TW201930032A - 機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法 - Google Patents

Abstract

一種機械手臂裝置包含：機械手臂、夾爪裝置、影像擷取模組、距離感測單元及控制模組。夾爪裝置包含：兩個夾爪結構及活動組件。兩個夾爪結構與活動組件連接，控制模組能控制兩個夾爪結構彼此靠近或是彼此遠離。影像擷取模組設置於夾爪裝置，影像擷取模組用以擷取晶圓載具的預定範圍的影像，而能對應產生影像擷取資訊。距離感測單元用以感測晶圓載具的多個預定位置，而能對應產生多個距離感測資訊。控制模組能依據影像擷取資訊、多個距離感測資訊及資料庫中的預定位置資訊，對應控制夾爪裝置，以使夾爪裝置正確夾持晶圓載具。

Description

機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法

本發明涉及一種機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法，特別是一種載具晶圓載具的機械手臂裝置及其控制方法。

在晶圓製程中，半成品的晶圓片多是設置於晶圓載具中，而晶圓載具的取放則是利用機械手臂來進行。一般來說，機械手臂會依據預定的路徑，於預定的位置夾取晶圓載具或者是將晶圓載具置放於預定的位置。但在實際應用中，機械手臂可能因為各種環境因素，例如廠內高架地板不平整或貨架微變形，致使機械手臂與晶圓載具或機台設備之相對位置關係改變，而無法正確地夾取或是置放晶圓載具。

緣此，本發明人乃潛心研究並配合學理的運用，而提出一種設計合理且有效改善上述問題的本發明。

本發明的主要目的在於提供一種機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法，用以改善現有技術中，機械手臂在取放晶圓載具時，常會機械手臂未正確地夾持晶圓載具而導致晶圓載具於運送過程中不穩定，或者機械手臂未正確放置晶圓載具，而導致晶圓載具傾斜甚至傾倒的問題。

為了實現上述目的，本發明提供一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其用以於機械手臂裝置夾持一晶圓載具前，控制機械手臂裝置相對於晶圓載具的位置，控制方法包含： 一影像擷取步驟、一比對步驟、一距離感測步驟及一校正步驟。影像擷取步驟：利用一影像擷取模組，擷取晶圓載具的一預定範圍的影像，以對應產生一影像擷取資訊。比對步驟：利用影像擷取資訊比對一資料庫中的一晶圓盒影像資訊，並據以產生一影像比對資訊。距離感測步驟：利用設置於機械手臂的至少一距離感測單元，感測晶圓載具的多個預定位置，以對應產生多個距離感測資訊。校正步驟：依據影像比對資訊及多個距離感測資訊，控制機械手臂移動，以校正機械手臂的夾爪裝置與晶圓載具的輔助構件的相對位置，據以使機械手臂正確地夾持輔助構件。

為了實現上述目的，本發明提供一種機械手臂裝置，其用以夾持一晶圓載具，機械手臂包含：一機械手臂、一夾爪裝置、一影像擷取模組、至少一距離感測單元及一控制模組。夾爪裝置設置於機械手臂，夾爪裝置包含：兩個夾爪結構及一活動組件。兩個夾爪結構可活動地設置於活動組件，活動組件電性連接一控制模組，控制模組能控制兩個夾爪結構相對於活動組件彼此靠近或是彼此遠離。影像擷取模組設置於夾爪裝置，影像擷取模組用以擷取晶圓載具的一預定範圍的影像，而能對應產生一影像擷取資訊。距離感測單元設置於夾爪裝置，距離感測單元用以感測晶圓載具的多個預定位置，而能對應產生多個距離感測資訊。控制模組電性連接機械手臂、夾爪裝置、影像擷取模組及距離感測單元，控制模組能依據影像擷取資訊、多個距離感測資訊及一資料庫中的一預定位置資訊，對應控制夾爪裝置，以使夾爪裝置正確夾持晶圓載具。

為了實現上述目的，本發明提供一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其用以於機械手臂裝置夾持一晶圓載具，而欲將晶圓載具置放於一預定置放設備前，控制機械手臂裝置的位置，控制方法包含：影像擷取步驟：利用一影像擷取模組，擷取預定置放設備的一預定範圍的影像，以對應產生一影像擷取資 訊；比對步驟：利用影像擷取資訊比對一資料庫中的一預定置放位置影像資訊，並據以產生一影像比對資訊；距離感測步驟：利用設置於機械手臂裝置的至少一距離感測單元，對預定置放設備的至少兩個預定位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測資訊；校正步驟：依據影像比對資訊及至少兩個距離感測資訊，控制機械手臂裝置移動，以校正機械手臂裝置的夾爪裝置與預定置放設備的相對位置，據以使機械手臂裝置正確地將晶圓載具置放於預定置放設備。

本發明的有益效果可以在於：機械手臂裝置能夠正確地取放晶圓載具，如此，可大幅降低晶圓載具被不正確取放，而發生傾斜或是傾倒的機率。

為使能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。

1‧‧‧機械手臂裝置

10‧‧‧機械手臂

20‧‧‧夾爪裝置

21‧‧‧夾爪結構

22‧‧‧活動組件

221‧‧‧滑軌

222‧‧‧滑動件

30‧‧‧影像擷取模組

31‧‧‧影像擷取單元

32‧‧‧光源

40‧‧‧距離感測單元

50‧‧‧控制模組

60‧‧‧自動導引車

A‧‧‧生產設備

B‧‧‧貨架

C、F‧‧‧晶圓載具

C1、F1‧‧‧輔助構件

Q‧‧‧預定範圍

S‧‧‧外部控制訊號

圖1為本發明的機械手臂裝置欲夾持設置於生產設備上的晶圓載具的示意圖。

圖2為本發明的機械手臂裝置的局部放大示意圖。

圖3為本發明的機械手臂裝置的方塊示意圖。

圖4為本發明的機械手臂裝置欲夾持設置於生產設備上的晶圓載具的側視圖。

圖5為圖4所示晶圓載具的俯視圖。

圖6為本發明的機械手臂裝置的距離感測單元感測圖5的晶圓載具的示意圖。

圖7為本發明的機械手臂裝置欲夾持設置於貨架上的晶圓載具的示意圖。

圖8為本發明的機械手臂裝置欲夾持設置於貨架上的晶圓載具的俯視圖。

圖9為圖8所示晶圓載具的俯視圖。

圖10為本發明的機械手臂裝置的距離感測單元感測圖9的晶圓載具的示意圖。

圖11為本發明的機械手臂裝置的控制方法的其中一實施例的流程圖。

圖12為本發明的機械手臂裝置的控制方法的另一實施例的流程圖。

圖13為本發明的機械手臂裝置的控制方法的又一實施例的流程圖。

以下係藉由特定的具體實例說明本發明之機械手臂裝置及機械手臂裝置的控制方法的實施方式，熟悉此技術之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地瞭解本發明之其他優點與功效。本發明亦可藉由其他不同的具體實例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明之精神下進行各種修飾與變更。又本發明之圖式僅為簡單說明，並非依實際尺寸描繪，亦即未反應出相關構成之實際尺寸，先予敘明。以下之實施方式係進一步詳細說明本發明之觀點，但並非以任何觀點限制本發明之範疇。

請一併參閱圖1至圖3及圖7，圖1顯示為本發明的機械手臂裝置1欲夾持設置於一生產設備A上的晶圓載具C的示意圖；圖7顯示為本發明的機械手臂裝置欲夾持設置於一貨架B上的晶圓載具F的示意圖；其中，圖1所示的晶圓載具C的型態與圖7所示的晶圓載具F的型態不同，但本發明的機械手臂裝置不侷限於僅可夾持這兩種型態的晶圓載具。

如圖1、圖2所示，機械手臂裝置1用以夾持一晶圓載具C，所述機械手臂裝置1包含：一機械手臂10、一夾爪裝置20、一影像擷取模組30、至少一距離感測單元40及控制模組50(如圖3所 示)。機械手臂10可以活動地設置於一自動導引車60(Automated guided vehicle,AGV)，機械手臂10的末端設置有夾爪裝置20；於本實施例中是以機械手臂10設置於自動導引車60為例，但不以此為限，在不同的實施例中，機械手臂10可以是直接固定於生產設備A或貨架B旁。控制模組50電性連接機械手臂10、夾爪裝置20、影像擷取模組30及距離感測單元40；在實際應用中，控制模組50還可以控制自動導引車60。

如圖2所示，夾爪裝置20包含：兩個夾爪結構21及一活動組件22。兩個夾爪結構21用以夾持晶圓載具，各夾爪結構21的外型可以是依據其所欲夾持的晶圓載具的外型而決定，於此不加以限制，舉例來說，各夾爪結構21彼此相面對的一側可以是分別內凹形成有凹槽，而兩個夾爪結構21可以是透過兩個凹槽對應夾持晶圓載具的輔助構件(用以提供機械手臂夾持的結構，例如是類似於把手的結構)。

兩個夾爪結構21可活動地設置於活動組件22，活動組件22電性連接控制模組50，控制模組50能電性控制兩個夾爪結構21彼此靠近或是彼此遠離，據以使兩個夾爪結構21對應夾持晶圓載具C。在實際應用中，活動組件22可以是包含有一滑軌221、兩個滑動件222及多個連動構件(圖未示，例如是步進馬達、皮帶等)，兩個滑動件222分別可活動地設置於滑軌221，且控制模組50可以電性控制兩個滑動件222於滑軌221上移動。在實際應用中，控制模組50可以電性控制兩個滑動件222於滑軌221上，同時相互靠近移動或是同時相互遠離移動，或者，在不同的應用中，控制模組50也可以是依據需求僅控制單一個滑動件222於滑軌221上移動，於此不加以限制。

影像擷取模組30用以擷取所述晶圓載具C(或圖7所示的晶圓載具F)的一預定範圍Q的影像(如圖5、圖9所示)，而能對應產生一影像擷取資訊。在實際應用中，影像擷取模組30只要能對晶圓 載具C(或圖7所示的晶圓載具F)的預定範圍Q進行影像擷取，影像擷取模組30的設置可依據需求設置於在夾爪裝置20或機械手臂10。影像擷取模組30可以包含有影像擷取單元31及光源32，影像擷取模組30例如是感光耦合元件(Charge Coupled Device,CCD)或是互補性氧化金屬半導體(Complementary Metal-Oxide Semiconductor,CMOS)，於此不加以限制。光源32用以提供影像擷取模組30擷取影像時所需的光線，光源32與影像擷取模組30的鏡頭可以是同軸設置，但不以此為限。

距離感測單元40用以感測晶圓載具C(或圖7所示的晶圓載具F)的多個預定位置，而能對應產生多個距離感測資訊。距離感測單元40例如可以是利用雷射、超音波等無接觸的方式，或者可以是以接觸的方式進行距離感測。在實際應用中，距離感測單元40只要能感測晶圓載具C(或圖7所示的晶圓載具F)的多個預定位置的距離，距離感測單元40可以是設置於在夾爪裝置20或機械手臂10，但不以此為限。

在實際實施中，機械手臂裝置1可以包含有至少兩個距離感測單元40，且各個距離感測單元40可以是固定設置於夾爪裝置20或是機械手臂10，而多個距離感測單元40可以是同時被控制模組50控制，而同時進行距離感測，據以同時產生多個距離感測資訊。關於兩個距離感測單元40彼此間的距離，可以是依據需求加以設計，於此不加以限制。在特殊的應用中，各個距離感測單元40是可拆卸地設置於夾爪裝置20或是機械手臂10，而相關使用者可依據不同的晶圓載具C、晶圓載具F，對應調整各個距離感測單元40的設置位置。

在不同的應用中，機械手臂裝置1也可以是僅具有單一個距離感測單元40，而單一個距離感測單元40則是對應設置於一線性移動組件(圖未示，例如是滑軌及滑動件的組合)。藉此，控制模組50可以是透過控制線性移動組件，以使距離感測單元40先後移動 至位於同一軸線上的兩個預定位置進行距離感測。在不同的實施例中，機械手臂裝置1可以是僅具有單一個距離感測單元40，且單一個距離感測單元40可以是配合機械手臂10，而對兩個預定位置進行距離感測，而後透過控制模組50或是相關處理器，以得到機械手臂裝置1與兩個預定位置之間的距離。

控制模組50電性連接機械手臂10、夾爪裝置20、影像擷取模組30及距離感測單元40，控制模組50能依據影像擷取資訊、多個距離感測資訊及一資料庫中的一預定位置資訊，對應控制夾爪裝置20，以使夾爪裝置20正確夾持晶圓載具C(或圖7所示的晶圓載具F)。

在實際應用中，控制模組50可以是以有線或是無線的方式，接收一外部控制訊號S，且控制模組50可以依據外部控制訊號S對應控制自動導引車60；舉例來說，控制模組50可以是設置於機械手臂10或是自動導引車60的處理器，而外部的電腦設備可以傳遞外部控制訊號S至控制模組50，以透過控制模組50控制自動導引車60移動至特定的位置進行晶圓載具C(或圖7所示的晶圓載具F的取放作業。

依上所述，機械手臂裝置1的在夾持晶圓載具C(F)前可以是依序執行一移動步驟、一影像擷取步驟、一比對步驟、距離感測步驟及一校正步驟，據以使夾爪裝置20對晶圓載具C(F)進行位置校正。

所述移動步驟的具體實施方式可以是：控制模組50在接收外部控制訊號S(例如包含移動路徑資訊、欲夾取的晶圓載具所對應的影像資訊等)後，控制模組50控制自動導引車60移動至指定生產設備A或是貨架B(如圖7及圖8所示)，並使機械手臂10對應移動至生產設備A設置有晶圓載具C的特定位置或是貨架B設置有晶圓載具F的特定位置(如圖1及圖4所示)。

具體來說，如圖1及圖4所示，當頂面設置有輔助構件C1(用 以提供機械手臂夾持)的晶圓載具C設置於生產設備A時，控制模組50將控制機械手臂10，而使夾爪結構21對應位於晶圓載具C的正上方。如圖7及圖8所示，不同型態的晶圓載具F被設置於貨架B上，且晶圓載具F用以提供機械手臂10夾持的輔助構件F1對應外露於晶圓載具F的一側時，控制模組50同樣是可以透過機械手臂10，而使夾爪結構21面對輔助構件F1設置。

所述影像擷取步驟及比對步驟的具體實施方式可以是：當自動導引車60移動至特定生產設備A或是貨架B(如圖7及圖8所示)，且機械手臂10對應移動至鄰近欲夾取的晶圓載具C(F)的位置時，控制模組50將控制影像擷取模組30對晶圓載具C(F)進行影像擷取，而後控制模組50將依據影像擷取模組30所對應產生的影像擷取資訊，比對外部控制訊號S所包含的夾爪裝置20所欲夾取的晶圓載具C(F)對應的影像資訊，藉此，控制模組50可知道當下的夾爪裝置20相對於晶圓載具C(F)的一第一偏差量，而控制模組50則可依據第一偏差量對應移動機械手臂10或是夾爪裝置20，據以消除所述第一偏差量。其中，夾爪裝置20所欲夾取的晶圓載具C(F)對應的影像資訊，也可以是儲存於一資料庫中，不局限於來自外部控制訊號S。

具體來說，請一併參閱圖5及圖9，其分別顯示圖1及圖7所示的晶圓載具C、F的俯視圖，圖中所圈選的區域，即表示為影像擷取單元31所擷取的預定範圍Q，亦即，影像擷取單元31可以是擷取輔助構件C1、F1的局部位置的影像，但不以此為限。如圖4至圖6所示，控制模組50利用影像擷取模組30所擷取的影像，對比外部控制訊號S所包含的預定影像資訊，則可得知夾爪結構21相對於晶圓載具C的偏移量，藉此，控制模組50則可控制機械手臂10，以消除夾爪結構21相對於晶圓載具C偏移量。相對地，如圖7至圖10所示，控制模組50依據影像擷取模組30對預定範圍Q所擷取的影像，比對外部控制訊號S所傳遞的預定影 像資訊，則可對應調整夾爪結構21相對於晶圓載具F的偏移量。

所述距離感測步驟及校正步驟的具體實施方式可以是：控制模組50依據影像擷取資訊進行機械手臂10的調整後，控制模組50將再控制距離感測單元40對晶圓載具C(F)的至少兩個位置進行距離感測，而控制模組50則可依據距離感測單元40所產生的多個距離感測資訊，知道夾爪裝置20相對於晶圓載具C(F)的一第二偏差量，並據以控制機械手臂10作動，以消除所述第二偏差量。

具體來說，請參閱圖6，透過兩個距離感測單元40所感測的結果，控制模組50可以計算出兩個距離感測單元40於Z軸相對於晶圓載具C的輔助構件C1的距離差△Z，而控制模組50再依據兩個距離感測單元40於Y軸的距離△Y，控制模組50即可計算出夾爪結構21相對於晶圓載具C的偏移角度，藉此，控制模組50即可對應調整機械手臂10，以消除夾爪結構21相對於晶圓載具C的角度偏移。相似地，如圖10所示，透過兩個距離感測單元40所感測的結果，控制模組50可以計算出兩個距離感測單元40於Y軸方向相對於晶圓載具F的輔助構件F1的距離差△Y，而控制模組50再依據兩個距離感測單元40於X軸的距離△X，控制模組50即可計算出夾爪結構21相對於晶圓載具F的偏移角度，藉此，控制模組50即可對應調整機械手臂10，以消除夾爪結構21相對於晶圓載具F的角度偏移。

綜上所述，本發明的機械手臂裝置1可以利用影像擷取模組30及距離感測單元40，配合機械手臂10對夾爪裝置20進行至少兩次不同軸向的偏差量調整，藉此，可使夾爪裝置20準確地夾持晶圓載具C(F)。

請參閱圖11，其顯示為本發明的機械手臂裝置的控制方法的流程示意圖。如圖所示，本發明的一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其用以於機械手臂裝置夾持一晶圓載具前或是將所夾持的晶圓載具放下前，控制機械手臂裝置的位置，控制 方法包含以下步驟：影像擷取步驟S11：利用一影像擷取模組，擷取晶圓載具的一預定範圍的影像，以對應產生一影像擷取資訊(關於此步驟之具體實施說明，可參閱前述實施例對圖4、圖5、圖8及圖9之說明，但不以其為限)；比對步驟S12：利用影像擷取資訊比對一資料庫中的一晶圓盒影像資訊，並據以產生一影像比對資訊；距離感測步驟S13：利用設置於機械手臂裝置的至少一距離感測單元，對晶圓載具的至少兩個位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測資訊(關於此步驟之具體實施說明，可參閱前述實施例對圖6及圖10之說明，但不以其為限)；校正步驟S14：依據影像比對資訊及多個距離感測資訊，控制機械手臂裝置移動，以校正機械手臂裝置的夾爪裝置與晶圓載具的輔助構件的相對位置，據以使機械手臂裝置正確地夾持輔助構件。

上述流程步驟，可利用前述實施例的機械手臂裝置及其相關構件執行，但不以其為限。在比對步驟S12中，可以是利用設置於機械手臂裝置中的控制模組，進行影像擷取資訊與資料庫中的晶圓盒影像資訊進行比對作業，而所述資料庫則可以是對應儲存於所述控制模組中或是設置於所述機械手臂裝置中的相關儲存模組中。

在不同的實施例中，比對步驟S12可以是利用不設置於機械手臂裝置的控制模組(例如是中央控制電腦等)，接收影像擷取模組 所傳遞的影像擷取資訊，而所述資料庫可以是儲存於所述中央控制電腦中。於比對步驟S12中所產生的影像比對資訊，至少包含影像擷取資訊與晶圓盒影像資訊彼此間的角度差值資訊及偏移量，而相關的控制模組則能據以校正機械手臂裝置的夾爪裝置相對於晶圓載具的輔助構件的偏移量及角度。在實際應用中，所述晶圓盒影像資訊可以是由外部相關設備(例如電腦、雲端儲存器、記憶卡等)儲存至資料庫中。

在較佳的實施例中，在距離感測步驟S13中，兩個距離感測單元對晶圓載具進行感測的兩個位置，是位於影像擷取模組對晶圓載具進行影像擷取的影像擷取範圍中。於校正步驟S14中，是利用影像比對資訊、多個距離感測資訊及距離感測單元對晶圓載具所感測的兩個位置之間的距離，以校正機械手臂裝置的夾爪裝置與輔助構件的相對位置。

在距離感測步驟S13的實際實施中，可以是利用單一個距離感測單元先後對晶圓載具的兩個位置進行距離感測，而後於校正步驟S14中，則是利用影像比對資訊、多個距離感測資訊及單一個離感測單元對兩個位置先後進行距離感測時移動的距離；在不同的應用中，在距離感測步驟S13中，也可以是利用兩個距離感測單元同時對晶圓載具的兩個位置進行距離感測。

請參閱圖12，在不同的應用中，機械手臂裝置的控制方法，在影像擷取步驟S11前，還可以包含有以下步驟： 一移動步驟S10：接收一位置資訊，依據位置資訊控制機械手臂裝置移動至晶圓載具的周圍。

在移動步驟S10中，機械手臂裝置例如可以是直接固定設置於生產設備A或貨架B旁，或者可以是設置於一自動導引車(AGV)，於此不加以限制。在機械手臂裝置可活動地設置於自動導引車的實施例中，在移動步驟S10中，接收位置資訊後，將依據位置資訊，控制自動導引車及機械手臂裝置移動，以使自動導引 車移動至鄰近於設置有晶圓載具的一設備(例如是圖1所示設備A或圖7所示架體B)，並使機械手臂裝置移動至晶圓載具的周圍。

具體來說，所述位置資訊例如可以是「1號貨架的第2列中的第3個晶圓載具」，控制模組接收該位置資訊後，將可使機械手臂裝置移動至1號貨架旁，並使夾爪裝置對應移動至貨架的第2列的第3個晶圓載具的周圍，而後控制模組將控制夾爪裝置執行前述步驟S11~S14；換言之，所述移動步驟S10為機械手臂裝置的初始移動(粗調)階段，而前述步驟S11~S14則是機械手臂裝置的進階(微調)階段。

請參閱圖13，其顯示為本發明的機械手臂裝置的控制方法的另一實施例的流程示意圖。本實施例與前述實施例最大不同之處在於，前述實施例所界定的流程步驟，是在機械手臂裝置夾持晶圓載具前所進行的步驟，而本實施例所界定的流程步驟，則是在機械手臂裝置夾持晶圓載具時，所執行的流程步驟。如圖所示，本實施例所界定的機械手臂裝置於夾持晶圓載具，且機械手臂裝置欲將其所夾持的晶圓載具設置於一預定置放設備時的控制方法，包含以下步驟： 影像擷取步驟S21：利用一影像擷取模組，擷取預定置放設備(例如是圖1所示的設備A或是圖7所示的架體B)的一預定範圍的影像，以對應產生一影像擷取資訊；比對步驟S22：利用影像擷取資訊比對一資料庫中的一預定置放位置影像資訊，並據以產生一影像比對資訊；距離感測步驟S23：利用設置於機械手臂裝置的至少一距離感測單元，對預定置放設備的至少兩個預定位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測資訊； 校正步驟S24：依據影像比對資訊及多個距離感測資訊，控制機械手臂裝置移動，以校正機械手臂裝置的夾爪裝置與預定置放設備的相對位置，據以使機械手臂裝置正確地將晶圓載具置放於預定置放設備。

如上所載，本實施例所界定的流程步驟與前述實施例所界定的流程步驟，最大差異在於影像擷取模組進行影像擷取的對象不同(本實施例的影像擷取對象為預定置放設備、前一實施例的影像擷取對象為晶圓載具)，其餘流程步驟皆與前述實施例大致相同，於此不再贅述。

以上所述僅為本發明的較佳可行實施例，非因此侷限本發明的專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的保護範圍內。

Claims (11)

1. 一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其用以於所述機械手臂裝置夾持一晶圓載具前或是將所夾持的所述晶圓載具放下前，控制所述機械手臂裝置的位置，所述控制方法包含：一影像擷取步驟：利用一影像擷取模組，擷取所述晶圓載具的一預定範圍的影像，以對應產生一影像擷取資訊；一比對步驟：利用所述影像擷取資訊比對一晶圓盒影像資訊，並據以產生一影像比對資訊；一距離感測步驟：利用設置於所述機械手臂裝置的至少一距離感測單元，對所述晶圓載具的至少兩個位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測資訊；以及一校正步驟：依據所述影像比對資訊及兩個所述距離感測資訊，控制所述機械手臂裝置移動，以校正所述機械手臂裝置的夾爪裝置與所述晶圓載具的至少一輔助構件的相對位置，據以使所述機械手臂裝置正確地夾持所述輔助構件。
2. 如請求項1所述的機械手臂裝置的控制方法，其中，在所述影像擷取步驟前，還包含有一移動步驟：接收一位置資訊，依據所述位置資訊控制所述機械手臂裝置移動所述晶圓載具的周圍。
3. 如請求項2所述的機械手臂裝置的控制方法，其中，所述機械手臂裝置可活動地設置於一自動導引車；在所述移動步驟中，接收所述位置資訊後，將依據所述位置資訊，控制所述自動導引車及所述機械手臂裝置移動，以使自動導引車移動至鄰近於設置有所述晶圓載具的一生產設備或一貨架，並使所述機械手臂裝置移動所述晶圓載具的周圍。
4. 如請求項1所述的機械手臂裝置的控制方法，其中，在所述距離感測步驟中，兩個所述距離感測單元對所述晶圓載具進行感測的兩個所述位置，位於所述影像擷取模組對所述晶圓載具進行影像擷取的影像擷取範圍中。
5. 如請求項1所述的機械手臂裝置的控制方法，其中，於所述校正步驟中，是利用所述影像比對資訊、多個所述距離感測資訊及所述距離感測單元對所述晶圓載具所感測的兩個所述位置之間的距離，以校正所述機械手臂裝置的夾爪裝置與所述輔助構件的相對位置。
6. 如請求項5所述的機械手臂裝置的控制方法，其中，在所述距離感測步驟中，是利用單一個所述距離感測單元先後對所述晶圓載具的兩個所述位置進行距離感測；於所述校正步驟中，是利用所述影像比對資訊、多個所述距離感測資訊及單一個所述距離感測單元對兩個所述位置先後進行距離感測時移動的距離。
7. 如請求項2所述的機械手臂裝置的控制方法，其中，在所述距離感測步驟中，是利用兩個所述距離感測單元同時對所述晶圓載具的兩個所述位置進行距離感測。
8. 一種機械手臂裝置，其用以夾持一晶圓載具，所述機械手臂包含：一機械手臂；一夾爪裝置，其設置於所述機械手臂，所述夾爪裝置包含：兩個夾爪結構；及一活動組件，其兩個所述夾爪結構可活動地設置於所述活動組件，所述活動組件電性連接一控制模組，所述控制模組能控制兩個所述夾爪結構相對於所述活動組件彼 此靠近或是彼此遠離；一影像擷取模組，其用以擷取所述晶圓載具的一預定範圍的影像，而能對應產生一影像擷取資訊；至少一距離感測單元，其設置於所述夾爪裝置，所述距離感測單元用以感測所述晶圓載具的多個預定位置，而能對應產生多個距離感測資訊；以及一控制模組，其電性連接所述機械手臂、所述夾爪裝置、所述影像擷取模組及所述距離感測單元，所述控制模組能依據所述影像擷取資訊、多個所述距離感測資訊及一資料庫中的一預定位置資訊，對應控制所述夾爪裝置，以使所述夾爪裝置正確夾持所述晶圓載具。
9. 如請求項8所述的機械手臂裝置，其中，所述機械手臂裝置還包含一自動導引車，所述機械手臂可活動地設置於所述自動導引車，所述自動導引車電性連接所述控制模組，所述控制模組能接收一外部控制訊號，以控制所述自動導引車及設置於其上的所述機械手臂移動。
10. 如請求項8所述的機械手臂裝置，其中，所述機械手臂裝置包含有一線性移動組件，其設置於所述夾爪裝置，所述線性移動組件電性連接所述控制模組，所述距離感測單元設置於所述線性移動組件，所述控制模組能控制所述線性移動組件，以使所述距離感測單元相對於所述夾爪裝置移動，而對位於同一軸線上的兩個所述預定位置分別進行距離感測。
11. 一種運送晶圓載具的一機械手臂裝置的控制方法，其用以於所述機械手臂裝置夾持一晶圓載具，而欲將所述晶圓載具置放於一預定置放設備前，控制所述機械手臂裝置的位置，所述控制方法包含： 一影像擷取步驟：利用一影像擷取模組，擷取所述預定置放設備的一預定範圍的影像，以對應產生一影像擷取資訊；一比對步驟：利用所述影像擷取資訊比對一預定置放位置影像資訊，並據以產生一影像比對資訊；一距離感測步驟：利用設置於所述機械手臂裝置的至少一距離感測單元，對所述預定置放設備的至少兩個預定位置進行距離感測，以對應產生至少兩個距離感測資訊；以及一校正步驟：依據所述影像比對資訊及至少兩個所述距離感測資訊，控制所述機械手臂裝置移動，以校正所述機械手臂裝置的夾爪裝置與所述預定置放設備的相對位置，據以使所述機械手臂裝置正確地將所述晶圓載具置放於所述預定置放設備。