TW202041443A - 高架搬送車 - Google Patents

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Abstract

本發明之高架搬送車具備有：移行單元，其沿著軌道移行；保持單元，其保持搬送對象物；及升降驅動單元，其使保持單元升降。保持單元具有：基座；保持部，其包含本體部、及以可進行開閉之方式被連結於本體部之1對把持部，並以沿著1對把持部之開閉方向移動之方式被安裝於基座；以及第1彈性構件，其於基座與本體部之間，限制保持部沿著開閉方向之移動。

Description

高架搬送車
本發明係關於高架搬送車。
於保持搬送對象物之保持單元中，已知有為了抑制鉛直方向及水平方向之振動傳遞至搬送對象物之情形，而將包含1對把持部之保持部配置於彈性構件上之高架搬送車(例如，參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第6327124號公報
(發明所欲解決之問題)
然而，於如上所述之高架搬送車中，由於藉由將保持部配置於彈性構件上來抑制振動傳遞至搬送對象物之情形，因此難以有效地抑制沿著水平方向之一方向之振動傳遞至搬送對象物之情形。
因此，本發明之目的，在於提供可利用簡易之構成而有效地抑制沿著水平方向之一方向之振動傳遞至搬送對象物的高架搬送車。 (解決問題之技術手段)
本發明一態樣之高架搬送車具備有：移行單元，其沿著軌道移行；保持單元，其保持搬送對象物；及升降驅動單元，其使保持單元升降；保持單元具有：基座；保持部，其包含本體部、及以可進行開閉之方式被連結於本體部之1對把持部，並以沿著1對把持部之開閉方向可進行移動之方式被安裝於基座；以及第1彈性構件，其於基座與本體部之間，限制保持部沿著開閉方向之移動。
於該高架搬送車中，保持部以可沿著1對把持部之開閉方向移動之方式被安裝於基座，第1彈性構件於基座與保持部之本體部之間，限制保持部沿著1對把持部之開閉方向之移動。藉此，可使第1彈性構件吸收作為沿著水平方向之一方向之振動的1對把持部之開閉方向之振動。況且，藉由使保持部相對於基座之移動方向與1對把持部之開閉方向一致，可謀求構成之簡易化。根據以上內容，藉由該高架搬送車，可利用簡易之構成有效地抑制沿著水平方向之一方向之振動傳遞至搬送對象物之情形。
於本發明一態樣之高架搬送車中，保持單元亦可進一步具有將1對把持部可進行能夠開閉地加以導引且將保持部可進行移動地加以導引之線性運動機構。如此，藉由使線性運動機構兼用於1對把持部之導引及保持部之導引，可謀求構成之簡易化。
於本發明一態樣之高架搬送車中，開閉方向亦可為沿著移行單元之移行方向。藉此，可抑制當高架搬送車進行加速或減速時、或者當高架搬送車通過軌道上之微小階差時等所可能產生之移行方向之振動傳遞至搬送對象物之情形。
於本發明一態樣之高架搬送車中，保持單元亦可進一步具有：連接構件，其連接升降驅動單元所具有之傳送帶之下端部；及第2彈性構件，其被配置於連接構件中位於基座之下側之部分與基座之間。藉此，可抑制為保持單元將搬送對象物載置於移載目的地時、或者當高架搬送車通過軌道上之微小之階差時等所可能產生之鉛直方向之振動傳遞至搬送對象物之情形。 (對照先前技術之功效)
根據本發明，可提供可利用簡易之構成而有效地抑制沿著水平方向之一方向之振動傳遞至搬送對象物之情形的高架搬送車。
以下，參照圖式對本發明之實施形態詳細地進行說明。再者，於各圖中對相同或相當的部分標示相同符號，並省略重複之說明。
如圖1所示，高架搬送車1沿著被鋪設於製造半導體元件之無塵室之天花板附近之軌道100移行。高架搬送車1進行收容有複數個半導體晶圓之FOUP(前開式晶圓傳盒；Front Opening Unified Pod)(搬送對象物)200之搬送、及FOUP 200相對於被設置在對半導體晶圓實施各種處理之處理裝置之裝載埠(移載目的地)300的移載。於以下之說明中，將鉛直方向稱為Z軸方向，將軌道100之延伸方向稱為X軸方向，並將與Z軸方向及X軸方向垂直之方向稱為Y軸方向。於本實施形態中，軌道100沿著水平方向延伸。
高架搬送車1具備有框架單元2、移行單元3、橫移(lateral)單元4、θ(theta)單元5、升降驅動單元6、保持單元7、及控制器9。框架單元2具有中央框架21、前框架22、及後框架23。前框架22自中央框架21之前側(高架搬送車1之移行方向上之前側)之端部朝下側延伸。後框架23自中央框架21之後側(高架搬送車1之移行方向上之後側)之端部朝下側延伸。
移行單元3被配置於中央框架21之上側。移行單元3例如藉由自沿著軌道100被鋪設之高頻電流線無接觸地接受電力之供給，而沿著軌道100移行。橫移單元4被配置於中央框架21之下側。橫移單元4使θ單元5、升降驅動單元6及保持單元7朝橫向(高架搬送車1之移行方向上之側方)移動。θ單元5被配置於橫移單元4之下側。θ單元5使升降驅動單元6及保持單元7於水平面內旋動。
升降驅動單元6被配置於θ單元5之下側。升降驅動單元6使保持單元7升降。更具體而言，升降驅動單元6藉由捲取懸掛有保持單元7之複數個傳送帶61而使保持單元7上升，並藉由將懸掛有保持單元7之複數個傳送帶61捲出而使保持單元7下降。保持單元7被配置於升降驅動單元6之下側。保持單元7保持FOUP 200。更具體而言，保持單元7藉由保持部8保持FOUP 200之凸緣部201，來保持FOUP 200。控制器9被配置於中央框架21。控制器9係由CPU(中央處理單元；Central Processing Unit)、ROM(唯讀記憶體；Read Only Memory)及RAM(隨機存取記憶體；Random Access Memory)等所構成之電子控制單元。控制器9對高架搬送車1之各部進行控制。
如以上所構成之高架搬送車1，作為一例而以如下之方式動作。於將FOUP 200自裝載埠300移載至高架搬送車1之情形時，未保持有FOUP 200之高架搬送車1於裝載埠300之上方停止。接著，升降驅動單元6使保持單元7下降，保持部8保持被載置於裝載埠300之FOUP 200之凸緣部201。接著，升降驅動單元6使保持單元7上升，將FOUP 200配置於前框架22與後框架23之間。接著，保持有FOUP 200之高架搬送車1開始移行。
另一方面，於將FOUP 200自高架搬送車1移載至裝載埠300之情形時，保持有FOUP 200之高架搬送車1於裝載埠300之上方停止。接著，升降驅動單元6使保持單元7下降，將FOUP 200載置於裝載埠300，保持部8解除FOUP 200之凸緣部201的保持。接著，升降驅動單元6使保持單元7上升。接著，未保持有FOUP 200之高架搬送車1開始移行。
其次，對保持單元7之構成詳細地進行說明。如圖2及圖3所示，保持單元7除了保持部8以外，還具有基座71及複數個線性運動機構72、73、74。保持部8經由複數個線性運動機構72、73、74被安裝於基座71。各線性運動機構72、73、74將保持部8之各部以僅可使該等沿著X軸方向移動之方式加以支撐。於本實施形態中，各線性運動機構72、73、74係以使線性滑塊沿著軌道滑動之方式所構成之線性導軌。再者，被配置於基座71上之保持部8及複數個線性運動機構72、73、74等由殼體(省略圖示)所覆蓋。
保持部8具有本體部81、驅動馬達82、1對把持部83、84、1對連桿機構85、86、及中心錐單元87。本體部81被固定於線性運動機構72之線性滑塊。驅動馬達82以轉動軸82a沿著Y軸方向延伸之方式被固定於本體部81。於本體部81亦安裝有用以維持轉動軸82a之停止狀態之制動機構82b等。
把持部83被配置於X軸方向上之本體部81之一側。把持部83具有支撐部83a、1對連結部83b、及爪部83c。支撐部83a被固定於線性運動機構73之線性滑塊。1對連結部83b自支撐部83a經由1對狹縫71a朝基座71之下側延伸。1對狹縫71a以在線性運動機構73之兩側沿著線性運動機構73朝X軸方向延伸之方式被形成於基座71。爪部83c係卡合於FOUP 200之凸緣部201的部分，且於基座71之下側被固定於1對連結部83b之下端部。
把持部84被配置於X軸方向上之本體部81之另一側(相對於本體部81而與把持部83為相反側)。把持部84具有支撐部84a、1對連結部84b、及爪部84c。支撐部84a被固定於線性運動機構74之線性滑塊。1對連結部84b自支撐部84a經由1對狹縫71b朝基座71之下側延伸。1對狹縫71b以在線性運動機構74之兩側沿著線性運動機構74朝X軸方向延伸之方式被形成於基座71。爪部84c係卡合於FOUP 200之凸緣部201的部分，且於基座71之下側被固定於1對連結部84b之下端部。
如圖4所示，連桿機構85將驅動馬達82之轉動軸82a與把持部83之支撐部83a加以連結。更具體而言，連桿機構85具有第1連桿85a及第2連桿85b。第1連桿85a之一端部被固定於轉動軸82a。第2連桿85b之一端部可進行轉動地被安裝於第1連桿85a之另一端部。第2連桿85b之另一端部可進行轉動地被安裝於被設置在支撐部83a之銷。
連桿機構86將驅動馬達82之轉動軸82a與把持部84之支撐部84a加以連結。更具體而言，連桿機構86具有第1連桿86a、第2連桿86b、及第3連桿86c。第1連桿86a之一端部被固定於轉動軸82a。第2連桿86b之一端部可進行轉動地被安裝於第1連桿86a之另一端部。第2連桿86b之另一端部可進行轉動地被安裝於第3連桿86c之一端部。第3連桿86c之另一端部被固定於支撐部84a。再者，於本實施形態中，第1連桿85a及第1連桿86a一體地被形成。
當1對把持部83、84把持FOUP 200之凸緣部201時，驅動馬達82之轉動軸82a朝一方向(於圖4中為順時針)被轉動，並藉由1對連桿機構85、86之作用，1對把持部83、84沿著X軸方向被關閉。另一方面，當1對把持部83、84解除凸緣部201之把持時，驅動馬達82之轉動軸82a朝另一方向(於圖4中，逆時針)被轉動，並藉由1對連桿機構85、86之作用，1對把持部83、84沿著X軸方向被打開。
如圖2及圖3所示，中心錐單元87具有1對導件87a、1對桿87b、中心錐87c、及1對螺旋彈簧87d。1對導件87a以被並排設置於X軸方向上之狀態被固定於本體部81。各導件87a係沿著Z軸方向延伸之筒狀的構件。1對桿87b分別被插入1對導件87a。各桿87b之上端部藉由連結構件87e被相互地連結。1對桿87b自1對導件87a經由狹縫71c朝基座71之下側延伸。狹縫71c以沿著線性運動機構72朝X軸方向延伸之方式被形成於基座71。
中心錐87c於基座71之下側被固定於各桿87b之下端部。1對螺旋彈簧87d以分別由1對桿87b所插通之狀態，分別被配置於1對導件87a與中心錐87c之間。1對螺旋彈簧87d將中心錐87c相對於本體部81朝下側施力。中心錐單元87為了當保持部8保持FOUP 200之凸緣部201時將保持部8相對於凸緣部201進行定位，而使中心錐87c嵌合於被形成在凸緣部201之凹部。
於如上所構成之保持部8中，1對把持部83、84以可沿著X軸方向進行開閉之方式被連結於本體部81，而保持部8之整體以可沿著1對把持部83、84之開閉方向即X軸方向進行移動之方式被安裝於基座71。亦即，線性運動機構73、74沿著X軸方向將1對把持部83、84可進行開閉地加以導引，且沿著X軸方向將保持部8可進行移動地加以導引。於本實施形態中，1對把持部83、84之開閉方向及保持部8之移動方向，沿著移行單元3之移行方向(即軌道100之延伸方向)即X軸方向。
保持單元7進一步具有複數個第1彈性構件75、76。第1彈性構件75被配置於移動板81a與擋板71d之間。第1彈性構件76被配置於移動板81a與擋板71e之間。移動板81a以位於本體部81與把持部84之間之方式被設置於本體部81，且可與本體部81一起沿著X軸方向移動。擋板71d以相對於移動板81a位於把持部83側之方式;被設置於基座71，且於X軸方向上與移動板81a相對向。擋板71e以相對於移動板81a位於把持部84側之方式被設置於基座71，且於X軸方向上與移動板81a相對向。各第1彈性構件75、76例如為凝膠材、橡膠材、壓縮彈簧等。
當保持部8於以移動板81a朝擋板71d接近之方式沿著X軸方向進行移動時，第1彈性構件75會被壓縮，使該保持部8之移動藉由被壓縮之第1彈性構件75之反彈力所限制。另一方面，當保持部8以移動板81a朝擋板71e接近之方式沿著X軸方向進行移動時，第1彈性構件76會被壓縮，使該保持部8之移動藉由被壓縮之第1彈性構件76之反彈力所限制。如此，複數個第1彈性構件75、76於基座71與本體部81之間，限制保持部8沿著X軸方向之移動。
如圖5所示，保持單元7進一步具有連接構件78及第2彈性構件79。連接構件78以對應於升降驅動單元6之各傳送帶61之方式被設置。於連接構件78連接有對應之傳送帶61之下端部61a。連接構件78經由被形成於基座71之開口71f，朝基座之下側延伸。第2彈性構件79被配置於連接構件78中位於基座71之下側之部分78a與基座71之間。第2彈性構件79例如為凝膠材、橡膠材、壓縮彈簧等。與複數個傳送帶61對應之複數個連接構件78，藉由用以抑制繞Z軸之扭轉之連桿機構(省略圖示)被相互地連接。再者，於圖2、圖3及圖4中，省略連接構件78及第2彈性構件79之圖示。
如以上所說明般，於高架搬送車1中，保持部8以可沿著1對把持部83、84之開閉方向即X軸方向進行移動之方式被安裝於基座71，複數個第1彈性構件75、76於基座71與保持部8之本體部81之間，限制保持部8沿著1對把持部83、84之開閉方向即X軸方向之移動。藉此，可使複數個第1彈性構件75、76作為沿著水平方向之一方向之振動而吸收X軸方向之振動。況且，藉由使保持部8相對於基座71之移動方向與1對把持部83、84之開閉方向一致，可謀求構成之簡易化。根據以上內容，藉由高架搬送車1，可利用簡易之構成有效地抑制沿著水平方向之一方向之振動傳遞至FOUP 200之情形。
又，於高架搬送車1中，線性運動機構73、74將1對把持部83、84可進行開閉地加以導引且將保持部8可進行移動地加以導引。如此，藉由使線性運動機構73、74兼用於1對把持部83、84之導引及保持部8之導引，可謀求構成之簡易化。
又，於高架搬送車1中，1對把持部83、84之開閉方向及保持部8之移動方向，沿著移行單元3之移行方向即X軸方向。藉此，可抑制當高架搬送車1進行加速或減速時、或者當高架搬送車1通過軌道100上之微小階差時等所可能產生之移行方向之振動傳遞至FOUP 200之情形。
又，於高架搬送車1中，升降驅動單元6所具有之各傳送帶61之下端部61a被連接於連接構件78，第2彈性構件79被配置於連接構件78中位於基座71之下側之部分與基座71之間。藉此，可抑制當保持單元7將FOUP 200載置於裝載埠300時、或者當高架搬送車1通過軌道100上之微小階差時等所可能產生之鉛直方向之振動傳遞至FOUP 200之情形。
以上，雖已對本發明之實施形態進行說明，但本發明並不限定於上述實施形態。例如，本發明之搬送對象物並不限定為FOUP 200，亦可為收容有複數個玻璃基板之主光罩傳送盒等之其他物品。又，供本發明之高架搬送車進行移行之軌道並不限定於被鋪設於製造半導體器件之無塵室之天花板附近的軌道100，亦可為被鋪設於其他設施之天花板附近的軌道。又，1對把持部83、84之開閉方向及保持部8之移動方向亦可不沿著移行單元3之移行方向。又，各線性運動機構72、73、74之軌道亦可一體地被形成。
1:高架搬送車 2:框架單元 3:移行單元 4:橫移單元 5:θ單元 6:升降驅動單元 7:保持單元 8:保持部 9:控制器 21:中央框架 22:前框架 23:後框架 61:傳送帶 61a:下端部 71:基座 71a,71b,71c:狹縫 71d,71e:擋板 71f:開口 72,73,74:線性運動機構 75,76:第1彈性構件 78:連接構件 78a:連接構件78中位於基座71之下側之部分 79:第2彈性構件 81:本體部 82:驅動馬達 82a:轉動軸 82b:制動機構 83,84:把持部 83a,84a:支撐部 83b,84b:連結部 83c,84c:爪部 85,86:連桿機構 85a,86a:第1連桿 85b,86b:第2連桿 86c:第3連桿 87:中心錐單元 87a:導件 87b:桿 87c:中心錐 87d:螺旋彈簧 87e:連結構件 100:軌道 200:FOUP(搬送對象物) 201:凸緣部 300:裝載埠
圖1係一實施形態之高架搬送車之側視圖。 圖2係圖1所示之保持單元之側視圖。 圖3係圖2所示之保持單元之俯視圖。 圖4係沿著圖3所示之IV-IV線之剖面圖。 圖5係圖1所示之保持單元之一部分之放大圖。
7:保持單元
8:保持部
71:基座
71a,71b,71c:狹縫
71d,71e:擋板
72,73,74:線性運動機構
75,76:第1彈性構件
81:本體部
82:驅動馬達
83,84:把持部
83a,84a:支撐部
83b,84b:連結部
83c,84c:爪部
87:中心錐單元
87a:導件
87b:桿
87c:中心錐
87d:螺旋彈簧
87e:連結構件

Claims (4)

  1. 一種高架搬送車，其具備有： 移行單元，其沿著軌道移行； 保持單元，其保持搬送對象物；及 升降驅動單元，其使上述保持單元升降； 上述保持單元具有： 基座； 保持部，其包含本體部、及以可進行開閉之方式被連結於上述本體部之1對把持部，並以可沿著上述1對把持部之開閉方向移動之方式被安裝於上述基座；以及 第1彈性構件，其於上述基座與上述本體部之間，限制上述保持部沿著上述開閉方向之移動。
  2. 如請求項1之高架搬送車，其中， 上述保持單元進一步具有將上述1對把持部可進行開閉地加以導引且將上述保持部可進行移動地加以導引之線性運動機構。
  3. 如請求項1或2之高架搬送車，其中， 上述開閉方向為沿著上述移行單元之移行方向。
  4. 如請求項1或2之高架搬送車，其中， 上述保持單元進一步具有： 連接構件，其連接上述升降驅動單元所具有之傳送帶之下端部；及 第2彈性構件，其被配置於上述連接構件中位於上述基座之下側之部分與上述基座之間。
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