TW202022389A - 測試裝置之基板溫控單元及其應用之測試分類設備 - Google Patents
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Abstract
一種測試裝置之基板溫控單元,該測試裝置係於基板之容置部裝配至少一測試電子元件之測試座,測試座電性連接至少一位於基板底部之電路板,另於測試座之上方設置一具有下壓器及溫度作業器之壓接機構,該下壓器係壓抵電子元件,該基板溫控單元係於基板之不同於容置部的至少一部位設置至少一溫控部件,該溫控部件係溫控該基板之溫度,使基板保持預設溫度,以避免下壓器之高溫經基板傳導至電路板而受損,使電路板準確執行測試作業,達到提升測試品質之實用效益。
Description
本發明係提供一種可防止下壓器之高溫經基板傳導至電路板而受損,使電路板準確執行測試作業,以提升測試品質及節省成本的測試裝置之基板溫控單元。
在現今,電子元件於實際使用時,可能處於高溫環境,業者為確保電子元件之品質,於電子元件製作完成後,係以測試裝置對電子元件執行熱測作業,以淘汰不良品;請參閱第1圖,該電子元件測試裝置係於機台11之下方裝配一金屬製且具有複數個容置部121之基板12,基板12之底部裝配一電路板13,該電路板13之底面係電性連接一測試機14,而頂面則電性連接複數個具探針之測試座15,複數個測試座15係置入於基板12之複數個容置部121,以供承置及測試電子元件,該測試裝置另於測試座15之上方設置一壓接機構,該壓接機構係以移動臂16帶動加熱器17及具有下壓治具181之下壓器18作Z方向位移,該加熱器17係升溫下壓器18,下壓器18之下壓治具181則壓抵測試座15內之電子元件,並令下壓治具181周側之貼合面182貼置於基板12之頂面,使電子元件於模擬高溫測試環境中執行熱測作業;惟,該加熱器17係以85℃高溫而升溫下壓器18,不僅使下壓器18之下壓治具181具有85℃高溫外,亦使下壓器18之貼合面182具有85℃高溫,當下壓器18之貼合面182貼置於基板12時 ,即會經由基板12將85℃高溫向下傳導至電路板13,導致電路板13因溫度過高而損壞,以致無法正確對測試座15內之電子元件執行測試作業,因而誤判電子元件為不良品,不僅必須更換電路板13而增加成本,亦無法確保電子元件之測試品質。
本發明之目的一,係提供一種測試裝置之基板溫控單元,該測試裝置係於基板之容置部裝配至少一測試電子元件之測試座,測試座電性連接至少一位於基板底部之電路板,另於測試座之上方設置一具有下壓器及溫度作業器之壓接機構,該下壓器係壓抵電子元件,該基板溫控單元係於基板之不同於容置部的至少一部位設置至少一溫控部件,該溫控部件係溫控該基板之溫度,使基板保持預設溫度,以避免下壓器之高溫經基板傳導至電路板而受損,使電路板準確執行測試作業,達到節省成本及提升測試品質之實用效益。
本發明之目的二,係提供一種測試裝置之基板溫控單元,其中, 該基板溫控單元係於基板之底部設有至少一隔熱部件,以更加避免高溫傳導至電路板,達到提升使用效能之實用效益。
本發明之目的三,係提供一種測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元之溫控部件與基板之容置部間係設有至少一擋止部件,以避免溫控部件之流體流動至測試座,進而確保電子元件於測試座內順利執行測試作業。
本發明之目的四,係提供一種測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元係於基板設有至少一感測器,以感測基板之溫度,而利於調控溫控部件,達到提升使用效能之實用效益。
本發明之目的五,係提供一種應用測試裝置之基板溫控單元的測試分類設備,其包含機台、供料裝置、收料裝置、具基板溫控單元之測試裝置 、輸送裝置及中央控制裝置,該供料裝置係配置於機台,並設有至少一供料承置器,以承置待測之電子元件;該收料裝置係配置於機台,並設有至少一收料承置器,以承置已測之電子元件;本發明之測試裝置係配置於機台,並設有基板、電路板、測試座、壓接機構及基板溫控單元,以測試電子元件及溫控基板 ;該輸送裝置係配置於機台,並設有至少一移料器,以移載電子元件;該中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動,以執行自動化作業,達到提升作業效能之實用效益。
為使 貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解,茲舉一較佳實施例,並配合圖式,詳述如后:
請參閱第2、3、4圖,本發明測試裝置20包含基板21、電路板22、測試座23及基板溫控單元,更包含有壓接機構24及測試機25 ;該基板21係裝配於一具有通口31之機台30底部,基板21係為金屬製 ,並設有至少一容置部211,該容置部211係相通機台30之通口31,該基板21可直接鎖固於機台30,亦或可活動裝配於機台30之連接板,於本實施例中,該機台30係於通口31處裝配一為中空框架之連接板32,連接板32係設有至少一供氣道321,供氣道321之第一端連通一氣體供應設備(圖未示出),該基板21係裝配連結於機台30之連接板32,並使頂面之部分面積及容置部211相對於通口31而裸露於外。
該電路板22係裝配於基板21之下方,並於相對應基板21之容置部211位置裝配有電性連接之測試座23,該測試座23係具有至少一探針,並置入於基板21之容置部211,而裸露於機台30之通口31,以供移入電子元件而執行測試作業,該測試機25係電性連接裝配於電路板22之底部,以輸入或輸出測試訊號至電路板22,而測試電子元件。
該壓接機構24係位於測試座23之上方,並以移動臂241帶動下壓器242及溫度作業器243作至少一方向位移,該下壓器242係供壓抵測試座23內之電子元件執行測試作業,於本實施例中,移動臂241係帶動下壓器242作Z方向位移,下壓器242係設有至少一下壓治具2421,以壓抵電子元件,該下壓器242之底部且位於下壓治具2421之周側則形成有貼合面2422,以貼置於基板21之頂面,該溫度作業器243係溫控下壓器242至預設測試溫度,更進一步,溫度作業器243可為加熱件 、致冷晶片或具流體之載座,溫度作業器243可裝配於下壓器242之上方或內部,亦或裝配於下壓治具2421之內部,該溫度作業器243亦可作為下壓器242之下壓治具2421,並以溫度作業器243之底面作為壓接面 ,以壓接電子元件,例如溫度作業器243係為加熱件,而以加熱件之底面作為壓接面,另該下壓器242之上方亦可裝配浮動器(圖未示出),利用浮動器而使下壓器242作浮動位移,以防止壓損電子元件。
該基板溫控單元係於基板21之不同於容置部211的至少一部位設置至少一溫控部件,該溫控部件係溫控該基板21之溫度,以避免下壓器242之高溫經基板21傳導至電路板22而受損,更進一步,前述該不同於容置部211之至少一部位可為基板21之板厚內部或頂面或底面,該溫控部件可為具流體之溫控流道或致冷晶片或散熱材料,另於基板21之底面設有至少一隔熱部件,以更加避免高溫傳導至電路板22,例如該溫控部件為具有流體之溫控流道,該溫控流道可於基板21開設至少一流道段,亦或於基板21與隔熱部件設有相通之複數個流道段,亦或於基板21與連接板32間設有至少一流道段,不論前述任一方式均可減少基板21之溫度傳導至電路板22,再者,該溫控部件若為溫控流道,可於溫控流道與基板21之容置部211間設有至少一擋止部件,該擋止部件可為溫控流道與容置部211間之厚度部位或是獨立元件,以防止溫控流道之流體流動至容置部211;於本申請案之第一實施例中,基板溫控單元之溫控部件係為具有流體之溫控流道,該溫控流道係於基板21之容置部211的兩側設有第一流道段261,第一流道段261係連通該連接板32之供氣道321,以供氣體流入於第一流道段261,另於基板21之底面設有一由玻璃纖維強化塑膠製成之隔熱部件262,該隔熱部件262係開設有一較大尺寸之穿口2621,以供穿置複數個測試座23,溫控流道係於隔熱部件262之頂面且不同於穿口2621的部位凹設有較大面積之第二流道段2622,第二流道段2622之涵蓋範圍包含側段部位A、前段部位B及後段部位C,由於隔熱部件262貼合於基板21之底面 ,而可利用基板21之底面蓋合第二流道段2622之頂面,並使第二流道段2622相通第一流道段261, 以供流入氣體,又溫控流道係於基板21頂面的前段部位B及後段部位C各設有第三流道段263,該第三流道段263連通隔熱部件262之第二流道段2622,以供排出氣體,其中,該第三流道段263係於基板21設有一相通第二流道段2622之第一流道孔2631,第一流道孔2631並相通一水平配置於基板21頂面之流道槽2632 ,流道槽2632相通至少一第二流道孔2633,第二流道孔2633供排出氣體,另由於第二流道段2622未相通容置部211,而使第二流道段2622與容置部211之間的厚度部位形成一擋止部件2623,以避免氣體流動至測試座23,以確保電子元件於測試座23內順利執行測試作業,進而利用複數個相通之第一流道段261、第二流道段2622及第三流道段263形成一供氣體流動之溫控流道,令氣體於基板21之側段部位A、前段部位B及後段部位C流動,進而降低基板21之溫度;再者,該基板溫控單元係於基板21設有至少一感測器264,以感測基板21之溫度,並將感測資料傳輸至中央控制裝置(圖未示出),以利調控基板21之溫度。
請參閱第5、6圖,於執行電子元件熱測作業時,該測試裝置20之測試座23供移入待測之電子元件41,並使電子元件41經由測試座23之探針而電性連接電路板22及測試機25;接著該壓接機構24係以移動臂241帶動下壓器242及溫度作業器243作Z方向向下位移,令下壓器242之下壓治具2421壓抵測試座23內之電子元件41執行測試作業,並利用溫度作業器243升溫下壓器242至85℃測試作業溫度,使得電子元件41於模擬高溫測試環境中執行測試作業,由於下壓器242之貼合面2422會將高溫傳導至基板21,為避免基板21下方之電路板22受到高溫影響,該基板溫控單元係以連接板32之供氣道321將低溫氣體輸入至基板21之第一流道段261,氣體由第一流道段261流入至隔熱部件262之第二流道段2622,由於第二流道段2622係大面積涵蓋基板21之側段部位A、前段部位B及後段部位C,即可使氣體廣泛流動至基板21之側段部位A、前段部位B及後段部位C而作一冷熱交換,進而有效降低基板21之溫度至65℃,該第二流道段2622內之氣體再流入於基板21之第三流道段263的第一流道孔2631,第一流道孔2631之氣體流動至流道槽2632 ,再流入至第二流道孔2633而排出氣體,使得基板溫控單元可控制基板21保持65℃預設溫度,以有效避免基板21將下壓器242之高溫傳導至電路板22;再者,該隔熱部件262係為玻璃纖維強化塑膠製成,亦可輔助防止基板21將高溫傳導至電路板22,並搭配溫控流道之設計,以避免高溫蓄積於基板21而影響至容置部211內之測試座23;再者,該基板溫控單元利用感測器264即時監控基板21之溫度,並將感測資料傳輸至中央控制裝置(圖未示出),以利迅速調控基板21之溫度;因此,該基板溫控單元利用溫控流道及隔熱部件262而雙重降低基板21之熱傳導,以利電路板22正常執行測試作業,達到提升測試品質及節省成本之實用效益。
請參閱第7圖,係本申請案之第二實施例,其與第一實施例之差異在於該基板溫控單元係於基板21之不同於容置部211的部位設置至少一為致冷晶片265之溫控部件,若基板21溫度過高,利用致冷晶片265對基板21降溫,進而防止基板21之高溫傳導至電路板22。
請參閱第8圖,係本申請案之第三實施例,其與第一實施例之差異在於該基板溫控單元係於基板21之不同於容置部211的部位(如頂面)塗覆有可為散熱材料之溫控部件,該散熱材料係為散熱漆266,利用散熱漆266於基板21之頂面形成一散熱層,以使基板21降溫,進而防止基板21將高溫傳導至電路板22。
請參閱第2、3、4、9圖,本發明測試裝置20之基板溫控單元應用於測試分類設備,其包含機台30、供料裝置50、收料裝置60、本發明之具基板溫控單元的測試裝置20、輸送裝置70及中央控制裝置(圖未示出);該供料裝置50係配置於機台30,並設有至少一供料承置器51,以承置待測之電子元件;該收料裝置60係配置於機台30,並設有至少一收料承置器61,以承置已測之電子元件;本發明之測試裝置20係配置於機台30,並設有基板21、電路板22、測試座23、壓接機構24及基板溫控單元,以測試電子元件及溫控基板21;該輸送裝置70係配置於機台30,並設有至少一移料器,以移載電子元件,於本實施例中,係設有一作X-Y-Z方向位移之第一移料器71,以於供料裝置50之供料承置器51取出待測之電子元件,並移載至第一轉載台72及第二轉載台73,第一轉載台72及第二轉載台73載送待測之電子元件至換料位置,以供第二移料器74及第三移料器75取料,第二移料器74及第三移料器75再分別將待測之電子元件移載至測試裝置20之測試座23,該測試裝置20之壓接機構24係以下壓器242壓抵測試座23內之電子元件而執行測試作業,並以基板溫控單元溫控基板21,而防止下壓器242之高溫經基板21傳導至電路板22,以利電路板22準確執行測試作業,於完成測試作業,第二移料器74及第三移料器75將測試裝置20已測之電子元件移載至第一轉載台72及第二轉載台73,第一移料器71係於第一轉載台72及第二轉載台73取出已測之電子元件,並依據測試結果,將已測之電子元件輸送至收料裝置60之收料承置器61而分類收置;該中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動,以執行自動化作業,達到提升作業效能之實用效益。
[習知]
11:機台
12:基板
121:容置部
13:電路板
14:測試機
15:測試座
16:移動臂
17:加熱器
18:下壓器
181:下壓治具
182:貼合面
[本發明]
20:測試裝置
21:基板
211:容置部
22:電路板
23:測試座
24:壓接機構
241:移動臂
242:下壓器
2421:下壓治具
2422:貼合面
243:溫度作業器
25:測試機
261:第一流道段
262:隔熱部件
2621:穿口
2622:第二流道段
2623:擋止部件
263:第三流道段
2631:第一流道孔
2632:流道槽
2633:第二流道孔
264:感測器
265:致冷晶片
266:散熱漆
30:機台
31:通口
32:連接板
321:供氣道
41:電子元件
50:供料裝置
51:供料承置器
60:收料裝置
61:收料承置器
70:輸送裝置
71:第一移料器
72:第一轉載台
73:第二轉載台
74:第二移料器
75:第三移料器
A:側段部位
B:前段部位
C:後段部位
第1圖:習知測試裝置之使用示意圖。 第2圖:本發明測試裝置及基板溫控單元之示意圖。 第3圖:本發明基板溫控單元第一實施例之俯視圖。 第4圖:本發明基板溫控單元第一實施例之局部剖視圖。 第5圖:本發明基板溫控單元之使用示意圖。 第6圖:本發明基板溫控單元之使用局部示意圖。 第7圖:本發明基板溫控單元第二實施例之示意圖。 第8圖:本發明基板溫控單元第三實施例之示意圖。 第9圖:本發明測試裝置應用於測試分類設備之示意圖。
20:測試裝置
21:基板
211:容置部
22:電路板
23:測試座
24:壓接機構
241:移動臂
242:下壓器
2421:下壓治具
2422:貼合面
243:溫度作業器
25:測試機
261:第一流道段
262:隔熱部件
2622:第二流道段
264:感測器
32:連接板
321:供氣道
41:電子元件
Claims (10)
- 一種測試裝置之基板溫控單元,該測試裝置係於基板之容置部裝配 至少一測試電子元件之測試座,該測試座電性連接至少一位於該基 板下方之電路板,該基板溫控單元係於該基板之不同於該容置部的 至少一部位設置至少一溫控部件,該溫控部件係溫控該基板之溫度 ,以使該基板及該電路板保持預設溫度。
- 依申請專利範圍第1項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元之溫控部件係為具有流體之溫控流道。
- 依申請專利範圍第2項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該 溫控流道與該基板之容置部間設有至少一擋止部件。
- 依申請專利範圍第2項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元係於該基板之底部設有至少一隔熱部件。
- 依申請專利範圍第4項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該溫控流道係於該基板設有供流體流入之第一流道段,並於該隔熱部件設有至少一相通該第一流道段之第二流道段,該第二流道段係相通至少一設於該基板之第三流道段,以排出流體。
- 依申請專利範圍第1項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元之溫控部件係為致冷晶片。
- 依申請專利範圍第1項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元之溫控部件係為散熱材料。
- 依申請專利範圍第6或7項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元係於該基板之底部設有至少一隔熱部件。
- 依申請專利範圍第1、2、6或7項所述之測試裝置之基板溫控單元,其中,該基板溫控單元係於該基板設有至少一感測器,以感測該基板之溫度。
- 一種應用測試裝置之基板溫控單元的測試分類設備,包含: 機台; 供料裝置:係裝配於該機台,並設有至少一供料承置器,以容納待 測之電子元件; 收料裝置:係裝配於該機台,並設有至少一收料承置器,以容納已 測之電子元件; 至少一依申請專利範圍第1項所述之測試裝置之基板溫控單元:係 裝配於該機台; 輸送裝置:係裝配於該機台,並設有至少一移料器,以移載電子元 件; 中央控制裝置:係用以控制及整合各裝置作動,而執行自動化作業
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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TWI684012B TWI684012B (zh) | 2020-02-01 |
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Family
ID=70413173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107144605A TWI684012B (zh) | 2018-12-11 | 2018-12-11 | 測試裝置之基板溫控單元及其應用之測試分類設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWI684012B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113777466A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-12-10 | 杭州长川科技股份有限公司 | 测试装置 |
TWI779622B (zh) * | 2021-05-21 | 2022-10-01 | 謝德風 | 用以預燒預冷的測試裝置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI741748B (zh) * | 2020-08-20 | 2021-10-01 | 鴻勁精密股份有限公司 | 接合機構及其應用之作業設備 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI487923B (zh) * | 2013-06-18 | 2015-06-11 | Chroma Ate Inc | Test the temperature control module |
TWI627416B (zh) * | 2017-08-31 | 2018-06-21 | Test device with temperature control zone unit and test classification device thereof |
-
2018
- 2018-12-11 TW TW107144605A patent/TWI684012B/zh active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113777466A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-12-10 | 杭州长川科技股份有限公司 | 测试装置 |
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---|---|
TWI684012B (zh) | 2020-02-01 |
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