，該第一及第二螺桿以及第一和第二波瓣部分一起被設置在該內部體積內。至少一入口露出來，進入到在該第一和第二波瓣部分的該內部體積中。該內部體積的至少一出口相關於該第一及第二螺桿被設置成與該入口相反。該第一及第二螺桿的每一者包含一沿著其長度不變的螺紋齒部(threading)。第一及第二轉子可轉動於相反方向上且以能夠以連續的方式被設置在: •第一組態，在此組態中，第一和第二波瓣部分、第一螺桿的一部分、第二螺桿的一部分和該外殼一起界定一被封閉的室， •第二組態，在此組態中，該室一直是被第一和第二波瓣部分、第一螺桿的一部分、第二螺桿的一部分和該外殼以一種被封閉且具有比第一組態小的容量的方式界定， •第三組態，在此組態中，該室在該第一及第二螺桿處被完全移位且該室與該等波瓣至少被該第一螺桿的螺紋齒部的螺旋螺紋、該第二螺桿的螺紋齒部的螺旋螺紋、以及該第一螺桿的該螺紋齒部的該螺旋螺紋與該第二螺桿的該螺紋齒部的該螺旋螺紋的交叉所形成的阻塞(blocking)隔離，及 •第四組態，在此組態中，該室在該第一及第二螺桿的下游端被移位且與該出口聯通。
該第一及第二螺桿具有一用來阻塞及打開該室的作用。該第一和第二波瓣部分具有一用來實施壓縮的作用。該第一及第二螺桿因而不具有實施該壓縮的作用，且該第一及第二螺桿的每一者的螺紋齒部在其長度上是不變的。因此之故，相較於可變螺紋齒部的螺桿而言，這些第一及第二螺桿不難設計、也不難製造。
此外，該壓縮比是該第一和第二波瓣部分的一個函數。此壓縮比可藉由玩弄該第一和第二波瓣部分在軸方向上的尺寸就可加以改變。從一給定的第一螺桿和一給定的第二螺桿開始，不具有相同的壓縮比的泵可根據和該第一及第螺桿相關連的波瓣部分的軸向尺寸被建構。此外，該等波瓣部分製造的困難度比螺桿低許多。
因此，一個範圍之具有不同的壓縮比的用於氣體的乾泵可因為本發明而被更容易設計及製造。
上文所界定的用於氣體的乾泵可單獨地或組合地包含一或多個其它有利的特徵，尤其是以下所列的有利特徵。
較佳地，該第一和第二波瓣部分包含諸波瓣，每一波瓣沿著該第一及第二螺桿的該等螺紋齒部的該等螺旋螺紋的一螺旋螺紋延伸。
較佳地，第一波瓣部分的波瓣的數量等於第一螺桿的螺紋齒部的螺旋螺紋的數量，第二波瓣部分的波瓣的數量等於第二螺桿的螺紋齒部的螺旋螺紋的數量。
較佳地，該出口被設置在離該第一及第二螺桿一距離處。
較佳地，該室是該第一和第二轉子與該外殼一起界定的多個連續的室中的一個室。
較佳地，不論該第一及第二轉子的個別角度位置為何，在該等連續的室中永遠都有兩個封閉的室。
較佳地，該等連續的室中的一個室是收集室，其具有來自該內部體積的該出口。
較佳地，該第一螺桿的該第一螺紋齒部和第二螺桿的該第二螺紋齒部界定螺旋溝槽，這些螺旋溝槽的下游端是開放的且不論該第一及第二轉子的個別角度位置為何都伸出來進入到該收集室內。當此情形時，該第一及第二螺桿不實施任何壓縮。該氣體因為其壓縮而產生的加熱主要發生在第一和第二波瓣部分。因此之故，更容易防止在操作時第一及第二螺桿的溫度大幅升高，因而防止第一及第二螺桿因為膨脹而明顯變形。
較佳地，該等連續的室中的一個室是進氣室，其與該入口聯通。
較佳地，該第一轉子是公轉子，該第二轉子是母轉子。
較佳地，該第二轉子包含的波瓣的數量比第一轉子多一個。
較佳地，該第一轉子包含多個波瓣，其數量是兩個，該第二轉子包含多個波瓣，其數量是三個。
較佳地，第一轉子具有一截面，其在第一波瓣部分和在第一螺桿是一樣的，但其角度方位除外，而該第二轉子具有一截面，其在第二波瓣部分和在第二螺桿是一樣的，但其角度方位除外。
較佳地，第一轉子具有至少兩個被保持在一起的單體元件(monobloc element)，它們是第一單體元件，其包含至少該第一螺桿、和第二單體元件，其包含至少該第一波瓣部分的一部分。
本發明的發明主體亦包含一組多個如上文所述之用於氣體的乾泵。該組用於氣體的第一乾泵和該組用於氣體的第二乾泵的第一螺桿是一樣的，該組用於氣體的第一乾泵和該組用於氣體的第二乾泵的第二螺桿是一樣的，該組用於氣體的第一乾泵的第一和第二波瓣部分具有一軸向尺寸，其為第一軸向尺寸，該組用於氣體的第二乾泵的第一和第二波瓣部分具有一軸向尺寸，其為不同於該第一軸向尺寸的第二軸向尺寸。
在圖1中，依據本發明的實施例的用於氣體的乾泵包含第一轉子1和第二轉子2，它們被安裝在外殼3內成為數個被保持組裝的部件。
多個軸承5以第一轉子1可轉動於轉動軸線X1 -X’1 上的方式支撐第一轉子1的軸6。多個軸承7以第二轉子2可轉動於一平行於該轉動軸線X1 -X’1 的轉動軸線X2 -X’2 上的方式支撐第二轉子2的軸8。在本文中以及在申請專利範圍中，軸方向是平行於轉動軸線X1 -X’1 以及X2 -X’2 的方向，而軸向尺寸是在平行於轉動軸線X1 -X’1 及X2 -X’2 的方向上的尺寸。
軸8的一端被耦合至一用來驅動第一及第二轉子1及2的馬達10。在與該馬達10相反處，該第二轉子2的軸8承載一齒輪11，其偶該第一轉子1的軸6上所承載的齒輪12相嚙合。齒輪11和12形成傳動裝置(gearing)，其齒輪比等於3/2，使得第一轉子1轉動得比第二轉子2快。
第一轉子1包含第一波瓣部分1A及第一螺桿1B，它們中間沒有距離地軸向地一者接在一者之後。第二轉子2包含第二波瓣部分2A及第二螺桿2B，它們中間沒有距離地軸向地一者接在一者之後。第一波瓣部分1A、第一螺桿1B、第二波瓣部分2A和第二螺桿2B都是在同一內部體積14內，該外殼3界定該內部體積，沒有將其分隔艙室。
一用於氣體進氣的入口15穿過該外殼並在通過轉動軸線X1 -X’1 及X2 -X’2 的平面的一側的第一及第二波瓣部分2A及2B處進入到該內部體積14內。一用於氣體排放的出口16穿過該外殼3並在一收集室18與該內部體積14聯通，該收集室是由此內部體積14的下游部分組成且位在該第一和第二螺桿1B及2B的出口，換言之，相對於第一和第二螺桿1B及2B而言位在與第一及第二波瓣部分1A及2A相反處。
該內部體積14至少在該第一及第二螺桿1B及2B是圓筒形，因為是由兩個相互滲透的(interpenetrating)旋轉的圓柱的結合所組成，所以兩個旋轉的圓柱的各自的軸線為轉動軸線X1 -X’1 及X2 -X’2 。在第一及第二波瓣部分1A及2A，至少在相對於包含轉動軸線X1 -X’1 及X2 -X’2 的平面與入口15相反側，該內部體積14以相同方式是圓筒形。在入口15，該內部體積14的下游部分及側面部分可構成一進氣室，該內部體積14在該處被側向地加大且入口15是在該處出來。
元件符號17標示的裝置每一者都達成該外殼3和軸6及8的一者之間的緊密度。
如圖2中所見，第一轉子1是公轉子。第一波瓣部分1A包含多個波瓣20，這些波瓣是相同的且它們的數量在被示出的實施例中是兩個。第一螺桿1B包含螺紋齒部(threading)，它是由數量與波瓣20一樣多的螺旋螺紋21構成。此螺紋齒部在第一螺桿1B的整個長度上是不變的。它的螺距、它的平均直徑及它的輪廓，換言之，它沿著一通過轉動軸線X1 -X’1 的軸向平面的截面的形狀及尺寸在第一螺桿1B的整個長度上是不變的。每一波瓣20被沿著兩個一樣的螺旋螺紋21中的一者延伸。波瓣20的數量可以不是兩個。螺旋螺紋21的數量亦適用。
第二轉子2是母轉子。第二波瓣部分2A包含多個波瓣22，這些波瓣是相同的且它們的數量在被示出的實施例中是三個。第二螺桿2B包含螺紋齒部(threading)，它是由數量與波瓣22一樣多的螺旋螺紋23構成。此螺紋齒部在第二螺桿2B的整個長度上是不變的。它的螺距、它的平均直徑及它的輪廓，換言之，它沿著一通過轉動軸線X2 -X’2 的軸向平面的截面的形狀及尺寸在第二螺桿2B的整個長度上是不變的。每一波瓣22被沿著三個一樣的螺旋螺紋23中的一者延伸。波瓣22的數量可以不是三個。螺旋螺紋的數量亦適用。
該第一波瓣部分1A和第二波瓣部分2A相嚙合。第一和第二螺桿1B及2B互鎖。
第一轉子1具有一橫截面，其在該第一波瓣部分1A和在該第一螺桿1B是一樣的，但其角度方位除外。相同地，第二轉子2具有一橫截面，其在該第二波瓣部分2A和在該第二螺桿2B是一樣的，但其角度方位除外。
如圖3中清楚地所見，第一轉子1是多個單體元件的組裝結果，其中一第一單體元件包含該第一波瓣部分1A且一第二單體元件包含該第一螺桿1B。該軸6可以是第一轉子1的第一單體元件或者是第一轉子1的第二單體元件的一部分。同樣地，第一轉子1的第三單體元件可構成該軸6。第二轉子2是多個單體元件的組裝結果，其中一第一單體元件包含該第二波瓣部分2A且一第二單體元件包含該第二螺桿2B。該軸8可以是第二轉子2的第一單體元件或者是第二轉子2的第二單體元件的一部分。同樣地，一不同於第二轉子2的第一及第二單體元件的單體元件可構成該軸8。
每時每刻地，該第一轉子1、該第二轉子2和該外殼3共同界定多個連續的室，圖4中可看到其中的一些室，而在圖5中可看所有的室。在這些室之中有該收集室18，有上文中提到且在圖4及5中以元件符號25標示的進氣室，以及室30，31，32和33。
當第一和第二轉子1及2位於圖4及5中示的組態時，室30，31，32和33被封閉。當圖1的用於氣體的乾泵操作時，第一和第二轉子1及2轉動於相反方向上，如圖4中的箭頭所標示。因此，室30，31，32和33逐步進化形成，其被圖6至8所顯示，代表單一室30在連續的時間點的狀態。
當第一和第二轉子1及2位於圖4及5中示的組態時，室30係如圖6中所示。在第一和第二轉子1及2分別從圖3及4中它們的位置開始轉動半圈及三分之一圈之後，室30係如圖7中所示。當室30在圖7中的位置時，它具有室31在圖3及4中所具有的形狀及位置。在第一和第二轉子1及2分別從圖3及4中它們的位置開始轉動一圈及2/3圈之後，室30係如圖8中所示。當室30在圖8中的位置時，它具有室32在圖3及4中所具有的形狀及位置。
現在描述的將會是室30在操作的過程中的逐步演進，同時該第一及第二轉子持續轉動於相反方向上。
在圖6中，室30藉由在其下游端(即，P1)被螺旋螺紋21及螺旋螺紋23的交叉點阻塞而被封閉。仍在圖6中，第一及第二波瓣部分1A及2A、第一螺桿1B的一部分、第二螺桿2B的一部分以及外殼3一起界定室30，其幾乎以到達其最大容積。
第一及第二轉子1及2在相反方向上的轉動從它們在圖4及5中的位置開始持續地進行。因此，第一及第二波瓣部分1A及2A到達一組態，該第一及第二波瓣部分1A及2A從該組態開始共同縮減該室30的容積，該室30的下游端仍被螺旋螺紋21及螺旋螺紋23的交叉點阻塞。在圖7中，該室30代表該第一及第二波瓣部分1A及2A共同縮減該室30的容積的同時的一被選定的時間點的情況。在該第一及第二波瓣部分1A及2A共同縮減該室30的容積的同一時間，發生在該室30內的氣體的壓縮。
在該第一及第二轉子1及2持續轉動於相反方向上的同時，在該室30內的壓縮之後接著的是該室30的上游端被螺旋螺紋21及螺旋螺紋23的交叉點阻塞。在該室30的上游端的阻塞發生之後，該室30即處在圖8所示的情況。該室30的上游端的阻塞是位在圖8中的P2。
當P2處的阻塞發生時，該第一及第二轉子1及2持續在相反方向上的轉動造成室30被朝向軸方向上的下游移位，但並沒有改變其容積。換言之，在P2點阻塞之後，該室30內就沒有發生壓縮。
當室30到達第一及第二螺桿1B及2B的下游端時，再次地，此室30內沒有壓縮，因為出口16是位在離第一及第二螺桿1B及2B一距離處。
圖9中的曲線C是室30的容積V與時間t的一個函數的圖形表示。
從上文可看出的是，第一及第二螺桿1B及2B的作用並不是要產生容積的縮減及壓縮。第一及第二螺桿的作用是要在阻塞點P1實施連續不斷的相同阻塞，其在室30內的氣體被第一及第二波瓣部分1A及2A壓縮時，將氣體保持在室30內。第一及第二螺桿亦具有在阻塞點P2實施連續不斷的相同的阻塞，在第一及第二波瓣部分1A及2A的室30內的氣體被壓縮之後，此連續的阻塞將此氣體隔離。
因為壓縮主要發生在第一及第二波瓣部分1A及2A，所以源於此壓縮的加熱亦主要在第一及第二波瓣部分1A及2A。幸虧如此，第一及第二螺桿1B及2B的低的溫度上升可被獲得，造成在第一及第二波瓣部分1A及2A的內部體積14的有效冷卻。再者，第一及第二螺桿1B及2B的低的溫度上升是有利的，因為控制該等螺桿內起因於該等螺桿有複雜的形狀的膨脹結果是相當複雜的。
1:第一轉子 2:第二轉子 3:外殼 5:軸承 6:軸 7:軸承 8:軸 X1-X1’:轉動軸線 X2-X2’:轉動軸線 10:馬達 11:齒輪 12:齒輪 1A:第一波瓣部分 1B:第一螺桿 2A:第二波瓣部分 2B:第二螺桿 14:內部體積 15:入口 16:出口 18:收集室 17:裝置 20:波瓣 21:螺旋螺紋 22:波瓣 23:螺旋螺紋 25:進氣室 30:室 31:室 32:室 33:室
其它優點及特徵將從下面以非限制性的例子被提出且在附圖中被呈現之本發明的特殊實施例的描述中更清楚地浮現: [圖1]是依據本發明的實施例的一用於氣體的乾泵的示意軸向剖面圖； [圖2]是立體圖，其呈現圖1的乾泵的兩個組成轉子且被簡化，簡化處在於轉子的軸被省略掉； [圖3]是側視及分解圖，其顯示圖1的乾泵的兩個轉子的一者且被簡化，簡化處在於該被顯示的轉子的軸被省略掉； [圖4]是一如同圖2及3一樣地被簡化的圖式，其顯示和圖2一樣的轉子，以及被這些轉子部分地界定在圖1的乾泵內的室，其中該等轉子是從一端看的端子； [圖5]是立體圖，其如同圖2及3一樣地被簡化且顯示和圖2一樣的轉子，以及被這些轉子部分地界定在圖1的乾泵內的室； [圖6]是立體圖，其顯示可從圖4及5中看到的諸室中的一個室； [圖7]是立體圖，其顯示和圖6一樣的室但時間稍後，換言之，是此室在圖6中所示的時間點之後的一時間點所呈現的情形； [圖8]是立體圖，其顯示和圖6及7一樣的室但時間稍後，換言之，是此室在圖7中所示的時間點之後的一時間點所呈現的情形；及 [圖9]是圖表，其顯示圖6至8的室的容積隨著時間的推進的演化。
1A:第一波瓣部分
1B:第一螺桿
2A:第二波瓣部分
2B:第二螺桿
18:收集室
20:波瓣
21:螺旋螺紋
22:波瓣
23:螺旋螺紋
25:進氣室
30:室
31:室
32:室
33:室

Claims (14)

  1. 一種用於氣體的乾泵，包含: 第一轉子(1)，包含第一波瓣部分(1A)及第一螺桿(1B)， 第二轉子(2)，包含第二波瓣部分(2A)及第二螺桿(2B)， 外殼(3)，該第一和第二轉子(1，2)以該第一及第二螺桿(1B，2B)彼此嚙合以及該第一及第二波瓣部分(1A，2A)彼此嚙合的方式被轉動地安裝於該外殼內， 該外殼(3)界定一內部體積(14)，該第一及第二螺桿(1B，2B)和該第一及第二波瓣部分(1A，2A)一起被設置在該內部體積內，露出至少一入口(15)，進入到在該第一和第二波瓣部分(1A，2A)的該內部體積(14)中，來自該內部體積(14)的至少一出口被設置成相關於該第一及第二螺桿(1B，2B)與該入口(15)相反， 該乾泵的特徵在於該第一及第二螺桿(1B，2B)的每一者包含一沿著其長度不變的螺紋齒部(threading)，該第一及第二轉子(1，2)以一種以能夠被依次連續的方式被設置在下列組態的方式轉動於相反方向上: -第一組態，在此組態中，該第一和第二波瓣部分(1A，2A)、該第一螺桿(1B)的一部分、該第二螺桿(2B)的一部分和該外殼(3)一起界定一被封閉的室(30)， -第二組態，在此組態中，該室(30)一直是被該第一和第二波瓣部分(1A，2A)、該第一螺桿(1B)的一部分、該第二螺桿(2B)的一部分和該外殼(3)以一種被封閉且具有比第一組態小的容量的方式界定， -第三組態，在此組態中，該室(30)在該第一及第二螺桿(1B，2B)被完全移位且該室(30)與該等波瓣至少被該第一螺桿(1B)的該螺紋齒部的螺旋螺紋(21)、該第二螺桿(2B)的螺旋螺紋(23)、以及該第一螺桿(1B)的該螺紋齒部的該螺旋螺紋(21)與該第二螺桿(2B)的該螺旋螺紋(23)的交叉所形成的阻塞(blocking)隔離，及 -第四組態，在此組態中，該室(30)在該第一及第二螺桿(1B，2B)的下游端被移位且與該出口(16)聯通。
  2. 如請求項1之用於氣體的乾泵，其中該第一和第二波瓣部分(1A，2A)包含諸波瓣(20，22)，每一波瓣沿著該第一及第二螺桿(1B，2B)的該等螺紋齒部的該等螺旋螺紋(21，23)的一者延伸。
  3. 如請求項2之用於氣體的乾泵，其中該第一波瓣部分(1A)的波瓣(20)的數量等於該第一螺桿(1B)的螺紋齒部的螺旋螺紋(21)的數量，該第二波瓣部分(2A)的波瓣(22)的數量等於該第二螺桿(2B)的螺紋齒部的螺旋螺紋(23)的數量。
  4. 如請求項1至3項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該出口(16)被設置在離該第一及第二螺桿(1B，2B)一距離處。
  5. 如請求項1至4項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該室(30)是該第一和第二轉子(1，2)與該外殼(3)一起界定的多個連續的室(18，25，30，31，32，33)中的一個室。
  6. 如請求項5之用於氣體的乾泵，其中不論該第一及第二轉子(1，2)的個別角度位置為何，在該等連續的室(18，25，30，31，32，33)中永遠都有兩個封閉的室。
  7. 如請求項5及6項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該等連續的室(18，25，30，31，32，33)中的一個室是收集室(18)，其具有來自該內部體積(14)的該出口(16)。
  8. 如請求項7之用於氣體的乾泵，其中該第一螺桿(1B)的該螺紋齒部和該第二螺桿(2B)的該螺紋齒部界定諸螺旋溝槽，這些螺旋溝槽的下游端是開放的且不論該第一及第二轉子(1，2)的個別角度位置為何都露出進入到該收集室(18)內。
  9. 如請求項1至8項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該第一轉子(1)是公轉子，該第二轉子(2)是母轉子。
  10. 如請求項1至9項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該第二轉子(2)包含的波瓣的數量比該第一轉子(1)多一個。
  11. 如請求項1至10項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該第一轉子(1)包含多個波瓣，其數量是兩個，該第二轉子(2)包含多個波瓣，其數量是三個。
  12. 如請求項1至11項中任一項之用於氣體的乾泵，其中第一轉子(1)具有一截面，其在該第一波瓣部分(1A)和在該第一螺桿(1B)是一樣的，但其角度方位除外，且該第二轉子(2)具有一截面，其在該第二波瓣部分(2A)和在該第二螺桿(2B)是一樣的，但其角度方位除外。
  13. 如請求項1至12項中任一項之用於氣體的乾泵，其中該第一轉子(1)具有至少兩個被保持在一起的單體元件(monobloc element)，它們是第一單體元件，其包含至少該第一螺桿(1B)、和第二單體元件，其包含至少該第一波瓣部分(1A)的一部分。
  14. 一組多個用於氣體的乾泵，該等用於氣體的乾泵係如請求項1至13項中任一項之用於氣體的乾泵，其特徵在於該組多個用於氣體的乾泵中的第一用於氣體的乾泵和第二用於氣體的乾泵的第一螺桿(1B)是一樣的、該組多個用於氣體的乾泵中的該第一用於氣體的乾泵和該第二用於氣體的乾泵的第二螺桿(2B)是一樣的、該第一用於氣體的乾泵的第一和第二波瓣部分(1A，2A)具有一軸向尺寸，其為第一軸向尺寸、該第二用於氣體的乾泵的第一和第二波瓣部分(1A，2A)具有一軸向尺寸，其為不同於該第一軸向尺寸的第二軸向尺寸。
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