TW201929936A - 具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法 - Google Patents

Abstract

本發明係為一種具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法，主要方法係在無塵室天花板上方裝設的多組風機濾網機組(fan filter unit,FFU)的氣密金屬箱體一側端面裝設壓差計，另在天花板上方的回風道與無塵室的空間之間裝設壓差計，風機濾網機組(fan filter unit,FFU)建立能循環流通整個無塵室的氣流壓力值，此氣流壓力值需能克服無塵室氣流風道中及所有設施的氣流阻抗值，如此整體廠房的氣流才能通暢的流動循環，不需直接量測風機濾網機組的過濾網壓差值，而是利用一個壓差計量測風機濾網機組所建立提供的氣流壓差值，並用另一個壓差計量測無塵室氣流風道的全氣流阻抗壓差值，將前述兩個壓差值相扣減，而得知風機濾網機組的高效過濾網阻抗值的間接量測方式。

Description

具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法

本發明係有關於一種具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法，主要方法係在無塵室天花板上方裝設的風機濾網機組的氣密金屬箱體一側端面裝設壓差計，在天花板上方的氣流空間與無塵室的空間之間裝設壓差計，將兩者壓力差相減所得壓力差值，以電腦軟體做分析而獲得高效率過濾網氣流阻抗值的功能性。

一般工廠內的無塵室上方有裝設的風機濾網機組，其中過濾網因為長久運轉致使過濾網需要作維護，通常僅是目視做為維護的依據，若要更進一步做過濾網的進入端面與排出端面的壓力差，在於技術上確實不容易克服，對於人力成本也增加。

本發明主要目的，係要提出一種具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法的專利申請，其中風機濾網機組（fan filter unit,FFU）為建構無塵室的最關鍵設備，主要是由風扇馬達組、高效率過濾網及氣密金屬箱體所組成。風扇馬達組的功能，在於建立能循環流通整個無塵室的氣流壓力（P1-P0），此氣流壓力（P1-P0）需能克服無塵室氣流風道中，所有回風道的氣流阻抗值（P2-P0），如此氣流才能通暢的流動循環，而高效過濾網（HEPA FILTER）的功能，在於過濾流通於無塵室氣流中的塵埃，使無塵室能保持潔淨的生產環境，當然、隨這塵埃被高效過濾網所補集，高效率過濾網的氣流阻抗值（P1-P2）將遂漸的增加，當高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2）上昇到一定的程度後，就必須更換新的高效過濾網，否則當無塵室氣流風道中，其它回風道的氣流阻抗值（P2-P0），加上高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2），兩者合計的氣流阻抗值（P2-P1）+（P2-P0），高於風扇馬達組所能建立提供的氣流壓力（P1-P0）時，無塵室的氣流將無法正常的流動循環。 反之，若風扇馬達組所建立提供的氣流壓力（P1-P0），能大於或等於無塵室氣流風道中，其它設施回風道的氣流阻抗值（P2-P0），加上高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2）時，則無塵室的氣流即可正常的流動循環，上述的說明如以式子表示如下： （P1-P0）（P1-P2）+（P2-P0）…………(1) 風扇馬達組建立提供的氣流壓力（P1-P0）=高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2）+無塵室氣流風道中，其它設施的氣流阻抗值（P2-P0）。 上述的式子，亦可表示如下： （P1-P2）（P1-P0）-（P2-P0）………(2) 高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2）=風扇馬達組建立提供的氣流壓力（P1-P0）- 無塵室氣流風道中，其它設施的回風道氣流阻抗值（P2-P0）。 因此、若在風機濾網機組（FFU）裝設壓差計A，量測風扇馬達組建立提供的氣流壓力（P1-P0），另外再裝設壓差計B，量測無塵室氣流風道中其它設施(無塵室+回風道)的氣流阻抗值（P2-P0），然後將壓差計A所量測（P1-P0）的壓差值△P1=P1-P0，減去由壓差計B所量測（P2-P0）的壓差值△P2=P2-P0，其所得的差值即如式(2)所示的（P1-P2）值，此為高效過濾網的氣流阻抗值。本發明係不直接量測風機濾網機組過濾網的壓差值，而能知悉其過濾網氣流阻抗值的方式，即是利用兩個壓差計，分別量測風扇馬達組所建立提供的氣流壓差值△P1，無塵室氣流風道中，其它設施(無塵室+回風道)的氣流阻抗值△P2，再將△P1的數值，減去△P2的數值的方式，即獲得高效過濾網的氣流阻抗值。

本發明係為一種具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法，其廠房W內裝設天花板A’， 天花板A’下方設置無塵室CR，無塵室CR下 裝設高架地板B’，其無塵室CR四周形成回風道W1,W2,W3，主要方法係在無塵室CR天花板A’上方裝設的風機濾網機組(fan filter unit,FFU)F:其氣密金屬箱體H內，包括有上方裝設風扇馬達組M，下方裝設高效率過濾網N，在的氣密金屬箱體H一側端面裝設壓差計A，係作為量測金屬箱體H外的氣流壓力值P0，及經由風扇馬達組M所產生氣流壓力值P1，作為量測氣流壓力(P0→P1)之間壓力差ΔP1，而在天花板A’上方的氣流回風道W1，與無塵室CR的空間之間裝設壓差計B，並將量測氣流壓力P0與氣流壓力P2之間所產生的壓力差ΔP2。 當風機濾網機組的風扇馬達組M驅動吸入氣流壓力P0，並經過風扇馬達組M產生氣流壓力P1，而氣流壓力P1經過高效率過濾網N後產生氣流壓力P2並進入無塵室CR內，氣流壓力P2經過高架地板B’，進入回風道W3及兩側回風道W2，再經過天花板A’進入氣密金屬箱體H之外的回風道W1，因此當風扇馬達組M產生能循環流通整個無塵室CR的氣流壓力(P1-P0)，此氣流壓力(P1-P0)需能克服無塵室CR及所有設施(回風道W1,W2,W3)的氣流阻抗值(P2-P0)，如此整體無塵室CR的氣流才能通暢的流動循環。 當高效過濾網N的氣流阻抗值(P1-P2)+無塵室CR及回風道W1,W2,W3的氣流阻抗值(P2-P0)的氣流阻抗值(P1-P0)時，顯示高效率過濾網N塵埃太多，過濾功能降低，致使無塵室CR無法正常運作；當高效過濾網N的氣流阻抗值(P1-P2)+ 無塵室CR及回風道W1,W2,W3的氣流阻抗值(P2-P0)風扇馬達組M所建立的氣流阻抗值(P1-P0)時，顯示高效過濾網N過濾功能正常，致使無塵室CR正常運作，因此，上述的說明如以式子表示，則可寫成如下的式子： （P1-P0）=（P1-P2）+（P2-P0）………….(1) 風扇馬達組M建立提供的氣流壓力（P1-P0）=高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2）+無塵室CR氣流風道中其它設施的氣流阻抗值（P2-P0），上述的式子亦可表示如下： （P1-P2）=（P1-P0）-（P2-P0）..................(2) 高效過濾網N的氣流阻抗值（P1-P2）=風扇馬達組M建立提供的氣流壓力（P1-P0）- 無塵室CR氣流風道中，其它設施的氣流阻抗值（P2-P0） 因此，如圖1所示在風機濾網機組（FFU）F裝設壓差計A，其中量測風扇馬達組M建立提供的氣流壓力（P1-P0），另外在回風道W1及無塵室CR之間裝設壓差計B，量測無塵室CR氣流及回風道W1,W2,W3產生的氣流阻抗值（P2-P0），然後將壓差計A所量測（P1-P0）的壓差值△P1，減去由壓差計B所量測（P2-P0）的壓差值△P2，其所得的差值，即如式子(2)所示的（P1-P2）值，此亦為高效過濾網N的氣流阻抗值。 使本發明之方法不需直接量測風機濾網機組F的高效率過濾網N的壓差值，而能知悉其高效率過濾網N氣流阻抗值的方式，即是利用兩個壓差計，分別量測風扇馬達組M所建立提供的氣流壓力△P1，及無塵室CR氣流回風道W1,W2,W3中的氣流壓力(阻抗值)△P2，再將△P1的數值，減去△P2的數值的方式△P1-△P2，即利用一個壓差計A，量測風機濾網機組F所建立提供的氣流壓差值△P1，並用另一個壓差計B，量測無塵室CR氣流風道的全氣流阻抗值壓差值△P2，將前述兩個壓差值相扣減(△P1-△P2)，而得知風機濾網機組F的高效過濾網N阻抗值的間接量測方式。 本發明係為一種具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法，已 符合專利要件，今爰依法提出專利申請。

A,B‧‧‧壓差計

A’‧‧‧天花板

B’‧‧‧高架地板

CR‧‧‧無塵室

F‧‧‧風機率網機組

H‧‧‧氣密金屬箱體

M‧‧‧風扇馬達組

N‧‧‧高效率過濾網

W1,W2,W3‧‧‧回風道

W‧‧‧廠房

圖1 係為本發明的具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法示意圖。

Claims (3)

1. 一種具有間接測量風機濾網機組中過濾網阻抗的方法，主要係在無塵室天花板上方裝設的風機濾網機組，其中氣密金屬箱體一側端面裝設壓差計(A)，係為量測金屬測箱體外的氣流壓力值(P0)，與經由風扇馬達組(M)所產生氣流壓力(P1)，作為量測氣流壓力(P0→P1)之間壓力差ΔP1，而在天花板上方的氣流回風道與無塵室的空間之間裝設壓差計(B)，係為量測回風道氣流壓力(P0)，與氣流壓力(P2)之間所產生的壓力差ΔP2，其方法步驟： (A).當高效過濾網N的氣流阻抗值(P1-P2)，加上回風道與無塵室的氣流阻抗值(P2-P0)，大於等於風扇馬達組(M)的氣流阻抗值(P1-P0)時，顯示高效率過濾網(N)塵埃太多，過濾功能降低，致使無塵室無法正常運作； ( B).當高效過濾網(N)的氣流阻抗值(P1-P2)，加上回風道與無塵室的氣流阻抗值(P2-P0)，小於等於氣流阻抗值(P1-P0)時，顯示高效率過濾網N過濾功能正常，致使無塵室正常運作；以及 (C). 將壓差計(A)所量測（P1-P0）的壓差值△P1，減去由壓差計(B)所量測（P2-P0）的壓差值△P2 (△P1減去△P2)，其所得的差值，既為高效過濾網(N)的氣流阻抗值(△P1-△P2)。
2. 如請求第 1項所述的方法，其中風扇馬達組M所建立提供的氣流壓力（P1-P0），等於高效過濾網的氣流阻抗值（P1-P2），加上無塵室氣流風道中其它設施的氣流阻抗值（P2-P0）。
3. 如請求第 1項所述的方法，其中高效過濾網N的氣流阻抗值（P1-P2），等於風扇馬達組M所建立提供的氣流壓力（P1-P0），減去無塵室氣流風道中其它設施的氣流阻抗值（P2-P0）。