TW202020076A - 用於熱介面之耐磨塗層 - Google Patents

用於熱介面之耐磨塗層 Download PDF

Info

Publication number
TW202020076A
TW202020076A TW108134794A TW108134794A TW202020076A TW 202020076 A TW202020076 A TW 202020076A TW 108134794 A TW108134794 A TW 108134794A TW 108134794 A TW108134794 A TW 108134794A TW 202020076 A TW202020076 A TW 202020076A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
thermally conductive
conductive film
heat
heat sink
inorganic particulate
Prior art date
Application number
TW108134794A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI841603B (zh
Inventor
普那迪尤納 葛利
贾斯汀 科爾比
瑞德 J 切斯特菲爾德
保羅 A 彼得森
Original Assignee
德商漢高智慧財產控股公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 德商漢高智慧財產控股公司 filed Critical 德商漢高智慧財產控股公司
Publication of TW202020076A publication Critical patent/TW202020076A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI841603B publication Critical patent/TWI841603B/zh

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3737Organic materials with or without a thermoconductive filler
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/14Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to metal, e.g. car bodies
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/28Nitrogen-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L83/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L83/04Polysiloxanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/82After-treatment
    • C23C22/83Chemical after-treatment
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4266Thermal aspects, temperature control or temperature monitoring
    • G02B6/4268Cooling
    • G02B6/4269Cooling with heat sinks or radiation fins
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3672Foil-like cooling fins or heat sinks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0201Thermal arrangements, e.g. for cooling, heating or preventing overheating
    • H05K1/0203Cooling of mounted components
    • H05K1/0204Cooling of mounted components using means for thermal conduction connection in the thickness direction of the substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2039Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
    • H05K7/20436Inner thermal coupling elements in heat dissipating housings, e.g. protrusions or depressions integrally formed in the housing
    • H05K7/20445Inner thermal coupling elements in heat dissipating housings, e.g. protrusions or depressions integrally formed in the housing the coupling element being an additional piece, e.g. thermal standoff
    • H05K7/20472Sheet interfaces
    • H05K7/20481Sheet interfaces characterised by the material composition exhibiting specific thermal properties
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2039Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
    • H05K7/20509Multiple-component heat spreaders; Multi-component heat-conducting support plates; Multi-component non-closed heat-conducting structures
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2202/00Metallic substrate
    • B05D2202/20Metallic substrate based on light metals
    • B05D2202/25Metallic substrate based on light metals based on Al
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2202/00Metallic substrate
    • B05D2202/40Metallic substrate based on other transition elements
    • B05D2202/45Metallic substrate based on other transition elements based on Cu
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2350/00Pretreatment of the substrate
    • B05D2350/60Adding a layer before coating
    • B05D2350/65Adding a layer before coating metal layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2518/00Other type of polymers
    • B05D2518/10Silicon-containing polymers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2601/00Inorganic fillers
    • B05D2601/20Inorganic fillers used for non-pigmentation effect
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/28Nitrogen-containing compounds
    • C08K2003/282Binary compounds of nitrogen with aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K2201/00Specific properties of additives
    • C08K2201/002Physical properties
    • C08K2201/005Additives being defined by their particle size in general
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • G02B6/426Details of housings mounting, engaging or coupling of the package to a board, a frame or a panel
    • G02B6/4261Packages with mounting structures to be pluggable or detachable, e.g. having latches or rails

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Abstract

本發明提供一種具有可卸除電子組件之系統,其採用耐磨導熱薄膜作為該可卸除電子組件與散熱器之間的熱介面。當在主機裝置中反覆地安裝該可卸除電子組件及自腔室卸除該可卸除電子組件時,該耐磨薄膜減小該可卸除電子組件與該散熱器之間的熱阻抗。該耐磨薄膜包括由含矽樹脂形成之聚合物及無機微粒填料,該薄膜亦可在該散熱器處與腐蝕保護層互鎖。本發明提供一種形成散熱器之方法,該方法使熱阻抗之增加最小化。

Description

用於熱介面之耐磨塗層
本發明係關於作為發熱裝置與散熱器之間的熱介面之導熱薄膜。本發明更特定言之係針對一種耐磨導熱薄膜,其降低該發熱裝置與該散熱器之間之熱阻抗以允許重複安裝及卸除該發熱裝置。
電子系統愈來愈依賴於更小封裝中之更快的速度及更大的能力。此外,電子系統繼續使用電子裝置之愈來愈複雜的陣列,包括可用各種及可替換組件操作之模組化陣列。可替換組件之實例包括光學收發器,諸如C形狀因數可插拔(CFP)光收發器及小形狀因數可插拔(SFP)光收發器,其可安裝於模組化系統中/或自模組化系統卸除。此類光收發器為「可插拔的」,此係因為其可插入主機裝置或系統且可自主機裝置或系統卸除而無需自主機裝置或系統卸除電力。可插拔收發器通常在由主機系統之各自框架界定之腔室或埠處接收。
為了防止可插拔電子組件中之熱積聚,可在接收腔室處及/或周圍使用熱耗散裝置以輔助將所產生之熱量遠離可插拔電子組件耗散。在典型實施例中,熱耗散裝置在安裝於腔室中時接觸可插拔電子組件,以使得可自可插拔電子組件以傳導方式耗散熱量。自可插拔電子組件至熱耗散裝置之熱傳導之效率在很大程度上受到可插拔電子組件與熱耗散裝置之間的介面之熱阻抗的限制。通常,部分介面中之非接觸可能妨礙熱傳遞,使得藉由傳導進行之熱傳遞僅限於部分接觸區域,其中可插拔電子組件與熱耗散裝置之各個表面相接觸。通常,接觸表面為金屬不均勻的。與表面剛性組合之不均勻表面阻礙表面之間的廣泛實體接觸。
減少金屬表面之間的介面處的熱阻抗的一種方式為用柔性或適型熱介面材料(諸如糊劑、凝膠、薄膜或其類似物)塗佈金屬表面中之至少一者。雖然此等適型熱介面材料有效地用於可插拔電子組件及相關聯之熱耗散裝置之靜態應用中,但其無法耐受在諸如可插拔電子組件之動態環境中引發之磨耗力,諸如如下可插拔電子組件,其中可插拔電子組件重複地滑動至與熱耗散裝置之磨蝕接觸之腔室中及自該腔室滑出。因此,由於可插拔電子組件之重複安裝及卸除,此等適型熱介面材料傾向於在一時間段內崩解。該熱介面材料之降解導致將來自該可插拔電子組件之熱量轉移至該熱耗散裝置的熱阻抗提高。
因此,對於用於施加至可插拔電子組件與熱耗散裝置之間的介面之熱介面材料存在需求,該介面材料既足夠適型以減小介面之熱阻抗,且足夠耐磨以耐受來自主機裝置的可插拔電子組件與熱耗散裝置接觸之重複安裝及拆卸。期望此類耐磨性包括熱介面材料之內聚及熱介面材料與各個表面(諸如熱耗散裝置之表面)之黏著兩者。
本文揭示一種系統,其包含界定腔室之框架、散熱器及可卸除電子組件,該電子組件以可卸除方式插入該腔室中以與該散熱器之熱傳遞區域熱接觸。該散熱器包含金屬基板,該金屬基板具有界定其間之厚度之第一表面及第二表面,該金屬基板具有基板熱阻抗;導熱薄膜,其安置於界定熱傳遞區域之第一表面或第二表面中之至少一者的至少一部分上,該導熱薄膜包含(1)由含矽樹脂形成之聚合物及(2)無機微粒填料。在塔柏(Taber)磨耗測試之前定義跨該厚度經由該熱傳遞區域的初始熱阻抗,且在完成塔柏磨耗測試時定義跨該金屬基板之該厚度經由該熱傳遞區域之磨耗熱阻抗,其中該磨耗熱阻抗大於該初始熱阻抗約50%以上。
另一實施例揭示一種系統,其包含:主機裝置,其包括界定腔室之框架;可卸除模組,其產生傳送至該模組之第一表面之熱量,該模組經由該腔室以可卸除方式安裝於該主機裝置中;及散熱器,其與該框架相關聯以耗散來自該第一表面之熱量。該散熱器包括第二表面,在該第二表面上施加導熱薄膜以界定該散熱器之熱傳遞區域,且其中施加導熱薄膜以界定該第一表面或該第二表面之至少一部分上的該散熱器之熱傳遞區域,且其中當將該模組安裝於該裝置中以准許熱量由該第一表面接收時,該導熱薄膜與該第一表面或該第二表面直接接觸。該系統在塔柏磨耗測試之前展現經由該熱傳遞區域之初始熱阻抗,且在完成塔柏磨耗測試之後展示經由該熱傳遞區域之磨耗熱阻抗,該磨耗熱阻抗大於該初始熱阻抗不超過約50%。
在又一實施例中,揭示一種系統,其中該系統包含:主機裝置,其包括界定腔室之框架;可卸除模組,其產生傳送至該模組之第一表面之熱量,該模組經由該腔室以可卸除方式安裝於該主機裝置中;散熱器,其與該框架相關聯以耗散來自該第一表面之熱量。該散熱器包括一種散熱器,其包括第二表面,及施加至該第一表面或該第二表面之導熱薄膜。當將該模組安裝於該裝置中以准許熱量由該第一表面接收時,該導熱薄膜與該第一表面直接接觸,該第二表面包括腐蝕保護層,且該導熱薄膜包括與該腐蝕保護層互鎖之含矽聚合物。
在又一實施例中,提供一種用於形成散熱器之方法,其包含:提供具有第一表面之金屬基板、用轉化劑處理該第一表面以形成腐蝕保護層、製備具有含矽樹脂及無機微粒填料之前驅體、將該前驅體塗佈至該腐蝕保護層上、及原位固化以聚合該前驅體。由該樹脂形成之含矽聚合物與該腐蝕保護層互鎖。
本發明係關於適合於在安裝於主機裝置處時與主機裝置互動之可卸除電子組件。可卸除電子組件經由與散熱器之可滑動嚙合及脫嚙而安裝於主機裝置中及自主機裝置拆卸。散熱器通常定位於主機裝置之腔室/容器中,以使得安裝可卸除電子組件將其與散熱器熱接觸置放。該熱接觸藉由該可卸除電子組件與該散熱器之間的熱介面建立。熱介面至少部分地由本發明之熱介面構件填充。熱介面構件可較佳為呈薄膜或塗層形式之耐磨且黏性的主體。熱介面構件可黏著至可為散熱器之部分或熱耦合至散熱器之熱傳遞表面。將可卸除電子組件安裝至主機裝置之腔室/容器中將該可卸除電子組件之熱傳遞表面與熱介面本體熱接觸置放,該熱介面本體自身連接至散熱器。
如本文所使用,術語「主機裝置」意欲意謂電腦或計算裝置、網路裝置、信號發射器、信號接收器、開關、資料儲存裝置、子系統、印刷電路板、積體電路、微處理器或其類似裝置。
圖1及圖2描繪本發明之實例系統10之橫截面示意圖。說明為沿著方向箭頭13安裝至主機裝置16之腔室14中之可卸除模組12展示於圖1中。圖2說明具有安裝於主機裝置16處之可卸除模組12的系統10。可卸除模組12可具有第一表面12a,由可卸除模組12產生之熱量轉移至該第一表面。預期由可卸除模組12產生之熱量可轉移至可卸除模組12之除第一表面12a以外之部分,但出於本說明書之目的,熱耗散經由第一表面12a引導至主機裝置16。可卸除模組12可為(例如)可插拔光收發器。
系統10包括用於經由第一表面12a自可卸除模組12耗散熱量之散熱器20。散熱器20可與主機裝置16之框架15相關聯。散熱器20通常由高導熱材料(諸如金屬、金屬合金及其類似物)構成,且可包括一或多個熱耗散裝置,其有效地耗散由可卸除模組12產生之熱量。在圖1中所說明之實施例中,散熱器20可包含板部分22及自板部分22延伸及熱耦合至板部分22之散熱片24。散熱片24提供增大之表面積以增強向與散熱片24接觸之冷卻介質(圖中未示)(諸如周圍空氣)中之熱傳遞。散熱器20可由多種導熱材料製成,該等導熱材料之實例包括但不限於鋁及銅。散熱器20之板部分22包括用於自可卸除模組12接收熱量之熱接收表面26。
導熱薄膜30較佳地施加於熱接收表面26以界定熱傳遞區域「A」,其中來自可卸除模組12之熱量經由導熱薄膜30最有效地傳送至散熱器20。此熱傳遞區域「A」減小散熱器20之熱阻抗。熱傳遞區域「A」可為任何大小,較佳地約0.5-1.5 cm2 ,更佳地約1.0 cm2
在熱接收表面26與熱耗散表面28之間界定厚度「T」。如圖1中所展示,當可卸除模組12如圖2中所說明而安裝時,散熱器20及導熱薄膜30可以引起與模組12之第一表面12a接觸的方式安裝至框架15。此接觸准許散熱器20接收由可卸除模組12產生之熱量,且以合適之方式耗散熱量。
當模組12安裝於主機裝置16之腔室14中時,導熱薄膜30熱耦合至模組12之第一表面12a,較佳與該第一表面直接接觸。因此,導熱薄膜30位於模組12與散熱器20之間的熱介面處。以此方式,經由導熱薄膜30將模組12熱耦合至散熱器20。
導熱薄膜30為適型的、可變形的及/或可撓的以填充可卸除模組12之第一表面12a與熱接收表面26之間的間隙。因此,導熱薄膜30起作用以填充空隙,否則該等空隙將對可卸除模組12之第一表面12a與散熱器20之熱接收表面26之間的熱傳遞呈現相當大的阻抗。因此,導熱薄膜30在可卸除模組12與熱耗散表面28/散熱片24之間形成熱傳遞路徑之一部分。建立熱傳遞路徑,其經由傳導自第一表面12a、經由導熱薄膜30傳遞熱量且傳遞至熱接收表面26。
為了有效地填充可卸除模組12與散熱器20之間的介面處之空隙,導熱薄膜30較佳地展現相對低的彈性模數/楊氏模數,以及相對低的撓曲模數。在一些實施例中,導熱薄膜30具有小於約10 MPa且更佳小於約1 MPa之彈性模數/楊氏模數,其中在根據ASWTM-D395壓縮之後反彈大於約95%。可以導熱薄膜30之形狀或厚度之改變來調節其可撓性/變形性。在一些特別適用之實施例中,以小於約75 μm(例如約10-50 μm)之大體上均勻的厚度(「Tf 」)施加導熱薄膜30。
導熱薄膜30為導熱的、適型的及耐磨的,從而使得導熱薄膜30在與上文所描述之應用類似的應用中為耐用的,其中可卸除模組12重複地安裝及自主機裝置16之腔室14拆卸。通常伴有與導熱薄膜30之滑動實體接觸而安裝及重新安裝可卸除模組12。因此,由於此類重複安裝及拆卸損壞熱傳導膜30可顯著增加模組12之第一表面12a與散熱器20之熱接收表面26之間的介面處之熱阻抗。 因此,重要的是導熱薄膜30亦由於模組12與導熱薄膜30之間的滑動接觸而對磨耗具有抗性。在一些實施例中,導熱薄膜30可展現至少約0.1 W/m•K且更佳至少約0.5 W/m•K之導熱率,其中導熱率經由導熱薄膜30之厚度Tf 而量測。
導熱薄膜30較佳由一或多種聚合物成型樹脂及一或多種無機微粒填料形成。在一些實施例中,該聚合物成型樹脂為含矽熱固性樹脂。預期用於導熱薄膜30之例示性熱固性樹脂組合物包括環氧樹脂、丙烯酸酯及聚胺基甲酸酯。適用於本發明之熱結締薄膜30的聚合物成型樹脂之其他實例描述於美國專利第5,028,984號及第3,908,040號中,其以全文引用之方式併入本文中。
在一例示性實施例中,交聯聚合物網絡由兩部分鉑催化、加成固化聚矽氧聚合物形成,其使用與甲基氫矽氧烷-二甲基矽氧烷、三甲基矽烷氧基封端之共聚物反應的乙烯基封端之聚二甲基矽氧烷。
無機微粒填料亦包括於導熱薄膜30中。在一些實施例中,無機微粒填料選自氧化鋁、金剛石、黏土、鋁矽酸鹽、氮化鋁、氮化硼、氧化鋁、氮化鋁、氧化鎂、氧化鋅、碳化矽、二氧化矽、氧化鈹、氧化銻及其組合之群。在特別適用之實施例中,無機微粒填料為氮化鋁。在另一實施例中,填料選自由以下組成之群:碳奈米管、石墨烯、富勒烯及石墨。
可以每一百份樹脂小於約300份(phr)且更佳地小於約150 phr之濃度將無機微粒填料添加至聚合物成型樹脂中。已出人意料地確定小於或等於50 phr之無機微粒填料濃度提供增強導熱薄膜30之耐磨性之益處。如下文更詳細地描述,減少將無機微粒填料裝載至導熱薄膜30可減少導熱薄膜在磨耗測試之後的降解,且因此使在磨耗測試之後的熱傳遞區域「A」處之熱阻抗的增加最小化。咸信更低之微粒填料濃度會減少對聚合物基質黏著至金屬基板的干擾。因此,更低的微粒填料濃度可准許展現增強之耐磨性的「更具韌性」交聯聚合物。儘管較少無機填料存在於導熱薄膜30中,但此類增強之耐磨性在磨耗測試之後維持更低熱阻抗。耐磨性及聚合物基質連續性之維持出人意料地在維持低熱阻抗方面比如下薄膜更好,該薄膜自身可由於更高無機微粒填料濃度含量而更具導熱性。
在一些實施例中,無機微粒填料之最大粒度可為小於約50 μm且更佳小於約25 μm。在例示性實施例中,無機微粒填料之平均粒度可介於約1-5 μm之間且更佳地為約3 μm。
包括導熱薄膜30之散熱器可藉由將前驅體施加至板部分22之熱接收表面26,且在熱接收表面26處使前驅體原位固化來形成。在適用之實施例中,板部分22包含具有鋁或銅板部分22之第一表面(諸如熱接收表面26)的金屬基板。本發明涵蓋包括熱接收表面26處之金屬塗層的其他金屬或金屬合金。在一些實施例中,金屬基板之第一表面可用轉化劑處理以形成腐蝕保護層。轉化劑可為六價鉻、三價鉻、錫、氧化鈦、氧化鎂、不含鉻之阿洛丁(Alodine)及鋅中之至少一者。
用於施加至金屬基板之經轉化處理第一表面的前驅體可包括含矽樹脂及無機微粒填料,其中該含矽樹脂可為聚合物成型樹脂。此類前驅體可以小於75 μm且較佳介於10-50 μm之間的厚度塗佈至腐蝕保護層上。可經由網版印刷、狹縫塗佈、浸塗、選擇性印刷、簾幕式塗佈、槽模施配或其他適合之塗佈技術將前驅體塗佈至腐蝕保護層上。前驅體材料可為液態、膏狀、凝膠狀、滑脂狀或稱為預固化狀態之其他形式。在一個實施例中,前驅體可為溶解於一或多種溶劑中之溶液。經塗佈之前驅體可藉由適當固化機制原位固化以聚合前驅體,其中由樹脂形成之含矽聚合物與腐蝕保護層互鎖。預期用於本文中之固化機制包括(但不限於)紫外線照射、熱輻射、音波處理、化學固化及其類似處理。
術語「互鎖」在本文中意欲意謂含矽聚合物與腐蝕保護層之間的結合,該結合至少部分涉及如「Chemical Adhesion of Silicone Elastomers on Primed Metal Surfaces: A Comprehensive Survey of Open and Patent Literatures」,Progress in Organic Coatings , Loic Picard等人,第80卷(2015)第120-141頁中所描述之機械互鎖,該專利之內容係以引用之方式併入本文中。此類結合之實例將聚矽氧彈性體偶合至上底漆金屬表面。
現參看圖3之流程圖描述用於形成併有導熱薄膜30之散熱器20的例示性方法。為提供所需耐磨性,導熱薄膜呈現高水準之內聚力,以及高水準之與金屬熱接收表面26之黏著力。為輔助此類黏著,可處理熱接收表面26以用於增強與聚合物薄膜之結合。金屬表面可經鈍化以形成腐蝕保護層,該腐蝕保護層亦用以與導熱薄膜之聚合物互鎖。各種金屬表面處理可用以鈍化金屬表面,包括(但不限於)陽極化、鉻酸鹽轉化、鍍錫電及鋅電鍍。適用之金屬表面處理之實例為使用三價(1型)或六價(2型)鉻之鉻酸鹽轉化塗佈,該等鉻以Henkel Corporation、Madison Heights、MI之Bonderite或Alodine之商標市售。
其他適用之金屬表面處理包括以商標名EC2 可購自Henkel Corporation及如美國專利申請公開案第2017/0121841號中所描述之電子陶瓷塗佈,以及美國專利第6,946,401號;第6,361,833號;第4,162,947號及第3,434,943號及美國專利申請公開案第2010/0038254號中所描述之金屬表面處理,其各自之內容全文併入本文中。
接著將經處理之金屬散熱器浸沒於諸如異丙醇、丙酮、烷烴或水之溶劑中以供超音波處理2-10分鐘。自超音波處理浴移除金屬散熱器且用電離氣槍(諸如購自Simco-Ion之「頂部噴槍靜態消除噴槍(Top Gun Static Elimination Gun)」)乾燥,以減少或消除來自金屬表面之靜電荷及微粒。
在電離空氣乾燥步驟之後,金屬散熱器用紫外輻射及臭氧處理以清潔溶劑殘餘物、聚矽氧油或焊劑。
製備具有含矽樹脂及無機微粒填料之前驅體且將其施配至如上所述製備之腐蝕保護層上。可藉由網板印刷或諸如狹縫塗佈、浸塗或選擇性印刷之其他低量施配程序將前驅體施配於鈍化金屬表面之腐蝕保護層上。經塗佈之散熱器隨後在烘箱中在25-200℃下烘烤1-240分鐘以原位固化/聚合前驅體。
根據本發明之導熱薄膜組合物可視情況進一步包括一或多種流動添加劑、助黏劑、流變改質劑、韌化劑、助熔劑、反應速率控制劑及其類似物,以及其組合。反應速率調節劑之實例為四乙烯基四甲基環四矽氧烷。用以改良薄膜與金屬散熱器的黏著的實例或表面偶合劑/黏著促進劑包括環氧基官能三甲氧基矽烷、乙烯基官能三甲氧基矽烷及甲基丙烯酸酯官能三甲氧基矽烷。丁醇鈦(iv)可用於催化矽烷偶合劑與目標基板之縮合。韌化劑之實例可包括經六甲基二矽氮烷處理之煙霧狀二氧化矽。薄膜組合物
以下組成意欲僅為例示性的,且表示可包括於本發明之薄膜組合物中的某些組分。實例材料 1 ( 對於鋁金屬基板 )
Figure 108134794-A0304-0001
實例材料 2 ( 對於銅金屬基板 )
Figure 108134794-A0304-0002
耐磨性測試
測試塗佈有本發明之導熱薄膜之散熱器的耐磨性及熱效能。本文所使用之測試方法(名為「塔柏磨耗測試」)包括來自G133、F732、F2025、F2496及D4060之ASTM標準的概念以便分析塗層對磨耗之抗性。因為本發明之薄膜之成功依賴於在使用主機裝置之重複安裝及拆卸過程中對磨耗之抗性,所以該塔柏磨耗測試試圖定量分析薄膜之效能。與ASTM F732及F2496中所概述之方法類似,耐磨性之定量量測為經塗佈薄膜在磨耗測試過程中損失之體積百分比。體積損失可藉由計算磨耗後之質量損失(類似於ASTM G133及D4060)以重力方式測定。經塗佈薄膜之原始質量及損失質量准許對具有不同密度之塗層進行比較。
往復式研磨器可購自模型5900下之Taber Industries。將塔柏往復式研磨器與來自3M Company之Scotch-Brite® 通用淨化墊作為研磨表面擬合。使用能夠量測最接近0.1 mg之分析天平測定裝載薄膜之質量以及磨耗測試之後的質量損失。程序
藉由找到經塗佈基板之質量與經塗佈金屬基板之皮重之間的差值來確定薄膜質量。將待研磨之樣品置放於往復式研磨器上之夾具中且牢固地保持就位。接著將具有1吋2 面積之研磨墊與薄膜接觸置放,且施加5N之力。嚙合該往復式研磨器,且在每分鐘60轉之速率下線性做所需循環數目之往復運動。本文中所使用之往復「循環」包含跨越薄膜表面之兩個遍次,其中每一遍次覆蓋80 mm衝程長度。各樣品包括實例材料1或實例材料2之薄膜,其在參考圖3所描述之程序下被施加於1吋× 4吋之鋁搭接中。
完成往復循環後,自夾具卸除樣品,且在35 psi下用壓縮空氣移除任何鬆散材料/碎片,且用浸沒於異丙醇中之不起絨抹布擦拭乾淨。隨後使經研磨之樣品乾燥,且稱量以確定薄膜之質量損失。當暴露於往復研磨器之400個循環時,超過20%之任何薄膜質量損失視為薄膜耐久性失效。在50、100、200及400遍次中之每一者之後將樣品稱重。結果
使用塔柏磨耗測試技術在塗佈有實例材料1但具有不同微粒填料濃度之鋁基板樣品上進行實驗。圖5-圖8說明在併有25、50、150或250 phr氮化鋁填料之樣品上的塔柏磨耗測試之結果。圖5-圖8說明對含有小於或等於50 phr無機填料之薄膜之耐磨性之出人意料的益處。結果在「相對質量損失」條形圖中尤其為說明性的,該等條形圖說明在塔柏磨耗測試時之相對質量損失,而非僅絕對質量損失,其可藉由薄膜塗層之初始質量來實現。熱效能測試
亦比較在塔柏磨耗測試之前及之後的熱阻抗,經由熱效能來測試耐磨性及耐久性。依照測試方法MET BASA#MET-5.4-01-1900-測試2.1在約1.0 cm2 之面積上測試熱阻抗。在塔柏磨耗測試之後,熱阻抗增加50%視為失效。實例
在塔柏磨耗測試之後測試以下樣品之耐磨性與熱效能兩者:
Figure 108134794-A0304-0003
10:系統 12:可卸除模組 12a:第一表面 13:方向箭頭 14:腔室 15:框架 16:主機裝置 20:散熱器 22:板部分 24:散熱片 26:熱接收表面 28:熱耗散表面 30:導熱薄膜 T:厚度 Tf:均勻厚度 A:熱傳遞區域
圖1描繪本發明之系統之橫截面示意圖,其中可卸除模組安裝至主機裝置中。
圖2描繪本發明之系統之橫截面示意圖,其中該可卸除模組安裝至該主機裝置中。
圖3描繪用導熱薄膜塗佈金屬基板之步驟的流程圖。
圖4為說明在塔柏磨耗測試之後來自其各個金屬基板之薄膜之絕對質量損失的圖表。
圖5為說明在塔柏磨耗測試之後來自其各個金屬基板之薄膜之相對質量損失的圖表。
圖6為說明在塔柏磨耗測試之後來自其各個金屬基板之薄膜之絕對質量損失的圖表。
圖7為說明在塔柏磨耗測試之後來自其各個金屬基板之薄膜之相對質量損失的圖表。
10:系統
12:可卸除模組
12a:第一表面
13:方向箭頭
14:腔室
15:框架
16:主機裝置
20:散熱器
22:板部分
24:散熱片
26:熱接收表面
30:導熱薄膜

Claims (25)

  1. 一種系統,其包含: a.   框架,其界定腔室;及 b.   散熱器,其包含: 金屬基板,其具有界定其間之厚度的第一表面及第二表面,該金屬基板具有基板熱阻抗; 導熱薄膜,其安置於界定熱傳遞區域之該第一表面或該第二表面中之至少一者的至少一部分上,該導熱薄膜包含(1)由含矽樹脂形成之聚合物及(2)無機微粒填料, 其中在塔柏(Taber)磨耗測試之前定義跨該厚度經由該熱傳遞區域的初始熱阻抗,且在完成塔柏磨耗測試時定義跨該金屬基板之該厚度經由該熱傳遞區域之磨耗熱阻抗,其中該磨耗熱阻抗大於該初始熱阻抗約50%以上;及 電子組件,其以可卸除方式插入至該腔室中以用於熱接觸該散熱器之該熱傳遞區域。
  2. 如請求項1之系統,其中該初始熱阻抗及該磨耗熱阻抗中之每一者各自小於該基板熱阻抗。
  3. 如請求項1之系統,其中該磨耗熱阻抗小於約1.8℃/W。
  4. 如請求項1之系統,其中該無機微粒填料以小於或等於約50 phr之濃度存在於該薄膜中。
  5. 如請求項4之系統,其中該無機微粒填料之最大粒度小於約50 μm。
  6. 如請求項5之系統,其中該無機微粒填料之平均粒度為約3 μm。
  7. 如請求項4之系統,其中該無機微粒填料係選自氧化鋁、氧化鋅、氧化鎂、氮化鋁、氮化硼、二氧化矽、金剛石、黏土、鋁矽酸鹽及其組合之群。
  8. 如請求項1之系統,其中該基板之該厚度係在約10-100 μm之間。
  9. 如請求項8之系統,其中該導熱薄膜之厚度小於約25 μm。
  10. 一種系統,其包含: 主機裝置,其包括界定腔室之框架; 可卸除模組,其產生傳送至該模組之第一表面之熱量,該模組可經由該腔室以可卸除方式安裝於該主機裝置中; 散熱器,其與該框架相關聯以耗散來自該第一表面之熱量,其中該散熱器包括第二表面; 施加導熱薄膜以界定該第一表面或該第二表面之至少一部分上的該散熱器之熱傳遞區域,且其中在該模組安裝於該裝置中以准許該熱量由該第一表面接收時,該導熱薄膜與該第一表面或該第二表面直接接觸, 其中該系統在塔柏磨耗測試之前展現經由該熱傳遞區域之初始熱阻抗,且在完成塔柏磨耗測試時展示經由該熱傳遞區域之磨耗熱阻抗,該磨耗熱阻抗大於該初始熱阻抗不超過約50%。
  11. 如請求項10之系統,其中該導熱薄膜減小該散熱器與該第一表面之間的接觸區域之熱阻抗。
  12. 如請求項11之系統,其中該導熱薄膜包含由含矽樹脂形成之聚合物及無機微粒填料。
  13. 如請求項12之系統,其中該無機微粒填料係以低於或等於約50 phr之濃度存在於該導熱薄膜中。
  14. 如請求項13之系統,其中該無機微粒填料之最大粒度小於約50 μm。
  15. 如請求項10之系統,其中該導熱薄膜之厚度係小於約25 μm。
  16. 一種系統,其包含: 主機裝置,其包括界定腔室之框架; 可卸除模組,其產生傳送至該模組之第一表面之熱量,該模組經由該腔室以可卸除方式安裝於該主機裝置中; 散熱器,其與該框架相關聯以耗散來自該第一表面之熱量,其中該散熱器包括第二表面,且施加導熱薄膜至該第一表面或該第二表面,且其中在該模組安裝於該裝置中以准許該熱量由該第一表面接收時,該導熱薄膜與該第一表面直接接觸,該第二表面包括腐蝕保護層,且該導熱薄膜包括與該腐蝕保護層互鎖之含矽聚合物。
  17. 如請求項16之系統,其中該腐蝕保護層包括多孔氧化層、矽烷及甲基丙烯酸酯中之至少一者。
  18. 如請求項17之系統,其中該導熱薄膜包括無機微粒填料,且該含矽聚合物係由含矽樹脂形成。
  19. 如請求項18之系統,其中該無機微粒填料係以小於或等於約50 phr之濃度存在於該薄膜中。
  20. 如請求項19之系統,其中該導熱薄膜減小該散熱器與該第一表面之間的接觸區域之熱阻抗。
  21. 一種用於形成散熱器之方法,其包含: 提供具有第一表面之金屬基板; 用轉化劑處理該第一表面以形成腐蝕保護層; 製備具有含矽樹脂及無機微粒填料之前驅體; 將該前驅體塗佈至該腐蝕保護層上且原位固化以聚合該前驅體, 其中由該樹脂形成之含矽聚合物與該腐蝕保護層互鎖。
  22. 如請求項21之方法,其中該轉化劑包括六價鉻、三價鉻、錫、氧化鈦、氧化鎂、不含鉻之阿洛丁(Alodine)及鋅中之至少一者。
  23. 如請求項21之方法,其包括藉由網版印刷、狹縫塗佈、浸塗、選擇性印刷或其組合將該前驅體塗佈至該腐蝕保護層上。
  24. 如請求項22之方法,其中該含矽聚合物之厚度小於約25 μm。
  25. 如請求項21之方法,其中該無機微粒填料係以低於或等於50 phr之濃度存在。
TW108134794A 2018-09-27 2019-09-26 用於熱介面之耐磨塗層 TWI841603B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201862737437P 2018-09-27 2018-09-27
US62/737,437 2018-09-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202020076A true TW202020076A (zh) 2020-06-01
TWI841603B TWI841603B (zh) 2024-05-11

Family

ID=

Also Published As

Publication number Publication date
EP3857597A4 (en) 2022-10-05
EP3857597A2 (en) 2021-08-04
US20210212241A1 (en) 2021-07-08
JP2022502857A (ja) 2022-01-11
WO2020131188A2 (en) 2020-06-25
WO2020131188A3 (en) 2020-08-27
KR20210050492A (ko) 2021-05-07
CN112771662A (zh) 2021-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104918468B (zh) 导热片和电子设备
EP3533837B1 (en) One-pack curable type thermally conductive silicone grease composition and electronic/electrical component
US8334054B2 (en) Heat conductive cured product and making method
JP4459470B2 (ja) 電子部品の放熱構造体及びそれに用いる放熱シート
JP4108763B2 (ja) ブレーキアセンブリ用の被覆摩擦パッド
JP6307774B2 (ja) 硬化型熱伝導性グリス、放熱構造および放熱構造の製造方法
JP4381393B2 (ja) 静電チャック
TW200536895A (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding and method for manufacturing the same
JP6613462B2 (ja) 熱伝導性シート
CN106574144A (zh) 具有改善的硬度和抗冲击性的溶胶‑凝胶组合物
JP3425521B2 (ja) 低硬度熱伝導性シリコーンゴムシートの表面粘着性低減方法
WO2017112037A1 (en) Coated probe tips for plunger pins of an integrated circuit package test system
US20210212241A1 (en) Abrasion-resistant coatings for thermal interfaces
KR101666053B1 (ko) 방열 도료 및 이를 이용한 방열 코팅막 형성방법
CN108368418A (zh) 二维热传导材料及其用途
TWI841603B (zh) 用於熱介面之耐磨塗層
WO2022075307A1 (ja) 熱伝導性樹脂組成物及び電子機器
JP2020004836A (ja) 熱伝導構造体又は半導体装置
JP3178805B2 (ja) 放熱スペーサー
JP2011138857A (ja) 放熱性及びリワーク性に優れる電子装置の製造方法及び電子装置
JP7144645B2 (ja) 熱伝導性樹脂組成物及び電子機器
CN107399115B (zh) 导热性复合片材
JP5495429B2 (ja) 放熱性複合シート
TW202241703A (zh) 導熱性複合片及放熱性電子零件的構裝方法
JP6735432B1 (ja) 熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法